CN108611598A - 一种框架结构 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及表面处理技术领域,公开了一种框架结构,包括框架、制作条以及支撑件,框架的内边缘上形成有定位槽,制作条可拆卸地安装于定位槽,制作条上形成有沟槽,支撑件固定在沟槽内,支撑件形成支撑掩模版的支撑平面,在待蒸镀产品型号及设计发生变化时,只需要将制作条从框架的定位槽上拆除,并对框架进行简单的打磨处理,然后将变更后的制作条可拆卸地安装于定位槽内即可,支撑件固定在沟槽内,并形成支撑对应掩模版的支撑平面,因此,可以保证不同掩膜版的固定需求,当固定不同的掩膜版时,只需更换制作条,不需要舍弃现有的框架结构,因此上述框架结构能够用于固定多种掩膜版,通用性较好,提高框架的利用率,节约成本和制作时间。
Description
技术领域
本发明涉及表面处理技术领域,尤其涉及一种框架结构。
背景技术
在表面处理技术领域,精细金属掩膜(FMM Mask)模式是通过蒸镀方式将OLED(有机发光二极管)材料按照预定程序蒸镀到LTPS(低温多晶硅技术)背板上,在蒸镀过程中利用FMM(精细金属)上的图形将有机物蒸镀到规定位置上。
目前,由于用于蒸镀过程中的Frame框架上有覆盖条的沟槽设计的限制,使得每种框架只能焊接一种宽度的精细金属掩膜版,当待蒸镀产品型号及设计发生变化,对应的覆盖条的沟槽排布就会发生变化,之前产品使用的Frame框架因沟槽不匹配将不能重复使用,故需要更换掩膜版,重新设计对应的Frame框架,而框架的制造费用很高,造成成本浪费,因此,设置一种能够用于固定多种的掩膜版的框架显得尤为必要。
发明内容
本发明提供一种框架结构,该框架结构能够用于固定多种掩膜版,提高框架的利用率,减少成本。
为达到上述目的,本发明提供以下技术方案:
一种框架结构,包括框架、制作条以及支撑件,所述框架的内边缘上形成有定位槽,所述制作条可拆卸地安装于所述定位槽,所述制作条上形成有沟槽,所述支撑件固定在沟槽内,所述支撑件形成支撑掩模版的支撑平面。
在上述框架结构中,由于制作条可拆卸地安装于定位槽内,制作条上形成有用于固定支撑件的沟槽,故在待蒸镀产品型号及设计发生变化,对应的沟槽排布需要重新设计时,只需要将制作条从框架的定位槽上拆除,并对框架进行简单的打磨处理,然后将变更后的制作条可拆卸地安装于定位槽内即可,此时的沟槽对应于待蒸镀产品型号所需要的支撑件,支撑件固定在沟槽内,并形成支撑对应掩模版的支撑平面,因此,可以保证不同掩膜版的固定需求,当固定不同的掩膜版时,只需更换制作条,将对应的支撑件设置在制作条的沟槽上就能够形成固定掩膜版所需的框架结构,不需要完全舍弃现有的框架结构,因此上述框架结构能够用于固定多种掩膜版,通用性较好,提高框架的利用率,节约成本和制作时间。
优选地,所述制作条焊接或粘结在所述定位槽内。
优选地,所述制作条采用金属材料制备。
优选地,所述制作条采用Invar36制备。
优选地,所述制作条的厚度不小于所述支撑件的厚度。
优选地,所述定位槽的深度大于所述制作条的厚度。
优选地,所述支撑件包括多个第一支撑件和多个第二支撑件,所述第一支撑件和所述第二支撑件分别平行于所述框架垂直相交的两个侧边,所述第一支撑件和所述第二支撑件分别固定在沟槽内,多个第二支撑件配合形成所述支撑平面,多个所述第一支撑件用于将所述支撑平面划分为多个遮挡区域。
优选地,所述第一支撑件为覆盖条,所述覆盖条焊接在所述沟槽内。
优选地,所述第二支撑件为支撑条,所述支撑条焊接在所述沟槽内。
附图说明
图1为本发明一种实施例提供的一种框架结构的结构示意图;
图2为本发明一种实施例提供的一种框架结构中去除支撑条后的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
如图1以及图2所示,一种框架结构,包括框架1、制作条2以及支撑件4,框架1的内边缘上形成有定位槽,制作条2可拆卸地安装于定位槽,制作条2上形成有沟槽3,支撑件4固定在沟槽3内,支撑件4形成支撑掩模版的支撑平面。
