CN105632983B - 一种用于炉管机台石英套管安装的标准检查治具 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种用于炉管机台石英套管安装的标准检查治具，通过在炉管机台真空管路中安装两个石英套管后，利用其同轴套接时形成均匀间隙的特点，将标准检查治具的圆管形***向石英套管套接部的间隙平行伸入，即可根据其是否能自由伸入该间隙来判断两个石英套管是否处于同轴套接状态，从而能够可靠保证石英套管每一次安装的准确度，并杜绝因为安装偏移问题所导致的产品报废问题；并可通过在圆管形***尾端设置保持部，对圆管形***进行保护及控制其检查时的伸入长度；还可通过在保持部设置观察窗口，快速准确判断两个石英套管的套接是否符合标准。本发明可实现石英套管安装时量化的统一安装检查标准，使用方便简单。

Description

一种用于炉管机台石英套管安装的标准检查治具
技术领域
本发明涉及半导体集成电路设备维护技术领域，更具体地，涉及一种用于炉管机台石英套管安装的标准检查治具。
背景技术
用于对半导体晶圆(Wafer)进行低温氮化处理的炉管机台，例如日本东京电子公司(TEL)Formula HCD机型的炉管机台，在其真空管路中装有两个以间隙方式套接的石英套管(sleeve quartz)，用于收集工艺生成物。
请参阅图1，图1是现有的一种Formula HCD机台石英套管的安装状态结构示意图。如图1所示，两个石英套管A、B为贯通的圆管，其分别通过法兰端7、4与一段真空管路1的管壁6采用卡箍固定安装，可通过拆卸该段真空管路，对石英套管A、B进行清洁保养。其中，石英套管A的套接端具有一段缩颈部5，以便伸入石英套管B的套接端与其安装并形成间隙的同轴平行套接。石英套管A、B与该段真空管路的管壁6之间具有间距，并形成密封的空间2，可通过通入氮气来防止真空管路泄露。该段真空管路的管壁外侧包覆有加热器3，用于防止在石英套管A、B处收集的工艺生成物凝结。
从图1中可以看出，由于石英套管A、B只通过法兰端7、4进行固定，其套接端为悬空状态，因而要实现石英套管A、B的间隙同轴套接是较为困难的。
目前安装石英套管时，主要是依靠工程师的安装手法和经验，其安装是否准确主要依靠目测检查，因此较难保证两个石英套管之间的间隙同轴套接。并且，不同的工程师安装的石英套管不能够统一标准，从而不能保证安装质量的可靠性。而一旦石英套管的安装位置产生偏差，将导致低温氮化时的生成物堆积，以致造成回流particle(颗粒)缺陷。回流particle典型的是fall on(落下)小颗粒，主要集中分布在晶圆边缘位置，并呈从晶舟顶部到底部数量逐渐递减态势，这会导致产品报废的严重后果。
因此，为了防止由于石英套管安装偏移造成炉管Particle所导致的产品报废问题，设计一个用于石英套管同轴套接安装的标准检查制具，就显得尤为必要。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术存在的上述缺陷，提供一种用于炉管机台石英套管安装的标准检查治具，能够可靠保证石英套管安装时的准确度，并杜绝因为安装偏移问题所导致的产品报废问题。
为实现上述目的，本发明的技术方案如下：
一种用于炉管机台石英套管安装的标准检查治具，所述石英套管为设于炉管机台真空管路中的贯通圆管，包括第一、第二石英套管，其内端以间隙方式相内、外平行套接，其外端分别与一段真空管路的管壁固定安装，所述标准检查治具包括：
***，为一段圆管，其前端用于在第一、第二石英套管固定安装后，从第二石英套管外端向第一、第二石英套管套接部的间隙平行伸入，以根据其是否能自由伸入该间隙来判断第一、第二石英套管是否同轴套接；
保持部，与***的圆管尾端固定，用于保持***的圆管形状及控制其检查时的伸入长度。
优选地，所述***的圆管管壁厚度与第一、第二石英套管同轴套接时的公称间隙相对应，并在其平行伸入时形成间隙配合。
优选地，所述***的圆管前端具有帮助伸入第一、第二石英套管套接部间隙的导入部。
优选地，所述导入部的截面为锥形或弧形。
优选地，所述保持部为垂直固定于***圆管尾端的基座。
优选地，所述基座为法兰形。
优选地，所述保持部设有与***圆管相通的观察窗口。
优选地，所述观察窗口通过***的圆管尾端向保持部贯通而形成。
优选地，所述标准检查治具采用特氟龙材料制成。
优选地，所述标准检查治具采用一体成型或切削加工制成。
从上述技术方案可以看出，本发明通过在炉管机台真空管路中安装两个石英套管后，利用其同轴套接时形成均匀间隙的特点，将标准检查治具的圆管形***向石英套管套接部的间隙平行伸入，即可根据其是否能自由伸入该间隙来判断两个石英套管是否处于同轴套接状态，从而能够可靠保证石英套管每一次安装的准确度，并杜绝因为安装偏移问题所导致的产品报废问题；同时，通过在圆管形***尾端设置的基座保持部，可在标准检查治具使用及存放时对圆管形***进行保护，避免其受力变形，并可控制其检查时的伸入长度；此外，通过在基座保持部设置观察窗口，可透过***的圆管观察标准检查治具在两个石英套管套接间隙中的配合状态，从而可快速准确地判断两个石英套管的套接是否符合标准。通过本发明可实现石英套管安装时量化的统一安装检查标准，使用方便简单。
附图说明
图1是现有的一种Formula HCD机台石英套管的安装状态结构示意图；
图2-图3是本发明一较佳实施例的一种用于炉管机台石英套管安装的标准检查治具结构示意图；
图4是本发明一较佳实施例的一种用于炉管机台石英套管安装的标准检查治具的使用状态示意图。
具体实施方式
下面结合附图，对本发明的具体实施方式作进一步的详细说明。
需要说明的是，在下述的具体实施方式中，在详述本发明的实施方式时，为了清楚地表示本发明的结构以便于说明，特对附图中的结构不依照一般比例绘图，并进行了局部放大、变形及简化处理，因此，应避免以此作为对本发明的限定来加以理解。
在以下本发明的具体实施方式中，请参阅图2-图3，图2-图3是本发明一较佳实施例的一种用于炉管机台石英套管安装的标准检查治具结构示意图。如图2所示，本发明的一种用于炉管机台石英套管安装的标准检查治具，包括***21和保持部22两个主要结构部分。***21为一段具有一定长度的圆管，保持部22与***21的圆管尾端固定连接。
请参阅图4，图4是本发明一较佳实施例的一种用于炉管机台石英套管安装的标准检查治具的使用状态示意图。如图4所示，以日本东京电子公司(TEL)Formula HCD机型的炉管机台为例，在该机台的真空管路11中装有两个以间隙方式套接的石英套管(sleevequartz)，分别为第一、第二石英套管12、15，用于收集工艺生成物。第一、第二石英套管12、15为贯通的圆管，其分别通过法兰形外端19、16与真空管路的一段管壁18固定安装，例如可采用卡箍固定安装，并可通过密封圈进行密封。可通过拆卸该段真空管路，对第一、第二石英套管进行清洁保养。第一、第二石英套管12、15的内端为套接端，其中，第一石英套管12的内端具有一段平行的缩颈部17，以便伸入第二石英套管15的内端，以内、外方式与第二石英套管安装，并形成间隙的同轴平行套接。第一、第二石英套管12、15与该段真空管路的管壁18之间具有间距，并形成密封的空间13，可通过通入氮气来防止真空管路泄露。该段真空管路的管壁外侧包覆有加热器14，用于防止在第一、第二石英套管12、15处收集的工艺生成物凝结。
请参阅图2并结合参阅图4。标准检查治具圆管***21的前端24用于在第一、第二石英套管固定安装后，从第二石英套管外端向第一、第二石英套管套接部的间隙平行伸入，以根据其是否能自由伸入该间隙来判断第一、第二石英套管是否同轴套接。这是利用了当第一、第二石英套管构成同轴套接时应在其套接面形成一圈均匀间隙的特点。
作为一优选的实施方式，***21的圆管管壁23厚度可与第一、第二石英套管同轴套接时的公称间隙相对应，并可在圆管平行伸入该间隙时形成间隙配合。
作为上述进一步优选的实施方式，***21的圆管前端24可具有帮助其伸入第一、第二石英套管套接部间隙的导入部。例如，可以将***的圆管前端加工成具有锥形或弧形截面的导入部(图略)。
请继续参阅图2并结合参阅图4。作为一优选的实施方式，保持部22可以是垂直固定于***21圆管尾端的基座。基座结构的保持部可用于保持***的圆管形状及控制其检查时的伸入长度。这样，在标准检查治具不用或存放时，可利用基座22承载***21，避免其触碰硬物而损伤；或者，在标准检查治具使用时，基座22可起到把手的作用，从而可对圆管形***21进行保护，避免其受力而产生变形；基座结构的保持部22还可以通过其与第二石英套管外端之间的距离判断***21进入的深度，以控制其检查时的伸入长度，避免过度进入触碰到第一石英套管的缩颈部。
作为上述进一步优选的实施方式，可将基座22加工成沿***21圆管尾端平行向外设置的法兰形。
请参阅图3，其为图2的左视结构。在保持部22可设置一观察窗口25，观察窗口25与***21圆管相通，可透过***的圆管观察标准检查治具在两个石英套管套接间隙中的配合状态，从而可快速准确地判断第一、第二石英套管的套接是否符合标准。作为一优选的实施方式，可将观察窗口25与***圆管21的尾端贯通设置，使观察窗口最大化，以方便观察。
本发明的上述标准检查治具可采用例如特氟龙材料制成，并可采用一体成型或切削加工制成。也可以采用硬度低于石英套管12、15且具有一定耐磨、耐腐蚀性能的材料以及相应加工手段制成。
如图4所示，本发明的上述标准检查治具20在使用时，在第一、第二石英套管12、15安装在炉管机台的真空管路11中后，将标准检查治具20的圆管形***21由图示右侧的第二石英套管15外端向第二石英套管管内伸入，并平行伸向两个石英套管12、15套接部的间隙。利用第一、第二石英套管同轴套接时必然形成均匀间隙的特点，如果圆管形***21能够自由伸入两个石英套管套接部的间隙中，则可判断第一、第二石英套管12、15处于同轴套接状态；反之，如果第一、第二石英套管12、15安装偏移时，其相互间隙必然有大有小，那么圆管形***21就不能通过间隙小的部位，从而即可判断第一、第二石英套管12、15处于非同轴套接状态。保持部22有助于检查时把握标准检查治具20的平行进入方向以及控制进入力度。
综上所述，本发明通过在炉管机台真空管路中安装两个石英套管后，利用其同轴套接时形成均匀间隙的特点，将标准检查治具的圆管形***向石英套管套接部的间隙平行伸入，即可根据其是否能自由伸入该间隙来判断两个石英套管是否处于同轴套接状态，从而能够可靠保证石英套管每一次安装的准确度，并杜绝因为安装偏移问题所导致的产品报废问题；同时，通过在圆管形***尾端设置的基座保持部，可在标准检查治具使用及存放时对圆管形***进行保护，避免其受力变形，并可控制其检查时的伸入长度；此外，通过在基座保持部设置观察窗口，可透过***的圆管观察标准检查治具在两个石英套管套接间隙中的配合状态，从而可快速准确地判断两个石英套管的套接是否符合标准。通过本发明可实现石英套管安装时量化的统一安装检查标准，使用方便简单。
以上所述的仅为本发明的优选实施例，所述实施例并非用以限制本发明的专利保护范围，因此凡是运用本发明的说明书及附图内容所作的等同结构变化，同理均应包含在本发明的保护范围内。

Claims (10)

1.一种用于炉管机台石英套管安装的标准检查治具，所述石英套管为设于炉管机台真空管路中的贯通圆管，包括第一、第二石英套管，其内端以间隙方式相内、外平行套接，其外端分别与一段真空管路的管壁固定安装，其特征在于，所述标准检查治具包括：
***，为一段圆管，其前端用于在第一、第二石英套管固定安装后，从第二石英套管外端向第一、第二石英套管套接部的间隙平行伸入，以根据其是否能自由伸入该间隙来判断第一、第二石英套管是否同轴套接；
保持部，与***的圆管尾端固定，用于保持***的圆管形状及控制其检查时的伸入长度。
2.根据权利要求1所述的用于炉管机台石英套管安装的标准检查治具，其特征在于，所述***的圆管管壁厚度与第一、第二石英套管同轴套接时的公称间隙相对应，并在其平行伸入时形成间隙配合。
3.根据权利要求1或2所述的用于炉管机台石英套管安装的标准检查治具，其特征在于，所述***的圆管前端具有帮助伸入第一、第二石英套管套接部间隙的导入部。
4.根据权利要求3所述的用于炉管机台石英套管安装的标准检查治具，其特征在于，所述导入部的截面为锥形或弧形。
5.根据权利要求1所述的用于炉管机台石英套管安装的标准检查治具，其特征在于，所述保持部为垂直固定于***圆管尾端的基座。
6.根据权利要求5所述的用于炉管机台石英套管安装的标准检查治具，其特征在于，所述基座为法兰形。
7.根据权利要求1或5所述的用于炉管机台石英套管安装的标准检查治具，其特征在于，所述保持部设有与***圆管相通的观察窗口。
8.根据权利要求7所述的用于炉管机台石英套管安装的标准检查治具，其特征在于，所述观察窗口通过***的圆管尾端向保持部贯通而形成。
9.根据权利要求1所述的用于炉管机台石英套管安装的标准检查治具，其特征在于，所述标准检查治具采用特氟龙材料制成。
10.根据权利要求9所述的用于炉管机台石英套管安装的标准检查治具，其特征在于，所述标准检查治具采用一体成型或切削加工制成。
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5002503A (en) * 1989-09-08 1991-03-26 Viacom International, Inc., Cable Division Coaxial cable connector
CN101368867A (zh) * 2008-07-11 2009-02-18 王颖峰 自锁紧式手动封堵装置
CN201656187U (zh) * 2009-12-25 2010-11-24 合肥佰特微波技术有限公司 一种快速插拔测试用转接器
CN201688820U (zh) * 2010-05-07 2010-12-29 中国葛洲坝集团股份有限公司 空心圆形套管中心位置偏差测量装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5002503A (en) * 1989-09-08 1991-03-26 Viacom International, Inc., Cable Division Coaxial cable connector
CN101368867A (zh) * 2008-07-11 2009-02-18 王颖峰 自锁紧式手动封堵装置
CN201656187U (zh) * 2009-12-25 2010-11-24 合肥佰特微波技术有限公司 一种快速插拔测试用转接器
CN201688820U (zh) * 2010-05-07 2010-12-29 中国葛洲坝集团股份有限公司 空心圆形套管中心位置偏差测量装置

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