CN110773757A

CN110773757A - 主轴装置

Info

Publication number: CN110773757A
Application number: CN201910691170.1A
Authority: CN
Inventors: 室田真弘
Original assignee: Fanuc Corp
Current assignee: Fanuc Corp
Priority date: 2018-07-31
Filing date: 2019-07-29
Publication date: 2020-02-11
Anticipated expiration: 2039-07-29
Also published as: JP6737847B2; JP2020019086A; DE102019005178B4; DE102019005178A1; US20200039014A1; CN110773757B; US11097392B2

Abstract

本发明提供一种主轴装置(20)，其具备罩部件(28)。在罩部件(28)形成有气体用流路(28b)，该气体用流路用于流通对作为旋转部件的卡盘部(30)与罩部件(28)之间以及卡盘部(30)与主轴外壳(24)之间进行密封的压缩气体。气体用流路(28b)具有：第一连通部(102)，其与罩部件(28)的外部连通；以及第二连通部(104)，其连通卡盘部(30)与主轴外壳(24)之间的间隙和第一连通部(102)，且比第一连通部(102)的流出口(OG1)宽。第二连通部(104)的流出口(OG2)与主轴外壳(24)的表面对置。

Description

主轴装置

技术领域

本发明涉及一种主轴装置，其用于使用工具对加工对象物进行加工的车床(机床)。

背景技术

有时因对工件的加工中产生的热而收纳主轴轴体的主轴外壳等热变形，由于该热变形，加工精度降低。因此，抑制热变形的措施很重要。

例如，在日本特开2011-240428号公报中公开了以下冷却构造：在外壳以及主轴分别设置冷却液通路，在外壳内的冷却液通路与主轴内的冷却液通路之间授受冷却液，从而通过在主轴内流通冷却液而冷却主轴。

在该日本特开2011-240428号公报的外壳上，以连通外壳的外周面和主轴的外周面的方式形成有用于供给从空气供给源供给的空气的密封空气供给孔。该密封空气供给孔的主轴的外周面侧的开口和主轴的外周面与外壳之间的间隙相连。

发明内容

然而，用于密封的空气一般处于被压缩的状态。因此，在日本特开2011-240428号公报中，从密封空气供给孔流到主轴的外周面与外壳之间的间隙的空气有时隔热膨胀，空气的温度降低。

在该情况下，可能因在主轴的外周面与外壳之间的间隙流动的空气而在外壳的局部间产生温度差，由于该温度差，外壳产生热变形。近年来，有时以纳米单位控制对工件的加工，在该情况下，趋向于即使在加工中产生的热变形是微量的，加工精度的降低也显著化。因此，强烈地需求抑制热变形引起的加工精度的降低的措施。

因此，本发明的目的在于提供一种主轴装置，其能够抑制热变形引起的加工精度的降低。

本发明的方案为一种主轴装置，其具备：主轴外壳；主轴轴体，其在上述主轴外壳的内部能够旋转地被支撑；旋转部件，其与上述主轴轴体的旋转联动而能够旋转地设于上述主轴轴体的一端；环状的凸缘部，其从上述主轴外壳的外周面朝向外侧突出；以及罩部件，其以覆盖上述凸缘部的上述主轴轴体的一端侧的表面、从该表面朝向上述主轴轴体的一端侧延伸的上述主轴外壳的外周面以及上述旋转部件的外周面的方式设置，并且温度被调整，在上述罩部件形成有气体用流路，上述气体用流路用于流通对上述旋转部件与上述罩部件之间以及上述旋转部件与上述主轴外壳之间进行密封的压缩气体，上述气体用流路具有：第一连通部，其与上述罩部件的外部连通；以及第二连通部，其连通上述旋转部件与上述主轴外壳之间的间隙和上述第一连通部，并且比上述第一连通部的流出口宽，上述第二连通部的流出口与上述主轴外壳的表面对置。

根据本发明，难以因压缩气体而使主轴外壳的局部间的温度差变大。因此，能够减小主轴外壳的局部间的温度差引起的主轴外壳的热变形。其结果，能够抑制主轴外壳的热变形引起的加工精度的降低。

根据参照附图说明的以下的实施方式的说明，将容易了解上述的目的、特征以及优点。

附图说明

图1是表示本实施方式的车床的概略图。

图2是表示图1的主轴装置的截面的概略图。

图3是罩部件的概略立体图。

图4是放大表示图2的一部分的图。

图5是以与图4相同的视点表示变形例1的气体用流路的图。

图6是以与图4相同的视点表示变形例2的气体用流路的图。

图7是以与图4相同的视点表示变形例3的气体用流路的图。

具体实施方式

以下，对于本发明，揭示优选的实施方式，一边参照附图一边详细进行说明。

实施方式

图1是表示车床10的外观结构的图。车床10使用工具对加工对象物进行加工，具有基础床体12、主轴支撑部14、工作台支撑部16、工作台18以及主轴装置20。

主轴支撑部14设置于基础床体12上，且相对于基础床体12可向左右方向移动地支撑主轴装置20。此外，将主轴装置20的主轴轴体22延伸的方向(轴向)设为前后方向，将在与载置该主轴装置20的载置面CF平行的面内相对于轴向正交的方向设为左右方向，将相对于该载置面CF以及轴向正交的方向设为上下方向。下方向为重力作用的方向。另外，在主轴装置20中，将设置有卡盘部30的主轴轴体22的一端侧设为前侧，将该主轴轴体22的另一端侧设为后侧。

主轴支撑部14具有沿左右方向设置于基础床体12上的第一滑动部14a、可沿第一滑动部14a移动的主轴移动台14b、以及驱动主轴移动台14b的未图示的第一驱动机构。

第一驱动机构包括马达以及将马达的旋转力变换成直进运动的滚珠丝杠等部件。主轴移动台14b通过第一驱动机构沿第一滑动部14a移动，从而设置于该主轴移动台14b上的主轴装置20相对于基础床体12向左右方向移动。

工作台支撑部16设置于基础床体12上，相对于基础床体12可向前后方向移动地支撑工作台18。该工作台支撑部16具有沿前后方向设置于基础床体12上的第二滑动部16a和驱动可沿第二滑动部16a移动的工作台18的未图示的第二驱动机构。

第二驱动机构包括马达以及将马达的旋转力变换为直进运动的滚珠丝杠等部件。工作台18利用第二驱动机构通过第二滑动部16a相对于基础床体12向前后方向移动。工作台18也可以设置为能够以上下方向的轴为旋转轴而旋转。

此外，在本实施方式中，设定为：加工对象物保持于主轴装置20的卡盘部30，工具保持于工作台18。但是，也可以是，工具保持于主轴装置20的卡盘部30，加工对象物保持于工作台18。

图2是表示图1的主轴装置20的截面的图。本实施方式的主轴装置20可旋转地保持加工对象物，使用于以纳米单位控制对加工对象物的加工的情况等。该主轴装置20具备主轴轴体22、主轴外壳24、主轴安装台26以及罩部件28作为主要构成要素。

主轴轴体22为形成为圆筒状形成的部件，且具有沿轴向贯通的圆筒状的贯通孔22H。在图2所示的例子中，贯通孔22H具有前侧贯通孔22Ha和直径比前侧贯通孔22Ha的直径小的后侧贯通孔22Hb。在该主轴轴体22的一端侧(前侧)设置有卡盘部30，在另一端侧(后侧)设置有马达40。

卡盘部30是与主轴轴体22的旋转联动而能够在主轴外壳24的前侧的表面上旋转地设于主轴轴体22的一端的旋转部件，在本实施方式中装卸加工对象物。此外，在图1中，卡盘部30形成为圆盘状，但也可以为其它形状。该卡盘部30具有固定于主轴轴体22的前侧的基座30a和相对于基座30a可装卸地安装的吸附垫30b。在吸附垫30b的吸附面形成有开口OP。在基座30a以及吸附垫30b形成有连通开口OP和主轴轴体22的贯通孔22H的一端的连通路30c。在卡盘部30中，通过未图示的真空泵从开口OP穿过连通路30c向贯通孔22H吸引卡盘部30的外部的空气，从而加工对象物以与吸附面紧密接触的状态被保持。

马达40为主轴轴体22的驱动源，具有安装于主轴外壳24的后侧的马达壳体40a和设置于马达壳体40a内的转子40b及定子40c。主轴轴体22固定于转子40b。因此，主轴轴体22与转子40b的旋转联动而旋转。

主轴外壳24具有大致圆筒状的外壳本体24a和后侧外壳盖24b。在外壳本体24a设置有从外壳本体24a的外周面朝向外侧突出的环状的凸缘部50。凸缘部50也可以与外壳本体24a形成为一体，也可以与外壳本体24a分体，通过预定的夹具固定于外壳本体24a。

在外壳本体24a的后侧以覆盖该外壳本体24a的后侧的开口的方式可装卸地安装有后侧外壳盖24b。在后侧外壳盖24b的表面(后端面)侧固定有马达40的马达壳体40a。

在后侧外壳盖24b和外壳本体24a形成有沿前后方向贯通的大致圆筒状的轴配置空间。在该轴配置空间配置有主轴轴体22，配置于该轴配置空间的主轴轴体22经由轴承60可旋转地支撑。

在本实施方式中，轴承60具有推力轴承60a以及径向轴承60b。在主轴轴体22的左侧和右侧分别设有推力轴承60a，在比推力轴承60a靠主轴轴体22的前侧，在该主轴轴体22的前后分别设有径向轴承60b。此外，轴承60也可以为静压轴承，也可以为滚动轴承。但是，在如上所述地以纳米单位控制对加工对象物的加工的情况下，优选为静压轴承。

主轴安装台26载置于主轴移动台14b的载置面CF(图1)上。该主轴安装台26具有供主轴外壳24沿主轴轴体22的轴向插通的插通孔26H。插通于插通孔26H的主轴外壳24的前侧经由设置于外壳本体24a的凸缘部50固定于主轴安装台26的前侧，该主轴外壳24的后侧经由设置于主轴安装台26的后侧的支撑部件70支撑。

具体来讲，凸缘部50相对于主轴安装台26的前侧(插通孔26H的一方的开口侧)通过螺栓等杆状紧固件可装卸地固定。另一方面，支撑部件70以主轴安装台26的后侧(插通孔26H的另一方的开口侧)为基础支撑主轴外壳24。也就是，主轴外壳24相对于主轴安装台26从该主轴外壳24的前后被两点保持。

罩部件28为自身的温度被调整的罩部件。该罩部件28设置于主轴装置20的前侧。具体来讲，罩部件28设置为覆盖凸缘部50的前侧的表面、从该表面向前侧延伸的外壳本体24a的外周面以及卡盘部30的外周面的一部分。此外，罩部件28覆盖卡盘部30的外周面的一部分，但也可以覆盖该外周面的整体。

在罩部件28形成有制冷剂用流路28a，该制冷剂用流路28a用于流通调整罩部件28的温度的制冷剂。制冷剂也可以为水等液体，也可以为气体。在本实施方式的情况下，制冷剂用流路28a形成于罩部件28的左侧和右侧。

图3是罩部件28的概略立体图，图4是放大表示图2的一部分的图。具体而言，图3表示从后侧观察罩部件28的一部分的立体图，图4表示将罩部件28的左侧的制冷剂用流路28a及其周边部分放大后的图。

制冷剂用流路28a具有第一连通部82以及第二连通部84。第一连通部82连通罩部件28的外部和被罩部件28覆盖的凸缘部50的前表面。在本实施方式中，该第一连通部82具有为与被罩部件28覆盖的环状的凸缘部50的前表面相接的状态且遍及该凸缘部50的整个周向呈环状延伸的环状部位82a(参照图3)。

第二连通部84连通罩部件28的外部和被罩部件28覆盖的外壳本体24a的外周面。该第二连通部84和第一连通部82经由中继路86连结。中继路86为形成于从凸缘部50的前表面向前侧延伸的外壳本体24a与罩部件28之间的间隙(空间)。

形成该中继路86的罩部件28的内周面28F(参照图3)呈环状形成。另一方面，在形成中继路86的外壳本体24a的外周面形成有朝向主轴轴体22的前侧环绕的螺旋状的凹部88(参照图4)。

在外壳本体24a的外周面与罩部件28之间的比第一连通部82开口的位置靠罩部件28的外部侧的部位设置有防止制冷剂流向外部的密封部件90。另外，在罩部件28与外壳本体24a之间的比第二连通部84开口的位置靠罩部件28的外部侧的部位也设置有密封部件90。此外，作为密封部件90的具体例子，可举出O型圈等。

第一连通部82的外部侧的开口和第二连通部84的外部侧的开口经由配置于罩部件28的外部的配管92连结。在配管92设置有泵94。

配管92内的制冷剂通过泵94流入第一连通部82。流入第一连通部82的制冷剂穿过第一连通部82的环状部位82a，以一部分与凸缘部50的前表面相接的状态在前侧流动，并流入中继路86。流入中继路86的制冷剂朝向第二连通部84流动。具体来讲，流入中继路86的制冷剂在形成于包围中继路86的外壳本体24a的外周面的螺旋状的凹部88内穿过，朝向主轴轴体22的周向以在外壳本体24a的外周面环绕的方式流动，并流入第二连通部84。流入第二连通部84的制冷剂在该第二连通部84流动而流出到配管92，通过泵94再次流入第一连通部82。这样，制冷剂在罩部件28的内外循环，通过循环的制冷剂，罩部件28的温度被调整。

此外，流入形成于罩部件28的左侧的制冷剂用流路28a的第一连通部82的制冷剂和流入形成于该罩部件28的右侧的制冷剂用流路28a的第一连通部82的制冷剂一起在同一个中继路86流动。另外，在该中继路86流动的制冷剂流出到形成于罩部件28的左侧的制冷剂用流路28a的第二连通部84和形成于该罩部件28的右侧的制冷剂用流路28a的第二连通部84。也就是，中继路86在形成于罩部件28的左侧的循环路径和形成于该罩部件28的右侧的循环路径是共通的。

在罩部件28，除了制冷剂用流路28a，还形成有用于流通对密封部进行密封的压缩气体的气体用流路28b。密封部为卡盘部30与罩部件28之间以及卡盘部30与外壳本体24a之间的间隙。压缩气体为被压缩到预定压力的气体。作为该气体，例如，可举出空气等。

气体用流路28b形成于比设置于第二连通部84的开口位置的前侧的密封部件90靠卡盘部30侧。此外，制冷剂用流路28a形成于比设置于第二连通部84的开口位置的前侧的密封部件90靠凸缘部50侧。在本实施方式的情况下，气体用流路28b形成于罩部件28的左侧和右侧(参照图2)。

在气体用流路28b的流入口连接有压缩机106(参照图2、图4)。在本实施方式的情况下，在左侧的气体用流路28b和右侧的气体用流路28b分别连接有压缩机106(参照图2)，但是也可以相对于一个压缩机106，连接左侧的气体用流路28b和右侧的气体用流路28b的每一个。

压缩机106输出压缩气体，从该压缩机106供给的压缩气体经由软管106a流入气体用流路28b，并在该气体用流路28b流动而供给至密封部。由此，能够抑制加工对象物的加工时产生的碎屑或者加工时使用的冷却液等经由密封部进入主轴外壳24的内部(轴配置空间)。此外，流到密封部的密封气体从主轴装置20的前侧等排出到外部。

气体用流路28b具有第一连通部102以及第二连通部104(参照图3、图4)。第一连通部102与罩部件28的外周面侧的外部连通。在本实施方式中，第一连通部102的幅W遍及整个第一连通部102设定为大致恒定，但第一连通部102的一个或多个部位也可以与其它部位不同。此外，第一连通部102的幅W为在与气体用流路28b延伸的方向正交的方向上成为最大的长度(直线距离)。在第一连通部102的流入口连接有压缩机106的软管106a。

第二连通部104连通卡盘部30与外壳本体24a之间的间隙和第一连通部102，且形成为环状(参照图3)。该第二连通部104具有比第一连通部102的流出口OG1宽的空间。第二连通部104的流出口OG2与外壳本体24a的和卡盘部30对置的表面(外壳本体24a的前表面)对置。

包围该第二连通部104的壁面具有供从第一连通部102流出的压缩气体碰撞的碰撞面F。包围第二连通部104的壁面是指形成第二连通部104的罩部件28的隔壁的壁面。碰撞面F以使从第一连通部102流出的压缩气体朝向卡盘部30与外壳本体24a之间的间隙的方式相对于第二连通部104的流出口OG2倾斜。此外，在图3所示的例子中，该碰撞面F遍及环状的第二连通部104的全周形成，但是，只要至少形成于供从第一连通部102流出的压缩气体碰撞的壁面部分即可。

在气体用流路28b中，从压缩机106供给的压缩气体流入第一连通部102，在该第一连通部102流动，从第一连通部102的流出口OG1流入第二连通部104。流入第二连通部104的压缩气体与碰撞面F碰撞，沿该碰撞面F从第二连通部104的流出口OG2流出而朝向卡盘部30与外壳本体24a之间的间隙。

在气体用流路28b中，有时由于第二连通部104比第一连通部102宽，因此从该第一连通部102流入到第二连通部104的压缩气体隔热膨胀，压缩气体的温度降低。即使在该情况下，在压缩气体与处于温度被进行了调整的状态的罩部件28的隔壁的碰撞面F碰撞时，该压缩气体的温度易于接近罩部件28的温度。因此，难以因压缩气体而使外周面被罩部件28覆盖的外壳本体24a的局部间的温度差变大。

因此，根据本实施方式的主轴装置20，能够减小外壳本体24a的局部间的温度差引起的外壳本体24a的热变形，其结果，能够抑制外壳本体24a的热变形引起的加工精度的降低。

变形例

以上，作为本发明的一个例子，对上述实施方式进行了说明，但本发明的技术范围不限于上述实施方式记载的范围。当然，可以对上述实施方式实施各种变更或改良。根据权利要求书的记载可知，这样的实施了变更或改良的方式也包含在本发明的技术范围内。以下，记载对上述实施方式实施了变更或改良的例子。

变形例1

图5是以与图4相同的视点表示变形例1的气体用流路28c的图。变形例1的气体用流路28c形成于与实施方式的气体用流路28b不同的位置。

即，实施方式的气体用流路28b连通罩部件28的外周侧的外部和外壳本体24a的前表面，与之相对，变形例1的气体用流路28c连通罩部件28的外周侧的外部和外壳本体24a的外周面。

形成变形例1的气体用流路28c的第二连通部104的罩部件28的隔壁的碰撞面F以随着从该罩部件28的外周面侧朝向内部侧而接近罩部件28的前侧的方式倾斜。

在变形例1的气体用流路28c中，与上述的实施方式相同，即使流入第二连通部104的压缩气体隔热膨胀而压缩气体的温度降低，该温度也容易在碰撞罩部件28的隔壁的碰撞面F时以接近该罩部件28的温度的方式变化。因此，与上述实施方式相同，能够减小外壳本体24a的局部间的温度差引起的外壳本体24a的热变形。

变形例2

图6是以与图4相同的视点表示变形例2的气体用流路28d的图。变形例2的气体用流路28d形成于与实施方式的气体用流路28b不同的位置。

即，实施方式的气体用流路28b连通罩部件28的外周侧的外部和外壳本体24a的前表面，与之相对，变形例2的气体用流路28d连通罩部件28的前侧的外部和外壳本体24a的前表面。但是，也可以是，气体用流路28d的第一连通部102在从罩部件28的外周侧的外部朝向主轴轴体22延伸后弯曲而朝向外壳本体24a的前表面延伸，从而连通罩部件28的外周侧的外部和外壳本体24a的前表面。

形成变形例2的气体用流路28d的第二连通部104的罩部件28的隔壁的碰撞面F以随着从该罩部件28的前侧朝向后侧而接近主轴轴体22的方式倾斜。

在变形例2的气体用流路28d中，与上述实施方式相同，即使流入第二连通部104的压缩气体隔热膨胀而压缩气体的温度降低，该温度也容易在碰撞罩部件28的隔壁的碰撞面F时以接近该罩部件28的温度的方式变化。因此，与上述实施方式相同，能够减小外壳本体24a的局部间的温度差引起的外壳本体24a的热变形。

变形例3

图7是以与图4相同的视点表示变形例3的气体用流路28e的图。变形例3的气体用流路28e在取消了变形例2的气体用流路28d的碰撞面F(参照图6)这一点上与该变形例2的气体用流路28d不同。

在变形例3的气体用流路28e中，从压缩机106供给的压缩气体流入第一连通部102，在该第一连通部102流动而流入第二连通部104。流入第二连通部104的压缩气体从第二连通部104的流出口OG2流出，在与外壳本体24a的前表面碰撞后，朝向卡盘部30与外壳本体24a之间的间隙。

在变形例3的气体用流路28e中，虽然没有碰撞面F(参照图6)，但如上所述地与外壳本体24a的前表面碰撞。该外壳本体24a被处于温度被进行了调整的状态的罩部件28覆盖，因此与该罩部件28的温度同程度地变化。因此，压缩气体即使由于隔热膨胀而温度降低，至少在与外壳本体24a碰撞时，也容易接近与罩部件28的温度同程度进行了变化的外壳本体24a的温度。因此，与上述实施方式相同，能够减小外壳本体24a的局部间的温度差引起的外壳本体24a的热变形。

此外，在如上述实施方式、变形例1以及变形例2的气体用流路28b～28d那样具有碰撞面F的情况下，压缩气体直接碰撞处于温度被进行了调整的状态的罩部件28，因此容易更接近该温度。

变形例4

在上述实施方式中，气体用流路28b的第一连通部102大体笔直地延伸，但也可以弯曲。此外，变形例1～变形例3的气体用流路28c～28e的第一连通部102也同样可以弯曲。

变形例5

在上述实施方式中，在罩部件28的左侧和右侧的双方形成有制冷剂用流路28a。但是，也可以没有左侧的制冷剂用流路28a或右侧的制冷剂用流路28a。此外，制冷剂用流路28a只要是用于流通调整罩部件28的温度的制冷剂，制冷剂用流路28a的形成部位、形状、循环的有无等就没有特别限制。另外，在上述实施方式中，在罩部件28与外壳本体24a之间设置有中继路86。但是，中继路86也可以设置于罩部件28的内部，只要是连通第一连通部82和第二连通部84，该中继路86的形成部位或者形状等就没有特别限制。简而言之，只要能够通过制冷剂调整罩部件28的温度即可。

上述实施方式以及上述变形例在不产生矛盾的范围内可以任意组合。

技术思想

以下，记载可根据上述的实施方式以及变形例掌握的技术思想。

主轴装置20具备主轴外壳24、主轴轴体22、旋转部件30、凸缘部50、以及罩部件28。

主轴轴体22在主轴外壳24的内部可旋转地被支撑。旋转部件30与主轴轴体22的旋转联动而能够旋转地设于主轴轴体22的一端。凸缘部50为环状，从主轴外壳24的外周面朝向外侧突出。罩部件28以覆盖凸缘部50的主轴轴体22的一端侧的表面、从该表面朝向主轴轴体22的一端侧延伸的主轴外壳24的外周面以及旋转部件30的外周面的方式设置，并且温度被调整。

在该罩部件28形成有气体用流路28b～28e，该气体用流路28b～28e用于流通对旋转部件30与罩部件28之间以及旋转部件30与主轴外壳24之间进行密封的压缩气体。

该气体用流路28b～28e具有第一连通部102和第二连通部104。第一连通部102与罩部件28的外部连通。第二连通部104连通旋转部件30与主轴外壳24之间的间隙和第一连通部102，且比第一连通部102的流出口OG1宽。第二连通部104的流出口OG2与主轴外壳24的表面对置。

在这样的主轴装置20中，第二连通部104的流出口OG2与主轴外壳24对置，因此从第一连通部102流入第二连通部104且从该第二连通部104流出的压缩气体与主轴外壳24碰撞。该主轴外壳24被温度被进行了调整的罩部件28覆盖，因此与该罩部件28的温度同程度变化。因此，压缩气体即使由于隔热膨胀而温度降低，至少在与主轴外壳24碰撞时，也容易接近与罩部件28的温度同程度进行了变化的主轴外壳24的温度。因此，能够减少因压缩气体而主轴外壳24的局部间的温度差变大，从而主轴外壳24发生热变形的情况。其结果，能够抑制主轴外壳24的热变形引起的加工精度的降低。

包围第二连通部104的壁面优选具有供从第一连通部102流出的压缩气体碰撞的碰撞面F。这样，流入第一连通部102的压缩气体直接碰撞温度被进行了调整的罩部件28，因此容易更接近该温度。因此，能够进一步抑制因压缩气体而主轴外壳24的局部间的温度差变大。

碰撞面F优选以使从第一连通部102流出的压缩气体朝向间隙的方式相对于第二连通部104的流出口OG2倾斜。这样，相比没有该倾斜的情况，能够抑制与碰撞面F进行了碰撞的压缩气体的流速降低。

第二连通部104优选为环状。通过第二连通部104为环状，能够以对从第一连通部102流出的压缩气体的压力在周向上不平衡进行了缓和的状态将该压缩气体供给至主轴轴体22的周围。因此，能够抑制以向主轴轴体22的周围局部地供给压缩气体为起因，由该压缩气体导致主轴轴体22振动。

罩部件28具备：密封部件90，其密封主轴外壳24的外周面与罩部件28之间的间隙的一部分；以及制冷剂用流路28a，其形成于比密封部件90靠凸缘部50侧，且用于流通调整罩部件28的温度的制冷剂。另外，上述气体用流路28b～28e形成于比密封部件90靠旋转部件30侧。这样，能够一边通过制冷剂调整罩部件28的温度，一边抑制该制冷剂与密封用的压缩气体混合。

Claims

1.一种主轴装置，其特征在于，具备：

主轴外壳；

主轴轴体，其在上述主轴外壳的内部能够旋转地被支撑；

旋转部件，其与上述主轴轴体的旋转联动而能够旋转地设于上述主轴轴体的一端；

环状的凸缘部，其从上述主轴外壳的外周面朝向外侧突出；以及

罩部件，其以覆盖上述凸缘部的上述主轴轴体的一端侧的表面、从该表面朝向上述主轴轴体的一端侧延伸的上述主轴外壳的外周面以及上述旋转部件的外周面的方式设置，并且温度被调整，

在上述罩部件形成有气体用流路，上述气体用流路用于流通对上述旋转部件与上述罩部件之间以及上述旋转部件与上述主轴外壳之间进行密封的压缩气体，

上述气体用流路具有：

第一连通部，其与上述罩部件的外部连通；以及

第二连通部，其连通上述旋转部件与上述主轴外壳之间的间隙和上述第一连通部，并且比上述第一连通部的流出口宽，

上述第二连通部的流出口与上述主轴外壳的表面对置。

2.根据权利要求1所述的主轴装置，其特征在于，

包围上述第二连通部的壁面具有供从上述第一连通部流出的压缩气体碰撞的碰撞面。

3.根据权利要求2所述的主轴装置，其特征在于，

上述碰撞面以使从上述第一连通部流出的上述压缩气体朝向上述间隙的方式相对于上述第二连通部的流出口倾斜。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的主轴装置，其特征在于，

上述第二连通部为环状。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的主轴装置，其特征在于，

上述罩部件具有：

密封部件，其密封上述主轴外壳的外周面与上述罩部件之间的间隙的一部分；以及

制冷剂用流路，其形成于比上述密封部件靠上述凸缘部侧，且用于流通调整上述罩部件的温度的制冷剂，

上述气体用流路形成于比上述密封部件靠上述旋转部件侧。