CN107785297A - 板状物搬送装置和加工装置 - Google Patents

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Abstract

提供板状物搬送装置和加工装置，无需增加用于调整装置的各部位的位置的所需工时而抑制装置的破损。板状物搬送装置(1)具有对被加工物进行保持的保持单元(2)以及使保持单元移动的移动机构。保持单元包含：至少两个保持部件(10)，它们对被加工物的外周缘进行保持；支承板部(20)，其将保持部件支承为能够在接近或远离板状物的外周缘的接近/远离方向上移动；以及移动单元(30)，其使保持部件在接近/远离方向上移动。保持部件具有：杆部(11)，其以能够上下移动的方式相对于支承板部悬垂；卡合部(12)，其形成在杆部的下端外周，与被加工物的外周缘卡合；以及喷嘴部(13)，其从杆部的下表面(11a)朝向保持面喷射流体，使被加工物从保持面浮起。

Description

板状物搬送装置和加工装置
技术领域
本发明涉及板状物搬送装置和加工装置。
背景技术
公知有对半导体晶片、封装基板、玻璃基板等板状物进行加工、例如进行薄化或者分割成各个器件芯片的加工装置。在这些加工装置中，通常利用真空垫等对板状物进行吸附并搬送，在不希望板状物的正面上附着异物的情况下，或者在如在板状物的正面具有凹凸、或在板状物的背面具有圆形凹部和围绕该圆形凹部的环状凸部的所谓“TAIKO”晶片那样除外周部以外非常薄且脆等的情况下，提出了使板状物的外周与其卡合而进行搬送的搬送机构(边缘夹具：Edge Clamp)(参照专利文献1)。
但是，在专利文献1所述的搬送机构中，为了能够从背面侧对板状物的边缘进行保持，至少需要使板状物的外周的一部分从保持面突出那样的特殊形状的卡盘工作台(专利文献2)，为了确保不使与外周卡合的保持部激烈地碰撞保持面而发生卡盘工作台的破损，需要对装置进行调整。
专利文献1：日本特开2007-258450号公报
专利文献2：日本特开2012-064872号公报
但是，专利文献1和专利文献2所示的搬送机构存在下述问题：为了确保不使与外周卡合的保持部激烈地碰撞保持面而发生卡盘工作台的破损，会增加用于对装置的各部位的位置进行调整的所需工时。
发明内容
本发明是鉴于该问题而完成的，其目的在于提供如下的板状物搬送装置和加工装置：能够不增加用于对装置的各部位的位置进行调整的所需工时而抑制装置的破损。
根据本发明的一个方式，提供板状物搬送装置，其将板状物相对于卡盘工作台的保持面搬入或搬出，其中，该板状物搬送装置具有：保持单元，其对板状物进行保持；以及移动机构，其使该保持单元移动，该保持单元包含：至少两个保持部件，它们对板状物的外周缘进行保持；支承板部，其将该保持部件支承为能够在接近或远离板状物的外周缘的接近/远离方向上移动；以及移动单元，其使该保持部件在接近/远离方向上移动，该保持部件具有：杆部，其以能够上下移动的方式相对于该支承板部悬垂；卡合部，其形成在该杆部的下端外周，与板状物的外周缘卡合；以及喷嘴部，其从该杆部的下表面朝向该保持面喷射流体，使板状物从该保持面浮起。
优选该杆部以具有间隙的方式***至该支承板部并以能够摆动的方式悬垂，当喷射来自该喷嘴部的流体时，所述杆部的倾斜度被调整成使该杆部的该下表面与该保持面平行。
优选该板状物搬送装置还具有限制销，该限制销在该保持部件所保持的板状物的外周以能够上下移动的方式相对于该支承板部悬垂，在该限制销的下表面上设置有限制销喷嘴，该限制销喷嘴朝向该保持面喷射流体而将该限制销的下表面定位于该保持面附近。
根据本发明的其他方式，提供加工装置，该加工装置具有：卡盘工作台，其对被加工物进行保持；加工单元，其对该卡盘工作台所保持的被加工物进行加工；以及搬送单元，其将被加工物相对于该卡盘工作台搬入或搬出，其中，该搬送单元是所述板状物搬送装置。
本申请发明的板状物搬送装置和加工装置，能够不增加用于调整装置的各部位的位置的所需工时而抑制装置的破损。
附图说明
图1是示出作为具有第一实施方式的板状物搬送装置的加工装置的切削装置的结构例的立体图。
图2是示出第一实施方式的板状物搬送装置的结构的立体图。
图3是将第一实施方式的板状物搬送装置分解而示出的立体图。
图4是示出图2所示的板状物搬送装置的保持部件的配置的俯视图。
