CN104425767A - 一种有机电致发光器件及其制备方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种有机电致发光器件，包括透光基底和依次层叠设置在透光基底上的光提取层、阳极、有机发光功能层和阴极，光提取层由无机材料区和有机材料区构成，所述光提取层铺满透光基底的平面，所述有机材料区包括多个阵列设置的有机材料子单元区，所述光提取层的厚度为2～10μm。该有机电致发光器件通过设置光提取层，改变了光线入射到透光基底的入射角，使阳极向透光基底的入射角范围增大，从而增加了透光基底与阳极之间的出光效率，提高了器件发光效率。本发明还提供了该有机电致发光器件的制备方法。

Description

一种有机电致发光器件及其制备方法

技术领域

本发明涉及有机电致发光器件，具体涉及一种有机电致发光器件及其制备方法。

背景技术

有机电致发光(Organic Light Emission Diode)，以下简称OLED，具有亮度高、材料选择范围宽、驱动电压低、全固化主动发光等特性，同时拥有高清晰、广视角，以及响应速度快等优势，是一种极具潜力的显示技术和光源，符合信息时代移动通信和信息显示的发展趋势，以及绿色照明技术的要求，是目前国内外众多研究者的关注重点。

现有技术的OLED发光装置中，由于阳极材料与玻璃基板之间的折射率不匹配，比如ITO折射率可达到2.1，而普通的玻璃基板只有1.6左右，导致光线在ITO与玻璃基板的界面产生全反射的临界角非常小，从而使光线从ITO向玻璃基板的传输效率较低，这也是导致现有技术OLED发光装置出光效率低的一个重要原因。

发明内容

为克服上述现有技术的缺陷，本发明提供了一种有机电致发光器件及其制备方法。通过在透光基底与阳极之间设置一个光提取层，增加了透光基底与阳极之间的出光效率，提高了有机电致发光器件的发光效率。

一方面，本发明提供了一种有机电致发光器件，包括透光基底和依次层叠设置在透光基底上的光提取层、阳极、有机发光功能层和阴极，所述有机发光功能层包括依次层叠的空穴传输层，发光层和电子传输层，所述光提取层由无机材料区和有机材料区构成，所述光提取层铺满所述透光基底的平面，所述有机材料区包括多个阵列设置的有机材料子单元区，所述光提取层的厚度为2～10μm。

优选地，所述无机材料区的材质为WO₃，ReO₃，MoO₃，V₂O₅，Sb₂O₃和Nd₂O₅中的一种或多种。

优选地，所述有机材料区的材质为4,4',4''-三(N-3-甲基苯基-N-苯基氨基)三苯胺(m-MTDATA)，8-羟基喹啉铝（Alq3），1,3,5-三(1-苯基-1H-苯并咪唑-2-基)苯(TPBi)、N,N'-二苯基-N,N'-二(1-萘基)-1,1'-联苯-4,4'-二胺(NPB)和二(2-甲基-8-喹啉)-（4-苯基苯酚）铝（BAlq）中的一种或多种。

优选地，相邻两个所述有机材料子单元区之间的间隔为2～10μm。

优选地，多个所述有机材料子单元区为方形，长宽尺寸为5～30μm。

优选地，多个所述有机材料子单元区为正方形。

优选地，所述阳极的材质为铟锡氧化物、铟锌氧化物、铝锌氧化物和镓锌氧化物中的一种或多种，所述阳极的厚度为70～200nm.

优选地，所述阴极为氟化铯或氟化锂层与金属层组成的叠层电极，所述氟化铯或氟化锂层的厚度为0.5～2nm，所述金属层的厚度为70～200nm，所述金属层为银、铝、银镁合金或铝镁合金，所述氟化铯或氟化锂层靠近所述电子传输层。

所述透光基底为透明玻璃或透明聚合物薄膜。

空穴传输层、电子传输层和发光层的材质不作具体限定，本领域现有材料均适用于本发明。

优选地，空穴传输层的材质为4,4',4''-三(2-萘基苯基氨基)三苯基胺(2-TNATA)，N,N'-二苯基-N,N'-二(1-萘基)-1,1'-联苯-4,4'-二胺(NPB)，4,4',4''-三(N-3-甲基苯基-N-苯基氨基)三苯胺(m-MTDATA)，N,N'-二苯基-N,N'-二(3-甲基苯基)-1,1'-联苯-4,4'-二胺(TPD)或4,4',4''-三(咔唑-9-基)三苯胺(TCTA)，厚度为20～60nm。

优选地，发光层的材质为4-（二腈甲基）-2-丁基-6-（1,1,7,7-四甲基久洛呢啶-9-乙烯基）-4H-吡喃（DCJTB）、双（4,6-二氟苯基吡啶-N,C2）吡啶甲酰合铱（FIrpic）、双（4,6-二氟苯基吡啶）-四（1-吡唑基）硼酸合铱（FIr6），二（2-甲基-二苯基[f,h]喹喔啉）（乙酰丙酮）合铱（Ir(MDQ)2(acac)）、三（1-苯基-异喹啉）合铱（Ir(piq)3）和三（2-苯基吡啶）合铱(Ir(ppy)3)中的一种或几种发光材料与主体材料掺杂而成的混合材料。所述主体材料可选用4,4'-二(9-咔唑)联苯（CBP），8-羟基喹啉铝（Alq3），TPBi(1,3,5-三(1-苯基-1H-苯并咪唑-2-基)苯)或N,N'-二苯基-N,N'-二(1-萘基)-1,1'-联苯-4,4'-二胺(NPB)，发光材料在主体材料中的质量比为2～20:100。

又优选地，发光层的材质为荧光材料4,4'-二(2,2-二苯乙烯基)-1,1'-联苯（DPVBi），4,4'-双[4-(二对甲苯基氨基)苯乙烯基]联苯(DPAVBi)、5,6,11,12-四苯基萘并萘（Rubrene）和二甲基喹吖啶酮（DMQA）中的至少一种。

优选地，发光层的厚度为5～20nm。

优选地，电子传输层的材料为2-（4-联苯基）-5-（4-叔丁基）苯基-1,3,4-噁二唑（PBD）、4,7-二苯基-1,10-菲罗啉（Bphen）、N-芳基苯并咪唑（TPBI）或2,9-二甲基-4,7-联苯-1,10-邻二氮杂菲(BCP)，厚度为20～60nm。

另一方面，本发明提供了一种有机电致发光器件的制备方法，包括以下步骤：

提供一透光基底及一掩膜板，所述掩膜板贴合于所述透光基底表面，

采用真空镀膜法在所述透光基底贴合有掩膜板的一面制备多个阵列排布的有机材料子单元区形成有机材料区，蒸发速度为1～10nm/s；

取下所述掩膜板，再取另一预制备好的掩膜板将所述有机材料区覆盖，然后采用真空镀膜法在所述透光基底表面制备无机材料区，蒸发速度为1～10nm/s；所述有机材料区与所述无机材料区构成光提取层，所述光提取层铺满所述透光基底的平面，所述光提取层的厚度为2～10μm；

采用磁控溅射法在所述光提取层表面制备阳极，再采用真空热镀膜法，在所述阳极表面依次制备有机发光功能层和阴极，从而制备得到所述有机电致发光器件，所述有机发光功能层包括依次层叠的空穴传输层，发光层和电子传输层。

优选地，所述无机材料区的材质为WO₃，ReO₃，MoO₃，V₂O₅，Sb₂O₃和Nd₂O₅中的一种或多种。

优选地，所述有机材料区的材质为4,4',4''-三(N-3-甲基苯基-N-苯基氨基)三苯胺(m-MTDATA)，8-羟基喹啉铝（Alq3），1,3,5-三(1-苯基-1H-苯并咪唑-2-基)苯(TPBi)、N,N'-二苯基-N,N'-二(1-萘基)-1,1'-联苯-4,4'-二胺(NPB)和二(2-甲基-8-喹啉)-（4-苯基苯酚）铝（BAlq）中的一种或多种。

优选地，相邻两个所述有机材料子单元区之间的间隔为2～10μm。

优选地，所述多个有机材料子单元区为方形，长宽尺寸为5～30μm。

优选地，所述多个有机材料子单元区为正方形。

优选地，所述阳极的材质为铟锡氧化物、铟锌氧化物、铝锌氧化物和镓锌氧化物中的一种或多种，所述阳极的厚度为70～200nm.

优选地，所述阴极为氟化铯或氟化锂层与金属层组成的叠层电极，所述氟化铯或氟化锂层的厚度为0.5～2nm，所述金属层的厚度为70～200nm，所述金属层为银、铝、银镁合金或铝镁合金，所述氟化铯或氟化锂层靠近所述电子传输层。

优选地，所述磁控溅射法和真空镀膜法的过程中，真空度为1×10^-5Pa～1×10^-3Pa。

所述透光基底为透明玻璃或透明聚合物薄膜。

优选地，所述阳极的溅射速率为0.2～2nm/s；所述阴极的氟化铯或氟化锂层的蒸发速度为0.01～0.1nm/s，金属层的蒸发速度为0.2～2nm/s。

所述有机发光功能层包括依次层叠的空穴传输层，发光层和电子传输层。空穴传输层、电子传输层和发光层的材质不作具体限定，本领域现有材料均适用于本发明。

优选地，空穴传输层的材质为4,4',4''-三(2-萘基苯基氨基)三苯基胺(2-TNATA)，N,N'-二苯基-N,N'-二(1-萘基)-1,1'-联苯-4,4'-二胺(NPB)，4,4',4''-三(N-3-甲基苯基-N-苯基氨基)三苯胺(m-MTDATA)，N,N'-二苯基-N,N'-二(3-甲基苯基)-1,1'-联苯-4,4'-二胺(TPD)或4,4',4''-三(咔唑-9-基)三苯胺(TCTA)，厚度为20～60nm。优选地，所述空穴传输层的蒸发速度为0.1～1nm/s。

优选地，发光层的材质为4-（二腈甲基）-2-丁基-6-（1,1,7,7-四甲基久洛呢啶-9-乙烯基）-4H-吡喃（DCJTB）、双（4,6-二氟苯基吡啶-N,C2）吡啶甲酰合铱（FIrpic）、双（4,6-二氟苯基吡啶）-四（1-吡唑基）硼酸合铱（FIr6），二（2-甲基-二苯基[f,h]喹喔啉）（乙酰丙酮）合铱（Ir(MDQ)2(acac)）、三（1-苯基-异喹啉）合铱（Ir(piq)3）和三（2-苯基吡啶）合铱(Ir(ppy)3)中的一种或几种发光材料与主体材料掺杂而成的混合材料。所述主体材料可选用4,4'-二(9-咔唑)联苯（CBP），8-羟基喹啉铝（Alq3），TPBi(1,3,5-三(1-苯基-1H-苯并咪唑-2-基)苯)或N,N'-二苯基-N,N'-二(1-萘基)-1,1'-联苯-4,4'-二胺(NPB)，发光材料在主体材料中的质量比为2～20:100。

又优选地，发光层的材质为荧光材料4,4'-二(2,2-二苯乙烯基)-1,1'-联苯（DPVBi），4,4'-双[4-(二对甲苯基氨基)苯乙烯基]联苯(DPAVBi)、5,6,11,12-四苯基萘并萘（Rubrene）和二甲基喹吖啶酮（DMQA）中的至少一种。

优选地，发光层的厚度为5～20nm。优选地，所述发光层的蒸发速度为0.01～1nm/s。

优选地，电子传输层的材料为2-（4-联苯基）-5-（4-叔丁基）苯基-1,3,4-噁二唑（PBD）、4,7-二苯基-1,10-菲罗啉（Bphen）、N-芳基苯并咪唑（TPBI）或2,9-二甲基-4,7-联苯-1,10-邻二氮杂菲(BCP)，厚度为20～60nm。优选地，所述电子传输层的蒸发速度为0.1～1nm/s。

本发明提供了一种有机电致发光器件及其制备方法具有以下有益效果：

（1）本发明提供的有机电致发光器件，在透光基底与阳极之间设置光提取层，该光提取层由有机材料区和无机材料区构成，铺满透光基底的平面，由于光提取层具有两种不同折射率的材料，无机材料区为高折射率区，有机材料区为低折射率区，当光从阳极向透光基底传输时，普通的器件会存在波导模态，使阳极与基底之间的出射光角度较小，出光效率低，而本发明设置光提取层后，入射光从阳极进入光提取层，由于有机材料和无机材料的折射率不一致，因此光线在光提取层不断发生折射现象，改变了入射透光基底的入射角，使从阳极向透光基底之间的入射角范围增大，因而出光效率提高；此外，有机材料区包括多个阵列排布的有机材料子单元区，即有机材料区和无机材料区呈规律性设置，这样，在无机材料区中横向传播的可见光不断发生耦合作用，使横向传播的光减少，而纵向传播，即向出光面发射的光增多，从而进一步提高了出光效率；因此，本发明提供的有机电致发光器件具有出光效率高，发光效率较优的特点；

（2）本发明有机电致发光器件的制备工艺简单，易大面积制备，适于工业化大规模使用。

附图说明

图1是本发明实施例1制得的有机电致发光器件的结构示意图；

图2是本发明实施例1的光提取层11在玻璃基底10上的设置示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例1

