JP7163636B2 - 液体噴射ヘッドと液体噴射装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1実施形態の液体噴射装置100の構成を模式的示す説明図である。液体噴射装置100は、液体の一例であるインクの液滴を媒体12に噴射するインクジェット方式の印刷装置である。以下、インクの液滴の噴射を、単にインク噴射と称する。液体噴射装置100は、印刷用紙の他、樹脂フィルムや布等の任意の材質の印刷対象を媒体12とし、これらの各種の媒体12に対して印刷を行う。図1以降の各図においては、互いに直交するX方向、Y方向およびZ方向のうち、後述する液体噴射ヘッド26の搬送方向(主走査方向)をX方向とし、Y方向は、主走査方向と直交した媒体送り方向(副走査方向)であり、Z方向は、XY平面に直交したインク噴射方向、および鉛直方向である。以下の説明においては、説明の便宜上、主走査方向を印刷方向と、適宜、称する。また、向きを特定する場合には、図示方向を+(正)として、方向表記に正負の符合を併用する。なお、インク噴射方向は鉛直方向であってもよいし、それと交差する方向でもよい。液体噴射装置100は、媒体送り方向(副走査方向)と液体噴射ヘッド26の搬送方向(主走査方向)とが一致する、いわゆるラインプリンタでもよい。
図5は、第2実施形態の液体噴射装置における液体噴射ヘッド26Aを主要な構成部材を分解した上で図2相当に断面視して示す説明図である。なお、以下の説明に当たっては、既述した各流路構成や各構成部材については、その機能が同じであれば、説明の便宜上、同一の符合を用いることとする。
図6は、第3実施形態の液体噴射装置における液体噴射ヘッド26Bを図2相当に断面視して示す説明図である。
図7は、第4実施形態の液体噴射装置100Aの構成を模式的示す説明図である。図8は、液体噴射ヘッド26Cの主要なヘッド構成材を分解視して上方側から概略的に示す説明図である。図9は、図8における9-9線に沿って液体噴射ヘッド26Cを断面視して示す説明図である。
(E-1)既述した実施形態では、流路形成基板30が形成するインク流入室131の側から圧力室Cにインクを供給し、圧力室Cを通過したインクをインク排出室140の側から回収したが、このインクの流れを逆向きとしてもよい。具体的には、図4に示すインク排出室140の側から圧力室Cにインクを供給し、圧力室Cを通過したインクをインク流入室131の側から回収してもよい。
(1)ファクシミリ装置等の画像記録装置。
(2)液晶ディスプレイ等の画像表示装置用のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射装置。
(3)有機EL(Electro Luminescence)ディスプレイや、面発光ディスプレイ(Field Emission Display、FED)等の電極形成に用いられる電極材噴射装置。
(4)バイオチップ製造に用いられる生体有機物を含む液体を噴射する液体噴射装置。
(5)精密ピペットとしての試料噴射装置。
(6)潤滑油の噴射装置。
(7)樹脂液の噴射装置。
(8)時計やカメラ等の精密機械にピンポイントで潤滑油を噴射する液体噴射装置。
(9)光通信素子等に用いられる微小半球レンズ(光学レンズ)などを形成するために紫外線硬化樹脂液等の透明樹脂液を基板上に噴射する液体噴射装置。
(10)基板などをエッチングするために酸性又はアルカリ性のエッチング液を噴射する液体噴射装置。
(11)他の任意の微小量の液滴を噴射させる液体噴射ヘッドを備える液体噴射装置。
本発明は、上述の実施形態や実施形態、変形例に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の構成で実現することができる。例えば前記ヘッドに対するインクの供給方向と回収方向を逆にし、回収方向からインクを供給してインクを循環しながらインクを噴射することも可能である。また、発明の概要の欄に記載した各形態中の技術的特徴に対応する実施形態、実施形態、変形例中の技術的特徴は、上述の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、上述の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。
Claims (13)
- 液体を噴射するノズルを複数有する液体噴射ヘッドであって、
前記複数のノズルに前記液体の供給を行なうために共用される共有供給路と、前記ノズルごとに設けられた個別流路であって、該共有供給路から分岐して、前記ノズルと圧力室に連通する個別流路と、該個別流路が合流し、前記ノズルから前記液体を噴射する際の前記個別流路を介した前記液体の回収を行なうために共用される共有回収路とを有する流路形成基板と、
前記複数のノズルを有し、前記個別流路の壁の一部を画成するノズルプレートと、
前記共有供給路の壁の一部を画成する可撓性の供給側可撓プレートと、
前記ノズルプレートと別部材であり、 前記共有回収路の壁の一部を画成する可撓性の回収側可撓プレートと、を備え、
前記ノズルプレートと前記供給側可撓プレートと前記回収側可撓プレートは、前記流路形成基板の第1面に接合され、
前記流路形成基板の第1面には、前記個別流路に対応する開口と、前記共有回収路に対応する開口と、が個別に設けられ、
前記ノズルプレートは、少なくとも前記個別流路に対応する前記開口を塞ぐ位置に、前記回収側可撓プレートは、少なくとも前記共有回収路に対応する前記開口を塞ぐ位置に、それぞれ接合される、
液体噴射ヘッド。 - 請求項1に記載の液体噴射ヘッドであって、
前記流路形成基板の第1面には、前記ノズルプレートで封止される前記個別流路に対応する前記開口と前記回収側可撓プレートで封止される前記共有回収路に対応する前記開口の間に位置し、前記流路形成基板を形成する部材であるプレート装着座が更に設けられ、
前記ノズルプレートと前記回収側可撓プレートは、前記プレート装着座に装着される、
液体噴射ヘッド。 - 請求項1または請求項2に記載の液体噴射ヘッドであって、
前記第1面から、前記流路形成基板の前記第1面と反対側の第2面に向かってみたときに、前記ノズルプレートと前記回収側可撓プレートは、互いに重ならない位置に位置する、
液体噴射ヘッド。 - 請求項1に記載の液体噴射ヘッドであって、
前記流路形成基板の第1面には、前記共有供給路に対応する開口が更に設けられ、
前記供給側可撓プレートは、少なくとも前記共有供給路に対応する前記開口を塞ぐ位置に接合される、
液体噴射ヘッド。 - 請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の液体噴射ヘッドであって、
前記供給側可撓プレートは、前記ノズルプレートと別部材である、
液体噴射ヘッド。 - 請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の液体噴射ヘッドであって、
前記ノズルプレート側から見たときの大きさが、前記流路形成基板より前記ノズルプレートが小さい、
液体噴射ヘッド。 - 請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の液体噴射ヘッドであって、
前記ノズルプレートのヤング率が、前記供給側可撓プレートと前記回収側可撓プレートの少なくとも一方のヤング率よりも大きい、
液体噴射ヘッド。 - 請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の液体噴射ヘッドであって、
前記流路形成基板は、
前記圧力室側に位置する第1流路基板と、
前記ノズルプレート側に位置し、前記第1流路基板が接合される第2流路基板と、を備える、
液体噴射ヘッド。 - 請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の液体噴射ヘッドであって、
前記圧力室を有する圧力室プレートを更に備え、
前記圧力室プレートは、前記流路形成基板の前記第1面と反対側の第2面に接合される、
液体噴射ヘッド。 - 請求項1から請求項9のいずれか1項に記載の液体噴射ヘッドであって、
前記共有供給路に液体を供給するインク受入室を有する供給流路基板を更に備え、
前記供給流路基板は、前記流路形成基板の前記第1面と反対側の第2面に接合される、
液体噴射ヘッド。 - 請求項1から請求項10のいずれか1項に記載の液体噴射ヘッドであって、
前記共有回収路から液体を回収するインク収容室を有する回収流路基板を更に備え、
前記回収流路基板は、前記流路形成基板の前記第1面と反対側の第2面に接合される、
液体噴射ヘッド。 - 請求項1から請求項11のいずれかに1項に記載の液体噴射ヘッドと、
前記液体噴射ヘッドへ供給され、前記液体噴射ヘッドから還流される前記液体を貯留する液体容器と、を備える液体噴射装置。 - 請求項12 に記載の液体噴射装置であって、
前記液体の前記噴射の際に、前記液体容器から前記共有供給路へポンプによって前記液体を供給することで、前記個別流路を介して、前記共有回収路から前記液体容器へと前記液体を還流させる、液体噴射装置。
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