TWI673155B - 吐出裝置、吐出方法、樹脂成形裝置和樹脂成形品的製造方法 - Google Patents

吐出裝置、吐出方法、樹脂成形裝置和樹脂成形品的製造方法 Download PDF

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Abstract

本發明縮短液狀樹脂等流動性樹脂的吐出步驟所需要的時間。作為吐出裝置的點膠機（15）具備：針筒（20），其為蓄積作為流動性樹脂的液狀樹脂（32）的蓄積部；至少包含活塞（27）的機構，其為擠出液狀樹脂（32）的擠出機構；吐出部（17），與針筒（20）連接，且吐出液狀樹脂（32）；管（36），安裝在吐出部（17）上，且可彈性變形；夾持器（18），可夾持管（36）而移動；以及控制部（31），控制夾持器（18）的移動量。

Description

吐出裝置、吐出方法、樹脂成形裝置和樹脂成形品的製造方法
本發明涉及一種將液狀樹脂等流動性樹脂吐出到吐出對象物上的吐出裝置、吐出方法、樹脂成形裝置和樹脂成形品的製造方法。
一直以來，使用顆粒狀樹脂、片狀樹脂等固體狀樹脂或液狀樹脂對安裝在基板上的半導體晶片進行樹脂密封。例如在專利文獻1中，作為使用液狀樹脂進行樹脂密封的技術，記載了使用作為液狀樹脂的吐出裝置的點膠機（dispenser），從安裝在點膠機前端的噴嘴中對基板吐出液狀樹脂。而且，像專利文獻1的圖3～圖6所示那樣，提出了使用重量測定裝置來測量液狀樹脂吐出前後的基板的重量。可通過測量吐出前後的基板重量而算出所吐出的樹脂重量。若吐出樹脂重量在容許值範圍內，則進入下一步驟。在吐出樹脂重量偏離容許值範圍的情況下，算出修正樹脂吐出量（＝目標吐出樹脂重量－吐出樹脂重量）並進行追加吐出。 [現有技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開2003-165133號公報
[發明所要解決的問題] 但是，專利文獻1所公開的吐出裝置存在如下問題。在使用液狀樹脂的情況下，可能會在停止吐出液狀樹脂的時刻，從噴嘴的吐出口產生液狀樹脂的垂液現象。特別是在使用高黏度的液狀樹脂的情況下，顯著產生垂液現象。垂液狀態的液狀樹脂作為殘留樹脂而從吐出口向下方垂落。在產生了垂液現象的情況下，要等殘留樹脂自然落下直到垂液狀態消除為止。因此，視樹脂的性狀或硬化進展狀態不同而有時垂液消除時間變長，因此直到液狀樹脂的吐出步驟完成為止需要非常長的時間。為了測量液狀樹脂吐出後的基板重量，必須等到液狀樹脂的吐出步驟完成為止。因此，判斷是否吐出了目標吐出樹脂重量需要非常長的時間，吐出裝置的生產性明顯降低。
本發明的目的在於解決所述問題，提供一種可縮短液狀樹脂等流動性樹脂的吐出步驟所需要的時間的吐出裝置、吐出方法、樹脂成形裝置和樹脂成形品的製造方法。 [解決問題的技術手段]
為了解決所述問題，本發明的吐出裝置包括：蓄積流動性樹脂的蓄積部、擠出流動性樹脂的擠出機構、與蓄積部連接且吐出流動性樹脂的吐出部、安裝在吐出部上的可彈性變形的管、可夾持管而移動的夾持器、以及控制夾持器的移動量的控制部。
為了解決所述問題，本發明的吐出方法包括：擠出步驟，將蓄積部中蓄積的流動性樹脂擠出，由此從與蓄積部連接的吐出部上安裝的可彈性變形的管中吐出流動性樹脂；以及捋出步驟，利用夾持器夾持管並使夾持器向下方移動，由此將管內殘留的殘留樹脂捋出。 為了解決所述問題，本發明的樹脂成形裝置具備所述吐出裝置。 為了解決所述問題，本發明的樹脂成形品的製造方法包括以下步驟：在將通過所述吐出方法而吐出的所述流動性樹脂供給於成形模的狀態下，進行樹脂成形。 [發明的效果]
根據本發明，可縮短液狀樹脂等流動性樹脂的吐出步驟所需要的時間。
以下，參照圖式對本發明的實施形態進行說明。本申請文件中的任一圖均是以容易理解為目的而適當省略或誇張地示意性描述。對相同的構成要素標注相同的符號而適當省略說明。此外，本申請文件中，“液狀”這一術語是指在常溫下為液狀且具有流動性，而無關流動性的高低，換言之無關黏度的程度。另外，本申請文件中所謂“樹脂成形品”，是指至少包含經樹脂成形的樹脂部分的產品，且為包括後述那樣的密封後基板的概念的表述，所述密封後基板為利用成形模對安裝在基板上的晶片進行樹脂成形實施樹脂密封而成的形態。
[實施形態1] （樹脂成形裝置的構成） 參照圖1對本發明的實施形態1的樹脂成形裝置的構成進行說明。圖1所示的樹脂成形裝置1為使用壓縮成形法的樹脂成形裝置。實施形態1中例如示出以下情況：將安裝有半導體晶片的基板作為進行樹脂成形的對象，且使用流動性樹脂即液狀樹脂來作為樹脂材料。此外，關於“基板”，可舉出玻璃環氧基板、陶瓷基板、樹脂基板、金屬基板等一般的基板及導線架（lead frame）等。
樹脂成形裝置1分別具備基板供給/收容模組2、三個成形模組3A、成形模組3B、成形模組3C以及樹脂供給模組4作為構成要素。作為構成要素的基板供給/收容模組2、成形模組3A、成形模組3B、成形模組3C以及樹脂供給模組4可分別相對於其他構成要素而彼此裝卸，且可更換。
基板供給/收容模組2中，設有供給密封前基板5的密封前基板供給部6、收容密封後基板7的密封後基板收容部8、交接密封前基板5及密封後基板7的基板載置部9、以及搬送密封前基板5及密封後基板7的基板搬送機構10。既定位置S1為在基板搬送機構10不動作的狀態下待機的位置。
各成形模組3A、成形模組3B、成形模組3C中設有可升降的下模11和與下模11相向而配置的上模（未圖示，參照圖5的（a）～圖5的（c））。上模和下模11一起構成成形模。各成形模組3A、成形模組3B、成形模組3C具有將上模和下模11鎖模及開模的鎖模機構12（以圖的二點劃線所示的圓形部分）。在下模11中設有模腔13，所述模腔13為被供給作為樹脂材料的液狀樹脂並進行硬化的空間。下模11中設有供給長條狀的脫模膜的脫模膜供給機構14。此外，這裡對在下模11中設有模腔13的構成進行了說明，但模腔也可設置在上模中，也可設置在上模和下模兩者中。
在樹脂供給模組4中，設有作為向成形模（模腔13）吐出液狀樹脂的吐出裝置的點膠機15和搬送點膠機15的樹脂搬送機構16。點膠機15在前端部具備吐出液狀樹脂的吐出部17。在吐出部17上設有夾持器18，所述夾持器18可夾持吐出部17上安裝的可彈性變形的管（參照圖2的（a）、圖2的（b）～圖3的（a）、圖3的（b））而移動。關於點膠機15、吐出部17及夾持器18的構成，將在後述參照圖2的（a）、圖2的（b）～圖3的（a）、圖3的（b）的部分中進行詳細說明。既定位置R1為在樹脂搬送機構16（包含點膠機15）不動作的狀態下待機的位置。
圖1所示的點膠機15為使用將主劑和硬化劑預先混合而成的液狀樹脂的一液型點膠機。關於主劑，例如使用具有熱硬化性的矽酮樹脂或環氧樹脂。也可使用在吐出液狀樹脂時將主劑和硬化劑混合而使用的二液混合型點膠機。
在樹脂供給模組4中，設有控制樹脂成形裝置1的動作的控制部CTL。控制部CTL控制密封前基板5及密封後基板7的搬送、點膠機15的搬送、液狀樹脂的吐出、成形模的加熱、成形模的開閉等。換言之，控制部CTL進行基板供給/收容模組2、成形模組3A、成形模組3B、成形模組3C、樹脂供給模組4中的各動作的控制。
配置控制部CTL的位置可為任意位置，可配置在基板供給/收容模組2、成形模組3A、成形模組3B、成形模組3C、樹脂供給模組4中的至少一個中，也可配置在各模組的外部。另外，控制部CTL也可根據成為控制對象的動作而以使至少一部分分離的多個控制部的形式構成。