在上述框架结构中,由于制作条2可拆卸地安装于定位槽内,制作条2上形成有用于固定支撑件4的沟槽3,故在待蒸镀产品型号及设计发生变化,对应的沟槽3排布需要重新设计时,只需要将制作条2从框架1的定位槽上拆除,并对框架1进行简单的打磨处理,然后将变更后的制作条2可拆卸地安装于定位槽内即可,此时的沟槽3对应于待蒸镀产品型号所需要的支撑件4,支撑件4固定在沟槽3内,并形成支撑对应掩模版的支撑平面。
因此,可以保证不同掩膜版的固定需求,当固定不同的掩膜版时,只需更换制作条2,将对应的支撑件4设置在制作条2的沟槽3上就能够形成固定掩膜版所需的框架结构,不需要完全舍弃现有的框架结构,因此上述框架结构能够用于固定多种掩膜版,通用性较好,快速且方便,提高框架1的利用率,节约成本和制作时间。
为了保证制作条2可拆卸地安装于定位槽,一种优选实施方式中,制作条2焊接或粘结在定位槽内。
在上述框架结构中,由于制作条2的厚度一般约为100μm,故将制作条2可拆卸地安装于定位槽的方式可以选择焊接,也可以选择粘结,还可以选择其他能够满足要求的安装方式。
当选择制作条2焊接在定位槽时,可以通过焊接工艺将完整的制作条2焊接在定位槽内,然后通过激光切割的方式在制作条2上切割出所需的沟槽3,还可以通过将不同长度的制作片焊接到定位槽内,相邻制作片形成所需的沟槽3。
同样,选择将制作条2粘结到定位槽时,可以通过强度强受力变形小(<1μm),并且掩模清洗工艺不会对其造成影响的一种胶水在保证精度前提下将制作条2粘结在定位槽内,然后采用激光切割的方式在制作条2上切割出所需的沟槽3,还可以通过不同长度的制作片通过胶水粘结到定位槽内,相邻制作片形成所需的沟槽3。
一种优选实施方式中,制作条2可以采用金属材料制备。
在上述框架结构中,制作条2可以采用金属材料制备,也可以采用其他能够在蒸镀环境中保证制作条所必备性能的其他材料制备,制备制作条2的具体材料可以根据框架结构、框架结构应用环境以及蒸镀要求等具体实际情况进行选择。
具体地,制作条2可以采用Invar36制备。
在上述框架结构中,考虑到需要在框架结构的表面焊接掩模版以及在蒸镀过程中蒸镀温度产生的热膨胀等因素,制作条2材质可以选用Invar36,制作条2材质也可以选用SUS304,制作条2材质还可以选用其他满足要求的金属材料,具体的金属材料可以根据框架结构及其应用环境的具体实际情况进行选择。
为了保证制作条2和支撑件4在安装过程中厚度相匹配,一种优选实施方式中,制作条2的厚度不小于支撑件4的厚度。
在上述框架结构中,制作条2的厚度等于支撑件4的厚度,或者是制作条2的厚度略大于支撑件4的厚度,以保证设置在制作条2上的沟槽3的深度不小于支撑件4的厚度,即沟槽3能够容纳支撑件4,进而保证掩模版能够设置在支撑条所形成的支撑平面上,并且能够同时保证掩模版能够较好地焊接在制作条2上。
为了保证框架1和制作条2在安装过程中厚度相匹配,一种优选实施方式中,定位槽的深度大于制作条2的厚度。
在上述框架结构中,定位槽的深度大于制作条2的厚度,且定位槽的深度与第二框架1的厚度之差的范围为10μm-20μm。便于制作条2安装在定位槽内,定位槽的深度与第二框架1的厚度之差的优选值为10μm、12μm、14μm、15μm、16μm、18μm、20μm。
一种优选实施方式中,如图1所示,支撑件4包括多个第一支撑件41和多个第二支撑件42,第一支撑件41和第二支撑件42分别平行于框架1垂直相交的两个侧边,第一支撑件41和第二支撑件42分别固定在沟槽3内,多个第二支撑件42配合形成支撑平面,多个第一支撑件41用于将支撑平面划分为多个遮挡区域。
在上述框架结构中,多个第二支撑件42配合形成用于支撑掩膜版的支撑平面,在蒸镀过程中,掩膜版处于支撑平面上,减少由于掩膜版自身的重力导致的掩膜版在垂直于支撑平面的方向上有较大的下垂量;由于掩模版焊接在制作条2,实现对掩膜版的固定,且保证掩膜版受力均匀,减少了因边界固定不良对像素位置精度的影响。
具体地,第一支撑件41为覆盖条,覆盖条可以焊接在沟槽3内。
在上述框架结构中,覆盖条可以焊接在沟槽3内,还可以通过其他方式固定在沟槽3上,例如粘结连接,覆盖条在沟槽3内的固定根据制作条2的实际情况选择合适的连接方式。
