CN107003255B - 在基板上形成的部件的端子检查方法及基板检查装置 - Google Patents

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Abstract

基板检查装置包括投影部、照明部、图像获得部及处理部。投影部向检查对象物照射用于获得检查对象物的三维形状信息的光。照明部向检查对象物照射具有各不相同色彩的至少两个以上的光。图像获得部接收从投影部照射并被检查对象物反射的光，从而获得第一图像，接收从照明部照射并被检查对象物反射的光，从而获得第二图像。处理部从获得的第一图像获得亮度信息，从图像获得部获得的第二图像获得色相信息，利用获得的亮度信息及色相信息，获得检查对象物的端子的边界中至少一部分。因此，可以提高检查的准确性及可靠性。

Description

在基板上形成的部件的端子检查方法及基板检查装置
技术领域
本发明涉及部件的端子检查方法，更详细而言，涉及在基板上形成的部件的端子检查方法。
背景技术
一般而言，在电子装置内具备至少一个印刷电路板(printed circuit board；PCB)，在这种印刷电路板上加装有电路图案、连接焊盘部、与所述连接焊盘部电气连接的驱动芯片等多样的电路部件。
这种部件以各部件的端子(terminal)焊接(soldering)于印刷电路板的焊盘的方式加装，在加装后，需要***件是否正确焊接于印刷电路板。在这种检查时，为了提高检查的准确度，明确区分部件的端子区域和焊料区域极为重要。为了明确区分所述区域，找到所述部件的端子区域的边界，例如找到部件的端子末端(terminal end)极为重要。
以往采用在二维影像中找到部件的端子末端的方法，以及测量高度值后，以基准高度以上为临界值(threshold)进行二进制化后实施矩形拟合(rectangle fitting)来找到端子末端的方法等。
但是，端子末端部分由于光线散射严重，存在测量噪声(noise)，因而存在准确度和可靠性下降的问题。另外，例如，像笔记本电脑、平板电脑及手机等中搭载的部件一样，在部件的大小较小的情况下，与由拍摄影像的摄像头的分辨率决定的像素的大小相比，部件的大小非常小，因而存在误差加重的问题。
发明内容
解决的技术问题
因此，本发明要解决的课题是提供一种部件的端子检查方法，从而能够准确地设置在基板上形成的部件的端子的边界。
本发明要解决的另一课题是提供一种基板检查装置，从而能够准确设置在基板上形成的部件的端子的边界。
技术方案
本发明一个示例性实施例的部件的端子检查方法包括：向检查对象物照射用于获得所述检查对象物的三维形状信息的光，并接收反射的光从而获得第一图像，向所述检查对象物照射具有各不相同色彩的至少两个以上的光，并接收反射的光从而获得第二图像的步骤；从获得的所述第一图像获得亮度信息，从获得的所述第二图像获得色相信息的步骤；及利用获得的所述亮度信息及所述色相信息，获得所述检查对象物的端子的边界中至少一部分的步骤。
作为一个实施例，所述从获得的所述第一图像获得亮度信息、从获得的所述第二图像获得色相信息的步骤可以包括：合成所述第一图像及所述第二图像而生成合成图像的步骤；及从所述合成图像获得所述亮度信息及所述色相信息的步骤。
作为一个实施例，用于获得所述检查对象物的三维形状信息的光可以以垂直于所述检查对象物的平面的法线为基准，按第一倾斜角照射，具有各不相同色彩的至少两个以上的光可以至少包括第一彩色光及具有不同于所述第一彩色光的色彩的第二彩色光，且所述第一彩色光按小于所述第一倾斜角的第二倾斜角照射，所述第二彩色光按大于所述第一倾斜角的第三倾斜角照射。
利用所述获得的所述亮度信息及所述色相信息来获得所述检查对象物的端子的边界中至少一部分的步骤可以包括：在所述第一及第二图像的合成图像上，设置包含所述检查对象物的端子的检查区域的步骤；在所述检查区域内，沿着从所述端子的一侧边界朝向另一侧边界的方向(以下称为“基准方向”)，设置所述像素的色相从所述第一色彩变化为另一色彩的区间的步骤；在所述区间内，检测各像素的色相信息的变化及各像素的亮度信息的变化的步骤；及以所述各像素色相信息的变化及所述各像素亮度信息的变化为基础，获得所述端子的边界中至少一部分的步骤。
