CN107107382A - 基板加工用工具 - Google Patents

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Abstract

防止基板加工用工具从工具保持器脱落。该基板加工用工具(1)是被安装于基板加工装置的工具。该基板加工用工具(1)具备工具主体(2)、刃尖部(3)和卡合部(4)。在工具主体(2)的至少一部分形成有被保持于基板加工装置的卡盘部的保持部。刃尖部(3)形成在工具主体(2)的一端侧。卡合部(4)形成在工具主体(2)的另一端侧，比工具主体(2)的表面突出。

Description

基板加工用工具
技术领域
本发明涉及加工用工具，特别是涉及被安装于基板加工装置的基板加工用工具。
背景技术
为了在薄膜太阳电池用基板形成电池单体分离用的槽，使用了机械划线装置。并且，在这样的装置中，使用了在末端具有刃尖部的圆形工具(例如，参照专利文献1)。
通过对圆杆的母材进行研磨加工，从而制造出如上的工具。即，将圆杆的母材安装于圆筒研磨盘的卡盘上，一边使母材旋转一边对末端进行研磨加工，形成刃尖。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2004-115356号公报
发明内容
发明要解决的课题
基板加工用工具被安装于划线装置的加工头。具体而言，在划线装置设置有加工头，该加工头相对于载置基板的工作台相对移动自如。通常，在加工头并排地配置有多个头单元。进而，工具通过工具保持器拆卸自如地被安装在该多个头单元中的各个单元。
在这样的结构中，工具被工具保持器的卡盘把持，但工具有可能由于加工中的振动等而脱落。
本发明的课题在于，防止基板加工用工具从工具保持器脱落。
用于解决课题的手段
本发明的一个方面的基板加工用工具是被安装于基板加工装置的工具。该基板加工用工具具备工具主体、刃尖部和卡合部。在工具主体的至少一部分形成有保持部，该保持部被保持于基板加工装置的卡盘部。刃尖部形成在工具主体的一端侧。卡合部形成在工具主体的另一端侧，比工具主体的表面突出。
该工具的形成于工具主体的保持部被保持于基板加工装置。此时，由于在工具主体的另一端侧形成有卡合部，因此，通过将从下方与该卡合部卡合的部分设置于基板加工装置侧，从而能够防止在加工中的振动等时工具落到下方。
此外，在制造工具时，在对工具主体的保持部和刃尖部进行加工的情况下，工具主体的与刃尖部相反一侧(另一端侧)被安装于对工具进行加工的装置的卡盘部。因此，在对保持部和刃尖部进行加工后，未被加工的未加工部分留在工具主体的另一端侧。该未加工部分从被切削加工的工具主体的表面突出，并与工具主体之间形成台阶。通过将该未加工部分留下而不削除，从而能够作为卡合部。
在本发明的另一方面的基板加工用工具中，在卡合部印有文字，在工具主体未印有文字。
卡合部比被保持于基板加工装置的保持部突出，由于与保持部被明确地区分开，因此，即使印字的部位***或变形，被保持于基板加工装置的工具的位置精度也不会由于印字而变差。
在本发明的又一方面的基板加工用工具中，工具主体的截面为圆形。此外，卡合部的截面是具有比工具主体的外径大的直径的圆形。
在通过对圆杆的母材进行研磨加工来制造工具的情况下，通常，母材被安装于圆筒研磨盘等工具加工装置上，工具主体被进行研磨加工。在这样的加工方法中，被安装于工具加工装置的母材的一部分未加工而留下，其直径大于工具主体的直径。
因此，通过将该未加工部分作为卡合部，从而无需进行特别的加工就能够构成卡合部。
在本发明的又一方面的基板加工用工具中，保持部的截面是圆形。此外，刃尖部是截面为圆形、并且随着从保持部到前端而变细的形状。
在该情况下，在将母材安装于圆筒研磨盘等工具加工装置的卡盘上的状态下，能够在同一工序中对保持部和刃尖部这两方进行加工。因此，能够防止工具的保持部的中心与刃尖部的中心错离。
在本发明的又一方面的基板加工用工具中，保持部和刃尖部在被卡紧于工具加工装置的状态下在同一工序中形成。
在该情况下，如前面所述，能够防止工具的保持部的中心与刃尖部的中心错离。
发明效果
在如上的本发明中，能够防止基板加工用工具由于加工中的振动等而从工具保持器脱落。
附图说明
图1是根据本发明的一个实施方式的方法制造的工具的外观图。
图2是用于说明图1中的工具的制造方法的示意图。
图3是安装本发明的工具的划线装置的外观立体图。
图4A是对本发明的工具进行保持的工具保持器的侧视图。
图4B是对本发明的工具进行保持的工具保持器的主视图。
图5是工具保持器的局部放大图。
图6是工具的其它实施方式的外观图。
具体实施方式
图1中示出了本发明的一个实施方式的基板加工用工具1的外观。该工具1被安装于图3所示的划线装置10(基板加工装置)，用以在薄膜太阳电池用基板形成绝缘用槽。
工具1具有：工具主体2；刃尖部3，其形成于工具主体2的一端侧；和加工支承部(卡合部)4，其形成于工具主体2的另一端侧。利用圆筒研磨盘对圆杆的母材进行研磨加工而形成该工具1。
工具主体2是圆柱状，并且在全长范围形成同一外径。该工具主体2的一部分作为被保持于划线装置10的保持部而发挥作用(具体后述)。刃尖部3是从工具主体2朝向一端侧而末端变细的圆锥形状。另外，刃尖部3的末端形成为刃宽是例如40μm。因此，准确地说，刃尖部3是圆锥台形状。加工支承部4是在利用圆筒研磨盘对工具1进行研磨加工时被安装在圆筒研磨盘的卡盘上的部分，其被卡盘的多个爪把持。该加工支承部4的直径大于工具主体2的直径，在工具主体2与加工支承部4之间形成有台阶。
[工具制造方法]
如前面所述，工具1被安装于如图2所示的圆筒研磨盘的卡盘5上而被加工。图2(a)示意地示出了被设置于圆筒研磨盘的卡盘5上的多个爪5a。在图2(a)中，C0是卡盘5的中心(圆筒研磨盘的旋转轴线)。
如图2(b)所示，在对工具1进行加工时，将工具的母材B安装于圆筒研磨盘的卡盘5。在图2(b)中，利用Cb示出了母材的中心(中心轴线)。在该示例中，在卡盘5的安装有母材B的状态下，卡盘5的中心C0与母材B的中心Cb错离。
在如上的状态下，使母材B旋转而进行研磨加工，形成作为保持部的工具主体2和刃尖部3。即，在安装于卡盘5的相同姿态的状态下不将母材B从卡盘5上卸下而加工工具主体2和刃尖部3。在该加工时，工具主体2在全长范围加工成相同直径，并且，工具主体2和刃尖部3使用相同的磨石连续地进行加工。并且，进行加工，以使刃尖部3的末端的刃宽为例如40μm。
图2(c)中示出了如上被加工的状态。通过进行这样的加工，被保持于划线装置10的保持部(工具主体2的一部分)的中心和对基板进行加工的刃尖部3的中心均一致为Cb。因此，通过使用根据该方法加工的工具，从而，即使更换工具，在更换前后刃尖的位置也大致不变。
若进行如上的加工，被安装在圆筒研磨盘的卡盘5上的未加工的加工支承部4的直径大于工具主体2的外径。因此，在将该加工支承部4安装于划线装置10时能够作为与划线装置10侧的一部分卡合的卡合部。
[划线装置10]
关于安装如上制造的工具1的划线装置10，使用图3来简单地进行说明。
划线装置10具备载置薄膜太阳电池基板W的台11。台11能够在水平面(xy平面)内在图3中的y方向上移动，并能够在水平面内旋转到任意角度。在台11的上方，在两个底座12中分别安装有照相机13。各底座12能够沿引导件15移动，该引导件15被设置于支承座14并沿x方向延伸。两个照相机13能够上下移动，各照相机13拍摄的图像被显示在对应的监视器16上。
在台11的上方设置有桥17。桥17具有一对支承柱18a、18b、导杆19和马达21。导杆19沿x方向设置在一对支承柱18a、18b之间。马达21对形成于导杆19的引导件20进行驱动。此外，桥17对能够沿着引导件20在水平面内在x方向上移动的加工头30进行保持。
[工具1向划线装置10的安装]
本实施方式的工具1拆卸自如地被安装于图4A和图4B所示的工具保持器32的下端。另外，省略具体情况，工具保持器32被安装于头单元，多个头单元按固定的间隔并排地配置在划线装置10的加工头30。图4A是工具保持器32的侧视图，图4B是其主视图。
工具保持器32形成为细长的长方体状。工具保持器32具有：基础板34，其一部分被切口；和罩板35，其被安装于基础板34的切口部。
基础板34具有上部的加工头安装部34a和工具安装部34b，工具1被固定于工具安装部34b的下端。工具安装部34b如图4A所示地下方被较薄地切口。并且，在该被切口的部分的上部，两根基准销38、39被***到基础板34和罩板35中。基础板34和罩板35被两根基准销38、39定位，并通过螺纹部件40被固定。
在图5中放大地示出了图4A的一部分的截面。如图5所示，在基础板34和罩板35分别形成有与工具主体2的一部分(保持部)接触地对工具1进行保持的部分34c、35c。此外，在基础板34和罩板35，分别在工具保持部34c、35c的上方形成有避让部34d、35d，以免与工具1的加工支承部4接触。
避让部34d、35d的下表面34e、35e形成为，与工具1的加工支承部4的下表面4a(台阶部)卡合。因此，在将工具1以通过基础板34和罩板35夹住的方式固定的情况下，能够可靠地防止工具1由于振动等落到下方。
另外，设置有与工具1的加工支承部4的上表面接触的磁铁42，以便在将工具1向工具保持器32安装时将螺纹部件40紧固前，工具1在被***到两板34、35之间的状态下被临时固定。
此外，在图5所示的工具1的加工支承部4的侧面使用激光打标或墨印有形式号码等，在工具主体2的保持部没有任何印字。被印字的部位由于激光加工或墨而变形或***，但由于未在与工具保持部34c、35c接触的工具主体2上印字，因此，向工具印字不会影响工具的安装位置。并且，由于加工支承部4比工具主体2突出，因此，工具的位置不会以加工支承部4与工具保持部34c、35c接触的方式发生错离，能够防止由向工具印字导致的工具安装位置的变化。
[其它实施方式]
本发明不限于如上的实施方式，可在不脱离本发明的范围的情况下进行各种变形或修改。
(a)在上述实施方式中，为了制造工具，利用圆筒研磨盘使用磨石进行研磨加工，但用于工具制造的加工装置和加工工具不限于这些，例如，也可以利用车床使用切削工具来进行切削加工。
(b)形成保持部2和刃尖部3的顺序不特别限定。既可以在形成保持部2后形成刃尖部3，也可以在形成刃尖部3后形成保持部。
(c)在上述实施方式中，使用相同的磨石连续地形成保持部2和刃尖部3，但不限于此。既可以使用分别不同的加工工具形成保持部2和刃尖部3，也可以使用多个磨石对保持部2和刃尖部3同时进行加工。
(d)在上述实施方式中，以刃尖部3的末端的刃宽为所希望的宽度的方式进行了刃尖部3的加工，但也可以这样：在刃尖部3的末端的宽度形成得足够细后，对末端部进行加工，以使刃尖部3的末端的刃宽成为所希望的值。
(e)在上述实施方式中，对圆杆的母材进行研磨加工以形成工具，但母材的形状不限于圆杆。
(f)在上述实施方式中，使工具主体2在全长范围为相同直径，但也可以在工具主体2的一部分形成直径与其它部分不同的保持部。在该情况下，加工支承部4比保持部的表面突出即可。
(g)工具的形状不限于所述实施方式，也可以是例如如图6所示的矩形的工具。该实施方式的工具41具有：矩形的工具主体42；形成于工具主体42的一端侧的刃尖部43；形成于工具主体42的另一端侧的矩形的卡合部44。该工具41利用铣床等加工装置形成矩形的母材。
与上述实施方式同样地，工具主体42的一部分(保持部)被保持于划线装置10的工具保持器。刃尖部43与工具主体42的x方向上的宽度(刃宽)相同，但与刃宽正交的y方向上的厚度朝向末端逐渐变薄，末端的一部分形成为相同厚度。卡合部44与工具主体42的y方向上的厚度相同，但x方向上的宽度以从工具主体42的两侧面向外侧突出的方式形成为宽度较宽。
该卡合部44的台阶、即突出部的下表面44a从上方与未图示的工具保持器侧的突出部抵接。由此，在将工具41固定于工具保持器时，能够可靠地防止工具41由于振动等而落到下方。
产业上的可利用性
本发明的基板加工用工具能够防止由于加工中的振动等而从工具保持器脱落。
标号说明
1、41 工具
2、42 工具主体(保持部)
3、43 刃尖部
4 加工支承部(卡合部)
44 卡合部

Claims (5)

1.一种基板加工用工具，该基板加工用工具被安装于基板加工装置，其中，
该基板加工用工具具备：
工具主体，其至少一部分形成有保持部，该保持部被保持于所述基板加工装置的卡盘部；
刃尖部，其形成在所述工具主体的一端侧；和
卡合部，其形成在所述工具主体的另一端侧，比所述工具主体的表面突出。
2.根据权利要求1所述的基板加工用工具，其中，
在所述卡合部印有文字，在所述工具主体未印有文字。
3.根据权利要求1或2所述的基板加工用工具，其中，
所述工具主体的截面为圆形，
所述卡合部的截面是具有比所述工具主体的外径大的直径的圆形。
4.根据权利要求1至3中的任一项所述的基板加工用工具，其中，
所述保持部的截面是圆形，
所述刃尖部为如下形状：截面为圆形，并且随着从所述保持部到末端而变细。
5.根据权利要求1至4中的任一项所述的基板加工用工具，其中，
所述保持部和所述刃尖部在被卡紧于工具加工装置的状态下在同一工序中形成。
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