具体地,第二支撑件42为支撑条,支撑条可以焊接在沟槽3内。
在上述框架结构中,支撑条可以焊接在沟槽3内,还可以通过其他方式固定在沟槽3上,例如粘结连接,支撑条在沟槽3内的固定根据制作条2的实际情况选择合适的连接方式。
另外,制作条2、覆盖条以及支撑条还可以为一体式结构。
显然,本领域的技术人员可以对本发明实施例进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样,倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内,则本发明也意图包含这些改动和变型在内。
Claims (9)
1.一种框架结构,其特征在于,包括框架、制作条以及支撑件,所述框架的内边缘上形成有定位槽,所述制作条可拆卸地安装于所述定位槽,所述制作条上形成有沟槽,所述支撑件固定在沟槽内,所述支撑件形成支撑掩模版的支撑平面。
2.根据权利要求1所述的框架结构,其特征在于,所述制作条焊接或粘结在所述定位槽内。
3.根据权利要求1所述的框架结构,其特征在于,所述制作条采用金属材料制备。
4.根据权利要求1所述的框架结构,其特征在于,所述制作条采用Invar36制备。
5.根据权利要求1所述的框架结构,其特征在于,所述制作条的厚度不小于所述支撑件的厚度。
6.根据权利要求1所述的框架结构,其特征在于,所述定位槽的深度大于所述制作条的厚度。
7.根据权利要求1所述的框架结构,其特征在于,所述支撑件包括多个第一支撑件和多个第二支撑件,所述第一支撑件和所述第二支撑件分别平行于所述框架垂直相交的两个侧边,所述第一支撑件和所述第二支撑件分别固定在沟槽内,多个第二支撑件配合形成所述支撑平面,多个所述第一支撑件用于将所述支撑平面划分为多个遮挡区域。
8.根据权利要求7所述的框架结构,其特征在于,所述第一支撑件为覆盖条,所述覆盖条焊接在所述沟槽内。
9.根据权利要求7所述的框架结构,其特征在于,所述第二支撑件为支撑条,所述支撑条焊接在所述沟槽内。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201810843689.2A CN108611598B (zh) | 2018-07-27 | 2018-07-27 | 一种框架结构 |
US16/398,406 US11066737B2 (en) | 2018-07-27 | 2019-04-30 | Frame component |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201810843689.2A CN108611598B (zh) | 2018-07-27 | 2018-07-27 | 一种框架结构 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN108611598A true CN108611598A (zh) | 2018-10-02 |
CN108611598B CN108611598B (zh) | 2021-01-22 |
Family
ID=63666834
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201810843689.2A Active CN108611598B (zh) | 2018-07-27 | 2018-07-27 | 一种框架结构 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11066737B2 (zh) |
CN (1) | CN108611598B (zh) |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
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SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |