CN105985012B - 划线设备 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种划线设备，包括：基板供给部件，其接收基板并且沿传送路线传送所述基板；基板传送部件，其设置为与基板供给部件间隔开，接收从基板供给部件提供的基板，并且沿传送路线连续地传送基板，以便将基板定位在用于后续过程的区域中；基板传送单元，其设置有用于夹紧基板的多个夹紧单元，并且沿传送路线移动以传送基板；以及第一传送带和第二传送带，其分别设置在基板供给部件和基板传送部件中，其中，第一传送带和第二传送带容纳用于夹紧基板的多个夹紧单元，以便将基板的底表面放置在第一传送带和第二传送带的上表面上。

Description

划线设备

技术领域

本发明涉及一种划线设备，其用于减少夹紧并传送基板的基板传送单元和传送带之间的干扰，并且用于防止在传送带上传送的基板的损坏。

背景技术

通常，使用单元玻璃面板(下文称为“单元基板”)来制造用作平板显示器的LCD面板、有机电致发光面板、无机电致发光面板、透射式投影仪基板、反射式投影仪基板等，单元玻璃面板通过将例如玻璃等易碎的玻璃母板(下文称为“基板”)切割成预定尺寸而获得。

切割基板的过程包括划线过程和裂片过程，所述划线过程为通过由钻石等制成的刀轮沿着形成在基板的表面上的预定切割线按压并移动来形成刻线，而所述裂片过程为沿刻线切割基板以获得单元基板。

通常，通过带式划线设备进行切割基板的过程。

一般的带式划线设备设置有用于各自的过程的单独的带。

例如，通过传送单元将基板提供到带中的任何一个，然后在传送方向上传送，将传送的基板递送到另一个带以执行划线过程，然后将划线的基板递送到另一个带以执行裂片过程和拾取过程。

在这种情况下，可以在各自的带之间进行例如划线过程或裂片过程的过程，因此，所述带不可避免地设置为在带之间形成具有预定间距的分离空间。

在如上所述将带设置为以预定间距彼此间隔开的情况下，存在的问题在于，当划线的基板或者裂片的单元基板经过分离空间时，单元基板周围的不工作部分通过带之间的分离空间掉落，或者因带之间的平坦度或高度的不同造成传送的基板发生偏移。

此外，当通过切割基板获得单元基板，然后在带上传送时，经常存在的问题在于，前面的单元基板和后面的单元基板通过彼此碰撞而损坏。

原因在于，在基板和带之间存在预定的摩擦力，并且由于带通常是由能够延伸和能够收缩的材料制成的，实际上操作带的时间点和移动基板的时间点之间存在时间差。

为了解决上述问题，曾经尝试使前面的带和到后面的带同步，并且同时以相同的速度操作前面的带和后面的带，但是在将上述方法应用于实际过程中的情况下，不能够防止带通过基板的重量延伸并收缩的问题，因此，上述问题仍然有待解决。

此外，为了保持多个单元过程的精确性，重要的是允许基板的整个底表面稳定地放置在传送带的上表面上。

然而，在基板的一个端部被夹紧单元等夹紧的状态下传送基板的情况下，在将被加紧单元夹紧的基板的一个端部完全放置在传送带上之前，从加紧单元中释放基板，因此，常常发生的问题在于，基板的整个底表面不能稳定地放置在传送带的上表面上。

发明内容

本发明致力于提供一种划线设备，其能够减少夹紧并传送基板的基板传送单元和传送带之间的干扰。

本发明还致力于提供一种划线设备，为了执行后续过程，其能够在基板的整个底表面稳定地放置在后续基板传送带的上表面上的状态下，递送被夹紧单元等夹紧、然后在设置为与彼此间隔开的传送带之间传送的基板。

本发明还致力于提供一种划线设备，其用于当由划线过程或裂片过程将基板切割成单元基板、然后用带传送单元基板时，通过防止单元基板之间的碰撞减少缺陷率。

本发明的一个示例性实施方式提供了一种划线设备，包括：基板供给部件，其接收基板并且沿传送路线传送基板；基板传送部件，其设置为与基板供给部件间隔开，接收从基板供给部件提供的基板，并且沿传送路线连续地传送基板，以便将基板定位在用于后续过程的区域中；基板传送单元，其设置有用于夹紧基板的多个夹紧单元，并且沿传送路线移动以传送基板；以及第一传送带和第二传送带，其分别设置在基板供给部件和基板传送部件中，其中，第一传送带和第二传送带容纳用于夹紧基板的多个夹紧单元，以便将基板的底表面放置在第一传送带和第二传送带的上表面上。

可以将基板在竖直方向或者水平方向上提供到基板供给部件的第一传送带。

第一传送带和第二传送带可以具有用于容纳多个夹紧单元的容纳部分，以便将基板的底表面放置在传送带的主体上。

容纳部分可以具有用于容纳多个夹紧单元的多个凹槽，并且容纳部分以彼此间隔开预定间距的方式设置在传送带的主体中，以便将基板传送单元连续地容纳在容纳部分中。

所述预定间距可以设定为与基板传送部件的驱动距离成比例。

第一传送带和第二传送带可以是平带。

划线设备还可以包括：划线单元，其以在与传送方向正交的方向上切割基板的方式设置在基板供给部件和基板传送部件之间；以及过程控制单元，其定位在第二传送带中的至少一个位置处，并且通过按压或者释放第二传送带，控制第二传送带的驱动速度，其中，通过划线单元切割基板，生产放置在第一传送带上的第一单元基板和放置在第二传送带上的第二单元基板。

可以通过过程控制单元以异步方式控制第一传送带和第二传送带，以便连续地传送第一单元基板和第二单元基板，从而在第一单元基板和第二单元基板彼此接触的状态下，定位在用于后续过程的区域中。

可以通过过程控制单元以异步方式控制第一传送带和第二传送带，以便连续地传送第一单元基板和第二单元基板，从而在第一单元基板和第二单元基板彼此间隔开的状态下，定位在用于后续过程的区域中。

根据本发明的示例性实施方式，能够减少夹紧并传送基板的基板传送单元和传送带之间的干扰，由此，稳定地传送基板。

此外，为了执行后续过程，根据本发明的划线设备可以在将基板的整个底表面稳定地放置在后续的传送带的上表面上的状态下，递送由夹紧单元等夹紧然后在设置为彼此间隔开的传送带之间传送的基板。

此外，根据本发明的划线设备可以通过防止当通过划线过程和裂片过程将基板切割成单元基板、然后用带传送单元基板时，单元基板之间的碰撞，防止单元基板不希望的损坏。

此外，根据本发明的划线设备使用重量辊控制传送带的运动方向，并且当传送基板时，保持传送带的恒定的张力，以便能够解决由带的延伸和收缩造成的问题，并且能够保持传送带的恒定张力。

此外，根据本发明的划线设备可以通过使用重量辊，有效地防止在移动传送带时打滑。

附图说明

图1是示意性示出了根据本发明的一个示例性实施方式的划线设备的俯视图。

图2A和图2B是示意性示出了根据本发明的示例性实施方式的第一传送带和第二传送带的立体图。

图3A至图3C是示意性示出了根据本发明的示例性实施方式的传送基板的过程的视图。

图4是示出了根据本发明的示例性实施方式的导引件的视图。

图5是示出了根据本发明的另一个示例性实施方式的导引件的视图。

图6是示意性示出了根据本发明的另一个示例性实施方式的传送基板的过程的视图。

图7是示出了根据本发明的示例性实施方式的重量辊的视图。

图8和图9是示意性示出了根据本发明的又一个示例性实施方式的传送基板的过程的视图。

图10A至图10D是示意性示出了根据本发明的示例性实施方式的传送并切割基板的过程的视图。

图11A至图11E是示意性示出了根据本发明的另一个示例性实施方式的传送并切割基板的过程的视图。

具体实施方式

为了帮助容易地理解本发明，方便起见，这里定义了具体的术语。除非本文另有定义，本发明中使用的所有术语，包括技术或者科学术语，具有本领域技术人员通常理解的含义。此外，应当理解的是，除非上下文中另有明确规定，本文使用的单数表达包括其复数表达，并且复数表达也包括其单数表达。

包括例如“第一”、“第二”等的序数词的术语可以用于描述各种组成元件，但是所述组成元件不局限于这些术语。这些术语仅用于区别一个组成元件和另一个组成元件。

下文将参考附图更加详细地描述根据本发明的示例性实施方式的划线设备的配置，以及使用所述划线设备传送并切割基板的过程原理。

图1是示意性示出了根据本发明的一个示例性实施方式的划线设备的俯视图。

参考图1，根据本发明的示例性实施方式的划线设备主要包括：基板供应部件100，其提供基板P并且沿传送路线传送基板P；以及基板传送部件200，其设置为与基板供应部件100间隔开，从基板供应部件100接收基板P，并且连续地沿传送路线传送基板P，从而将基板P放置在用于后续过程的区域中。

基板供应部件100和基板传送部件200分别设置有第一传送带110和第二传送带210，其能够像履带一样旋转。这里，第一传送带110和第二传送带210是水平的，并且以彼此平行的方式设置。

即，第一传送带110和第二传送带210之间没有高度水平差。在第一传送带110和第二传送带210之间存在高度水平差的情况下，水平差作为对被传送的基板P造成影响的因素，其可能在传送基板的过程中产生缺陷。

此外，提供了一种基板传送单元120，其移动从而沿传送路线在基板供应部件100和基板传送部件200上传送基板P。

通过承载单元等提供到基板供应部件100的基板P被基板传送单元120保持，然后以预定速度在传送方向上传送。在这种情况下，基板传送单元120具有用于夹紧基板P的一个端部的多个夹紧单元121。

在被基板传送单元120夹紧一个端部的状态下，将基板P递送到基板传送部件200。为了后续过程的目的，再次在传送方向上传送通过基板传送单元120递送到基板传送部件200的基板P。

图2A和图2B分别是示意性示出了根据本发明的示例性实施方式的设置在基板供应部件100和基板传送部件200中的第一传送带110和第二传送带210的立体图。

参考图2A和图2B，分别以能够像履带一样旋转的方式设置在基板供应部件100和基板传送部件200中的传送带110和210包括：容纳部分130和290，其用于容纳基板传送单元120的多个夹紧单元121；以及导引辊140和240，其用于支撑传送带110和210的旋转。

这里，导引辊可以至少设置为在各自的传送带110和210的两个端部处，彼此在竖直方向上间隔开，并且可以在传送带110和210的左端部和右端部处支撑旋转。

容纳部分130和290具有多个凹槽131和291，其用于容纳多个夹紧单元121，并且多个凹槽131和291设置为在传送带110和210的宽度方向上，以与夹紧单元121彼此间隔开的间距相同的间距彼此间隔开。为了防止传送带110和210以及基板传送单元120之间的干扰，凹槽131和291可以至少具有比夹紧单元121更宽的宽度。

此外，容纳部分130和290设置为以预定间距d在传送带110和210的长度方向上彼此间隔开，从而连续地容纳基板传送单元120。

这里，可以将间距d设定为与根据基板供应部件100的旋转的基板P的传送速度、基板传送单元120的传送速度和驱动距离等成比例。

传送带110和210可以配置为平带。

通常，使用在长度方向上延伸并且以平行方式设置的多个带，但是在这种情况下，多个带的平坦度(高度)需要保持为彼此相等。

如果多个带设置在不同高度处，则在传送基板时，基板不能稳定地放置在带上，这可能造成基板的安装误差，并且增加后续过程的不精确性。

因此，在本发明中，基板P放置在其上的带配置为平带，由此允许在各自的传送带上传送的基板P的整个底表面放置在传送带上。

此外，构成传送带110和210的平带以能够旋转的方式设置为履带的形式，并且在这种情况下，平带的两个端部通过粘合剂彼此接附，从而使平带配置为履带的形式。

然而，当平带的两个端部彼此接附时，通过粘合剂形成的接附表面需要设置在平带的下侧处(即，在不与基板P接触的区域中)。如果接附表面形成在基板P放置在其上的平带的上表面上，则施加到基板P的摩擦力的量在接附表面形成在其中的区域和其中没有形成接附表面的区域必然不同，因此，平带的张力可以根据放置基板P的位置而不同。

在基板P的一个端部被基板传送单元120保持的状态下，将基板P从承载单元提供到基板供应部件100，并且在这种情况下，基板传送单元120可以在竖直或者水平方向上提供基板P。

即，当容纳部分130定位在基板供应部件100的起点处时，基板传送单元120可以以平行于基板供应部件100的方式在传送方向上移动，以便将多个夹紧单元121容纳在设置在传送带110的容纳部分130的多个凹槽131中。

在另一个改进的实施方式中，当容纳部分130定位在基板供应部件100的起点处时，基板传送单元120可以从基板供应部件100的顶侧竖直地移动，以便将多个夹紧单元121容纳在设置在传送带110的容纳部分130的多个凹槽131中。

