CN110616411B

CN110616411B - 一种pvd真空镀膜工艺及镀膜工件

Info

Publication number: CN110616411B
Application number: CN201910899775.XA
Authority: CN
Inventors: 吴晓明
Original assignee: Haiyan Xinzhongyue Electronic Technology Co ltd
Current assignee: Haiyan Xinzhongyue Electronic Technology Co ltd
Priority date: 2019-09-23
Filing date: 2019-09-23
Publication date: 2021-09-07
Anticipated expiration: 2039-09-23
Also published as: CN110616411A

Abstract

本发明公开了一种PVD真空镀膜工艺，包括以下步骤：步骤一：基材表面处理；基材的表面擦拭清洗，进行除油、除尘处理；保证基材的整洁、干燥；步骤二：基材底涂烘干；在基材的表面涂覆镀膜油，然后进行烘干，烘干温度为60‑70摄氏度，烘干时间为2小时；步骤三：镀膜；步骤二的基材放置入真空镀膜炉内，抽真空装置对真空镀膜炉进行抽真空，真空度达到要求后真空镀膜炉开始镀膜；步骤四：清洗；将镀膜完成的工件放入超声波清洗装置内，进行清洗；步骤五：干燥；清洗好的工件进行晾干，包装。

Description

一种PVD真空镀膜工艺及镀膜工件

技术领域

本发明属于PVD真空镀膜技术领域，具体地说是涉及一种PVD真空镀膜工艺及镀膜工件。

背景技术

空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说，在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体上凝固并沉积的方法，称为真空镀膜。

现有在PVD真空镀膜工艺中存在以下不足：工件镀膜过程中，将工件悬挂工件挂架上，进行喷射镀膜，目前为了使得所有工件都能够镀膜均匀，在真空镀膜炉体的内壁设置有固定的镀膜喷嘴，其镀膜不均匀，使得局部的工件膜层不合格；其中用于抽真空的真空气泵在运行中会发生振动产生的噪音极大影响了厂区人员的工作环境，并且与真空气泵相连的真空罐由于长期收到大气压的挤压，内应力难以消除，会容易导致爆裂；目前都是人工将刀具放入到超声波清洗机的清洗池内进行，刀具锋利，人拿取和捞取不仅速率慢，并且还存在伤人的风险。

发明内容

本发明的目的是提供一种PVD真空镀膜工艺及镀膜工件，其解决上述背景技术中提出的问题。

为解决上述技术问题，本发明的目的是这样实现的：

一种PVD真空镀膜工艺，包括以下步骤：

步骤一：基材表面处理；基材的表面擦拭清洗，进行除油、除尘处理；保证基材的整洁、干燥；

步骤二：基材底涂烘干；在基材的表面涂覆镀膜油，然后进行烘干，烘干温度为60-70摄氏度，烘干时间为2小时；

步骤三：镀膜；步骤二的基材放置入真空镀膜炉内，抽真空装置对真空镀膜炉进行抽真空，真空度达到要求后真空镀膜炉开始镀膜；

步骤四：清洗；将镀膜完成的工件放入超声波清洗装置内，进行清洗；

步骤五：干燥；清洗好的工件进行晾干，包装。

在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案：真空镀膜炉包括真空镀膜炉体1，真空镀膜炉体1的下表面两侧均固定焊接有支撑腿2，真空镀膜炉体1的内部活动设置有环形上下移动管3，并且环形上下移动管3的内环内壁均匀分布有若干个镀膜喷头4，环形上下移动管3的外圈表面固定有若干个分布均匀的滑轮5，真空镀膜炉体1的内壁底部竖直固定安装有电动伸缩杆6，电动伸缩杆6的伸缩端上方与环形上下移动管3的下表面固定连接，真空镀膜炉体1的上方一侧安装有膜料螺纹接头7，并且膜料螺纹接头7下方位于真空镀膜炉体1内部处连接有单向阀8，单向阀8通过伸缩管9与环形上下移动管3表面的进气口密封连通，支撑腿2的内部底面壁固定有空气抽空管10，空气抽空管10通过管道与安装于真空镀膜炉体1外侧表面的抽气泵11连通，真空镀膜炉体1的内部竖直固定焊接有若干个刀具挂架13；膜料螺纹接头7中固定安装设置有过滤网，并且过滤网可拆卸式安装于膜料螺纹接头7的通道中；环形上下移动管3表面的滑轮5至少设置有四个，并且真空镀膜炉体1内壁开设有与滑轮5数量一致的竖直条形槽，滑轮5滚动卡设于竖直条形槽中；伸缩管9的通道中均匀排列安装有复数个交叉支撑架12，任意两个交叉支撑架12的距离为三厘米；电动伸缩杆6设置有一组共两个，并且两个电动伸缩杆6关于真空镀膜炉体1的竖直中轴线中心对称；刀具挂架13均设置于环形上下移动管3的内圈通道中。

在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案：抽真空装置包括基板01，基板01的上方安装有外罩壳02，基板01的上表面固定安装有真空气泵03，真空气泵03的一侧连通有真空罐04，真空罐04的上方通过管道连接有真空罐入口05，真空气泵03的出气座通过管道连通有气体排出口06，外罩壳02的上表面设置有压力表07，压力表07的检测端密封***真空罐04内部，真空罐04的两侧表面固定焊接有若干个内应力消除组件08，外罩壳02的内壁表面固定设置有若干个消声管09，内应力消除组件08包括矩形中空柱，矩形中空柱内部远离真空罐04的内壁固定焊接有弹簧081，弹簧081的一端固定焊接有撞球082；基板01的下表面通过连接杆固定焊接有底板010，底板010的下表面固定安装有若干个行走轮011；基板01的下表面位于底板010的上方两侧固定有电动伸缩杆012，底板010的下表面两侧均开设有凹槽，电动伸缩杆012的伸缩端穿过底板010中的凹槽后固定焊接有贴地板013；贴地板013的两端面固定焊接有滑轮，滑轮的轮面与凹槽的内侧壁滚动贴合；连接杆位于底板010的上表面居中位置，底板010上方两侧的电动伸缩杆012关于连接杆对称；消声管09的表面设置有复数个分布均匀的通孔，消声管09的内部设置有消声结构。

在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案：超声波清洗装置包括工作台001，工作台001的上表面可转动设置有L型转臂002，工作台001的上表面靠左侧方设置有待清洗载物盘003，工作台001的上表面靠L型转臂002的右侧方依次安装有超声波清洗机004、镂空晾干篮005和成品载物盘006，工作台001的下方位于L型转臂002的竖直杆下端处设置有伺服电机007，伺服电机007的输出轴与L型转臂002通过联轴器连接，L型转臂002的横杆部分内部开设有中空槽，中空槽中固定安装有水平限位滑杆008，水平限位滑杆008上活动滑动有滑动块009，L型转臂002的横杆部分上表面两侧均固定设置有收卷机0010，滑动块009的两侧分别通过拉绳与两侧收卷机0010的输出轴连接，滑动块009的下方连接有电动伸缩杆0011，并且电动伸缩杆0011的伸缩端下方固定连接有电磁铁吸盘0012，L型转臂002的竖直杆内部设置有中央处理器0013；工作台001下表面位于镂空晾干篮005的下方对应处设置有电热装置0014，并且电热装置0014的下方还安装有鼓风机0015；工作台001的上下表面开设有若干个连通的透气孔，透气孔均位于电热装置0014的正上方；超声波清洗机004的清洗池内底部贴合设置有弹性泡沫垫0016；中空槽的两侧内壁均通过连接条连接有定滑轮，滑动块009两侧的拉绳分别穿过两侧的定滑轮后与两侧收卷机0010的输出轴连接；中央处理器0013通过伸缩电线与电动伸缩杆0011和电磁铁吸盘0012保持电性连接，并且中央处理器0013通过内置线路与超声波清洗机004、伺服电机007、收卷机0010、电热装置0014和鼓风机0015均保持电性连接。

一种镀膜工件，经过上述的PVD真空镀膜工艺生产而成。

本发明相比现有技术突出且有益的技术效果是：

1、镀膜喷头对设置于环形上下移动管的内圈通道中的刀具挂架上挂置的刀具进行蒸发溅射镀膜，真空镀膜炉体的内壁底部竖直固定安装的电动伸缩杆通过伸缩使得环形上下移动管进行上下移动，使得所有刀具均可均匀镀膜；

2、将环形上下移动管表面设置有滑轮，并且在真空镀膜炉体内壁开设有与滑轮数量一致的竖直条形槽，将滑轮滚动卡设于竖直条形槽中，稳定的同时还能有效减少耗损。

3、外罩壳的内壁表面固定设置有若干个消声管可以对噪音进行吸收且有效的降噪，使得真空气泵在工作中产生的噪音不会对厂区的工作人员进行干扰，使工作环境得到提升；

4、矩形中空柱内部远离真空罐的内壁固定焊接有弹簧，在弹簧的一端固定焊接有撞球，在整个装置工作中处于振动的状态，那么撞球能够连续击打真空罐的表面，用击打的物理方式来消除真空罐的内应力，降低爆裂风险。

5、通过电磁铁通断电的磁性状态来吸附刀具，无需人工对刀具进行放置和捞取，避免捞取刀具时候发生的划破皮肤的风险，自动化的清洗刀具使得工作效率得到明显的提高；

6、电热装置工作使得周围空气迅速加热，其下方安装的鼓风机将热空气通过工作台上的透气孔对镂空晾干篮中存放的刀具进行快速的烘干，提高晾干效率。

附图说明

图1是本发明的真空镀膜炉的结构示意图。

图2是上下移动管俯视结构示意图。

图3是伸缩管上交叉支撑架结构示意图。

图4是本发明的抽真空装置结构示意图。

图5是图4中A处区域放大结构示意图。

图6是图4中B处区域放大结构示意图。

图7是本发明的超声波清洗装置结构示意图。

图8是图7中C处区域放大结构示意图。

图9是本发明的超声波清洗装置俯视结构示意图。

附图标记：1、真空镀膜炉体；2、支撑腿；3、环形上下移动管；4、镀膜喷头；5、滑轮；6、电动伸缩杆；7、膜料螺纹接头；8、单向阀；9、伸缩管；10、空气抽空管；11、抽气泵；12、交叉支撑架；13、刀具挂架；

01、基板；02、外罩壳；03、真空气泵；04、真空罐；05、真空罐入口；06、气体排出口；07、压力表；08、内应力消除组件；081、弹簧；082、撞球；09、消声管；010、底板；011、行走轮；012、电动伸缩杆；013、贴地板；

001、工作台；002、L型转臂；003、待清洗载物盘；004、超声波清洗机；005、镂空晾干篮；006、成品载物盘；007、伺服电机；008、水平限位滑杆；009、滑动块；0010、收卷机；0011、电动伸缩杆；0012、电磁铁吸盘；0013、中央处理器；0014、电热装置；0015、鼓风机；0016、弹性泡沫垫。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围；

本实施例给出了一种PVD真空镀膜工艺，包括以下步骤：

本发明提供了如图1-3所示的一种真空镀膜炉，如图1所示，包括真空镀膜炉体1，真空镀膜炉体1的下表面两侧均固定焊接有支撑腿2，真空镀膜炉体1的内部活动设置的环形上下移动管3能够进行上下移动，环形上下移动管3中是空心的，在真空镀膜炉体1的上方一侧安装有膜料螺纹接头7，膜料螺纹接头7接入输送液态高压膜料的设备，在膜料螺纹接头7下方位于真空镀膜炉体1内部处连接有单向阀8，单向阀8能够防止逆流，单向阀8通过伸缩管9将液态高压磨料输送到环形上下移动管3中；

支撑腿2的内部底面壁固定有空气抽空管10，空气抽空管10通过管道与安装于真空镀膜炉体1外侧表面的抽气泵11连通，抽气泵11工作通过空气抽空管10对真空镀膜炉体1进行吸气达到负压状态，真空镀膜炉体1的内部竖直固定焊接有多个刀具挂架13对待镀膜的刀具进行悬挂；

如图2所示，其中环形上下移动管3的内环内壁均匀安装若干个镀膜喷头4，将环形上下移动管3表面设置有四个滑轮5，并且在真空镀膜炉体1内壁开设有与滑轮5数量一致的竖直条形槽，将滑轮5滚动卡设于竖直条形槽中，稳定的同时还能有效减少耗损；

镀膜喷头4对设置于环形上下移动管3的内圈通道中的刀具挂架13上挂置的刀具进行蒸发溅射镀膜，真空镀膜炉体1的内壁底部竖直固定安装的电动伸缩杆6通过伸缩使得环形上下移动管3进行上下移动，使得所有刀具均可均匀镀膜，其中将电动伸缩杆6设置成两个且两个电动伸缩杆6关于真空镀膜炉体1的竖直中轴线中心对称，这样使得环形上下移动管3上下移动受力均匀；

根据本发明的另一实施例，如图3所示，在伸缩管9的通道中均匀排列安装有复数个交叉支撑架12，任意两个交叉支撑架12的距离为三厘米，使得伸缩管9会更耐用结实。

其中在膜料螺纹接头7中固定安装设置有过滤网，过滤网能够阻隔液态高压膜料中的杂质，将过滤网可拆卸式安装于膜料螺纹接头7的通道中，便于后期的检修维护。

本实用工作原理：

将膜料螺纹接头7接入输送液态高压膜料的设备，在膜料螺纹接头7下方位于真空镀膜炉体1内部处连接有单向阀8，单向阀8能够防止逆流，单向阀8通过伸缩管9将液态高压膜料输送到环形上下移动管3中，镀膜喷头4对设置于环形上下移动管3的内圈通道中的刀具挂架13上挂置的刀具进行蒸发溅射镀膜，真空镀膜炉体1的内壁底部竖直固定安装的电动伸缩杆6通过伸缩使得环形上下移动管3进行上下移动，使得所有刀具均可均匀镀膜。

本发明提供了如图4-6所示的一种抽真空装置，包括基板01，基板01的上方安装有外罩壳02，基板01的上表面固定安装有真空气泵03，真空气泵03在工作的时候首先吸取一侧连通的真空罐04中的空气，真空罐04的真空罐入口05是与外部的用于真空镀膜的大型真空室密封连通的，真空罐04的压力状态能够反映大型真空室的压力状态，压力表07的检测端密封***真空罐04内部，通过压力表07可以查看实时数据。

其中真空气泵03的出气座通过气体排出口06将气体排出外界，在真空气泵03工作的时候会振动，外罩壳02的内壁表面固定设置有若干个消声管09可以对噪音进行吸收且有效的降噪，消声管09的表面设置有复数个分布均匀的通孔，消声管09的内部设置有消声结构，噪声在消声管09内部的消声结构中得到有效降噪，消音结构采用现有技术中小孔消音器的结构。

将真空罐04的两侧表面固定焊接有若干个内应力消除组件08，内应力消除组件08的外部是一个矩形中空柱，矩形中空柱内部远离真空罐04的内壁固定焊接有弹簧081，在弹簧081的一端固定焊接有撞球082，在整个装置工作中处于振动的状态，那么撞球082能够连续击打真空罐04的表面，用击打的物理方式来消除真空罐04的内应力。

根据本发明的另一实施例，将基板01的下表面通过连接杆固定焊接有底板010，在底板010的下表面固定安装行走轮011用于装置的便捷移动。

进一步的，在基板01的下表面位于底板010的上方两侧安装电动伸缩杆012，通过电动伸缩杆012伸缩端的延长将其端部的贴地板013与地面进行贴合，连接杆位于底板010的上表面居中位置，底板010上方两侧的电动伸缩杆012关于连接杆对称，从而支撑整个装置，使得其稳定不易移动，在需要移动的时候，通过电动伸缩杆012收缩将贴地板013进行回升到底板010下表面开设的凹槽中。

在贴地板013的两端面固定焊接滑轮，滑轮的轮面与凹槽的内侧壁滚动贴合，在贴地板013进出凹槽的过程中降低摩擦耗损。

本实用工作原理：

在真空气泵03工作的时候会振动产生较强的噪音，外罩壳02的内壁表面固定设置有若干个消声管09可以对噪音进行吸收且有效的降噪，消声管09的表面设置有复数个分布均匀的通孔，消声管09的内部设置有消声结构，消音结构采用现有技术中小孔消音器的结构，噪声在消声管09内部的消声结构中得到有效降噪，将真空罐04的两侧表面固定焊接有若干个内应力消除组件08，内应力消除组件08的外部是一个矩形中空柱，矩形中空柱内部远离真空罐04的内壁固定焊接有弹簧081，在弹簧081的一端固定焊接有撞球082，在整个装置工作中处于振动的状态，那么撞球082能够连续击打真空罐04的表面，用击打的物理方式来消除真空罐04的内应力。

本发明提供了如图7-9所示的一种超声波清洗装置，包括工作台001，工作台001下方设置的伺服电机007的输出轴通过联轴器与L型转臂002连接，伺服电机007输出轴转动控制L型转臂002进行转动；

L型转臂002的横杆部分内部开设有中空槽，中空槽中固定安装有水平限位滑杆008，在水平限位滑杆008上活动设置可以滑动的滑动块009，中空槽的两侧内壁均通过连接条连接有定滑轮，滑动块009两侧的拉绳分别穿过两侧的定滑轮后与两侧收卷机0010的输出轴连接，L型转臂左侧收卷机0010的输出轴转动，其连接的拉绳则拉动滑动块009向左移动，L型转臂右侧收卷机0010的输出轴转动，其连接的拉绳则拉动滑动块009向右移动。

其中在滑动块009的下方连接有电动伸缩杆0011，电动伸缩杆0011的伸缩端下方的电磁铁吸盘0012具有通电有磁性断电无磁性的特点。

中央处理器0013通过伸缩电线与电动伸缩杆0011和电磁铁吸盘0012保持电性连接，并且中央处理器0013通过内置线路与超声波清洗机004、伺服电机007、收卷机0010、电热装置0014和鼓风机0015均保持电性连接，通过控制面板输送指令，中央处理器0013的统筹处理下，L型转臂002转动到左侧的待清洗载物盘003上方；

然后通过收卷机0010调整电动伸缩杆0011的位置，使得电磁铁吸盘0012位于电动伸缩杆0011的上方，随手电动伸缩杆0011向下延长使得电磁铁吸盘0012徐徐下降，当下降到一定位置的时候，对电磁铁吸盘0012通电使得具有磁性，便可以对待清洗载物盘003中的刀具进行吸附，然后进行升高转向，将刀具放置到超声波清洗机004的清洗池上方，对电磁铁吸盘0012断电，刀具掉落到清洗池中进行超声波清洗，清洗完毕后再通过电磁铁吸盘0012吸附将其放置于镂空晾干篮005中进行晾干，完成后按同样操作再放置于成品载物盘中；

根据本发明的另一实施例，将工作台001下表面位于镂空晾干篮005的下方对应处设置有电热装置0014，电热装置0014工作使得周围空气迅速加热，其下方安装的鼓风机0015将热空气通过工作台1上的透气孔对镂空晾干篮5中存放的刀具进行快速的烘干，提高晾干效率。

在超声波清洗机004的清洗池内底部贴合设置弹性泡沫垫0016，在刀具掉落的时候，不会破坏清洗池的内壁。

本实用工作原理：

通过控制面板输送指令，中央处理器0013的统筹处理下，L型转臂002转动到左侧的待清洗载物盘003上方，然后通过收卷机0010调整电动伸缩杆0011的位置，使得电磁铁吸盘0012位于电动伸缩杆0011的上方，随手电动伸缩杆0011向下延伸使得电磁铁吸盘0012徐徐下降，当下降到一定位置的时候，对电磁铁吸盘0012通电使得具有磁性，便可以对待清洗载物盘003中的刀具进行吸附，然后进行升高转向，将刀具放置到超声波清洗机004的清洗池上方，对电磁铁吸盘0012断电，刀具掉落到清洗池中进行超声波清洗，清洗完毕后再通过电磁铁吸盘0012吸附将其放置于镂空晾干篮5中进行晾干，完成后按同样操作再放置于成品载物盘中。

步骤五：干燥；清洗好的工件进行晾干，包装.

一种通过上述PDV真空镀膜工艺生产的镀膜工件，抽真空装置对真空镀膜炉进行抽真空处理，镀膜工件再在真空镀膜炉内进行镀膜，镀膜完成后，放置在超声波清洗装置内进行清洗；镀膜工件包括餐具的刀叉勺，门把手等。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，或者是本领域技术人员惯常理解的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。

上述实施例仅为本发明的较佳实施例，并非依此限制本发明的保护范围，故：凡依本发明的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本发明的保护范围之内。

Claims

1.一种PVD真空镀膜工艺，其特征在于：包括以下步骤：

真空镀膜炉包括真空镀膜炉体（1），真空镀膜炉体（1）的下表面两侧均固定焊接有支撑腿（2），真空镀膜炉体（1）的内部活动设置有环形上下移动管（3），并且环形上下移动管（3）的内环内壁均匀分布有若干个镀膜喷头（4），环形上下移动管（3）的外圈表面固定有若干个分布均匀的滑轮（5），真空镀膜炉体（1）的内壁底部竖直固定安装有电动伸缩杆（6），电动伸缩杆（6）的伸缩端上方与环形上下移动管（3）的下表面固定连接，真空镀膜炉体（1）的上方一侧安装有膜料螺纹接头（7），并且膜料螺纹接头（7）下方位于真空镀膜炉体（1）内部处连接有单向阀（8），单向阀（8）通过伸缩管（9）与环形上下移动管（3）表面的进气口密封连通，支撑腿（2）的内部底面壁固定有空气抽空管（10），空气抽空管（10）通过管道与安装于真空镀膜炉体（1）外侧表面的抽气泵（11）连通，真空镀膜炉体（1）的内部竖直固定焊接有若干个刀具挂架（13）；膜料螺纹接头（7）中固定安装设置有过滤网，并且过滤网可拆卸式安装于膜料螺纹接头（7）的通道中；环形上下移动管（3）表面的滑轮（5）至少设置有四个，并且真空镀膜炉体（1）内壁开设有与滑轮（5）数量一致的竖直条形槽，滑轮（5）滚动卡设于竖直条形槽中；伸缩管（9）的通道中均匀排列安装有复数个交叉支撑架（12），任意两个交叉支撑架（12）的距离为三厘米；电动伸缩杆（6）设置有一组共两个，并且两个电动伸缩杆（6）关于真空镀膜炉体（1）的竖直中轴线中心对称；刀具挂架（13）均设置于环形上下移动管（3）的内圈通道中；

步骤五：干燥；清洗好的工件进行晾干，包装。

2.根据权利要求1的PVD真空镀膜工艺，其特征在于：抽真空装置包括基板（01），基板（01）的上方安装有外罩壳（02），基板（01）的上表面固定安装有真空气泵（03），真空气泵（03）的一侧连通有真空罐（04），真空罐（04）的上方通过管道连接有真空罐入口（05），真空气泵（03）的出气座通过管道连通有气体排出口（06），外罩壳（02）的上表面设置有压力表（07），压力表（07）的检测端密封***真空罐（04）内部，真空罐（04）的两侧表面固定焊接有若干个内应力消除组件（08），外罩壳（02）的内壁表面固定设置有若干个消声管（09），内应力消除组件（08）包括矩形中空柱，矩形中空柱内部远离真空罐（04）的内壁固定焊接有弹簧（081），弹簧（081）的一端固定焊接有撞球（082）；基板（01）的下表面通过连接杆固定焊接有底板（010），底板（010）的下表面固定安装有若干个行走轮（011）；基板（01）的下表面位于底板（010）的上方两侧固定有电动伸缩杆（012），底板（010）的下表面两侧均开设有凹槽，电动伸缩杆（012）的伸缩端穿过底板（010）中的凹槽后固定焊接有贴地板（013）；贴地板（013）的两端面固定焊接有滑轮，滑轮的轮面与凹槽的内侧壁滚动贴合；连接杆位于底板（010）的上表面居中位置，底板（010）上方两侧的电动伸缩杆（012）关于连接杆对称；消声管（09）的表面设置有复数个分布均匀的通孔，消声管（09）的内部设置有消声结构。

3.根据权利要求1的PVD真空镀膜工艺，其特征在于：超声波清洗装置包括工作台（001），工作台（001）的上表面可转动设置有L型转臂（002），工作台（001）的上表面靠左侧方设置有待清洗载物盘（003），工作台（001）的上表面靠L型转臂（002）的右侧方依次安装有超声波清洗机（004）、镂空晾干篮（005）和成品载物盘（006），工作台（001）的下方位于L型转臂（002）的竖直杆下端处设置有伺服电机（007），伺服电机（007）的输出轴与L型转臂（002）通过联轴器连接，L型转臂（002）的横杆部分内部开设有中空槽，中空槽中固定安装有水平限位滑杆（008），水平限位滑杆（008）上活动滑动有滑动块（009），L型转臂（002）的横杆部分上表面两侧均固定设置有收卷机（0010），滑动块（009）的两侧分别通过拉绳与两侧收卷机（0010）的输出轴连接，滑动块（009）的下方连接有电动伸缩杆（0011），并且电动伸缩杆（0011）的伸缩端下方固定连接有电磁铁吸盘（0012），L型转臂（002）的竖直杆内部设置有中央处理器（0013）；工作台（001）下表面位于镂空晾干篮（005）的下方对应处设置有电热装置（0014），并且电热装置（0014）的下方还安装有鼓风机（0015）；工作台（001）的上下表面开设有若干个连通的透气孔，透气孔均位于电热装置（0014）的正上方；超声波清洗机（004）的清洗池内底部贴合设置有弹性泡沫垫（0016）；中空槽的两侧内壁均通过连接条连接有定滑轮，滑动块（009）两侧的拉绳分别穿过两侧的定滑轮后与两侧收卷机（0010）的输出轴连接；中央处理器（0013）通过伸缩电线与电动伸缩杆（0011）和电磁铁吸盘（0012）保持电性连接，并且中央处理器（0013）通过内置线路与超声波清洗机（004）、伺服电机（007）、收卷机（0010）、电热装置（0014）和鼓风机（0015）均保持电性连接。