CN211036071U - 一种用于pvd真空镀膜的真空镀膜炉 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种用于PVD真空镀膜的真空镀膜炉，涉及到真空镀膜炉技术领域，包括真空镀膜炉体，所述真空镀膜炉体的下表面两侧均固定焊接有支撑腿，所述真空镀膜炉体的内部活动设置有环形上下移动管，并且环形上下移动管的内环内壁均匀分布有若干个镀膜喷头，所述环形上下移动管的外圈表面固定有若干个分布均匀的滑轮，所述真空镀膜炉体的内壁底部竖直固定安装有电动伸缩杆。镀膜喷头对设置于环形上下移动管的内圈通道中的刀具挂架上挂置的刀具进行蒸发溅射镀膜，真空镀膜炉体的内壁底部竖直固定安装的电动伸缩杆通过伸缩使得环形上下移动管进行上下移动，使得所有刀具均可均匀镀膜。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空镀膜炉技术领域，特别涉及一种用于PVD真空镀膜的真空镀膜炉。
背景技术
真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说，在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体上凝固并沉积的方法，称为真空镀膜。其中在刀具镀膜中，将刀具悬挂刀具挂架上，进行喷射镀膜，目前为了使得所有刀具都能够镀膜均匀，在真空镀膜炉体的内壁设置有固定的镀膜喷嘴，其镀膜不均匀，使得局部的刀具膜层不合格，因此，发明一种用于PVD真空镀膜的真空镀膜炉来解决上述问题很有必要。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种用于PVD真空镀膜的真空镀膜炉，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于PVD真空镀膜的真空镀膜炉，包括真空镀膜炉体，所述真空镀膜炉体的下表面两侧均固定焊接有支撑腿，所述真空镀膜炉体的内部活动设置有环形上下移动管，并且环形上下移动管的内环内壁均匀分布有若干个镀膜喷头，所述环形上下移动管的外圈表面固定有若干个分布均匀的滑轮，所述真空镀膜炉体的内壁底部竖直固定安装有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的伸缩端上方与环形上下移动管的下表面固定连接，所述真空镀膜炉体的上方一侧安装有膜料螺纹接头，并且膜料螺纹接头下方位于真空镀膜炉体内部处连接有单向阀，所述单向阀通过伸缩管与环形上下移动管表面的进气口密封连通，所述支撑腿的内部底面壁固定有空气抽空管，所述空气抽空管通过管道与安装于真空镀膜炉体外侧表面的抽气泵连通，所述真空镀膜炉体的内部竖直固定焊接有若干个刀具挂架。
优选的，所述膜料螺纹接头中固定安装设置有过滤网，并且过滤网可拆卸式安装于膜料螺纹接头的通道中。
优选的，所述环形上下移动管表面的滑轮至少设置有四个，并且真空镀膜炉体内壁开设有与滑轮数量一致的竖直条形槽，所述滑轮滚动卡设于竖直条形槽中。
优选的，所述伸缩管的通道中均匀排列安装有复数个交叉支撑架，所述任意两个交叉支撑架的距离为三厘米。
优选的，所述电动伸缩杆设置有一组共两个，并且两个电动伸缩杆关于真空镀膜炉体的竖直中轴线中心对称。
优选的，所述刀具挂架均设置于环形上下移动管的内圈通道中。
本实用新型的技术效果和优点：
1、镀膜喷头对设置于环形上下移动管的内圈通道中的刀具挂架上挂置的刀具进行蒸发溅射镀膜，真空镀膜炉体的内壁底部竖直固定安装的电动伸缩杆通过伸缩使得环形上下移动管进行上下移动，使得所有刀具均可均匀镀膜；
2、将环形上下移动管表面设置有滑轮，并且在真空镀膜炉体内壁开设有与滑轮数量一致的竖直条形槽，将滑轮滚动卡设于竖直条形槽中，稳定的同时还能有效减少耗损。
附图说明
图1为本实用新型示意图。
图2为本实用新型环形上下移动管俯视结构示意图。
图3为本实用新型伸缩管上交叉支撑架的示意图。
图中：1、真空镀膜炉体；2、支撑腿；3、环形上下移动管；4、镀膜喷头；5、滑轮；6、电动伸缩杆；7、膜料螺纹接头；8、单向阀；9、伸缩管；10、空气抽空管；11、抽气泵；12、交叉支撑架；13、刀具挂架。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
本实用新型提供了如图1-3所示的一种用于PVD真空镀膜的真空镀膜炉，如图1所示，包括真空镀膜炉体1，真空镀膜炉体1的下表面两侧均固定焊接有支撑腿2，真空镀膜炉体1的内部活动设置的环形上下移动管3能够进行上下移动，环形上下移动管3中是空心的，在真空镀膜炉体1的上方一侧安装有膜料螺纹接头7，膜料螺纹接头7接入输送液态高压膜料的设备，在膜料螺纹接头7下方位于真空镀膜炉体1内部处连接有单向阀8，单向阀8能够防止逆流，单向阀8通过伸缩管9将液态高压磨料输送到环形上下移动管3中；
支撑腿2的内部底面壁固定有空气抽空管10，空气抽空管10通过管道与安装于真空镀膜炉体1外侧表面的抽气泵11连通，抽气泵11工作通过空气抽空管10对真空镀膜炉体1进行吸气达到负压状态，真空镀膜炉体1的内部竖直固定焊接有多个刀具挂架13对待镀膜的刀具进行悬挂；
如图2所示，其中环形上下移动管3的内环内壁均匀安装若干个镀膜喷头4，将环形上下移动管3表面设置有四个滑轮5，并且在真空镀膜炉体1内壁开设有与滑轮5数量一致的竖直条形槽，将滑轮5滚动卡设于竖直条形槽中，稳定的同时还能有效减少耗损；
镀膜喷头4对设置于环形上下移动管3的内圈通道中的刀具挂架13上挂置的刀具进行蒸发溅射镀膜，真空镀膜炉体1的内壁底部竖直固定安装的电动伸缩杆6通过伸缩使得环形上下移动管3进行上下移动，使得所有刀具均可均匀镀膜，其中将电动伸缩杆6设置成两个且两个电动伸缩杆6关于真空镀膜炉体1的竖直中轴线中心对称，这样使得环形上下移动管3上下移动受力均匀；
根据本实用新型的另一实施例，如图3所示，在伸缩管9的通道中均匀排列安装有复数个交叉支撑架12，任意两个交叉支撑架12的距离为三厘米，使得伸缩管9会更耐用结实。
其中在膜料螺纹接头7中固定安装设置有过滤网，过滤网能够阻隔液态高压膜料中的杂质，将过滤网可拆卸式安装于膜料螺纹接头7的通道中，便于后期的检修维护。
本实用工作原理：
将膜料螺纹接头7接入输送液态高压膜料的设备，在膜料螺纹接头7下方位于真空镀膜炉体1内部处连接有单向阀8，单向阀8能够防止逆流，单向阀8通过伸缩管9将液态高压膜料输送到环形上下移动管3中，镀膜喷头4对设置于环形上下移动管3的内圈通道中的刀具挂架13上挂置的刀具进行蒸发溅射镀膜，真空镀膜炉体1的内壁底部竖直固定安装的电动伸缩杆6通过伸缩使得环形上下移动管3进行上下移动，使得所有刀具均可均匀镀膜。
最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种用于PVD真空镀膜的真空镀膜炉，包括真空镀膜炉体(1)，所述真空镀膜炉体(1)的下表面两侧均固定焊接有支撑腿(2)，其特征在于：所述真空镀膜炉体(1)的内部活动设置有环形上下移动管(3)，并且环形上下移动管(3)的内环内壁均匀分布有若干个镀膜喷头(4)，所述环形上下移动管(3)的外圈表面固定有若干个分布均匀的滑轮(5)，所述真空镀膜炉体(1)的内壁底部竖直固定安装有电动伸缩杆(6)，所述电动伸缩杆(6)的伸缩端上方与环形上下移动管(3)的下表面固定连接，所述真空镀膜炉体(1)的上方一侧安装有膜料螺纹接头(7)，并且膜料螺纹接头(7)下方位于真空镀膜炉体(1)内部处连接有单向阀(8)，所述单向阀(8)通过伸缩管(9)与环形上下移动管(3)表面的进气口密封连通，所述支撑腿(2)的内部底面壁固定有空气抽空管(10)，所述空气抽空管(10)通过管道与安装于真空镀膜炉体(1)外侧表面的抽气泵(11)连通，所述真空镀膜炉体(1)的内部竖直固定焊接有若干个刀具挂架(13)。
2.根据权利要求1所述的一种用于PVD真空镀膜的真空镀膜炉，其特征在于：所述膜料螺纹接头(7)中固定安装设置有过滤网，并且过滤网可拆卸式安装于膜料螺纹接头(7)的通道中。
3.根据权利要求1所述的一种用于PVD真空镀膜的真空镀膜炉，其特征在于：所述环形上下移动管(3)表面的滑轮(5)至少设置有四个，并且真空镀膜炉体(1)内壁开设有与滑轮(5)数量一致的竖直条形槽，所述滑轮(5)滚动卡设于竖直条形槽中。
4.根据权利要求1所述的一种用于PVD真空镀膜的真空镀膜炉，其特征在于：所述伸缩管(9)的通道中均匀排列安装有复数个交叉支撑架(12)，所述任意两个交叉支撑架(12)的距离为三厘米。
5.根据权利要求1所述的一种用于PVD真空镀膜的真空镀膜炉，其特征在于：所述电动伸缩杆(6)设置有一组共两个，并且两个电动伸缩杆(6)关于真空镀膜炉体(1)的竖直中轴线中心对称。
6.根据权利要求1所述的一种用于PVD真空镀膜的真空镀膜炉，其特征在于：所述刀具挂架(13)均设置于环形上下移动管(3)的内圈通道中。
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|---|---|---|---|---|
| CN112680693A (zh) * | 2020-12-09 | 2021-04-20 | 深圳市富吉真空技术有限公司 | 一种铣刀镀膜设备以及铣刀镀膜工艺 |
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2019
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