所述色相及所述亮度可以设置为针对各个像素而正规化的(normalized)定量的值，所述色相的变化及所述亮度的变化可以为沿所述基准方向的各像素色相值的变化及各像素亮度值的变化。
例如，所述第一色彩为红色，所述色相的变化沿所述基准方向，在所述区间增加，所述亮度的变化沿所述基准方向，在所述区间减小，所述端子的边界可以决定为基于所述各像素色相值变化的增加趋势线与基于所述各像素亮度值变化的减少趋势线的相交点。
所述部件的端子检查方法可以还包括：从所述第一图像获得高度数据的步骤；及利用所述高度数据来修正所述亮度信息的步骤。此时，利用所述获得的所述亮度信息及所述色相信息来获得所述检查对象物的端子的边界中至少一部分的步骤，可以利用所述修正的亮度信息及所述色相信息，获得所述检查对象物的端子的边界中至少一部分。作为一个实施例，在利用所述高度数据来修正所述亮度信息的步骤中，在所述高度数据中，在基准高度以下的情况下，可以将所述亮度信息设置为0。
本发明一个示例性实施例的基板检查装置包括投影部、照明部、图像获得部及处理部。所述投影部向所述检查对象物照射用于获得检查对象物的三维形状信息的光。所述照明部向所述检查对象物照射具有各不相同色彩的至少两个以上的光。所述图像获得部接收从所述投影部照射并被所述检查对象物反射的光，从而获得第一图像，接收从所述照明部照射并被所述检查对象物反射的光，从而获得第二图像。所述图像获得部从所获得的所述第一图像获得亮度信息，从所述图像获得部获得的所述第二图像获得色相信息，利用所述获得的亮度信息及色相信息，获得所述检查对象物的端子的边界中至少一部分。
作为一个实施例，所述处理部可以合成所述第一图像及所述第二图像而生成合成图像，从所述合成图像获得所述亮度信息及所述色相信息。
作为一个实施例，所述投影部可以配置至少一个，以垂直于所述检查对象物的平面的法线为基准，按第一倾斜角照射用于获得所述检查对象物的三维形状信息的光，所述照明部可以包括：第一照明部，其按小于所述投影部的第一倾斜角的第二倾斜角，向所述检查对象物照射具有第一色彩的第一彩色光；及第二照明部，其按大于所述投影部的第一倾斜角的第三倾斜角，向所述检查对象物照射具有不同于所述第一色彩的第二色彩的第二彩色光。
例如，所述处理部可以在所述第一及第二图像的合成图像上设置且包含所述检查对象物的端子的检查区域内，沿着从所述端子的一侧边界朝向另一侧边界的方向(以下称为“基准方向”)，设置所述像素的色相从所述第一色彩变化为另一色彩的区间，在所述区间内，以各像素色相信息的变化及各像素亮度信息的变化为基础，获得所述端子的边界中至少一部分。
作为一个实施例，所述色相及所述亮度可以设置为针对各个像素而正规化的(normalized)定量的值，所述色相的变化及所述亮度的变化可以为沿所述基准方向的各像素色相值的变化及各像素亮度值的变化。
例如，所述第一色彩为红色，所述色相的变化沿所述基准方向，在所述区间增加，所述亮度的变化沿所述基准方向，在所述区间减小，所述端子的边界可以决定为基于所述各像素色相值变化的增加趋势线与基于所述各像素亮度值变化的减少趋势线的相交点。
作为一个实施例，所述处理部可以从所述第一图像获得高度数据，利用所述高度数据来修正所述亮度信息，利用所述修正的亮度信息及色相信息，获得所述检查对象物的端子的边界中至少一部分。所述处理部可以在利用所述高度数据来修正所述亮度信息时，在所述高度数据中，在基准高度以下的情况下，将所述亮度信息设置为0。
发明效果
根据本发明，从用于获得检查对象物三维形状信息的图像和彩色图像，分别获得亮度信息及色相信息，由此获得检查对象物的端子边界，从而能够确保高准确性和可靠性，因此，可以提高检查的准确性及可靠性。
另外，可以从按图像的像素对所述亮度信息及所述色相信息进行量化的数据，获得所述检查对象物的端子边界，以所述各像素色相值变化的图表与所述各像素亮度值变化的图表的交点来决定端子末端，从而可以按子像素单位找出部件的端子的边界，即使在部件大小较小的情况下，也能够获得更准确的部件的端子的边界。
另外，不仅能够从用于获得检查对象物的三维形状信息的图像获得三维形状信息，而且，还用于亮度信息的提取，从而能够实现数据高效利用。
附图说明
图1是显示本发明一个实施例的基板检查装置的概念图。
图2是显示本发明一个实施例的部件的端子检查方法的流程图。
图3是显示图2中获得端子边界的过程的一个实施例的流程图。
图4是用于说明图3的获得端子边界的过程的概念图。
图5是显示关于图4所示检查区域的合成图像的图像。
图6是显示图5所示区间中色相及亮度变化的图表。
图7及图8是用于说明图5及图6的各像素的色相变化及各像素的亮度变化的概念图。
具体实施方式
本发明可以施加多样的变更，可以具有各种形态，在附图中示例性列举特定实施例并在正文中详细说明。但是，这并非要将本发明限定于特定的公开形态，应理解为包括本发明的思想及技术范围内包含的所有变更、等同物以及替代物。
第一、第二等术语可以用于说明多样的构成要素，但所述构成要素不得由所述术语所限定。所述术语只用于把一种构成要素区别于另一构成要素的目的。例如，在不超出本发明的权利范围的前提下，第一构成要素可以命名为第二构成要素，类似地，第二构成要素也可以命名为第一构成要素。
本申请中使用的术语只是为了说明特定的实施例而使用的，并非要限定本发明之意图。只要在文理上未明确表示不同，单数的表现包括复数的表现。在本申请中，“包括”或“具有”等术语应理解为是要指定说明书中记载的特征、数字、步骤、动作、构成要素、部件或它们组合的存在，不预先排除一个或其以上的其它特征或数字、步骤、动作、构成要素、部件或它们组合的存在或附加可能性。
只要未不同地定义，包括技术性或科学性术语在内，在此使用的所有术语具有与本发明所属技术领域的技术人员一般理解的内容相同的意义。
与一般使用的字典中定义的内容相同的术语应解释为具有与相关技术的文理上所具有的意义一致的意义，只要在本申请中未明确定义，不得解释为理想性地或过度地形式上的意义。
下面参照附图，更详细地说明本发明的优选实施例。
图1是显示本发明一个实施例的基板检查装置的概念图。
如果参照图1，本发明一个实施例的基板检查装置100可以包括投影部110、照明部120、图像获得部130及处理部140等。所述基板检查装置100可以提供用于作为检查对象物10的部件的端子的检查。此时，所述检查对象物10的端子意味着所述部件的一端部，既可以由一个形成，也可以由多个形成。
所述投影部110向所述检查对象物10照射用于获得检查对象物10的三维形状信息的光。
所述检查对象物10可以包括在基板20上形成的部件。所述基板20可以配置于平台(stage)30上。
作为一个实施例，所述投影部110可以将格子图案光朝向所述检查对象物10照射n次，为了照射相变的格子图案光，可以利用格子移送器具或利用液晶显示装置，将格子图案移送n次。后述的图像获得部130可以获得基于如上所述照射的格子图案光的格子图案图像。
所述投影部110可以沿垂直于所述检查对象物10的平面的方向，照射用于获得所述检查对象物10的三维形状信息的光，或以垂直于平面的法线为基准倾斜地照射，例如，如图1所示，可以按第一倾斜角a1照射。
所述投影部110可以配备多个。作为一个实施例，4个投影部110在平面地观测所述检查对象物10时，可以分别按等间隔隔开配置于将圆周外周四等分的位置。
如上所述，所述投影部110可以在预定位置配置多个，朝向各个所述检查对象物10，按既定倾斜角照射格子图案光。
所述照明部120为了获得所述检查对象物10的彩色图像，向所述检查对象物10照射具有各不相同色彩的至少两个以上的光。
作为一个实施例，所述照明部120可以包括第一照明部122、第二照明部124及第三照明部126。
例如，所述第一照明部122可以按第二倾斜角a2，向所述检查对象物10照射第一彩色光，所述第二照明部124可以按第三倾斜角a3，向所述检查对象物10照射第二彩色光，所述第三照明部126可以按第四倾斜角a4，向所述检查对象物10照射第三彩色光。
其中，所述第二倾斜角a2小于所述投影部110的第一倾斜角a1，所述第三倾斜角a3及所述第四倾斜角a4大于所述投影部110的第一倾斜角a1。所述第一、第二及第三彩色光可以具有互不相同的色彩，例如，可以分别具有红色、绿色及蓝色的色彩。
所述第一照明部122、所述第二照明部124及所述第三照明部126可以分别具有环形状，例如，可以由发光二极管(LED)照明连续配置，分别发生环形状的单色照明。
另一方面，所述第一照明部122可以将所述第二倾斜角a2设置为0度或几乎0度(例如，0度～10度)，以便几乎垂直地照射所述检查对象物10。此时，所述第一照明部122相对于所述图像获得部130，可以为同轴(coaxial)照明。另外，所述第一照明部122可以不具有环形状，根据机构配置设计的适合性，所述第一照明部122可以配置于所述图像获得部130的周围，采用变更光路径的镜子(mirror)或分束镜(beam splitter)等，以便向垂直下方照射所述第一照明部122发生的光。此时，所述第一照明部122射出的光的倾斜角可以以垂直于所述检查对象物10的平面的法线为基准，设置为90度或几乎90度(例如，85度～95度)，经由所述镜子或分束镜而向所述检查对象物10照射的所述第二倾斜角a2与前面说明的情形相同，可以设置为0度或几乎0度(例如，0度～10度)。
所述图像获得部130接收从所述投影部110照射并被所述检查对象物10反射的光，从而获得第一图像，接收从所述照明部120照射并被所述检查对象物10反射的光，从而获得第二图像。所述图像获得部130例如可以包括用于获得图像的摄像头。
这种所述图像获得部130由至少一个构成，可以以垂直于所述检查对象物10的平面的方向或垂直于平面的法线为基准，在倾斜状态下获得所述图像。
例如，各图像获得部130可以在垂直于平面的方向具备至少一个摄像头，在倾斜状态下具备至少一个摄像头，获得至少一个的第一图像及第二图像。
所述第一图像可以包括基于所述格子图案光的格子图案图像，在多个格子图案图像中，例如，可以应用周知的桶算法(bucket algorithm)，获得所述检查对象物10的三维形状信息。
所述第二图像作为利用至少2个彩色光而获得的图像，是所述检查对象物10的平面彩色图像。
所述处理部140从所述图像获得部130获得的所述第一图像获得亮度信息，从所述图像获得部130获得的所述第二图像获得色相信息。
通过所述图像获得部130获得的所述第一图像可以通过图像处理而转换为黑白图像或单色图像。例如，所述第一图像为格子图案图像时，通过对多个格子图案图像进行平均化的图像处理，可以生成黑白图像。因此，所述处理部140可以从所述第一图像获得亮度信息。此时，所述第一图像例如应用诸如周知的桶算法(bucket algorithm)的方式，从而当然能够为了获得三维形状信息而利用。而且，所述第一图像还可以用于如上所述的亮度信息的提取，因而能够实现数据的高效利用。
通过所述图像获得部110获得的所述第二图像是利用至少2个彩色光而获得的图像，因而包含色相信息。因此，所述处理部140可以从所述第二图像获得色相信息。
所述处理部140利用所述获得的亮度信息及色相信息，获得所述检查对象物10的端子的边界中至少一部分。
另一方面，所述亮度信息及所述色相信息意味着作为颜色三属性的色相(hue)、彩度(chroma or saturation)及亮度(brightness)中关于亮度和色相的信息。所述色相、彩度及亮度为了数字图像处理而可以量化。例如，所述色相、彩度及亮度可以表现为HIS、HSV、HSL等，H意味着hue，S意味着saturation。另外，I、V、L代表亮度，分别意味着intensity、value、lightness。
所述处理部140也可以合成所述第一图像及所述第二图像而生成合成图像，从所述合成图像获得所述亮度信息及所述色相信息。
所述处理部140可以是能够执行如上所述图像处理等的装置，例如，可以包括执行相应图像处理的嵌入式SW驱动部、计算机等。所述处理部140也可以控制所述的构成要素，即，可以控制所述投影部110、所述照明部120、所述图像获得部130等的动作。
另一方面，所述处理部140可以从所述第一图像获得高度数据，利用所述高度数据来修正所述亮度信息。例如，所述高度数据可以包括代表高度分布的图像、代表高度分布的分布图(map)、各位置的高度值本身等。
例如，所述处理部140利用所述高度数据来修正所述亮度信息时，在所述高度数据中，在基准高度以下的情况下，可以将所述亮度信息设置为0，以此种方式进行修正。即，在获得的所述亮度信息中，与预先设置的基准高度以下的高度相应部分如阴影区域所示，是实际上存在于端子区域外部的区域的可能性很高，因而此时的亮度信息可以设置为0。
另外，获得的所述亮度信息例如可以为intensity、value、lightness中的任意一种形态，所述亮度信息在修正时可以修正为其他形态。例如，当获得的所述亮度信息为intensity时，所述亮度信息可以修正为value形态。
另一方面，在如上所述的亮度信息修正时，可以运用利用直方图的图像处理。
所述处理部140可以利用所述修正的亮度信息及色相信息，获得所述检查对象物的端子的边界中至少一部分。
下面参照附图，详细说明一个示例的用于利用如上所述基板检查装置100来检查在所述基板20上形成的部件10的端子的方法。
图2是显示本发明一个实施例的部件的端子检查方法的流程图。
如果参照图1及图2，首先，照射用于获得三维形状信息的光而获得第一图像(S110)。
作为一个实施例，所述投影部110向所述检查对象物10照射用于获得所述检查对象物10三维形状信息的格子图案光，所述图像获得部130可以接收所述格子图案光被所述检查对象物10反射的光并获得第一图像。
如图1中所作的说明，可以以垂直于所述检查对象物的平面的法线为基准，按第一倾斜角a1照射用于获得所述检查对象物10的三维形状信息的光。
接着，照射各不相同的彩色光而获得第二图像(S120)。
作为一个实施例，所述照明部120向所述检查对象物10照射具有各不相同色彩的至少两个以上的光，所述图像获得部130可以接收所述彩色光被所述检查对象物10反射的光而获得第二图像。
如图1中所作的说明，所述光可以包括互不相同色彩的第一彩色光、第二彩色光及第三彩色光，所述第一彩色光按小于所述第一倾斜角a1的第二倾斜角a2照射，所述第二彩色光及所述第三彩色光可以分别按大于所述第一倾斜角a1的第三倾斜角a1及第四倾斜角a4照射。作为一个实施例，所述第一、第二及第三彩色光分别为红色光、绿色光及蓝色光。
另一方面，获得所述第一图像的过程S110及获得所述第二图像的过程S120不限定于该顺序。因此，既可以获得第二图像后获得第一图像，也可以交替获得多个第一图像及多个第二图像。
然后，从第一及第二图像分别获得亮度信息及色相信息(S130)。
此时，也可以首先合成所述第一图像及所述第二图像而生成合成图像，接着，从所述合成图像获得所述亮度信息及所述色相信息。
另一方面，如上所述获得的第一及第二图像或所述合成图像为了容易、准确地获得图像所述亮度信息及所述色相信息，可以执行预定的图像处理。例如，所述第一图像或对所述第一图像进行平均化而生成的黑白图像可以通过如下方法强化(enhancement)或修正所述亮度信息，即，针对预先设置的基准高度以上的赋予亮度值，针对不足所述基准高度的，将亮度值设置为0。另外，可以通过对在所述第二图像或所述合成图像中出现的R、G、B值或H、S、V值给以加权值等方法来强化所述色相信息。
接着，利用获得的所述亮度信息及所述色相信息，获得端子边界中至少一部分(S140)。
如上所述获得亮度信息及色相信息的过程S130及获得端子边界中至少一部分的过程S140可以在所述处理部140中执行。
图3是显示图2中获得端子边界的过程的一个实施例的流程图，图4是用于说明图3的获得端子边界的过程的概念图。
如果参照图1、图3及图4，首先，在所述第一及第二图像的合成图像上设置检查区域IA(S142)。
所述检查区域IA设置得包含作为所述检查对象物10的部件的端子10a。
接着，在所述检查区域IA内，沿着从所述端子一侧边界B1朝向另一侧边界B2的方向(以下称为“基准方向”)RD，设置所述像素的色彩从所述第一色彩变化为另一色彩的区间(S144)。
图5是显示关于图4所示检查区域的合成图像的图像，图6是显示图5所示区间中色相及亮度变化的图表。
如果参照图5及图6，在所述检查区域IA内的任意一列，可以设置与所述第一色彩相应的红色变化成另一色彩的区间CS。出于便利而如图5所示定义图像的坐标系XY时，例如，在与Y＝y1相应的像素列中，红色变化为另一色彩的区间是与X＝x1、X＝x2、X＝x3对应的像素区间。
如果重新参照图1、图3及图4，接下来，在所述区间内检测各像素色相信息的变化及各像素亮度信息的变化(S146)。所述色相的变化及所述亮度的变化可以为沿着所述基准方向RD的各像素色相值的变化及各像素亮度值的变化。
所述色相及所述亮度可以设置为针对各个像素进行正规化的(normalized)定量的值。例如，正如图1中所作的说明，色相、亮度及彩度可以表现为HIS、HSV、HSL等。作为一个实施例，在图6中，利用HSV进行量化，所述色相量化为H(hue)，所述亮度量化为V(value)。
接着，以所述各像素色相信息的变化及所述各像素亮度信息的变化为基础，获得所述端子的边界中至少一部分(S148)。
图7及图8是用于说明图5及图6的各像素色相的变化及各像素亮度的变化的概念图。
如果参照图1及图7，就所述部件的端子10a而言，以垂直于所述检查对象物10的平面的法线为基准，以小倾斜角照射的光大量入射到所述图像获得部130，以大倾斜角照射的光少量入射到所述图像获得部130。因此，所述照明部120中以最大倾斜角照射光的所述第一照明部122所照射的第一彩色光最多地入射到所述图像获得部130。
相反，如果参照图1及图8，就邻接所述部件的端子10a形成的焊料40而言，以垂直于所述检查对象物10的平面的法线为基准，以小倾斜角照射的光少量地入射到所述图像获得部130，以大倾斜角照射的光大量地入射所述图像获得部130。因此，所述照明部120的第一照明部122所照射的第一彩色光最少地入射到所述图像获得部130。
如上所述，会在所述部件的端子10a的作为边界的端子末端发生急剧的色相变化。因此，可以将以最小倾斜角照射到所述检查对象物10的所述第一彩色光的第一色彩在所述第二图像上急剧变化的地点视为端子末端。
另一方面，所述照明部120的多个彩色光因光线的散射而可能无法按所希望的得到检测到，由于光量不足，在所述第二图像中，各色彩可能无法明确区分。因此，仅凭借所述色相的变化来决定所述部件的端子末端存在困难，其结果也可能不准确。
借助于所述投影部110而获得的第一图像可以完善这种问题。
用于获得所述检查对象物10的三维形状信息的、基于所述投影部110的第一图像或所述第一图像的变化图像，根据高度而在所述部件的端子10a显示得明亮，在周边显示得黑暗。
例如，所述投影部110正如图1中所作的说明，可以朝向所述检查对象物10，以既定的倾斜角照射格子图案光，通过所述图像获得部130获得的所述第一图像可以通过图像处理，变换成黑白图像或单色光图像。如上所述经图像处理而转换的图像，根据高度而在所述部件的端子10a显示得明亮，在周边显示得黑暗，因此，可以将所述变换的图像中从亮度高的部分急剧变化到低的部分的地点视为端子末端。
因此，在前面说明的色相信息变化的基础上，利用了亮度信息的变化，因而可以决定诸如端子末端的所述部件的端子10a边界的至少一部分。
如果重新参照图5及图6，作为一个示例，当所述第一色彩为红色时，在所述检查区域IA内的任意一列内设置的区间CS中，所述色相(hue)沿着所述基准方向RD，在所述区间CS增加，所述亮度(value)沿着所述基准方向RD，在所述区间CS减少。
具体而言，在所述区间CS中，所述各像素的色相在X＝x1中显示为H＝h1，而后增加为X＝x2、X＝x3，因而增加到H＝h2、H＝h3，所述各像素的亮度在X＝x1中显示为V＝v1，而后随着增加为X＝x2、X＝x3，因此，减小为V＝v2、V＝v3。
这两个图表的交点在X＝xt形成，如果全部考虑所述色相信息的变化及所述亮度信息的变化，则可以将所述交点推定为所述部件的端子末端。
如上所述，所述端子10a的作为边界的端子末端可以决定为基于所述各像素色相值变化的增加趋势线与基于所述各像素亮度值变化的减少趋势线的相交点。因此，可以按子像素(sub-pixel)单位找出部件的端子的边界，即使在部件的大小较小的情况下，也能够获得更准确的部件的端子的边界。
另一方面，在图5的XY坐标系上，可以决定各列的端子末端，即根据Y坐标决定所述端子末端，利用决定的端子末端，设置端子末端的边界。此时，可以针对基于Y坐标的所述端子末端，利用诸如最小二乘法的方法，获得端子末端的边界。
可以利用如上所述决定的部件的端子的边界，检查所述部件的端子有无不良。
另一方面，所述部件的端子检查方法可以还包括：从所述第一图像获得高度数据的步骤及利用所述高度数据来修正所述亮度信息的步骤。例如，所述高度数据可以包括代表高度分布的图像、代表高度分布的分布图、各位置高度值本身等。
例如，在所述利用高度数据来修正所述亮度信息的步骤中，在所述高度数据中，在基准高度以下的情况下，可以将所述亮度信息设置为0，以此种方式进行修正。即，在获得的所述亮度信息中，与预先设置的基准高度以下的高度相应的部分如阴影区域所示，是实际上存在于端子区域外部的区域的可能性很高，因而此时的亮度信息可以设置为0。
另外，获得的所述亮度信息例如可以为intensity、value、lightness中的任意一种形态，所述亮度信息在修正时可以修正为其他形态。例如，当获得的所述亮度信息为intensity时，所述亮度信息可以修正为value形态。
另一方面，在如上所述的亮度信息修正时，可以运用利用直方图的图像处理。
因此，利用所述获得的所述亮度信息及所述色相信息来获得端子边界中至少一部分的步骤S140，可以利用所述修正的亮度信息及所述色相信息，获得所述检查对象物的端子的边界中至少一部分。
根据如上所述的部件的端子检查方法及基板检查装置，从用于获得检查对象物的三维形状信息的图像和彩色图像，分别获得亮度信息及色相信息，由此获得检查对象物的端子边界，从而能够确保高准确性和可靠性，因此，能够提高检查的准确性及可靠性。
另外，可以从按图像的像素而对所述亮度信息及所述色相信息进行量化的数据，获得所述检查对象物的端子边界，将所述各像素色相值变化的图表与所述各像素亮度值变化的图表的交点决定为端子末端，从而可以按子像素单位找出部件的端子的边界，即使在部件大小较小的情况下，也能够获得更准确的部件的端子的边界。
另外，不仅能够从用于获得检查对象物的三维形状信息的图像获得三维形状信息，而且，还用于亮度信息的提取，从而能够实现数据高效利用。
在前面说明的本发明的详细说明中，参照本发明的优选实施例进行了说明，但只要是相应技术领域的熟练从业人员或相应技术领域的普通技术人员，便能够在不超出后述的专利权利要求书记载的本发明的思想及技术领域的范围内，多样地修改及变更本发明。因此，前述说明及下面的附图应解释为并非限定本发明的技术思想，而是对本发明的示例。

Claims (14)

1.一种部件的端子检查方法，其中，包括：
向检查对象物照射用于获得所述检查对象物的三维形状信息的光，并接收反射的光从而获得第一图像，向所述检查对象物照射具有各不相同色彩的至少两个以上的光，并接收反射的光，从而获得第二图像的步骤；
从获得的所述第一图像获得亮度信息，从获得的所述第二图像获得色相信息的步骤；
利用获得的所述亮度信息及所述色相信息，生成所述第一图像和所述第二图像的合成图像的步骤；
在所述合成图像上设置包含所述检查对象物的端子的检查区域的步骤；
在所述检查区域内检测各像素的色相信息的变化及各像素的亮度信息的变化的步骤；及
基于所述各像素色相信息的变化及所述各像素亮度信息的变化，对所述合成图像上的端子区域和焊料区域进行区分的步骤。
2.根据权利要求1所述的部件的端子检查方法，其中，
用于获得所述检查对象物的三维形状信息的光以垂直于所述检查对象物的平面的法线为基准，按第一倾斜角照射，
具有各不相同色彩的至少两个以上的光至少包括第一彩色光及具有不同于所述第一彩色光的色彩的第二彩色光，且所述第一彩色光按小于所述第一倾斜角的第二倾斜角照射，所述第二彩色光按大于所述第一倾斜角的第三倾斜角照射。
3.根据权利要求1所述的部件的端子检查方法，
在所述设置检查区域的步骤后，还包括：
在所述检查区域内，沿着基准方向设置像素的色相从第一色彩变化为另一色彩的区间的步骤，
其中，所述基准方向为从所述端子的一侧边界朝向另一侧边界的方向；
其中，在所述区间内，检测各像素的色相信息的变化及各像素的亮度信息的变化；
在所述检测变化的步骤后，进一步包括：
以所述各像素色相信息的变化及所述各像素亮度信息的变化为基础，获得所述端子的边界中至少一部分的步骤。
4.根据权利要求3所述的部件的端子检查方法，其中，
所述色相及所述亮度设置为针对各个像素而正规化的定量的值，所述色相的变化及所述亮度的变化为沿所述基准方向的各像素色相值的变化及各像素亮度值的变化。
5.根据权利要求4所述的部件的端子检查方法，其中，
所述第一色彩为红色，所述色相的变化沿所述基准方向，在所述区间增加，所述亮度的变化沿所述基准方向，在所述区间减小，所述端子的边界决定为基于所述各像素色相值变化的增加趋势线与基于所述各像素亮度值变化的减少趋势线的相交点。
6.一种部件的端子检查方法，其中，包括：
向检查对象物照射用于获得所述检查对象物的三维形状信息的光，并接收反射的光从而获得第一图像，向所述检查对象物照射具有各不相同色彩的至少两个以上的光，并接收反射的光，从而获得第二图像的步骤；
从获得的所述第一图像获得亮度信息，从获得的所述第二图像获得色相信息的步骤；及利用获得的所述亮度信息及所述色相信息，获得所述检查对象物的端子的边界中至少一部分的步骤；
从所述第一图像获得高度数据的步骤；及
利用所述高度数据来修正所述亮度信息的步骤，
利用获得的所述亮度信息及所述色相信息来获得所述检查对象物的端子的边界中至少一部分的步骤是，利用所述修正的亮度信息及所述色相信息，获得所述检查对象物的端子的边界中至少一部分。
7.根据权利要求6所述的部件的端子检查方法，其中，
在利用所述高度数据来修正所述亮度信息的步骤中，在所述高度数据中，在基准高度以下的情况下，将所述亮度信息设置为0。
8.一种基板检查装置，其中，包括：
投影部，其向所述检查对象物照射用于获得检查对象物的三维形状信息的光；
照明部，其向所述检查对象物照射具有各不相同色彩的至少两个以上的光；
图像获得部，其接收从所述投影部照射并被所述检查对象物反射的光，从而获得第一图像，接收从所述照明部照射并被所述检查对象物反射的光，从而获得第二图像；及
处理部，其从所述图像获得部获得的所述第一图像获得亮度信息，从所述图像获得部获得的所述第二图像获得色相信息，并利用所述获得的亮度信息及色相信息，生成所述第一图像和所述第二图像的合成图像，
所述处理部，在所述合成图像上设置包含所述检查对象物的端子的检查区域，在所述检查区域内检测各像素的色相信息的变化及各像素的亮度信息的变化，并基于所述各像素色相信息的变化及所述各像素亮度信息的变化，对所述合成图像上的端子区域和焊料区域进行区分。
9.根据权利要求8所述的基板检查装置，其中，
所述投影部配置至少一个，以垂直于所述检查对象物的平面的法线为基准，按第一倾斜角照射用于获得所述检查对象物的三维形状信息的光，
所述照明部包括：第一照明部，其按小于所述投影部的第一倾斜角的第二倾斜角，向所述检查对象物照射具有第一色彩的第一彩色光；及
第二照明部，其按大于所述投影部的第一倾斜角的第三倾斜角，向所述检查对象物照射具有不同于所述第一色彩的第二色彩的第二彩色光。
10.根据权利要求9所述的基板检查装置，其中，
所述处理部在所述第一及第二图像的合成图像上设置且包含所述检查对象物的端子的所述检查区域内，沿着基准方向设置像素的色相从所述第一色彩变化为另一色彩的区间，在所述区间内，以所述各像素色相信息的变化及所述各像素亮度信息的变化为基础，获得所述端子的边界中至少一部分，其中，基准方向为从所述端子的一侧边界朝向另一侧边界的方向。
11.根据权利要求10所述的基板检查装置，其中，
所述色相及所述亮度设置为针对各个像素而正规化的定量的值，所述色相的变化及所述亮度的变化为沿所述基准方向的各像素色相值的变化及各像素亮度值的变化。
12.根据权利要求11所述的基板检查装置，其中，
所述第一色彩为红色，所述色相的变化沿所述基准方向，在所述区间增加，所述亮度的变化沿所述基准方向，在所述区间减小，所述端子的边界决定为基于所述各像素色相值变化的增加趋势线与基于所述各像素亮度值变化的减少趋势线的相交点。
13.一种基板检查装置，其中，包括：
投影部，其向所述检查对象物照射用于获得检查对象物的三维形状信息的光；
照明部，其向所述检查对象物照射具有各不相同色彩的至少两个以上的光；
图像获得部，其接收从所述投影部照射并被所述检查对象物反射的光，从而获得第一图像，接收从所述照明部照射并被所述检查对象物反射的光，从而获得第二图像；及
处理部，其从所述图像获得部获得的所述第一图像获得亮度信息，从所述图像获得部获得的所述第二图像获得色相信息，利用所述获得的亮度信息及色相信息，获得所述检查对象物的端子的边界中至少一部分；
所述处理部从所述第一图像获得高度数据，利用所述高度数据来修正所述亮度信息，利用所述修正的亮度信息及色相信息，获得所述检查对象物的端子的边界中至少一部分。
14.根据权利要求13所述的基板检查装置，其中，
所述处理部在利用所述高度数据来修正所述亮度信息时，在所述高度数据中，在基准高度以下的情况下，将所述亮度信息设置为0。
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