CN112196758A - 一种具有夹形放大机构的被动阀压电泵 - Google Patents

一种具有夹形放大机构的被动阀压电泵 Download PDF

Info

Publication number
CN112196758A
CN112196758A CN202011066957.8A CN202011066957A CN112196758A CN 112196758 A CN112196758 A CN 112196758A CN 202011066957 A CN202011066957 A CN 202011066957A CN 112196758 A CN112196758 A CN 112196758A
Authority
CN
China
Prior art keywords
pump
shaped
piezoelectric
valve
pump body
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN202011066957.8A
Other languages
English (en)
Other versions
CN112196758B (zh
Inventor
何丽鹏
侯轶
黄灿
王舒扬
吴晓强
范奇志
方相浩
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Changchun University of Technology
Original Assignee
Changchun University of Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Changchun University of Technology filed Critical Changchun University of Technology
Priority to CN202011066957.8A priority Critical patent/CN112196758B/zh
Publication of CN112196758A publication Critical patent/CN112196758A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN112196758B publication Critical patent/CN112196758B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B17/00—Pumps characterised by combination with, or adaptation to, specific driving engines or motors
    • F04B17/003—Pumps characterised by combination with, or adaptation to, specific driving engines or motors driven by piezoelectric means
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B53/00—Component parts, details or accessories not provided for in, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B23/00 or F04B39/00 - F04B47/00
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B53/00—Component parts, details or accessories not provided for in, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B23/00 or F04B39/00 - F04B47/00
    • F04B53/10—Valves; Arrangement of valves
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B53/00—Component parts, details or accessories not provided for in, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B23/00 or F04B39/00 - F04B47/00
    • F04B53/14—Pistons, piston-rods or piston-rod connections

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Reciprocating Pumps (AREA)

Abstract

本发明公布了一种具有夹形放大机构的被动阀压电泵；包括泵盖、密封盖、夹形放大机构、压电叠堆、泵体、六角头螺栓、螺母组成；所述泵体开设上下两条流道并安装有被动截止阀。在本发明中，当中间压电叠堆通反向电压缩短，两边压电叠堆通正向电压伸长，推动夹形放大机构两端向内运动，带动弹性薄膜向内收缩，液体流入泵体，当两边压电叠堆通反向电压缩短，中间压电叠堆通正向电压伸长时，推动夹形放大机构两端向外运动，带动弹性薄膜向外扩张，液体流出泵体；为了提高压电泵的流量，本发明中设置了夹形放大机构，用来放大叠堆位移，从而提高压电泵的性能。