通过这种方式，基板传送单元120可以在竖直和水平方向上将基板P提供到基板供应部件100，因此，可以将基板传送单元120应用于各种类型的装置。此外，在一些情况下，基板传送单元120配置为在垂直于基板供应部件100的方向上提供基板P，由此减少设备的整体尺寸。

如上所述，基板传送单元120允许多个夹紧单元121容纳在设置在传送带110的容纳部分130中的多个凹槽131中，因此，通过夹紧单元121夹紧的基板P的整个底表面可以稳定地放置在传送带110上。

此外，由于将多个夹紧单元121容纳在多个凹槽131中，所以能够防止夹紧单元121和传送带110之间的干扰。

接下来，将通过第一传送带110的旋转和基板传送单元120的运动在传送方向上移动的基板P递送到基板传送部件200。

在这种情况下，基板供应部件100和基板传送部件200可以具有相同的高度，即，第一传送带100和第二传送带210具有相同的高度。

由于两个传送带110和210形成在相同高度处，所以不用担心由两个传送带110和210之间的水平差造成的冲击施加到从基板供应部件100递送到基板传送部件200的基板，由此防止改变基板P的对准状态的问题。

基板传送单元120以当多个凹槽131通过基板供应部件100的旋转，定位在基板供应部件100的重点处时，基板传送单元120的多个夹紧单元121可以从多个凹槽131中移动出来的方式移动，并且当多个凹槽291定位在基板传送部件200的起点处时，多个夹紧单元121可以容纳在多个凹槽291中，由此将基板P递送到基板传送部件200。

接下来，在多个夹紧单元121容纳在多个凹槽291中的状态下，基板传送单元120释放基板P，因此，将基板P的整个底表面放置在基板传送部件200之上的第二传送带210上。

在这种情况下，在基板P被基板传送单元120夹紧的状态下递送到基板传送部件200的基板P与地面间隔开的距离被持续的保持，由此防止如下问题：由水平差造成的冲击被施加到基板P，或者在将基板P递送到基板传送部件200的过程中改变基板P的对准状态。

可以以异步方式控制第一传送带110和第二传送带210旋转的时间点或者第一传送带110和第二传送带的旋转速度，但是远离基板供给部件100移动的基板传送单元120到达基板传送部件200的起点的时间可以与多个凹槽291定位在基板传送部件200的起点处的时间同步。

因此，能够显著地减少将基板P从基板供给部件100递送到基板传送部件200的过程所需的总时间，并且即使缩短了过程时间，也能够进一步将传送基板P的过程的稳定性保持在高水平。

接下来，将参考图3A至图3C描述根据本发明的示例性实施方式的传送基板的过程。

首先，能够划线或切割通过第一传送带110传送的基板P的划线单元150设置在基板传送部件200的前端部处。

划线单元150设置有用于在基板P上形成刻线的刀轮，并且刀轮在基板P的传送方向(通常，Y轴方向)上、并且在与传送方向相交的方向(通常，X轴方向)上，在基板P上形成刻线。在这种情况下，也可以在与形成刻线的过程中的相同位置处进行将基板P切割成单元基板的过程。

此外，进行后续过程的区域可以设置在基板传送部件200的上方。此外，用于执行相应的后续过程的单元可以设置在进行后续过程的区域中。

例如，后续过程包括裂片过程和拾取过程，所述裂片过程将具有形成在其上的刻线的基板裂片成单元基板，而所述拾取过程拾取各单元基板。这里，可以顺序地进行裂片过程和拾取过程，并且在这种情况下，裂片单元250可以在基板传送部件200的上方设置在划线单元150的后面，并且拾取单元260可以设置在裂片单元250的后面。

参考图3A，根据本发明的示例性实施方式的划线设备还包括过程控制单元300。

过程控制单元300配置为通过在第二传送带210的一个或多个位置处按压或者释放第二传送带210，来控制第二传送带210的运动。

过程控制单元300主要包括第一重量辊310、第二重量辊320、驱动辊330和带夹340。

第一重量辊310设置在第二传送带210的上侧处，并且配置为通过用第一压力按压第二传送带210来控制第二传送带210的运动方向，同时通过其自身重量向下移动或者释放第二传送带210。