（點膠機的構成） 參照圖2的（a）、圖2的（b）～圖3的（a）、圖3的（b），對圖1所示的樹脂成形裝置1中使用的點膠機15的構成進行說明。如圖2的（a）、圖2的（b）所示，點膠機15具備擠出液狀樹脂的擠出機構19、蓄積液狀樹脂的針筒20、將針筒20與噴嘴連接的連結部21、以及吐出液狀樹脂的噴嘴22。通過將擠出機構19、針筒20、連結部21以及噴嘴22連接而一體地構成點膠機15。針筒20或噴嘴22可根據各自的用途而更換成其他針筒或噴嘴。
擠出機構19具備伺服馬達23、通過伺服馬達23而旋轉的滾珠螺杆24、安裝在滾珠螺杆螺母（未圖示）上且將旋轉運動轉換為直線運動的滑塊25、固定在滑塊25的前端且在內部具有***孔的杆26、以及安裝在杆26的前端的活塞27。滾珠螺杆24由滾珠螺杆軸承28支持。滑塊25例如沿著設於擠出機構19的基台上的導軌29在Y方向上移動。通過伺服馬達23旋轉，分別經由滾珠螺杆24、滑塊25、杆26而活塞27在Y方向上移動。
伺服馬達23為可控制馬達的旋轉的馬達。伺服馬達23具有編碼器30，所述編碼器30為監視馬達的旋轉的旋轉檢測器。編碼器30檢測伺服馬達23的旋轉角、旋轉速度並反饋給控制部31。控制部31根據來自編碼器30的反饋信號而控制伺服馬達23的旋轉。通過控制伺服馬達23的旋轉，可高精度地進行活塞27的位置控制、速度控制、轉矩控制等。此外，控制部31可併入到圖1所示的樹脂成形裝置1的控制部CTL中，也可與控制部CTL無關而獨立地設置。
蓄積有液狀樹脂32的針筒20通過針筒安裝用的螺杆33而與擠出機構19連接。以活塞27的外徑與針筒20的內徑一致的方式，將活塞27***到針筒20內。在活塞27的周圍安裝有作為密封材料的O環（未圖示）。通過控制伺服馬達23的旋轉而控制活塞27的移動量（衝程量）。根據針筒20的內截面積與活塞27的移動量之積，來設定從點膠機15（吐出部17）中吐出的液狀樹脂32的吐出量。通過更換針筒20，可任意地設定點膠機15中蓄積的液狀樹脂32的樹脂量。
像圖2的（b）、圖3的（a）、圖3的（b）所示那樣，吐出部17具備具有吐出口34的噴嘴22、安裝在吐出口34上的接頭35、以及套在接頭35上的可彈性變形的管36。關於接頭35的材質，例如使用具有耐熱性的聚乙烯、聚丙烯、聚偏二氟乙烯（PolyVinylidene DiFluoride，PVDF）等。關於管36，例如使用具有柔軟性及耐熱性的矽酮橡膠、氟橡膠等。
像圖2的（a）、圖3的（a）、圖3的（b）所示那樣，在點膠機15中，在管36的兩側設有可夾持管36而移動的夾持器18。夾持器18是由一對滾筒支持構件37、滾筒支持構件38所構成。滾筒支持構件37例如是由沿著Y方向的一根棒狀構件37a、與棒狀構件37a的兩端連接且沿著X方向的兩根棒狀構件37b、以及與各棒狀構件37b連接且沿著Z方向的兩根棒狀構件37c所構成。同樣地，滾筒支持構件38是由沿著Y方向的一根棒狀構件38a、與棒狀構件38a的兩端連接且沿著X方向的兩根棒狀構件38b、以及與各棒狀構件38b連接且沿著Z方向的兩根棒狀構件38c所構成。
構成夾持器18的滾筒支持構件37、滾筒支持構件38上，分別以可旋轉的方式安裝有滾筒39、滾筒40。即，滾筒39、滾筒40是分別由滾筒支持構件37、滾筒支持構件38以可旋轉的方式支持。滾筒39套在構成夾持器18的棒狀構件37a上，通過棒狀構件37b在X方向上移動，且通過棒狀構件37c在Z方向上移動。同樣地，滾筒40套在構成夾持器18的棒狀構件38a上，通過棒狀構件38b在X方向上移動，且通過棒狀構件38c在Z方向上移動。
像圖3的（a）、圖3的（b）所示那樣，構成夾持器18的兩根棒狀構件37c與連接構件41連接。連接構件41與使滾筒支持構件37在X方向上移動的移動機構42連接，並且與使滾筒支持構件37在Z方向上移動的移動機構43連接。同樣地，構成夾持器18的兩根棒狀構件38c與連接構件44連接。連接構件44與使滾筒支持構件38在X方向上移動的移動機構45連接，並且與使滾筒支持構件38在Z方向上移動的移動機構46連接。
移動機構42、移動機構43、移動機構45、移動機構46是由驅動源與傳輸構件的組合所構成。例如關於移動機構，使用伺服馬達與滾珠螺杆的組合、液壓缸與杆的組合等。此外，移動機構不限於所述構成，只要為可使滾筒支持構件37、滾筒支持構件38分別在X方向及Z方向上移動的構成即可。
像圖2的（a）、圖3的（a）、圖3的（b）所示那樣，針筒20內蓄積的液狀樹脂32通過活塞27而被擠出，分別經由形成在連結部21中的樹脂通路47、形成在噴嘴22中的吐出口34、套在接頭35上的管36而從吐出部17中向下方吐出。
（液狀樹脂的吐出方法和樹脂成形品的製造方法） 以下，對液狀樹脂的吐出方法和樹脂成形品的製造方法進行說明，兼作包含作為吐出裝置的點膠機15的樹脂成形裝置1的動作的說明。在對使用點膠機15的吐出方法進行記載之後，記載使用整個樹脂成形裝置1的樹脂成形品的製造方法。
（液狀樹脂的吐出方法（擠出步驟及捋出步驟） 參照圖2的（a）、圖2的（b）～圖4的（a）、圖4的（b）、圖4的（c）、圖4的（d）、，對在點膠機15中擠出液狀樹脂32的步驟及利用夾持器18將管36內殘留的殘留樹脂捋出的步驟、即包括液狀樹脂的擠出步驟及捋出步驟的吐出方法（吐出步驟）進行說明。
像圖2的（a）所示那樣，在擠出步驟中，通過使伺服馬達23旋轉，而經由滾珠螺杆24、滑塊25、杆26使活塞27向-Y方向移動。通過使活塞27向-Y方向移動而將針筒20內蓄積的液狀樹脂32擠壓，將液狀樹脂32向-Y方向擠出。
像圖3的（a）、圖3的（b）、圖4的（a）所示那樣，由活塞27擠出的液狀樹脂32分別經由連結部21、噴嘴22、管36而從吐出部17（管36的前端）中向下方吐出。
通過開始點膠機15的吐出（開始活塞27的擠出動作），而將液狀樹脂從吐出部17（管36的前端）中向吐出對象物吐出。通過活塞27擠壓液狀樹脂32，而對針筒20內的液狀樹脂32施加壓力，液狀樹脂32的樹脂壓力變高。即便停止點膠機15的吐出（停止活塞27的擠出動作），針筒20內的液狀樹脂32也保持樹脂壓力已變高的狀態。在針筒20內的液狀樹脂32的樹脂壓力達到大氣壓之前，因液狀樹脂32的樹脂壓力而繼續從吐出部17中向吐出對象物吐出液狀樹脂。作為所謂的垂液現象而液狀樹脂從吐出部17中向吐出對象物垂落（繼續吐出）。
為了容易地理解液狀樹脂的吐出步驟中的捋出步驟，像圖4的（a）所示那樣，在剛停止活塞27的擠出動作後的狀態下，為方便起見而將針筒20內蓄積的液狀樹脂稱為液狀樹脂32，將管36內殘留的液狀樹脂稱為殘留樹脂48，將從管36的前端垂落的液狀樹脂稱為垂液樹脂49。
參照圖4的（a）～圖4的（d）對捋出步驟進行說明，所述捋出步驟通過使用設置在點膠機15的吐出部17的夾持器18，而將管36內殘留的殘留樹脂48及從管36的前端垂落的垂液樹脂49捋出，儘早完成吐出。
首先，像圖4的（a）所示那樣，在停止點膠機15的吐出（停止活塞27的擠出動作）而產生垂液現象的狀態下，例如在停止活塞27的擠出動作5秒鐘後，使夾持器18下降到管36的外側的既定位置。具體來說，使用移動機構43、移動機構46（參照圖3的（b））使滾筒支持構件37、滾筒支持構件38下降，由此使滾筒39、滾筒40停止在管36的外側的既定位置。
其次，像圖4的（b）所示那樣，利用夾持器18將管36從兩側夾住。具體來說，使用移動機構42（參照圖3的（b））使滾筒支持構件37向-X方向移動，且使用移動機構45（參照圖3的（b））使滾筒支持構件38向+X方向移動。藉此，利用滾筒39和滾筒40將管36從兩側夾住，阻塞管36內的液狀樹脂（殘留樹脂48）的通路。
然後，像圖4的（c）所示那樣，在利用夾持器18（滾筒39、滾筒40）將管36從兩側夾持的狀態下，使夾持器18下降既定的衝程量。具體來說，使用移動機構43、移動機構46（參照圖3的（b））使滾筒支持構件37、滾筒支持構件38下降。在利用滾筒39、滾筒40夾持管36的狀態下，使滾筒39、滾筒40一面旋轉一面下降。藉此，利用夾持器18將殘留於由滾筒39、滾筒40夾持管36的位置的下方的殘留樹脂48及從管36的前端垂落的垂液樹脂49強制捋出。
通過利用夾持器18的液狀樹脂的捋出步驟，例如在使用低黏度的液狀樹脂的情況下，可通過使夾持器18下降而將管36內殘留的殘留樹脂48及從管36的前端垂落的垂液樹脂49幾乎全部捋出。另外，在使用高黏度的液狀樹脂的情況下，有時像圖4的（c）所示那樣，拉絲狀的殘留樹脂50稍許殘留。然而，所述拉絲狀的殘留樹脂50在短時間內落下，因此時間損耗不會那麼大。通過進行利用夾持器18的液狀樹脂的捋出步驟，可儘早吐出液狀樹脂。可像以上那樣而完成吐出步驟。
此外，也可在拉絲狀的殘留樹脂50接觸吐出對象物的狀態消除之後，在拉絲狀的殘留樹脂50的下方配置皿狀的樹脂承接構件，在由樹脂承接構件承接拉絲狀的殘留樹脂50的狀態下，像後述那樣使點膠機15相對於吐出對象物相對地移動而避開。
然後，像圖4的（d）所示，使夾持器18遠離管36而回到原本的位置。藉此，管36從經彈性變形的狀態解放，回到初始狀態。隨著時間經過，管36內回到由液狀樹脂32填滿的初始狀態。此外，有時在管36下端部附近出現因液狀樹脂32的表面張力而不存在液狀樹脂32的空間。
（樹脂成形品的製造方法） 參照圖1、圖5的（a）～圖5的（c），對在樹脂成形裝置1中對安裝在基板上的半導體晶片進行樹脂密封的情況的樹脂成形品的製造方法進行說明。關於樹脂成形裝置1的動作，對使用成形模組3B的情況進行說明。
首先，像圖1所示那樣，對於安裝有多個半導體晶片51（參照圖5的（a））的密封前基板5，以安裝有半導體晶片51的一面為下側，將密封前基板5從密封前基板供給部6送出到基板載置部9。然後，使基板搬送機構10從既定位置S1向-Y方向移動而從基板載置部9接受密封前基板5。使基板搬送機構10回到既定位置S1。
然後，例如使基板搬送機構10向+X方向移動到成形模組3B的既定位置M1。繼而，在成形模組3B中，使基板搬送機構10向-Y方向移動，在下模11的上方的既定位置C1停止。然後，使基板搬送機構10上升並通過吸附或夾緊等將密封前基板5固定在上模52的模面（參照圖5的（a））。上模52與下模11一起構成成形模53。使基板搬送機構10回到基板供給/收容模組2的既定位置S1。
接著，在成形模組3B中，從脫模膜供給機構14將長條狀的脫模膜54（參照圖5的（a））供給於下模11。然後，通過設於下模11的吸附機構（未圖示）沿著模腔13的模面吸附脫模膜54。
然後，使用樹脂搬送機構16使點膠機15向-X方向移動到成形模組3B的既定位置M1。繼而，在成形模組3B中，使樹脂搬送機構16向-Y方向移動，使點膠機15停止在下模11的上方的既定位置C1（參照圖5的（a））。
像圖5的（a）所示那樣，通過樹脂搬送機構16將點膠機15配置在上模52和下模11之間的既定位置。從設於點膠機15前端的吐出部17中將液狀樹脂32吐出到模腔13中。所述情況下，下模11的模腔13成為吐出液狀樹脂32的吐出對象物。利用夾持器18將安裝在吐出部17中的管36內的殘留樹脂48及從管36的前端垂落的垂液樹脂49捋出（參照圖4的（a）～圖4的（d））。可通過所述吐出步驟將液狀樹脂儘早吐出到模腔13中。使用樹脂搬送機構16使點膠機15回到既定位置M1。
然後，像圖5的（b）所示那樣，將液狀樹脂32加熱而使其熔融，生成黏度降低的流動性樹脂55。使用鎖模機構12（參照圖1）使下模11上升，將上模52和下模11鎖模。通過進行鎖模，而使安裝在密封前基板5上的半導體晶片51浸漬在模腔13中生成的流動性樹脂55中。此時，可使用設於下模11的模腔底面構件（未圖示），對模腔13內的流動性樹脂55施加既定的樹脂壓力。
此外，在進行鎖模的過程中，也可使用真空抽吸機構（未圖示）對模腔13內進行抽氣。藉此，將模腔13內殘留的空氣或流動性樹脂55中所含的氣泡等排出到成形模53的外部。此外，將模腔13內設定為既定的真空度。
然後，使用設於下模11的加熱器（未圖示），以使流動性樹脂55硬化所需要的時間將流動性樹脂55加熱。使流動性樹脂55硬化而成形硬化樹脂56。藉此，利用對應於模腔13的形狀而成形的硬化樹脂56對安裝在密封前基板5上的半導體晶片51進行樹脂密封。可像這樣而進行樹脂成形步驟。
然後，像圖5的（c）所示那樣，使流動性樹脂55硬化後，使用鎖模機構12將上模52和下模11開模。經樹脂密封的樹脂成形品57（密封後基板7）被固定於上模52的模面。
接著，使基板搬送機構10從基板供給/收容模組2的既定位置S1移動到下模11的上方的既定位置C1，接受密封後基板7。然後，使基板搬送機構10移動，將密封後基板7交接給基板載置部9。從基板載置部9將密封後基板7收容到密封後基板收容部8中。在所述階段中，樹脂密封完成。
此外，樹脂成形品57（密封後基板7）有時將安裝有半導體晶片51的區域逐一切斷，由此經切斷而成的區域分別成為產品。另外，有時也將安裝有半導體晶片51的一部分區域切斷，由此所述一部分區域成為產品。進而，也有時樹脂成形品57本身成為一個產品。
（作用效果） 作為本實施形態的吐出裝置的點膠機15是設定為具備以下部分的構成：針筒20，其為蓄積流動性樹脂即液狀樹脂32的蓄積部；至少包含活塞27的機構，其為擠出液狀樹脂32的擠出機構；吐出部17，與針筒20連接且吐出液狀樹脂32；管36，安裝在吐出部17上且可彈性變形；夾持器18，可夾持管36而移動；以及控制部31，控制夾持器18的移動量。
通過設定為這種構成，可通過利用夾持器18夾持安裝在點膠機15的吐出部17上的管36並使夾持器18下降，而利用夾持器18將管36內殘留的殘留樹脂48強制捋出。藉此，可從點膠機15的吐出部17中將液狀樹脂儘早吐出。即，可縮短液狀樹脂等流動性樹脂的吐出步驟所需要的時間。因此，可提高進行流動性樹脂的吐出步驟而製造的樹脂成形品的生產性。
本實施形態的吐出方法包括：擠出步驟，將蓄積部即針筒20中蓄積的流動性樹脂即液狀樹脂32擠出，由此從與針筒20連接的吐出部17上安裝的可彈性變形的管36中吐出液狀樹脂32；以及捋出步驟，利用夾持器18夾持管36並使夾持器18向下方移動，由此將管36內殘留的殘留樹脂48捋出。
根據所述方法，可通過利用夾持器18夾持安裝在點膠機15的吐出部17上的管36並使夾持器18下降，而利用夾持器18將管36內殘留的殘留樹脂48強制捋出。藉此，可從點膠機15的吐出部17中將液狀樹脂儘早吐出。即，可縮短液狀樹脂等流動性樹脂的吐出步驟所需要的時間。因此，可提高進行流動性樹脂的吐出而製造的樹脂成形品的生產性。
根據本實施形態，在點膠機15的吐出部17上安裝可彈性變形的管36。在管36的兩側設置可夾持管36而移動的夾持器18。即便從點膠機15的吐出部17中產生垂液現象，也可通過利用夾持器18夾持管36並使夾持器18下降，而利用夾持器18將管36內殘留的殘留樹脂48及從管36的前端垂落的垂液樹脂49強制捋出。
根據本實施形態，無需等待點膠機15的吐出部17中殘留並垂落的液狀樹脂自然落下，而是使用夾持器18強制捋出。藉此，可縮短吐出液狀樹脂的時間。因此，可提高點膠機15的生產效率。並且，可提高樹脂成形裝置1的生產性。
根據本實施形態，可利用夾持器18將管36內殘留的殘留樹脂48及從管36的前端垂落的垂液樹脂49強制捋出，縮短吐出步驟所需要的時間。藉此，可抑制因放置垂液樹脂49而垂液樹脂49飛散到作為吐出對象物的模腔13的周圍的要素零件等。因此，可抑制樹脂成形裝置1因飛散的樹脂而被污染。另外，可抑制飛散的樹脂硬化而產生樹脂成形裝置1的動作不良。
根據本實施形態，可使用夾持器18在不長時間放置垂液樹脂49的情況下將液狀樹脂儘早吐出到模腔13中。因此，可抑制供給到模腔13內的液狀樹脂的分佈不均及厚度不均。藉此，可減少經樹脂密封的樹脂成形品57的樹脂厚度的不均。另外，亦可減少流痕（flow mark）等輪廓不良的產生。
本實施形態中，示出了在點膠機15停止吐出動作（活塞27停止擠出動作）之後，夾持器18夾持管36並將管36內的殘留樹脂48捋出的情況。不限於此，也可在活塞27停止擠出動作的同時進行夾持器18夾持管36的動作，也可在活塞27停止擠出動作稍前的階段中進行夾持器18夾持管36的動作。
此外，本實施形態中，關於樹脂成形裝置1，對具備基板供給/收容模組2、三個成形模組3A、成形模組3B、成形模組3C以及樹脂供給模組4的構成進行了說明。但樹脂成形裝置不限定於所述構成，只要為至少具備成形模、吐出液狀樹脂的吐出裝置以及將成形模鎖模的鎖模機構，且具有進行樹脂成形的功能的裝置即可。
[實施形態2] （點膠機的變形例1） 參照圖6的（a）～圖6的（b），對實施形態2中使用的點膠機進行說明。與實施形態1的不同之處在於在點膠機中變更夾持器的構成。除此以外的構成與實施形態1相同，因此對相同的構成要素標注相同的符號而省略說明。
像圖6的（a）～圖6的（b）所示那樣，在點膠機58中，在管36的兩側設有可夾持管36而移動的夾持器59。夾持器59是由一對滾筒支持構件60、滾筒支持構件61所構成。滾筒支持構件60是由沿著Y方向的一根棒狀構件60a、與棒狀構件60a的一端連接且沿著X方向的一根棒狀構件60b、以及與棒狀構件60b連接且沿著Z方向的一根棒狀構件60c所構成。同樣地，滾筒支持構件61是由沿著Y方向的一根棒狀構件61a、與棒狀構件61a的一端連接且沿著X方向的一根棒狀構件61b、以及與棒狀構件61b連接且沿著Z方向的一根棒狀構件61c所構成。
與實施形態1同樣地，在構成夾持器59的滾筒支持構件60、滾筒支持構件61上，分別以可旋轉的方式安裝有滾筒39、滾筒40。即，滾筒39、滾筒40分別由滾筒支持構件60、滾筒支持構件61以可旋轉的方式支持。滾筒39套在構成夾持器59的棒狀構件60a上，通過棒狀構件60b在X方向上移動，且通過棒狀構件60c在Z方向上移動。同樣地，滾筒40套在構成夾持器59的棒狀構件61a上，通過棒狀構件61b在X方向上移動，且通過棒狀構件61c在Z方向上移動。
構成夾持器59的一根棒狀構件60c與連接構件62連接。連接構件62與使滾筒支持構件60在X方向上移動的移動機構42連接，且與使滾筒支持構件60在Z方向上移動的移動機構43連接。同樣地，構成夾持器59的一根棒狀構件61c與連接構件63連接。連接構件63與使滾筒支持構件61在X方向上移動的移動機構45連接，且與使滾筒支持構件61在Z方向上移動的移動機構46連接。
利用夾持器59將管36從兩側夾住，並使滾筒39、滾筒40一面旋轉一面下降的動作與實施形態1相同。因此，與實施形態1同樣地，可利用夾持器59將管36內殘留的殘留樹脂48強制捋出。藉此，可從點膠機58的吐出部17中將液狀樹脂儘早吐出。
根據本實施形態，在點膠機58中，構成夾持器59的滾筒支持構件60及滾筒支持構件61是分別由一根棒狀構件60a、棒狀構件60b、棒狀構件60c及棒狀構件61a、棒狀構件61b、棒狀構件61c構成。因此，可進一步簡化夾持器59的構成，可降低點膠機58的成本。
本實施形態中，在點膠機58中，設定為將構成夾持器59的滾筒支持構件60及滾筒支持構件61（具體來說是滾筒39及滾筒40）平行配置，並從兩側夾持管36的構成。不限於此，例如也可利用像剪刀那樣以支點為中心且向兩側打開的滾筒支持構件（滾筒）來夾持管36。通過設定為這種構成，可使夾持器的動作簡單，進一步簡化夾持器的移動機構。
[實施形態3] （點膠機的變形例2） 參照圖7的（a）～圖7的（c）對實施形態3中使用的點膠機進行說明。與實施形態1的不同之處在於：在點膠機中，關於夾持器，在一側設置滾筒支持構件及滾筒，在另一側設置固定於吐出部的固定板。除此以外的構成與實施形態1相同，因此對相同的構成要素標注相同的符號而省略說明。
像圖7的（a）～圖7的（c）所示那樣，在點膠機64中，吐出部65具備：具有吐出口34的噴嘴22、安裝在吐出口34上的接頭35、套在接頭35上的可彈性變形的管36、以及固定在噴嘴22上的固定板66。固定板66與管36是以接觸的方式配置於吐出部65。
在固定板66的相反側設有可夾持管36而移動的夾持器67。夾持器67是使用與實施形態1所示的滾筒支持構件37相同的滾筒支持構件而構成。滾筒支持構件37是由沿著Y方向的一根棒狀構件37a、與棒狀構件37a的兩端連接且沿著X方向的兩條棒狀構件37b、以及與各棒狀構件37b連接且沿著Z方向的兩條棒狀構件37c所構成。此外，也可認為固定板66作為夾持器而工作。
在構成夾持器67的滾筒支持構件37上以可旋轉的方式安裝有滾筒39。即，滾筒39是由滾筒支持構件37以可旋轉的方式支持。滾筒39套在構成夾持器67的棒狀構件37a上，通過棒狀構件37b在X方向上移動，且通過棒狀構件37c在Z方向上移動。連接構件41、移動機構42、移動機構43的構成及動作與實施形態1相同，因此省略說明。
參照圖7的（c），對利用夾持器67將管36內殘留的殘留樹脂捋出的步驟進行說明。首先，使用移動機構43使夾持器67下降到管36的外側的既定位置。然後，使用移動機構42使夾持器67向-X方向移動，利用夾持器67（滾筒39）和固定板66夾住管36。接著，在利用夾持器67和固定板66夾持管36的狀態下使夾持器67下降。藉此，利用滾筒39從夾持管36的位置開始向下方將殘留的殘留樹脂及從管36的前端垂落的垂液樹脂強制捋出。
根據本實施形態，在點膠機64中，將固定板66固定於吐出部65，在固定板66的相反側設置可夾持管36而移動的夾持器67。通過利用固定板66和夾持器67夾住管36，並使滾筒39一面旋轉一面下降，可利用夾持器67將管36內殘留的殘留樹脂強制捋出。藉此，可從點膠機64的吐出部65中將液狀樹脂儘早吐出。
根據本實施形態，在點膠機64中，在吐出部65設置固定板66和可夾持管36而移動的夾持器67。由於僅在一側設置夾持器67，因此與實施形態1相比可將移動機構的個數減半。因此，可將包含夾持器的夾緊機構的構成進一步簡化，可進一步降低點膠機64的成本。
[實施形態4] 關於實施形態4，在所述實施形態中，對利用控制部對應於蓄積部內的流動性樹脂的餘量而控制使夾持器移動的移動量的構成進行說明。另外，對在捋出步驟中對應於蓄積部內的流動性樹脂的餘量而控制夾持器的移動量的方法進行說明。
另外，所述實施形態中，對向多個吐出對象物進行吐出的情況、換言之將一系列擠出步驟及捋出步驟重複多次的情況進行說明。這裡，成為利用控制部對應於蓄積部內的流動性樹脂的餘量而控制使夾持器移動的移動量的構成。另外，成為以下方法：蓄積部內的流動性樹脂的蓄積量為對應於多個吐出對象物的量，由控制部所致的夾持器的移動量是針對多個吐出對象物中的至少兩個而不同。
（比較例） 在本實施形態的說明之前，作為比較例，對現有的點膠機中的吐出樹脂量的不均進行說明。
在現有的點膠機中，若調查從吐出開始經過一定時間後的吐出樹脂量，則吐出到吐出對象物上的吐出樹脂量根據針筒內的液狀樹脂的樹脂量而不同。
參照圖8的（A）～圖8的（C）對所述現象進行說明。像圖8的（A）～圖8的（C）所示那樣，現有的點膠機中並未設置管36及夾持器18。圖8的（A）為針筒20內殘留的液狀樹脂32的樹脂量的值與其他情況相比而較大的狀態，圖8的（B）為針筒20內殘留的液狀樹脂32的樹脂量的值與其他情況相比為中等程度的狀態，圖8的（C）為針筒20內殘留的液狀樹脂32的樹脂量的值與其他情況相比而較小的狀態。
圖8的（A）～圖8的（C）中，均以相同的移動量將活塞27擠出，將針筒20內的液狀樹脂32從吐出部17的吐出口中吐出，若經過充分的時間，則吐出與活塞27的移動量相對應的樹脂量。
然而，在活塞27的擠出動作停止後，調查經過相對較短的時間後的吐出樹脂量，結果例如若為圖8的（A）～圖8的（C）的情況，則（A）最少，（C）最多，（B）為（A）與（C）之間。
關於所述現象，像以下那樣進行考察。例如在圖8的（A）～圖8的（C）的任一狀態下，若以相同的移動量將活塞27擠出，則針筒20內的液狀樹脂32被壓縮，在針筒20內產生應力。所述應力因從吐出部17的吐出口中吐出液狀樹脂32而減小。即便停止活塞27的擠出動作，液狀樹脂32也欲從經壓縮的狀態還原，因此繼續從吐出部17中吐出樹脂。
這裡，經壓縮的液狀樹脂32還原為止的時間、即因活塞27的擠出動作而產生的針筒20內的應力消除為止的時間依存於針筒20內殘留的液狀樹脂32的樹脂量。關於所述時間，例如若為圖8的（A）～圖8的（C）的情況，則（A）最長，（C）最短，（B）為（A）與（C）之間。
因此，從活塞27的擠出動作開始到因所述動作而產生的針筒20內的應力消失之前的時刻為止的一定時間內，從吐出部17的吐出口中吐出的液狀樹脂32的樹脂量也依存於針筒20內殘留的液狀樹脂32的樹脂量。關於所述一定時間內的吐出樹脂量，例如若為圖8的（A）～圖8的（C）的情況，則（A）最少，（C）最多，（B）為（A）與（C）之間。
像以上那樣，可知在使用比較例的現有的點膠機的情況下，即便將因活塞27的擠出動作所引起的活塞27的移動量設定為一定，實際的吐出樹脂量也依存於針筒20內的液狀樹脂32的餘量。而且得知，由於產生垂液現象，因此將所設定的吐出量（重量）吐出需要相當長的時間。像這樣，在使用現有的點膠機的情況下，吐出所設定的液狀樹脂的吐出量為止需要非常長的時間成為問題。
（預備實驗） 然後，作為預備實驗，參照圖9的（A）、圖9的（B）、圖9的（C）～圖10的（a）、10（b）、圖10的（c）例如對以下方法進行說明，即，使用圖1所示的點膠機15，即便在針筒20內殘留的液狀樹脂32的樹脂量變化的情況下，也從吐出部17中將所設定的一定的吐出量儘早吐出。
像實施形態1所示那樣，通過利用夾持器18夾持安裝在點膠機15的吐出部17上的管36並使夾持器18下降，可利用夾持器18將管36內殘留的殘留樹脂48及從管36的前端垂落的垂液樹脂49強制捋出。
然而，像參照圖8的（A）～圖8的（C）所說明那樣，可知從點膠機的吐出部17中吐出的液狀樹脂的吐出量依存於針筒20內殘留的液狀樹脂32的樹脂量。本實施形態中對以下方法進行說明，即，對應於針筒20內殘留的液狀樹脂32的樹脂量，而控制利用夾持器18夾住管36的位置、及使夾持器18移動的衝程量，由此從吐出部17中將所設定的一定的吐出量儘早吐出。
像圖9的（A）、圖9的（B）、圖9的（C）～圖10的（a）、10（b）、圖10的（c）所示那樣，例如在點膠機15中，與針筒20內殘留的液狀樹脂32的樹脂量的值與其他情況相比而較大的狀態（A）、針筒20內殘留的液狀樹脂32的樹脂量的值與其他情況相比為中等程度的狀態（B）、針筒20內殘留的液狀樹脂32的樹脂量的值與其他情況相比而較小的狀態（C）分別對應，來調整使夾持器18下降而夾住管36的位置、及使夾持器18移動的衝程量。圖9的（A）～圖9的（C）分別與圖8的（A）～圖8的（C）相對應。
像圖10的（a）所示那樣，在針筒20內殘留的液狀樹脂32的樹脂量的值與其他情況相比而較大的狀態（A）下，使夾持器18下降到P1的位置並夾住管36。在所述狀態下使夾持器18從P1的位置以既定的衝程量L1下降到管36的下端的P4的位置，利用夾持器18將管36內殘留的殘留樹脂48及從管36的前端垂落的垂液樹脂49強制捋出。
同樣地，像圖10的（b）所示那樣，在針筒20內殘留的液狀樹脂32的樹脂量的值與其他情況相比為中等程度的狀態（B）下，使夾持器18下降到P2的位置並夾住管36。在所述狀態下使夾持器18從P2的位置以既定的衝程量L2下降到管36的下端的P4的位置，利用夾持器18將管36內的殘留樹脂48及從管36的前端垂落的垂液樹脂49強制捋出。所述情況下，使夾持器18下降的衝程量L2與衝程量L1的關係成為L2＜L1。
同樣地，像圖10的（c）所示那樣，在針筒20內殘留的液狀樹脂32的樹脂量的值與其他情況相比而較小的狀態（C）下，使夾持器18下降到P3的位置並夾住管36。在所述狀態下使夾持器18從P3的位置以既定的衝程量L3下降到管36的下端的P4的位置，利用夾持器18將管36內的殘留樹脂48及從管36的前端垂落的垂液樹脂49強制捋出。所述情況下，使夾持器18下降的衝程量L3、衝程量L2和衝程量L1的關係成為L3＜L2＜L1。
這裡，較佳為使夾持管36的狀態的夾持器18的下降停止的位置P4相同，並使利用夾持器18夾住管36的位置變化，由此使夾持器18移動的衝程量變化。若像這樣設定，則可減少捋出動作後的狀態不均，可進行穩定的吐出步驟。因此，可從點膠機15的吐出部17中將所設定的一定的吐出量（重量）儘早吐出。藉此，即便針筒20內殘留的液狀樹脂32的樹脂量變化，也可穩定地將一定的吐出量儘早吐出。
（裝置構成） 本實施形態中，可採用所述實施形態1～實施形態3的任一構成，此處與預備實驗的說明相對應，對使用實施形態1的點膠機15的情況進行記載。
關於裝置構成，與實施形態1不同的方面在於控制部31（參照圖2的（a）、圖2的（b））對應於蓄積部即針筒20內的流動性樹脂即液狀樹脂32的餘量，來控制使夾持器18移動的移動量。進而，在以下方面也與實施形態1不同：針筒20內的液狀樹脂32的蓄積量為對應於多個吐出對象物的量，由控制部31所致的夾持器18的移動量是針對多個吐出對象物中的至少兩個而不同。
（液狀樹脂的吐出方法） 關於液狀樹脂的吐出方法，與實施形態1不同的方面首先例如為預先像所述預備實驗那樣，以實驗方式預先設定對應於針筒20內的液狀樹脂32的餘量的使夾持器18移動的移動量。
然後，在對多個吐出對象物進行吐出步驟時，例如與所述預備實驗同樣地，與圖9的（A）、圖9的（B）、圖9的（C）～圖10的（A）、（B）、（C）相對應而吐出到各不相同的吐出對象物上。
由於對多個吐出對象物進行液狀樹脂32的吐出，因此將液狀樹脂32的擠出步驟及捋出步驟重複多次。此時，例如與所述預備實驗同樣地，與圖9的（A）、圖9的（B）、圖9的（C）～圖10的（A）、（B）、（C）相對應，而使多次捋出步驟中的夾持器18的衝程量不同。
這裡，在高精度地控制吐出樹脂量的情況下，只要針對每個吐出對象物、即每次吐出步驟使夾持器18的衝程量不同即可。若吐出樹脂量的控制不需要精度，則無需針對每個吐出對象物、即每次吐出步驟使夾持器18的衝程量不同，只要針對至少兩個吐出對象物、即至少兩次吐出步驟使夾持器18的衝程量不同即可。
此外，關於樹脂成形品的製造方法，基本上與實施形態1相同，只要像這裡所說明那樣來進行與多個吐出對象物相對應的多次吐出步驟即可。此時，進行樹脂成形步驟的次數可設為與吐出對象物的個數或進行吐出步驟的次數相同。
本實施形態中，對應於蓄積部即針筒內的流動性樹脂的餘量而控制使夾持器移動的移動量。進而，蓄積部即針筒內的流動性樹脂的餘量即蓄積量成為對應於多個吐出對象物的量，由控制部所致的夾持器的移動量是針對多個吐出對象物中的至少兩個而不同。
另外，本實施形態中，在捋出步驟中對應於蓄積部即針筒內的流動性樹脂的餘量而控制夾持器的移動量。進而，將擠出步驟及捋出步驟重複多次，且針對多次捋出步驟中的至少兩次使夾持器的移動量不同。
更詳細來說，根據本實施形態，在點膠機15的吐出部17上安裝可彈性變形的管36，在管36的兩側設置可夾持管36而移動的夾持器18。根據針筒20內殘留的液狀樹脂32的樹脂量，來分別控制夾持器18夾住管36的位置P1、位置P2、位置P3及使夾持器18移動的衝程量L1、衝程量L2、衝程量L3。藉此，即便針筒20內殘留的液狀樹脂32的樹脂量變化，也可將一定的液狀樹脂從吐出部17中吐出。因此，可不依存於針筒20內殘留的液狀樹脂32的樹脂量，而將一定的液狀樹脂從吐出部17中儘早穩定地吐出。即，可縮短液狀樹脂等流動性樹脂的吐出步驟所需要的時間，而且可實現流動性樹脂的吐出量的高精度化。因此，可提高進行流動性樹脂的吐出而製造的樹脂成形品的生產性及品質的穩定性。
本實施形態中，將針筒20內殘留的液狀樹脂32的樹脂量分為（A）、（B）、（C）三個階段，並分別分三個階段來控制夾持器18夾住管36的位置P1、位置P2、位置P3及使夾持器18移動的衝程量L1、衝程量L2、衝程量L3。不限於此，也可對應於針筒20內蓄積的液狀樹脂的蓄積量而更精細地劃分針筒20內殘留的液狀樹脂32的樹脂量，由此分別更精細地控制夾持器18夾住管36的位置及使夾持器18移動的衝程量。
此外，安裝在點膠機15的吐出部17上的管36的口徑及長度可任意設定。若管36的口徑大，則可儘早吐出液狀樹脂。通過減小管36的口徑並延長管36的長度而增大使夾持器18移動的衝程量，可更高精度地控制將管36壓扁的體積。因此，可更高精度地控制吐出的液狀樹脂的吐出量。關於管36的口徑及長度，可考慮生產性對應於液狀樹脂的黏度及吐出量等而最優化。
[實施形態5] 參照圖11～圖14的（a）、圖14的（c）、圖14的（c），對實施形態5的樹脂成形裝置的構成和樹脂成形品的製造方法進行說明。與實施形態1的樹脂成形裝置1的不同之處在於：進行樹脂成形的對象為圓形狀的晶圓；以及將液狀樹脂吐出到吐出對象物上，並從吐出對象物向成形模供給液狀樹脂。除此以外的構成及動作與實施形態1相同，因此對相同的構成要素標注相同的符號而省略說明。
（樹脂成形裝置的構成） 參照圖11，對實施形態5的樹脂成形裝置的構成進行說明。像圖11所示那樣，樹脂成形裝置68分別具備晶圓供給/收容模組69、三個成形模組3A、成形模組3B、成形模組3C以及樹脂供給模組4作為構成要素。作為構成要素的晶圓供給/收容模組69、成形模組3A、成形模組3B、成形模組3C以及樹脂供給模組4可分別相對於其他構成要素而彼此裝卸，且可更換。
在晶圓供給/收容模組69中，設有供給密封前晶圓70的密封前晶圓供給部71、收容密封後晶圓72的密封後晶圓收容部73、交接密封前晶圓70及密封後晶圓72的晶圓載置部74、以及搬送密封前晶圓70及密封後晶圓72的晶圓搬送機構75。此外，關於密封前晶圓，例如有在成為支持構件的晶圓上安裝有多個半導體晶片的晶圓、完成了半導體前步驟（擴散步驟及佈線步驟）的晶圓、在完成了半導體前步驟的晶圓上形成有再佈線的晶圓等。
在各成形模組3A、成形模組3B、成形模組3C中設有可升降的下模11和與下模11相向而配置的上模52（參照圖14的（a）～圖14的（c））。上模52和下模11一起構成成形模53。各成形模組3A、成形模組3B、成形模組3C具有將上模52和下模11鎖模及開模的鎖模機構12（以圖的二點劃線所表示的圓形部分）。在下模11中設有圓形狀的模腔76，所述圓形狀的模腔76成為被供給液狀樹脂並進行硬化的空間。
在樹脂供給模組4中設有平台77和對平台77供給脫模膜（參照圖12的（a）～圖12的（d））的脫模膜供給機構78。在供給於平台77的脫模膜上，載置有具有圓形狀的貫穿孔的樹脂收容框79。脫模膜和樹脂收容框79成一體而構成樹脂收容部（參照圖12的（a）～圖12的（d）），所述樹脂收容部收容從點膠機15（參照圖2的（a）、圖2的（b））中吐出的液狀樹脂。在樹脂供給模組4中，設有向樹脂收容部吐出液狀樹脂的點膠機15、使點膠機15移動的移動機構80以及搬送樹脂收容部的樹脂搬送機構81。點膠機15與實施形態1中所示的點膠機相同。與實施形態1同樣地，在點膠機15的吐出部17設有夾持器18。本實施形態中，載置在平台77上的脫模膜或樹脂收容部成為吐出液狀樹脂的吐出對象物。
關於脫模膜供給機構78，使用將長條狀（卷狀）的脫模膜供給於平台77的脫模膜供給機構、或將經切割成短條狀的脫模膜供給於平台77的脫模膜供給機構。
晶圓供給/收容模組69中，設有控制樹脂成形裝置68的動作的控制部CTL。控制部CTL控制密封前晶圓70及密封後晶圓72的搬送、點膠機15的移動及液狀樹脂的吐出、成形模的加熱、成形模的開閉等。
（樹脂成形品的製造方法） 參照圖12的（a）、圖12的（b）、圖12的（c）、圖12的（d）～圖14的（a）、圖14的（b）、圖14的（c）對以下方法進行說明，即，向作為吐出對象物的樹脂收容部（脫模膜）吐出液狀樹脂，並將被吐出到樹脂收容部中的液狀樹脂供給於成形模而製造樹脂成形品。
首先，像圖12的（a）所示那樣，從脫模膜供給機構78（參照圖11）將例如長條狀的脫模膜82供給於平台77，並切割成既定的大小。然後，將具有圓形狀的貫穿孔83的樹脂收容框79載置在脫模膜82上。在所述狀態下，脫模膜82和樹脂收容框79成一體而構成收容液狀樹脂的樹脂收容部84。然後，使用移動機構80使點膠機15移動到樹脂收容部84的上方的既定位置。在所述情況下，示出使用移動機構80使點膠機15移動到樹脂收容部84的上方的情況，但也可使平台77移動到點膠機15的下方。只要是使點膠機15與樹脂收容部84相對地移動的構成即可。
然後，像圖12的（b）所示那樣，從點膠機15的樹脂吐出部17（管36）向樹脂收容部84（脫模膜82）吐出液狀樹脂85。液狀樹脂85被吐出到樹脂收容部84所具有的貫穿孔83中。關於吐出液狀樹脂85的圖案形狀，例如優選的是像圖13的（a）所示那樣，以與圓形狀的貫穿孔83相對應的方式以螺旋狀的圖案形狀吐出液狀樹脂85。在所述情況下，從中央部向外周部以螺旋狀吐出液狀樹脂85。反之，也可從外周部向中央部以螺旋狀吐出液狀樹脂85。
吐出液狀樹脂85的圖案形狀不限定於螺旋狀的圖案形狀。除此以外，也可為同心圓狀、分散的點等，與樹脂收容部84所具有的貫穿孔83的形狀相對應而任意設定。液狀樹脂85優選的是在樹脂收容部84中盡可能均等地配置的圖案形狀。
然後，像圖12的（c）所示那樣，停止點膠機15的吐出（停止活塞27的擠出動作）之後，使用夾持器18將安裝在點膠機15的吐出部17上的管36內的殘留樹脂48及從管36的前端垂落的垂液樹脂49捋出（參照圖4的（a）～圖4的（d））。在脫模膜82上配置有以螺旋狀吐出的液狀樹脂85（參照圖13的（a））。在所述情況下，底面由脫模膜82所構成的樹脂收容部84成為吐出對象物。
繼而，像圖12的（d）所示那樣，通過設於樹脂收容框79的底面的吸附槽（未圖示）將脫模膜82吸附於樹脂收容框79。使用樹脂搬送機構81，將樹脂收容框79、脫模膜82和以螺旋狀經吐出的液狀樹脂85成一體的狀態的樹脂收容部84從平台77提起。
然後，像圖14的（a）所示那樣，使用晶圓搬送機構75（參照圖11），通過吸附或夾緊等將安裝有半導體晶片86的密封前晶圓70固定於上模52的模面。然後使用樹脂搬送機構81，將樹脂收容部84搬送到上模52和下模11之間的既定位置。在樹脂收容部84中，液狀樹脂85被收容在由樹脂收容框79和脫模膜82所封閉的貫穿孔83中。接著，使樹脂搬送機構81下降，將樹脂收容部84載置在下模11上。在所述狀態下，經吐出到脫模膜82上的螺旋狀的液狀樹脂85是配置在模腔76的上方。
然後，像圖14的（b）所示那樣，通過設於下模11的吸附機構（未圖示）沿著模腔76的模面吸附脫模膜82。藉此，脫模膜82和液狀樹脂85一起被供給於模腔76。然後，使用設於下模11的加熱器（未圖示）將液狀樹脂85加熱而使其熔融，生成黏度降低的流動性樹脂87。
然後，像圖14的（c）所示那樣，通過鎖模機構12（參照圖11）使下模11上升，將上模52和下模11鎖模。通過進行鎖模，使安裝在密封前晶圓70上的半導體晶片86浸漬在流動性樹脂87中。
然後，使用設於下模11的加熱器，使流動性樹脂87硬化而成形硬化樹脂88。藉此，利用與模腔76的形狀相對應而成形的硬化樹脂88對安裝在密封前晶圓70上的半導體晶片86進行樹脂密封。在所述階段中，製造經樹脂密封的樹脂成形品89（密封後晶圓72）。使用晶圓搬送機構75（參照圖11）將樹脂成形品89收容到密封後晶圓收容部73（參照圖11）中。
根據本實施形態，在點膠機15的吐出部17上安裝可彈性變形的管36。在管36的兩側設置可夾持管36而移動的夾持器18。通過利用夾持器18夾持管36並使夾持器18下降，可利用夾持器18將管36內殘留的殘留樹脂及從管36的前端垂落的垂液樹脂強制捋出。
根據本實施形態，向作為吐出對象物的樹脂收容部84（脫模膜82）吐出液狀樹脂85，並將樹脂收容部84中收容的液狀樹脂85供給於設於下模11的模腔76進行樹脂成形。由於並未將液狀樹脂85直接吐出到模腔76中，因此吐出到脫模膜82上的液狀樹脂85不會受到來自設於成形模的加熱器的熱影響。因此，可在將液狀樹脂85吐出到脫模膜82上的期間中，抑制液狀樹脂85開始硬化。藉此，可抑制吐出到脫模膜82上的液狀樹脂85的硬化不均，可減少樹脂成形品的樹脂厚度的不均。
各實施形態中，從設於點膠機的吐出部中向吐出對象物吐出液狀樹脂。實施形態1中，對將設於下模11的模腔13作為吐出對象物而向模腔13吐出液狀樹脂32的形態進行了說明。實施形態5中，對將載置在平台77上的脫模膜82（樹脂收容部84）作為吐出對象物而向脫模膜82吐出液狀樹脂85的形態進行了說明。
關於吐出對象物，除了模腔或脫模膜以外，可向安裝有半導體晶片的基板、安裝有半導體晶片的晶圓、完成了半導體前步驟的晶圓等吐出液狀樹脂。在這些情況下，將經液狀樹脂吐出的吐出對象物供給於成形模進行樹脂成形。液狀樹脂在設於成形模的模腔中熔融，並與模腔的形狀相對應而硬化。
各實施形態中，示出了使用將主劑和硬化劑預先混合而生成的液狀樹脂的一液型點膠機。不限於此，在實際使用時使用在點膠機中將主劑和硬化劑混合而使用的二液混合型點膠機的情況下，也發揮與各實施形態相同的效果。
各實施形態中，說明了對半導體晶片進行樹脂密封時所使用的樹脂成形裝置及樹脂成形品的製造方法。進行樹脂密封的對象也可為積體電路（Integrated Circuit，IC）、電晶體等半導體晶片，也可為不使用半導體的非半導體晶片，也可為半導體晶片與非半導體晶片混合存在的晶片群。可在利用硬化樹脂對安裝在基板或晶圓等上的一個或多個晶片進行樹脂密封時應用本發明。
此外，不限於對電子零件進行樹脂密封的情況，在通過樹脂成形來製造透鏡、反射板（reflector）、導光板、光學模組等光學零件、其他樹脂成形品的情況下，可應用本發明。
像以上那樣，所述實施形態的吐出裝置是設定為具備以下部分的構成：蓄積流動性樹脂的蓄積部、擠出流動性樹脂的擠出機構、與蓄積部連接且吐出流動性樹脂的吐出部、安裝在吐出部上的可彈性變形的管、可夾持管而移動的夾持器、以及控制夾持器的移動量的控制部。
根據所述構成，可通過利用夾持器夾持安裝在吐出裝置的吐出部上的可彈性變形的管並使夾持器下降，而利用夾持器將管內殘留的殘留樹脂捋出。因此，可縮短液狀樹脂等流動性樹脂的吐出步驟所需要的時間，從而可提高進行流動性樹脂的吐出而製造的樹脂成形品的生產性。
進而，所述實施形態的吐出裝置是設定為以下構成：控制部對應於蓄積部內的流動性樹脂的餘量而控制使夾持器移動的移動量。
根據所述構成，即便蓄積部內殘留的流動性樹脂的餘量變化，也可吐出一定的流動性樹脂。因此，可實現流動性樹脂的吐出量的高精度化，從而可提高進行流動性樹脂的吐出而製造的樹脂成形品的品質的穩定性。
進而，所述實施形態的吐出裝置是設定為以下構成：蓄積部內的流動性樹脂的蓄積量為對應於多個吐出對象物的量，由控制部所致的夾持器的移動量是針對多個吐出對象物中的至少兩個而不同。
根據所述構成，即便蓄積部內的流動性樹脂的餘量變化，也可吐出一定的流動性樹脂。因此，可實現流動性樹脂的吐出量的高精度化，從而可提高進行流動性樹脂的吐出而製造的樹脂成形品的品質的穩定性。
進而，所述實施形態的吐出裝置是設定為以下構成：具有使夾持器在水平方向上移動的第一驅動機構、和使夾持器在鉛垂方向上移動的第二驅動機構。
根據所述構成，可使用第一驅動機構利用夾持器夾持管。可使用第二驅動機構使夾持器移動既定量。因此，可利用夾持器將管內殘留的殘留樹脂捋出。
進而，所述實施形態的吐出裝置是設定為以下構成：夾持器具備旋轉的滾筒，通過在夾持器夾持管的狀態下滾筒一面旋轉一面下降，而將管內殘留的殘留樹脂捋出。
根據所述構成，可通過滾筒一面旋轉一面下降而將管內殘留的殘留樹脂捋出。
所述實施形態的樹脂成形裝置是設定為具備所述任一吐出裝置的構成。
根據所述構成，可縮短液狀樹脂等流動性樹脂的吐出步驟所需要的時間，從而可提高進行流動性樹脂的吐出而製造的樹脂成形品的生產性。
所述實施形態的吐出方法包括：擠出步驟，將蓄積部中蓄積的流動性樹脂擠出，由此從與蓄積部連接的吐出部上安裝的可彈性變形的管中吐出流動性樹脂；以及捋出步驟，利用夾持器夾持管並使夾持器向下方移動，由此將管內殘留的殘留樹脂捋出。
根據所述方法，可利用夾持器將流動性樹脂儘早吐出。因此，可縮短液狀樹脂等流動性樹脂的吐出步驟所需要的時間，從而可提高進行流動性樹脂的吐出而製造的樹脂成形品的生產性。
進而，所述實施形態的吐出方法在捋出步驟中，對應於蓄積部內的流動性樹脂的餘量而控制夾持器的移動量。
根據所述方法，即便蓄積部內殘留的流動性樹脂的餘量變化，也可吐出一定的流動性樹脂。因此，可實現流動性樹脂的吐出量的高精度化，從而可提高進行流動性樹脂的吐出而製造的樹脂成形品的品質的穩定性。
進而，所述實施形態的吐出方法將擠出步驟及捋出步驟重複多次，並針對多次捋出步驟中的至少兩次使夾持器的移動量不同。
根據所述方法，即便蓄積部內的流動性樹脂的餘量變化，也可吐出一定的流動性樹脂。因此，可實現流動性樹脂的吐出量的高精度化，從而可提高進行流動性樹脂的吐出而製造的樹脂成形品的品質的穩定性。
所述實施形態的樹脂成形品的製造方法包括以下鎖模步驟，即，在將通過所述任一吐出方法所吐出的流動性樹脂供給於成形模的狀態下，將成形模鎖模。
根據所述方法，可穩定地製造樹脂成形品，從而可提高生產性。
本發明不限定於所述各實施形態，可於不偏離本發明主旨的範圍內，視需要任意且適當地組合、變更或選擇採用。
1、68‧‧‧樹脂成形裝置
2‧‧‧基板供給/收容模組
3A、3B、3C‧‧‧成形模組
4‧‧‧樹脂供給模組
5‧‧‧密封前基板
6‧‧‧密封前基板供給部
7‧‧‧密封後基板
8‧‧‧密封後基板收容部
9‧‧‧基板載置部
10‧‧‧基板搬送機構
11‧‧‧下模
12‧‧‧鎖模機構
13、76‧‧‧模腔（吐出對象物）
14‧‧‧脫模膜供給機構
15、58、64‧‧‧點膠機（吐出裝置）
16‧‧‧樹脂搬送機構
17、65‧‧‧吐出部
18、59、67‧‧‧夾持器
19‧‧‧擠出機構
20‧‧‧針筒（蓄積部）
21‧‧‧連結部
22‧‧‧噴嘴
23‧‧‧伺服馬達
24‧‧‧滾珠螺杆
25‧‧‧滑塊
26‧‧‧杆
27‧‧‧活塞（擠出機構）
28‧‧‧滾珠螺杆軸承
29‧‧‧導軌
30‧‧‧編碼器
31‧‧‧控制部
32、85‧‧‧液狀樹脂（流動性樹脂）
33‧‧‧螺杆
34‧‧‧吐出口
35‧‧‧接頭
36‧‧‧管
37、38‧‧‧滾筒支持構件
37a、37b、37c、38a、38b、38c‧‧‧棒狀構件
39、40‧‧‧滾筒
41、44‧‧‧連接構件
42、45‧‧‧移動機構（第一移動機構）
43、46‧‧‧移動機構（第二移動機構）
47‧‧‧樹脂通路
48‧‧‧殘留樹脂
49‧‧‧垂液樹脂
50‧‧‧拉絲狀的殘留樹脂
51、86‧‧‧半導體晶片
52‧‧‧上模
53‧‧‧成形模
54‧‧‧脫模膜
55、87‧‧‧流動性樹脂
56、88‧‧‧硬化樹脂
57、89‧‧‧樹脂成形品
60、61‧‧‧滾筒支持構件
60a、60b、60c、61a、61b、61c‧‧‧棒狀構件
62、63‧‧‧連接構件
66‧‧‧固定板
69‧‧‧晶圓供給/收容模組
70‧‧‧密封前晶圓
71‧‧‧密封前晶圓供給部
72‧‧‧密封後晶圓
73‧‧‧密封後晶圓收容部
74‧‧‧晶圓載置部
75‧‧‧晶圓搬送機構
77‧‧‧平台
78‧‧‧脫模膜供給機構
79‧‧‧樹脂收容框
80‧‧‧移動機構
81‧‧‧樹脂搬送機構
82‧‧‧脫模膜（吐出對象物）
83‧‧‧貫穿孔
84‧‧‧樹脂收容部（吐出對象物）
S1、R1、M1、C1‧‧‧既定位置
CTL‧‧‧控制部
A、B、C‧‧‧針筒內的液狀樹脂的狀態
P1、P2、P3、P4‧‧‧位置
L1、L2、L3‧‧‧衝程量（移動量）
圖1為表示實施形態1的樹脂成形裝置的裝置概要的平面圖。 圖2的（a）為圖1所示的樹脂成形裝置中使用的點膠機的概略平面圖，圖2的（b）為圖2的（a）所示的吐出部的放大圖。 圖3的（a）為圖2的（a）、圖2的（b）所示的點膠機的A-A線截面圖，圖3的（b）為B-B線截面圖。 圖4的（a）～圖4的（d）為表示使用圖2的（a）、圖2的（b）所示的點膠機吐出液狀樹脂的動作及將管內的殘留樹脂捋出的動作的概略截面圖。 圖5的（a）～圖5的（c）為表示使用圖1所示的樹脂成形裝置進行樹脂成形的步驟的概略截面圖。 圖6的（a）～圖6的（b）為表示實施形態2中使用的點膠機的變形例的概略截面圖。 圖7的（a）～圖7的（c）為表示實施形態3中使用的點膠機的變形例及動作的概略截面圖。 圖8的（A）～圖8的（C）為分別表示在現有的點膠機中殘留在針筒內的液狀樹脂的樹脂量的概略圖。 圖9的（A）～圖9的（C）為分別表示在實施形態4中殘留在本發明的點膠機的針筒內的液狀樹脂的樹脂量的概略圖。 圖10的（a）～圖10的（c）為表示在實施形態4中使用實施形態1所示的點膠機，對應於針筒內殘留的液狀樹脂的樹脂量而使夾持器移動的衝程量的概略圖。 圖11為表示實施形態5的樹脂成形裝置的裝置概要的平面圖。 圖12的（a）～圖12的（d）為表示使用圖11所示的樹脂成形裝置將液狀樹脂吐出到脫模膜上的步驟的概略截面圖。 圖13的（a）、圖13的（b）為表示吐出至脫模膜上的液狀樹脂的狀態的概略圖，圖13的（a）為平面圖，圖13的（b）為C-C線截面圖。 圖14的（a）～圖14的（c）為表示將圖13的（a）、圖13的（b）所示的脫模膜上的液狀樹脂供給於成形模並進行樹脂成形的步驟的概略截面圖。

Claims (11)

  1. 一種吐出裝置，其具備：蓄積部，蓄積流動性樹脂；擠出機構，擠出所述流動性樹脂；吐出部，與所述蓄積部連接，且吐出所述流動性樹脂；管，安裝在所述吐出部上，且可彈性變形；夾持器，可夾持所述管而移動；以及控制部，控制所述夾持器的移動量，所述蓄積部內的所述流動性樹脂的蓄積量為對應於多個吐出對象物的量，由所述控制部所致的所述夾持器的移動量是針對所述多個吐出對象物中的至少兩個而不同。
  2. 一種吐出裝置，其具備：蓄積部，蓄積流動性樹脂；擠出機構，擠出所述流動性樹脂；吐出部，與所述蓄積部連接，且吐出所述流動性樹脂；管，安裝在所述吐出部上，且可彈性變形；夾持器，可夾持所述管而移動；第一驅動機構，使所述夾持器在水平方向上移動；以及第二驅動機構，使所述夾持器在鉛垂方向上移動。
  3. 一種吐出裝置，其具備：蓄積部，蓄積流動性樹脂；擠出機構，擠出所述流動性樹脂；吐出部，與所述蓄積部連接，且吐出所述流動性樹脂；管，安裝在所述吐出部上，且可彈性變形；以及夾持器，可夾持所述管而移動，所述夾持器具備旋轉的滾筒，在所述夾持器夾持所述管的狀態下所述滾筒一面旋轉一面下降，由此將所述管內殘留的殘留樹脂捋出。
  4. 一種吐出裝置，其具備：蓄積部，蓄積流動性樹脂；擠出機構，擠出所述流動性樹脂；吐出部，與所述蓄積部連接，且吐出所述流動性樹脂；管，安裝在所述吐出部上，且可彈性變形；以及夾持器，在夾持所述管的狀態下向下方移動，將所述管內殘留的殘留樹脂捋出。
  5. 如申請專利範圍第4項所述的吐出裝置，其還具備控制所述夾持器的移動量的控制部。
  6. 如申請專利範圍第5項所述的吐出裝置，其中所述控制部對應於所述蓄積部內的所述流動性樹脂的餘量而控制使所述夾持器移動的移動量。
  7. 一種樹脂成形裝置，其具備如申請專利範圍第1項至第6項中任一項所述的吐出裝置。
  8. 一種吐出方法，其包括：擠出步驟，將蓄積部中蓄積的流動性樹脂擠出，由此從與所述蓄積部連接的吐出部上安裝的可彈性變形的管中吐出所述流動性樹脂；以及捋出步驟，利用夾持器夾持所述管並使所述夾持器向下方移動，由此將所述管內殘留的殘留樹脂捋出。
  9. 如申請專利範圍第8項所述的吐出方法，其中在所述捋出步驟中，對應於所述蓄積部內的所述流動性樹脂的餘量而控制所述夾持器的移動量。
  10. 如申請專利範圍第8項或第9項所述的吐出方法，其中將所述擠出步驟及所述捋出步驟重複多次，針對所述多次捋出步驟中的至少兩次使所述夾持器的移動量不同。
  11. 一種樹脂成形品的製造方法，其包括以下步驟：在將通過如申請專利範圍第8項至第10項中任一項所述的吐出方法而吐出的所述流動性樹脂供給於成形模的狀態下，進行樹脂成形。
TW107102271A 2017-01-24 2018-01-23 吐出裝置、吐出方法、樹脂成形裝置和樹脂成形品的製造方法 TWI673155B (zh)

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