图5是沿图2中的V-V线的剖视图。
图6是示出图5所示的保持部件的杆部进行上下移动的状态的剖视图。
图7是图5所示的保持部件的杆部的下表面的俯视图。
图8是沿图2中的VIII-VIII线的剖视图。
图9是板状物搬送装置接近卡盘工作台的状态下的保持单元的主要部分的剖视图。
图10是图9所示的板状物搬送装置的保持部件已被定位的状态下的保持单元的主要部分的剖视图。
图11是从图10所示的卡盘工作台喷出了气体的状态下的保持单元的主要部分的剖视图。
图12是图11所示的板状物搬送装置的保持部件对被加工物进行了保持的状态下的保持单元的主要部分的剖视图。
图13的(a)是第一实施方式的板状物搬送装置的保持部件对被加工物进行保持的状态的俯视图，图13的(b)是图13的(a)所示的保持部件从被加工物远离的状态的俯视图。
图14的(a)是比较例的不具有限制销的板状物搬送装置的保持部件对被加工物进行保持的状态的俯视图，图14的(b)是图14的(a)所示的保持部件从被加工物远离的状态的俯视图。
图15是第二实施方式的板状物搬送装置的主要部分的剖视图。
图16是示出图15所示的保持部件进行摆动的状态的剖视图。
图17是示出各实施方式的第一变形例的板状物搬送装置的保持部件的配置的俯视图。
图18是示出各实施方式的第二变形例的保持部件的移动方向的俯视图。
图19是示出各实施方式的第三变形例的板状物搬送装置的保持部件的立体图。
图20是示出各实施方式的第四变形例的板状物搬送装置的限制销等的剖视图。
图21是示出图20所示的限制销进行摆动的状态的剖视图。
标号说明
1、1A、1B、1-2：板状物搬送装置(搬送单元)；2：保持单元；3：移动机构；10、10-2：保持部件；11、11-2：杆部；11a：下表面；12：卡合部；13：喷嘴部；20：支承板部；30：移动单元；41、41-4：限制销；41c：下表面；42：限制销喷嘴；100：切削装置(加工装置)；110、181：卡盘工作台；110a：保持面；120：切削构件(加工单元)；W：被加工物(板状物)。
具体实施方式
参照附图对用于实施本发明的方式(实施方式)进行详细说明。本发明并不受以下的实施方式记载的内容限定。另外，以下记载的结构要素中包含本领域技术人员容易想到的内容、实质上相同的内容。另外，以下记载的结构可以适当组合。另外，可以在不脱离本发明的主旨的范围内进行结构的各种省略、置换或变更。
[第一实施方式]
根据附图对本发明的第一实施方式的板状物搬送装置和加工装置进行说明。图1是示出作为具有第一实施方式的板状物搬送装置的加工装置的切削装置的结构例的立体图。图2是示出第一实施方式的板状物搬送装置的结构的立体图。图3是将第一实施方式的板状物搬送装置分解而示出的立体图。图4是示出图2所示的板状物搬送装置的保持部件的配置的俯视图。图5是沿图2中的V-V线的剖视图。图6是示出图5所示的保持部件的杆部上下移动的状态的剖视图。图7是图5所示的保持部件的杆部的下表面的俯视图。
第一实施方式的板状物搬送装置1构成作为图1所示的加工装置的切削装置100。切削装置100是对作为板状物的被加工物W进行切削(加工)的装置。
在第一实施方式中，被加工物W是以硅、蓝宝石、镓等为母材的圆板状的半导体晶片或光器件晶片。被加工物W中，由多个间隔道S呈格子状划分出形成于正面的多个器件D。另外，第一实施方式的被加工物W是厚度一定的半导体晶片或光器件晶片，但本发明的被加工物W可以是中央部薄化而在外周部形成有厚壁部的所谓TAIKO晶片，除了晶片之外，被加工物W也可以是具有多个被树脂密封的器件的矩形状的封装基板、陶瓷板、玻璃板等。
图1所示的切削装置100是对被加工物W进行切削(加工)而将被加工物W分割成各个器件D的加工装置。如图1所示，切削装置100具有：卡盘工作台110，其利用保持面110a对被加工物W进行吸引保持；切削构件120，其是对卡盘工作台110所保持的被加工物W进行切削的加工单元；以及板状物搬送装置1，其是搬送单元。