第一重量辊310可以设置在第二传送带210的前端部和进行后续过程的区域之间，并且在这种情况下，第一重量辊310设置为能够在与第二传送带210的上表面正交的竖直轴方向上上下移动。

可以通过导引件引导第一重量辊310的上下运动，并且将在下面描述引导件的配置。

第二重量辊320以能够沿与第二传送带210平行的水平轴移动的方式，设置在第二传送带210的前端部和进行后续过程的区域的后端部之间。

具体地，第二重量辊320设置在第二传送带210中，并且配置为能够沿水平轴移动。因此，能够通过减少第二传送带210的竖直尺寸，减少设备的总体尺寸。

第二重量辊320可以通过用第二压力按压第二传送带210，控制第二传送带210的运动方向，同时沿水平轴移动。通过第二重量辊320施加到第二传送带210的第二压力可以高于通过第一重量辊310施加的第一压力。在这种情况下，第二重量辊320可以配置为通过外部驱动力强制地移动。

此外，用于产生外部驱动力的装置可以通过这样的装置实现，其为具有设置有能够沿水平轴伸缩并且产生直线驱动力的轴510的气缸500的装置，或者为具有弹性弹簧并且产生弹力的装置。

例如，在使用气缸500作为用于产生外部驱动力的装置的情况下，第二重量辊320以能够旋转的方式安装在能够伸缩的轴510的一个端部处。

驱动辊330设置在第二传送带210的前端部和第二重量辊320之间，并且强制地转动或者驱动第二传送带210。

带夹340是安装在基于传送方向的第一重量辊310的前面和/或后面的装置，并且在夹紧位置处夹紧第二传送带210，以便在相应的夹紧位置处限制第二传送带的运动。

带夹340包括第一带夹341和第二带夹342，其分别设置在基于传送方向的第一重量辊310的前面和后面，并且第一带夹341和第二带夹342可以设置为能够上下移动。

虽然未在附图中示出，带夹340是这样一种装置，其强制地停止或者允许第二传送带210运动，同时通过升降装置上下移动，以便在相应的夹紧位置处夹紧或释放第二传送带210。

接下来，参考图3B和图3C，通过驱动辊330的操作，第二传送带210像履带一样旋转。

可以在第二传送带210的前端部处通过划线单元150给基板P划线，并且在传送方向上移动基板P。

在这种状态下，第一重量辊310没有处于按压第二传送带210的状态，第二带夹342处于释放第二传送带210的状态，并且第一重量辊310处于向上移动的状态。即，第一重量辊310没有用第一压力按压第二传送带210。

与此同时，第二重量辊320以能够旋转的方式安装在轴510的一个端部处，并且当气缸500的轴510收缩时，直接在水平轴上移动。

因此，第二重量辊320被移动而处于用第二压力按压第二传送带210的状态。即，在第二重量辊320设置在第二传送带210中的状态下，为了用第二压力按压第二传送带210，第二重量辊320用于拉动第二传送带210预定长度。

这里，通过由外部驱动力操作的第二重量辊320施加到第二传送带210的第二压力大于第一压力，由此保持第二传送带210的恒定张力。

在如上所述保持用于传送基板P的第二传送带210的恒定张力的情况下，第二传送带开始旋转的时间点可以与传送放置在第二传送带210上的基板P的时间点一致，由此防止当将多个单元基板一个接一个地放置在第二传送带210上时，多个单元基板彼此碰撞。

在上述示例性实施方式中，可以通过导引件400引导第一重量辊310的直接向上和向下运动。

参考图4，其示出了根据本发明的示例性实施方式的导引件，导引件400是引导第一重量辊310沿竖直轴的上下运动的装置。

这里，第一重量辊310设置有中空的第一重量辊主体311和第一旋转轴312，所述第一旋转轴312以能够旋转的方式***并安装到第一重量辊主体311的中空部分中，并且其两个端部从第一重量辊主体311的两个端部突出。

导引件400设置有定位在第一重量辊主体311的两个端部侧处的一对导引主体410，并且导引主体410设置在基板传送部件200上。

具有预定长度的导引孔420在竖直方向上形成在导引主体410中，并且在第一旋转轴312的两个端部***到导引孔420中的状态下，导引孔420引导第一重量辊310沿竖直轴的上下运动。

此外，虽然没有单独示出，用于引导第二重量辊320沿水平轴运动的导引件也可以具有相似的配置。

参考图5，其示出了根据本发明的另一个示例性实施方式的导引件，可以应用具有安装在第一旋转轴312的两个端部处的一对小齿轮430的引导件400'。以齿轮连接方式连接到一对小齿轮430的一对齿条440安装在导引主体410上。

因此，由于小齿轮430以齿轮连接方式连接有齿条440，所以当第一重量辊310上下移动时，能够防止第一旋转轴312的两个端部变形。

图6是示意性示出了根据本发明的另一个示例性实施方式的传送基板的过程的视图。

在图6中示出的示例性实施方式中，第一重量辊310和第二重量辊320两者都可以通过外部驱动力移动。

在第一重量辊310和第二重量辊320两者都通过气缸550和500的轴551和510的伸缩强制移动的情况下，第一重量辊310和第二重量辊320配置为独立地运动，以便在第二传送带210的相应的位置处分别施加第一压力和第二压力。

这里，沿竖直轴上下移动第一重量辊310的气缸550可以设置在第二传送带210的上方或者在第二传送带210中。

参考图7，气缸550的轴551连接到第一重量辊310的旋转轴的两个端部，以便上下移动第一重量辊310，因此，在气缸550的轴551和第二传送带210之间不会发生干扰。

在这种情况下，可以施加彼此不同的第一压力和第二压力，并且通过对其施加相对低的压力的重量辊，可以保持第二传送带210的张力的恒定水平。

图8是示意性示出了根据本发明的又一个示例性实施方式的传送基板的过程的视图。

参考图8，第一重量辊310设置在第二传送带210中，即，第一重量辊310在上游侧处设置在第二传送带210的下侧处，并且配置为能够沿竖直轴上下移动。

第一重量辊310以能够旋转的方式连接到气缸600的轴610的一个端部，并且当气缸600伸缩轴610时，第一重量辊310可以沿竖直轴上下移动，从而第一重量辊310用第一压力按压第二传送带210。

在图8中示出的状态下，第一重量辊310没有处于按压第二传送带210的状态，并且第一带夹341和第二带夹342处于释放第二传送带210的状态。

因此，可以通过由驱动辊330的操作移动的第二传送带，将基板P传送到进行后续过程的区域。

与此同时，参考图9，其示意性示出了根据本发明的又一个示例性实施方式的传送基板的过程，通过由单独的气缸700产生的外部驱动力，第二重量辊320可以沿竖直轴上下移动，因此，能够将第二压力施加到第二传送带210。轴710从气缸700中延伸并收缩到气缸700，并且第二重量辊320连接到轴710的一个端部。

接下来，将描述根据本发明的示例性实施方式的传送并切割基板的过程，当由划线过程和裂片过程将基板切割成单元基板，然后通过传送带传送单元基板时，通过防止各单元基板彼此碰撞，用来防止单元基板产生不希望有的损害。

首先，旋转第一传送带110和第二传送带210，以便在传送方向上传送放置在其上的基板P，所述第一传送带110和第二传送带210设置在构成根据本发明的示例性实施方式的划线设备的基板供应部件100和基板传送部件200中。

在这种情况下，以异步方式控制第一传送带110的旋转和第二传送带210的旋转。

这里，异步控制可以表示第一传送带110的旋转和第二传送带210的旋转不是同时开始的，即，第一传送带开始旋转的时间点和第二传送带210开始旋转的时间点彼此不同。此外，异步控制还可以表示第一传送带110的旋转速度和第二传送带210的旋转速度彼此不同。

可以通过过程控制单元330控制第一传送带110和第二传送带210开始旋转的时间点或者第一传送带110和第二传送带210的旋转速度，所述过程控制单元300设置在基板供应部件100和基板传送部件200中的每一个中，或者整体地设置在基板供给部件100和基板传送部件200中。作为过程控制单元300，可以应用上述各种示例性实施方式中的任何一个。

图10A至图10D是示意性示出了根据本发明的示例性实施方式的传送并切割基板的过程的视图。

参考图10A，提供到基板供给部件100的基板P放置在其上的第一传送带110像履带一样旋转。

参考图10B，通过第一传送带110的旋转在一个方向上传送基板P，然后同时放置在第一传送带110和第二传送带210两个上。

这里，第一传送带110和第二传送带210彼此间隔开的间距限定划线单元150与基板接触的空间，并且划线单元150在于基板P的传送方向正交的方向上切割基板P的上表面和/或下表面。

