JP3949068B2 - アクチュエータ、このアクチュエータを用いた物体検出装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、アクチュエータ、このアクチュエータを用いた物体検出装置に関し、更に詳しくは、板ばねを用いるアクチュエータ、このアクチュエータを用いた物体検出装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、自動車や自動二輪などの移動体に搭載され、この移動体の外部の情報、例えば移動体の前後左右の物体(例えば、車、人、ガードレールなど)の有無、移動体と物体の距離等を検出する物体検出装置がある。この物体検出装置には、レーザレーダやミリ波レーダが使用されている。レーザレーダは、物体検出装置に設けられた投光素子からレーザ光を照射し、このレーザ光は移動体の外部にある物体で反射し、この物体からのレーザ光(反射光)を物体検出装置に設けられた受光素子が受光するまでの時間により、物体の有無や物体までの距離等を検出するものである。一方、ミリ波レーダは、物体検出装置に設けられたアンテナから電波(ミリ波)を送信し、この電波は移動体の外部にある物体で反射し、この反射した電波(反射波)を上記アンテナあるいは別途設けられた受信用のアンテナが受信した際の位相差などにより、物体の有無や物体までの距離等を検出するものである。
【0003】
上記物体検出装置では、移動体の外部の広い範囲を探査する為に、レーザレーダではレンズ、ミリ波レーダではアンテナを可動させて、レーザ光あるいは電波の照射方向を変更するアクチュエータが用いられている(例えば、特許文献1参照)。このアクチュエータは、レンズなどの光学素子が取り付けられた可動部材(特許文献1では、レンズホルダ15)と固定部材(特許文献1では、ベース部材13)との間にばね(特許文献1では、コイルばね14)が設けられている。また、この可動部材は、駆動手段(特許文献1では、レンズホルダ15に取り付けられた永久磁石18とサイドフレーム16を介してベース部材13に固定されているコイルユニット17)により上下または左右のいずれかの方向に移動することができる。そして、固定部材あるいはこの固定部材を固定する移動体に設けられた投光素子(特許文献1では、レーザ光源8)から照射されるレーザ光を上記駆動手段により可動した可動部材のレンズに入射させることで、レーザ光の照射方向を変更することができる。
【0004】
【特許文献1】
特開平10−123252号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、近年、安全意識の向上、衝突の防止および衝突時の安全性などのニーズの高まりに伴って、物体検出装置の検出範囲を広くするとともに、移動体の外部の詳細な情報が必要となってきた。すなわち、レンズやアンテナが取り付けられている可動部材の可動量を大きくする必要があり、且つこの可動量の大きい可動部材の位置決め精度を確保する必要性が出てきた。そこで、可動部材の固定部材に対する位置や可動部材の可動部材変位量を検出するために、フォトセンサや磁気センサなどを用い、可動部材の位置や可動部材変位量を検出することが考えられる。しかしながら、一般的な安価なフォトセンサや磁気センサでは、光や磁気の強度を検知する範囲が狭いため、可動量が大きい可動部材の位置や可動部材変位量のすべてについて検出することは不可能であった。従って、従来では、検出範囲の狭い一般的で安価なセンサを用いることができず、検出範囲の広いセンサを位置検出手段として用いる必要があり、物体検出装置が割高(高コスト)になるといった問題があった。
【0006】
そこで、この発明は、上記に鑑みてなされたものであって、可動部材の可動量が大きくても、検出範囲の狭い安価な位置検出手段により、可動部材の位置や可動部材変位量の検出を可能とし、これにより可動部材の位置決め精度の確保を図ることができるアクチュエータ、これを用いた物体検出装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、この発明では、固定部材と可動部材とに両端が支持されている板ばねと、可動部材を可動させる駆動手段と、板ばねの可動部材の可動に伴って湾曲する平面部の所定位置を検出対象とする位置検出手段と、位置検出手段が検出した板ばねと位置検出手段との距離から可動部材の変位量を算出する算出手段とを備え、所定位置は、可動部材の可動に伴う板ばね変位量が可動部材の可動変位量よりも小さい位置であることを特徴とする。
【0008】
この発明によれば、可動部材の可動に伴って変位する板ばねの平面部の所定位置を検出対象とするが、この板ばねの平面部は可動部材の可動に伴って湾曲する。従って、この湾曲により板ばねの平面部は可動するので、この板ばねの平面部は位置検出手段に対して変位する。この板ばね変位量は可動部材の可動部材変位量よりも小さい範囲で変位するため、検出範囲の狭い安価な位置検出手段を用いることができ、可動部材の可動量が大きくても、この板ばねの平面部の所定位置と位置検出手段との距離から可動部材の可動部材変位量を算出することができ、可動部材の位置決め精度の確保を図ることができる。ここで、板ばねの平面部の所定位置とは、可動部材の可動に伴って変位する板ばねの板ばね変位量を検出する位置検出手段の検出結果がリニアリティーを確保できる位置であることが好ましい。
【0009】
また、この発明では、請求項1に記載のアクチュエータにおいて、位置検出手段は、板ばねに設けられた中空部の固定部材側から可動部材側に突出する突出部との距離を検出することを特徴とする。
【0010】
この発明によれば、突出部は、中空部の固定部材側の変位に伴ってこの中空部の固定部材側を支点に比較的湾曲せずに変位する。従って、可動部材の可動に伴って変位する板ばねを検出対象とするのと比較して、突出部は板ばね変位量が少なく、位置検出手段の検出対象を板ばねの突出部の任意の位置とすることができ、設計の自由度の向上を図ることができる。また、突出部は比較的湾曲せずに変位するため、位置検出手段から投光される光の反射角度を安定させることができる。これにより、位置検出手段は、安定して受光することができ、可動部材の位置決め精度をさらに確保することができる。
【0011】
また、この発明では、請求項2に記載のアクチュエータにおいて、板ばねの中空部の形状は、当該中空部の中央部が広く、当該中央部から固定部材側および可動部材側に向かって狭い形状であることを特徴とする。
【0012】
この発明によれば、可動部材が可動した際の板ばねにかかる局部応力を分散化することができ、局部的な疲労を防止し、板ばねの寿命を延ばすことができる。
【0013】
また、この発明では、請求項2または3に記載のアクチュエータにおいて、位置検出手段は、突出部に設けられた反射体との距離を検出することを特徴とする。
【0014】
この発明によれば、位置検出手段が検出する対象を板ばねではなく、反射体とするので、板ばねのように経年劣化により表面の光の反射率が変化せず、位置検出手段が長期間安定した受光をすることができる。これにより、可動部材の位置決め精度を長期間確保することができる。ここで、反射体とは、経年劣化によりその表面の光の反射率が変化しないもの、例えば経年劣化による反射むらの少ない樹脂等である。
【0015】
また、この発明では、請求項1〜4のいずれか一つに記載のアクチュエータにおいて、位置検出手段が投受光素子を有するフォトセンサであることを特徴とする。
【0016】
また、この発明では、請求項2または3に記載のアクチュエータにおいて、位置検出手段は、突出部に設けられた磁気を発生する磁性体との距離を検出する磁気センサであることを特徴とする。
【0017】
これらの発明によれば、入手性が高く、安価で、且つ小型のフォトセンサあるいは磁気センサを位置検出手段として用いるので、可動部材の位置決め精度を確保するアクチュエータを簡単な構成で、且つ低コストで提供できる。
【0022】
また、この発明では、レーザ光を投光する投光手段と、当該レーザ光の照射方向を少なくとも上下または左右のいずれかに変更するアクチュエータと、当該レーザ光が物体から反射された反射光を受光する受光手段とを備え、受光された当該反射光により移動体の外部の物体の有無、当該移動体と物体との距離等を検出する物体検出装置において、アクチュエータとして請求項1〜6のいずれか一つに記載のアクチュエータを用い、アクチュエータの可動部材に少なくともレーザ光の照射方向を変更する光学素子を設けることを特徴とする。
【0023】
また、この発明では、電波を送信する送信手段と、当該電波の照射方向を少なくとも上下または左右のいずれかに変更するアクチュエータと、当該電波が物体に反射する反射波を受信する受信手段とを備え、受信された当該反射波により移動体の外部の物体の有無、当該移動体と物体との距離等を検出する物体検出装置において、アクチュエータとして請求項1〜6のいずれか一つに記載のアクチュエータを用い、アクチュエータの可動部材に少なくとも電波の照射するアンテナを設けることを特徴とする。
【0024】
これらの発明によれば、アクチュエータとして請求項1〜6のいずれか一つに記載のアクチュエータを用いるので、検出範囲の狭い安価な位置検出手段を用いることができ、光学素子あるいはアンテナが設けられた可動部材の可動量が大きくても、この変位部材と位置検出手段との距離から可動部材の可動部材変位量を算出することができ、可動部材の位置決め精度の確保を図ることができる。従って、可動部材に設けられたレーザ光の照射方向を変更する光学素子あるいは電波を照射するアンテナの位置決め精度の確保を図ることができる。これにより、投光手段から投光されたレーザ光あるいは送信手段から送信された電波の照射方向の精度を確保することができ、移動体の外部の物体の有無、当該移動体と物体との距離等の検出精度を確保することができる。ここで、光学素子とは、レンズ、ミラーなどの光を屈折させることができるものをいう。
【0025】
【発明の実施の形態】
以下、この発明につき図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。また、下記実施の形態における構成要素には、当業者が容易に想定できるもの或いは実質的に同一のものが含まれる。
【0026】
〔第一実施形態〕
図1は、第一実施形態にかかるアクチュエータの概略構成例を示す図であり、同図(a)は斜視図、同図(b)は平面図である。同図(a)に示すように、アクチュエータ1は、固定部材2と、可動部材3と、2つの板ばね4と、位置検出手段5と、駆動手段6と、により構成されている。固定部材2は、同図(b)に示すように、コの字状の部材であり、一方の端部は板ばね4の一端を保持しており、他方の端部には後述する駆動手段6を構成するヨーク7と2つの磁石8が取り付けられている。可動部材3は、板状の部材であり、その両端部を板ばね4の一端が支持しており、固定部材2に取り付けられている磁石8に対向する位置にこの駆動手段6を構成するコイル9が取り付けられている。すなわち、2つの板ばね4は、固定部材2と可動部材3とに両端が支持されている。なお、10は後述するこのアクチュエータを用いた物体検出装置の投受光用のレンズである。
【0027】
2つの板ばね4は、固定部材2と可動部材3との間に平行に配置され、上述のようにその両端が固定部材2と可動部材3のそれぞれに支持されている。つまり、板ばね4は、可動部材3を固定部材2に対して並行支持している。位置検出手段5は、一方の板ばね4に対向するように固定部材2に設けられ、この板ばね4に光を照射し、この光により板ばね4からの反射光を受光して、板バネ4の変位量を検出するフォトセンサである。位置検出手段5は、板ばね4の平面部4aの所定位置に対向するように固定部材2に取り付けられている。なお、板ばね4の平面部4aの所定位置については後述する。
【0028】
駆動手段6は、固定部材2に取り付けられたヨーク7と2つの磁石8とからなる磁気回路と、可動部材3に取り付けられたコイル9とによりボイスコイルモータを形成し、コイル9に電流を流すことで、可動部材3が同図(b)に示す、矢印Aまたは矢印Bのいずれかの方向に可動、つまり可動する駆動力を与えるものである。なお、コイル9は、2つの板ばね4に電気的に接続、すなわちコイル9の図示しない導線の両端のそれぞれが板ばね4に接続されており、駆動手段6の駆動電流は、板ばね4から供給される構成となっている。これにより、コイル9の導線が可動する可動部材3や板ばね4に接触し、断線することを防止することができる。
【0029】
次に、上記アクチュエータ1の動作について説明する。図2は、第一実施形態にかかるアクチュエータの動作説明図であり、同図(a)はアクチュエータが図1(b)に示す矢印A方向に移動した状態、同図(b)は同図(a)のC部分拡大図、同図(c)はアクチュエータが図1(b)に示す矢印B方向に移動した状態、同図(d)は同図(c)のD部分拡大図である。後述する算出手段から2つの板ばね4を介して、駆動電流が供給された駆動手段6のコイル9には、図1(b)の矢印AまたはBのいずれかの方向に駆動力、すなわちローレンツ力が発生する。この駆動力が矢印A方向に発生する場合は、図2(a)に示すように、板ばね4が湾曲し、可動部材3は矢印A方向に可動する。そして、この可動部材3は、上記矢印A方向の駆動力と2つの板ばね4の弾性力とが釣り合う位置まで可動し、その位置で停止する。このときの可動部材3の可動部材変位量をH1とすると、固定部材2に取り付けられている位置検出手段5に対向する板ばね4の平面部4aの所定位置での板ばね変位量は、同図(b)に示すように、この可動部材変位量H1よりも小さいh1となる。一方、コイル9に駆動電流を逆方向に供給することで駆動力が矢印B方向に発生する場合は、同図(c)に示すように、板ばね4が湾曲し、可動部材3は矢印B方向に可動する。そして、可動部材3は、上記矢印B方向の駆動力と2つの板ばね4の弾性力とが釣り合う位置まで可動し、その位置で停止する。このとき、可動部材3の可動部材変位量をH2とすると、位置検出手段5に対向する板ばね4の平面部4aの所定位置での板ばね変位量は、同図(d)に示すように、この可動部材変位量H2よりも小さいh2となる。つまり、位置検出手段5は、可動部材3の可動部材変位量H1、H2よりも小さい板ばね変位量h1、h2に基づき、板ばね4の上記所定位置とこの位置検出手段5との距離を検出することとなる。
【0030】
図3は、第一実施形態にかかるアクチュエータの可動部材変位量とフォトセンサ出力値との関係を示す図である。ここでは、可動部材3の可動量を±6mm、検出範囲(センサ感度)±1.5mmのフォトセンサを位置検出手段5に用いた場合である。同図に示すように、可動部材3が変位することができる範囲、すなわち±6mmの可動部材変位量に対応して、位置検出手段5が板ばね4の上記所定位置の変位する板ばね変位量を検出した出力値(mV)がリニアリティーを確保していることを確認できる。つまり、検出範囲の狭い位置検出手段5の分解能の範囲内で、可動量の大きい可動部材3の可動部材変位量に対応することができる。
【0031】
板ばね4の平面部4aの所定位置とは、板ばね4の板ばね変位量を検出する位置検出手段5であるフォトセンサの検出結果がリニアリティーを確保できる位置、すなわち位置検出手段5の分解能の範囲内で、可動部材3の可動部材変位量に対応することができる位置をいう。以下具体的に説明する。図4は、板ばねの長手方向の位置とその位置における板ばねの変位量との関係を示す図である。ここで、可動部材3の可動量を±6.0mmとし、板ばね4の長手方向の長さを30mmとする。位置検出手段5であるフォトセンサの検出範囲(センサ感度)が±1.5mmである場合は、板ばね4の可動部材3側から20mmの付近を所定位置とすることで、上記図3に示すように位置検出手段5の検出結果がリニアリティーを最も確保できる。ここで、板ばね4の平面部4aの所定位置は、後述する算出手段11により位置検出手段5が検出した板ばね4と位置検出手段5との距離から可動部材3の可動部材変位量を算出できる位置であれば良いため、すなわちある程度のリニアリティーを確保できれば良いく、板ばね4の可動部材3側から20mmの付近に限定されるものではない。例えば板ばね4の可動部材3側から16mmから24mmの範囲を所定位置としても良い。
【0032】
次に、アクチュエータ1の算出手段について説明する。図5は、第一実施形態にかかるアクチュエータの算出手段の構成例を示す図であり、同図(a)はアクチュエータの制御ブロックの構成例、同図(b)はデータベースの構成例を示す図である。同図に示すように、算出手段11は、位置検出手段5の投光素子5aから投光された光は、位置検出手段5に対向する板ばね4に反射し、この板ばね4からの反射光が位置検出手段5の受光素子5bにより受光される。受光素子5bは、反射光の強度に応じた電圧値を有する電流をフォトセンサ出力値として出力する(図3参照)。なお、板ばね4の平面部4aの位置検出手段5が検出対象とする所定位置の表面に、板ばね4の湾曲により損傷せず、かつ長期間位置検出手段5からの光の反射率が変化しないように、印刷、シール、めっき、加工(エンボス加工など)を施しても良い。これにより、板ばね4の平面部4aの所定位置における反射率は長期間変化せず、位置検出手段5の受光素子5bが長期間安定した受光をすることができ、可動部材3の位置決め精度を長期間確保することができる。
【0033】
フォトセンサ出力値は、アンプ11aにより増幅され、A/D変換器11bによりデジタル出力値に変換され、デジタル出力値に変換された板ばね4の変位量は、比較判定器11cに入力される。比較判定器11cは、A/D変換器11bより入力されたデジタル出力値とデータベース11d内に記憶されている同図(b)に示すテーブルのデジタル出力値とを比較することで、実際の可動部材3の可動部材変位量を算出する。なお、データベース11dに記憶されているデジタル出力値に対応した可動部材3の可動部材変位量(±6mm)のテーブルは、図1に示すアクチュエータの可動部材3を予め矢印AおよびB方向に可動させて、この可動部材3の可動部材変位量に対応した板ばね4の板ばね変位量のフォトセンサ出力値をデジタル出力値に変換して作成したものである。また、図3に示す可動部材3の可動部材変位量とフォトセンサ出力値との関係から、データベース11dの上記テーブルを作成しても良い。
【0034】
CPU11eは、可動部材3を可動させるために可動部材変位量を駆動回路11fに駆動信号として出力し、この駆動回路11fは駆動手段6に駆動電流を供給する。すなわち、駆動手段6のコイル9に駆動電流を供給し、可動部材3を図1に示す矢印AまたはBのいずれかの方向に可動させる。ここで、CPU11eからの駆動信号により可動した可動部材3の可動部材変位量が上記算出された実際の可動部材3の可動部材変位量と比較して異なる場合は、CPU11eがこの算出された実際の可動部材3の可動部材変位量に基づいてさらに可動部材3の可動部材変位量を補正するための駆動信号を出力し、可動部材3の可動部材変位量が補正される。
【0035】
以上により、このアクチュエータ1においては、位置検出手段5が板ばね4の平面部4aの所定位置、好ましくは可動部材3の可動に伴って変位する板ばね4の板ばね変位量を検出する位置検出手段5の検出結果がリニアリティーを確保できる位置を検出対象とする。板ばね4の平面部4aの上記所定位置は、可動部材3の可動に伴って湾曲し、この湾曲により変位する板ばね変位量h1,h2が可動部材3の可動部材変位量H1,H2よりも小さい範囲で変位するため、検出範囲の狭い安価な位置検出手段5(例えば、安価なフォトセンサ)を用いることができる。従って、可動部材3の可動量が大きくても、この板ばね4の平面部4aの上記所定位置と位置検出手段5との距離を位置検出手段5が検出し、この距離から可動部材3の可動部材変位量を算出することができ、可動部材3の位置決め精度の確保を図ることができる。また、算出手段11により算出された実際の可動部材3の可動部材変位量に基づいて、CPU11eがさらに可動部材3の可動部材変位量を補正するため、アクチュエータ1が外乱を受けることによる可動部材3の変動、板ばね4などの温度特性等による可動部材3の変位を補正することができる。
【0036】
〔第二実施形態〕
図6は、第二実施形態にかかるアクチュエータの概略構成例を示す図であり、同図(a)は斜視図、同図(b)は平面図である。同図に示すアクチュエータ1´が、図1に示すアクチュエータ1と異なる点は、位置検出手段5に対向する板ばね4´に中空部4bと突出部4dと反射体12を設けた点である。なお、第二実施形態にかかるアクチュエータ1´の基本的構成は、第一実施形態にかかるアクチュエータ1と略同様であるのでその説明は省略する。
【0037】
同図(a)に示すように、固定部材2と可動部材3に両端が支持されている板ばね4´には、中空部4bが設けられている。この中空部4bには、中空部4bの一方の端部4c、すなわち板ばね4´の固定部材2側から可動部材3側に向かって突出する突出部4dが設けられている。この突出部4dの先端には、反射体12が位置検出手段5に対向するように設けられている。この反射体12は、板ばねのように経年劣化により表面の光の反射率が変化しない、例えば経年劣化による反射むらの少ない樹脂材などから構成されている。なお、この樹脂材のかわりに突出部4dに印刷、シール、めっき、加工(エンボス加工)を施しても良い。これにより、突出部4dの表面の反射率は長期間変化せず、位置検出手段5が長期間安定して受光をすることができ、位置検出手段5の検出結果がリニアリティーを長期間確保することができる。また、反射体12を樹脂材とすることにより、アクチュエータ1´の他の部分(固定部材2、可動部材3など)と一体に成形することができる。
【0038】
中空部4bの固定部材側の端部4cは、板ばね4´に対して位置検出手段5の検出範囲(フォトセンサではセンサ感度範囲)内で、突出部4dに設けられた反射体12と位置検出手段5との距離を検出できる位置に設けられている。図7は、板ばねの長手方向の位置とその位置における突出部の変位量との関係を示す図である。ここで、可動部材3の可動量を±6.0mmとし、板ばね4の長手方向の長さを30mmとし、中空部4bの端部4cを可動部材3側から26mmの位置とし、突出部4dの長さを19mmする。同図に示すように、突出部4dに設けられた反射体12は、可動部材3の可動に伴って変位する中空部4bの端部4cを支点にこの中空部4bの端部4cの変位に連動して比較的湾曲せずに変位する。位置検出手段5であるフォトセンサの検出範囲(センサ感度)が±1.5mmである場合は、反射体12を端部4cから13mmの付近、すなわち可動部材3側から13mmの付近に設けることとなる。突出部4dの変位量は、板ばね4に対する端部4cの位置や突出部4dの長さで変化する。従って、この端部4cの位置や突出部4dの長さを変更することで、位置検出手段5の検出結果がリニアリティーを最も確保できる突出部4dの任意の位置に反射体12を設けることができ、設計の自由度の向上を図ることができる。なお、2つの板ばね4´とも、同様の形状であることが好ましい。これは、可動部材3を板ばね4´で並行支持する場合において、可動部材3の可動を安定させるためである。
【0039】
次に、上記アクチュエータ1´の動作について説明する。図8は、第二実施形態にかかるアクチュエータの動作説明図であり、同図(a)はアクチュエータが図6(b)に示す矢印A方向に移動した状態、同図(b)は同図(a)のE部分拡大図、同図(c)はアクチュエータが図6(b)に示す矢印B方向に移動した状態、同図(d)は同図(c)のF部分拡大図である。後述する算出手段11から板ばね4´を介して、駆動手段6に駆動電流が供給され、駆動力が同図(a)に示すように、矢印A方向に発生する場合は、板ばね4´が湾曲し、可動部材3は上記駆動力と板ばね4´の弾性力とが釣り合う位置まで矢印A方向に可動し、停止する。このときの突出部4dの設けられた反射体12の反射体変位量は、上述のように中空部4bの端部4cの変位に連動して、同図(b)に示すように、可動部材3の可動部材変位H1よりも小さいh3となる。一方、駆動手段6に駆動電流を逆方向に供給することで、駆動力が同図(c)に示すように、矢印B方向に発生する場合は、板ばね4´が湾曲し、可動部材3は上記駆動力と板ばね4´の弾性力とが釣り合う位置まで矢印B方向に可動し、停止する。このときの突出部4dの設けられた反射体変位量は、中空部4bの端部4cの変位に連動して、同図(d)に示すように、可動部材3の可動部材変位量H2よりも小さいh4となる。つまり、位置検出手段5は、可動部材3の可動部材変位量H1、H2よりも小さい反射体変位量h3、h4に基づき、板ばね4の突出部4dに設けられた反射体12とこの位置検出手段5との距離を検出することとなる。
【0040】
図9は、第二実施形態にかかるアクチュエータの可動部材変位量とフォトセンサ出力値との関係を示す図である。ここでは、可動部材3の可動量を±6mm、検出範囲(センサ感度)±1.5mmのフォトセンサを位置検出手段5に用いた場合である。同図に示すように、可動部材3の±6mmの可動部材変位量に対応して、位置検出手段5が反射体12の変位する反射体変位量を検出した出力値(mV)がリニアリティーを確保していることを確認できる。つまり、検出範囲の狭い位置検出手段5の分解能の範囲内で、可動量の大きい可動部材3の可動部材変位量に対応することができる。
【0041】
上記第二実施形態にかかるアクチュエータ1´の算出手段は、図5に示す第一実施形態にかかるアクチュエータ1の算出手段11と同一の構成であり、まず、位置検出手段5の投光素子5aから投光された光が位置検出手段5に対向する反射体12に反射し、この反射板12からの反射光が受光素子5bに受光される。受光素子5bは、反射光の強度に応じた電圧値を有する電流をフォトセンサ出力値として出力し(図9参照)、このフォトセンサ出力値はアンプ11a、A/D変換器11bを介して比較判定器11cに入力される。比較判定器11cは、入力されたデジタル出力値と図5(b)に示すデータベース11dのテーブルのデジタル出力値を比較し、実際の可動部材3の可動部材変位量をCPU11eに出力する。CPU11eは、可動部材3を可動させるために可動部材変位量を駆動回路11fに駆動信号として出力し、この駆動回路11fは駆動手段6に駆動電流を供給し、可動部材3を図6に示す矢印AまたはBのいずれかの方向に可動させる。ここで、CPU11eからの駆動信号により可動した可動部材3の可動部材変位量が上記算出された実際の可動部材変位量と比較して異なる場合は、CPU11eがさらに算出された実際の可動部材変位量に基づいて可動部材3の可動部材変位量を補正するための駆動信号を出力し、可動部材3の可動部材変位量が補正される。