Description

一种具有夹形放大机构的被动阀压电泵
技术领域
本发明涉及一种具有夹形放大机构的被动阀压电泵，属于流体机械领域。
背景技术
压电微泵从20世纪70年代至今得到了世界各地研究机构的持续研究与广泛关注。压电隔膜泵根据阀的有无分为无阀压电隔膜泵和有阀压电隔膜泵，有阀压电隔膜泵由可分为主动阀压电隔膜泵和被动阀压电隔膜泵，主动阀压电隔膜泵的输出性能以及阀的截止性好，但结构复杂，而被动压电隔膜泵的结构简单，缺点是阀的截止性较差。
发明内容
本发明针对目前存在的问题，提出一种能够能够放大叠堆位移，提高泵送效率的压电叠堆泵。
本发明采用的技术方案是：一种具有夹形放大机构的被动阀压电泵，由泵盖(1)、密封盖(2)、两边压电叠堆(3)、中间压电叠堆(4)、夹形放大机构(5)、泵体(6)、六角头螺栓(8-1)、螺母(8-2)、密封盖螺栓(2-1)、杆内螺栓(5-1)组成；
所述泵盖(1)开设有泵盖六角头螺栓孔(1-1)，所述密封盖(2)开设有L形槽(6-13)、沉孔(2-2)，所述密封盖螺栓(2-1)与沉孔(2-2)配合，所述夹形放大机构(5)由杆内螺栓(5-1)、杆(5-2)组成，所述杆(5-2)开设杆内螺栓孔(5-3)，所述杆内螺栓(5-1)与杆内螺栓孔(5-3)配合，所述泵体(6)开设有进液口(6-1)、泵体螺栓孔(6-2)、上流道(6-3)、进口阀(6-4)、上腔体(6-5)、弹性薄膜(6-6)、出口阀(6-7)、上出液口(6-8)、引线孔(6-9)、下出液口(6-11)、下腔体(6-12)、L形槽(6-13)、下流道(6-14)、螺纹孔(6-15)，所述弹性薄膜(6-6)与泵壁(6-10)的连接方式为粘连，所述弹性薄膜(6-6)与夹形放大机构(5)的连接方式为粘连，所述密封盖(2)与弹性薄膜(6-6)的连接方式为粘连，所述沉孔(2-2)与螺纹孔(6-15)配合，所述密封盖螺栓(2-1)与螺纹孔(6-15)配合，所述进口阀(6-4)、出口阀(6-7)与泵壁(6-10)的连接方式为进口阀(6-4)、出口阀(6-7)固定在与进口阀(6-4)、出口阀(6-7)厚度相等的L形槽(6-13)内，所述泵盖(1)和泵体(6)用六角头螺栓(8-1)和螺母(8-2)进行配合，达到装配整个泵的目的；
作为上述技术方案的进一步改进，所述泵体(6)内设有夹形放大机构(5)，当中间压电叠堆(4)通反向电压缩短，两边压电叠堆(3)通正向电压伸长，推动夹形放大机构(5)两端向内运动，带动弹性薄膜(6-6)向内收缩，液体流入泵体(6)，当两边压电叠堆(3)通反向电压缩短，中间压电叠堆(4)通正向电压伸长时，带动夹形放大机构(5)两端向外运动，进而带动弹性薄膜(6-6)向外扩张，液体流出泵体(6)，通过夹形放大机构(5)可以将两边压电叠堆(3)、中间压电叠堆(4)的位移进行放大，进而提高压电泵的输出流量；
作为上述技术方案的进一步改进，所述的进口阀(6-4)、出口阀(6-7)与泵壁(6-10)的连接方式为进口阀(6-4)、出口阀(6-7)固定在L形的与进口阀(6-4)、出口阀(6-7)厚度相等的L形槽(6-13)内，省去了螺钉连接，设计简单，便于装配；
作为上述技术方案的进一步改进，所述泵体(6)开设有引线孔(6-9)，便于将导线引出泵体(6)。
本发明的有益效果是：
此发明泵体内设置了夹形放大机构可以将压电叠堆的位移进行放大，进而提高压电泵的输出流量；
此发明泵体内阀的安装方式为阀片安装在与阀片厚度相当的L形槽内，装配简单。
附图说明
图1所示为本发明的外观示意图。
图2所示为本发明的***图。
图3所示为本发明的泵盖结构示意图。
图4所示为本发明的泵体结构示意图。
图5所示为本发明的密封盖结构示意图。
图6所示为本发明的夹形放大机构结构示意图。
图7所示为本发明的杆的结构示意图。
具体实施方式
为了使本领域技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图对本发明进行详细描述，本部分的描述仅是示范性和解释性，不应对本发明的保护范围有任何的限制作用。
请参阅图1～7，本发明实施例中，具体结构包括：
一种具有夹形放大机构的被动阀压电泵，由泵盖(1)、密封盖(2)、两边压电叠堆(3)、中间压电叠堆(4)、夹形放大机构(5)、泵体(6)、六角头螺栓(8-1)、螺母(8-2)、密封盖螺栓(2-1)、杆内螺栓(5-1)组成，所述泵盖(1)开设有泵盖六角头螺栓孔(1-1)，所述密封盖(2)开设有L形槽(6-13)、沉孔(2-2)，所述密封盖螺栓(2-1)与沉孔(2-2)配合，所述夹形放大机构(5)由杆内螺栓(5-1)、杆(5-2)组成，所述杆(5-2)开设杆内螺栓孔(5-3)，所述杆内螺栓(5-1)与杆内螺栓孔(5-3)配合，所述泵体(6)开设有进液口(6-1)、泵体螺栓孔(6-2)、上流道(6-3)、进口阀(6-4)、上腔体(6-5)、弹性薄膜(6-6)、出口阀(6-7)、上出液口(6-8)、引线孔(6-9)、下出液口(6-11)、下腔体(6-12)、L形槽(6-13)、下流道(6-14)、螺纹孔(6-15)，所述弹性薄膜(6-6)与泵壁(6-10)的连接方式为粘连，所述弹性薄膜(6-6)与夹形放大机构(5)的连接方式为粘连，所述密封盖(2)与弹性薄膜(6-6)的连接方式为粘连，所述沉孔(2-2)与螺纹孔(6-15)配合，所述密封盖螺栓(2-1)与螺纹孔(6-15)配合，所述进口阀(6-4)、出口阀(6-7)与泵壁(6-10)的连接方式为进口阀(6-4)、出口阀(6-7)固定在与进口阀(6-4)、出口阀(6-7)厚度相等的L形槽(6-13)内，所述泵盖(1)和泵体(6)用六角头螺栓(8-1)和螺母(8-2)进行配合，达到装配整个泵的目的；
作为上述技术方案的进一步改进，所述泵体(6)内设有夹形放大机构(5)，当中间压电叠堆(4)通反向电压缩短，两边压电叠堆(3)通正向电压伸长，推动夹形放大机构(5)两端向内运动，带动弹性薄膜(6-6)向内收缩，液体流入泵体(6)，当两边压电叠堆(3)通反向电压缩短，中间压电叠堆(4)通正向电压伸长时，带动夹形放大机构(5)两端向外运动，进而带动弹性薄膜(6-6)向外扩张，液体流出泵体(6)，通过夹形放大机构(5)可以将两边压电叠堆(3)、中间压电叠堆(4)的位移进行放大，进而提高压电泵的输出流量；
作为上述技术方案的进一步改进，所述的进口阀(6-4)、出口阀(6-7)与泵壁(6-10)的连接方式为进口阀(6-4)、出口阀(6-7)固定在L形的与进口阀(6-4)、出口阀(6-7)厚度相等的L形槽(6-13)内，省去了螺钉连接，设计简单，便于装配；
作为上述技术方案的进一步改进，所述泵体(6)开设有引线孔(6-9)，便于将导线引出泵体(6)。
本发明的工作过程分为第一工作过程和第二工作过程：
第一工作过程：施加正向电信号于中间压电叠堆(4)，反向电信号于两边压电叠堆(3)，两边压电叠堆(3)缩短，中间压电叠堆(4)伸长，推动夹形放大机构(5)，使夹形放大机构(5)的两端向外扩张，使得弹性薄膜(6-6)向外变形，进而使上腔体(6-5)和下腔体(6-12)体积减小，压强增大，出口阀(6-7)打开，进口阀(6-4)关闭，上腔体(6-5)和下腔体(6-12)中的液体分别由上出液口(6-8)和下出液口(6-11)排出泵体(6)；
第二工作过程：施加反向电信号于中间压电叠堆(4)，正向电信号于两边压电叠堆(3)，中间压电叠堆(4)缩短，两边压电叠堆(3)伸长，推动夹形放大机构(5)，使夹形放大机构(5)的两端向内扩收缩，使弹性薄膜(6-6)向内变形，进而使上腔体(6-5)和下腔体(6-12)体积增大，压强减小，进口阀(6-4)打开，出口阀(6-7)关闭，液体由进液口(6-1)进入上腔体(6-5)和下腔体(6-12)，经过上述两个工作过程的循环工作，实现了液体的连续输出。
本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上说明只适用于帮助理解本发明的方法及其核心思想。以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，由于文字表达的有限性，而客观上存在无限的具体结构，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进、润饰或变化，也可以将上述技术特征以适当的方式进行组合；这些改进润饰、变化或组合，或未经改进将发明的构思和技术方案直接应用于其它场合的，均应视为本发明的保护范围。
此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (4)