另外，如图1所示，切削装置100至少具有：未图示的X轴移动构件，其对卡盘工作台110沿着X轴方向进行加工进给，其中，该X轴方向为水平方向且与装置主体102的宽度方向平行；Y轴移动构件140，其对切削构件120沿着与X轴方向垂直的Y轴方向进行分度进给，其中，该Y轴方向与水平方向平行且为装置主体102的长度方向；Z轴移动构件150，其对切削构件120沿着与X轴方向和Y轴方向这二者垂直的Z轴方向进行切入进给，其中，该Z轴方向与铅直方向平行；以及控制装置160。如图1所示，切削装置100是具有两个切削构件120的切削装置，即两个主轴的划片机、所谓的面对双轴型(facing dual type)的切削装置。
卡盘工作台110是圆盘形状，其具有：保持部111，该保持部111设置有对被加工物W进行保持的保持面110a且由多孔陶瓷等形成；以及环状的框部112，其围绕保持部111且由导通性的金属构成。另外，卡盘工作台110设置成通过X轴移动构件移动自如且通过旋转驱动源旋转自如。卡盘工作台110借助切换阀113与真空吸引源114连接，通过被真空吸引源114吸引，卡盘工作台110对被加工物W进行吸引、保持。卡盘工作台110借助切换阀113与气体提供源115连接，通过由气体提供源115提供进行了加压的气体，而解除对被加工物W的吸引、保持。
切削构件120具有供切削刀具121安装的未图示的主轴，其中，该切削刀具121对卡盘工作台110所保持的被加工物W进行切削。切削构件120相对于卡盘工作台110所保持的被加工物W分别设置成通过Y轴移动构件140在Y轴方向上移动自如且设置成通过Z轴移动构件150在Z轴方向上移动自如。
如图1所示，一方的切削构件120借助Y轴移动构件140、Z轴移动构件150等而设置于从装置主体102竖立设置的一方的柱部103a。如图1所示，另一方的切削构件120借助Y轴移动构件140、Z轴移动构件150等而设置于从装置主体102竖立设置的另一方的柱部103b。另外，柱部103a、103b的上端由水平梁103c连结。
切削构件120通过Y轴移动构件140和Z轴移动构件150，能够将切削刀具121定位于卡盘工作台110的保持面110a的任意位置。另外，一方的切削构件120固定成对被加工物W的上表面Wa进行拍摄的拍摄构件与之一体地移动。拍摄构件具有CCD相机，该CCD相机对卡盘工作台110所保持的切削前的被加工物W的要进行分割的区域进行拍摄。CCD相机对卡盘工作台110所保持的被加工物W进行拍摄，得到用于执行对准的图像，将所得到的图像输出给控制装置160，其中，该对准是指进行被加工物W与切削刀具121的对位。
切削刀具121是具有大致环形状的极薄的切削磨具。主轴使切削刀具121旋转，从而对被加工物W进行切削。主轴被收纳在主轴壳体内，主轴壳体被Z轴移动构件150支承。切削构件120的主轴和切削刀具121的轴心设定成与Y轴方向平行。
X轴移动构件是通过使卡盘工作台110在X轴方向上移动而使卡盘工作台110在X轴方向上进行加工进给的加工进给构件。Y轴移动构件140是通过使切削构件120在Y轴方向上移动而使切削构件120进行分度进给的分度进给构件。Z轴移动构件150是通过使切削构件120在Z轴方向上移动而使切削构件120进行切入进给的构件。X轴移动构件、Y轴移动构件140和Z轴移动构件150具有：周知的滚珠丝杠，其设置成绕轴心旋转自如；周知的脉冲电动机，其使滚珠丝杠绕轴心旋转；以及周知的导轨，其将卡盘工作台110或切削构件120支承为在X轴方向、Y轴方向或Z轴方向上移动自如。
另外，切削装置100具有：盒升降机170，其供对切削前后的被加工物W进行收纳的盒171载置且使盒171在Z轴方向上移动；清洗装置180，其对切削后的被加工物W进行清洗；以及搬送构件190，其相对于盒171将被加工物W放入和取出。清洗装置180使切削后的被加工物W吸引保持于卡盘工作台181，对被加工物W进行清洗。清洗装置180的卡盘工作台181的结构与卡盘工作台110的结构相同，因此对相同部分标记相同标号，省略了说明。
控制装置160对上述的结构要素分别进行控制，使切削装置100实施对被加工物W的加工动作。另外，控制装置160包含计算机***。控制装置160具有：运算处理装置，其具有CPU(central processing unit，中央处理器)那样的微处理器；存储装置，其具有ROM(readonly memory，只读存储器)或RAM(random access memory，随机存取存储器)那样的存储器；以及输入输出接口装置。控制装置160的运算处理装置按照存储在存储装置中的计算机程序实施运算处理，将用于控制切削装置100的控制信号借助输入输出接口装置输出给切削装置100的上述的结构要素。另外，控制装置160与由显示加工动作的状态或图像等的液晶显示装置等构成的未图示的显示构件和操作者登录加工内容信息等时使用的输入构件连接。输入构件由设置在显示构件的触摸面板和键盘等中的至少一个构成。
在第一实施方式中，作为加工装置示出了切削装置100，但本发明不限于此，作为加工装置，可以是清洗装置、激光加工装置或磨削装置。另外，在第一实施方式中，作为加工单元示出了切削构件120，但不限于此，作为加工单元，可以是清洗单元、激光光线照射单元或磨削单元。即，在第一实施方式中，示出了加工是切削的例子，但不限于此，加工可以是清洗、激光加工或磨削。
作为搬送单元的板状物搬送装置1相对于卡盘工作台110、181的保持面110a将被加工物W搬入或搬出。在第一实施方式中，切削装置100具有：第一板状物搬送装置1A，其在搬送构件190与卡盘工作台110之间对被加工物W进行搬送；以及第二板状物搬送装置1B，其在卡盘工作台110与清洗装置180的卡盘工作台181之间对被加工物W进行搬送。第一板状物搬送装置1A将切削前的被加工物W从搬送构件190搬出，并搬入至卡盘工作台110。第二板状物搬送装置1B将切削后的被加工物W从卡盘工作台110搬出，并搬入至清洗装置180的卡盘工作台181。第一板状物搬送装置1A将清洗后的被加工物W从卡盘工作台181搬出，并搬入至搬送构件190。
如图2和图3所示，板状物搬送装置1具有：对被加工物W进行保持的保持单元2；以及使保持单元2移动的移动机构3(图1所示)。移动机构3具有：Y轴移动机构5，其使前端设置有保持单元2的单元支承臂4在Y轴方向上移动；以及未图示的升降机构，其设置在单元支承臂4的前端且使保持单元2在Z轴方向上移动。Y轴移动机构5设置于将从装置主体102竖立设置的一对柱部104a、104b彼此连结的水平梁104c上。Y轴移动机构5包含：周知的滚珠丝杠，其设置成绕轴心旋转自如；周知的脉冲电动机，其使滚珠丝杠绕轴心旋转；以及周知的导轨，其将单元支承臂4支承为在Y轴方向上移动自如。升降机构由周知的气缸构成。
如图2和图3，保持单元2具有：至少两个保持部件10，它们对被加工物W的外周缘进行保持；支承板部20，其将保持部件10支承为在接近或远离被加工物W的外周缘的接近/远离方向即放射方向上能够移动；以及移动单元30，其使保持部件10在接近/远离方向上移动。
在第一实施方式中，如图4所示，保持部件10在周向上以等间隔的方式隔着间隔设置三个。如图5和图6所示，保持部件10具有：杆部11，其以能够上下移动的方式相对于支承板部20悬垂；卡合部12，其形成在杆部11的下端外周，与被加工物W的外周缘卡合；以及喷嘴部13，其从杆部11的下表面11a朝向保持面110a喷射流体，使被加工物W从保持面110a浮起。杆部11形成为外径阶段性变化的圆筒状。流体例如是空气。
杆部11具有：被***部11b，其外径形成为小于设置于支承板部20的长孔21的宽度且轴向的长度长于支承板部20的厚度，并且该被***部11b***至长孔21内；以及大直径部11c，其设置在被***部11b的轴向的中央部且外径大于长孔21的宽度。杆部11的被***部11b***(以具有间隙的方式***)至支承板部20的长孔21内，从而如图6的实线和虚线所示，杆部11以能够上下移动的方式悬垂。另外，在杆部11的上端安装有外径大于长孔21的宽度的圆盘状部件14。通过使圆盘状部件14和大直径部11c与支承板部20接触而限制杆部11从支承板部20脱落。
卡合部12形成为从杆部11的下端外周向外周方向突出的圆盘状。卡合部12的外周部形成为厚度随着朝向外周而变薄。在第一实施方式中，与杆部11的下表面11a为同一平面的卡合部12的下表面平坦地形成，卡合部12的外周部的上表面随着朝向外周而缓缓地向接近下表面的方向倾斜。
喷嘴部13具有：喷嘴13a，其在杆部11的下表面11a开口；以及流体提供部13e(图2所示)，其能够借助切换阀13b(图2所示)和流量调整阀13c(图2所示)向喷嘴13a提供来自流体提供源13d(图2所示)的流体。如图7所示，喷嘴13a在杆部11的下表面11a的中央部开口。在第一实施方式中，喷嘴部13中，由流体提供部13e提供并喷射至保持面110a的流体是加压后的气体。
支承板部20是圆形状的板。支承板部20中，在外周部沿周向隔着规定的间隔设置有三个长孔21，该三个长孔21在支承板部20的径向(放射方向)上较长并且供保持部件10的被***部11b***。长孔21的宽度设定成稍微大于保持部件10的被***部11b的外径的尺寸。这样形成的长孔21如图3所示那样供保持部件10的被***部11b从支承板部20的下表面侧***。另外，在支承板部20的上表面的中心部安装有具有大直径部22a和小直径部22b的阶梯螺母22。
移动单元30使分别***至支承板部20上所设置的三个长孔21中的三个保持部件10沿着长孔21的长度方向即支承板部20的径向移动。移动单元30包含：三个连杆31，它们各自的一端部以能够转动的方式与三个保持部件10的被***部11b连结；转动板32，其以能够转动的方式对三个连杆31各自的另一端部进行支承；以及作为驱动构件的气缸33，其使转动板32转动。如图3所示，在连杆31的一端部设置有供保持部件10的被***部11b以具有间隙的方式***的孔31a。当在连杆31的孔31a中以具有间隙的方式***被***部11b之后，在保持部件10的被***部11b上安装圆盘状部件14。
转动板32在中央部具有孔32a，该孔32a以能够转动的方式嵌合在安装于支承板部20的中央部的阶梯螺母22的小直径部22b上，并且转动板32具有三个臂部32b，该三个臂部32b设置成从外周面起在周向上隔着规定的间隔向径向(放射方向)突出。该三个臂部32b的前端部分别通过枢轴35而与连杆31的另一端部以相互能够转动的方式连结。另外，在三个臂部32b中的一个臂部上设置用于与气缸33的活塞杆33a连结的连结突起32c。另外，在转动板32上，在设置于中央部的孔32a的外侧沿周向隔着规定的间隔而设置三个开口32d。转动板32中，如图3所示那样设置于中央部的孔32a以能够转动的方式嵌合在阶梯螺母22的小直径部22b上。并且，通过在阶梯螺母22上螺合用于防脱的螺栓34，从而限制转动板32的脱落。
气缸33配设在支承板部20的上表面上。该气缸33的活塞杆33a的前端与设置在三个臂部32b中的一个臂部上的连结突起32c连结。
保持单元2中，沿周向隔着规定的间隔安装有三个限制销41，该三个限制销41用于限制所搬入的被加工物W在保持面110a的面方向上移动。图8是沿图2中的VIII-VIII线的剖视图。
三个限制销41在支承板部20的周向上等间隔地配置，并配置在彼此相邻的保持部件10之间。如图8所示，三个限制销41具有：长孔23，其在支承板部20上与径向平行地设置；被***部41a，其在设置于支承部件60的孔61内穿过，该支承部件60设置在支承板部20上；以及大直径部41b，其设置在被***部41a的上端且比孔61大。限制销41中，被***部41a穿过孔61和长孔23，大直径部41b叠置在支承部件60上，以能够上下移动的方式相对于支承板部20悬垂。
限制销41在板状物搬送装置1将被加工物W搬入至保持面110a时，定位于几乎接触保持面110a的高度，并设置在保持部件10所保持的被加工物W的外周。关于限制销41，在将被加工物W搬入至保持面110a时，当使保持部件10在径向上移动而远离被加工物W时，防止被加工物W紧贴着保持部件10而横向偏移，出于该目的而设置限制销41。
多个限制销41配置在与被加工物W的外周稍微空出间隙的外侧。供限制销41穿过的孔61的内径形成得稍微大于限制销41的被***部41a的外径。限制销41能够按照被***部41a与孔61之间的晃动的量进行摆动，以使得下端在支承板部20的径向即保持部件10的基于移动单元30的移动方向上移位。限制销41配置在与被加工物W的外周稍微空出间隙的外侧并且按照晃动的量摆动自如，因此在抑制被加工物W的横向偏移时，限制销41的下表面41c不会与被加工物W接触。
另外，保持单元2通过弹性支承构件50而被单元支承臂4的前端支承。弹性支承构件50具有：三根支承柱51，它们在支承板部20的上表面竖立设置；三根螺旋弹簧52，它们分别嵌插至三根支承柱51；以及安装板53，其安装在单元支承臂4的前端。三根支承柱51分别配置在贯穿***到设置于转动板32的三个开口32d中的位置，在支承柱51的上端部设置有内螺纹孔。在安装板53上在与三根支承柱51对应的位置分别设置有贯穿***孔53a。贯穿***孔53a的内径形成为大于支承柱51的外径且小于螺旋弹簧52的外径。因此，将支承柱51贯穿***至贯穿***孔53a中，在设置于支承柱51的上端部的内螺纹孔中螺合用于防脱的螺栓54，从而保持单元2在被螺旋弹簧52朝向下方施力的状态下被单元支承臂4的前端弹性支承。
接着，对第一实施方式的板状物搬送装置的动作进行说明。另外，以下，以板状物搬送装置1A、1B将被加工物W从卡盘工作台110、181搬出的动作为代表进行说明，第一板状物搬送装置1A将被加工物W从搬送构件190搬出的动作也是同样的。图9是板状物搬送装置接近卡盘工作台的状态下的保持单元的主要部分的剖视图。图10是图9所示的板状物搬送装置的保持部件已被定位的状态下的保持单元的主要部分的剖视图。图11是从图10所示的卡盘工作台喷出气体的状态下的保持单元的主要部分的剖视图。图12是图11所示的板状物搬送装置的保持部件对被加工物进行保持的状态下的保持单元的主要部分的剖视图。
如图9所示，板状物搬送装置1在将被加工物W从卡盘工作台110、181搬出时，在通过控制装置160使气缸33的活塞杆33a进行伸张且从喷嘴13a喷出规定流量的来自流体提供源13d的流体的状态下接近卡盘工作台110、181。此时，卡盘工作台110、181如图9所示那样通过控制装置160将来自真空吸引源114的负压作用于保持面110a，将被加工物W吸引保持在保持面110a上。
当板状物搬送装置1的保持单元2的保持部件10接近卡盘工作台110、181的框部112时，从喷嘴13a喷出流体，因此保持部件10不与卡盘工作台110、181的框部112接触，并且从喷嘴13a喷出的流体沿着框部112的正面流动而产生伯努利效应，通过伯努利效应，杆部11的下表面11a被卡盘工作台110，181的框部112拉近。并且，如图10所示，板状物搬送装置1通过流体的伯努利效应而定位于使保持部件10的高度稍微远离保持面110a的位置。此时，如图10所示，限制销41不与卡盘工作台110、181的框部112接触，而定位于高于被加工物W的上表面的位置。
并且，如图11所示，控制装置160对切换阀113进行控制而从卡盘工作台110、181的保持面110a喷射从气体提供源115提供的气体。于是，被加工物W从保持面110a稍微浮起。另外，从喷嘴13a喷射的流体进入卡盘工作台110、181的保持面110a与被加工物W之间，通过控制装置160使气缸33的活塞杆33a收缩，如图12所示那样被加工物W从保持面110a浮起而达到保持部件10的卡合部12滑入被加工物W下的程度，并且卡合部12与被加工物W的外周缘卡合，板状物搬送装置1对被加工物W进行保持并朝向下一工序搬出。
第一实施方式的板状物搬送装置1和切削装置100中，在与被加工物W的外周缘卡合的杆部11的下表面11a上形成喷嘴13a，并且使保持部件10以能够上下移动的方式悬垂，从喷嘴13a喷出流体，从而将卡合部12相对于保持面110a自动定位于规定的距离，无需进行调整就能够抑制保持部件10与卡盘工作台110、181的保持面110a接触。另外，板状物搬送装置1和切削装置100通过从保持部件10的喷嘴13a喷出的流体沿着保持面110a流动，来辅助被加工物W从保持面110a浮起，能够起到容易地使卡合部12滑入被加工物W的下表面侧的效果。
由此，板状物搬送装置1和切削装置100中，能够防止卡合部12与保持面110a接触而发生破损，还具有移动单元30的调整也变得容易的效果。其结果是，板状物搬送装置1和切削装置100无需增加用于调整装置的各部位的位置的所需工时，就能够抑制装置的破损。
另外，第一实施方式的板状物搬送装置1和切削装置100中，在保持部件10所保持的被加工物W的外周具有以能够上下移动的方式相对于支承板部20悬垂的限制销41，因此即使从图13的(a)所示的对被加工物W进行了保持的状态使保持部件10远离被加工物W，也如图13的(b)所示那样，通过限制销41限制被加工物W的移动，从而与图14的(a)和图14的(b)所示的比较例相比，能够抑制被加工物W的位置偏移。因此，第一实施方式的板状物搬送装置1和切削装置100能够将被加工物W搬入相同的位置。
另外，图13的(a)是第一实施方式的板状物搬送装置的保持部件对被加工物进行保持的状态的俯视图，图13的(b)是图13的(a)所示的保持部件远离被加工物的状态的俯视图。图14的(a)是比较例的不具有限制销的板状物搬送装置的保持部件对被加工物进行保持的状态的俯视图，图14的(b)是图14的(a)所示的保持部件远离被加工物的状态的俯视图。图14的(a)所示的比较例不具有限制销41，因此当从图14的(a)所示的对被加工物W进行保持的状态使保持部件10远离被加工物W时，被加工物W紧贴着任意的保持部件10，如图14的(b)的虚线或双点划线所示，被加工物W会沿着保持面110a移动。
[第二实施方式]
根据附图对本发明的第二实施方式的板状物搬送装置和加工装置进行说明。图15是第二实施方式的板状物搬送装置的主要部分的剖视图。图16是示出图15所示的保持部件进行摆动的状态的剖视图。另外，图15和图16中，对与第一实施方式相同部分标记相同标号，并省略了说明。
如图15所示，关于第二实施方式的加工装置的切削装置100的板状物搬送装置1-2，设置在连杆31的一端部且供保持部件10的被***部11b***的孔31a-2与第一实施方式相比形成为孔径大的孔，以使杆部11如图15那样自如地倾斜。第二实施方式的板状物搬送装置1-2的保持部件10如图15的实线所示在以能够摆动的方式相对于支承板部20悬垂，以使得卡合部12在支承板部20的径向即保持部件10的基于移动单元30的移动方向上移位。由此，关于第二实施方式的板状物搬送装置1-2的保持部件10，当从喷嘴部13的喷嘴13a喷射流体时，如图16所示那样，对杆部11的摆动方向的倾斜度进行调整，以使得通过流体的伯努利效应使杆部11的下表面11a与卡盘工作台110、181的保持面110a平行。
第二实施方式的板状物搬送装置1-2和切削装置100中，在与被加工物W的外周缘卡合的杆部11的下表面11a上形成喷嘴13a，并且使保持部件10以能够上下移动的方式悬垂，从喷嘴13a喷出流体，因此与第一实施方式同样地，无需增加用于调整装置的各部位的位置的所需工时，就能够抑制装置的破损。
另外，第二实施方式的板状物搬送装置1-2和切削装置100中，使保持部件10的杆部11以能够摆动的方式悬垂，因此即使不按照与保持面110a平行的方式对杆部11的下表面11a进行调整，通过所喷射的流体的伯努利效应也使下表面11a自动地与保持面110a平行，因此起到不需要对保持部件10的保持面110a进行角度调整的效果。
[变形例]
参照图17～图21对本发明的各实施方式的变形例的板状物搬送装置和加工装置进行说明。另外，在图17～图21中，对与第一实施方式相同部分标记相同标号，省略了说明。
如图17和图18所示，各实施方式的第一变形例和第二变形例的板状物搬送装置1的保持部件10在支承板部20的周向以等间隔的方式隔着间隔设置四个。图17所示的四个保持部件10与第一实施方式同样地沿着支承板部20的径向移动，图18所示的四个保持部件10沿着相互平行的两条直线L(图18中以点划线表示)移动。
各实施方式的第三变形例的板状物搬送装置1的图19所示的保持部件10-2在支承板部20的周向上以等间隔的方式隔着间隔设置两个。图19所示的保持部件10-2配置在将支承板部20的中央部夹在相互之间的位置。保持部件10-2中，杆部11-2的俯视图中的长度方向形成为与被加工物W的外周缘的切线平行的矩形状，保持部件10的与被加工物W的外周缘对置的内面11d弯曲成与被加工物W的外周缘平行。另外，在内面11d的全长区域内设置卡合部12。
各实施方式的第四变形例的板状物搬送装置1的供限制销41-4穿过的孔61形成为在支承板部20的径向即保持部件10的基于移动单元30的移动方向上较长的长孔。如图21的点划线所示，限制销41以能够摆动的方式相对于支承板部20悬垂，以使得下端在支承板部20的径向即保持部件10的基于移动单元30的移动方向上移位。
另外，如图20所示，各实施方式的第四变形例的板状物搬送装置1的限制销41-4的下表面41c设置有限制销喷嘴42，该限制销喷嘴42朝向保持面110a喷射流体，将限制销41-4的下表面41c定位于保持面110a附近。流体例如是空气。在限制销喷嘴42上连接有将来自未图示的流体提供源的流体提供给限制销喷嘴42的流体提供部43。流体提供部43具有：提供通路43a，其设置在限制销41-4内且与限制销喷嘴42连接；以及提供管43b，其与提供通路43a和流体提供源连接。
关于第四变形例的板状物搬送装置1的限制销41-4，当保持单元2的保持部件10接近卡盘工作台110、181的框部112时，从限制销喷嘴42喷出流体，因此限制销41不与卡盘工作台110、181的框部112接触，并且从限制销喷嘴42喷出的流体沿着框部112的正面流动而产生伯努利效应，通过伯努利效应，限制销41的下表面41c被卡盘工作台110、181的框部112拉近。并且，板状物搬送装置1中，对限制销41的摆动方向的倾斜度进行调整，以使得通过流体的伯努利效应而将限制销41的下表面41c定位于稍微远离保持面110a的保持面110a附近，并且通过流体的伯努利效应使限制销41的下表面41c与卡盘工作台110、181的保持面110a平行。
另外，在本发明中，也可以是，限制销41，41-4与保持部件10，10-2同样地，利用气缸33等致动器等在支承板部20上以能够沿径向移动的方式进行设定，除了被加工物W的搬入时以外，限制销41，41-4退避到径向外侧，仅在搬入时定位于径向内侧的作用位置(防止被加工物W的横向偏移的位置)。另外，在本发明中，限制销41-4可以是不摆动的构造。
图17至图21所示的第一变形例、第二变形例、第三变形例和第四变形例的板状物搬送装置1和切削装置100中，在与被加工物W的外周缘卡合的杆部11的下表面11a上形成喷嘴13a，并且使保持部件10以能够上下移动的方式悬垂，从喷嘴13a喷出流体，因此与第一实施方式同样地，无需增加用于调整装置的各部位的位置的所需工时，就能够抑制装置的破损。
另外，图20和图21所示的第四变形例的板状物搬送装置1和切削装置100中，从设置成能够摆动的限制销41的下表面41c喷射流体，因此限制销与第二实施方式的保持部件10同样地自动定位于距离保持面110a规定的高度，并且保持面110a与下表面41c保持平行。限制销41自动定位于几乎接触保持面110a的高度，从而保持面110a与限制销41不会发生冲突，因此确实不需要调整板状物搬送装置1的位置。
另外，本发明并不限于上述实施方式。即，可以在不脱离本发明的主旨的范围内进行各种变形并实施。

Claims (4)

1.一种板状物搬送装置，其将板状物相对于卡盘工作台的保持面搬入或搬出，其中，
该板状物搬送装置具有：
保持单元，其对板状物进行保持；以及
移动机构，其使该保持单元移动，
该保持单元包含：
至少两个保持部件，它们对板状物的外周缘进行保持；
支承板部，其将该保持部件支承为能够在接近或远离板状物的外周缘的接近/远离方向上移动；以及
移动单元，其使该保持部件在接近/远离方向上移动，
该保持部件具有：
杆部，其以能够上下移动的方式相对于该支承板部悬垂；
卡合部，其形成在该杆部的下端外周，与板状物的外周缘卡合；以及
喷嘴部，其从该杆部的下表面朝向该保持面喷射流体，使板状物从该保持面浮起。
2.根据权利要求1所述的板状物搬送装置，其中，
该杆部以具有间隙的方式***至该支承板部并以能够摆动的方式悬垂，
当喷射来自该喷嘴部的流体时，所述杆部的倾斜度被调整成使该杆部的该下表面与该保持面平行。
3.根据权利要求1或2所述的板状物搬送装置，其中，
该板状物搬送装置还具有限制销，该限制销在该保持部件所保持的板状物的外周以能够上下移动的方式相对于该支承板部悬垂，在该限制销的下表面上设置有限制销喷嘴，该限制销喷嘴朝向该保持面喷射流体而将该限制销的下表面定位于该保持面附近。
4.一种加工装置，其中，
该加工装置具有：
卡盘工作台，其对被加工物进行保持；
加工单元，其对该卡盘工作台所保持的被加工物进行加工；以及
搬送单元，其将被加工物相对于该卡盘工作台搬入或搬出，
该搬送单元具有：
保持单元，其对板状物进行保持；以及
移动机构，其使该保持单元移动，
该保持单元包含：
至少两个保持部件，它们对板状物的外周缘进行保持；
支承板部，其将该保持部件支承为能够在接近或远离板状物的外周缘的接近/远离方向上移动；以及
移动单元，其使该保持部件在接近/远离方向上移动，
该保持部件具有：
杆部，其以能够上下移动的方式相对于该支承板部悬垂；
卡合部，其形成在该杆部的下端外周，与板状物的外周缘卡合；以及
喷嘴部，其从该杆部的下表面朝向该保持面喷射流体，使板状物从该保持面浮起。
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