CN110940989A - 一种振镜和激光雷达 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种振镜和激光雷达，该振镜包括：固定座、振镜驱动架：包括快轴支架和慢轴支架，包括快轴框，反射镜安装在快轴支架的快轴框中，快轴支架连接于慢轴支架内，振镜驱动架旋转连接于固定座中；快轴框围绕第一方向扭动，慢轴框围绕第二方向扭动；慢轴驱动组件：包括电机和凸轮；凸轮与电机连接，凸轮的边缘与慢轴支架的一端侧面抵接，电机驱动凸轮围绕第二方向转动，并带动慢轴支架围绕第二方向转动。如此，可提高振镜可靠性，提高其抗振动和冲击能力，利于延长激光雷达的寿命。

Description

一种振镜和激光雷达

技术领域

本发明实施例涉及激光雷达技术领域，尤其涉及一种振镜和激光雷达。

背景技术

激光雷达是以发射激光束探测目标物体的位置、速度等特征量的雷达***。随着激光雷达的发展，将微机电***(Micro-Electro-Mechanical System，MEMS)振镜(本文中也简称为“振镜”)应用于激光雷达中，研发固态激光雷达成为近年来激光雷达的发展新趋势。MEMS振镜，是采用MEMS工艺制作的一种微镜，其工作模式多为谐振模式，具有尺寸小、震荡频率高、无旋转部件等优势。

通常，固态激光雷达青睐电磁式MEMS振镜和类MEMS振镜。电磁式MEMS振镜和类MEMS振镜使用电磁力产生转矩，镜面绕扭力梁转动。电磁式MEMS振镜的驱动方式可分为两种，即高频谐振式驱动和低频准静态驱动。其中，高频谐振式驱动借助MEMS振镜谐振状态下的高增益振动，具有频率较高，角度较大的特点。但是，高频谐振式驱动对环境及振动较为敏感，必须使用位置反馈对振镜进行闭环控制；并且，谐振扫描无法实现激光雷达所必须的低频慢轴扫描，扫描角度小，效率低。为获得较大扫描角度，可采用低频准静态驱动方式。低频准静态驱动要求电磁力在低频下克服扭力梁刚度，使镜面旋转。为了获得较大的转角，通常需要降低扭力梁的刚度，为满足此要求，需采用长度更长，截面积更小的扭力梁。但是，这种扭力梁刚度低，在外界振动环境下容易发生应力集中而超过材料的应力极限，导致MEMS振镜损坏；或者，由于低刚度而导致MEMS振镜容易受振动影响。由此，MEMS振镜可靠性较差，易受振动或冲击损坏，导致激光雷达的寿命较短。

发明内容

本发明实施例提供一种振镜和激光雷达，以提高MEMS振镜可靠性，提高其抗振动和冲击能力，从而让有利于延长激光雷达的寿命。

第一方面，本发明实施例提出一种振镜，该振镜包括：固定座、振镜驱动架、慢轴驱动组件以及反射镜；

所述振镜驱动架包括快轴支架和慢轴支架，所述快轴支架包括快轴框，所述反射镜安装在所述快轴框中，所述快轴支架连接于所述慢轴支架内，所述振镜驱动架旋转连接于所述固定座中；其中，所述快轴框围绕第一方向扭动，所述慢轴框围绕第二方向扭动，所述第一方向与所述第二方向交叉；

所述慢轴驱动组件包括电机和凸轮；所述凸轮与所述电机连接，所述电机用于驱动所述凸轮围绕所述第二方向转动；所述凸轮的边缘与所述慢轴支架的一端侧面抵接，所述慢轴支架用于在所述凸轮的带动下围绕所述第二方向转动。

在一实施例中，所述慢轴驱动组件还包括弹性件；所述弹性件的一端与所述慢轴支架固定连接，所述弹性件的另一端与所述固定座固定连接，所述弹性件用于产生回复力和阻尼运动，以使所述慢轴支架和所述凸轮保持抵接。