1.一种具有夹形放大机构的被动阀压电泵，由泵盖(1)、密封盖(2)、密封盖螺栓(2-1)、两边压电叠堆(3)、中间压电叠堆(4)、夹形放大机构(5)、杆内螺栓(5-1)、泵体(6)、六角头螺栓(8-1)、螺母(8-2)、组成，所述泵盖(1)开设有泵盖六角头螺栓孔(1-1)，所述密封盖(2)开设有L形槽(6-13)、沉孔(2-2)，所述密封盖螺栓(2-1)与沉孔(2-2)配合，所述夹形放大机构(5)由杆内螺栓(5-1)、杆(5-2)组成，所述杆(5-2)开设杆内螺栓孔(5-3)，所述杆内螺栓(5-1)与杆内螺栓孔(5-3)配合，所述泵体(6)开设有进液口(6-1)、泵体螺栓孔(6-2)、上流道(6-3)、进口阀(6-4)、上腔体(6-5)、弹性薄膜(6-6)、出口阀(6-7)、上出液口(6-8)、引线孔(6-9)、下出液口(6-11)、下腔体(6-12)、L形槽(6-13)、下流道(6-14)、螺纹孔(6-15)，所述弹性薄膜(6-6)与泵壁(6-10)的连接方式为粘连，所述弹性薄膜(6-6)与夹形放大机构(5)的连接方式为粘连，所述密封盖(2)与弹性薄膜(6-6)的连接方式为粘连，所述沉孔(2-2)与螺纹孔(6-15)配合，所述密封盖螺栓(2-1)与螺纹孔(6-15)配合，所述进口阀(6-4)、出口阀(6-7)与泵壁(6-10)的连接方式为进口阀(6-4)、出口阀(6-7)固定在与进口阀(6-4)、出口阀(6-7)厚度相等的L形槽(6-13)内，所述泵盖(1)和泵体(6)用六角头螺栓(8-1)和螺母(8-2)进行配合，达到装配整个泵的目的。
2.根据权利要求1所述的一种具有夹形放大机构的被动阀压电泵，其特征在于所述泵体(6)内设有夹形放大机构(5)，当中间压电叠堆(4)通反向电压缩短，两边压电叠堆(3)通正向电压伸长，推动夹形放大机构(5)两端向内运动，带动弹性薄膜(6-6)向内收缩，液体流入泵体(6)，当两边压电叠堆(3)通反向电压缩短，中间压电叠堆(4)通正向电压伸长时，带动夹形放大机构(5)两端向外运动，进而带动弹性薄膜(6-6)向外扩张，液体流出泵体(6)，通过夹形放大机构(5)可以将两边压电叠堆(3)、中间压电叠堆(4)的位移进行放大，进而提高压电泵的输出流量。
3.根据权利要求1所述的一种具有夹形放大机构的被动阀压电泵，其特征在于所述的进口阀(6-4)、出口阀(6-7)与泵壁(6-10)的连接方式为进口阀(6-4)、出口阀(6-7)固定在L形的与进口阀(6-4)、出口阀(6-7)厚度相等的L形槽(6-13)内，省去了螺钉连接，设计简单，便于装配。
4.根据权利要求1所述的一种具有夹形放大机构的被动阀压电泵，其特征在于所述泵体(6)开设有引线孔(6-9)，便于将导线引出泵体(6)。
CN202011066957.8A 2020-10-04 2020-10-04 一种具有夹形放大机构的被动阀压电泵 Active CN112196758B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202011066957.8A CN112196758B (zh) 2020-10-04 2020-10-04 一种具有夹形放大机构的被动阀压电泵

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202011066957.8A CN112196758B (zh) 2020-10-04 2020-10-04 一种具有夹形放大机构的被动阀压电泵

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN112196758A true CN112196758A (zh) 2021-01-08
CN112196758B CN112196758B (zh) 2022-06-17

Family

ID=74013049

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202011066957.8A Active CN112196758B (zh) 2020-10-04 2020-10-04 一种具有夹形放大机构的被动阀压电泵

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN112196758B (zh)

Citations (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4518887A (en) * 1983-02-25 1985-05-21 Nec Corporation Differential lever actuator including differentially force-transmitting members which are not liable to break
US4736131A (en) * 1985-07-30 1988-04-05 Nec Corporation Linear motor driving device
US5907211A (en) * 1997-02-28 1999-05-25 Massachusetts Institute Of Technology High-efficiency, large stroke electromechanical actuator
JP2002371967A (ja) * 2001-06-15 2002-12-26 Hitachi Ltd 低振動ピエゾポンプ
US20090134747A1 (en) * 2006-06-02 2009-05-28 Klaus Reichmann Piezoelectric Generator
KR101279482B1 (ko) * 2012-04-20 2013-06-27 인하대학교 산학협력단 압전 작동기의 변위 확대 장치
CN103388578A (zh) * 2013-08-18 2013-11-13 吉林大学 互感知压电等比例调配泵
CN104821738A (zh) * 2015-05-13 2015-08-05 西安交通大学 一种爬树型压电作动器及作动方法
CN205195594U (zh) * 2015-12-07 2016-04-27 天津大学 一种双驱动微纳双夹持器
CN108302016A (zh) * 2018-03-13 2018-07-20 广州大学 一种连续流体被动阀压电泵
CN108771784A (zh) * 2018-06-22 2018-11-09 杨阳 一种采用压电叠堆的高精度注射器
CN108847781A (zh) * 2018-06-12 2018-11-20 湖北三江航天红林探控有限公司 一种基于压电陶瓷驱动的大行程作动器
WO2018210012A1 (zh) * 2017-05-18 2018-11-22 西安交通大学 反对称布置式单压电堆驱动型双向旋转惯性作动器及方法
CN109139431A (zh) * 2018-09-26 2019-01-04 江西制造职业技术学院 一种基于三角形及杠杆原理的压电叠堆微泵
CN209402438U (zh) * 2019-01-30 2019-09-17 吉林大学 一种两次步进压电旋转驱动器
CN110761965A (zh) * 2019-12-11 2020-02-07 潍坊聚德电子有限公司 微流量泵

