CN112339412B - 微细结构转印装置以及微细结构转印方法 - Google Patents

微细结构转印装置以及微细结构转印方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供微细结构转印装置以及微细结构转印方法，能够在片状体(膜)上固定多个复制品。微细结构转印装置(1)具备：卷绕具有挠性的片状体(4)并对该片状体(4)进行开卷的开卷机(5)；卷绕经由多个导辊(3)输送的片状体(4)的卷绕机(6)；配置在开卷机(5)与卷绕机(6)之间，并载置在形成有微细凹凸图案的表面涂敷有光固化性树脂的模型(14)的载置台(11)；从上方将片状体(4)按压于模型(14)，并且至少在模型(14)的两端部之间往复移动的压印辊(2)；以及向被按压于模型(14)的片状体(4)照射紫外光的固化光照射器(8)，在片状体(4)上连续地固定多个复制品(20)。

Description

微细结构转印装置以及微细结构转印方法
技术领域
本发明涉及使用在表面形成有纳米级等的微细凹凸图案的模型在基板上反转转印微细结构的微细结构转印装置以及微细结构转印方法。
背景技术
作为用于制造半导体的曝光装置等的微细加工技术的紫外线/电子束光刻，设备价格高且工艺复杂，在制造所花费的时间和成本的改善等方面存在问题，随着将形成有微细凹凸图案的模型(也被称为压模或模板等)直接转印到树脂材料等的纳米压印光刻(Nanoimprint Lithography，以下称为NIL)技术的进展，能够通过简单的装置和工艺容易地实现10nm～数100nm级的微细图案，在装置价格、量产中的成本方面优势提高。例如，在专利文献1中，公开了针对模型利用无电解镀覆法对形成于模型的表面的微细凹凸图案进行反转转印而得到的微细结构体。尤其是，在专利文献1中记载有如下内容：在所得到的微细结构体的上表面(与形成有微细凹凸图案的面相反的一侧的面)配置缓冲材料，在微细凹凸图案的表面涂敷剥离剂而形成压模。
另外，在专利文献2中提出了如下的NIL装置：为了改善加热加压转印中的升温、冷却循环所花费的时间，使保持基板加压面的部位的截面积比压模的基板加压面的截面积小。在专利文献3中公开了如下的NIL装置：通过设置具备临时载置基板的临时载置面并使其逐渐移动至基板载置面的临时载置部件，从而能够防止基板与基板载置台之间的空隙导致的错位，实现高精度的转印。
在专利文献4中提出了如下的辊对辊方式的NIL装置：以更高精度的转印为目的，在加热加压时能够依次更换缓冲材料。
另外，在专利文献5中公开了如下方式的NIL装置：以提高生产率并降低量产成本为目的，利用多级地设置的辊将压模加热加压于树脂层并进行转印，以使得即便转印辊的旋转速度上升也能够正确且高精度地进行图案转印。
另外，作为使用光固化性树脂的NIL装置，例如，在专利文献6中公开了如下的NIL装置：将模型按压于使用了由紫外线固化性树脂构成的薄膜的工件而进行压缩成形，照射紫外光进行图案转印，其中，作为紫外光的光源，通过使用不与紫外光同时连续地放射热线的光源，来抑制温度上升。另外，在专利文献7中公开了如下的NIL装置：通过辊对辊方式，送出具有粘接固定有透明膜的光固化性转印层的光固化性转印片，在使光固化性转印层露出后，利用压模进行按压，利用UV灯进行光照射，转印压模的微细凹凸图案。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2005-189128号公报
专利文献2：日本特开2004-288784号公报
专利文献3：日本特开2006-62208号公报
专利文献4：日本特开2004-288804号公报
专利文献5：日本特开2006-326948号公报
专利文献6：WO2009/110596号公报
专利文献7：日本特开2011-66100号公报
发明要解决的课题
在上述专利文献1至专利文献6公开的NIL装置中，是使用模型将基板按每一张进行压印的结构。但是，由于是与模型直接接触的压制方式，因此，有可能导致由材料或异物向模型的附着引起的模型的损伤。模型制造所涉及的费用非常昂贵，并且模型制造时间也需要长时间，因此，需要将模型的使用次数限制在最小限度。另外，有可能因模型的换产调整时的模型的落下或碰撞等而产生模型的破损或缺损。
因此，使用如下方法：不在生产中使用高价的母模，而通过母模利用柔软材料来形成复制模，并通过复制模进行生产。但是，虽然复制模的更换频率因产品或材料而不同，但需要每几百次进行更换，在复制模(以下，称为复制品)的更换和准备作业中需要耗费时间，因此，期望降低准备成本。
另外，在上述专利文献7公开的NIL装置中，是如下结构：在使用模型形成中间压模(复制品)后，对中间压模进行间距输送，利用中间压模将基板按每一张进行压印。因此，高价的模型是始终配置在具有光固化性转印层的光固化性转印片的下部的结构，所述光固化性转印层粘接固定有形成有中间压模的透明膜，因此，有可能因从光固化性转印片落下的异物等而损伤模型。
进而，随着近年来的智能手机、平板终端等比较小型的显示器的急剧普及，期望液晶面板等的制造装置以更高的生产率进行制造。另外，在电视用的显示面板等中，画面大型化和高分辨率化加速，期望更高精细的下一代显示器。
发明内容
因此，本发明提供能够在片状体(膜)上固定多个复制品的微细结构转印装置以及微细结构转印方法。另外，本发明提供能够使用在上述片状体(膜)上连续的多个复制品连续地在基板上进行图案形成的微细结构转印装置以及微细结构转印方法。
用于解决课题的方案
为了解决上述课题，本发明的微细结构转印装置具备：开卷机，所述开卷机卷绕具有挠性的片状体并对该片状体进行开卷；卷绕机，所述卷绕机卷绕经由多个导辊输送的所述片状体；载置台，所述载置台配置在所述开卷机与所述卷绕机之间并载置模型，所述模型在形成有微细凹凸图案的表面涂敷有光固化性树脂；压印辊，所述压印辊从上方将所述片状体按压于所述模型，并且至少在所述模型的两端部之间往复移动；以及固化光照射器，所述固化光照射器向被按压于所述模型的所述片状体照射固化光，在所述片状体上连续地固定多个复制品，所述微细结构转印装置的特征在于，所述微细结构转印装置具备所述多个导辊中的第一导辊和第二导辊，所述第一导辊在所述片状体的输送方向上与所述压印辊相邻且位于上游侧，所述第二导辊在所述片状体的输送方向上与所述压印辊相邻且位于下游侧，所述第二导辊在所述片状体的定位时向下游侧移动，在超过所述模型的下游侧端部的位置停止，在所述压印辊按压所述片状体并向下游侧移动而进行纳米压印动作的情况下，向上游侧移动至与所述压印辊成为规定的距离的位置，相比所述压印辊位于上方，与所述压印辊一起等速地移动，在所述压印辊与所述第二导辊的位置关系保持恒定的状态下移动。
另外，本发明的微细结构转印装置的特征在于，所述压印辊隔着所述片状体将固定于所述片状体的多个复制品中的一个复制品按压于基板，并且至少在所述基板的两端部之间往复移动，所述基板载置于所述载置台并在表面涂敷有所述光固化性树脂，所述固化光照射器经由被所述压印辊按压的所述片状体以及所述复制品向涂敷有所述光固化性树脂的基板照射固化光，在所述光固化性树脂固化后，利用所述压印辊将所述片状体剥离，从而转印所述复制品的微细凹凸图案。
另外，本发明的微细结构转印装置的特征在于，具备膜夹持件，在所述压印辊按压所述片状体并移动的情况下，所述膜夹持件在所述模型或所述基板的端部中的在所述片状体的输送方向上位于上游侧的端部夹持所述片状体。
进而，本发明的微细结构转印装置的特征在于，所述固化光照射器位于所述压印辊与所述第一导辊之间，在所述压印辊按压所述片状体并移动的情况下，所述固化光照射器照射固化光并以追随所述压印辊和所述第二导辊的方式向下游侧移动。
另外，本发明的微细结构转印装置的特征在于，所述固化光照射器位于所述压印辊与所述第一导辊之间，在所述压印辊按压所述片状体并与所述第二导辊一起等速地向下游侧移动后，所述固化光照射器照射固化光并向下游侧移动。
本发明的微细结构转印装置的特征在于，具有在所述模型以及/或者所述基板上涂敷所述光固化性树脂的光固化性树脂涂敷机构。
本发明的微细结构转印装置的特征在于，具备能够分别调整所述压印辊的高度和按压力的支承辊机构。
本发明的微细结构转印装置的特征在于，所述支承辊机构沿着所述压印辊的长度方向以规定的间隔分离地具备多个。
进而，本发明的微细结构转印装置的特征在于，所述支承辊机构具有以与所述压印辊的外周面接触的方式配置在所述压印辊的正上方的支承辊。
本发明的微细结构转印方法使用微细结构转印装置，所述微细结构转印装置具备：开卷机，所述开卷机卷绕具有挠性的片状体并对该片状体进行开卷；卷绕机，所述卷绕机卷绕经由多个导辊输送的所述片状体；以及载置台，所述载置台配置在所述开卷机与所述卷绕机之间并载置模型，所述模型在形成有微细凹凸图案的表面涂敷有光固化性树脂，在压印辊从上方将所述片状体按压于所述模型并且至少在所述模型的两端部之间往复移动的期间，向被按压于模型的所述片状体照射固化光，在所述片状体上连续地固定多个复制品，所述微细结构转印方法的特征在于，所述微细结构转印装置具备所述多个导辊中的第一导辊和第二导辊，所述第一导辊在所述片状体的输送方向上与所述压印辊相邻且位于上游侧，所述第二导辊在所述片状体的输送方向上与所述压印辊相邻且位于下游侧，所述第二导辊在所述片状体的定位时向下游侧移动，在超过所述模型的下游侧端部的位置停止，在所述压印辊按压所述片状体并向下游侧移动而进行纳米压印动作的情况下，向上游侧移动至与所述压印辊成为规定的距离的位置，所述第二导辊相比所述压印辊位于上方，与所述压印辊一起等速地移动，在所述压印辊与所述第二导辊的位置关系保持恒定的状态下移动。
另外，本发明的微细结构转印方法的特征在于，在所述压印辊隔着所述片状体将固定于所述片状体的多个复制品中的一个复制品按压于基板并且至少在所述基板的两端部之间往复移动的期间，经由被所述压印辊按压的所述片状体以及所述复制品向涂敷有所述光固化性树脂的基板照射固化光，转印所述复制品的微细凹凸图案，所述基板载置于所述载置台并在表面涂敷有所述光固化性树脂。
发明效果
根据本发明，能够提供能够在片状体(膜)上连续地固定多个复制品的微细结构转印装置以及微细结构转印方法。
例如，由于能够在片状体上连续地固定多个复制品，因此，能够实现形成复制品的生产率的提高。另外，即便在假设固定于片状体的多个复制品中的一个复制品达到使用极限的情况下，仅通过对片状体进行间距输送，就能够使用下一个新的复制品，因此，能够降低复制品的更换和准备作业中的成本。
上述以外的课题、结构以及效果通过以下的实施方式的说明变得明了。
附图说明
图1是表示本发明的一实施例的实施例1的微细结构转印装置的概略结构的侧视图。
图2是图1所示的微细结构转印装置的俯视图。
图3A是表示复制品形成时的基于摄像部的对位工序的图。
图3B是表示复制品形成时的膜夹持件以及压印辊按压工序的图。
图3C是表示复制品形成时的纳米压印动作工序的图。
图3D是表示复制品形成时的固化光照射工序的图。
图3E是表示复制品形成时的剥离工序的图。
图4A是表示上游侧导辊、压印辊以及下游侧导辊的动作的图，是表示附加于片状体的标记检测时的状态的图。
图4B是表示上游侧导辊、压印辊以及下游侧导辊的动作的图，是表示定位动作以及定位确认时的状态的图。
图4C是表示上游侧导辊、压印辊以及下游侧导辊的动作的图，是表示膜夹持件以及上游侧导辊夹持时的状态的图。
图4D是表示上游侧导辊、压印辊以及下游侧导辊的动作的图，是表示压印辊下降时的状态的图。
图4E是表示上游侧导辊、压印辊以及下游侧导辊的动作的图，是表示压印辊以及下游侧导辊按压开始时的状态的图。
图4F是表示上游侧导辊、压印辊以及下游侧导辊的动作的图，是表示压印辊以及下游侧导辊都向下游侧移动并按压时的状态的图。
图4G是表示上游侧导辊、压印辊以及下游侧导辊的动作的图，是表示固化光照射器下降时的状态的图。
图4H是表示上游侧导辊、压印辊以及下游侧导辊的动作的图，是表示固化光照射时的状态的图。
图4I是表示上游侧导辊、压印辊以及下游侧导辊的动作的图，是表示膜夹持件上升/退避、以及压印辊及下游侧导辊都向上游侧开始移动时的状态的图。
图4J是表示上游侧导辊、压印辊以及下游侧导辊的动作的图，是表示剥离时的状态的图。
图4K是表示上游侧导辊、压印辊以及下游侧导辊的动作的图，是表示压印辊以及下游侧导辊都向上游侧开始移动时的状态的图。
图5是表示复制品形成时的工艺的概要的图，(A)是表示膜对位、(B)是表示按压(压印)、(C)是表示固化光照射、(D)是表示剥离、以及(E)是表示复制品形成完成时的图。
图6是表示图1所示的微细结构转印装置的概略结构的侧视图，是向玻璃基板转印由复制品形成的微细凹凸图案时的侧视图。
图7是图6所示的微细结构转印装置的俯视图。
图8是表示向玻璃基板形成图案时的工艺的概要的图，(A)是表示复制品对位、(B)是表示按压(压印)、(C)是表示固化光照射、(D)是表示剥离、以及(E)是表示完成向玻璃基板形成图案时的图。
图9是本发明的另一实施例的实施例2的微细结构转印装置的俯视图。
图10是本发明的另一实施例的实施例3的微细结构转印装置的俯视图。
图11A是表示复制品形成工艺中的模型向载置台的设置状态的图。
图11B是表示复制品形成工艺中的光固化性树脂涂敷以及模型定位状态的图。
图11C是表示复制品形成工艺中的复制品连续形成状态的图。
图11D是表示复制品形成工艺中的模型返回状态的图。
图12A是表示向玻璃基板形成图案的图案形成工艺中的玻璃基板向载置台的设置状态的图。
图12B是表示向玻璃基板形成图案的图案形成工艺中的光固化性树脂涂敷以及模型定位状态的图。
图12C是表示向玻璃基板形成图案的图案形成工艺中的图案连续形成状态的图。
图12D是表示向玻璃基板形成图案的图案形成工艺中的玻璃基板返回状态的图。
图13是本发明的另一实施例的实施例4的微细结构转印装置的主视图。
图14是图13的A方向向视图，是支承辊机构的剖视图。
附图标记说明
1、1a 微细结构转印装置
2 压印辊
3 导辊
3a 上游侧导辊(第一导辊)
3b 下游侧导辊(第二导辊)
4 片状体(膜)
5 开卷机
6 卷绕机
7 松紧调节辊
8 固化光照射器
9 干式清洁器
10 激光打标机
11 载置台
12 清洁辊
13 台架
14 模型(模具)
15 玻璃基板
16 膜夹持件
17a 上游侧摄像部
17b 下游侧摄像部
18 摄像部支承部
19 树脂
20 复制品
21 复制品连续形成装置
22 光固化性树脂涂敷机构
22a 复制品用光固化性树脂涂敷机构
22b 玻璃基板用光固化性树脂涂敷机构
31 复制品形状检查装置
41 图案形成装置
42 输送机构
51 Z轴驱动部
52 测压元件
55 支承辊机构
56 聚氨酯橡胶衬套
具体实施方式
在本说明书中，将一个模型或具有在一个模型的表面形成的微细凹凸图案的微细图案区域称为“单元”。
另外，在本说明书中，作为通过转印有模型(模具)的微细图案的复制品(replica)来转印微细图案的被转印体，以玻璃基板为一例进行说明，但并不限于此，作为被转印体，当然也包括树脂基板或膜基板等各种面板材料的基板。即，通过复制品来转印微细图案的被转印体是基板。
以下，使用附图对本发明的实施例进行说明。
[实施例1]
图1是表示本发明的一实施例的实施例1的微细结构转印装置的概略结构的侧视图，图2是图1所示的微细结构转印装置的俯视图。图1以及图2所示的空心箭头表示片状体(膜)4的输送方向(供给方向)。
(微细结构转印装置的结构)
如图1所示，微细结构转印装置1从上游侧起具备：卷绕开卷膜(片状体)的开卷机5、输送由开卷机5送出的片状体(膜)4的导辊3、向片状体(膜)4吹送空气而除去附着于膜表面的尘埃的干式清洁器9、将片状体(膜)4向铅垂方向下方输送的两个导辊3、隔着固化光照射器8配置在详情后述的压印辊2的上游侧的上游侧导辊(第一导辊)3a、固化光照射器8、压印辊2、以及与压印辊2相邻地配置在其下游侧的下游侧导辊(第二导辊)3b。需要说明的是，在此，固化光照射器8例如照射紫外线(紫外光)作为固化光。
另外，微细结构转印装置1具备：将通过下游侧导辊(第二导辊)3b的片状体(膜)4向铅垂方向上方引导的导辊3、从该导辊3呈水平地向下游侧输送片状体(膜)4并且向铅垂方向下方引导片状体(膜)4的导辊3、在片状体(膜)4通过该导辊3时为了在与形成于模型(模具)的微细图案区域的始端以及终端相当的位置附加标记而照射激光的激光打标机10、向片状体(膜)4吹送空气而除去附着于膜表面的尘埃的干式清洁器9、相比干式清洁器9配置在下方的两个导辊3、松紧调节辊7、清洁辊12、两个导辊3、以及卷绕片状体(膜)4的卷绕机6。
清洁辊12在成对的清洁辊的表面(外周面)预先涂敷糊料等，片状体(膜)4被成对的清洁辊12夹持而接触并通过，从而除去附着于膜表面的尘埃等。此时，由于详情后述的复制品被固化，并且，牢固地固定于片状体(膜)4，因此，在通过成对的清洁辊12时，复制品不会从片状体(膜)4脱离或剥离。另外，在本实施例中，示出微细结构转印装置1具有清洁辊12的结构，但清洁辊12的设置也可以是任意的。即，也可以采用不具有清洁辊12的结构。
片状体(膜)4具有挠性，并且，具有使光透过的性质。松紧调节辊7通过在图1中左右位移、即在水平面内前后位移，从而对被输送的片状体(膜)4施加规定的张力。例如，基于各导辊的直径的差异，即便在从开卷机5以规定的输送量(速度)送出片状体(膜)4的情况下，膜也可能产生挠曲。但是，通过使松紧调节辊7前后位移来调整片状体(膜)4的张力，从而能够防止上述挠曲。
如图1及图2所示，微细结构转印装置1具备载置台11，该载置台11载置模型(模具)14，能够在水平面内沿X-Y方向移动，并且能够沿旋转方向(θ)位移。在形成于模型(模具)14的表面的微细凹凸图案上预先涂敷有作为光固化性树脂的树脂，利用未图示的机械臂等输送机构，进行模型(模具)14向载置台11的送入(装载)以及模型(模具)14从载置台11的送出(卸载)(图2的箭头)。需要说明的是，在载置台11例如设置有真空吸盘，利用真空吸盘将所载置的模型(模具)14固定在载置台11上。
另外，如图2所示，微细结构转印装置1在上游侧导辊(第一导辊)3a与固化光照射器8之间具备两个上游侧摄像部17a，上述两个上游侧摄像部17a在两端能够移动地支承于台架13的摄像部支承部18的两个部位，沿着片状体(膜)4的宽度方向相互分离地被保持。另外，在压印辊2与下游侧导辊(第二导辊)3b之间具备两个下游侧摄像部17b，上述两个下游侧摄像部17b在两端能够移动地支承于台架13的摄像部支承部18的两个部位，沿着片状体(膜)4的宽度方向相互分离地被保持。作为上述上游侧摄像部17a以及下游侧摄像部17b，例如使用CCD等。上游侧摄像部17a以及下游侧摄像部17b在后述的片状体(膜)4的定位时，用于检测利用激光打标机10附加的片状体(膜)4上的四个部位的标记。在下游侧导辊(第二导辊)3b与载置台11之间设置有膜夹持件16。
(复制品形成时的微细结构转印装置的动作)
图3A至图3E示出复制品形成时的各工序。在图3A所示的基于摄像部的对位工序中，下游侧导辊(第二导辊)3b与载置于载置台11的模型(模具)14的表面维持规定的间隔并向下游侧移动至超过载置台11的端部的位置。另外，上游侧摄像部17a以及下游侧摄像部17b分别在片状体(膜)4的铅垂方向上方，移动至与模型(模具)14的表面的微细图案区域的始端(片状体(膜)4的输送方向上的上游侧的端部)以及微细图案区域的终端(片状体(膜)4的输送方向上的下游侧的端部)相当的位置。而且，上游侧摄像部17a以及下游侧摄像部17b在检测到附加在被输送的片状体(膜)4上的标记时，卷绕机6使片状体(膜)4的卷绕动作停止。
接着，在图3B所示的膜夹持件以及压印辊按压工序中，首先，膜夹持件16下降并夹持片状体(膜)4。由此，片状体(膜)4被固定。另外，压印辊2下降并按压片状体(膜)4。在该状态下，下游侧导辊(第二导辊)3b与配置在铅垂方向上方的导辊3一起向上游侧移动，在与压印辊2成为规定距离的位置停止。
在图3C所示的纳米压印动作工序中，压印辊2按压片状体(膜)4，并且与下游侧导辊(第二导辊)3b等速地向下游侧移动。此时，在图3C所示的例子中，固化光照射器8以追随压印辊2及下游侧导辊(第二导辊)3b以及配置在其铅垂方向上方的导辊3的方式移动。通过使压印辊2与下游侧导辊(第二导辊)3b等速地向下游侧移动，从而它们的位置关系即距离保持恒定，因此，片状体(膜)4的通路长度没有变化，即便压印辊2按压片状体(膜)4并移动，施加于片状体(膜)4的张力也不变动。
在图3D所示的固化光照射工序中，如上所述，由于固化光照射器8以追随压印辊2的方式向下游侧移动，因此，固化光照射器8照射紫外线(固化光)并向下游侧移动，在具有微细图案区域的模型(模具)14的表面预先涂敷的光固化性树脂与压印辊2的按压力协同作用，并固定于片状体(膜)4。由此，在模型(模具)14的表面形成的微细凹凸图案被反转转印到片状体(膜)4上。因此，在本实施例中，同时执行纳米压印动作工序和固化光照射工序。
接着，在图3E所示的剥离工序中，压印辊2通过与下游侧导辊(第二导辊)3b以及配置在其铅垂方向上方的导辊3等速地向上游侧移动，从而固定于片状体(膜)4的复制品以均匀的状态从模型(模具)14的表面剥离。即，能够在不对固定于片状体(膜)4的复制品以及模型(模具)14造成损伤的情况下进行剥离。
如上所述，根据本实施例的微细结构转印装置1，通过使压印辊2与下游侧导辊(第二导辊)3b以及配置在其铅垂方向上方的导辊3等速地向下游侧以及上游侧往复移动，从而能够容易地形成复制品。
接着，使用图4A至图4K，对上游侧导辊(第一导辊)3a、压印辊2以及下游侧导辊(第二导辊)3b的动作进行详细说明。如图4A所示，下游侧导辊(第二导辊)3b向下游侧移动，在超过模型(模具)14的下游侧端部的位置停止。此时，上游侧导辊(第一导辊)3a与下游侧导辊(第二导辊)3b的轴心之间的距离L1例如为4000mm。另外，在模型(模具)14的表面形成的微细凹凸图案的存在区域即微细图案区域的长度L2例如为65inch(英寸)等。两个上游侧摄像部17a以及两个下游侧摄像部17b被定位于在上游侧导辊(第一导辊)3a、压印辊2以及下游侧导辊(第二导辊)3b之间输送的片状体(膜)4的铅垂方向上方，对利用激光打标机10预先附加于片状体(膜)4的、与微细图案区域的始端以及终端对应的位置的标记进行检测。需要说明的是，片状体(膜)4的输送通过卷绕机6的驱动而以相当于一个单元的长度量进行间距输送。
如图4B所示，当利用上游侧摄像部17a以及下游侧摄像部17b检测到四个部位的标记时，以该检测到的四个部位的标记为基准，载置模型(模具)14的载置台11例如以绕旋转方向(θ)旋转并使四个部位的标记与微细图案区域的始端以及终端重叠的方式被定位。关于定位的确认，也基于上游侧摄像部17a以及下游侧摄像部17b的拍摄图像来执行。
当定位完成时，如图4C所示，纵截面为大致L形状的膜夹持件16将片状体(膜)4按压于模型(模具)14的表面并夹持。另外，上游侧导辊(第一导辊)3a也进行夹持。
接着，如图4D所示，压印辊2下降，如图4E所示，到此为止在超过模型(模具)14的下游侧端部的位置停止的下游侧导辊(第二导辊)3b以与压印辊2成为规定的位置关系的方式向上游侧移动。此时，下游侧导辊(第二导辊)3b相比压印辊2位于铅垂方向上方，相比上游侧导辊(第一导辊)3a位于下游侧。因此，从被压印辊2按压的位置到下游侧导辊(第二导辊)3b的片状体(膜)4与模型(模具)14的表面形成规定的角度。
如图4F所示，压印辊2按压片状体(膜)4，并且与下游侧导辊(第二导辊)3b等速地移动至超过模型(模具)14的下游侧端部的位置。通过使压印辊2与下游侧导辊(第二导辊)3b等速地移动，它们的位置关系在保持恒定的状态下向下游侧移动，从而不会产生施加于片状体(膜)4的张力的变动。在此，例如，压印辊2以及下游侧导辊(第二导辊)3b的移动速度为150mm/s。
接着，如图4G所示，固化光照射器8下降至膜夹持件16的正上方。接着，固化光照射器8从片状体(膜)4的上方，向在模型(模具)14的表面的微细图案区域预先涂敷且利用压印辊2的按压力压接于片状体(膜)4的光固化性树脂照射紫外线(固化光)，并且移动至位于超过模型(模具)14的下游侧端部的位置的压印辊2的附近。由此，光固化性树脂固化，在模型(模具)14的表面形成的微细凹凸图案被反转转印到片状体(膜)4上。
如图4I所示，接着，膜夹持件16上升，从模型(模具)14退避。接着，压印辊2与下游侧导辊(第二导辊)3b一起等速地向上游开始移动。如图4J所示，通过使压印辊2与下游侧导辊(第二导辊)3b一起等速地向上游侧移动，由此，固定于片状体(膜)4的复制品以均匀的状态从在模型(模具)14的表面形成的微细凹凸图案剥离。直至压印辊2到达模型(模具)14的上游侧端部附近为止，上游侧导辊(第一导辊)3a进行持续夹持。最后，如图4K所示，当压印辊2到达模型(模具)14的上游侧端部附近时，上游侧导辊(第一导辊)3a从夹持释放，压印辊2以及下游侧导辊(第二导辊)3b上升，能够得到固定于片状体(膜)4的一个单元量的复制品。
