CN103088298A - 镀膜修正板及镀膜装置 - Google Patents
镀膜修正板及镀膜装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN103088298A CN103088298A CN2011103373560A CN201110337356A CN103088298A CN 103088298 A CN103088298 A CN 103088298A CN 2011103373560 A CN2011103373560 A CN 2011103373560A CN 201110337356 A CN201110337356 A CN 201110337356A CN 103088298 A CN103088298 A CN 103088298A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- film coating
- shielding plates
- correction plate
- shielding
- coating correction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Description
镀膜装置 | 100 |
镀膜室 | 10 |
顶部 | 11 |
底部 | 12 |
承载架 | 20 |
转轴 | 21 |
旋转马达 | 22 |
蒸镀源 | 30 |
镀膜修正板 | 40 |
外轮廓 | 401 |
安装杆 | 41 |
第一端部 | 411 |
螺孔 | 4111 |
第二端部 | 412 |
遮挡片 | 42 |
遮挡面 | 4200 |
子遮挡面 | 420 |
第一侧面 | 421 |
第二侧面 | 422 |
第三侧面 | 423 |
弹性臂 | 424 |
调整元件 | 43 |
螺纹部 | 431 |
头部 | 432 |
操作面 | 4321 |
第一配合面 | 4322 |
第二配合面 | 4323 |
凹槽 | 4324 |
弹性元件 | 44 |
支持杆 | 50 |
镀膜修正板 | 80 |
第一镀膜修正板 | 81 |
第一安装杆 | 811 |
第二镀膜修正板 | 82 |
第二安装杆 | 821 |
螺丝 | 90 |
Claims (10)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201110337356.0A CN103088298B (zh) | 2011-10-31 | 2011-10-31 | 镀膜修正板及镀膜装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201110337356.0A CN103088298B (zh) | 2011-10-31 | 2011-10-31 | 镀膜修正板及镀膜装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN103088298A true CN103088298A (zh) | 2013-05-08 |
CN103088298B CN103088298B (zh) | 2016-05-11 |
Family
ID=48201415
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201110337356.0A Expired - Fee Related CN103088298B (zh) | 2011-10-31 | 2011-10-31 | 镀膜修正板及镀膜装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN103088298B (zh) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017124766A1 (zh) * | 2016-01-18 | 2017-07-27 | 京东方科技集团股份有限公司 | 真空蒸发镀膜设备 |
CN107630188A (zh) * | 2017-10-31 | 2018-01-26 | 安徽富芯微电子有限公司 | 一种用于提高金属层镀膜均匀性的镀膜机构及其使用方法 |
CN108642453A (zh) * | 2018-06-25 | 2018-10-12 | 京东方科技集团股份有限公司 | 真空蒸镀腔室及真空蒸镀设备 |
CN109457221A (zh) * | 2019-01-23 | 2019-03-12 | 天宫真空科技(广州)有限公司 | 可调节的镀膜修正板机构 |
CN110036135A (zh) * | 2016-12-14 | 2019-07-19 | 株式会社神户制钢所 | 靶用遮挡件机构及具备该靶用遮挡件机构的成膜装置 |
CN111752301A (zh) * | 2019-12-31 | 2020-10-09 | 广州极飞科技有限公司 | 无人设备定位检测装置、方法及无人设备 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP4198162A1 (en) * | 2021-12-16 | 2023-06-21 | Essilor International | Physical vapor deposition machine with a shutter having at least one intermediate position |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58131129A (ja) * | 1982-01-29 | 1983-08-04 | Ulvac Corp | プラネタリ−式成膜装置における膜厚修正装置 |
CN201212059Y (zh) * | 2008-06-27 | 2009-03-25 | 贵州振华云科电子有限公司 | 溅射薄膜的厚度均匀性修正装置 |
CN101457349A (zh) * | 2007-12-10 | 2009-06-17 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 镀膜修正板 |
CN102086505A (zh) * | 2009-12-03 | 2011-06-08 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 镀膜修正板 |
-
2011
- 2011-10-31 CN CN201110337356.0A patent/CN103088298B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58131129A (ja) * | 1982-01-29 | 1983-08-04 | Ulvac Corp | プラネタリ−式成膜装置における膜厚修正装置 |
CN101457349A (zh) * | 2007-12-10 | 2009-06-17 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 镀膜修正板 |
CN201212059Y (zh) * | 2008-06-27 | 2009-03-25 | 贵州振华云科电子有限公司 | 溅射薄膜的厚度均匀性修正装置 |
CN102086505A (zh) * | 2009-12-03 | 2011-06-08 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 镀膜修正板 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017124766A1 (zh) * | 2016-01-18 | 2017-07-27 | 京东方科技集团股份有限公司 | 真空蒸发镀膜设备 |
CN110036135A (zh) * | 2016-12-14 | 2019-07-19 | 株式会社神户制钢所 | 靶用遮挡件机构及具备该靶用遮挡件机构的成膜装置 |
CN107630188A (zh) * | 2017-10-31 | 2018-01-26 | 安徽富芯微电子有限公司 | 一种用于提高金属层镀膜均匀性的镀膜机构及其使用方法 |
CN108642453A (zh) * | 2018-06-25 | 2018-10-12 | 京东方科技集团股份有限公司 | 真空蒸镀腔室及真空蒸镀设备 |
CN109457221A (zh) * | 2019-01-23 | 2019-03-12 | 天宫真空科技(广州)有限公司 | 可调节的镀膜修正板机构 |
CN109457221B (zh) * | 2019-01-23 | 2023-09-01 | 广州北辰工业自动化有限公司 | 可调节的镀膜修正板机构 |
CN111752301A (zh) * | 2019-12-31 | 2020-10-09 | 广州极飞科技有限公司 | 无人设备定位检测装置、方法及无人设备 |
CN111752301B (zh) * | 2019-12-31 | 2024-06-07 | 广州极飞科技股份有限公司 | 无人设备定位检测装置、方法及无人设备 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN103088298B (zh) | 2016-05-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN103088298A (zh) | 镀膜修正板及镀膜装置 | |
CN107740040B (zh) | 掩膜版组件及蒸镀装置 | |
JP5334062B2 (ja) | 活物質コーティング装置 | |
WO2014155939A1 (en) | Mask frame unit, mask apparatus, and processing method | |
CN104611668A (zh) | 用于掩膜板的框架和掩膜板 | |
JP6347105B2 (ja) | 蒸着マスクの製造方法、金属フレーム付き蒸着マスクの製造方法、及び有機半導体素子の製造方法 | |
US20180080117A1 (en) | Vacuum Evaporation Coating Equipment | |
KR102126515B1 (ko) | 마스크 조립체의 제조 장치 및 그 방법 | |
US11746406B2 (en) | Mask, preparation method and operation method thereof | |
US9500962B2 (en) | Mask clamping apparatus and method of manufacturing mask | |
CN106565105B (zh) | 大尺寸光学元件的全口径镀膜夹具 | |
JP2017172028A (ja) | マスクフレーム及び真空処理装置 | |
WO2017163440A1 (ja) | 蒸着装置、蒸着方法及び有機el表示装置の製造方法 | |
TW201608044A (zh) | 以旋轉靶材組件在兩個塗佈區域中塗佈基板之濺射沈積裝置及方法和其用途 | |
TW201317372A (zh) | 鍍膜修正板及鍍膜裝置 | |
CN207313688U (zh) | 一种渐变灰滤镜镀制装置 | |
US20220090257A1 (en) | Clamping device | |
CN102086505A (zh) | 镀膜修正板 | |
US20150299840A1 (en) | Mask frame | |
JP2012052155A (ja) | 真空成膜用マスクユニット及びこれを備えた真空成膜装置 | |
CN109457221B (zh) | 可调节的镀膜修正板机构 | |
KR101686318B1 (ko) | 스퍼터링을 이용한 전자파 차단 차폐막 형성 방법 및 그 장치 | |
CN209722282U (zh) | 一种镀膜补正装置和用于对曲面基板镀膜的镀膜机 | |
CN114535011A (zh) | 一种锂电池涂布削薄装置及*** | |
CN110331364B (zh) | 蒸镀金属掩膜板 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
C41 | Transfer of patent application or patent right or utility model | ||
CB03 | Change of inventor or designer information |
Inventor after: Wang Tao Inventor after: Yi Lixia Inventor after: Liu Wenming Inventor after: Wang Weiqin Inventor before: Pei Shaokai |
|
COR | Change of bibliographic data | ||
TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20170302 Address after: Zhenjiang city of Zhenjiang province Jiangsu fifteen new Dingmao Road No. 99 building D40 Patentee after: Optical instrument (Zhenjiang) Co., Ltd. Address before: 518109 Guangdong city of Shenzhen province Baoan District Longhua Town Industrial Zone tabulaeformis tenth East Ring Road No. 2 two Patentee before: Hongfujin Precise Industry (Shenzhen) Co., Ltd. Patentee before: Hon Hai Precision Industry Co., Ltd. |
|
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20160511 Termination date: 20171031 |
|
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |