JP5170839B2 - ガラス基板の搬送方法 - Google Patents
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Description
2 梱包緩衝材
21 空隙部
3 ガラス基板
4 無端状ベルト
43 凹部
5 吸引孔
6 真空チャンバ
61 開口部
7 真空発生源
8 搬送装置
Claims (1)
- 無端状ベルト上に通気性のない梱包緩衝材を介してガラス基板を載置し、前記無端状ベルトを駆動することによって前記ガラス基板を搬送するガラス基板の搬送方法であって、
前記無端状ベルト上に吸引孔がガラス基板の搬送方向に沿った縦長に形成され、
前記吸引孔は、少なくとも前記梱包緩衝材のシート厚の10倍以上の孔径を有し、且つ、前記吸引孔の開口面積は、前記梱包緩衝材のシート厚の2乗×300以上であり、
前記無端状ベルトに形成された前記吸引孔から前記梱包緩衝材を吸引することによって、前記梱包緩衝材とガラス基板との間に空隙部を形成し、
前記空隙部を、減圧状態とすることを特徴とするガラス基板の搬送方法。
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