CN110087887B - 液体喷射头以及液体喷射装置 - Google Patents

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Abstract

在液体喷射头中抑制因设置用于使液体循环的液室而引起的机械性的强度的降低。液体喷射头具备：喷嘴板，其设置有喷嘴；流道形成部，其设置有压力室、连通通道和循环液室，所述压力室被供给液体，所述连通通道使所述喷嘴和所述压力室连通，所述循环液室与所述连通通道连通；压力产生部，其使所述压力室产生压力变化，所述循环液室内的第一地点处的高度大于在从所述第一地点观察时靠所述连通通道侧的第二地点处的高度。

Description

液体喷射头以及液体喷射装置
技术领域
本发明涉及一种喷射油墨等液体的技术。
背景技术
一直以来，提出了一种从多个喷嘴喷射油墨等液体的液体喷射头。在例如专利文献1中，公开了一种层压结构的液体喷射头，该液体喷射头在连通板的一侧的表面上设置有流道形成基板，且在另一侧的表面上设置有喷嘴板。在流道形成基板中，形成有被填充从共同液体室(贮液室)供给的液体的压力产生室，在喷嘴板上形成有喷嘴。经由被形成于连通板中的连通通道，压力产生室与喷嘴相互连通。在连通板中设置有喷嘴板的表面上，形成有与共同液体室连通的循环流道、以及使连通通道和循环流道相互连通的槽状的循环连通通道。根据以上的结构，能够经由循环连通通道和循环流道而使连通通道的内部的液体循环于共通液体室内。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2012-143948号公报
发明内容
发明所要解决的课题
在专利文献1的技术中，由于在连通板中形成有循环连通通道，因此，难以充分确保连通板的机械性的强度。考虑到以上的情况，本发明的优选的方式的目的之一在于，对因设置用于使液体循环的液室而引起的机械性的强度的降低进行抑制。
用于解决课题的手段
方式A1
为了解决以上的课题，本发明的优选的方式(方式A1)所涉及的液体喷射头具备：喷嘴板，其设置有喷嘴；流道形成部，其设置有压力室、连通通道和循环液室，所述压力室被供给液体，所述连通通道使所述喷嘴和所述压力室连通，所述循环液室与所述连通通道连通；压力产生部，其使所述压力室产生压力变化，所述循环液室内的第一地点处的高度大于在从所述第一地点观察时靠所述连通通道侧的第二地点处的高度。在以上的方式中，由于循环液室中的第一地点处的高度大于在从第一地点观察时靠连通通道侧的第二地点处的高度，因此，与跨及循环液室的整体而为第一地点处的高度的结构相比，能够抑制流道形成部的机械性的强度的降低。
方式A2
在方式A1的优选例(方式A2)中，所述循环液室在俯视观察时与所述压力室不重叠。在以上的方式中，由于循环液室在俯视观察时与压力室不重叠，因此，与循环液室与压力室重叠的结构相比，能够抑制流道形成部的机械性的强度的降低。
方式A3
在方式A1或方式A2的优选例(方式A3)中，所述循环液室的高度的最大值小于所述连通通道的流道长度。在以上的方式中，循环液室的高度的最大值小于连通通道的流道长度。因此，与循环液室的高度的最大值与连通通道的流道长度相等或大于该流道长度的结构相比，能够抑制流道形成部的机械性的强度的降低。
方式A4
在方式A1或方式A2的优选例(方式A4)中，所述流道形成部包括第一流道基板和第二流道基板，所述第一流道基板中形成有所述连通通道和所述循环液室，第二流道基板中形成有所述压力室，所述循环液室的高度的最大值在所述第一流道基板的厚度的一半以下。在以上的方式中，循环液室的高度的最大值在第一流道基板的厚度的一半以下。因此，与循环液室的高度的最大值大于第一流道基板的厚度的一半的结构相比，能够抑制流道形成部的机械性的强度的降低。
方式A5
在方式A1至方式A4的任一方式的优选例(方式A5)中，所述循环液室的高度的最大值小于所述循环液室的宽度。在以上的方式中，循环液室的高度的最大值小于循环液室的宽度。因此，与循环液室的高度的最大值大于该宽度的结构相比，能够抑制流道形成部的机械性的强度的降低。
方式A6
在方式A1至方式A5的任一方式的优选例(方式A6)中，所述循环液室的高度随着从该高度成为最大的位置趋向于宽度方向的端部而单调减少。在以上的方式中，由于随着从循环液室的高度成为最大的位置趋向于宽度方向的端部，高度单调减少，因此，能够抑制流道形成部的机械性的强度的降低。
方式A7
在方式A1至方式A6的任一方式的优选例(方式A7)中，在所述循环液室的上表面中，形成有在俯视观察时呈曲线状延伸的多个槽部。在以上的方式中，由于在循环液室的上表面上形成有曲线状的多个槽部，因此，能够通过多个槽部来对液体在循环液室内流动的方向进行调节。
方式A8
在方式A7的优选例(方式A8)中，所述循环液室在第一方向上为长条，多个所述槽部在俯视观察时向所述第一方向的第一侧凸起。在以上的方式中，以向作为循环液室的长边方向的第一方向的第一侧凸起的方式而形成多个槽部。因此，能够使流入循环液室中的液体易于向与第一侧相反的第二侧流动。
方式A9
在方式A7的优选例(方式A9)中，在所述喷嘴板上，作为所述喷嘴，设置有第一喷嘴和第二喷嘴，在所述流道形成部中，设置有与所述第一喷嘴对应的所述压力室以及所述连通通道、与所述第二喷嘴对应的所述压力室以及所述连通通道、和位于与所述第一喷嘴对应的所述连通通道及与所述第二喷嘴对应的所述连通通道之间且在第一方向上为长条的所述循环液室，被形成于所述循环液室的上表面中的所述第一喷嘴侧的区域内的所述槽部在俯视观察时向所述第一方向的第一侧凸起，被形成于所述第二喷嘴侧的区域内的所述槽部在俯视观察时向与所述第一侧相反的第二侧凸起。在以上的方式中，具有如下的优点，即，使从与第一喷嘴对应的连通通道流入循环液室中的液体易于向第一方向的第二侧流动，并且，使从与第二喷嘴对应的连通通道流入循环液室中的液体易于向第一方向的第一侧流动。
方式A10
在方式A7的优选例(方式A10)中，在所述喷嘴板上，作为所述喷嘴，设置有第一喷嘴和第二喷嘴，在所述流道形成部中，设置有与所述第一喷嘴对应的所述压力室以及所述连通通道、与所述第二喷嘴对应的所述压力室以及所述连通通道、和位于与所述第一喷嘴对应的所述连通通道及与所述第二喷嘴对应的所述连通通道之间且在第一方向上为长条的所述循环液室，被形成于所述循环液室的上表面中的所述第一喷嘴侧的区域内的所述槽部和被形成于所述第二喷嘴侧的区域内的所述槽部在俯视观察时向所述第一方向的第一侧凸起。在以上的方式中，具有如下的优点，即，使从与第一喷嘴对应的连通通道流入循环液室的液体和从与第二喷嘴对应的连通通道流入循环液室的液体这两方易于向与第一侧相反的第二侧流动。
方式A11
在方式A7的优选例(方式A11)中，在所述喷嘴板上，设置有在所述第一方向上排列的多个喷嘴，在所述流道形成部上，设置有与多个所述喷嘴分别对应的所述压力室以及所述连通通道、和在所述第一方向上为长条的所述循环液室，多个所述槽部中的位于所述第一方向的第一侧的槽部在俯视观察时向与所述第一侧相反的第二侧凸起，多个所述槽部中的所述第一方向上的所述第二侧的槽部在俯视观察时向所述第一侧凸起。在以上的方式中，具有如下的优点，即，使从位于第一方向的第一侧的喷嘴流入循环液室的液体易于向第一侧流动，并且，使从位于第一方向的第二侧的喷嘴流入循环液室的液体易于向第二侧流动。
方式A12
在方式A1至方式A11的任一方式的优选例(方式A12)中，在所述流道形成部中，作为所述循环液室而设置有第一循环液室以及第二循环液室，所述第一循环液室以及所述第二循环液室隔着所述连通通道而相互位于相反侧，并与该连通通道连通。在以上的方式中，由于隔着连通通道而在相互相反的一侧设置有第一循环液室和第二循环液室，因此，与仅设置第一循环液室以及第二循环液室的一方的结构相比，能够增多液体的循环量。
方式A13
在方式A12的优选例(方式A13)中，所述第一循环液室在俯视观察时与所述压力室不重叠，所述第二循环液室在俯视观察时与所述压力室重叠。在以上的方式中，由于第一循环液室与压力室不重叠，第二循环液室与压力室重叠，因此，与第一循环液室以及第二循环液室这两方与压力室重叠的结构相比，具有易于维持压力室的机械性的强度的优点。
方式A14
在方式A13的优选例(方式A14)中，所述第一循环液室的高度与所述第二循环液室的高度相等。根据以上的方式，具有简化了形成第一循环液室和第二循环液室的工序的优点。
方式A15
在方式A13的优选例(方式A15)中，所述第一循环液室的高度大于所述第二循环液室的高度。根据以上的方式，具有易于维持压力室的机械性的强度的优点。
方式A16
在方式A13的优选例(方式A16)中，所述第一循环液室的高度小于所述第二循环液室的高度。根据以上的方式，具有易于维持流道形成部的机械性的强度的优点。
方式A17
在方式A13的优选例(方式A17)中，所述第一循环液室的宽度大于所述第二循环液室的宽度。
方式A18
在方式A13的优选例(方式A18)中，所述第一循环液室的宽度小于所述第二循环液室的宽度。
方式A19
在方式A1至方式A18的任一方式的优选例(方式A19)中，在所述流道形成部中，设置有供给液室，所述供给液室对向所述压力室供给的液体进行贮留，所述循环液室的高度的最大值与所述供给液室的高度相等。根据以上的方式，由于循环液室的高度和供给液室的高度相等，因此，具有简化了形成循环液室和供给液室的工序的优点。
方式A20
在方式A1至方式A19的任一方式的优选例(方式A20)中，在所述循环液室与所述连通通道之间存在预定的厚度的隔壁部。在以上的方式中，由于在循环液室与连通通道之间存在预定的厚度的隔壁部，因此，具有易于维持循环液室的机械性的强度的优点。
方式A21
在方式A1至方式A20的任一方式的优选例(方式A21)中，所述循环液室包括第一空间和第二空间，所述第二空间被形成于在从所述第一空间观察时在所述连通通道侧相互对置的流道壁之间，所述第一地点位于所述第一空间内，所述第二地点位于所述第二空间内。在以上的方式中，由于循环液室的第二空间被形成于流道壁之间，因此，与未形成流道壁的结构相比，具有易于维持流道形成部的机械性的强度的优点。
方式A22
在方式A1至方式A21的任一方式的优选例(方式A22)中，具备配线基板，所述配线基板在隔着所述流道形成部而与所述喷嘴板相反的一侧设置有端部，所述循环液室在俯视观察时与所述配线基板的所述端部重叠。在以上的方式中，在安装配线基板时，外力易于从配信基板作用在流道形成部上。因此，能够抑制流道形成部的机械性的强度的降低的以上的方式格外优选。
方式A23
本发明的优选的方式(方式A23)所涉及的液体喷射装置具备以上例示的任一方式所涉及的液体喷射头。液体喷射装置的良好的示例为喷射油墨的印刷装置，但本发明所涉及的液体喷射装置的用途并未被限定为印刷。
可是，在专利文献1的技术中，在连通板中的接合有喷嘴板的表面上，形成有循环连通通道。在以上的结构中，使位于喷嘴的附近的液体相对于循环流道而有效地循环，这实际上是困难的。考虑到以上的情况，本发明的优选的方式的目的之一在于，使喷嘴的附近的液体有效地循环。
方式B1
为了解决以上的课题，本发明的优选的方式(方式B1)所涉及的液体喷射头具备：喷嘴板，其设置有第一喷嘴以及第二喷嘴；流道形成部，其设置有第一压力室以及第二压力室、第一连通通道、第二连通通道和循环液室，所述第一压力室以及第二压力室被供给液体，所述第一连通通道使所述第一喷嘴和所述第一压力室连通，所述第二连通通道使所述第二喷嘴和所述第二压力室连通，所述循环液室位于所述第一连通通道与所述第二连通通道之间；压力产生部，其使所述第一压力室以及所述第二压力室分别产生压力变化，在所述喷嘴板中，设置有第一循环通道和第二循环通道，所述第一循环通道使所述第一连通通道和所述循环液室连通，所述第二循环通道使所述第二连通通道和所述循环液室连通。根据以上的方式，由于使第一连通通道和循环液室连通的第一循环通道被形成于喷嘴板中，因此，与循环连通通道被形成在连通板中的专利文献1的结构相比，能够有效地向循环液室供给喷嘴的附近的液体。另外，由于第一循环通道和第二循环通道共同地与位于第一连通通道与第二连通通道之间的循环液室连通，因此，与分别地设置与第一循环通道连通的循环液室和与第二循环通道连通的循环液室的结构相比，还具有简化了液体喷射头的结构的优点。并且，在以下的说明中，将流通于第一连通通道中的液体中的经由第一循环通道而流入循环液室中的液体的量标记为“循环量”，将流通于第一连通通道中的液体中的经由第一喷嘴而被喷射的液体的量标记为“喷射量”。
方式B2
在方式B1的优选例(方式B2)中，所述第一喷嘴包括第一区间和第二区间，所述第二区间与所述第一区间相比直径较大，且在从该第一区间观察时位于所述流道形成部侧。在以上的方式中，由于第一喷嘴包括内径不同的第一区间和第二区间，因此，具有易于将第一喷嘴的流道阻力设定为所期望的特性的优点。
方式B3
在方式B2的优选例(方式B3)中，所述第一循环通道与所述第二区间的深度相同。在以上的方式中，由于第一循环通道和第一喷嘴的第二区间的深度相同，因此，与在第一循环通道和第二区间中深度不同的结构相比，具有易于形成第一循环通道以及第二区间的优点。
方式B4
在方式B2的优选例(方式B4)中，所述第一循环通道与所述第二区间相比较深。在以上的方式中，由于第一循环通道与第一喷嘴的第二区间相比较深，因此，同第一循环通道与第二区间相比较浅的结构相比，第一循环通道的流道阻力较小。因此，同第一循环通道与第二区间相比较浅的结构相比，能够增多循环量。
方式B5
在方式B2的优选例(方式B5)中，所述第一循环通道与所述第二区间相比较浅。在以上的方式中，由于第一循环通道与第一喷嘴的第二区间相比较浅，因此，同第一循环通道与第二区间相比较深的结构相比，第一循环通道的流道阻力较大。因此，同第一循环通道与第二区间相比较深的结构相比，能够增多喷射量。
方式B6
在方式B2至方式B5的任一方式的优选例(方式B6)中，所述第二区间与所述第一循环通道连续。在以上的方式中，第一喷嘴的第二区间与第一循环通道连续。因此，能够使喷嘴的附近的液体有效地循环在循环液室中的前述的效果格外显著。
方式B7
在方式B1至方式B5的任一方式的优选例(方式B7)中，所述第一喷嘴和所述第一循环通道在所述喷嘴板的面内相互分离。在以上的方式中，第一喷嘴和第一循环通道相互分离。因此，具有易于兼顾循环量和喷射量的优点。
方式B8
在方式B7的优选例(方式B8)中，所述第一循环通道中的与所述循环液室重叠的部分的流道长度La、和所述第一循环通道中的与所述第一连通通道重叠的部分的流道长度Lb满足La＞Lb。根据以上的方式，具有第一连通通道内的液体易于经由第一循环通道而向循环液室供给的优点。
方式B9
在方式B8的优选例(方式B9)中，所述第一循环通道中的、与所述流道形成部中的所述第一连通通道和所述循环液室之间的隔壁部重叠的部分的流道长度Lc满足La＞Lb＞Lc。根据以上的方式，具有第一连通通道内的液体易于经由第一循环通道而被向循环液室供给的优点。
方式B10
在方式B6或方式B7的优选例(方式B10)中，所述第一循环通道中的与所述循环液室重叠的部分的流道长度La、以及所述第一循环通道中的、与所述流道形成部中的所述第一连通通道和所述循环液室之间的隔壁部重叠的部分的流道长度Lc满足La＞Lc。根据以上的方式，具有第一连通通道内的液体易于经由第一循环通道而被向循环液室供给的优点。
方式B11
在方式B1至方式B10的任一方式的优选例(方式B11)中，所述第一循环通道的流道宽度小于所述第一喷嘴的最大直径。在以上的方式中，由于第一循环通道的流道宽度小于第一喷嘴的最大直径，因此，与第一循环通道的流道宽度大于第一喷嘴的最大直径的结构相比，第一循环通道的流道阻力较大。因此，能够增多喷射量。
方式B12
在方式B1至方式B11的任一方式的优选例(方式B12)中，所述第一循环通道的流道宽度小于所述第一压力室的流道宽度。在以上的方式中，由于第一循环通道的流道宽度小于第一压力室的流道宽度，因此，与第一循环通道的流道宽度大于第一压力室的流道宽度的结构相比，第一循环通道的流道阻力较大。因此，能够增多喷射量。
方式B13
在方式B1至方式B12的任一方式的优选例(方式B13)中，所述第一循环通道中的所述循环液室侧的部分的流道宽度大于所述第一喷嘴侧的部分的流道宽度。在以上的方式中，由于第一循环通道中的循环液室侧的部分的流道宽度大于第一喷嘴侧的部分的流道宽度，因此，第一连通通道内的液体易于经由第一循环通道而被向循环液室供给。因此，具有易于确保循环量的优点。
方式B14
在方式B1至方式B12的任一方式的优选例(方式B14)中，所述第一循环通道中的中间部分的流道宽度小于在从所述中间部分观察时位于所述循环液室侧的部分的流道宽度以及位于所述第一喷嘴侧的部分的流道宽度。在以上的方式中，由于第一循环通道中的中间部分的流道宽度与循环液室侧的部分以及第一喷嘴侧的部分相比较小，因此，与第一循环通道的流道宽度固定的结构相比，第一循环通道的流道阻力较大。因此，能够增多喷射量。
方式B15
在方式B1至方式B12的任一方式的优选例(方式B15)中，所述第一循环通道中的中间部分的流道宽度大于在从所述中间部分观察时位于所述循环液室侧的部分的流道宽度以及位于所述第一喷嘴侧的部分的流道宽度。在以上的方式中，由于第一循环通道中的中间部分的流道宽度大于循环液室侧的部分以及第一喷嘴侧的部分，因此与第一循环通道的流道宽度固定的结构相比，第一循环通道的流道阻力较小。因此，能够增多循环量。
方式B16
在方式B1至方式B15的任一方式的优选例(方式B16)中，所述第一喷嘴的中心轴在从所述第一连通通道的中心轴观察时位于与所述循环液室相反侧。在以上的方式中，由于第一喷嘴的中心轴在从第一连通通道的中心轴观察时位于与循环液室相反侧，因此，与第一喷嘴的中心轴在从第一连通通道的中心轴观察时位于循环液室侧的结构相比，能够减少循环量，并且增加喷射量。
方式B17
在方式B1至方式B15的任一方式的优选例(方式B17)中，所述第一喷嘴的中心轴位于与所述第一连通通道的中心轴相同的位置。在以上的方式中，由于第一喷嘴的中心轴和第一连通通道的中心轴位于相同的位置，因此，与第一喷嘴的中心轴和第一连通通道的中心轴位于不同的位置相比，具有易于兼顾喷射量和循环量的优点。
方式B18
在方式B1至方式B15的任一方式的优选例(方式B18)中，所述第一喷嘴的中心轴在从所述第一连通通道的中心轴观察时位于所述循环液室侧。在以上的方式中，由于第一喷嘴的中心轴在从第一连通通道的中心轴观察时位于循环液室侧，因此，与第一喷嘴的中心轴在从第一连通通道的中心轴观察时位于与循环液室相反侧的结构相比，能够增加循环量，并且减少喷射量。
方式B19
在方式B1至方式B18的任一方式的优选例(方式B19)中，所述第一循环通道中的中间部分与在从所述中间部分观察时位于所述循环液室侧的部分以及位于所述第一喷嘴侧的部分相比较深。在以上的方式中，由于第一循环通道的中间部分与循环液室侧的部分以及第一喷嘴侧的部分相比较深，因此，与第一循环通道的深度跨及全长而固定的结构相比，第一循环通道的流道阻力较小。因此，能够增多循环量。
方式B20
在方式B1至方式B19的任一方式的优选例(方式B20)中，在使所述第一压力室产生压力变化的情况下，经由所述第一循环通道而被向循环液室供给的液体的量多于从所述第一喷嘴喷射的液体的量。在以上的方式中，循环量多于喷射量。即，能够在确保喷射量的同时使喷嘴附近的液体有效地循环至循环液室中。
方式B21
在方式B1至方式B20的任一方式的优选例(方式B21)中，所述第一循环通道与所述循环液室相互重叠，所述第一循环通道和所述第一压力室相互重叠，所述循环液室和所述第一压力室相互不重叠。在以上的方式中，第一循环通道与循环液室以及第一压力室重叠，而循环液室和第一压力室相互不重叠。因此，与例如第一循环通道和第一压力室相互不重叠的结构相比，具有易于使液体喷射头小型化的优点。
方式B22
在方式B1至方式B20的任一方式的优选例(方式B22)中，所述第一循环通道和所述循环液室相互重叠，所述第一循环通道和所述压力产生部相互重叠，所述循环液室和所述压力产生部相互不重叠。在以上的方式中，第一循环通道与循环液室以及压力产生部重叠，而循环液室和压力产生部相互不重叠。因此，与例如第一循环通道和压力产生部相互不重叠的结构相比，具有易于使液体喷射头小型化的优点。
方式B23
在方式B1至方式B20的任一方式的优选例(方式B23)中，所述第一压力室中的所述第一连通通道侧的端面为，相对于该第一压力室的上表面而倾斜的倾斜面，所述第一循环通道和所述第一压力室的上表面相互不重叠。
方式B24
在方式B1至方式B23的任一方式的优选例(方式B24)中，所述第一压力室和所述循环液室经由所述第一连通通道和所述第一循环通道而连通。在以上的方式中，第一压力室和循环液室经由第一连通通道和第一循环通道而间接连通。因此，与使第一压力室和循环液室直接连通的结构相比，能够在适当地确保喷射量的同时向循环液室供给液体。
方式B25
在方式B1至方式B24的任一方式的优选例(方式B25)中，所述喷嘴板以及流道形成部分别包含由硅形成的基板。在以上的方式中，由于喷嘴板以及流道形成部分别包含硅基板，因此，具有如下的优点，即，能够通过利用例如半导体制造技术，而相对于喷嘴板以及流道形成部高精度地形成流道。
方式B26
本发明的优选的方式所涉及的液体喷射装置具备以上例示的各方式所涉及的液体喷射头。液体喷射装置的良好的示例为喷射油墨的印刷装置，但本发明所涉及的液体喷射装置的用途并未被限定于印刷。
附图说明
图1为本发明的第一实施方式中的液体喷射装置的结构图。
图2为液体喷射头的剖视图。
图3为液体喷射头的局部的分解立体图。
图4为压电元件的剖视图。
图5为液体喷射头中的油墨的循环的说明图。
图6为液体喷射头中的循环液室的附近的俯视图以及剖视图。
图7为第二实施方式中的液体喷射头的局部的分解立体图。
图8为第二实施方式中的循环液室的附近的俯视图以及剖视图。
图9为第三实施方式中的循环液室的附近的俯视图以及剖视图。
图10为第四实施方式中的循环液室的附近的剖视图。
图11为第五实施方式中的循环液室的附近的剖视图。
图12为第五实施方式的改变例中的循环液室的附近的剖视图。
图13为第六实施方式中的循环液室的俯视图。
图14为第六实施方式的改变例中的循环液室的俯视图。
图15为第六实施方式的改变例中的循环液室的俯视图。
图16为第七实施方式中的循环液室的附近的剖视图。
图17为第七实施方式的改变例中的循环液室的附近的剖视图。
图18为第七实施方式的改变例中的循环液室的附近的剖视图。
图19为第七实施方式的改变例中的循环液室的附近的剖视图。
图20为改变例的液体喷射头中的循环液室的附近的剖视图。
图21为改变例的液体喷射头中的循环液室的附近的剖视图。
图22为改变例的液体喷射头中的循环液室的附近的剖视图。
图23为改变例的液体喷射头中的循环液室的附近的俯视图。
图24为改变例的液体喷射头中的循环液室的附近的俯视图。
图25为改变例的液体喷射头中的循环液室的附近的俯视图。
图26为改变例的液体喷射头中的循环液室的附近的俯视图以及剖视图。
图27为改变例的液体喷射头中的循环液室的附近的俯视图以及剖视图。
图28为改变例的液体喷射头中的循环液室的附近的剖视图。
图29为改变例的液体喷射头中的循环液室的附近的剖视图。
具体实施方式
第一实施方式
图1为对本发明的第一实施方式所涉及的液体喷射装置100进行例示的结构图。第一实施方式的液体喷射装置100为将作为液体的例示的油墨向介质12喷射的喷墨方式的印刷装置。介质12典型地为印刷纸张，但也能够将树脂薄膜或布帛等任意材质的印刷对象作为介质12来利用。如图1所例示的那样，在液体喷射装置100中设置有对油墨进行贮留的液体容器14。例如，可相对于液体喷射装置100进行拆装的盒、由挠性的薄膜形成的袋状的油墨袋、或可对油墨进行补充的油墨罐被利用为液体容器14。色彩不同的多种油墨被贮留于液体容器14中。
如图1所例示的那样，液体喷射装置100具备控制单元20、输送机构22、移动机构24和液体喷射头26。控制单元20例如包括CPU(Central Processing Unit，中央处理单元)或FPGA(Field Programmable Gate Array，现场可编程门阵列)等处理电路和半导体存储器等存储电路，并统一对液体喷射装置100的各元件进行控制。输送机构22在控制单元20的控制下将介质12向Y方向进行输送。
移动机构24在控制单元20的控制下使液体喷射头26在X方向上往复。X方向为与输送介质12的Y方向交叉(典型地为正交)的方向。第一实施方式的移动机构24具备对液体喷射头26进行收纳的大致箱型的输送体242(滑架)、和固定有输送体242的输送带244。并且，能够采用将多个液体喷射头26搭载在输送体242上的结构、或将液体容器14与液体喷射头26一起搭载在输送体242上的结构。
液体喷射头26在控制单元20的控制下将由液体容器14供给的油墨从多个喷嘴N(喷射孔)中向介质12进行喷射。与由输送机构22所实施的介质12的输送和输送体242的反复的往复并行，各液体喷射头26向介质12喷射油墨，从而在介质12的表面上形成所期望的图像。并且，以下，将与X-Y平面(例如与介质12的表面平行的平面)垂直的方向标记为Z方向。由各液体喷射头26所喷射的油墨的喷射方向(典型地为铅直方向)相当于Z方向。
如图1所例示的那样，液体喷射头26的多个喷嘴N被排列在Y方向上。第一实施方式的多个喷嘴N被划分为在X方向上相互隔开间隔而被并排设置的第一列L1和第二列L2。第一列L1以及第二列L2各自为在Y方向上以直线状排列的多个喷嘴N的集合。并且，虽然也能够使各喷嘴N的Y方向上的位置在第一列L1与第二列L2之间不同(即交错配置或错开配置)，但以下，为了方便，而对使各喷嘴N的Y方向的位置在第一列L1和第二列L2之间一致的结构进行例示。在以下的说明中，将在液体喷射头26中穿过与Y方向平行的中心轴且与Z方向平行的平面(Y-Z平面)O标记为“中心面”。
图2为与Y方向垂直的截面下的液体喷射头26的剖视图，图3为液体喷射头26的局部的分解立体图。如根据图2以及图3而理解的那样，第一实施方式的液体喷射头26为，与第一列L1的各喷嘴N(第一喷嘴的例示)相关联的元件和与第二列L2的各喷嘴N(第二喷嘴的例示)相关联的元件隔着中心面O而被配置为面对称的结构。即，在液体喷射头26中的隔着中心面O的X方向的正侧的部分(以下称为“第一部分”)P1和X方向的负侧的部分(以下，称为“第二部分”)P2中，结构实质上是共同的。第一列L1的多个喷嘴N被形成在第一部分P1中，第二列L2的多个喷嘴N被形成在第二部分P2中。中心面O相当于第一部分P1和第二部分P2的分界面。
如图2以及图3所例示的那样，液体喷射头26具备流道形成部30。流道形成部30为形成用于向多个喷嘴N供给油墨的流道的结构体。第一实施方式的流道形成部30通过第一流道基板32(连通板)和第二流道基板34(压力室形成板)的层压而被构成。第一流道基板32以及第二流道基板34各自为在Y方向上长条的板状部件。在第一流道基板32中的Z方向的负侧的表面Fa上，例如利用粘合剂而设置有第二流道基板34。
如图2所例示的那样，在第一流道基板32的表面Fa的面上，除了设置有第二流道基板34之外，还设置有振动部42、多个压电元件44、保护部件46和壳体部48(在图3中，省略图示)。另一方面，在第一流道基板32中的Z方向的正侧(即与表面Fa相反的一侧)的表面Fb上设置有喷嘴板52和吸振体54。液体喷射头26的各元件大致与第一流道基板32、第二流道基板34同样地为在Y方向上长条的板状部件，例如例如粘合剂而被相互接合。能够将第一流道基板32和第二流道基板34被层压的方向、第一流道基板32和喷嘴板52被层压的方向(或者与板状的各元件的表面垂直的方向)作为Z方向来掌握。
喷嘴板52为形成有多个喷嘴N的板状部件，利用例如粘合剂而被设置在第一流道基板32的表面Fb上。多个喷嘴N各自为使油墨通过的圆形状的贯穿孔。在第一实施方式的喷嘴板52上，形成有构成第一列L1的多个喷嘴N和构成第二列L2的多个喷嘴N。具体而言，在从喷嘴板52中的中心面O观察时，第一列L1的多个喷嘴N沿着Y方向而被形成在X方向的正侧的区域上，第二列L2的多个喷嘴N沿着Y方向而被形成在X方向的负侧的区域上。第一实施方式的喷嘴板52为，跨及形成有第一列L1的多个喷嘴N的部分和形成有第二列L2的多个喷嘴N的部分而连续的单体的板状部件。第一实施方式的喷嘴板52通过利用半导体制造技术(例如干法蚀刻或湿法蚀刻等加工技术)来对硅(Si)的单晶基板进行加工，从而被制造。但是，关于喷嘴板52的制造能够任意地采用公知的材料、制造方法。
如图2以及图3所例示的那样，在第一流道基板32中，关于第一部分P1以及第二部分P2的各个部分，形成有空间Ra、供给液室60、多个供给通道61和多个连通通道63。空间Ra为在俯视观察时(即从Z方向观察时)被形成为沿着Y方向的长条状的开口，供给通道61以及连通通道63为针对每个喷嘴N而被形成的贯穿孔。供给液室60为，跨及多个喷嘴而被形成为沿着Y方向的长条状的空间，并使空间Ra和多个供给通道61相互连通。多个连通通道63在俯视观察时排列在Y方向上，多个供给通道61在多个连通通道63的排列与空间Ra之间排列在Y方向上。多个供给通道61共同地与空间Ra连通。另外，任意的一个连通通道63在俯视观察时与对应于该连通通道63的喷嘴N重叠。具体而言，第一部分P1的任意的一个连通通道63与第一列L1中的跟该连通通道63对应的一个喷嘴N连通。同样，第二部分P2的任意的一个连通通道63与第二列L2中的跟该连通通道63对应的一个喷嘴N连通。
如图2以及图3所例示的那样，第二流道基板34为，对于第一部分P1以及第二部分P2的各个部分而形成有多个压力室C的板状部件。多个压力室C排列在Y方向上。各压力室C(腔室)为针对每个喷嘴N而被形成且在俯视观察时沿着X方向的长条状的空间。第一流道基板32以及第二流道基板34与前述的喷嘴板52同样地通过利用例如半导体制造技术来对硅的单晶基板进行加工从而被制造。但是，在第一流道基板32以及第二流道基板34的制造中，能够任意地采用公知的材料、制造方法。如以上的例示那样，第一实施方式中的流道形成部30(第一流道基板32以及第二流道基板34)和喷嘴板52包含由硅形成的基板。因此，具有如下的优点，即，通过如例如前述的例示那样利用半导体制造技术，而在流道形成部30以及喷嘴板52上高精度地形成微细的流道。
如图2所例示的那样，在第二流道基板34中的与第一流道基板32相反的一侧的表面上设置有振动部42。第一实施方式的振动部42为可弹性地进行振动的板状部件(振动板)。并且，对于预定的板厚的板状部件中的与压力室C对应的区域，通过选择性地去除板厚方向的一部分，也能够使第二流道基板34和振动部42一体形成。
如根据图2所理解的那样，第一流道基板32的表面Fa和振动部42在各压力室C的内侧相互隔开间隔而对置。压力室C为位于第一流道基板32的表面Fa与振动部42之间的空间，使填充于该空间内的油墨产生压力变化。各压力室C为将例如X方向设为长边方向的空间，针对每个喷嘴N而单独形成。关于第一列L1以及第二列L2的各个列，多个压力室C排列在Y方向上。如图2以及图3所例示的那样，任意一个压力室C中的中心面O侧的端部在俯视观察时与连通通道63重叠，与中心面O相反的一侧的端部在俯视观察时与供给通道61重叠。因此，在第一部分P1以及第二部分P2的各个部分中，压力室C经由连通通道63而与喷嘴N连通，并且，经由供给通道61而与空间Ra连通。并且，通过使流道宽度变狭窄的缩颈流道形成在压力室C上，从而还能够施加预定的流道阻力。
如图2所例示的那样，在振动部42中的与压力室C相反的一侧的面上，关于第一部分P1以及第二部分P2的各个部分，设置有与互不相同的喷嘴N对应的多个压电元件44。压电元件44为通过驱动信号的供给而变形的受动元件。多个压电元件44以与各压力室C对应的方式排列在Y方向上。任意一个压电元件44为，如图4所例示的那样，使压电体层443介于相互对置的第一电极441与第二电极442之间的层压体。并且，也能够将第一电极441以及第二电极442的一方设为跨及多个压电元件44而连续的电极(即共同电极)。第一电极441、第二电极442和压电体层443在俯视观察时重叠的部分作为压电元件44而发挥功能。并且，还能够将通过驱动信号的供给而变形的部分(即，使振动部42振动的能动部)作为压电元件44来划定。如根据以上的说明所理解的那样，第一实施方式的液体喷射头26具备第一压电元件和第二压电元件。例如，第一压电元件为，在从中心面O观察时X方向的一侧(例如图2中的右侧)的压电元件44，第二压电元件为在从中心面O观察时X方向的另一侧(例如图2中的左侧)的压电元件44。当与压电元件44的变形联动地使振动部42进行振动时，压力室C内的压力进行变动，从而使填充于压力室C中的油墨穿过连通通道63和喷嘴N而被喷射。
图2的保护部件46为用于对多个压电元件44进行保护的板状部件，并被设置于振动部42的表面(或第二流道基板34的表面)上。保护部件46的材料、制造方法是任意的，能够与第一流道基板32或第二流道基板34同样地，通过利用半导体制造技术来对例如硅(Si)的单晶基板进行加工而形成保护部件46。在保护部件46中的被形成于振动部42侧的表面中的凹部，收纳有多个压电元件44。
在振动部42中的与流道形成部30相反的一侧的表面(或流道形成部30的表面)上，接合有配线基板28的端部。即，在隔着流道形成部30而与喷嘴板52相反的一侧，接合有配线基板28的端部。配线基板28为，形成有对控制单元20和液体喷射头26进行电连接的多个配线(省略图示)的挠性的安装部件。配线基板28中的穿过被形成于保护部件46上的开口部和被形成于壳体部48上的开口部而向外部延伸出的端部被连接在控制单元20上。优选采用例如FPC(Flexible Printed Circuit，柔性印刷电路)、FFC(Flexible Flat Cable，柔性扁平电路)等挠性的配线基板28。
壳体部48为，用于对向多个压力室C(而且为多个喷嘴N)供给的油墨进行贮留的外壳。壳体部48中的Z方向的正侧的表面利用例如粘合剂而与第一流道基板32的表面Fa接合。在壳体部48的制造中，能够任意地采用公知的技术、制造方法。能够通过例如树脂材料的注塑成型来形成壳体部48。
如图2所例示的那样，在第一实施方式的壳体部48中，关于第一部分P1以及第二部分P2的各个部分，形成有空间Rb。壳体部48的区间Rb和第一流道基板32的空间Ra相互连通。由空间Ra和空间Rb构成的空间作为对向多个压力室C供给的油墨进行贮留的液体贮留室(贮液室)R而发挥功能。液体贮留室R为，对于多个喷嘴N而被共用的共同液室。在第一部分P1以及第二部分P2的各个部分中形成有液体贮留室R。第一部分P1的液体贮留室R在从中心面O观察时位于X方向的正侧，第二部分P2的液体贮留室R在从中心面O观察时位于X方向的负侧。在壳体部48中的与第一流道基板32相反的一侧的表面上，形成有导入口482，导入口482用于将从液体容器14供给的油墨导入至液体贮留室R内。液体贮留室R内的液体经由供给液室60和各供给通道61而被供给至压力室C。
如图2所例示的那样，在第一流道基板32的表面Fb上，针对第一部分P1以及第二部分P2的各个部分，设置有吸振体54。吸振体54为对液体贮留室R内的油墨的压力变动进行吸收的挠性的薄膜(柔性基板)。如图3所例示的那样，吸振体54以封闭第一流道基板32的空间Ra和多个供给通道61的方式被设置在第一流道基板32的表面Fb上，从而构成液体贮留室R的壁面(具体而言，为底面)。
如图2所例示的那样，在第一流道基板32中的与喷嘴板52对置的表面Fb上形成有空间(以下称为“循环液室”)65。第一实施液体的循环液室65为在俯视观察时在Y方向上延伸的长条状的有底孔(槽部)。通过与第一流道基板32的表面Fb接合的喷嘴板52而封闭循环液室65的开口。
图5为着眼于循环液室65的液体喷射头26的结构图。如图5所例示的那样，循环液室65沿着第一列L1以及第二列L2并跨及多个喷嘴N而连续。具体而言，在第一列L1的多个喷嘴N的排列与第二列L2的多个喷嘴N的排列之间形成有循环液室65。因此，如图2所例示的那样，循环液室65位于第一部分P1的连通通道63与第二部分P2的连通通道63之间。如根据以上的说明所理解的那样，第一实施方式的流道形成部30为，形成有第一部分P1中的压力室C(第一压力室)以及连通通道63(第一连通通道)、第二部分P2中的压力室C(第二压力室)以及连通通道63(第二连通通道)、位于第一部分P1的连通通道63和第二部分P2的连通通道63之间的循环液室65的结构体。如图2所例示的那样，第一实施方式的流道形成部30包含将循环液室65和各连通通道63之间进行分隔的壁状的部分(以下，称为“隔壁部”)69。如根据图2所理解的那样，循环液室65在俯视观察时与配线基板28的端部重叠。
并且，如前所述，在第一部分P1以及第二部分P2的各个部分中，多个压力室C以及多个压电元件44排列在Y方向上。因此，也可以换言之，以跨及第一部分P1以及第二部分P2的各个部分中的多个压力室C或多个压电元件44而连续的方式，循环液室65在Y方向上延伸。另外，如根据图2以及图3所理解的那样，也可以说，循环液室65和液体贮留室R相互隔开间隔而在Y方向上延伸，压力室C、连通通道63和喷嘴N位于该间隔内。
图6为，将液体喷射头26中的循环液室65的附近的部分放大的俯视图以及剖视图。如图6所例示的那样，第一实施方式中的一个喷嘴N包括第一区间n1和第二区间n2。第一区间n1和第二区间n2为，被形成为同轴且相互连通的圆形状的空间。第二区间n2在从第一区间n1观察时位于流道形成部30侧。第二区间n2的内径d2大于第一区间n1的内径d1(d2＞d1)。根据如以上那样将各喷嘴N形成台阶状的结构，具有易于将各喷嘴N的流道阻力设定为所期望的特性的优点。另外，如图6所例示的那样，第一实施方式中的各喷嘴N的中心轴Qa在从连通通道63的中心轴Qb观察时位于与循环液室65相反的一侧。
如图6所例示的那样，在喷嘴板52中的与流道形成部30对置的表面上，关于第一部分P1以及第二部分P2的各个部分，形成有多个循环通道72。第一部分P1的多个循环通道72(第一循环通道的例示)一对一地与第一列L1的多个喷嘴N(或与第一列L1对应的多个连通通道63)对应。另外，第二部分P2的多个循环通道72(第二循环通道的例示)一对一地与第二列L2的多个喷嘴N(或与第二列L2对应的多个连通通道63)对应。
各循环通道72为在X方向上延伸的槽部(即长条状的有底孔)，且作为使油墨流通的流道而发挥功能。第一实施方式的循环通道72被形成在与喷嘴N分离的位置(具体而言，从与该循环通道72对应的喷嘴N观察时，为循环液室65侧)。例如，通过半导体制造技术(例如干法蚀刻或湿法蚀刻等加工技术)而以共同的工序来一并形成多个喷嘴N(特别是第二区间n2)和多个循环通道72。
如图6所例示的那样，各循环通道72通过与喷嘴中的N的第二区间n2的内径d2相等的流道宽度Wa而被形成为直线状。另外，第一实施方式中的循环通道72的流道宽度(Y方向的尺寸)Wa小于压力室C的流道宽度(Y方向的尺寸)Wb。因此，与循环通道72的流道宽度Wa大于压力室C的流道宽度Wb的结构相比，能够增大循环通道72的流道阻力。另一方面，循环通道72相对于喷嘴板52的表面的深度Da跨及全部长度是固定的。具体而言，各循环通道72被形成为与喷嘴N的第二区间n2相等的深度。根据以上的结构，与使循环通道72和第二区间n2形成在互不相同的深度的结构相比，具有易于形成循环通道72以及第二区间n2的优点。并且，流道的“深度”是指，Z方向上的流道的深度(例如流道的形成面与流道的底面之间的高低差)。
第一部分P1中的任意一个循环通道72在从第一列L1中的与该循环通道72对应的喷嘴N观察时位于循环液室65侧。另外，第二部分P2中的任意一个循环通道72在从第二列L2中的与该循环通道72对应的喷嘴N观察时位于循环液室65侧。而且，各循环通道72中的与中心面O相反的一侧(连通通道63侧)的端部在俯视观察时与对应于该循环通道72的一个连通通道63重叠。即，循环通道72与连通通道63连通。另一方面，各循环通道72中的中心面O侧(循环液室65侧)的端部在俯视观察时与循环液室65重叠。即，循环通道72与循环液室65连通。根据以上的说明所理解的那样，多个连通通道63各自经由循环通道72而与循环液室65连通。因此，如图6中由虚线的箭头标记图示的那样，各连通通道63内的油墨经由循环通道72而被向循环液室65供给。即，在第一实施方式中，与第一列L1对应的多个连通通道63和与第二列L2对应的多个连通通道63共同地与一个循环液室65连通。
在图6中，图示了任意一个循环通道72中的与循环液室65重叠的部分的流道长度La、循环通道72中的与连通通道63重叠的部分的流道长度(X方向的尺寸)Lb、以及循环通道72中的与流道形成部30的隔壁部69重叠的部分的流道长度(X方向的尺寸)Lc。流道长度Lc相当于隔壁部69的厚度。隔壁部69作为循环通道72的缩颈部分而发挥功能。因此，相当于隔壁部69的厚度的流道长度Lc越长，循环通道72的流道阻力越增大。在第一实施方式中，流道长度La长于流道长度Lb(La＞Lb)、流道长度La长于流道长度Lc(La＞Lc)的关系成立。而且，在第一实施方式中，流道长度Lb长于流道长度Lc(Lb＞Lc)的关系成立(La＞Lb＞Lc)。根据以上的结构，与流道长度La、流道长度Lb短于流道长度Lc的结构相比，具有油墨易于从连通通道63经由循环通道72流入循环液室65的优点。
如以上例示的那样，在第一实施方式中，压力室C经由连通通道63和循环通道72而间接地与循环液室65连通。即，压力室C和循环液室65不直接连通。在以上的结构中，当通过压电元件44的动作而使压力室C内的压力发生变动时，流动于连通通道63内的油墨中的一部分被从喷嘴N向外部喷射，剩余的一部分从连通通道63经由循环通道72而流入循环液室65。在第一实施方式中，以如下方式而选定了连通通道63、喷嘴和循环通道72的惯性阻力，即，使通过压电元件44的一次驱动而流通于连通通道63中的油墨中的、经由喷嘴N而被喷射的油墨的量(以下称为“喷射量”)大于，流通于连通通道63中的油墨中的、经由循环通道72而流入循环液室65的油墨的量(以下称为“循环量”)的方式。当设想对全部的压电元件44一齐驱动的情况时，也可以换言之，与由多个喷嘴N所喷射的喷射量的总计相比，从多个连通通道63流入循环液室65的循环量的总计(例如循环液室65内的单位时间内的流量)较多。
具体而言，确定连通通道63、喷嘴和循环通道72各自的流道阻力，以使流通于连通通道63中的油墨中的循环量的比率成为70％以上(喷射量的比率在30％以下)。根据以上的结构，能够在确保油墨的喷射量的同时有效地使喷嘴附近的油墨在循环液室65内循环。概要地讲，具有如下的趋势，即，循环通道72的流道阻力越大，循环量越减少，而喷射量越增加，循环通道72的流道阻力越小，循环量越增加，而喷射量越减少。
如图5所例示的那样，第一实施方式的液体喷射装置100具备循环机构75。循环机构75为，用于将循环液室65内的油墨向液体贮留室R供给(即循环)的机构。第一实施方式的循环机构75例如具备从循环液室65抽吸油墨的抽吸机构(例如泵)、对混合于油墨中的气泡或异物进行捕集的过滤器机构、通过油墨的加热而减少增稠的加温机构(省略图示)。通过循环机构75而去除了气泡或异物并且减少了增稠的油墨从循环机构75经由导入口482而被向液体贮留室R供给。如根据以上的说明所理解的那样，在第一实施方式中，油墨在如下的路径中循环，所述路径为，液体贮留室R→供给通道61→压力室C→连通通道63→循环通道72→循环液室65→循环机构75→液体贮留室R。
如根据图5所理解的那样，第一实施方式的循环机构75从Y方向上的循环液室65的两侧抽吸油墨。在循环液室65上，形成有位于Y方向的正侧的端部的附近的循环口65a、和位于Y方向的负侧的端部的附近的循环口65b。循环机构75从循环口65a以及循环口65b这两方抽吸油墨。并且，在仅从Y方向上的循环液室65的一个端部抽吸油墨的结构中，在循环液室65的两端部之间，油墨的压力产生差异，因循环液室65内的压力差而使连通通道63内的油墨的压力可能根据Y方向的位置而不同。因此，来自各喷嘴的油墨的喷射特性(例如喷射量或喷射速度)有可能根据Y方向的位置而不同。与以上的结构相对照的是，在第一实施方式中，由于油墨被从循环液室65的两侧(循环口65a以及循环口65b)抽吸，因此，减少了循环液室65的内部的压力差。因此，跨及排列在Y方向上的多个喷嘴，而能够使油墨的喷射特性高精度地近似。但是，在循环液室65内的Y方向上的压力差未成为特别的问题的情况下，也能够采用从循环液室65的一个端部抽吸油墨的结构。
如前文所述，循环通道72和连通通道63在俯视观察时重叠，连通通道63和压力室C在俯视观察时重叠。因此，循环通道72和压力室C在俯视观察时相互重叠。另一方面，根据图5以及图6所理解的那样，循环液室65和压力室C在俯视观察时相互不重叠。另外，压电元件44由于沿着X方向并跨及压力室C的整体而被形成，因此，循环通道72和压电元件44在俯视观察时相互重叠，另一方面，循环液室65和压电元件44在俯视观察时相互重叠。如根据以上的说明所理解的那样，压力室C或压电元件44在俯视观察时与循环通道72重叠，另一方面，在俯视观察时与循环液室65不重叠。因此，与例如压力室C或压电元件44在俯视观察时与循环通道72不重叠的结构相比，具有易于使液体喷射头26小型化的优点。
如以上说明的那样，在第一实施方式中，使连通通道63和循环液室65连通的循环通道72被形成在喷嘴板52中。因此，与循环连通通道被形成在连通板中的专利文献1的结构相比，能够有效地使喷嘴N附近的油墨循环于循环液室65中。另外，在第一实施方式中，同第一列L1对应的连通通道63和同第二列L2对应的连通通道63与两者间的循环液室65共同连通。因此，与将同第一列L1对应的各循环通道72所连通的循环液室和同第二列L2对应的各循环通道72所连通的循环液室分别设置的结构相比，具有简化了液体喷射头26的结构(甚至实现了小型化)的优点。
第二实施方式
对本发明的第二实施方式进行说明。并且，在以下例示的各方式中，关于作用或功能与第一实施方式同样的元件，沿用在第一实施方式的说明中使用的符号，并适当地省略各自的详细的说明。
图7为第二实施方式中的液体喷射头26的局部的分解立体图，并与在第一实施方式中参照的图3对应。另外，图8为，使液体喷射头26中的循环液室65的附近的部分放大的俯视图以及剖视图，并与在第一实施方式中参照的图6对应。
在第一实施方式中，例示了循环通道72和喷嘴N相互分离的结构。在第二实施方式中，如根据图7以及图8所理解的那样，循环通道72和喷嘴N相互连续。即，第一部分P1的一个循环通道72与第一列L1的一个喷嘴N连续，第二部分P2的一个循环通道72与第二列L2的一个喷嘴N连续。具体而言，如图8所例示的那样，各喷嘴N的第二区间n2与循环通道72连续。即，循环通道72和第二区间n2被形成在相互相等的深度上，循环通道72的内周面和第二区间n2的内周面相互连续。也能够换言之，其为在沿X方向延伸的一个循环通道72的底面上形成有喷嘴N(第一区间n1)的结构。具体而言，在循环通道72的底面中的与中心面O相反的一侧的端部的附近，形成有喷嘴N的第一区间n1。其他结构与第一实施方式相同。例如，即使在第二实施方式中，循环通道72中的与循环液室65重叠的部分的流道长度La也长于循环通道72中的与流道形成部30的隔壁部69重叠的部分的流道长度Lc(La＞Lc)。
在第二实施方式中，实现了与第一实施方式同样的效果。另外，在第二实施方式中，各喷嘴N的第二区间n2和循环通道72相互连续。因此，与循环通道72和喷嘴N相互分离的第一实施方式的结构相比，能够使喷嘴N的附近的油墨有效地循环于循环液室65中的效果格外显著。
第三实施方式
图9为，使第三实施方式的液体喷射头26中的循环液室65附近的部分放大的俯视图以及剖视图。如图9所例示的那样，在第三实施方式中的第一流道基板32的表面Fb中，除了形成有与前述的第一实施方式同样的循环液室65(第一循环液室的例示)之外，还形成有与第一部分P1以及第二部分P2各自对应的循环液室67(第二循环液室的例示)。循环液室67为，隔着连通通道63以及喷嘴N而被形成于与循环液室65相反的一侧并沿Y方向延伸的长条状的有底孔(槽部)。通过与第一流道基板32的表面Fb接合的喷嘴板52，而封闭了循环液室65以及循环液室67各自的开口。循环液室65的高度和循环液室67的高度相等。
第三实施方式的循环通道72为，在第一部分P1以及第二部分P2的各个部分中以跨及循环液室65和循环液室67的方式在X方向上延伸的槽部。具体而言，循环通道72中的中心面O侧(循环液室65侧)的端部在俯视观察时与循环液室65重叠，循环通道72中的与中心面O相反的一侧(循环液室67侧)的端部在俯视观察时与循环液室67重叠。另外，循环通道72在俯视观察时与连通通道63重叠。即，各连通通道63经由循环通道72而与循环液室65以及循环液室67这两方连通。
在循环通道72的底面上形成有喷嘴N(第一区间n1)。具体而言，在循环通道72中的在俯视观察时与连通通道63重叠的部分的底面上，形成有喷嘴N的第一区间n1。与第二实施方式同样，即使在第三实施方式中，也能够表现为，循环通道72和喷嘴N(第二区间n2)相互连续。如根据以上的说明所理解的那样，在第一实施方式以及第二实施方式中，连通通道63以及喷嘴N位于循环通道72的端部，与此相对，在第三实施方式中，连通通道63以及喷嘴N位于在X方向上延伸的循环通道72中的中途的部分。
如根据以上的说明所理解的那样，在第三实施方式中，当压力室C内的压力发生变动时，流动于连通通道63内的油墨的一部分被从喷嘴N向外部喷射，剩余的一部分从连通通道63经由循环通道72而被向循环液室65以及循环液室67这两方供给。循环液室67内的油墨与循环液室65内的油墨一起通过循环机构75而被抽吸，在通过循环机构75而去除了气泡或异物，并且减少了增稠之后，被向液体贮留室R供给。
即使在第三实施方式中，也实现了与第一实施方式同样的效果。另外，在第三实施方式中，由于在形成有循环液室65的基础上，还形成有循环液室67，因此，与第一实施方式相比，具有能够充分确保循环量的优点。并且，在图9中，例示了与第二实施方式同样地使循环通道72和喷嘴N连续的结构，但在第三实施方式中，也可以与第一实施方式同样地使循环通道72和喷嘴N相互分离。
第四实施方式
图10为，将第四实施方式的液体喷射头26中的循环液室65附近的部分放大的剖视图。在第一实施方式至第三实施方式中，例示了循环液室65的上表面(顶面)与X-Y平面平行的机构(即循环液室65的高度为固定的结构)。在第四实施方式中，如图10所例示的那样，循环液室65的高度H(H1、H2、Hmax)根据X方向的位置而不同。循环液室65的高度H为从第一流道基板32的表面Fb(或喷嘴板52的表面)至循环液室65的上表面为止的距离。在将循环液室65考虑为被形成于第一流道基板32的表面Fb上的凹陷的情况下，也能够将从表面Fb观察的循环液室65的深度考虑为高度H。
如图10所例示的那样，关于第一部分P1以及第二部分P2的各个部分，设想X方向的位置不同的地点x1(第一地点的例示)和地点x2(第二地点的例示)。地点x2从地点x1观察时位于连通通道63侧(即与中心面O相反的一侧)。如图10所例示的那样，在第四实施方式中，循环液室65中的地点x1处的高度H1大于地点x2处的高度H2(H1＞H2)。具体而言，循环液室65的高度H在X方向的中央部(中心面O上)处成为最大值Hmax，随着从中央部趋向于宽度方向(X方向)的端部而单调减少。即，循环液室65的上表面隔着中心面O而为面对称，在Z方向的负侧，为凸起的曲面状。也能够换言之，隔壁部69的厚度越靠Z方向的负侧则越大的结构。
如根据图10所理解的那样，循环液室65的高度H的最大值Hmax小于连通通道63的流道长度(即第一流道基板32的厚度)。具体而言，循环液室65的高度H的最大值Hmax在第一流道基板32的厚度的一半以下。另外，循环液室65的高度H的最大值Hmax小于循环液室65的宽度(最大宽度)ω(Hmax＜ω)。根据如以上方式限制了循环液室65的高度H的结构，能够抑制流道形成部30(具体而言，第一流道基板32)的机械性的强度的降低。
另外，如根据图10所理解的那样，循环液室65的高度H的最大值Hmax与供给液室60的高度相等。循环液室65和供给液室60通过利用半导体制造技术(例如湿法蚀刻)而对硅(Si)的单晶基板进行加工，从而被形成。在第四实施方式中，由于循环液室65的高度H的最大值Hmax与供给液室60的高度相等，因此，与两者的高度不同的结构相比，具有简化了形成循环液室65和供给液室60的工序的优点。
第五实施方式
图11为使第五实施方式的液体喷射头26中的循环液室65附近的部分放大的剖视图。在图11内的右侧，图示了与X-Z平面平行的截面，在图11内的左侧，图示了从X方向的负侧观察中心面O处的截面(与Y-Z平面平行的截面)的结构。
如图11所例示的那样，第五实施方式的循环液室65由第一空间651和多个第二空间652构成。第一空间651被形成为与第一实施方式至第三实施方式中的循环液室65同样的形状。具体而言，第五实施方式中的第一空间651的上表面与第一实施方式至第三实施方式的循环液室65同样地与X-Y平面平行。第一空间651的高度H1例如在第一流道基板32的厚度的一半以下，且小于第一空间651的宽度(最大宽度)。
多个第二空间652以一对一与多个连通通道63对应的方式形成，并与第一空间651连通。与任意一个连通通道63对应的第二空间652在俯视观察时与对应于该连通通道63的循环通道72重叠。因此，连通通道63内的油墨经由循环通道72和第二空间652而被向第一空间651供给，并通过循环机构75而循环至液体贮留室R内。并且，在图11中，从中心面O观察时，为了方便，仅图示了X方向的正侧的部分，但从中心面O观察时，在X方向的负侧，与中心面O面对称地形成有同样的结构。
第二空间652的上表面为，随着从X方向的负侧(第一空间651侧)趋向于正侧(连通通道63侧)而高度H减少的倾斜面。另外，在Y方向上相互相邻的两个第二空间652之间，形成有流道壁692。流道壁692为对各第二空间652进行分隔的壁状的部分。在各第二空间652和连通通道63之间，形成有固定厚度的壁部(隔壁部69的一部分)。
如图11所理解的那样，第一空间651的高度大于第二空间652的高度。如图11所例示的那样，当设想第一空间651内的地点x1(第一地点的例示)和第二空间652内的任意的地点x2时，循环液室65中的地点x1处的高度H1大于地点x2处的高度H2(H1＞H2)。地点x2为，从地点x1观察时位于连通通道63侧的地点。如根据以上的说明所理解的那样，根据第五实施方式，与将循环液室65的整体(第一空间651以及第二空间652这两方)设为高度H1的结构相比，能够抑制流道形成部30(具体而言，为第一流道基板32)的机械性的强度的降低。
第五实施方式的改变例
在图11中，图示了循环液室65中的第一空间651的上表面与X-Y平面平行的结构，但也能够将第五实施方式中的第一空间651设为与第四实施方式(图10)的循环液室65同样的形状。例如，图12所例示的循环液室65由第一空间651和多个第二空间652构成，第一空间651被形成为，根据X方向的位置而高度H不同的形状。例如，第一空间651的高度H随着从宽度方向(X方向)的中央部趋向于端部而单调减少。
第六实施方式
图13为，着眼于第六实施方式的液体喷射头26中的循环液室65的附近的俯视图。从Z方向的正侧观察循环液室65的结构(即循环液室65的上表面)被图示于图13中。第六实施方式的循环液室65与第四实施方式(图10)同样地被形成为，循环液室65的高度H根据X方向的位置而不同的形状。即，循环液室65的高度H随着从宽度方向(X方向)的中央部趋向于端部而单调减少。
如图13所例示的那样，在循环液室65的上表面上，并列形成有多个槽部665。多个槽部665各自为在俯视观察时呈曲线状延伸的凹陷。由于相互相邻的槽部665之间为山部，因此，也能够换言之，在俯视观察时曲线状的多个山部被形成于循环液室65的上表面上。在图13中，用实线图示了表示被形成于循环液室65的上表面上的槽部665的底部的曲线，用点划线图示了表示山部的顶部的曲线(即棱线)。多个槽部665通过利用例如湿法蚀刻等的加工技术并通过与循环液室65相同的工序而被形成。并且，多个槽部665也可以被形成于第一实施方式至第五实施方式中例示的任意一个循环液室65。例如在第五实施方式中，在循环液室65中的第一空间651的上表面上形成有多个槽部665。
如图13所例示的那样，在第六实施方式中，在从循环液室65的上表面中的中心面O观察时，在X方向的正侧的区域G1和X方向的负侧的区域G2的各个区域中，形成有在Y方向上排列的多个槽部665。区域G1为第一列L1的喷嘴N(第一喷嘴的例示)侧的区域，区域G2为第二列L2的喷嘴N(第二喷嘴的例示)侧的区域。
区域G1内的多个槽部665各自在俯视观察时在Y方向的正侧(第一方向的第一侧的例示)被形成为凸起的曲线状。例如，在区域G1内，形成有在Y方向的正侧凸起的圆弧状的多个槽部665。另一方面，区域G2内的多个槽部665各自在俯视观察时在Y方向的负侧(第一方向的第二侧的例示)被形成为凸起的曲线状。例如，在区域G2内，形成有在Y方向的负侧凸起的圆弧状的多个槽部665。
流入循环液室65内并到达该循环液室65的上表面的附近的油墨易于沿着各槽部665而移动。即，根据第六实施方式，能够对在循环液室65内油墨流动的范围进行调节。
例如，区域G1内的各槽部665在Y方向的正侧凸起。因此，如图13中用箭头标记a1图示的那样，从第一部分P1内的连通通道63(即X方向的正侧)向循环液室65流入的油墨易于沿着区域G1内的各槽部665而向Y方向的负侧(循环口65b侧)移动。另一方面，区域G2内的各槽部665在Y方向的负侧凸起。因此，如图13中用箭头标记a2图示的那样，从第二部分P2内的连通通道63(即X方向的负侧)向循环液室65流入的油墨易于沿着区域G2内的各槽部665而向Y方向的正侧(循环口65a侧)移动。如根据以上的说明所理解的那样，根据第六实施方式，具有易于使油墨向循环液室65的两端侧流动的优点。
第六实施方式的改变例
如图14所例示的那样，也能够使区域G1内的槽部665和区域G2内的槽部665这两方形成为在Y方向的正侧(第一方向的第一侧的例示)凸起的曲线状。根据图14的结构，如图14中用箭头标记a1以及箭头标记a2图示的那样，具有从第一部分P1的连通通道63向循环液室65流入的油墨和从第二部分P2的连通通道63向循环液室65流入的油墨这两方易于向Y方向的负侧流动的优点。并且，在以上的结构中，也能够省略循环液室65的循环口65a。
另外，如图15所例示的那样，也能够采用位于Y方向的正侧的槽部665和位于负侧的槽部665向相反方向凸起的结构。具体而言，循环液室65中的Y方向的正侧的区域(例如位于Y方向的正侧的一半区域)内的各槽部665在俯视观察时向Y方向的负侧凸起。另一方面，循环液室65中的Y方向的负侧的区域(例如位于Y方向的负侧的一半区域)内的各槽部665在俯视观察时向Y方向的正侧凸起。根据以上的结构，具有如下的优点，即，易于使流入循环液室65z中的Y方向的正侧的部分的油墨向Y方向的正侧(进而为循环口65a)流动，并易于使流入循环液室65中的Y方向的负侧的部分中的油墨向Y方向的负侧(进而为循环口65b)流动。
第七实施方式
图16为第七实施方式中的液体喷射头26的剖视图。如图16所例示的那样，在第七实施方式的液体喷射头26中的第一流道基板32中，与第三实施方式(图9)同样，除了形成有循环液室65(第一循环液室的例示)以外，还形成有与第一部分P1以及第二部分P2各自对应的循环液室67(第二循环液室的例示)。循环液室67为，隔着连通通道63以及喷嘴N而被形成在与循环液室65相反的一侧并沿Y方向延伸的长条状的空间。根据以上的结构，关于第三实施方式，如前文所述，与仅形成循环液室65的结构相比，能够增多油墨的循环量。
如根据图16所理解的那样，循环液室65在俯视观察时与压力室C不重叠，各循环液室67在俯视观察时与压力室C重叠。根据以上的结构，与循环液室65以及循环液室67这两方与压力室C重叠的结构相比，具有易于维持压力室C的机械性的强度的优点。如图16所例示的那样，循环液室65的宽度(X方向的尺寸)ωa大于各循环液室67的宽度ωb(ωa＞ωb)。
如图16所例示的那样，在第七实施方式中，与第四实施方式的循环液室65同样，循环液室65以及循环液室67这两方的高度根据X方向的位置而不同。例如，循环液室65以及循环液室67各自的高度随着从宽度方向的中央部趋向于端部而单调减少。另外，如图16所例示的那样，循环液室65的高度的最大值Ha与循环液室67的高度的最大值Hb相等。因此，与使循环液室65和循环液室67高度不同的结构相比，具有简化了形成循环液室65以及循环液室67的工序的优点。并且，也能够将由第一空间651和第二空间652构成的第五实施方式的循环液室65的形状同样地应用在第七实施方式的各循环液室67中。
第七实施方式的改变例
如图17所例示的那样，也能够使循环液室65的高度的最大值Ha大于各循环液室67的高度的最大值Hb(Ha＞Hb)。根据图17的结构，与最大值Ha和最大值Hb相等的结构(图16)相比，具有如下的优点，即，由于压力室C和循环液室67分离，因此，易于维持压力室C的机械性的强度。
如图18所例示的那样，也能够使循环液室65的高度的最大值Ha小于各循环液室67的高度的最大值Hb(Ha＜Hb)。根据图18的结构，与最大值Ha和最大值Hb相等的结构(图16)相比，具有如下的优点，即，在例如安装配线基板28时相对于将第一流道基板32向Z方向按压的外力而易于维持流道形成部30的机械性的强度。
如图19所例示的那样，也可以使循环液室65的宽度(X方向的尺寸)ωa小于各循环液室67的宽度ωb(ωa＜ωb)。并且，无论循环液室65以及循环液室67的形状的如何，都可以采用使循环液室65的宽度ωa大于循环液室67的宽度ωb的结构(图16)、以及使循环液室65的宽度ωa小于循环液室67的宽度ωb的结构(图19)。
关于第四实施方式至第七实施方式
关于第四实施方式至第七实施方式而未在前述的说明特别提及的结构可以任意采用第一实施方式至第三实施方式中的任一个结构。例如，与循环通道72或喷嘴N相关的第一实施方式至第三实施方式的结构可以被应用于从第四实施方式至第七实施方式中选择的任意的方式。并且，在第一实施方式至第三实施方式中，在喷嘴板52中形成了循环通道72，但在第四实施方式至第七实施方式中，也能够在第一流道基板32(例如表面Fb)中形成使连通通道63和循环液室65相互连通的循环通道。
在第四实施方式至第七实施方式中，使循环液室65的高度根据X方向的位置而不同。根据以上的结构，同循环液室65的上表面与X-Y平面平行的第一实施方式至第三实施方式的结构相比，能够抑制流道形成部30的机械性的强度的降低。并且，在第四实施方式至第七实施方式中，循环液室65在俯视观察时与配线基板28的端部重叠。在以上的结构中，在安装配线基板28时，第一流道基板32在Z方向上被按压。从防止因安装配线基板28时的按压而引起的第一流道基板32的破损等的观点触发，能够确保流道形成部30的机械性的强度的第四实施方式至第七实施方式的结构尤其有效。并且，在循环液室65具有角部的结构中，混入至油墨中的气泡易于停留在该角部中。根据如第四实施方式那样循环液室65的上表面为曲面状的结构，抑制了气泡的停留，因此，能够有效地排出混入至油墨中的气泡。
改变例
以上例示的各方式能够进行多种多样的变形。以下，例示了能够被应用于前述的各方式中的具体的变形的方式。根据以下的例示而任意选择的两个以上的方式也能够在不相互矛盾的范围内适当地合并。
(1)在前述的各方式中，例示了在循环通道72和喷嘴N的第二区间n2中深度相等的结构，但循环通道72的深度与第二区间n2的深度之间的关系并未被限定为以上的例示。例如，也能够采用形成如图20的例示那样形成与第二区间n2相比较深的循环通道72的结构、或如图21的例示那样形成与第二区间n2相比较浅的循环通道72的结构。根据图20的结构，由于与图21的结构相比，循环通道72的流道阻力较小，因此，与图21的结构相比，能够增多循环量。另一方面，根据图21的结构，由于与图20的结构相比，循环通道72的流道阻力较大，因此，与图20的结构相比而能够增多喷射量。
(2)在前述的各方式中，例示了循环通道72的深度Da固定的结构，但也能够使循环通道72的深度根据X方向的位置而发生变化。例如，如图22所例示的那样，设想了循环通道72中的中间部分(例如在俯视观察时与隔壁部69重叠的部分)在从该中间部分观察时与循环液室65侧的部分以及喷嘴N侧的部分相比较深的结构。根据图22的结构，与循环通道72的深度Da跨及全长而固定的结构相比，循环通道72的流道阻力较小。因此，具有易于确保循环量的优点。
(3)在前述的各方式中，例示了循环通道72的流道宽度Wa与喷嘴N的最大径(第二区间n2的内径d2)相等的结构，但流道宽度W并未被限定为以上的例示。例如，也能够采用循环通道72的流道宽度Wa小于喷嘴N的最大径(例如第二区间n2的内径d2)的结构。根据以上的结构，与循环通道72大于喷嘴N的最大直径的结构相比，循环通道72的流道阻力较大。因此，能够增多喷射量。另外，也能够采用循环通道72的流道宽度Wa大于第一区间n1的内径d1的结构。根据以上的结构，能够同时确保循环量和喷射量。
(4)在前述的各方式中，形成循环通道72的流道宽度Wa固定的结构，但也能够使循环通道72的流道宽度根据X方向的位置而发生变化。例如，如图23所例示的那样，也能够采用循环通道72中的循环液室65侧的部分的流道宽度大于喷嘴N侧的流道宽度的结构。具体而言，形成循环通道72，以使循环通道72的流道宽度成为随着从喷嘴侧的端部趋向于循环液室65侧的端部而单调地增加的平面形状。根据图23的结构，油墨易于从连通通道63向循环液室65而流动于循环通道72中。因此，具有易于确保循环量的优点。
另外，如图24所例示的那样，也能够采用循环通道72中的中间部分(例如在俯视观察时与隔壁部69重叠的部分)的流道宽度在从中间部分观察时小于循环液室65侧的部分的流道宽度以及喷嘴N侧的部分的流道宽度的结构。即，随着从循环通道72的两端部趋向于中间部分，流道宽度单调减少，以使在循环通道72的中途的部分(例如在俯视观察时与隔壁部69重叠的部分)处流道宽度成为最小。根据图24的结构，与循环通道72的流道宽度固定的结构相比，循环通道72的流道阻力较大。因此，能够增多喷射量。
如图25所例示的那样，也能够采用循环通道72中的中间部分(例如在俯视观察时与隔壁部69重叠的部分)的流道宽度在从中间部分观察时大于循环液室65侧的部分的流道宽度以及喷嘴N侧的部分的流道宽度的结构。即，随着从循环通道72的两端部趋向于中间部分，流道宽度单调增加，以使在循环通道72的中途的部分(例如在俯视观察时与隔壁部69重叠的部分)处流道宽度成为最大。根据图25的结构，与循环通道72的流道宽度固定的结构相比，循环通道72的流道阻力较小。因此，能够增多循环量。
并且，为了确保第一流道基板32的隔壁部69的机械性的强度，需要使隔壁部69形成得较厚。但是，隔壁部69越厚(流道长度Lc越大)，循环通道72的流道阻力越增大。根据图25的结构，即使在实现了充分的强度的程度上确保了隔壁部69的厚度的情况下，也具有能够通过扩大循环通道72的中间部分而减少循环通道72的流道阻力的优点。即，能够同时实现隔壁部69的强度的确保和循环通道72的流道阻力的减少。
(5)在前述的各方式中，例示了喷嘴N的中心轴Qa在从连通通道63的中心轴Qb观察时位于与循环液室65相反的一侧的结构，但喷嘴N的中心轴Qa与连通通道63的中心轴Qb之间的关系并未被限定于以上的例示。例如，如图26所例示的那样，也能够将喷嘴N的中心轴Qa和连通通道63的中心轴Qb设为相同的位置。根据图26的结构，与中心轴Qa和中心轴Qb位于相互不同的位置的结构相比，具有易于兼顾喷射量和循环量的优点。
另外，如图27所例示的那样，也能够采用喷嘴N的中心轴Qa在从连通通道63的中心轴Qb观察时位于循环液室65侧(中心面O侧)的结构。根据图27的结构，与喷嘴N的中心轴Qa在从连通通道63的中心轴Qb观察时位于与循环液室65相反的一侧的结构(例如第一实施方式)相比，能够使循环量增加，并且减少喷射量。另一方面，根据如前述的各方式那样喷嘴N的中心轴Qa在从连通通道63的中心轴Qb观察时位于与循环液室65相反的一侧的结构，与图27的结构相比，能够减少循环量，并且增加喷射量。
(6)在第四实施方式至第七实施方式中，例示了循环液室65或循环液室67的上表面为曲面的结构，但用于使循环液室65或循环液室67的高度根据位置而不同的形状并未被限定为以上的例示。例如，如图28所例示的那样，也能够使循环液室65的上表面形成为如下的形状，即，使与X-Y平面平行的表面和相对于X-Y平面而倾斜的形状的表面组合而成的形状。具体而言，构成循环液室65的上表面的倾斜面以循环液室65的流道宽度(X方向的尺寸)越靠Z方向的正侧的位置越增加的方式相对于X-Y平面而倾斜。并且，在以上的说明中，着眼于了循环液室65，但关于循环液室67，也能够采用同样的形状。
(7)如图29所例示的那样，将压力室C中的连通通道63侧(中心面O侧)的端面设为相对于压力室C的上表面(振动部42的下表面)而倾斜的倾斜面342的结构也是适当的。如根据图29所理解的那样，振动部42中的从第二流道基板34中露出的区域(未被倾斜面342覆盖的区域)344在俯视观察时与循环通道72不重叠。图29的区域344构成压力室C的上表面(顶面)。
(8)在前述的各方式中，例示了与第一列L1关联的元件和与第二列L2关联的元件隔着中心面O而被配置为面对称的结构，但面对称的结构也不是必要的。例如，也能够采用将仅与第一列L1对应的元件与前述的各方式同样地进行配置的结构。另外，在前述的各方式中例示了在喷嘴板52中形成循环通道72的结构，但也能够在流道形成部30(例如第一流道基板32的表面Fb)上形成使各连通通道63与循环液室65连通的流道。
(9)向压力室C的内部施加压力的元件(压力产生部)并未被限定于在前述的各方式中例示的压电元件44。例如，也能够将通过加热而使压力室C的内部产生气泡并使压力变动的发热元件作为压力产生部来利用。发热元件为，发热体通过驱动信号的供给而发热的部分(具体而言，为使压力室C内产生气泡的区域)。如根据以上的例示所理解的那样，无论动作方式(压电方式/热方式)或具体的结构如何，压力产生部能够被综合性地表现为使压力室C内的液体从喷嘴N喷射的元件(典型的为向压力室C的内部施加压力的元件)。
(10)在前述的各方式中，例示了使搭载了液体喷射头26的输送体242进行往复的串行方式的液体喷射装置100，但在多个喷嘴N跨及介质12的整个宽度而分布的行式的液体喷射装置中，也能够应用本发明。
(11)在前述的各方式中例示的液体喷射装置100除了能够被采用于印刷专用的设备中，也可以被采用于传真机装置或复印机等的各种设备中。本来，本发明的液体喷射装置的用途并未被限定为印刷。例如，喷射颜色材料的溶液的液体喷射装置作为形成液晶显示装置的彩色滤波器的制造装置而被利用。另外，喷射导电材料的溶液的液体喷射装置作为形成配线基板的配线或电极的制造装置而被利用。
符号说明
100…液体喷射装置；12…介质；14…液体容器；20…控制单元；22…输送机构；24…移动机构；242…输送体；244…输送带；26…液体喷射头；28…配线基板；30…流道形成部；32…第一流道基板；34…第二流道基板；42…振动部；44…压电元件；46…保护部件；48…壳体部；482…导入口；52…喷嘴板；54…吸振体；61…供给通道；63…连通通道；65…循环液室；65a、65b…循环口；651…第一空间；652…第二空间；665…槽部；67…循环液室；69…隔壁部；692…流道壁；n1…第一区间；n2…第二区间；72…循环通道；75…循环机构。

Claims (22)

1.一种液体喷射头，具备：
喷嘴板，其设置有喷嘴；
流道形成部，其设置有压力室、连通通道和循环液室，所述压力室被供给液体，所述连通通道使所述喷嘴和所述压力室连通，所述循环液室与所述连通通道连通；
压力产生部，其使所述压力室产生压力变化，
所述循环液室内的第一地点处的高度大于在从所述第一地点观察时靠所述连通通道侧的第二地点处的高度，
在所述循环液室的上表面中，形成有在俯视观察时呈曲线状延伸的多个槽部。
2.如权利要求1所述的液体喷射头，其中，
所述循环液室在俯视观察时与所述压力室不重叠。
3.如权利要求1或权利要求2所述的液体喷射头，其中，
所述循环液室的高度的最大值小于所述连通通道的流道长度。
4.如权利要求1或权利要求2所述的液体喷射头，其中，
所述流道形成部包括第一流道基板和第二流道基板，所述第一流道基板中形成有所述连通通道和所述循环液室，第二流道基板中形成有所述压力室，
所述循环液室的高度的最大值在所述第一流道基板的厚度的一半以下。
5.如权利要求1或权利要求2所述的液体喷射头，其中，
所述循环液室的高度的最大值小于所述循环液室的宽度。
6.如权利要求1或权利要求2所述的液体喷射头，其中，
所述循环液室的高度随着从该高度成为最大的位置趋向于宽度方向的端部而单调减少。
7.如权利要求1或权利要求2所述的液体喷射头，其中，
所述循环液室在第一方向上为长条，
多个所述槽部在俯视观察时向所述第一方向的第一侧凸起。
8.如权利要求1或权利要求2所述的液体喷射头，其中，
在所述喷嘴板上，作为所述喷嘴，设置有第一喷嘴和第二喷嘴，
在所述流道形成部中，设置有与所述第一喷嘴对应的所述压力室以及所述连通通道、与所述第二喷嘴对应的所述压力室以及所述连通通道和位于与所述第一喷嘴对应的所述连通通道及与所述第二喷嘴对应的所述连通通道之间且在第一方向上为长条的所述循环液室，
被形成于所述循环液室的上表面中的所述第一喷嘴侧的区域内的所述槽部在俯视观察时向所述第一方向的第一侧凸起，被形成于所述第二喷嘴侧的区域内的所述槽部在俯视观察时向与所述第一侧相反的第二侧凸起。
9.如权利要求1或权利要求2所述的液体喷射头，其中，
在所述喷嘴板上，作为所述喷嘴，设置有第一喷嘴和第二喷嘴，
在所述流道形成部中，设置有与所述第一喷嘴对应的所述压力室以及所述连通通道、与所述第二喷嘴对应的所述压力室以及所述连通通道和位于与所述第一喷嘴对应的所述连通通道及与所述第二喷嘴对应的所述连通通道之间且在第一方向上为长条的所述循环液室，
被形成于所述循环液室的上表面中的所述第一喷嘴侧的区域内的所述槽部和被形成于所述第二喷嘴侧的区域内的所述槽部在俯视观察时向所述第一方向的第一侧凸起。
10.如权利要求1或权利要求2所述的液体喷射头，其中，
在所述喷嘴板上，设置有在第一方向上排列的多个喷嘴，
在所述流道形成部上，设置有与多个所述喷嘴分别对应的所述压力室以及所述连通通道和在所述第一方向上为长条的所述循环液室，
多个所述槽部中的位于所述第一方向的第一侧的槽部在俯视观察时向与所述第一侧相反的第二侧凸起，多个所述槽部中的所述第一方向上的所述第二侧的槽部在俯视观察时向所述第一侧凸起。
11.如权利要求1或权利要求2所述的液体喷射头，其中，
在所述流道形成部中，作为所述循环液室而设置有第一循环液室以及第二循环液室，所述第一循环液室以及所述第二循环液室隔着所述连通通道而相互位于相反侧，并与该连通通道连通。
12.如权利要求11所述的液体喷射头，其中，
所述第一循环液室在俯视观察时与所述压力室不重叠，所述第二循环液室在俯视观察时与所述压力室重叠。
13.如权利要求12所述的液体喷射头，其中，
所述第一循环液室的高度与所述第二循环液室的高度相等。
14.如权利要求12所述的液体喷射头，其中，
所述第一循环液室的高度大于所述第二循环液室的高度。
15.如权利要求12所述的液体喷射头，其中，
所述第一循环液室的高度小于所述第二循环液室的高度。
16.如权利要求12所述的液体喷射头，其中，
所述第一循环液室的宽度大于所述第二循环液室的宽度。
17.如权利要求12所述的液体喷射头，其中，
所述第一循环液室的宽度小于所述第二循环液室的宽度。
18.如权利要求1或权利要求2所述的液体喷射头，其中，
在所述流道形成部中，设置有供给液室，所述供给液室对向所述压力室供给的液体进行贮留，
所述循环液室的高度的最大值与所述供给液室的高度相等。
19.如权利要求1或权利要求2所述的液体喷射头，其中，
在所述循环液室与所述连通通道之间存在预定的厚度的隔壁部。
20.如权利要求1或权利要求2所述的液体喷射头，其中，
所述循环液室包括第一空间和第二空间，所述第二空间被形成于在从所述第一空间观察时在所述连通通道侧相互对置的流道壁之间，
所述第一地点位于所述第一空间内，
所述第二地点位于所述第二空间内。
21.如权利要求1或权利要求2所述的液体喷射头，其中，
具备配线基板，所述配线基板在隔着所述流道形成部而与所述喷嘴板相反的一侧设置有端部，
所述循环液室在俯视观察时与所述配线基板的所述端部重叠。
22.一种液体喷射装置，具备；
权利要求1至权利要求21中的任一项的液体喷射头。
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