在一实施例中，所述慢轴支架还包括凸块；

所述凸块设置于所述慢轴支架朝向所述凸轮的一侧，所述凸块朝向所述凸轮的一侧与所述凸轮抵接。

在一实施例中，所述慢轴驱动组件还包括滚珠轴承，所述滚珠轴承设置于所述慢轴支架与所述凸轮的抵接位置处。

在一实施例中，所述固定座还包括慢轴轴承和轴承座；

沿所述第二方向，所述慢轴支架的两端套入相对设置的所述慢轴轴承中，所述慢轴轴承设置于所述轴承座中。

在一实施例中，该振镜还包括慢轴角度传感器和慢轴角度磁铁；

所述慢轴角度磁铁固定于所述慢轴支架的一端，所述慢轴角度传感器设置于所述慢轴角度磁铁背离所述慢轴支架的一侧；所述慢轴角度传感器用于感应慢轴角度磁铁的方向和大小以确定所述慢轴支架的旋转角度。

在一实施例中，所述快轴支架还包括快轴扭力梁；沿所述第一方向，所述快轴扭力梁对称连接于所述快轴框与所述慢轴支架之间；

所述快轴扭力梁扭动以带动所述快轴框扭动及复位。

在一实施例中，该振镜还包括快轴磁铁和快轴线圈；

沿所述第二方向，所述快轴磁铁设置于所述慢轴支架的两端，所述快轴线圈环绕设置于所述快轴框的边缘，且穿过所述快轴扭力梁中的至少一个所述快轴扭力梁。

在一实施例中，该振镜还包括快轴转动角度检测组件；所述反射镜包括相对设置的第一镜面和第二镜面，所述第一镜面用于反射探测光束和回波光束；所述快轴转动角度检测组件包括检测光源、光源固定座、快轴角度传感器以及传感器固定支架；

所述检测光源用于向所述第二镜面发射所述检测光束，所述检测光源与所述光源固定座固定连接，所述光源固定座与所述固定座固定连接；所述快轴角度传感器的感光面朝向所述第二镜面，所述快轴角度传感器通过电路板与所述传感器固定支架固定连接，所述传感器固定支架与所述慢轴支架固定连接。

第二方面，本发明实施例还提出一种激光雷达，该激光雷达包括第一方面提供的任一种振镜。

本发明实施例提供的振镜包括固定座、振镜驱动架、慢轴驱动组件以及反射镜；振镜驱动架包括快轴支架和慢轴支架，快轴支架包括快轴框，反射镜安装在快轴框中，快轴支架连接于慢轴支架内，振镜驱动架旋转连接于固定座中；其中，快轴框围绕第一方向扭动，慢轴框围绕第二方向扭动，第一方向与第二方向交叉；慢轴驱动组件包括电机和凸轮；凸轮与电机连接，电机用于驱动凸轮围绕第二方向转动；凸轮的边缘与慢轴支架的一端侧面抵接，慢轴支架用于在凸轮的带动下围绕第二方向转动；如此，采用电机驱动凸轮转动，从而带动慢轴支架转动这样不但可以增大振镜的转角范围，还可以避免振动冲击造成的材料损坏，从而可延长振镜的使用寿命。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图做一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明实施例提供的一种振镜的立体结构示意图；

图2是图1示例的振镜的另一视角立体结构示意图；

图3是图1示例的振镜的又一视角立体结构示意图；

图4是本发明实施例提供的另一种振镜的主视平面结构示意图；

图5是沿图4中A-A的剖面结构示意图；

图6是沿图4中B-B的剖面结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。

本发明实施例提供的振镜(也称为“扫描振镜”)主要用于固态或者混合固态的激光雷达中，通过控制扫描振镜中的反射镜绕快轴转动，可以将投射至反射镜的激光光束反射至垂直视场上，从而实现慢轴扫描；通过控制扫描振镜中的反射镜绕慢轴转动，从而可将投射至反射镜的激光光束反射至水平视场中，从而实现快轴扫描，反射镜绕快轴与慢轴共同转动作用，则可以实现对一定视场角度的扫描探测。其中，反射镜在快轴和慢轴上的转动角度决定了激光雷达的扫描视场角度。

本发明实施例的改进点在于：针对电磁式振镜低频准静态扫描寿命短，易损坏的缺点，慢轴采用旋转连接的方式，具体的采用轴承支撑来实现整体旋转的方式取代传统克服扭力梁刚度进行旋转的方式，并采用电机驱动凸轮转动，从而带动慢轴支架转动，同时采用与慢轴支架固定连接的弹性件产生线性的回复力和阻尼运动，这样不但可以增大振镜的转角范围，还可以避免振动冲击造成的材料损坏，从而可延长振镜的使用寿命，进而可延长激光雷达的使用寿命。同时，轴承的使用保证了慢轴旋转中心与快轴重合，从而有利于实现对反射镜的旋转角度的精确控制。

下面结合图1-图6，对本发明实施例提供的振镜以及激光雷达进行示例性说明。

参考图1-图6，该振镜10包括：固定座100、振镜驱动架110、慢轴驱动组件120以及反射镜130；振镜驱动架110包括快轴支架111和慢轴支架112，快轴支架111包括快轴框1111，反射镜130安装在快轴框1111中，快轴支架111连接于慢轴支架112内，振镜驱动架110旋转连接于固定座100中；其中，快轴框1111围绕第一方向X扭动，慢轴支架112围绕第二方向Y扭动，第一方向X与第二方向Y交叉；慢轴驱动组件120包括电机121、凸轮122和弹性件123；凸轮122与电机121连接，电机121用于驱动凸轮122围绕第二方向Y转动；凸轮122的边缘与慢轴支架112的一端侧面抵接，慢轴支架112用于在凸轮122的带动下围绕第二方向Y转动；弹性件123的一端与慢轴支架112固定连接，弹性件123的另一端与固定座100固定连接，弹性件123用于产生回复力和阻尼运动，以使慢轴支架112和凸轮122保持抵接。

其中，单独的反射镜130(石英玻璃或者蓝宝石或者不锈钢等)与振镜驱动架110组装。振镜驱动架110可包括快轴支架111和慢轴支架112。快轴支架111包括快轴框1111，快轴框通过扭力梁或快轴轴承连接在慢轴支架112上，且位于慢轴支架112的内侧。反射镜130安装在快轴框1111中，示例性的，可以采用粘接、嵌入、卡接等本领域技术人员可知的任一方式将反射镜130固定在快轴框1111中。

其中，快轴支架111和慢轴支架112可围绕相互垂直的两个方向(即第一方向X和第二方向Y)扭动(也可称为“转动”或“旋转”)，从而实现反射镜130在两个维度的转动。示例性的，第一方向X和第二方向Y可相互垂直，或者设置为本领域技术人员可知的其他交叉角度，本发明实施例对此不限定。

其中，慢轴驱动组件120包括电机121、凸轮122以及弹性件123(例如扭簧123)；电机121与凸轮122连接，带动凸轮122绕第二方向Y转动。凸轮122的边缘与慢轴支架112上未设置反射镜130的一面的一侧抵接，因此在凸轮122转动过程中，凸轮122能够带动慢轴支架112绕第二方向Y转动，从而实现激光光束在第一方向上的扫描。扭簧123的一端与慢轴支架112固定连接，另一端固定在固定座100上。因此，在慢轴支架112旋转的过程中，扭簧123会发生形变，从而产生线性的回复力和阻尼运动，使得慢轴支架112一直与凸轮122保持接触状态，进而慢轴支架112可跟随凸轮122的边缘运动轨迹而运动，如此不但可以增大转角范围，还可以避免振动冲击造成的材料损坏并延长使用寿命。

也即，本发明实施例提供的振镜10中，慢轴采用电机121结合凸轮122的驱动结构，利用凸轮122的运动轨迹使得慢轴周期性转动，具有电机121速度可控、凸轮122运动轨迹有规律的特点，从而使得振镜10运动较平稳。