虽未图示，但此后，卷绕机6通过卷绕至少一个单元量的长度(间距)的片状体(膜)4，由此，开卷机5对片状体(膜)4进行间距输送。此后，通过反复进行(步进重复)图4A至图4K所示的动作，从而在片状体(膜)4上固定由同一模型(模具)14转印的多个复制品。
需要说明的是，在上述图3A至图3E中，示出了同时执行纳米压印动作工序和固化光照射工序的情况，但在图4A至图4K中，不同点在于采用在纳米压印动作工序完成后执行固化光照射工序的结构。这样，既可以同时执行纳米压印动作工序和固化光照射工序，或者也可以在纳米压印动作工序完成后执行固化光照射工序。另外，与固化光照射工序相关的节拍依赖于光固化性树脂的光固化特性、树脂的涂敷量、基于与膜以及基板材料的固定特性等的照射工艺特性(照射速度、照射能量等)，通过未图示的固化光照射器控制机构，能够任意控制照射开始时机、固化光照射器移动速度以及照射时间。
图5是表示复制品形成时的工艺的概要的图，(A)是表示膜对位、(B)是表示按压(压印)、(C)是表示固化光照射、(D)是表示剥离、以及(E)是表示复制品形成完成时的图。在图5(A)中，在表面形成有微细凹凸图案的模型(模具)14上预先涂敷有作为光固化性树脂的树脂19的状态下，对片状体(膜)4进行对位。此后，在图5(B)中，利用压印辊2将片状体(膜)4按压于树脂19并向下游侧移动。在图5(C)中，利用固化光照射器8向压接于树脂19的片状体(膜)4照射紫外线(固化光)，并且，使固化光照射器8向下游侧移动。在图5(D)中，通过使压印辊2向上游侧移动，将固定有固化后的树脂的片状体(膜)4从模型(模具)14剥离。在图5(E)中，通过完全从模型(模具)14剥离，从而形成固定于片状体(膜)4的复制品20。
(向玻璃基板形成图案时的微细结构转印装置的动作)
以下，对利用微细结构转印装置1向玻璃基板形成(转印)由复制品形成的微细凹凸图案的动作进行说明。图6是表示图1所示的微细结构转印装置的概略结构的侧视图，是向玻璃基板转印由复制品形成的微细凹凸图案时的侧视图，图7是图6所示的微细结构转印装置的俯视图。与上述图1以及图2的不同点在于：代替在载置台11上载置模型(模具)14的结构，而采用在载置台11上载置玻璃基板15的结构。因此，在此省略关于图6以及图7的说明。
在上述图3A至图3E所示的各工序中，在载置台11上载置预先涂敷有光固化性树脂的玻璃基板15，将固定于片状体(膜)4且在表面具有微细凹凸图案的复制品利用压印辊2向玻璃基板15的光固化性树脂按压，并且压印辊2与下游侧导辊(第二导辊)3b等速地向下游侧移动。另外，利用以追随压印辊2的方式照射紫外线(固化光)并向下游侧移动的固化光照射器8，使玻璃基板15的光固化性树脂固化，如图3E所示，通过从具有固化后的光固化性树脂的玻璃基板15剥离复制品，从而在玻璃基板15的表面形成微细凹凸图案。
另外，关于上述图4A至图4K所示的、上游侧导辊(第一导辊)3a、压印辊2以及下游侧导辊(第二导辊)3b的动作，也代替预先涂敷有光固化性树脂的模型(模具)14，而使用预先涂敷有光固化性树脂的玻璃基板15，通过上述上游侧导辊(第一导辊)3a、压印辊2以及下游侧导辊(第二导辊)3b的动作，在玻璃基板15上形成(转印)固定于片状体(膜)4的复制品的微细凹凸图案。需要说明的是，在复制品达到使用极限数、例如数百次的时刻，卷绕机6通过卷绕至少一个单元量的长度(间距)的片状体(膜)4，由此，开卷机5对片状体(膜)4进行间距输送。由此，利用新的复制品，再次反复进行图4A至图4K的动作，在多个玻璃基板15上转印复制品的微细凹凸图案而进行图案形成。
这样，仅通过对片状体(膜)4进行间距输送就能够更换为新的复制品，因此，能够降低复制品更换和准备作业中的成本。
另外，能够利用同一微细结构转印装置1将复制品连续地固定于多个片状体(膜)，并且此后，能够使用复制品向玻璃基板进行图案形成，因此，能够实现生产率的提高。
图8是表示向玻璃基板形成图案时的工艺的概要的图，(A)是表示复制品对位、(B)是表示按压(压印)、(C)是表示固化光照射、(D)是表示剥离、以及(E)是表示完成向玻璃基板形成图案时的图。在图8(A)中，使固定于片状体(膜)4的复制品20与预先在表面涂敷有作为光固化性树脂的树脂19的玻璃基板15对位。此后，在图8(B)中，利用压印辊2将固定于片状体(膜)4的复制品20按压于涂敷有树脂19的玻璃基板15并向下游侧移动。在图8(C)中，利用固化光照射器8透过固定于片状体(膜)4的复制品20地向玻璃基板15上的树脂19照射紫外线(紫外光)，并且，固化光照射器8向下游侧移动。在图8(D)中，通过使压印辊2向上游侧移动，从具有固化后的树脂19的玻璃基板15剥离固定于片状体(膜)4的复制品20。在图8(E)中，通过从玻璃基板15完全剥离固定于片状体(膜)4的复制品20，从而在玻璃基板15上形成复制品的微细凹凸图案。
另外，在本实施例中，在微细结构转印装置1中，采用如下结构：在使多个复制品20连续地固定于片状体(膜)4之后，通过复制品20在预先涂敷有光固化性树脂的玻璃基板15上转印(形成)微细凹凸图案，但不一定限定于此。例如，在本实施例的微细结构转印装置1中，也可以采用如下结构：在使多个复制品20连续地固定于片状体(膜)4之后，使用该复制品并利用其他装置在玻璃基板上转印复制品的微细凹凸图案。
根据本实施例，能够提供能够在片状体(膜)上连续地固定多个复制品的微细结构转印装置以及微细结构转印方法。
另外，根据本实施例，由于能够在片状体上连续地固定多个复制品，因此，能够实现形成复制品的生产率的提高。
另外，假设为，若在本实施例的微细结构转印装置中进行复制品形成和通过复制品的微细凹凸图案向玻璃基板上的转印来进行图案形成，则即便在固定于片状体的多个复制品中的一个复制品达到使用极限的情况下，仅通过对片状体进行间距输送，就能够使用下一个新的复制品，因此，能够降低复制品的更换和准备作业中的成本。
[实施例2]
图9是本发明的另一实施例的实施例2的微细结构转印装置的俯视图。如图9所示，在本实施例中，由复制品连续形成装置21、光固化性树脂涂敷机构22、复制品形状检查装置31以及图案形成装置41构成，这一点与实施例1不同。尤其是，为了形成复制品而设置复制品连续形成装置21，在该复制品连续形成装置21设置有在模型(模具)上涂敷光固化性树脂的光固化性树脂涂敷机构22，这一点与实施例1不同，而且，设置有使用复制品在玻璃基板上形成微细凹凸图案之前对复制品的形状进行检查的复制品形状检查装置31，这一点与实施例1不同。对与实施例1相同的结构要素标注相同的附图标记，以下省略与实施例1重复的说明。
如图9所示，复制品连续形成装置21的结构与上述实施例1所示的微细结构转印装置1大致相同。在将模型(模具)14向载置台送入之前，利用光固化性树脂涂敷机构22在形成于模型(模具)14的表面的微细凹凸图案上涂敷光固化性树脂。需要说明的是，作为光固化性树脂涂敷机构22，例如使用喷墨打印机等。涂敷有光固化性树脂的模型(模具)14载置于载置台，通过压印辊2、导辊3、开卷机5以及卷绕机6等的动作，与上述实施例1同样地，在片状体(膜)4上连续地固定多个复制品20。
由复制品连续形成装置21形成的复制品20向复制品形状检查装置31输送，检查形成(转印)于复制品20的微细凹凸图案是否产生缺陷或不良。作为用于复制品形状检查装置31的形状检查装置，例如，可以使用原子力显微镜(Atomic Force Microscope：AFM)、或扫描型电子显微镜(Scanning Electron Microscope：SEM)、作为光学式检查装置的散射测量仪(Scatterometory)等。其中，优选使用AFM。
在通过复制品形状检查装置31判定为不良复制品的情况下，对被确定为不良的单元的信息(配置、不良内容等)进行识别，并存储于未图示的存储部。复制品形状检查装置31和图案形成装置41经由网络等共享不良单元的不良信息。
图案形成装置41具备将从上游装置送入的涂敷有光固化性树脂的玻璃基板15向图案形成装置41输送、或将利用图案形成装置41形成有微细凹凸图案的玻璃基板15向下游装置输送的输送机构42。另外，图案形成装置41将由输送机构42送入的涂敷有光固化性树脂的玻璃基板15收容在台架13内，从此处开始，具备与上述实施例1所示的微细结构转印装置1相同的开卷机5及卷绕机6、以及未图示的各种辊，在玻璃基板15上对复制品20的微细凹凸图案进行图案形成(转印)。
根据本实施例，能够利用复制品连续形成装置21在片状体上连续地固定多个复制品，因此，与实施例1同样地，能够减少复制品更换的准备时间。
另外，根据本实施例，能够在图案形成装置41中自动跳过由复制品形状检查装置31判定为不良的单元，能够进行仅使用合格品的复制品的微细凹凸图案形成，因此，能够提高在表面形成有微细凹凸图案的玻璃基板的成品率。
[实施例3]
图10是本发明的另一实施例的实施例3的微细结构转印装置的俯视图。在本实施例中，微细结构转印装置具备复制品用光固化性树脂涂敷机构以及玻璃基板用光固化性树脂涂敷机构，这一点与实施例1以及实施例2不同。对与实施例1以及实施例2相同的结构要素标注相同的附图标记，以下省略重复的说明。
如图10所示，微细结构转印装置1a隔着台架13在其两侧分别具备复制品用光固化性树脂涂敷机构22a以及玻璃基板用光固化性树脂涂敷机构22b。在此，在图10中，将微细结构转印装置1a的长度方向定义为X方向，将微细结构转印装置1a的宽度方向定义为Y方向。配置在载置于载置台11并被送入台架13内的模型(模具)14所处的一侧的复制品用光固化性树脂涂敷机构22a构成为能够在Y方向上往复移动，并将光固化性树脂涂敷在载置于载置台11并被送入台架13内的模型(模具)14上。另外，配置在载置于载置台11并被送入台架13内的玻璃基板15所处的一侧的玻璃基板用光固化性树脂涂敷机构22b构成为能够在Y方向上往复移动，并将光固化性树脂涂敷在载置于载置台11并被送入台架13内的玻璃基板15上。作为这些复制品用光固化性树脂涂敷机构22a以及玻璃基板用光固化性树脂涂敷机构22b，例如使用喷墨打印机等。
接着，对复制品形成工艺中的微细结构转印装置1a的动作进行说明。图11A是表示复制品形成工艺中的模型向载置台的设置状态的图。如图11A所示，在载置台11上设置(载置)模型(模具)14。此时，复制品用光固化性树脂涂敷机构22a在初始位置待机。图11B是表示复制品形成工艺中的光固化性树脂涂敷以及模型定位状态的图。复制品用光固化性树脂涂敷机构22a在Y方向上移动，移动到载置于载置台11的模型(模具)14被送入台架13内的位置。复制品用光固化性树脂涂敷机构22a在载置于载置台11的模型(模具)14被送入台架13内时，在模型(模具)14的表面涂敷光固化性树脂。图11C是表示复制品形成工艺中的复制品连续形成状态的图。在图11C中，如上述实施例1所示，在未图示的片状体(膜)上形成将形成于模型(模具)14的表面的微细凹凸图案进行了反转转印而得到的复制品。图11D是表示复制品形成工艺中的模型返回状态的图。在复制品形成后，模型(模具)14在载置于载置台11的状态下被向台架外送出。
接着，对向玻璃基板形成图案的图案形成工艺中的微细结构转印装置1a的动作进行说明。图12A是表示向玻璃基板形成图案的图案形成工艺中的玻璃基板向载置台的设置状态的图。如图12A所示，在载置台11上设置(载置)玻璃基板15。此时，玻璃基板用光固化性树脂涂敷机构22b在初始位置待机。图12B是表示向玻璃基板形成图案的图案形成工艺中的光固化性树脂涂敷以及玻璃基板定位状态的图。如图12B所示，玻璃基板用光固化性树脂涂敷机构22b在Y方向上移动，移动到载置于载置台11的玻璃基板15中的进行图案形成的区域且被送入台架13内的位置。玻璃基板用光固化性树脂涂敷机构22b在载置于载置台11的玻璃基板15被送入台架13内时，在玻璃基板15中的进行图案形成的区域涂敷光固化性树脂。图12C是表示向玻璃基板形成图案的图案形成工艺中的图案连续形成状态的图。在台架13内，针对载置于载置台11的玻璃基板15中的、由玻璃基板用光固化性树脂涂敷机构22b涂敷有光固化性树脂的区域形成(转印)复制品20的微细凹凸图案。图12D是表示向玻璃基板形成图案的图案形成工艺中的玻璃基板返回状态的图。在向玻璃基板15形成图案后，玻璃基板15在载置于载置台11的状态下被向台架外送出。