【0042】
以上により、位置検出手段5の検出対象が板ばね4ではなく、突出部4dに設けられた反射体12とするので、板ばね4のように経年劣化により表面の光の反射率が変化せず、位置検出手段5が長期間安定して受光をすることができる。これにより、上記第一実施形態と同様に検出範囲の狭い安価な位置検出手段5を用いて、可動部材3の位置決め精度をさらに長期間確保することができる。また、反射体12が設けられている突出部4dは、中空部4bの端部4cの変位に連動して比較的湾曲せずに変位する。従って、可動部材3の可動に伴って変位する板ばね4を検出対象とするのに比較して、突出部4dは板ばね変位量が少なくなる。つまり、反射体12を設ける位置は板ばね4の突出部4dの任意の位置とすることができ、設計の自由度の向上を図ることができる。さらに、突出部4dは比較的湾曲せずに変位するため、位置検出手段5から投光される光の反射体12による反射角度を安定させることができる。これにより、位置検出手段は、安定して受光することができ、可動部材の位置決め精度をさらに確保することができる。
【0043】
図10は、第二実施形態にかかるアクチュエータの板ばねの他の構成例を示す図である。同図に示すように、この板ばね4´の中空部4b´の形状は、その中央部が広く、この中央部から中空部4b´の両端部、すなわち固定部材2側の端部4cおよび可動部材側の端部4eに向かって狭い形状に設けられている。つまり、中空部4b´の形状が、略ひし形形状に設けられている。これにより、板ばね4´にかかる局部応力を分散化することができ、局部的な疲労を防止し、ばね4´の寿命を延ばすことができる。また、中空部4b´の中央部が広いため反射体12を中空部4b´の任意の位置に設けることができる。さらに、後述する物体検出装置が上下および左右方向にレーザ光あるいは電波の照射方向を変更する場合は、反射体12を中空部4b´の中央部に設けることで、板ばね4´の幅方向に長い形状とすることができ、可動部材3を左右方向(上下方向)に可動させるための板ばね4´が上下方向(左右方向)に移動しても位置検出手段5が反射体12からの光を充分に受光できる。
【0044】
なお、上記第二実施では、反射体12を板ばね4の突出部4dの先端に設けられているが、本発明はこれに限定されるものではなく、突出部4dの先端よりも中空部4bの一方の端部4c側、すなわち板ばね4´の固定部材2側に設けても良い。この場合は、反射体12をアクチュエータ1´の他の部分(固定部材2、可動部材3など)と一体に成形する際に、突出部4dの先端と端部4cとで突出部を狭持することができる。従って、反射体12を突出部4dに確実に固着することができる。
【0045】
〔参考例〕
図11は、参考例にかかるアクチュエータの概略構成例を示す図であり、同図(a)は斜視図、同図(b)は平面図である。同図に示すアクチュエータ1″が、図1に示すアクチュエータ1と異なる点は、まず位置検出手段5を可動部材3と対向する固定部材2に取り付ける。そして、可動部材3とともに可動し、かつ可動部材3の可動する方向と直交する方向に変位する変位部材13をこの位置検出手段5に対向する可動部材3に設けた点である。なお、参考例にかかるアクチュエータ1″の基本的構成は、第一実施形態にかかるアクチュエータ1と略同様であるのでその説明は省略する。
【0046】
同図(a)に示すように、位置検出手段5は、固定部材2の駆動手段6が取り付けられている端部に設けられている。一方、可動部材3には、この位置検出手段5に対向する位置(同図(a)では、可動部材の上面)に、変位部材13が設けられている。この変位部材13は、三角柱状であり、可動部材3の可動に伴ってこの可動部材3の可動方向と直交する方向に位置検出手段5との距離が変位する傾斜角を有する傾斜面13aが設けられている。この変位部材13は、特に傾斜面13aは、板ばねのように経年劣化により表面の光の反射率が変化しない、樹脂材から構成されている。ここで、位置検出手段5は、変位部材13に対して位置検出手段5の検出範囲(フォトセンサではセンサ感度範囲)内で、変位部材13の傾斜面13aと位置検出手段5との距離を検出できる位置に設けられている。また、傾斜面13aの可動部材3の可動方向に対する傾斜角は、鋭角であること、すなわち可動部材3の可動に伴ってその可動方向に直交する方向に変位する変位部材変位量が位置検出手段5の検出範囲となるような傾斜角であることが好ましい。また、変位部材13を樹脂材とすることにより、アクチュエータ1´の他の部分(固定部材2、可動部材3など)と一体に成形することができる。
【0047】
次に、上記アクチュエータ1″の動作について説明する。図12は、参考例にかかるアクチュエータの動作説明図であり、同図(a)はアクチュエータが図11(b)に示す矢印A方向に移動した状態、同図(b)は同図(a)のG部分拡大図、同図(c)はアクチュエータが図11(b)に示す矢印B方向に移動した状態、同図(d)は同図(c)のH部分拡大図である。後述する算出手段11から板ばね4を介して、駆動手段6に駆動電流が供給され、駆動力が同図(a)に示すように、矢印A方向に発生する場合は、板ばね4が湾曲し、可動部材3は上記駆動力と板ばね4の弾性力とが釣り合う位置まで矢印A方向に可動し、停止する。このときの可動部材3に設けられた変位部材13の変位部材変位量は、変位部材13の傾斜面13aが可動部材3の矢印A方向に対して傾斜角を有しているため、同図(b)に示すように、可動部材3の可動部材変位量H1よりも小さいh5となる。一方、駆動手段6に駆動電流を逆方向に供給することで、駆動力が同図(c)に示すように、矢印B方向に発生する場合は、板ばね4が湾曲し、可動部材3は上記駆動力と板ばね4の弾性力とが釣り合う位置まで矢印B方向に可動し、停止する。このときの可動部材3に設けられた変位部材13の変位部材変位量は、変位部材13の傾斜面13aが可動部材3の矢印B方向に対して傾斜角を有しているため、同図(d)に示すように、可動部材3の可動部材変位量H2よりも小さいh6となる。つまり、位置検出手段5は、可動部材3の可動部材変位量H1、H2よりも小さい変位部材変位量h5、h6に基づき、変位部材13とこの位置検出手段5との距離を検出することとなる。