需要说明的是，凸轮122的运动轨迹，也即凸轮122的边缘轮廓形状，可以根据振镜10的实际需求，例如转动角度的需求进行调节，且设计简单。

同时，弹性件123(例如扭簧123)固定在固定座100上的位置可调，从而可以根据需要的转动角度来调整其位置，本发明实施例其位置不作限定。

最后，该振镜10中的慢轴驱动组件120还可不设置弹性件123，而是采用本领域技术人员可知的其他方式实现慢轴的复位，本发明实施例对此不限定。

在一实施例中，慢轴支架112还包括凸块1121；凸块1121设置于慢轴支架112朝向凸轮122的一侧，凸块1121朝向凸轮122的一侧与凸轮122抵接。

如此设置，可使慢轴支架112与凸轮122之间的抵接方式简单，且慢轴支架112的主体形状可规则设置，从而有利于使振镜10的整体设计方式较简单。

需要说明的是，凸块1121与慢轴支架112的其他结构可独立形成再固定，也可一体成型，本发明实施例对此不作限定。

在一实施例中，慢轴驱动组件120还包括滚珠轴承(图中未示出)，滚珠轴承设置于慢轴支架112与凸轮122的抵接位置处。

其中，通过在慢轴支架112与凸轮122的接触处设置滚珠轴承，可减小凸轮122余慢轴支架112之间的摩擦损耗，从而有利于提高振镜10的寿命。

在一实施例中，固定座100还包括慢轴轴承101和轴承座102；沿第二方向Y，慢轴支架122的两端套入相对设置的慢轴轴承101中，慢轴轴承101设置于轴承座102中。

其中，慢轴支架112的两端固定在固定座100上。具体地，固定座100上沿第二方向Y设置有两个慢轴轴承101，慢轴支架112的两端直接套入慢轴轴承101中。慢轴轴承101上还设置有轴承座120，用于固定慢轴轴承101，并对慢轴轴承101进行保护。

如此，采用轴承支撑以实现慢轴支架112旋转的方式取代传统克服扭力梁刚度进行旋转的方式，可以增大转角范围；同时，可以使慢轴驱动阻力极小，在低频工作状态亦可驱动较大的负载，且有利于降低磨损，延长振镜10的寿命。

在一实施例中，该振镜10还包括慢轴角度传感器141和慢轴角度磁铁142；慢轴角度磁铁142固定于慢轴支架112的一端，慢轴角度传感器141设置于慢轴角度磁铁142背离慢轴支架112的一侧；慢轴角度传感器141用于感应慢轴角度磁铁142的方向和大小以确定慢轴支架112的旋转角度。

示例性的，慢轴角度磁铁142套入在慢轴轴承101中。

如此，通过在慢轴支架112的末端设置慢轴角度传感器141和慢轴角度磁铁142，可使慢轴角度磁铁141与慢轴支架112同步转动，从而可通过慢轴角度传感器141感应慢轴角度磁铁142的方向和大小，可以确定慢轴支架112的旋转角度，进而确定与其联动的反射镜130在慢轴的旋转角度；也即，可实现检测慢轴旋转角度的功能，从而实现对慢轴转动角度的精确测量。

上述设置，还可简化振镜10的整体体积，有利于其小型化设计。另外，可以避免快轴方向和慢轴方向的相互影响，从而能更准确地测量慢轴方向的的旋转角度。

本领域技术人员可理解，本文中的“旋转角度”既可包括旋转方向，例如，顺时针或逆时针；也可包括旋转大小，例如5°或8°。

示例性的，

在上述实施例中，快轴可采用扭力梁或轴承支撑，以实现快轴转动。下文实施例以扭力梁为例进行示例性说明。

在一实施例中，快轴支架111还包括快轴扭力梁1112；沿第一方向X，快轴扭力梁1112对称连接于快轴框1111与慢轴支架112之间；快轴扭力梁1112扭动以带动快轴框1111扭动及复位。

其中，快轴扭力梁1112可在外力作用下带动快轴框1111扭动，此时，快轴扭力梁1112发生可恢复形变；在快轴扭力梁1112的自身恢复力的作用下，快轴扭力梁1112可恢复至初始状态，从而带动快轴框1111与之同步复位。

如此，针对快轴框1111的复位，可无需设置额外的复位结构件，从而可使快轴结构简单，从而有利于简化振镜10以及激光雷达的整体结构，以实现振镜10以及激光雷达的小型化设计。

在本实施例中，快轴扭力梁1112可为直线结构，直线结构的快轴扭力梁1112沿第一方向X延伸，如此，快轴扭力梁1112的结构较简单，其设计难度较低，且制作难度和制作成本较低。

在其他实施例中，快轴扭力梁1112也可以采用其他的异形扭力梁结构，异形扭力梁的形状为非直线延伸型；示例性的，异形扭力梁的形状可为由曲线和直线中的至少一种形成的非直线结构，只要确保其重心位于第一方向X上即可。如此，可以降低快轴扭力梁1112的整体刚度，增大转角范围；同时降低快轴扭力梁1112的整体应力，避免应力集中，从而避免振动冲击造成的损坏，以及延长疲劳极限；进而，有利于提高振镜10的控制精准度，同时有利于延长振镜10的使用寿命。

示例性的，快轴框1111和快轴扭力梁1112可以为一体成型设置，也可以为分体设置，并通过固定件进行固定。可根据振镜10的实际需求设置，本发明实施例对此不作限定。

在一实施例中，该振镜10还包括快轴磁铁151和快轴线圈152；沿第二方向Y，快轴磁铁151设置于慢轴支架112的两端，快轴线圈152环绕设置于快轴框1111的边缘，且穿过快轴扭力梁1112中的至少一个快轴扭力梁1112。

如此，可实现快轴框1111采用快轴线圈152在磁场中产生扭矩的方式驱动。

其中，慢轴支架112上固定于固定座100的两端设置有快轴磁铁151。快轴磁体151相对于快轴支架111的快轴扭力梁1112对称设置。快轴框1111上未设置反射镜130的一面(可理解为快轴框1111的背面)设置有快轴线圈152，快轴线圈152可以沿快轴框1111的边缘设置。当快轴线圈152通电时，会在快轴磁铁151(两个快轴磁铁151的极性相反)形成的磁场中产生洛仑磁力，即快轴线圈152会受到电磁力作用，电磁力在低频下克服快轴扭力梁1112的刚性使之产生弹性变形，从而使得快轴框1111带动反射镜130绕快轴(也即第一方向X)转动，从而实现激光光束在第二方向Y上的扫描。

在一实施例中，该振镜10还包括快轴转动角度检测组件160；反射镜130包括相对设置的第一镜面131和第二镜面132，快轴转动角度检测组件160设置于第二镜面132所在的一侧；第一镜面131用于反射探测光束和回波光束；第二镜面132用于反射快轴转动角度检测组件160的检测光束，以确定反射镜130的旋转角度。

如此，利用快轴转动角度检测组件160，基于光学检测原理，可实现对快轴旋转角度的测量。

在一实施例中，快轴转动角度检测组件160包括检测光源161、光源固定座162、快轴角度传感器163以及传感器固定支架164；检测光源161用于向第二镜面132发射检测光束，检测光源161与光源固定座162固定连接，光源固定座162与固定座100固定连接；快轴角度传感器163的感光面朝向第二镜面132，快轴角度传感器163通过电路板与传感器固定支架164固定连接，传感器固定支架164与慢轴支架112固定连接。

其中，反射镜130的第一镜面131用于对激光雷达中的激光器发射的激光光束以及相应的回波光束进行反射。快轴转动角度检测组件160设置在反射镜130的第二镜面132所在的一侧，可包括检测光源161、光源固定座162、快轴角度传感器163以及传感器固定支架164。检测光源161固定在光源固定座162上，检测光源161用于向第二镜面132发射激光。快轴角度传感器163固定在电路板上(也即图2中标注163的地方，与163并列设置的是检测光源161的电路板)，电路板固定在传感器固定支架164上，传感器固定支架164则固定在慢轴支架112上。快轴角度传感器163能够接受第二镜面132反射回来的激光光束，并根据接收到的激光光束确定反射镜130的旋转角度。

在一实施例中，快轴角度传感器163可为PSD(即光电探测器件)、CMOS、硅光电池或者本领域技术人员可知的其他类型的光电传感器，本发明实施例对此不赘述也不限定。

需要说明的是，本发明是实施例提供的振镜10结构中，主要改进点在于对慢轴的驱动方式进行改进，快轴可以采用本发明实施例中示出的驱动方式，也可以采用本领域技术人员可知的其他驱动方式，本发明实施例不限定。

在上述实施方式中，本发明实施例提供的振镜的改进点在于：

a.慢轴采用轴承支撑，采用电机、凸轮以及弹性件结合的方式进行驱动,实现慢轴旋转,且电机转速可控，使得凸轮与其联动的慢轴支架的转速可控。相对于传统克服扭力梁刚度进行旋转的驱动方式，该驱动方式不受振动影响，有利于延长振镜的使用寿命。

b.快轴采用谐振方式驱动。

c.慢轴角度传感器的安装方式：顺着慢轴旋转的方向，在慢轴轴承末端设置慢轴角度传感器和慢轴传感器磁铁(即“慢轴角度磁铁”)，以实现对慢轴旋转角度的检测。

D.在反射镜的背面设置快轴旋转角度检测组件，以实现对快轴旋转角度的检测。

在上述实施方式的基础上，本发明实施例还提供了一种激光雷达。该激光雷达可包括上述实施方式提供的任一种振镜，因此，该激光雷达也具有上述实施方式中的振镜所具有的有益效果，相同之处可参照上文中对振镜的解释说明进行理解，在此不再赘述。

在其他实施方式中，激光雷达除包括振镜之外，还可包括本领域技术人员可知的其他结构部件，本发明实施例对此不赘述也不作限定。

注意，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。

Claims (10)

1.一种振镜，其特征在于，包括：

固定座、振镜驱动架、慢轴驱动组件以及反射镜；

所述振镜驱动架包括快轴支架和慢轴支架，所述快轴支架包括快轴框，所述反射镜安装在所述快轴框中，所述快轴支架连接于所述慢轴支架内，所述振镜驱动架旋转连接于所述固定座中；其中，所述快轴框围绕第一方向扭动，所述慢轴框围绕第二方向扭动，所述第一方向与所述第二方向交叉；

所述慢轴驱动组件包括电机和凸轮；所述凸轮与所述电机连接，所述电机用于驱动所述凸轮围绕所述第二方向转动；所述凸轮的边缘与所述慢轴支架的一端侧面抵接，所述慢轴支架用于在所述凸轮的带动下围绕所述第二方向转动。

2.根据权利要求1所述的振镜，其特征在于，所述慢轴驱动组件还包括弹性件；所述弹性件的一端与所述慢轴支架固定连接，所述弹性件的另一端与所述固定座固定连接，所述弹性件用于产生回复力和阻尼运动，以使所述慢轴支架和所述凸轮保持抵接。

3.根据权利要求1所述的振镜，其特征在于，所述慢轴支架还包括凸块；

所述凸块设置于所述慢轴支架朝向所述凸轮的一侧，所述凸块朝向所述凸轮的一侧与所述凸轮抵接。

4.根据权利要求1所述的振镜，其特征在于，所述慢轴驱动组件还包括滚珠轴承，所述滚珠轴承设置于所述慢轴支架与所述凸轮的抵接位置处。

5.根据权利要求1所述的振镜，其特征在于，所述固定座还包括慢轴轴承和轴承座；

沿所述第二方向，所述慢轴支架的两端套入相对设置的所述慢轴轴承中，所述慢轴轴承设置于所述轴承座中。

6.根据权利要求5所述的振镜，其特征在于，还包括慢轴角度传感器和慢轴角度磁铁；

所述慢轴角度磁铁固定于所述慢轴支架的一端，所述慢轴角度传感器设置于所述慢轴角度磁铁背离所述慢轴支架的一侧；所述慢轴角度传感器用于感应慢轴角度磁铁的方向和大小以确定所述慢轴支架的旋转角度。

7.根据权利要求1所述的振镜，其特征在于，所述快轴支架还包括快轴扭力梁；沿所述第一方向，所述快轴扭力梁对称连接于所述快轴框与所述慢轴支架之间；

所述快轴扭力梁扭动以带动所述快轴框扭动及复位。

8.根据权利要求7所述的振镜，其特征在于，还包括快轴磁铁和快轴线圈；

沿所述第二方向，所述快轴磁铁设置于所述慢轴支架的两端，所述快轴线圈环绕设置于所述快轴框的边缘，且穿过所述快轴扭力梁中的至少一个所述快轴扭力梁。

9.根据权利要求1所述的振镜，其特征在于，还包括快轴转动角度检测组件；所述反射镜包括相对设置的第一镜面和第二镜面，所述第一镜面用于反射探测光束和回波光束；所述快轴转动角度检测组件包括检测光源、光源固定座、快轴角度传感器以及传感器固定支架；

所述检测光源用于向所述第二镜面发射所述检测光束，所述检测光源与所述光源固定座固定连接，所述光源固定座与所述固定座固定连接；所述快轴角度传感器的感光面朝向所述第二镜面，所述快轴角度传感器通过电路板与所述传感器固定支架固定连接，所述传感器固定支架与所述慢轴支架固定连接。

10.一种激光雷达，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的振镜。

Images