CN109457221A - 可调节的镀膜修正板机构 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种可调节的镀膜修正板机构，包括：修正板、位置调整组件和角度调整组件；所述修正板设置有两个，分别使用铰链连接于旋转支架的两侧，两个修正板可相对旋转运动；所述位置调整组件用于调整修正板的高度位置；所述角度调整组件用于调整两个修正板的相互夹角，改变修正板的投影面积。本发明可以适用于不同尺寸及形状特征的待镀膜工件，提高修正板的通用性，降低修正板的制作费用及更换时间，还可以根据实时的镀膜厚度误差，实时、连续的调整修正板的位置，以获得最佳的镀膜厚度均匀性。

Description

可调节的镀膜修正板机构
技术领域
本发明涉及一种镀膜装置，特别是涉及一种可调节的镀膜修正板机构。
背景技术
蒸镀时，由于蒸镀源与待镀膜工件的相对位置不同，会导致待镀膜工件的镀膜厚度存在差异，镀膜厚度的不均匀是镀膜工艺中常见的不良现象。因此，蒸镀设备通常在待镀膜工件与蒸镀源之间设置修正板，从而修正不同位置的待镀膜工件上的膜层厚度差异。
现有技术中，通常针对不同的待镀膜工件尺寸及外形特征设置专用的修正板，具有通用性差的特点，而且在更换过程中费时费力，影响效率。
发明内容
为了克服现有技术的不足，本发明目的在于提供一种结构简单，成本低的可调节的镀膜修正板机构，提高修正板的通用性，降低修正板的制作费用及更换时间。还可以根据实时的镀膜厚度误差，实时、连续的调整修正板的位置，以获得最佳的镀膜厚度均匀性。
为解决上述问题，本发明所采用的技术方案如下：
可调节的镀膜修正板机构，包括：修正板、位置调整组件和角度调整组件；
所述位置调整组件包括旋转支架和推进器；所述推进器固定与底板上；所述支架的一端为固定端，固定端设置有销钉孔，所述销钉通过销钉孔与底板连接；所述支架的另一端为自由端。
所述推进器与支架连接，在推进器的作用下，支架可以绕销钉旋转运动，从而整修正板的高度位置。
所述修正板设置有两个，分别使用铰链连接于旋转支架的两侧。
所述角度调整组件包括连杆、活动块和调整杆，所述调整杆的两端分别设置有支撑座，支撑座固定于支架上；所述活动块与调整杆连接；所述连杆的两端分别设置有万向关节，其中一端的万向关节与活动块连接，另外一端的万向关节与修正板连接；所述连杆共设置有两个，分别连接两个修正板。
优选的，两个修正板的结构互为对称，两个修正板组合后的外轮廓形状为纺锤形。
优选的，所述活动块与调整杆使用螺纹连接。
优选的，所述调整杆的一端设置有手柄，手柄的外圈设置有凹凸纹理。
优选的，所述调整杆上设置有锁紧块。
优选的，所述支撑座包含滚动轴承。
优选的，所述推进器是电缸或气缸中的一种。
优选的，所述推进器与镀膜控制***电连接。
相比现有技术，本发明的有益效果在于：
本发明的可调节的镀膜修正板机构可以适用于不同尺寸及形状特征的待镀膜工件，提高修正板的通用性，降低修正板的制作费用及更换时间。还可以根据实时的镀膜厚度误差，实时、连续的调整修正板的位置，以获得最佳的镀膜厚度均匀性。
附图说明
图1为本发明的整体结构示意图；
图2为修改板的立体示意图；
图3为修正板的侧视图；
图4为修正板的俯视图；
其中：位置调整组件10；推进器11；旋转支架12；销钉13；底板14；角度调整组件40；连杆41；锁紧块42；支撑座43；调整杆44；活动块45；修正板50；铰链70；底板80；
具体实施方式
为了便于理解本发明，下面将参照相关附图对本发明进行更全面的描述。附图中给出了本发明的较佳的实施例。但是，本发明可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本发明的公开内容的理解更加透彻全面。
需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”、“上”、“下”以及类似的表述只是为了说明的目的。
除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“及／或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
下面，结合附图以及具体实施方式，对本发明做进一步描述：
如图1、2所示，可调节的镀膜修正板机构，包括：修正板50、位置调整组件10和角度调整组件40；
所述位置调整组件10包括旋转支架12和推进器11；所述推进器11固定与底板14上；所述支架12的一端为固定端，固定端设置有销钉孔，所述销钉13通过销钉孔与底板14连接；所述支架12的另一端为自由端。
所述推进器11与支架12连接，在推进器11的作用下，支架12可以绕销钉13旋转运动，从而整修正板的高度位置。
如图2、3所示，所述修正板50设置有两个，分别使用铰链70连接于旋转支架12的两侧。
如4所示，进一步的，两个修正板50的结构互为对称，50组合后的外轮廓形状为纺锤形。
如图2、3所示，所述角度调整组件40包括连杆41、活动块45和调整杆44，所述调整杆44的两端分别设置有支撑座43，支撑座43固定于支架12上；所述调整杆4被支撑座43限制了除沿其自身轴线旋转运动以外的运动；所述活动块45与调整杆44连接，活动块45可沿调整杆44的轴向移动；所述连杆41的两端分别设置有万向关节，其中一端的万向关节与活动块45连接，另外一端的万向关节与修正板50连接；所述连杆41共设置有两个，分别连接两个修正板50。
进一步的，所述活动块45与调整杆44使用螺纹连接。
通过正反旋转调整杆44，可以使活动块45在调整杆44的轴向前后运动，带动两个连杆41同时运动，进一步的带动两个修正板50相向或反向旋转，改变两个修正板50的相互组成的夹角大小，改变修正板的投影面积。
进一步的，所述调整杆44的一端设置有手柄，手柄的外圈设置有凹凸纹理；通过手柄可以方便操作人员进行旋转，外圈设置的凹凸纹理可以防滑，提高准确性。
进一步的，所述调整杆44上设置有锁紧块42，可以将调整杆44固定，防止旋转。
进一步的，所述支撑座43包含滚动轴承；调整杆44与滚动轴承配合，可以提供旋转的精度。
进一步的，所述推进器11是电缸或气缸中的一种。
进一步的，所述推进器11与镀膜控制***电连接。
可调节的镀膜修正板机构的使用举例：
1. 将可调节的镀膜修正板机构固定镀膜装置上，使修正板50处于镀膜蒸发源与待镀膜工件之间。
2. 根据待镀膜工件的大小、结构特征，手动旋转调整杆44，改变两个修正板50的相互组成的夹角大小，使修正板50在待镀膜工件上获得符合工艺要求的投影面积。
3. 启动镀膜机，在镀膜过程中对待镀膜工件的不同位置的镀膜厚度进行监测，推进器11与镀膜控制***电连接，根据镀膜厚度的工艺要求及实时的镀膜厚度误差，启动推进器11，使支架12绕销钉13旋转，进一步的使修正板50与待镀膜工件的距离改变。推进器11可根据镀膜厚度误差进行实时连续动作，使修正板50处于最佳高度，以获得最佳的镀膜厚度均匀性。
对本领域的技术人员来说，可根据以上描述的技术方案以及构思，做出其它各种相应的改变以及形变，而所有的这些改变以及形变都应该属于本发明权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.可调节的镀膜修正板机构，其特征在于，包括：修正板、位置调整组件和角度调整组件；
所述修正板设置有两个，分别使用铰链连接于旋转支架的两侧，两个修正板可相对旋转运动；
所述位置调整组件用于调整修正板的高度位置；
所述角度调整组件用于调整两个修正板的相互夹角，改变修正板的投影面积。
2.如权利要求1所述的可调节的镀膜修正板机构，其特征在于：所述位置调整组件包括旋转支架和推进器；所述推进器固定与底板上；所述支架的一端为固定端，固定端设置有销钉孔，所述销钉通过销钉孔与底板连接；所述支架的另一端为自由端；所述推进器与支架连接，在推进器的作用下，支架可以绕销钉旋转运动。
3.如权利要求1所述的可调节的镀膜修正板机构，其特征在于：所述角度调整组件包括连杆、活动块和调整杆，所述调整杆的两端分别设置有支撑座，支撑座固定于支架上；所述活动块与调整杆连接；所述连杆的两端分别设置有万向关节，其中一端的万向关节与活动块连接，另外一端的万向关节与修正板连接；所述连杆共设置有两个，分别连接两个修正板。
4.如权利要求1所述的可调节的镀膜修正板机构，其特征在于：两个修正板的结构互为对称，两个修正板组合后的外轮廓形状为纺锤形。
5.如权利要求3所述的可调节的镀膜修正板机构，其特征在于：所述活动块与调整杆使用螺纹连接。
6.如权利要求3所述的可调节的镀膜修正板机构，其特征在于：所述调整杆的一端设置有手柄，手柄的外圈设置有凹凸纹理。
7.如权利要求3所述的可调节的镀膜修正板机构，其特征在于：所述调整杆上设置有锁紧块。
8.如权利要求3所述的可调节的镀膜修正板机构，其特征在于：所述支撑座包含滚动轴承。
9.如权利要求2所述的可调节的镀膜修正板机构，其特征在于：所述推进器是电缸或气缸中的一种。
10.如权利要求2所述的可调节的镀膜修正板机构，其特征在于：所述推进器与镀膜控制***电连接。
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