【0048】
図13は、参考例にかかるアクチュエータの可動部材変位量とフォトセンサ出力値との関係を示す図である。ここでは、可動部材3の可動量を±6mm、検出範囲(センサ感度)±1.5mmのフォトセンサを位置検出手段5に用いた場合である。同図に示すように、可動部材3の±6mmの可動部材変位量に対応して、位置検出手段5が変位部材13の変位する変位部材変位量を検出した出力値(mV)がリニアリティーを確保していることを確認できる。つまり、検出範囲の狭い位置検出手段5の分解能の範囲内で、可動量の大きい可動部材3の可動部材変位量に対応することができる。
【0049】
上記参考例にかかるアクチュエータ1″の算出手段は、図5に示す第一実施形態にかかるアクチュエータ1の算出手段11と同一の構成であり、まず、位置検出手段5の投光素子5aから投光された光が位置検出手段5に対向する変位部材13に反射し、この変位部材13からの反射光が受光素子5bに受光される。受光素子5bは、反射光の強度に応じた電圧値を有する電流をフォトセンサ出力値として出力し(図13参照)、このフォトセンサ出力値は、アンプ11a、A/D変換器11bを介して比較判定器11cに入力される。比較判定器11cは、入力されたデジタル出力値と図5(b)に示すデータベース11dのテーブルのデジタル出力値を比較し、実際の可動部材3の可動部材変位量をCPU11eに出力する。CPU11eは、可動部材3を可動させるために可動部材変位量を駆動回路11fに駆動信号として出力し、この駆動回路11fは駆動手段6に駆動電流を供給し、可動部材3を図11に示す矢印AまたはBのいずれかの方向に可動させる。ここで、CPU11eからの駆動信号により可動した可動部材3の可動部材変位量が上記算出された実際の可動部材変位量と比較して異なる場合は、CPU11eがさらに算出された実際の可動部材変位量に基づいて可動部材3の可動部材変位量を補正するための駆動信号を出力し、可動部材3の可動部材変位量が補正される。
【0050】
以上により、このアクチュエータ1″においては、位置検出手段5が可動部材3に設けられた変位部材13を検出対象とし、可動部材3の可動によって変位する変位部材変位量h5,h6が可動部材3の可動部材変位量H1,H2よりも小さい範囲で変位するため、上記第1実施形態と同様に検出範囲の狭い安価な位置検出手段5(例えば、安価なフォトセンサ)を用いることができる。従って、可動部材3の可動量が大きくても、この変位部材13と位置検出手段5との距離を位置検出手段5が検出し、この距離から可動部材3の可動部材変位量を算出することができ、可動部材3の位置決め精度の確保を図ることができる。
【0051】
なお、上記参考例では、変位部材13の傾斜面13aをアクチュエータ1″の長手方向、すなわち変位部材13の駆動手段6のヨーク7や磁石8が設けられている固定部材2と対抗する面に設けているが、これに限定されるものではなく、変位部材13の上面に設けても良い。この場合は、位置検出手段5は変位部材13の上面に対向する位置に固定部材2に設ける。また、変位部材13は、可動部材3の下面に設けても良い。また、変位部材13は、上記三角柱状に限定されるものではなく、可動部材3の可動に伴って可動部材3の可動方向と直交する方向に位置検出手段5との距離が変位する形状であれば、例えば断面が半円弧状あるいは楕円弧状の形状であっても良い。特に、可動部材3の可動量が大きくなるにつれて、位置検出手段5と変位部材13との距離が大きく変位する形状であることが好ましい。これにより、位置検出手段5の検出結果のリニアリティーを改善することができる。
【0052】
上記第二実施形態および参考例では、反射体12および変位部材13と、位置検出手段5としてフォトセンサを用いたが、本発明はこれに限定されるものではなく、反射体12および変位部材13のかわりに磁気を発生させる磁性体を用い、位置検出手段5として磁気センサを用いても良い。
【0053】
また、上記第一実施形態、第二実施形態および参考例にかかるアクチュエータ1、1´、1″は、位置検出手段5が固定部材2に設けられているが、本発明はこれに限定されるものではなく、アクチュエータ1、1´、1″を固定する別途設けられた図示しないアクチュエータ固定部材や、算出手段が設けられている制御基板に設けても良い。また、位置検出手段5は、2つの板ばね4のいずれか一方の外側に設けているが、内側、すなわち2つの板ばね4の間に設けても良い。これにより、アクチュエータの1、1´、1″の幅方向に突出したものがなくなり、アクチュエータの小型化を図ることができる。
【0054】
また、上記第一実施形態、第二実施形態および参考例にかかるアクチュエータは、可動部材3を矢印AまたはB方向に可動、すなわち可動部材3を左右方向に可動させる場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、可動部材3を上下方向あるいは上下左右方向に可動させても良い。図14は、可動部材を上下左右方向に可動させる場合のアクチュエータの構成例を示す図である。同図に示すように、このアクチュエータ20は、上下用アクチュエータ21と左右用アクチュエータ22とにより構成されている。上下用アクチュエータ21と左右用アクチュエータ22には、上記記第一実施形態から第三実施形態にかかるアクチュエータ1、1´、1″のいずれかを用いても良い。なお、上下用アクチュエータ22の可動部材と左右用アクチュエータ21の固定部材は同一部材のホルダ23で構成されている。
【0055】
このアクチュエータ20は、上下用アクチュエータ21の駆動手段24に図示しない制御手段から駆動電流を供給することで、ホルダ23を上下いずれかの方向に可動することができる。つまり上下用アクチュエータ21は、左右用アクチュエータ22の可動部材25を上下いずれかの方向(同図では矢印S方向)に可動することができる。一方、左右用アクチュエータ22の駆動手段26に図示しない制御手段から駆動電流を供給することで、可動部材25を左右いずれかの方向(同図では矢印T方向)に可動することができる。このアクチュエータ20の算出手段の基本的構成は、図4に示す算出手段11と略同様であり、上下用アクチュエータ21の位置検出手段27および左右用アクチュエータ22の位置検出手段28が出力したフォトセンサ出力値(位置検出手段が磁気センサの場合は、磁気センサ出力値)から算出されたホルダ23および左右方向用アクチュエータ22の可動部材25の可動部材変位量に基づいて、ホルダ23および可動部材25の可動部材変位量を補正するための駆動信号を出力し、可動部材3の可動部材変位量が補正される。
【0056】
なお、参考例のアクチュエータ1″を用いて可動部材3を上下方向あるいは上下左右方向に可動させる場合は、板ばね4のかわりに線ばねを用いても良い。この線ばねは、上下左右いずれの方向にも湾曲することができるため、可動部材25を複数本の線ばねでアクチュエータ20の固定部材に支持すれば良く、第三実施形態のアクチュエータ1″を2つ用意する必要がなく、アクチュエータ20の長手方向の長さを短くすることができる。
【0057】
次に上記第一実施形態、第二実施形態および参考例にかかるアクチュエータを用いた物体検出装置について説明する。図15は、物体検出装置の概略ブロック図である。物体検出装置30は、図示しない移動体の所定の位置、例えば移動体の前方、側方、後方に取り付けられている。また、この物体検出装置30は、アクチュエータ1、1´、1″の少なくともいずれかのアクチュエータと、投光手段である投光素子31と、受光手段である受光素子32とにより構成されている。なお、33は投光素子31を発振されるための発振回路、34は受光素子32からの反射光の強度の電流値を処理する検出回路である。
【0058】
上記物体検出装置30は、移動体の外部の情報を得る為に、CPU11eから発振回路33に発振信号が出力され、発振回路33は、投光素子31に投光信号を出力し、投光素子31は、可動部材3の光学素子である投受光用レンズ10を介してレーザ光を移動体の外部に照射する。このとき、物体検出装置30は、移動体の外部の広い範囲を探査するために、CPU11eは図示しない記憶部に記憶されている探査パターンに基づいて、駆動回路11fに駆動信号を出力する。駆動回路11fは、駆動手段6に駆動電流を供給し、可動部材3を可動、すなわち投受光用レンズ10を可動させる。つまり、物体検出装置30は、記憶部に記憶されている探査パターンに基づいて、投受光用レンズ10を可動させることで投光素子31に照射されたレーザ光の照射方向を変更する。
【0059】
移動体の外部に物体が存在しない場合は、例えば上記探査パターンに基づいてレーザ光の照射方向を変更しても良い。移動体の外部に物体が存在した場合は、レーザ光がこの物体で反射し、反射した反射光が投受光用レンズ10を介して、受光素子32に受光される。受光素子32は受光された反射光の強度の電流値を検出回路34に出力し、検出回路34はこの電流値を処理し、CPU11eに出力する。CPU11eは、移動体の外部に物体が存在することを図示しない警報装置や表示装置で外部に出力する。
【0060】
物体検出装置30において、物体の検知や物体までの距離を検出するために、CPU11eは、駆動回路11fに駆動信号を出力して可動部材3の投受光用レンズ10を可動させる。このときに、移動体は様々な外乱を受ける。例えば、移動体が移動することで発生する振動や移動体が風を受けたりすることによる傾斜である。このような外乱が入力されると、投受光用レンズ10はCPU11eが期待したような可動をしない場合がある。しかし、CPU11eは可動部材3の可動部材変位量を位置検出手段5から周期的に取得しているので、常に投受光用レンズ10が期待された可動をするように駆動回路11fに出力する駆動信号を修正する。
【0061】
なお、上記物体検出装置30は、レーザ光を用いたものであるが、本発明はこれに限定されるものではなく、電波を用いたものでも良い。この場合は、物体検出装置30に用いられるアクチュエータ1、1´、1″のいずれかの可動部材3にレンズ10のかわりに電波(ミリ波)を送受信するアンテナを設け、図15に示す投光手段の投光素子31と発振回路33を送信手段である送信回路に、受光手段の受光素子32と検出回路34を受信手段である受信回路に変更する。
【0062】
以上により、物体検出装置30は、投受光用レンズ10あるいはアンテナを可動させるために、アクチュエータ1、1´、1″を用いるので投光手段である投光素子31から投光されたレーザ光あるいは送信手段から送信された電波の照射方向の精度を確保することができ、移動体の外部の物体の検知、当該移動体と物体との距離等の検出精度を確保することができる。
【0063】
なお、レーザ光あるいは電波の照射方向を上下左右のいずれかに変更する場合は、図14に示すように、アクチュエータ20の左右用アクチュエータ22の可動部材25にレンズあるいはアンテナを設ける構成としても良い。また、物体検出装置30は、可動部材3に投受光用レンズ10あるいは送受信用のアンテナを設けたが、少なくとも投光用レンズあるいは送信用アンテナが可動部材3に設けられており、レーザ光あるいは電波の照射方向を変更できる構成であれば良い。
【0064】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項1に記載の発明によれば、可動部材の可動に伴って変位する板ばねの平面部の所定位置を検出対象とするが、この板ばねの平面部は可動部材の可動に伴って湾曲する。従って、この湾曲により板ばねの平面部は可動するので、この板ばねの平面部は位置検出手段に対して変位する。この板ばね変位量は可動部材の可動部材変位量よりも小さい範囲で変位するため、検出範囲の狭い安価な位置検出手段を用いることができ、可動部材の可動量が大きくても、この板ばねの平面部の所定位置と位置検出手段との距離から可動部材の可動部材変位量を算出することができ、可動部材の位置決め精度の確保を図ることができる。
【0065】
また、請求項2に記載の発明によれば、突出部は、中空部の固定部材側の変位に伴ってこの中空部の固定部材側を支点に比較的湾曲せずに変位する。従って、可動部材の可動に伴って変位する板ばねを検出対象とするのと比較して、突出部は板ばね変位量が少なく、位置検出手段の検出対象を板ばねの突出部の任意の位置とすることができ、設計の自由度の向上を図ることができる。また、突出部は比較的湾曲せずに変位するため、位置検出手段から投光される光の反射角度を安定させることができる。これにより、位置検出手段は、安定して受光することができ、可動部材の位置決め精度をさらに確保することができる。
【0066】
また、請求項3に記載の発明によれば、可動部材が可動した際の板ばねにかかる局部応力を分散化することができ、局部的な疲労を防止し、板ばねの寿命を延ばすことができる。
【0067】
また、請求項4に記載の発明によれば、位置検出手段が検出する対象を板ばねではなく、反射体とするので、板ばねのように経年劣化により表面の光の反射率が変化せず、位置検出手段が長期間安定した受光をすることができる。これにより、可動部材の位置決め精度を長期間確保することができる。
【0068】
また、請求項5または6に記載の発明によれば、入手性が高く、安価で、且つ小型のフォトセンサあるいは磁気センサを位置検出手段として用いるので、可動部材の位置決め精度を確保するアクチュエータを簡単な構成で、且つ低コストで提供できる。
【0071】
また、請求項7および8に記載の発明によれば、アクチュエータとして請求項1〜6のいずれか一つに記載のアクチュエータを用いるので、検出範囲の狭い安価な位置検出手段を用いることができ、光学素子あるいはアンテナが設けられた可動部材の可動量が大きくても、この変位部材と位置検出手段との距離から可動部材の可動部材変位量を算出することができ、可動部材の位置決め精度の確保を図ることができる。従って、可動部材に設けられたレーザ光の照射方向を変更する光学素子あるいは電波を照射するアンテナの位置決め精度の確保を図ることができる。これにより、投光手段から投光されたレーザ光あるいは送信手段から送信された電波の照射方向の精度を確保することができ、移動体の外部の物体の有無、当該移動体と物体との距離等の検出精度を確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 第一実施形態にかかるアクチュエータの概略構成例を示す図であり、同図(a)は斜視図、同図(b)は平面図である。
【図2】 第一実施形態にかかるアクチュエータの動作説明図であり、同図(a)はアクチュエータが図1(b)に示す矢印A方向に移動した状態、同図(b)は同図(a)のC部分拡大図、同図(c)はアクチュエータが図1(b)に示す矢印B方向に移動した状態、同図(d)は同図(c)のD部分拡大図である。
【図3】 第一実施形態にかかるアクチュエータの可動部材変位量とフォトセンサ出力値との関係を示す図である。
【図4】 板ばねの長手方向の位置とその位置における板ばねの変位量との関係を示す図である。
【図5】 第一実施形態にかかるアクチュエータの制御ブロックの構成例を示す図であり、同図(a)はアクチュエータの制御ブロックの構成例、同図(b)はデータベースの構成例を示す図である。
【図6】 第二実施形態にかかるアクチュエータの概略構成例を示す図であり、同図(a)は斜視図、同図(b)は平面図である。
【図7】 板ばねの長手方向の位置とその位置における突出部の変位量との関係を示す図である。
【図8】 第二実施形態にかかるアクチュエータの動作説明図であり、同図(a)はアクチュエータが図5(b)に示す矢印A方向に移動した状態、同図(b)は同図(a)のE部分拡大図、同図(c)はアクチュエータが図5(b)に示す矢印B方向に移動した状態、同図(d)は同図(c)のF部分拡大図である。
【図9】 第二実施形態にかかるアクチュエータの可動部材変位量とフォトセンサ出力値との関係を示す図である。
【図10】 第二実施形態にかかるアクチュエータの板ばねの他の構成例を示す図である。
【図11】 参考例にかかるアクチュエータの概略構成例を示す図であり、同図(a)は斜視図、同図(b)は平面図である。
【図12】 参考例にかかるアクチュエータの動作説明図であり、同図(a)はアクチュエータが図11(b)に示す矢印A方向に移動した状態、同図(b)は同図(a)のG部分拡大図、同図(c)はアクチュエータが図11(b)に示す矢印B方向に移動した状態、同図(d)は同図(c)のH部分拡大図である。
【図13】 参考例にかかるアクチュエータの可動部材変位量とフォトセンサ出力値との関係を示す図である。
【図14】 可動部材を上下左右方向に可動させる場合のアクチュエータの構成例を示す図である。
【図15】 物体検出装置の概略ブロック図である。
Claims (8)
- 固定部材と可動部材とに両端が支持されている板ばねと、
前記可動部材を可動させる駆動手段と、
前記板ばねの前記可動部材の可動に伴って湾曲する平面部の所定位置を検出対象とする位置検出手段と、
前記位置検出手段が検出した前記板ばねと前記位置検出手段との距離から可動部材の可動部材変位量を算出する算出手段と、
を備え、
前記所定位置は、前記可動部材の可動に伴う板ばね変位量が前記可動部材の可動変位量よりも小さい位置であること特徴とする記載のアクチュエータ。 - 前記位置検出手段は、当該位置検出手段と前記板ばねに設けられた中空部の前記固定部材側から可動部材側に突出する突出部との距離を検出する請求項1に記載のアクチュエータ。
- 前記板ばねの中空部の形状は、当該中空部の中央部が広く、当該中央部から前記固定部材側および前記可動部材側に向かって狭い形状であることを特徴とする請求項2に記載のアクチュエータ。
- 前記位置検出手段は、前記突出部に設けられた反射体との距離を検出することを特徴とする請求項2または3に記載のアクチュエータ。
- 前記位置検出手段が投受光素子を有するフォトセンサであることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一つに記載のアクチュエータ。
- 前記位置検出手段は、前記突出部に設けられた磁気を発生する磁性体との距離を検出する磁気センサであることを特徴とする請求項2または3に記載のアクチュエータ。
- レーザ光を投光する投光手段と、当該レーザ光の照射方向を少なくとも上下または左右のいずれかに変更するアクチュエータと、当該レーザ光が物体から反射された反射光を受光する受光手段とを備え、受光された当該反射光により移動体の外部の物体の有無、当該移動体と物体との距離等を検出する物体検出装置において、
前記アクチュエータとして請求項1〜6のいずれか一つに記載のアクチュエータを用い、
前記アクチュエータの可動部材に少なくとも前記レーザ光の照射方向を変更する光学素子を設けることを特徴とする物体検出装置。 - 電波を送信する送信手段と、当該電波の照射方向を少なくとも上下または左右のいずれかに変更するアクチュエータと、当該電波が物体に反射する反射波を受信する受信手段とを備え、受信された当該反射波により移動体の外部の物体の有無、当該移動体と物体との距離等を検出する物体検出装置において、
前記アクチュエータとして請求項1〜6のいずれか一つに記載のアクチュエータを用い、
前記アクチュエータの可動部材に少なくとも前記電波を照射するアンテナを設けることを特徴とする物体検出装置。
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