因此，生产放置在第一传送带110上的第一单元基板P1和放置在第二传送带210上的第二单元基板P2。

参考图10C，在完成了使用划线单元150切割基板P之后，同时通过第一传送带110的履带旋转①传送第一单元基板P1和第二单元基板P2，以便在第一单元基板P1和第二单元基板P2彼此接触的状态下，放置在基板传送部件200的第二传送带210上。

在这种情况下，以异步方式控制第一传送带110和第二传送带210，以便第一传送带110像履带一样旋转，但是第二传送带210保持在停止状态。

此外，可以以同步方式或者以异步方式控制基板传送单元120和第一传送带110。例如，第一传送带110可以首先开始像履带一样旋转，然后可以移动基板传送单元120。

由于第一传送带110的履带旋转和基板传送单元120的运动，在第一单元基板P1和第二单元基板P2彼此接触的状态下，将第一单元基板P1和第二单元基板P2两个都放置在基板传送部件200的第二传送带210上。

在这种情况下，如上所述，移动基板传送单元120，以便当多个凹槽131定位在基板供给部件100的终点处时，基板传送单元120的多个夹紧单元121可以从多个凹槽131中移动出来，并且当多个凹槽291定位在基板传送部件200的起点处时，将多个夹紧单元121容纳在多个凹槽291中，由此将第一单元基板P1和第二单元基板P2递送到基板传送部件200。

接下来，参考图10D，在第一单元基板P1和第二单元基板P2彼此接触的状态下，通过第二传送带210的履带旋转②，在传送方向上传送第一单元基板P1和第二单元基板P2，以便经历后续过程。

图10A至图10D中示出了根据本发明的示例性实施方式的传送并切割基板的过程，其特征在于，考虑到由于第一和第二传送带110和210与放置在第一和第二传送带110和210上的基板P之间的摩擦力，具体地，由于第二传送带210和放置在第二传送带210上的第二单元基板P2之间的摩擦力，产生了操作第二传送带210的时间点与实际上移动放置在第二传送带210上的第二单元基板P2的时间点之间的时间差，为了防止因第二传送带210的伸展和收缩造成的第一单元基板P1和第二单元基板P2反复地彼此碰撞并彼此分离，以异步方式控制第一传送带110的旋转和第二传送带210的旋转。

即，在将同时放置在第一传送带110和第二传送带210上的基板P切割成第一单元基板P1和第二单元基板P2的状态下，在第二传送带210的旋转之前，旋转第一传送带110，从而可以在第一单元基板P1和第二单元基板P2在第二传送带210上彼此接触的状态下，传送第一单元基板P1和第二单元基板P2两者。

图11A至图11E是示意性示出了根据本发明的另一个示例性实施方式的传送并切割基板的过程的视图。

参考图11A，将提供到基板供给部件100的基板P放置在其上的第一传送带110像履带一样旋转。

参考图11B，通过第一传送带110的旋转在一个方向上传送基板P，然后同时放置在第一传送带110和第二传送带210两个上。

这里，第一传送带110和第二传送带210彼此间隔开的间距限定划线单元150与基板接触的空间，并且划线单元150在于基板P的传送方向正交的方向上切割基板P的上表面和/或下表面。

因此，生产放置在第一传送带110上的第一单元基板P1和放置在第二传送带210上的第二单元基板P2。

参考图11C，在完成了使用划线单元150切割基板P之后，第一传送带110停止的状态下，通过第二传送带210的履带旋转②，第一单元基板P1和第二单元基板P2彼此分开，并且仅将第二单元基板P2放置并传送到第二传送带210上。

在这种情况下，以异步方式控制第一传送带110和第二传送带210，以便第二传送带210像履带一样旋转，但是第一传送带110保持为停止状态。同样地，也以异步方式控制基板传送单元120和第二传送带210，以便基板传送单元120像第一传送带110一样保持为停止状态。

在没有移动基板传送单元120的情况下，第二单元基板P2可以与第一单元基板P1分离，然后在将第二单元基板P2放置在基板传送部件200的第二传送带210上的状态下，通过第二传送带210的履带旋转在传送方向上传送。

接下来，参考图11D，第一单元基板P1和第二单元基板P2可以通过第一传送带110的旋转①和第二传送带210的旋转②，在传送方向上传送，并且在这种情况下，可以将第一单元基板P1放置在第二传送带210上。在第一单元基板P1的一个端部被基板传送单元120保持的状态下，将第一单元基板P1放置在第二传送带210上的过程与上述过程相同。

这里，第一传送带110和第二传送带210在相同的时间点并以相同的速度旋转，因此，可以在第一单元基板P1和第二单元基板P2彼此间隔开预定间距的状态下，将第一单元基板P1和第二单元基板P2放置在第二传送带210上。

接下来，参考图11E，在第一单元基板P1和第二单元基板P2彼此间隔开的状态下，通过第二传送带210的旋转②在传送方向上传送第一单元基板P1和第二单元基板P2两个。

图11A至图11E中示出了根据本发明的另一个示例性实施方式的传送并切割基板的过程，其特征在于，考虑到产生了操作第二传送带210的时间点和实际上移动放置在第二传送带210上的第二单元基板P2的时间点之间的时间差，在第一单元基板P1和第二单元基板P2彼此间隔开的状态下，通过以异步方式控制第一传送带110的旋转和第二传送带210的旋转，传送第一单元基板P1和第二单元基板P2。

即，在将同时放置在第一传送带110和第二传送带210上的基板P切割成第一单元基板P1和第二单元基板P2的状态下，在旋转第一传送带110之前，旋转第二传送带，以便可以在第一单元基板P1和第二单元基板P2在第二传送带210上彼此间隔开的状态下，传送第一单元基板P1和第二单元基板P2两者。

根据本发明的上述各种示例性实施方式，当通过划线过程或者裂片过程将基板切割成单元基板，然后通过传送带传送时，能够保持各单元基板彼此接触或彼此间隔开的状态，由此防止因各单元基板之间的碰撞造成缺陷的产生。

虽然已经在上面描述了本发明的示例性实施方式，但是本领域技术人员可以在不背离权利要求中公开的本发明的主旨的情况下，通过增加、改变、删除或修改组成元件，对本发明做出各种修改和改变，并且所述修改和改变也属于本发明的范围。

Claims (7)

1.一种划线设备，包括：

基板供给部件，其接收基板并且沿传送路线传送所述基板；

基板传送部件，其设置为与基板供给部件间隔开，接收从基板供给部件提供的基板，并且沿传送路线连续地传送基板，以便将基板定位在用于后续过程的区域中；

基板传送单元，其设置有用于夹紧基板的多个夹紧单元，并且沿传送路线移动以传送基板；以及

第一传送带和第二传送带，其分别设置在基板供给部件和基板传送部件中，

其中，第一传送带和第二传送带容纳用于夹紧基板的多个夹紧单元，以便将基板的底表面放置在第一传送带和第二传送带的上表面上，

其中，所述第一传送带和第二传送带是单个平带，

其中，第一传送带和第二传送带具有用于容纳多个夹紧单元的容纳部分，以便将基板的底表面放置在传送带的主体上，

其中，所述容纳部分具有用于容纳多个夹紧单元的多个凹槽。

2.如权利要求1所述的划线设备，其中，将基板在竖直方向或者水平方向上提供到基板供给部件的第一传送带。

3.如权利要求1所述的划线设备，其中，所述容纳部分以彼此间隔开预定间距的方式设置在传送带的主体中，以便将基板传送单元连续地容纳在容纳部分中。

4.如权利要求3所述的划线设备，其中，所述预定间距设定为与基板传送部件的驱动距离成比例。

5.如权利要求1所述的划线设备，还包括：

划线单元，其以在与传送方向正交的方向上切割基板的方式，设置在基板供给部件和基板传送部件之间；以及

过程控制单元，其定位在第二传送带中的至少一个位置处，并且通过按压或者释放第二传送带，控制第二传送带的驱动速度，

其中，通过划线单元切割基板，以生产放置在第一传送带上的第一单元基板和放置在第二传送带上的第二单元基板。

6.如权利要求5所述的划线设备，其中，通过过程控制单元以异步方式控制第一传送带和第二传送带，以便连续地传送第一单元基板和第二单元基板，从而在第一单元基板和第二单元基板彼此接触的状态下，定位在用于后续过程的区域中。

7.如权利要求5所述的划线设备，其中，通过过程控制单元以异步方式控制第一传送带和第二传送带，以便连续地传送第一单元基板和第二单元基板，从而在第一单元基板和第二单元基板彼此间隔开的状态下，定位在用于后续过程的区域中。

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