Patent Citations (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4518887A (en) * 1983-02-25 1985-05-21 Nec Corporation Differential lever actuator including differentially force-transmitting members which are not liable to break
US4736131A (en) * 1985-07-30 1988-04-05 Nec Corporation Linear motor driving device
US5907211A (en) * 1997-02-28 1999-05-25 Massachusetts Institute Of Technology High-efficiency, large stroke electromechanical actuator
JP2002371967A (ja) * 2001-06-15 2002-12-26 Hitachi Ltd 低振動ピエゾポンプ
US20090134747A1 (en) * 2006-06-02 2009-05-28 Klaus Reichmann Piezoelectric Generator
KR101279482B1 (ko) * 2012-04-20 2013-06-27 인하대학교 산학협력단 압전 작동기의 변위 확대 장치
CN103388578A (zh) * 2013-08-18 2013-11-13 吉林大学 互感知压电等比例调配泵
CN104821738A (zh) * 2015-05-13 2015-08-05 西安交通大学 一种爬树型压电作动器及作动方法
CN205195594U (zh) * 2015-12-07 2016-04-27 天津大学 一种双驱动微纳双夹持器
WO2018210012A1 (zh) * 2017-05-18 2018-11-22 西安交通大学 反对称布置式单压电堆驱动型双向旋转惯性作动器及方法
CN108302016A (zh) * 2018-03-13 2018-07-20 广州大学 一种连续流体被动阀压电泵
CN108847781A (zh) * 2018-06-12 2018-11-20 湖北三江航天红林探控有限公司 一种基于压电陶瓷驱动的大行程作动器
CN108771784A (zh) * 2018-06-22 2018-11-09 杨阳 一种采用压电叠堆的高精度注射器
CN109139431A (zh) * 2018-09-26 2019-01-04 江西制造职业技术学院 一种基于三角形及杠杆原理的压电叠堆微泵
CN209402438U (zh) * 2019-01-30 2019-09-17 吉林大学 一种两次步进压电旋转驱动器
CN110761965A (zh) * 2019-12-11 2020-02-07 潍坊聚德电子有限公司 微流量泵

Also Published As

Publication number Publication date
CN112196758B (zh) 2022-06-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102691694B (zh) 一种自驱动的精密步进式液压动力装置
CN202597033U (zh) 一种串-并联混合驱动的压电泵
CN112196758B (zh) 一种具有夹形放大机构的被动阀压电泵
CN108180128B (zh) 主动配流的单柱塞泵
CN216477770U (zh) 一种双泵腔集成一体式阀片体的压电泵
CN205243798U (zh) 一种液压放大式压电叠堆泵
CN202579446U (zh) 一种自驱动的精密步进式液压动力装置
CN111980885B (zh) 一种出口带隔板的层叠式双腔并联压电泵
CN210343889U (zh) 一种用于液压缸的增压装置
CN112412756A (zh) 一种具有嵌入式随动伞形阀的压电泵
CN112049781A (zh) 一种具有放大机构的被动阀压电泵
CN109162904B (zh) 一种斜倾式双主动阀压电泵
CN202579118U (zh) 压电振子双侧驱动流体的串联泵
GB1132973A (en) Improvements in hydraulic transmission power plants
CN112253446B (zh) 快速装拆式阀组、往复泵液力端与拆卸方法
CN213684460U (zh) 可变容积压电泵
CN209976747U (zh) 一种圆顶复合结构无阀压电泵
CN113123945A (zh) 一种用于农业喷灌的基于柔性支撑的音叉式谐振泵
CN113187701A (zh) 一种杠杆放大式压电泵
CN109244507B (zh) 一种燃料电池氢气回流方法
CN112177902A (zh) 一种叶片式阻流体压电泵
CN112196773A (zh) 一种环形腔二次振动无阀压电泵
CN112196757A (zh) 一种双杠杆放大的压电叠堆柱塞泵
CN112196754B (zh) 一种基于菱形放大机构的一体阀压电泵
CN106996366B (zh) 三柱塞液压隔膜往复泵

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant