JP7467944B2 - 液体吐出ヘッド及び液体吐出装置 - Google Patents

Description

本発明は、液体吐出ヘッド及び液体吐出装置に関する。

特許文献１に記載のように、従来から、圧力室内の液体をノズルから吐出する液体吐出ヘッドに関する技術が知られている。

特開２０１７－０１３３９０号公報

しかし、従来の技術においては、圧力室からノズルに至る流路において気泡が滞留し、ノズルから液体を吐出しにくくなる吐出異常が生じる恐れがある。

以上の問題を解決するために、本発明の好適な態様に係る液体吐出ヘッドは、第１方向に延在し、液体に圧力を付与する第１圧力室と、前記第１方向に延在し、液体に圧力を付与する第２圧力室と、前記第１方向に延在し、液体を吐出するノズルに連通するノズル流路と、前記第1方向と交差する第２方向に延在し、前記第１圧力室及び前記ノズル流路を連通する第１連通流路と、前記第２方向に延在し、前記第２圧力室及び前記ノズル流路を連通する第２連通流路と、を備え、前記ノズル流路の壁面は、前記第1方向に延在し、前記ノズルが設けられた第１壁面と、前記第１方向に延在し、前記第１壁面とは反対側の第２壁面と、を含み、前記第１連通流路の壁面は、前記第２方向に延在し、前記第１方向において前記ノズルから最も遠い第３壁面と、前記第２方向に延在し、前記第３壁面とは反対側の第４壁面と、を含み、前記第２壁面と前記第４壁面の間には、前記第１方向及び前記第２方向の間の第３方向に延在する第５壁面が設けられる、ことを特徴とする。

本発明の好適な態様に係る液体吐出装置は、第１方向に延在し、液体に圧力を付与する第１圧力室と、前記第１方向に延在し、液体に圧力を付与する第２圧力室と、前記第１方向に延在し、液体を吐出するノズルに連通するノズル流路と、前記第1方向と交差する第２方向に延在し、前記第１圧力室及び前記ノズル流路を連通する第１連通流路と、前記第２方向に延在し、前記第２圧力室及び前記ノズル流路を連通する第２連通流路と、を備え、前記ノズル流路の壁面は、前記第１方向に延在し、前記ノズルが設けられた第１壁面と、前記第1方向に延在し、前記第1壁面とは反対側の第２壁面と、を含み、前記第１連通流路の壁面は、前記第２方向に延在し、前記第１方向において前記ノズルから最も遠い第３壁面と、前記第２方向に延在し、前記第３壁面とは反対側の第４壁面と、を含み、前記第２壁面と前記第４壁面の間には、前記第１方向及び前記第２方向の間の第３方向に延在する第５壁面が設けられる、ことを特徴とする。

本発明の実施形態に係る液体吐出装置１００の一例を示す構成図である。 液体吐出ヘッド１の構成の一例を示す分解斜視図である。 液体吐出ヘッド１の構成の一例を示す断面図である。 圧電素子ＰZqの構成の一例を示す断面図である。 液体吐出ヘッド１の構成の一例を示す断面図である。 循環流路ＲJにおけるインクの流速の一例を示す説明図である。 参考例に係る液体吐出ヘッド１Zの構成の一例を示す断面図である。 参考例に係る循環流路におけるインクの流速の一例を示す説明図である。 変形例１に係る液体吐出ヘッド１Aの構成の一例を示す断面図である。 変形例２に係る液体吐出ヘッド１Bの構成の一例を示す分解斜視図である。 変形例２に係る液体吐出ヘッド１Bの構成の一例を示す平面図である。 変形例２に係る液体吐出ヘッド１Bの構成の一例を示す断面図である。 変形例２に係る液体吐出ヘッド１Bの構成の一例を示す断面図である。 変形例２に係る液体吐出ヘッド１Bの構成の一例を示す断面図である。 変形例２に係る液体吐出ヘッド１Bの構成の一例を示す断面図である。 変形例３に係る液体吐出装置１００Cの一例を示す構成図である。

以下、本発明を実施するための形態について図面を参照して説明する。但し、各図において、各部の寸法及び縮尺は、実際のものと適宜に異ならせてある。また、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。

＜＜Ａ．実施形態＞＞
以下、図１を参照しつつ、本実施形態に係る液体吐出装置１００について説明する。

＜＜１．液体吐出装置の概要＞＞
図１は、本実施形態に係る液体吐出装置１００の一例を示す説明図である。本実施形態に係る液体吐出装置１００は、インクを媒体ＰPに吐出するインクジェット方式の印刷装置である。媒体ＰPは、典型的には印刷用紙であるが、樹脂フィルムまたは布帛等の任意の印刷対象が媒体ＰPとして利用され得る。
図１に例示される通り、液体吐出装置１００は、インクを貯留する液体容器９３を備える。液体容器９３としては、例えば、液体吐出装置１００に着脱可能なカートリッジ、可撓性のフィルムで形成された袋状のインクパック、または、インクを補充可能なインクタンク等を採用することができる。液体容器９３には、色彩が相違する複数種のインクが貯留される。

図１に例示される通り、液体吐出装置１００は、制御装置９０と移動機構９１と搬送機構９２と循環機構９４と、を備える。
このうち、制御装置９０は、例えばＣＰＵまたはＦＰＧＡ等の処理回路と、半導体メモリ等の記憶回路とを含み、液体吐出装置１００の各要素を制御する。ここで、ＣＰＵとは、Central Processing Unitの略称であり、ＦＰＧＡとは、Field Programmable Gate Arrayの略称である。
また、移動機構９１は、制御装置９０による制御のもとで、媒体ＰPを＋Ｙ方向に搬送する。なお、以下では、＋Ｙ方向と、＋Ｙ方向とは反対の方向である－Ｙ方向とを、Ｙ軸方向と総称する。
また、搬送機構９２は、制御装置９０による制御のもとで、複数の液体吐出ヘッド１を、＋Ｘ方向、及び、＋Ｘ方向とは反対の方向である－Ｘ方向に往復動させる。なお、以下では、＋Ｘ方向及び－Ｘ方向をＸ軸方向と総称する。ここで、＋Ｘ方向とは、＋Ｙ方向に交差する方向である。典型的には、＋Ｘ方向とは、＋Ｙ方向に直交する方向である。搬送機構９２は、複数の液体吐出ヘッド１を収容する収納ケース９２１と、収納ケース９２１が固定された無端ベルト９２２とを具備する。なお、液体容器９３を液体吐出ヘッド１とともに収納ケース９２１に収納してもよい。
また、循環機構９４は、制御装置９０による制御のもとで、液体容器９３に貯留されたインクを、液体吐出ヘッド１に設けられた供給流路ＲB1に供給する。更に、循環機構９４は、制御装置９０による制御のもとで、液体吐出ヘッド１に設けられた排出流路ＲB2に貯留されたインクを回収し、当該回収したインクを、供給流路ＲB1に還流させる。なお、供給流路ＲB1及び排出流路ＲB2については、図３で後述する。

図１に例示される通り、液体吐出ヘッド１には、制御装置９０から、液体吐出ヘッド１を駆動するための駆動信号Ｃomと、液体吐出ヘッド１を制御するための制御信号ＳIと、が供給される。そして、液体吐出ヘッド１は、制御信号ＳIによる制御のもとで駆動信号Ｃomにより駆動され、液体吐出ヘッド１に設けられたＭ個のノズルＮの一部または全部から、＋Ｚ方向にインクを吐出させる。ここで、値Ｍは、１以上の自然数である。また、＋Ｚ方向は、＋Ｘ方向及び＋Ｙ方向に交差する方向である。典型的には、＋Ｚ方向は、＋Ｘ方向及び＋Ｙ方向に直交する方向である。以下では、＋Ｚ方向と、＋Ｚ方向とは反対の方向である－Ｚ方向とを、Ｚ軸方向と総称する場合がある。なお、ノズルＮについては、図２及び図３において後述する。
液体吐出ヘッド１は、移動機構９１による媒体ＰPの搬送と、搬送機構９２による液体吐出ヘッド１の往復動とに連動して、Ｍ個のノズルＮの一部又は全部からインクを吐出させて、当該吐出されたインクを媒体ＰPの表面に着弾させることで、媒体ＰPの表面に所望の画像を形成する。

＜＜２．液体吐出ヘッドの概要＞＞
以下、図２乃至図４を参照しつつ、液体吐出ヘッド１の概要を説明する。
なお、図２は、液体吐出ヘッド１の分解斜視図であり、図３は、図２におけるIII－III線の断面図である。

図２及び図３に例示される通り、液体吐出ヘッド１は、ノズル基板６０と、コンプライアンスシート６１及びコンプライアンスシート６２と、連通板２と、圧力室基板３と、振動板４と、貯留室形成基板５と、配線基板８と、を備える。

図２に例示される通り、ノズル基板６０は、Ｙ軸方向に長尺で、ＸＹ平面に略平行に延在する板状の部材であり、Ｍ個のノズルＮが形成される。ここで、「略平行」とは、完全に平行である場合の他に、誤差を考慮すれば平行であると看做せる場合を含む概念である。ノズル基板６０は、例えば、エッチング等の半導体製造技術を利用してシリコンの単結晶基板を加工することで製造される。但し、ノズル基板６０の製造には公知の材料及び製法が任意に採用され得る。また、ノズルＮは、ノズル基板６０に設けられた貫通孔である。本実施形態では、一例として、ノズル基板６０において、Ｍ個のノズルＮが、Ｙ軸方向に延在するノズル列Ｌnを形成するように設けられた場合を想定する。

図２及び図３に例示される通り、ノズル基板６０の－Ｚ側には、連通板２が設けられる。連通板２は、Ｙ軸方向に長尺で、ＸＹ平面に略平行に延在する板状の部材であり、インクの流路が形成される。
具体的には、連通板２には、１個の供給流路ＲA1と、１個の排出流路ＲA2とが形成される。このうち、供給流路ＲA1は、後述する供給流路ＲB1と連通し、Ｙ軸方向に延在するように設けられる。また、排出流路ＲA2は、後述する排出流路ＲB2と連通し、供給流路ＲA1から見て－Ｘ方向においてＹ軸方向に延在するように設けられる。
また、連通板２には、Ｍ個のノズルＮと１対１に対応するＭ個の接続流路ＲK1と、Ｍ個のノズルＮと１対１に対応するＭ個の接続流路ＲK2と、Ｍ個のノズルＮと１対１に対応するＭ個の連通流路ＲR1と、Ｍ個のノズルＮと１対１に対応するＭ個の連通流路ＲR2と、Ｍ個のノズルＮと１対１に対応するＭ個のノズル流路ＲNと、が形成される。このうち、接続流路ＲK1は、供給流路ＲA1と連通し、供給流路ＲA1から見て－Ｘ方向においてＺ軸方向に延在するように設けられる。また、連通流路ＲR1は、接続流路ＲK1から見て－Ｘ方向においてＺ軸方向に延在するように設けられる。また、接続流路ＲK2は、排出流路ＲA2と連通し、排出流路ＲA2から見て＋Ｘ方向においてＺ軸方向に延在するように設けられる。また、連通流路ＲR2は、接続流路ＲK2から見て＋Ｘ方向であって、連通流路ＲR1から見て－Ｘ方向において、Ｚ軸方向に延在するように設けられる。また、ノズル流路ＲNは、連通流路ＲR1及び連通流路ＲR2を連通し、連通流路ＲR1から見て－Ｘ方向であって、連通流路ＲR2から見て＋Ｘ方向において、Ｘ軸方向に延在するように設けられる。ノズル流路ＲNは、当該ノズル流路ＲNに対応するノズルＮに連通する。
なお、連通板２は、例えば、半導体製造技術を利用してシリコンの単結晶基板を加工することで製造される。但し、連通板２の製造には公知の材料や製法が任意に採用され得る。

図２及び図３に例示される通り、連通板２の－Ｚ側には、圧力室基板３が設けられる。圧力室基板３は、Ｙ軸方向に長尺で、ＸＹ平面に略平行に延在する板状の部材であり、インクの流路が形成される。
具体的には、圧力室基板３には、Ｍ個のノズルＮと１対１に対応するＭ個の圧力室ＣB1と、Ｍ個のノズルＮと１対１に対応するＭ個の圧力室ＣB2と、が形成される。このうち、圧力室ＣB1は、接続流路ＲK1及び連通流路ＲR1を連通し、Ｚ軸方向から見た場合に、接続流路ＲK1の＋Ｘ側の端部と、連通流路ＲR1の－Ｘ側の端部とを結び、Ｘ軸方向に延在するように設けられる。また、圧力室ＣB2は、接続流路ＲK2及び連通流路ＲR2を連通し、Ｚ軸方向から見た場合に、接続流路ＲK2の－Ｘ側の端部と、連通流路ＲR2の＋Ｘ側の端部とを結び、Ｘ軸方向に延在するように設けられる。
なお、圧力室基板３は、例えば、半導体製造技術を利用してシリコンの単結晶基板を加工することで製造される。但し、圧力室基板３の製造には公知の材料や製法が任意に採用され得る。

なお、以下では、供給流路ＲA1及び排出流路ＲA2を連通するインクの流路を、循環流路ＲJと称する。すなわち、供給流路ＲA1及び排出流路ＲA2は、Ｍ個のノズルＮと１対１に対応するＭ個の循環流路ＲJにより連通される。各循環流路ＲJは、上述のとおり、供給流路ＲA1に連通する接続流路ＲK1と、接続流路ＲK1に連通する圧力室ＣB1と、圧力室ＣB1に連通する連通流路ＲR1と、連通流路ＲR1に連通するノズル流路ＲNと、ノズル流路ＲNに連通する連通流路ＲR2と、連通流路ＲR2に連通する圧力室ＣB2と、圧力室ＣB2及び排出流路ＲA2を連通する接続流路ＲK2と、を含む。

図２及び図３に例示される通り、圧力室基板３の－Ｚ側には、振動板４が設けられる。振動板４は、Ｙ軸方向に長尺で、ＸＹ平面に略平行に延在する板状の部材であって、弾性的に振動可能な部材である。

図２及び図３に例示される通り、振動板４の－Ｚ側には、Ｍ個の圧力室ＣB1に１対１に対応するＭ個の圧電素子ＰZ1と、Ｍ個の圧力室ＣB2に１対１に対応するＭ個の圧電素子ＰZ2と、が設けられる。以下では、圧電素子ＰZ1及び圧電素子ＰZ2を、圧電素子ＰZqと総称する。圧電素子ＰZqは、駆動信号Ｃomの電位変化に応じて変形する受動素子である。換言すれば、圧電素子ＰZqは、駆動信号Ｃomの電気エネルギーを運動エネルギーに変換する、エネルギー変換素子の一例である。なお、以下では、液体吐出ヘッド１のうち、圧電素子ＰZqに対応する構成要素または信号を示す符号に、添え字「ｑ」を付する場合がある。

図４は、圧電素子ＰZqの近傍を拡大した断面図である。
図４に例示される通り、圧電素子ＰZqは、所定の基準電位ＶBSが供給される下部電極ＺDqと、駆動信号Ｃomが供給される上部電極ＺUqとの間に、圧電体ＺMqを介在させた積層体である。圧電素子ＰZqは、例えば、－Ｚ方向から見たときに、下部電極ＺDqと上部電極ＺUqと圧電体ＺMqとが重なる部分である。また、圧電素子ＰZqの＋Ｚ方向には、圧力室ＣBqが設けられる。
上述の通り、圧電素子ＰZqは、駆動信号Ｃomの電位変化に応じて駆動されて変形する。振動板４は、圧電素子ＰZqの変形に連動して振動する。振動板４が振動すると、圧力室ＣBq内の圧力が変動する。そして、圧力室ＣBq内の圧力が変動することで、圧力室ＣBqの内部に充填されたインクが、連通流路ＲRq及びノズル流路ＲNを経由して、ノズルＮから吐出される。

図２及び図３に例示される通り、振動板４の－Ｚ側の面には、配線基板８が実装される。配線基板８は、制御装置９０及び液体吐出ヘッド１を電気的に接続するための部品である。配線基板８としては、例えば、ＦＰＣまたはＦＦＣ等の可撓性の配線基板が好適に採用される。ここで、ＦＰＣとは、Flexible Printed Circuitの略称であり、また、ＦＦＣとは、Flexible Flat Cableの略称である。配線基板８には、駆動回路８１が実装される。駆動回路８１は、制御信号ＳIによる制御のもとで、圧電素子ＰZqに対して、駆動信号Ｃomを供給するか否かを切り替える電気回路である。図４に例示される通り、駆動回路８１は、配線８１０を介して、圧電素子ＰZqの有する上部電極ＺUqに対して駆動信号Ｃomを供給する。
なお、以下では、圧電素子ＰZ1に供給される駆動信号Ｃomを、駆動信号Ｃom1と称し、圧電素子ＰZ2に供給される駆動信号Ｃomを、駆動信号Ｃom2と称する場合がある。本実施形態では、ノズルＮからインクを吐出させる際に、駆動回路８１がノズルＮに対応する圧電素子ＰZ1に供給する駆動信号Ｃom1の波形と、駆動回路８１がノズルＮに対応する圧電素子ＰZ2に供給する駆動信号Ｃom2の波形とが、略同じである場合を想定する。ここで、「略同じ」とは、完全に同一である場合の他に、誤差を考慮すれば同一であると看做せる場合を含む概念である。

図２及び図３に例示される通り、連通板２の－Ｚ側には、貯留室形成基板５が設けられる。貯留室形成基板５は、Ｙ軸方向に長尺な部材であり、インクの流路が形成される。
具体的には、貯留室形成基板５には、１個の供給流路ＲB1と、１個の排出流路ＲB2とが形成される。このうち、供給流路ＲB1は、供給流路ＲA1と連通し、供給流路ＲA1から見て－Ｚ方向において、Ｙ軸方向に延在するように設けられる。また、排出流路ＲB2は、排出流路ＲA2と連通し、排出流路ＲA2から見て－Ｚ方向であって、供給流路ＲB1から見て－Ｘ方向において、Ｙ軸方向に延在するように設けられる。
また、貯留室形成基板５には、供給流路ＲB1と連通する導入口５１と、排出流路ＲB2と連通する排出口５２とが設けられる。そして、供給流路ＲB1には、液体容器９３から、導入口５１を介してインクが供給される。また、排出流路ＲB2に貯留されたインクは、排出口５２を介して回収される。
また、貯留室形成基板５には、開口５０が設けられる。開口５０の内側には、圧力室基板３と、振動板４と、配線基板８とが設けられる。
なお、貯留室形成基板５は、例えば、樹脂材料の射出成形により形成される。但し、貯留室形成基板５の製造には公知の材料や製法が任意に採用され得る。

本実施形態において、液体容器９３から導入口５１に供給されたインクは、供給流路ＲB1を経由して、供給流路ＲA1に流入する。そして、供給流路ＲA1に流入したインクの一部は、接続流路ＲK1を経由して、圧力室ＣB1に流入する。また、圧力室ＣB1に流入したインクの一部は、連通流路ＲR1とノズル流路ＲNと連通流路ＲR2とを経由して、圧力室ＣB2に流入する。そして、圧力室ＣB2に流入したインクの一部は、接続流路ＲK2と排出流路ＲA2と排出流路ＲB2とを経由して、排出口５２から排出される。
なお、駆動信号Ｃom1により圧電素子ＰZ1が駆動される場合、圧力室ＣB1内部に充填されているインクの一部は、連通流路ＲR1とノズル流路ＲNとを経由して、ノズルＮから吐出される。また、駆動信号Ｃom2により圧電素子ＰZ2が駆動される場合、圧力室ＣB2内部に充填されているインクの一部は、連通流路ＲR2とノズル流路ＲNとを経由して、ノズルＮから吐出される。

図２及び図３に例示される通り、連通板２の＋Ｚ側の面上には、供給流路ＲA1と接続流路ＲK1とを閉塞するように、コンプライアンスシート６１が設けられる。コンプライアンスシート６１は、弾性材料から形成されており、供給流路ＲA1及び接続流路ＲK1内のインクの圧力変動を吸収する。また、連通板２の＋Ｚ側の面上には、排出流路ＲA2と接続流路ＲK2とを閉塞するように、コンプライアンスシート６２が設けられる。コンプライアンスシート６２は、弾性材料から形成されており、排出流路ＲA2及び接続流路ＲK2内のインクの圧力変動を吸収する。

以上のように、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、供給流路ＲA1から循環流路ＲJを経由して排出流路ＲA2へと、インクを循環させる。このため、本実施形態では、圧力室ＣBq内部のインクがノズルＮから吐出されない期間が存在する場合であっても、圧力室ＣBq内部及びノズル流路ＲN等において、インクが滞留した状態が継続することを防止できる。よって、本実施形態では、圧力室ＣBq内部のインクがノズルＮから吐出されない期間が存在する場合であっても、圧力室ＣBq内部のインクが増粘することを抑制することが可能となり、インクの増粘に起因してノズルＮからインクが吐出できなくなる吐出異常の発生を予防することができる。

また、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、圧力室ＣB1内部に充填されているインクと、圧力室ＣB2内部に充填されているインクとを、ノズルＮから吐出することができる。このため、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１では、例えば、１個の圧力室ＣBq内部に充填されているインクのみをノズルＮから吐出する態様と比較して、ノズルＮからのインクの吐出量を増大させることが可能となる。

＜＜３．循環流路の形状＞＞
以下、図５及び図６を参照しつつ、循環流路ＲJの形状を説明する。

図５は、循環流路ＲJのうち、圧力室ＣB1、連通流路ＲR1、ノズル流路ＲN、連通流路ＲR2、及び、圧力室ＣB2の断面図である。
図５に例示されるように、ノズル流路ＲNは、Ｙ軸方向から見た場合に、＋Ｚ側の壁面ＨNaと、－Ｚ側の壁面ＨNbとを有する。ここで、壁面ＨNaは、ノズル流路ＲNを構成する壁面のうち、ノズルＮが形成された壁面であり、Ｙ軸方向から見た場合に、Ｘ軸方向に延在する壁面である。また、壁面ＨNbは、Ｙ軸方向から見た場合にノズル流路ＲNを構成する２つの壁面のうち、壁面ＨNaとは反対側の壁面であり、Ｙ軸方向から見た場合に、Ｘ軸方向に延在する壁面である。
また、連通流路ＲR1は、Ｙ軸方向から見た場合に、＋Ｘ側の壁面ＨRa1と、－Ｘ側の壁面ＨRb1とを有する。ここで、壁面ＨRa1は、連通流路ＲR1を構成する壁面のうち、Ｘ軸方向におけるノズルＮからの距離が最も遠い壁面であり、Ｙ軸方向から見た場合に、Ｚ軸方向に延在する壁面である。なお、本実施形態において、「一の物体と他の物体との距離」とは、一の物体と他の物体との間の最短距離を意味することとする。また、壁面ＨRb1は、Ｙ軸方向から見た場合に連通流路ＲR1を構成しＺ軸方向に延在する２つの壁面のうち、壁面ＨRa1とは反対側の壁面である。
また、連通流路ＲR2は、Ｙ軸方向から見た場合に、－Ｘ側の壁面ＨRa2と、＋Ｘ側の壁面ＨRb2とを有する。ここで、壁面ＨRa2は、連通流路ＲR2を構成する壁面のうち、Ｘ軸方向におけるノズルＮからの距離が最も遠い壁面であり、Ｙ軸方向から見た場合に、Ｚ軸方向に延在する壁面である。また、壁面ＨRb2は、Ｙ軸方向から見た場合に連通流路ＲR2を構成しＺ軸方向に延在する２つの壁面のうち、壁面ＨRa2とは反対側の壁面である。
また、圧力室ＣB1は、Ｙ軸方向から見た場合に、壁面ＨC1を有する。ここで、壁面ＨC1は、Ｙ軸方向から見た場合に圧力室ＣB1を構成しＸ軸方向に延在する２つの壁面のうち、＋Ｚ側の壁面である。
また、圧力室ＣB2は、Ｙ軸方向から見た場合に、壁面ＨC2を有する。ここで、壁面ＨC2は、Ｙ軸方向から見た場合に圧力室ＣB2を構成しＸ軸方向に延在する２つの壁面のうち、＋Ｚ側の壁面である。

なお、本実施形態において、ノズルＮは、ノズル流路ＲNの略中央に設けられる。例えば、Ｘ軸方向におけるノズルＮから壁面ＨRb1までの距離と、Ｘ軸方向におけるノズルＮから壁面ＨRb2までの距離とは、略同じであってもよい。ここで、「略中央」とは、厳密に同一である場合の他に、誤差を考慮すれば中央であると看做せる場合を含む概念である。

図５に例示されるように、壁面ＨNbと壁面ＨRb1との間には、Ｙ軸方向から見た場合にＷ1方向に延在する傾斜面ＨD1が設けられる。より具体的には、傾斜面ＨD1は、壁面ＨNbと壁面ＨRb1とを接続するように設けられる。
ここで、Ｗ1方向とは、＋Ｘ方向と－Ｚ方向との間の方向である。なお、本実施形態では、Ｗ1方向と＋Ｘ方向のなす角度θ11が、３０度よりも大きく６０度よりも小さく、且つ、Ｗ1方向と－Ｚ方向のなす角度θ12が、３０度よりも大きく６０度よりも小さくなるように、傾斜面ＨD1が設けられる。換言すれば、本実施形態において、傾斜面ＨD1の法線方向と、壁面ＨNbの法線方向とのなす角度θ11は、３０度よりも大きく６０度よりも小さく、傾斜面ＨD1の法線方向と、壁面ＨRb1の法線方向とのなす角度θ12は、３０度よりも大きく６０度よりも小さい。但し、角度θ11は、２０度よりも大きく且つ８０度よりも小さければよく、また、角度θ12は、１０度よりも大きく且つ７０度よりも小さければよい。また、角度θ11と角度θ12とを略同じ角度、例えば、４５度に設定してもよい。

図５に例示されるように、壁面ＨNbと壁面ＨRb2との間には、Ｙ軸方向から見た場合にＷ2方向に延在する傾斜面ＨD2が設けられる。より具体的には、傾斜面ＨD2は、壁面ＨNbと壁面ＨRb2とを接続するように設けられる。
ここで、Ｗ2方向とは、－Ｘ方向と－Ｚ方向との間の方向である。なお、本実施形態では、Ｗ2方向と－Ｘ方向のなす角度θ21が、３０度よりも大きく６０度よりも小さく、且つ、Ｗ2方向と－Ｚ方向のなす角度θ22が、３０度よりも大きく６０度よりも小さくなるように、傾斜面ＨD1が設けられる。換言すれば、本実施形態において、傾斜面ＨD2の法線方向と、壁面ＨNbの法線方向とのなす角度θ21は、３０度よりも大きく６０度よりも小さく、傾斜面ＨD2の法線方向と、壁面ＨRb2の法線方向とのなす角度θ22は、３０度よりも大きく６０度よりも小さい。但し、角度θ21は、２０度よりも大きく且つ８０度よりも小さければよく、また、角度θ22は、１０度よりも大きく且つ７０度よりも小さければよい。また、角度θ21と角度θ22とを略同じ角度、例えば、４５度に設定してもよい。また、角度θ21と角度θ11とを略同じ角度に設定してもよい。更に、角度θ22と角度θ12とを略同じ角度に設定してもよい。

なお、壁面ＨNaは壁面ＨRa1と接続し、壁面ＨNaは壁面ＨRa2と接続する。換言すれば、壁面ＨNa及び壁面ＨRa1の間に傾斜面が設けられることはなく、壁面ＨNa及び壁面ＨRa2の間に傾斜面が設けられることはない。
また、壁面ＨRa1は壁面ＨC1と接続し、壁面ＨRa2は壁面ＨC2と接続する。換言すれば、壁面ＨRa1及び壁面ＨC1の間に傾斜面が設けられることはなく、壁面ＨRa2及び壁面ＨC2の間に傾斜面が設けられることはない。

図６は、圧電素子ＰZqが駆動信号Ｃomにより駆動されておらず、ノズルＮからインクが吐出されていない場合であって、連通流路ＲR1からノズル流路ＲNを経由して連通流路ＲR2へとインクが流れる場合における、循環流路ＲJ内のインクの流速の一例を説明するための説明図である。なお、図６において、領域Ａr1は、インクの流速が速度Ｖ1以上である領域であり、領域Ａr2は、インクの流速が速度Ｖ2以上、速度Ｖ1未満である領域であり、領域Ａr3は、インクの流速が速度Ｖ3以上、速度Ｖ2未満である領域であり、領域Ａr4は、インクの流速が速度Ｖ3未満である領域である。ここで、速度Ｖ1～Ｖ3は、「０≦Ｖ3＜Ｖ2＜Ｖ1」を満たすこととする。

図６に示すように、本実施形態では、Ｙ軸方向から見た場合に、循環流路ＲJの中央付近が、循環流路ＲJの壁面の近傍と比較して、インクの流速が速くなる。
具体的には、本実施形態では、循環流路ＲJの中央付近が領域Ａr1となり、循環流路ＲJの壁面の近傍が領域Ａr3となり、領域Ａr1及び領域Ａr3の間が領域Ａr2となる。また、本実施形態において、壁面ＨNa及び壁面ＨRa1の接続箇所の近傍と、壁面ＨNa及び壁面ＨRa2の接続箇所の近傍とに、領域Ａr4が出現する。

＜＜４．参考例＞＞
以下、本実施形態の効果を明確化するために、図７及び図８を参照しつつ、参考例に係る液体吐出ヘッド１Zについて説明する。

図７は、参考例に係る液体吐出ヘッド１Zに設けられた循環流路を、Ｙ軸方向から見た断面図である。
図７に示すように、液体吐出ヘッド１Zは、壁面ＨNb及び壁面ＨRb1が接続し、壁面ＨNb及び壁面ＨRb1の間に傾斜面ＨD1が設けられない点と、壁面ＨNb及び壁面ＨRb2が接続し、壁面ＨNb及び壁面ＨRb2の間に傾斜面ＨD2が設けられない点と、を除き、実施形態に係る液体吐出ヘッド１と同様に構成される。すなわち、参考例に係る液体吐出ヘッド１Zは、壁面ＨNb及び壁面ＨRb1の接続箇所に角部Ｅd1が形成される点と、壁面ＨNb及び壁面ＨRb2の接続箇所に角部Ｅd2が形成される点と、を除き、実施形態に係る液体吐出ヘッド１と同様に構成される。

図８は、参考例に係る液体吐出ヘッド１Zにおいて、圧電素子ＰZqが駆動信号Ｃomにより駆動されておらず、ノズルＮからインクが吐出されていない場合であって、連通流路ＲR1からノズル流路ＲNを経由して連通流路ＲR2へとインクが流れる場合における、循環流路内のインクの流速の一例を説明するための説明図である。
図８に示すように、参考例に係る液体吐出ヘッド１Zでは、角部Ｅd1と、角部Ｅd2の近傍とにおいて、インクの流れが妨げられる。このため、参考例に係る液体吐出ヘッド１Zでは、実施形態に係る液体吐出ヘッド１と比較して、角部Ｅd1の近傍と、角部Ｅd2の近傍とにおいて、インクの流速が低下する。よって、参考例に係る液体吐出ヘッド１Zでは、角部Ｅd1の近傍と、角部Ｅd2の近傍とにおいて、領域Ａr4が出現する。より具体的には、参考例に係る液体吐出ヘッド１Zでは、壁面ＨNa及び壁面ＨRa1の接続箇所の近傍と、壁面ＨNa及び壁面ＨRa2の接続箇所の近傍と、に加えて、壁面ＨRb1の近傍と、壁面ＨNbの近傍と、壁面ＨRb2の近傍とに、領域Ａr4が出現する。
従って、参考例に係る液体吐出ヘッド１Zでは、実施形態に係る液体吐出ヘッド１と比較して、壁面ＨRb1の近傍と、壁面ＨNbの近傍と、壁面ＨRb2の近傍とにおいて、気泡が滞留しやすくなる。ノズル流路ＲN等の循環流路に気泡が滞留すると、圧電素子ＰZqを駆動信号Ｃomにより駆動したとしても、圧電素子ＰZqがインクを押し出そうとする圧力が、気泡により吸収される等して、ノズルＮからインクを吐出し難くなる、所謂吐出異常が発生する。そして、吐出異常が発生する場合、媒体ＰPに対して形成される画像の画質が低下する。特に、圧電素子ＰZqとノズルＮの間の循環流路ＲJに気泡が滞留すると、当該圧電素子ＰZqの駆動によるノズルＮからインクの吐出がし難くなる。つまり、壁面ＨNbの近傍のうちのノズルＮより＋Ｘ側、または壁面ＨRb1の近傍に気泡が滞留した場合、圧電素子ＰZ1の駆動によるインクの吐出において吐出異常が発生する可能性が高い。また、壁面ＨNbの近傍のうちのノズルＮより－Ｘ側、または壁面ＨRb2の近傍に気泡が滞留した場合、圧電素子ＰZ2の駆動によるインクの吐出において吐出異常が発生する可能性が高い。

これに対して、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１では、壁面ＨNb及び壁面ＨRb1の間に傾斜面ＨD1が設けられ、壁面ＨNb及び壁面ＨRb2の間に傾斜面ＨD2が設けられる。このため、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１では、参考例に係る液体吐出ヘッド１Zと比較して、壁面ＨRb1の近傍と、壁面ＨNbの近傍と、壁面ＨRb2の近傍とにおいて、インクの流速が低下することを抑制することが可能となる。よって、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１では、参考例に係る液体吐出ヘッド１Zと比較して、ノズル流路ＲN等の循環流路ＲJに気泡が滞留する可能性を低減することができ、気泡に起因する吐出異常が発生する可能性を低減することができる。これにより、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１では、参考例に係る液体吐出ヘッド１Zと比較して、媒体ＰPに対してより高画質の画像を形成することが可能となる。

＜＜５．実施形態の纏め＞＞
以上において説明したように、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、＋Ｘ方向に延在し、インクに圧力を付与する圧力室ＣB1と、＋Ｘ方向に延在し、インクに圧力を付与する圧力室ＣB2と、＋Ｘ方向に延在し、インクを吐出するノズルＮに連通するノズル流路ＲNと、＋Ｘ方向と交差する－Ｚ方向に延在し、圧力室ＣB1及びノズル流路ＲNを連通する連通流路ＲR1と、－Ｚ方向に延在し、圧力室ＣB2及びノズル流路ＲNを連通する連通流路ＲR2と、を備え、ノズル流路ＲNの壁面は、＋Ｘ方向に延在し、ノズルＮが設けられた壁面ＨNaと、＋Ｘ方向に延在し、壁面ＨNaとは反対側の壁面ＨNbと、を含み、連通流路ＲR1の壁面は、－Ｚ方向に延在し、＋Ｘ方向においてノズルＮから最も遠い壁面ＨRa1と、－Ｚ方向に延在し、壁面ＨRa1とは反対側の壁面ＨRb1と、を含み、壁面ＨNb及び壁面ＨRb1の間には、＋Ｘ方向及び－Ｚ方向の間のＷ1方向に延在する傾斜面ＨD1が設けられる、ことを特徴とする。
すなわち、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、壁面ＨNb及び壁面ＨRb1の間に傾斜面ＨD1が設けられているため、壁面ＨNb及び壁面ＨRb1の間に傾斜面ＨD1が設けられていない態様と比較して、連通流路ＲR1からノズル流路ＲNへと向かうインクの流れ、及び、ノズル流路ＲNから連通流路ＲR1へと向かうインクの流れを、円滑にすることができる。このため、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、壁面ＨNb及び壁面ＨRb1の間に傾斜面ＨD1が設けられていない態様と比較して、連通流路ＲR1及びノズル流路ＲNにおいて気泡が滞留する可能性を低減することができる。これにより、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、壁面ＨNb及び壁面ＨRb1の間に傾斜面ＨD1が設けられていない態様と比較して、気泡に起因する吐出異常が発生する可能性を低減することができる。
また、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、圧力室ＣB1及び圧力室ＣB2が、連通流路ＲR1、ノズル流路ＲN、及び、連通流路ＲR2を介して連通しているため、圧力室ＣB1及び圧力室ＣB2の間において、インクの流れを生じさせることができる。このため、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、圧力室ＣB1及び圧力室ＣB2が連通していない態様と比較して、ノズル流路ＲN等において気泡が滞留する可能性を低減することができる。これにより、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、圧力室ＣB1及び圧力室ＣB2が連通していない態様と比較して、気泡に起因する吐出異常が発生する可能性を低減することができる。
なお、本実施形態において、圧力室ＣB1は「第１圧力室」の一例であり、圧力室ＣB2は「第２圧力室」の一例であり、連通流路ＲR1は「第１連通流路」の一例であり、連通流路ＲR2は「第２連通流路」の一例であり、壁面ＨNaは「第１壁面」の一例であり、壁面ＨNbは「第２壁面」の一例であり、壁面ＨRa1は「第３壁面」の一例であり、壁面ＨRb1は「第４壁面」の一例であり、傾斜面ＨD1は「第５壁面」の一例であり、インクは「液体」の一例であり、＋Ｘ方向は「第１方向」の一例であり、－Ｚ方向は「第２方向」の一例であり、Ｗ1方向は「第３方向」の一例である。

また、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、－Ｘ方向に延在し、インクに圧力を付与する圧力室ＣB2と、－Ｘ方向に延在し、インクに圧力を付与する圧力室ＣB1と、－Ｘ方向に延在し、インクを吐出するノズルＮに連通するノズル流路ＲNと、－Ｚ方向に延在し、圧力室ＣB2及びノズル流路ＲNを連通する連通流路ＲR2と、－Ｚ方向に延在し、圧力室ＣB1及びノズル流路ＲNを連通する連通流路ＲR1と、を備え、ノズル流路ＲNの壁面は、－Ｘ方向に延在し、ノズルＮが設けられた壁面ＨNaと、－Ｘ方向に延在し、壁面ＨNaとは反対側の壁面ＨNbと、を含み、連通流路ＲR2の壁面は、－Ｚ方向に延在し、－Ｘ方向においてノズルＮから最も遠い壁面ＨRa2と、－Ｚ方向に延在し、壁面ＨRa2とは反対側の壁面ＨRb2と、を含み、壁面ＨNb及び壁面ＨRb2の間には、－Ｘ方向及び－Ｚ方向の間のＷ2方向に延在する傾斜面ＨD2が設けられる、ことを特徴とする。
このため、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、壁面ＨNb及び壁面ＨRb2の間に傾斜面ＨD2が設けられていない態様と比較して、連通流路ＲR2及びノズル流路ＲNにおいて気泡が滞留する可能性を低減することができる。これにより、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、壁面ＨNb及び壁面ＨRb2の間に傾斜面ＨD2が設けられていない態様と比較して、気泡に起因する吐出異常が発生する可能性を低減することができる。
また、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、圧力室ＣB1及び圧力室ＣB2が連通していない態様と比較して、ノズル流路ＲN等において気泡が滞留する可能性を低減することができる。これにより、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、圧力室ＣB1及び圧力室ＣB2が連通していない態様と比較して、気泡に起因する吐出異常が発生する可能性を低減することができる。
特に、圧力室ＣB2は循環流路ＲJ内のインクの流れにおいてノズルＮよりも下流側に位置する。ノズルＮから混入した気泡はインクの流れにある程度乗って流動するため、ノズルＮの上流側よりはノズルＮの下流側に多く移動する傾向にある。すなわち、壁面ＨNbのノズルＮより－Ｘ側や壁面ＨRb2の方が、壁面ＨNbのノズルＮより＋Ｘ側や壁面ＨRb1よりも気泡が滞留し易い。ここで、ノズルＮよりも下流側に圧電素子ＰZ2が設けられていなければ、ノズルＮよりも下流側に滞留した気泡による吐出異常は顕著なものではない。しかしながら、本実施形態のように、ノズルＮよりも下流側に圧電素子ＰZ2が設けられている場合には、循環流路ＲJ内のノズルＮの下流側に気泡が滞留し易いことによって、圧電素子ＰZ2の駆動によるインクの吐出において吐出異常が顕著に発生する虞がある。これに対して、本実施形態によれば、ノズルＮよりも下流側に傾斜面ＨD2を設けるので、ノズルＮよりも下流側に圧電素子ＰZ2が設けられている場合であっても吐出異常の発生を抑制することができる。
なお、本実施形態において、圧力室ＣB2は「第１圧力室」の他の例であり、圧力室ＣB1は「第２圧力室」の他の例であり、連通流路ＲR2は「第１連通流路」の他の例であり、連通流路ＲR1は「第２連通流路」の他の例であり、壁面ＨRa2は「第３壁面」の他の例であり、壁面ＨRb2は「第４壁面」の他の例であり、傾斜面ＨD2は「第５壁面」の他の例であり、－Ｘ方向は「第１方向」の他の例であり、Ｗ2方向は「第３方向」の他の例である。

また、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１において、壁面ＨNbの法線方向と、傾斜面ＨD1の法線方向とのなす角度θ11は、２０度よりも大きく８０度よりも小さい、ことを特徴とする。
このため、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、壁面ＨNb及び壁面ＨRb1の間に傾斜面ＨD1が設けられず、壁面ＨNbの法線方向と、壁面ＨRb1の法線方向とのなす角度が、例えば、９０度である態様と比較して、連通流路ＲR1及びノズル流路ＲNにおいて気泡が滞留する可能性を低減することができる。これにより、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、壁面ＨNb及び壁面ＨRb1の間に傾斜面ＨD1が設けられていない態様と比較して、気泡に起因する吐出異常が発生する可能性を低減することができる。

また、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１において、壁面ＨRb1の法線方向と、傾斜面ＨD1の法線方向とのなす角度θ12は、１０度よりも大きく７０度よりも小さい、ことを特徴とする。
このため、本実施形態によれば、壁面ＨNb及び壁面ＨRb1の間に傾斜面ＨD1が設けられず、壁面ＨNbの法線方向と、壁面ＨRb1の法線方向とのなす角度が、例えば、９０度である態様と比較して、連通流路ＲR1及びノズル流路ＲNにおいて気泡が滞留する可能性を低減することができる。これにより、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、壁面ＨNb及び壁面ＨRb1の間に傾斜面ＨD1が設けられていない態様と比較して、気泡に起因する吐出異常が発生する可能性を低減することができる。

また、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１において、壁面ＨNaは、壁面ＨRa1と接続する、ことを特徴とする。
このため、本実施形態によれば、壁面ＨNa及び壁面ＨRa1の間に他の構成要素を設ける態様と比較して、液体吐出ヘッド１の製造を容易にすることができる。

また、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１において、圧力室ＣB1の壁面は、＋Ｘ方向に延在する壁面ＨC1を含み、壁面ＨRa1は壁面ＨC1と接続する、ことを特徴とする。
このため、本実施形態によれば、壁面ＨRa1及び壁面ＨC1の間に他の構成要素を設ける態様と比較して、液体吐出ヘッド１の製造を容易にすることができる。
なお、本実施形態において、壁面ＨC1は、「第６壁面」の一例である。

また、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１において、連通流路ＲR2の壁面は、－Ｚ方向に延在し、＋Ｘ方向においてノズルＮから最も遠い壁面ＨRa2と、－Ｚ方向に延在し、壁面ＨRa2とは反対側の壁面ＨRb2と、を含み、壁面ＨNb及び壁面ＨRb2の間には、－Ｘ方向及び－Ｚ方向の間のＷ2方向に延在する傾斜面ＨD2が設けられる、ことを特徴とする。
このため、本実施形態によれば、壁面ＨNb及び壁面ＨRb2の間に傾斜面ＨD2が設けられていない態様と比較して、連通流路ＲR2及びノズル流路ＲNにおいて気泡が滞留する可能性を低減することができる。これにより、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、壁面ＨNb及び壁面ＨRb2の間に傾斜面ＨD2が設けられていない態様と比較して、気泡に起因する吐出異常が発生する可能性を低減することができる。
なお、本実施形態において、壁面ＨRa2は、「第７壁面」の一例であり、壁面ＨRb2は、「第８壁面」の一例であり、傾斜面ＨD2は、「第９壁面」の一例であり、Ｗ2方向は、「第４方向」の一例である。

また、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１において、Ｗ1方向と－Ｚ方向とのなす角度θ12は、Ｗ2方向と－Ｚ方向とのなす角度θ22と略同じである、ことを特徴とする。
このため、本実施形態によれば、圧力室ＣB1から連通流路ＲR1及びノズル流路ＲNを介してノズルＮに至るインクの流路の形状と、圧力室ＣB2から連通流路ＲR2及びノズル流路ＲNを介してノズルＮに至るインクの流路の形状とを、略同じにすることができる。これにより、本実施形態によれば、例えば、角度θ12及び角度θ22が異なる態様と比較して、圧力室ＣB1に充填されているインクをノズルＮから吐出させるための制御と、圧力室ＣB2に充填されているインクをノズルＮから吐出させるための制御とを、簡素化することが可能となる。

また、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、圧力室ＣB1に連通し、圧力室ＣB1にインクを供給する供給流路ＲA1と、圧力室ＣB2に連通し、圧力室ＣB2からインクが排出される排出流路ＲA2と、を備える、ことを特徴とする。
このため、本実施形態によれば、圧力室ＣB1及び圧力室ＣB2の間において、インクの流れを生じさせることができる。このため、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、圧力室ＣB1及び圧力室ＣB2の間においてインクの流れが生じない態様と比較して、ノズル流路ＲN等において気泡が滞留する可能性を低減することができる。これにより、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、圧力室ＣB1及び圧力室ＣB2の間においてインクの流れが生じない態様と比較して、気泡に起因する吐出異常が発生する可能性を低減することができる。

また、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１において、圧力室ＣB1及び圧力室ＣB2が設けられた圧力室基板３と、ノズル流路ＲN、連通流路ＲR1、及び、連通流路ＲR2が設けられた連通板２と、ノズルＮが設けられたノズル基板６０と、を備える、ことを特徴とする。
このため、本実施形態によれば、圧力室ＣB1、圧力室ＣB2、ノズル流路ＲN、連通流路ＲR1、連通流路ＲR2、及び、ノズルＮを、半導体製造技術を利用して製造することができる。このため、本実施形態によれば、圧力室ＣB1、圧力室ＣB2、ノズル流路ＲN、連通流路ＲR1、連通流路ＲR2、及び、ノズルＮを、微細化及び高密度化することが可能となる。

また、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１において、ノズルＮは、ノズル流路ＲNの略中央において、ノズル流路ＲNに連通する、ことを特徴とする。
このため、本実施形態によれば、圧力室ＣB1から連通流路ＲR1及びノズル流路ＲNを介してノズルＮに至るインクの流路の形状と、圧力室ＣB2から連通流路ＲR2及びノズル流路ＲNを介してノズルＮに至るインクの流路の形状とを、略同じにすることができる。これにより、本実施形態によれば、例えば、ノズル流路ＲNの中央とは異なる位置においてノズルＮがノズル流路ＲNと連通する態様と比較して、圧力室ＣB1に充填されているインクをノズルＮから吐出させるための制御と、圧力室ＣB2に充填されているインクをノズルＮから吐出させるための制御とを、簡素化することが可能となる。

また、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、駆動信号Ｃom1の供給に応じて、圧力室ＣB1内のインクに圧力を付与する圧電素子ＰZ1と、駆動信号Ｃom2の供給に応じて、圧力室ＣB2内のインクに圧力を付与する圧電素子ＰZ2と、を備える、ことを特徴とする。
このため、本実施形態によれば、１個の圧力室ＣBq内のインクに圧力を付与する圧電素子ＰZqのみを備える態様と比較して、ノズルＮからのインクの吐出量を増大させることが可能となる。
なお、本実施形態において、圧電素子ＰZ1は「第１素子」の一例であり、圧電素子ＰZ2は「第２素子」の一例であり、駆動信号Ｃom1は「第１駆動信号」の一例であり、駆動信号Ｃom2は「第２駆動信号」の一例である。

また、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１において、駆動信号Ｃom1の波形と、駆動信号Ｃom2の波形とは、略同じである、ことを特徴とする。
このため、本実施形態によれば、駆動信号Ｃom1の波形と駆動信号Ｃom2の波形とが異なる態様と比較して、圧力室ＣB1に充填されているインクをノズルＮから吐出させるための制御と、圧力室ＣB2に充填されているインクをノズルＮから吐出させるための制御とを、簡素化することが可能となる。

＜＜Ｂ．変形例＞＞
以上に例示した各形態は多様に変形され得る。具体的な変形の態様を以下に例示する。以下の例示から任意に選択された２以上の態様は、相互に矛盾しない範囲で適宜に併合され得る。

＜変形例１＞
上述した実施形態では、壁面ＨNa及び壁面ＨRa1が接続し、壁面ＨNa及び壁面ＨRa2が接続する態様を例示したが、本発明はこのような態様に限定されるものではない。例えば、壁面ＨNa及び壁面ＨRa1の間に、他の壁面が設けられてもよいし、壁面ＨNa及び壁面ＨRa2の間に、他の壁面が設けられてもよい。

図９は、本変形例に係る液体吐出ヘッド１Aの断面図である。本変形例に係る液体吐出ヘッド１Aは、連通板２の代わりに連通板２Aを備える点を除き、液体吐出ヘッド１と同様に構成されている。
図９に示すように、連通板２Aは、空洞部ＲX1及び空洞部ＲX2が設けられる点において、実施形態に係る連通板２と相違する。ここで、空洞部ＲX1は、ノズル流路ＲNと連通し、ノズル流路ＲNの＋Ｘ側に設けられる。また、空洞部ＲX2は、ノズル流路ＲNと連通し、ノズル流路ＲNの－Ｘ側に設けられる。なお、空洞部ＲX1の有する壁面と、壁面ＨRa1との間には、Ｙ軸方向から見てＷ2方向に延在する傾斜面ＨX1が設けられてもよい。また、空洞部ＲX2の有する壁面と、壁面ＨRa2との間には、Ｙ軸方向から見てＷ1方向に延在する傾斜面ＨX2が設けられてもよい。

本変形例においても、壁面ＨNb及び壁面ＨRb1の間に傾斜面ＨD1が設けられているため、壁面ＨNb及び壁面ＨRb1の間に傾斜面ＨD1が設けられていない態様と比較して、連通流路ＲR1及びノズル流路ＲNにおいて気泡が滞留する可能性を低減することができる。また、本変形例においても、壁面ＨNb及び壁面ＨRb2の間に傾斜面ＨD2が設けられているため、壁面ＨNb及び壁面ＨRb2の間に傾斜面ＨD2が設けられていない態様と比較して、連通流路ＲR2及びノズル流路ＲNにおいて気泡が滞留する可能性を低減することができる。

＜変形例２＞
上述した実施形態及び変形例１では、各ノズルＮに対応して、圧電素子ＰZ1及び圧電素子ＰZ2の２個の圧電素子ＰZqが設けられる態様を例示したが、本発明はこのような態様に限定されるものではない。例えば、各ノズルＮに対応して、１個の圧電素子ＰZが設けられてもよい。

図１０は、本変形例に係る液体吐出ヘッド１Bの分解斜視図である。
図１０に示すように、本変形例に係る液体吐出ヘッド１Bは、ノズル基板６０の代わりにノズル基板６０Bを備える点と、連通板２の代わりに連通板２Bを備える点と、圧力室基板３の代わりに圧力室基板３Bを備える点と、振動板４の代わりに振動板４Bを備える点と、において、実施形態に係る液体吐出ヘッド１と相違する。

このうち、ノズル基板６０Bは、ノズル列Ｌnが設けられる代わりに、ノズル列Ｌn1とノズル列Ｌn2とが設けられる点において、実施形態に係るノズル基板６０と相違する。ここで、ノズル列Ｌn1は、Ｙ軸方向に延在するように設けられたＭ1個のノズルＮの集合である。また、ノズル列Ｌn2は、ノズル列Ｌn1よりも－Ｘ側において、Ｙ軸方向に延在するように設けられたＭ2個のノズルＮの集合である。ここで、値Ｍ1及び値Ｍ2は、「Ｍ1＋Ｍ2＝Ｍ」を満たす、１以上の自然数である。なお、本変形例では、値Ｍが２以上の自然数である場合を想定する。また、以下では、ノズル列Ｌn1を構成するノズルＮを、ノズルＮ1と称し、ノズル列Ｌn2を構成するノズルＮを、ノズルＮ2と称する場合がある。
また、連通板２Bは、Ｍ個の接続流路ＲK1とＭ個の接続流路ＲK2とＭ個の連通流路ＲR1とＭ個の連通流路ＲR2と、の代わりに、Ｍ1個のノズルＮ1と１対１に対応するＭ1個の接続流路ＲK1と、Ｍ2個のノズルＮ2と１対１に対応するＭ2個の接続流路ＲK2と、Ｍ1個のノズルＮ1と１対１に対応するＭ1個の連通流路ＲR1と、Ｍ2個のノズルＮ2と１対１に対応するＭ2個の連通流路ＲR2と、が設けられる点において、実施形態に係る連通板２と相違する。また、連通板２Bは、連通板２と同様に、Ｙ軸方向に延在する供給流路ＲA1と、供給流路ＲA1から見て－Ｘ方向においてＹ軸方向に延在する排出流路ＲA2と、が形成される。
また、圧力室基板３Bは、Ｍ個の圧力室ＣB1とＭ個の圧力室ＣB2との代わりに、Ｍ1個のノズルＮ1と１対１に対応するＭ1個の圧力室ＣB1と、Ｍ2個のノズルＮ2と１対１に対応するＭ2個の圧力室ＣB2と、が形成される点において、実施形態に係る圧力室基板３と相違する。
また、振動板４Bは、Ｍ個の圧電素子ＰZ1とＭ個の圧電素子ＰZ1との代わりに、Ｍ1個のノズルＮ1と１対１に対応するＭ1個の圧電素子ＰZ1と、Ｍ2個のノズルＮ2と１対１に対応するＭ2個の圧電素子ＰZ2と、が形成される点において、実施形態に係る振動板４と相違する。

図１１は、液体吐出ヘッド１BをＺ軸方向から見た平面図である。
本変形例において、液体吐出ヘッド１Bは、ノズル基板６０Bに設けられたＭ個のノズルＮと１対１に対応するＭ個の循環流路ＲJを有する。以下では、ノズルＮ1に対応して設けられる循環流路ＲJを、循環流路ＲJ1と称し、ノズルＮ2に対応して設けられる循環流路ＲJを、循環流路ＲJ2と称する場合がある。すなわち、本変形例において、供給流路ＲA1及び排出流路ＲA2は、Ｍ1個の循環流路ＲJ1とＭ2個の循環流路ＲJ2とにより連通される。
また、本変形例では、Ｙ軸方向において、循環流路ＲJ1と循環流路ＲJ2とが交互に配置される。また、本変形例において、互いに隣り合う循環流路ＲJ1及び循環流路ＲJ2のＹ軸方向の間隔が、間隔ｄYとなるように、Ｍ1個の循環流路ＲJ1と、Ｍ2個の循環流路ＲJ2とが配置される。

上述のとおり、循環流路ＲJ1は、圧力室ＣB1を有し、循環流路ＲJ2は、圧力室ＣB2を有する。本変形例では、図１１に示すように、圧力室ＣB1は、ノズルＮ1よりも＋Ｘ側に設けられ、圧力室ＣB2は、ノズルＮ2よりも－Ｘ側に設けられる。そして、上述のとおり、ノズルＮ1が属するノズル列Ｌn1は、ノズルＮ2が属するノズル列Ｌn2よりも、＋Ｘ側に設けられる。このため、本変形例において、圧力室ＣB1は、圧力室ＣB2よりも＋Ｘ側に位置することになる。
また、本変形例において、循環流路ＲJは、圧力室ＣBqのＹ軸方向の幅が、幅ｄCYとなり、圧力室ＣBq以外の部分の幅が、幅ｄRY以下となるように設けられる。そして、本変形例では、幅ｄRY及び幅ｄCYが、「ｄRY＜ｄCY」を満たす場合を、想定する。また、本変形例では、一例として、間隔ｄY及び幅ｄCYが、「ｄCY＞ｄY」を満たすように、Ｍ1個の循環流路ＲJ1と、Ｍ2個の循環流路ＲJ2とが設けられる場合を想定する。
このように、本変形例では、圧力室ＣB1のＸ軸方向における位置と、圧力室ＣB2のＸ軸方向における位置とが異なるため、Ｘ軸方向において圧力室ＣB1及び圧力室ＣB2が同一の位置に設けられる態様と比較して、循環流路ＲJのピッチを、狭くすることが可能となる。

図１２は、循環流路ＲJ1を通るように、ＸＺ平面に平行に液体吐出ヘッド１Bを切断した断面図である。また、図１３は、循環流路ＲJ2を通るように、ＸＺ平面に平行に液体吐出ヘッド１Bを切断した断面図である。

図１２及び図１３に示すように、本変形例において、連通板２Bは、基板２１と、基板２２とを含む。ここで、基板２１及び基板２２は、例えば、エッチング等の半導体製造技術を利用してシリコンの単結晶基板を加工することで製造される。但し、基板２１及び基板２２の製造には公知の材料及び製法が任意に採用され得る。

図１２に示すように、本変形例において、循環流路ＲJ1は、供給流路ＲA1に連通し、基板２１及び基板２２に形成された接続流路ＲK1と、接続流路ＲK1に連通し、圧力室基板３Bに形成された圧力室ＣB1と、圧力室ＣB1に連通し、基板２１及び基板２２に形成された連通流路ＲR1と、連通流路ＲR1及びノズルＮ1に連通し、基板２１に形成されたノズル流路ＲN1と、ノズル流路ＲN1に連通し、基板２２に形成された流路Ｒ11と、流路Ｒ11に連通し、基板２１に形成された流路Ｒ12と、流路Ｒ12に連通し、ノズル基板６０Bに形成された流路Ｒ13と、流路Ｒ13に連通し、基板２１に形成された流路Ｒ14と、流路Ｒ14及び排出流路ＲA2を連通し、基板２２に形成された流路Ｒ15と、を有する。
また、図１３に示すように、本変形例において、循環流路ＲJ2は、排出流路ＲA2に連通し、基板２１及び基板２２に形成された接続流路ＲK2と、接続流路ＲK2に連通し、圧力室基板３Bに形成された圧力室ＣB2と、圧力室ＣB2に連通し、基板２１及び基板２２に形成された連通流路ＲR2と、連通流路ＲR2及びノズルＮ2に連通し、基板２１に形成されたノズル流路ＲN2と、ノズル流路ＲN2に連通し、基板２２に形成された流路Ｒ21と、流路Ｒ21に連通し、基板２１に形成された流路Ｒ22と、流路Ｒ22に連通し、ノズル基板６０Bに形成された流路Ｒ23と、流路Ｒ23に連通し、基板２１に形成された流路Ｒ24と、流路Ｒ24及び供給流路ＲA1を連通し、基板２２に形成された流路Ｒ25と、を有する。

図１４は、循環流路ＲJ1のうち、圧力室ＣB1、連通流路ＲR1、ノズル流路ＲN1、及び、流路Ｒ11の断面図である。
図１４に例示されるように、ノズル流路ＲN1は、Ｙ軸方向から見た場合に、壁面ＨNa1と壁面ＨNb1と壁面ＨNc1とを有する。ここで、壁面ＨNa1は、ノズル流路ＲN1を構成する壁面のうち、ノズルＮ1が形成された壁面であり、Ｙ軸方向から見た場合に、Ｘ軸方向に延在する壁面である。また、壁面ＨNb1は、Ｙ軸方向から見た場合に、壁面ＨNa1とは反対側の壁面であり、Ｘ軸方向に延在する壁面である。また、壁面ＨNc1は、ノズル流路ＲN1の－Ｘ側の端部を構成し、Ｙ軸方向から見た場合に、Ｚ軸方向に延在する壁面である。
また、流路Ｒ11は、Ｙ軸方向から見た場合に、壁面Ｈ11aと壁面Ｈ11bと傾斜面Ｈ11とを有する。ここで、壁面Ｈ11aは、壁面ＨNc1に接続し、Ｙ軸方向から見た場合に、Ｘ軸方向に延在する壁面である。また、壁面Ｈ11bは、Ｙ軸方向から見た場合に、壁面Ｈ11aとは反対側の壁面であり、Ｘ軸方向に延在する壁面である。また、傾斜面Ｈ11は、壁面ＨNb1及び壁面Ｈ11bの間に設けられ、Ｙ軸方向から見た場合に、Ｗ2方向に延在する壁面である。
なお、本変形例において、傾斜面ＨD1は、壁面ＨNb1及び壁面ＨRb1の間に設けられている。また、本変形例において、壁面ＨRa1は、壁面ＨNa1と接続する。

図１５は、循環流路ＲJ2のうち、圧力室ＣB2、連通流路ＲR2、ノズル流路ＲN2、及び、流路Ｒ21の断面図である。
図１５に例示されるように、ノズル流路ＲN2は、Ｙ軸方向から見た場合に、壁面ＨNa2と壁面ＨNb2と壁面ＨNc2とを有する。ここで、壁面ＨNa2は、ノズル流路ＲN2を構成する壁面のうち、ノズルＮ2が形成された壁面であり、Ｙ軸方向から見た場合に、Ｘ軸方向に延在する壁面である。また、壁面ＨNb2は、Ｙ軸方向から見た場合に、壁面ＨNa2とは反対側の壁面であり、Ｘ軸方向に延在する壁面である。また、壁面ＨNc2は、ノズル流路ＲN2の＋Ｘ側の端部を構成し、Ｙ軸方向から見た場合に、Ｚ軸方向に延在する壁面である。
また、流路Ｒ21は、Ｙ軸方向から見た場合に、壁面Ｈ21aと壁面Ｈ21bと傾斜面Ｈ21とを有する。ここで、壁面Ｈ21aは、壁面ＨNc2に接続し、Ｙ軸方向から見た場合に、Ｘ軸方向に延在する壁面である。また、壁面Ｈ21bは、Ｙ軸方向から見た場合に、壁面Ｈ21aとは反対側の壁面であり、Ｘ軸方向に延在する壁面である。また、傾斜面Ｈ21は、壁面ＨNb2及び壁面Ｈ21bの間に設けられ、Ｙ軸方向から見た場合に、Ｗ1方向に延在する壁面である。
なお、本変形例において、傾斜面ＨD2は、壁面ＨNb2及び壁面ＨRb2の間に設けられている。また、本変形例において、壁面ＨRa2は、壁面ＨNa2と接続する。

本変形例においても、壁面ＨNb1及び壁面ＨRb1の間に傾斜面ＨD1が設けられているため、壁面ＨNb1及び壁面ＨRb1の間に傾斜面ＨD1が設けられていない態様と比較して、連通流路ＲR1及びノズル流路ＲN1において気泡が滞留する可能性を低減することができる。また、本変形例においても、壁面ＨNb2及び壁面ＨRb2の間に傾斜面ＨD2が設けられているため、壁面ＨNb2及び壁面ＨRb2の間に傾斜面ＨD2が設けられていない態様と比較して、連通流路ＲR2及びノズル流路ＲN2において気泡が滞留する可能性を低減することができる。

＜変形例３＞
上述した実施形態並びに変形例１及び２では、液体吐出ヘッド１、液体吐出ヘッド１A、または、液体吐出ヘッド１Bを搭載した無端ベルト９２２を、Ｙ軸方向に往復同させるシリアル方式の液体吐出装置１００を例示したが、本発明はこのような態様に限定されるものではない。液体吐出装置は、複数のノズルＮが、媒体ＰPの全幅に亘り分布する、ライン方式の液体吐出装置であってもよい。

図１６は、本変形例に係る液体吐出装置１００Cの構成の一例を示す図である。液体吐出装置１００Cは、制御装置９０の代わりに制御装置９０Cを備える点と、収納ケース９２１の代わりに収納ケース９２１Cを備える点と、無端ベルト９２２を備えない点とにおいて、実施形態に係る液体吐出装置１００と相違する。制御装置９０Cは、無端ベルト９２２を制御する信号を出力しない点において、制御装置９０と相違する。収納ケース９２１Cは、Ｙ軸方向を長手方向とする複数の液体吐出ヘッド１が、媒体ＰPの全幅に亘り分布するように設けられている。なお、収納ケース９２１Cには、液体吐出ヘッド１の代わりに、液体吐出ヘッド１Aまたは液体吐出ヘッド１Bが搭載されてもよい。

＜変形例４＞
上述した実施形態及び変形例１乃至３では、圧力室ＣBの内部に圧力を付与するエネルギー変換素子として、電気エネルギーを運動エネルギーに変換する圧電素子ＰZを例示したが、本発明はこのような態様に限定されるものではない。圧力室ＣBの内部に圧力を付与するエネルギー変換素子としては、例えば、電気エネルギーを熱エネルギーに変換し、加熱により圧力室ＣBの内部に気泡を発生させて、圧力室ＣBの内部の圧力を変動させる発熱素子を採用してもよい。発熱素子は、例えば、駆動信号Ｃomの供給により発熱体が発熱する素子であってもよい。

＜変形例５＞
上述した実施形態及び変形例１乃至４で例示した液体吐出装置は、印刷に専用される機器のほか、ファクシミリ装置及びコピー機等の各種の機器に採用され得る。もっとも、本発明の液体吐出装置の用途は印刷に限定されない。例えば、色材の溶液を吐出する液体吐出装置は、液晶表示装置のカラーフィルターを形成する製造装置として利用される。また、導電材料の溶液を吐出する液体吐出装置は、配線基板の配線及び電極を形成する製造装置として利用される。

１…液体吐出ヘッド、２…連通板、３…圧力室基板、４…振動板、５…貯留室形成基板、８…配線基板、６０…ノズル基板、１００…液体吐出装置、ＣB1…圧力室、ＣB2…圧力室、ＨC1…壁面、ＨC2…壁面、ＨD1…傾斜面、ＨD2…傾斜面、ＨNa…壁面、ＨNb…壁面、ＨRa1…壁面、ＨRa2…壁面、ＨRb1…壁面、ＨRb2…壁面、Ｎ…ノズル、ＰZ1…圧電素子、ＰZ2…圧電素子、ＲA1…供給流路、ＲA2…排出流路。

Claims (16)

1. 第１方向に延在し、液体に圧力を付与する第１圧力室と、
   前記第１方向に延在し、液体に圧力を付与する第２圧力室と、
   前記第１方向に延在し、液体を吐出するノズルに連通するノズル流路と、
   前記第１方向と交差する第２方向に延在し、前記第１圧力室及び前記ノズル流路を連通する第１連通流路と、
   前記第２方向に延在し、前記第２圧力室及び前記ノズル流路を連通する第２連通流路と、
   を備え、
   前記ノズル流路の壁面は、
   前記第１方向に延在し、前記ノズルが設けられた第１壁面と、
   前記第１方向に延在し、前記第１壁面とは反対側の第２壁面と、を含み、
   前記第１連通流路の壁面は、
   前記第２方向に延在し、前記第１方向において前記ノズルから最も遠い第３壁面と、
   前記第２方向に延在し、前記第３壁面とは反対側の第４壁面と、を含み、
   前記第２壁面と前記第４壁面の間には、
   前記第１方向及び前記第２方向の間の第３方向に延在する第５壁面が設けられ、
   前記第５壁面は、一端が前記第２壁面に接続され、他端が前記第４壁面に接続される、
   ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 前記第５壁面の前記第１方向の長さは、前記第４壁面の前記第１方向の長さよりも短い、
   ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 第１方向に延在し、液体に圧力を付与する第１圧力室と、
   前記第１方向に延在し、液体に圧力を付与する第２圧力室と、
   前記第１方向に延在し、液体を吐出するノズルに連通するノズル流路と、
   前記第１方向と交差する第２方向に延在し、前記第１圧力室及び前記ノズル流路を連通する第１連通流路と、
   前記第２方向に延在し、前記第２圧力室及び前記ノズル流路を連通する第２連通流路と、
   を備え、
   前記ノズル流路の壁面は、
   前記第１方向に延在し、前記ノズルが設けられた第１壁面と、
   前記第１方向に延在し、前記第１壁面とは反対側の第２壁面と、を含み、
   前記第１連通流路の壁面は、
   前記第２方向に延在し、前記第１方向において前記ノズルから最も遠い第３壁面と、
   前記第２方向に延在し、前記第３壁面とは反対側の第４壁面と、を含み、
   前記第２壁面と前記第４壁面の間には、
   前記第１方向及び前記第２方向の間の第３方向に延在する第５壁面が設けられ、
   前記第５壁面の前記第１方向の長さは、前記第４壁面の前記第１方向の長さよりも短い、
   ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
4. 前記第２壁面の法線方向と、前記第５壁面の法線方向とのなす角度は、２０度よりも大きく８０度よりも小さい、
   ことを特徴とする、請求項１乃至３のうち何れか１項に記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記第４壁面の法線方向と、前記第５壁面の法線方向とのなす角度は、１０度よりも大きく７０度よりも小さい、
   ことを特徴とする、請求項１乃至４のうち何れか１項に記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記第１壁面は、前記第３壁面と接続する、
   ことを特徴とする、請求項１乃至５のうち何れか１項に記載の液体吐出ヘッド。
7. 前記第１圧力室の壁面は、
   前記第１方向に延在する第６壁面を含み、
   前記第３壁面は、前記第６壁面と接続する、
   ことを特徴とする、請求項１乃至６のうち何れか１項に記載の液体吐出ヘッド。
8. 前記第２連通流路の壁面は、
   前記第２方向に延在し、前記第１方向において前記ノズルから最も遠い第７壁面と、
   前記第２方向に延在し、前記第７壁面とは反対側の第８壁面と、を含み、
   前記第２壁面と前記第８壁面の間には、
   前記第１方向の反対方向及び前記第２方向の間の第４方向に延在する第９壁面が設けられる、
   ことを特徴とする、請求項１乃至７のうち何れか１項に記載の液体吐出ヘッド。
9. 前記第３方向と前記第２方向のなす角度は、
   前記第４方向と前記第２方向のなす角度と略同じである、
   ことを特徴とする、請求項８に記載の液体吐出ヘッド。
10. 前記第１圧力室に連通し、前記第１圧力室に液体を供給する供給流路と、
    前記第２圧力室に連通し、前記第２圧力室から液体が排出される排出流路と、
    を備える、
    ことを特徴とする、請求項１乃至９のうち何れか１項に記載の液体吐出ヘッド。
11. 前記第２圧力室に連通し、前記第２圧力室に液体を供給する供給流路と、
    前記第１圧力室に連通し、前記第１圧力室から液体が排出される排出流路と、
    を備える、
    ことを特徴とする、請求項１乃至９のうち何れか１項に記載の液体吐出ヘッド。
12. 前記第１圧力室、及び、前記第２圧力室が設けられた圧力室基板と、
    前記ノズル流路、前記第１連通流路、及び、前記第２連通流路が設けられた連通板と、
    前記ノズルが設けられたノズル基板と、
    を備える、
    ことを特徴とする、請求項１乃至１１のうち何れか１項に記載の液体吐出ヘッド。
13. 前記ノズルは、
    前記ノズル流路の略中央において、前記ノズル流路に連通する、
    ことを特徴とする、請求項１乃至１２のうち何れか１項に記載の液体吐出ヘッド。
14. 第１駆動信号の供給に応じて、前記第１圧力室内の液体に圧力を付与する第１素子と、
    第２駆動信号の供給に応じて、前記第２圧力室内の液体に圧力を付与する第２素子と、
    を備える、
    ことを特徴とする、請求項１乃至１３のうち何れか１項に記載の液体吐出ヘッド。
15. 前記第１駆動信号の波形と、
    前記第２駆動信号の波形とは、略同じである、
    ことを特徴とする、請求項１４に記載の液体吐出ヘッド。
16. 請求項１乃至１５の何れか１項に記載の液体吐出ヘッドを備え、当該液体吐出ヘッドから液体を吐出させる、
    ことを特徴とする液体吐出装置。

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