根据本实施例，通过具备在复制品形成工艺时以及向玻璃基板形成图案的图案形成工艺时能够分别独立地动作的复制品用光固化性树脂涂敷机构22a以及玻璃基板用光固化性树脂涂敷机构22b，从而在同一微细结构转印装置1a中，能够进行从光固化性树脂的涂敷到复制品连续形成、进而到向玻璃基板15形成图案为止的处理，作业性提高。
[实施例4]
图13是本发明的另一实施例的实施例4的微细结构转印装置的主视图(图1以及图6中的A方向向视图)，图14是图13的A方向向视图。在本实施例中，在压印辊的外周面具有聚氨酯橡胶衬套，在压印辊的正上方设置有支承辊机构，这一点与实施例1至实施例3不同。
如图13所示，本实施例的微细结构转印装置具备：分别配置在压印辊2的长度方向的两端部附近的上方的一对Z轴驱动部51、以及配置在各个Z轴驱动部51的下方且用于监视载荷的测压元件52。另外，如图14所示，压印辊2在其外周面具有聚氨酯橡胶衬套56，在压印辊2的正上方具备支承辊机构55。如图13所示，支承辊机构55沿着压印辊2的长度方向以规定的间隔分离地设置有多个。利用上述多个支承辊机构，能够分别调整高度和按压力。需要说明的是，在图13所示的例子中，示出模型(模具)14载置于载置台11的状态、即在片状体(膜)4上连续地固定多个复制品的情况，但在使用复制品将微细凹凸图案转印于玻璃基板15的情况下，在载置台11上载置玻璃基板15。
根据本实施例，由于能够利用支承辊机构55分别调整压印辊2的高度和按压力，因此，能够抑制压印辊2自身的挠曲。
进而，由于能够利用支承辊机构55分别调整压印辊2的高度和按压力，因此，能够利用压印辊2使片状体(膜)灵活地追随模型(模具)并以均匀的压力进行压印。
进而，由于能够利用支承辊机构55分别调整压印辊2的高度和按压力，因此，能够吸收使用多个模型(模具)时的模型(模具)之间的彼此高度差，能够灵活地追随并以均匀的压力进行压印。进而，通过利用支承辊机构55对高粘度的树脂材料均匀地传递压力，从而能够进行高精度的压印。进而，在压印完成且光固化性树脂固化后，对于剥离性差的膜、固定力强的光固化性树脂，利用支承辊机构55能够防止剥离时的辊退让，并且能够利用均匀的剥离力(张力)可靠地进行膜剥离。
需要说明的是，在图13中，采用沿着压印辊2的长度方向以规定的间隔分离地设置多个支承辊机构55的结构，但并不一定限定于此，也可以采用配置于压印辊2的长度方向的任意的一个部位的结构。另外，支承辊机构55的设置数根据需要适当设定即可。
另外，设置支承辊机构55时的排列并不限定于图示的1列。例如，也可以采用在压印辊2的外周上配置2列、3列等多列支承辊机构55的结构。
总结以上的实施例1～4的记载，实施例的微细结构转印装置具有以下的特征。
(1)微细结构转印装置的特征在于，具备：开卷机，所述开卷机卷绕具有挠性的片状体并对该片状体进行开卷；卷绕机，所述卷绕机卷绕经由多个导辊输送的所述片状体；载置台，所述载置台配置在所述开卷机与所述卷绕机之间并载置模型，所述模型在形成有微细凹凸图案的表面涂敷有光固化性树脂；压印辊，所述压印辊从上方将所述片状体按压于所述模型，并且至少在所述模型的两端部之间往复移动；以及固化光照射器，所述固化光照射器向被按压于所述模型的所述片状体照射固化光，在所述片状体上连续地固定多个复制品。
(2)在(1)的微细结构转印装置中，其特征在于，所述压印辊隔着所述片状体将固定于所述片状体的多个复制品中的一个复制品按压于基板，并且至少在所述基板的两端部之间往复移动，所述基板载置于所述载置台并在表面涂敷有所述光固化性树脂，所述固化光照射器经由被所述压印辊按压的所述片状体以及所述复制品向涂敷有所述光固化性树脂的基板照射固化光，在所述光固化性树脂固化后，利用所述压印辊将所述片状体剥离，从而转印所述复制品的微细凹凸图案。
(3)在(1)或(2)的微细结构转印装置中，其特征在于，具备所述多个导辊中的第一导辊和第二导辊，所述第一导辊在所述片状体的输送方向上与所述压印辊相邻且位于上游侧，所述第二导辊在所述片状体的输送方向上与所述压印辊相邻且位于下游侧，所述第二导辊在所述压印辊按压所述片状体并移动的情况下，相比所述压印辊位于上方，与所述压印辊一起等速地移动。
(4)在(3)的微细结构转印装置中，其特征在于，具备膜夹持件，在所述压印辊按压所述片状体并移动的情况下，所述膜夹持件在所述模型或所述基板的端部中的在所述片状体的输送方向上位于上游侧的端部夹持所述片状体。
(5)在(4)的微细结构转印装置中，其特征在于，所述固化光照射器位于所述压印辊与所述第一导辊之间，在所述压印辊按压所述片状体并移动的情况下，所述固化光照射器照射固化光并以追随所述压印辊和所述第二导辊的方式向下游侧移动。
(6)在(4)的微细结构转印装置中，其特征在于，所述固化光照射器位于所述压印辊与所述第一导辊之间，在所述压印辊按压所述片状体并与所述第二导辊一起等速地向下游侧移动后，所述固化光照射器照射固化光并向下游侧移动。
(7)在(5)或(6)的微细结构转印装置中，其特征在于，具有在所述模型以及/或者所述基板上涂敷所述光固化性树脂的光固化性树脂涂敷机构。
(8)在(4)的微细结构转印装置中，其特征在于，具备能够分别调整所述压印辊的高度和按压力的支承辊机构。
(9)在(8)的微细结构转印装置中，其特征在于，所述支承辊机构沿着所述压印辊的长度方向以规定的间隔分离地具备多个。
(10)在(8)或(9)的微细结构转印装置中，其特征在于，所述支承辊机构具有以与所述压印辊的外周面接触的方式配置在所述压印辊的正上方的支承辊。
(11)微细结构转印方法使用微细结构转印装置，所述微细结构转印装置具备：开卷机，所述开卷机卷绕具有挠性的片状体并对该片状体进行开卷；卷绕机，所述卷绕机卷绕经由多个导辊输送的所述片状体；以及载置台，所述载置台配置在所述开卷机与所述卷绕机之间并载置模型，所述模型在形成有微细凹凸图案的表面涂敷有光固化性树脂，其特征在于，在压印辊从上方将所述片状体按压于所述模型并且至少在所述模型的两端部之间往复移动的期间，向被按压于模型的所述片状体照射固化光，在所述片状体上连续地固定多个复制品。
(12)在(11)的微细结构转印方法中，其特征在于，在所述压印辊隔着所述片状体将固定于所述片状体的多个复制品中的一个复制品按压于基板并且至少在所述基板的两端部之间往复移动的期间，经由被所述压印辊按压的所述片状体以及所述复制品向涂敷有所述光固化性树脂的基板照射固化光，转印所述复制品的微细凹凸图案，所述基板载置于所述载置台并在表面涂敷有所述光固化性树脂。
需要说明的是，本发明并不限于上述实施例，可以包含各种变形例。例如，上述实施例为了容易理解地说明本发明而详细地进行了说明，但并不限定于必须具备已说明的全部结构。另外，可以将某实施例的结构的一部分替换为其他实施例的结构，另外，也可以在某实施例的结构上增加其他实施例的结构。另外，针对各实施例的结构的一部分，能够进行其他实施例的结构的追加、删除或替换。

Claims (16)

1.一种微细结构转印装置，所述微细结构转印装置具备：
开卷机，所述开卷机卷绕具有挠性的片状体并对该片状体进行开卷；
卷绕机，所述卷绕机卷绕经由多个导辊输送的所述片状体；
载置台，所述载置台配置在所述开卷机与所述卷绕机之间并载置模型，所述模型在形成有微细凹凸图案的表面涂敷有光固化性树脂；
压印辊，所述压印辊从上方将所述片状体按压于所述模型，并且至少在所述模型的两端部之间往复移动；以及
固化光照射器，所述固化光照射器向被按压于所述模型的所述片状体照射固化光，
在所述片状体上连续地固定多个复制品，
所述微细结构转印装置的特征在于，
所述微细结构转印装置具备所述多个导辊中的第一导辊和第二导辊，所述第一导辊在所述片状体的输送方向上与所述压印辊相邻且位于上游侧，所述第二导辊在所述片状体的输送方向上与所述压印辊相邻且位于下游侧，
所述第二导辊在所述片状体的定位时向下游侧移动，在超过所述模型的下游侧端部的位置停止，在所述压印辊按压所述片状体并向下游侧移动而进行纳米压印动作的情况下，向上游侧移动至与所述压印辊成为规定的距离的位置，相比所述压印辊位于上方，与所述压印辊一起等速地移动，在所述压印辊与所述第二导辊的位置关系保持恒定的状态下移动。
2.如权利要求1所述的微细结构转印装置，其特征在于，
所述压印辊隔着所述片状体将固定于所述片状体的多个复制品中的一个复制品按压于基板，并且至少在所述基板的两端部之间往复移动，所述基板载置于所述载置台并在表面涂敷有所述光固化性树脂，
所述固化光照射器经由被所述压印辊按压的所述片状体以及所述复制品向涂敷有所述光固化性树脂的基板照射固化光，在所述光固化性树脂固化后，利用所述压印辊将所述片状体剥离，从而转印所述复制品的微细凹凸图案。
3.如权利要求2所述的微细结构转印装置，其特征在于，
所述微细结构转印装置具备膜夹持件，在所述压印辊按压所述片状体并移动的情况下，所述膜夹持件在所述模型或所述基板的端部中的在所述片状体的输送方向上位于上游侧的端部夹持所述片状体。
4.如权利要求3所述的微细结构转印装置，其特征在于，
所述固化光照射器位于所述压印辊与所述第一导辊之间，在所述压印辊按压所述片状体并移动的情况下，所述固化光照射器照射固化光并以追随所述压印辊和所述第二导辊的方式向下游侧移动。
5.如权利要求3所述的微细结构转印装置，其特征在于，
所述固化光照射器位于所述压印辊与所述第一导辊之间，在所述压印辊按压所述片状体并与所述第二导辊一起等速地向下游侧移动后，所述固化光照射器照射固化光并向下游侧移动。
6.如权利要求4所述的微细结构转印装置，其特征在于，
所述微细结构转印装置具有在所述模型以及/或者所述基板上涂敷所述光固化性树脂的光固化性树脂涂敷机构。
7.如权利要求5所述的微细结构转印装置，其特征在于，
所述微细结构转印装置具有在所述模型以及/或者所述基板上涂敷所述光固化性树脂的光固化性树脂涂敷机构。
8.如权利要求3所述的微细结构转印装置，其特征在于，
所述微细结构转印装置具备能够分别调整所述压印辊的高度和按压力的支承辊机构。
9.如权利要求8所述的微细结构转印装置，其特征在于，
所述支承辊机构沿着所述压印辊的长度方向以规定的间隔分离地具备多个。
10.如权利要求8或9所述的微细结构转印装置，其特征在于，
所述支承辊机构具有以与所述压印辊的外周面接触的方式配置在所述压印辊的正上方的支承辊。
11.一种微细结构转印方法，使用微细结构转印装置，所述微细结构转印装置具备：开卷机，所述开卷机卷绕具有挠性的片状体并对该片状体进行开卷；卷绕机，所述卷绕机卷绕经由多个导辊输送的所述片状体；以及载置台，所述载置台配置在所述开卷机与所述卷绕机之间并载置模型，所述模型在形成有微细凹凸图案的表面涂敷有光固化性树脂，
在压印辊从上方将所述片状体按压于所述模型并且至少在所述模型的两端部之间往复移动的期间，向被按压于模型的所述片状体照射固化光，在所述片状体上连续地固定多个复制品，
所述微细结构转印方法的特征在于，
所述微细结构转印装置具备所述多个导辊中的第一导辊和第二导辊，所述第一导辊在所述片状体的输送方向上与所述压印辊相邻且位于上游侧，所述第二导辊在所述片状体的输送方向上与所述压印辊相邻且位于下游侧，
所述第二导辊在所述片状体的定位时向下游侧移动，在超过所述模型的下游侧端部的位置停止，在所述压印辊按压所述片状体并向下游侧移动而进行纳米压印动作的情况下，向上游侧移动至与所述压印辊成为规定的距离的位置，
所述第二导辊相比所述压印辊位于上方，与所述压印辊一起等速地移动，在所述压印辊与所述第二导辊的位置关系保持恒定的状态下移动。
12.如权利要求11所述的微细结构转印方法，其特征在于，
在所述压印辊隔着所述片状体将固定于所述片状体的多个复制品中的一个复制品按压于基板并且至少在所述基板的两端部之间往复移动的期间，经由被所述压印辊按压的所述片状体以及所述复制品向涂敷有所述光固化性树脂的基板照射固化光，转印所述复制品的微细凹凸图案，所述基板载置于所述载置台并在表面涂敷有所述光固化性树脂。
13.如权利要求12所述的微细结构转印方法，其特征在于，
在所述压印辊按压所述片状体并移动的情况下，在所述模型或所述基板的端部中的在所述片状体的输送方向上位于上游侧的端部夹持所述片状体。
14.如权利要求13所述的微细结构转印方法，其特征在于，
在所述压印辊按压所述片状体并移动的情况下，在与所述压印辊和所述第二导辊一起等速地向下游侧移动的期间照射固化光。
15.如权利要求14所述的微细结构转印方法，其特征在于，
在所述模型以及/或者所述基板上涂敷所述光固化性树脂。
16.如权利要求13所述的微细结构转印方法，其特征在于，
分别调整所述压印辊的高度和按压力。
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