一种有机电致发光器件的制备方法，包括以下步骤：

（1）提供一透明玻璃基底及一掩膜板，所述掩膜板贴合于所述玻璃基底表面；将玻璃基底置于1×10^-5Pa的真空镀膜室中，采用真空镀膜法在透光基底贴合有掩膜板的一面制备25个阵列排布的有机材料子单元区形成有机材料区，材质为m-MTDATA，蒸发速度为1nm/s；有机材料子单元区呈正方形，正方形边长为5μm，相邻两个有机材料子单元区之间的间隔为为2μm；

（2）取下所述掩膜板，再取另一预制备好的掩膜板将有机材料区覆盖，然后在真空度为1×10^-3Pa的真空镀膜***中，采用真空镀膜法在透光基底表面制备无机材料区，材质为WO₃，蒸发速度为1nm/s；有机材料区与无机材料区构成光提取层，光提取层铺满透光基底的平面，光提取层的厚度为2μm，即有机材料区与无机材料区的厚度一致；

（3）在真空度为1×10^-3Pa的真空镀膜***中，采用磁控溅射法在光提取层表面制备阳极，材料为ITO，厚度为70nm，溅射速度为0.2nm/s；再采用真空热镀膜法，在阳极表面制备有机发光功能层和阴极，从而制备得到有机电致发光器件；

其中，有机发光功能层依次包括空穴传输层、发光层和电子传输层；空穴传输层采用NPB，厚度为20nm，蒸发速度为0.1nm/s；发光层材料为TPBi掺杂Ir(ppy)3形成的混合材料，Ir(ppy)3与TPBi的质量比为10:100，发光层厚度为15nm，其中TPBi的蒸发速度为0.1nm/s，Ir(ppy)3的蒸发速度为0.01nm/s；电子传输层材质为TPBi，厚度为20nm，蒸发速度为0.1nm/s；阴极为LiF-Ag叠层阴极，首先在电子传输层上制备LiF层，厚度为0.5nm，蒸发速度为0.01nm/s，然后制备金属Ag层，厚度为70nm，蒸发速度为0.2nm/s。

图1是本发明实施例1制得的有机电致发光器件的结构示意图。如图1所示，本实施例有机电致发光器件，依次包括透明玻璃基底10、光提取层11、阳极12、空穴传输层13、发光层14、电子传输层15和阴极16。所述光提取层11包括阵列设置在透明玻璃基底10上的有机材料区11a和无机材料区11b。由于有机材料区11a和无机材料区11b具有不同折射率，因此当入射光从阳极12进入光提取层11时，光线将在光提取层11不断发生折射现象，从而改变光线入射透光基底10的入射角，使从阳极12向透光基底10之间的入射角范围增大，因而出光效率提高；此外，有机材料区11a和无机材料区11b呈规律性设置，这样，在无机材料区11b中横向传播的可见光将不断发生耦合作用，使横向传播的光减少，而纵向传播，即向出光面透光基底10发射的光增多，从而进一步提高了出光效率。图2是本发明实施例1的光提取层11在玻璃基底10上的设置示意图。从图2中可以看出，光提取层11包括有机材料区11a和无机材料区11b，有机材料区11a包括25个阵列设置的正方形有机材料子单元区。

实施例2

一种有机电致发光器件的制备方法，包括以下步骤：

（1）提供一透明玻璃基底及一掩膜板，所述掩膜板贴合于所述玻璃基底表面；将玻璃基底置于1×10^-3Pa的真空镀膜室中，采用真空镀膜法在透光基底贴合有掩膜板的一面制备25个阵列排布的有机材料子单元区形成有机材料区，材质为NPB，蒸发速度为10nm/s；有机材料子单元区呈正方形，正方形边长为30μm，相邻两个有机材料子单元区之间的间隔为10μm；

（2）取下所述掩膜板，再取另一预制备好的掩膜板将有机材料区覆盖，然后在真空度为1×10^-3Pa的真空镀膜***中，采用真空镀膜法在透光基底表面制备无机材料区，材质为ReO₃，蒸发速度为10nm/s；有机材料区与无机材料区构成光提取层，光提取层铺满透光基底的平面，光提取层的厚度为10μm，即有机材料区与无机材料区的厚度一致；

（3）在真空度为1×10^-3Pa的真空镀膜***中，采用磁控溅射法在光提取层表面制备阳极，材料为IZO，厚度为200nm，溅射速度为2nm/s；再采用真空热镀膜法，在阳极表面制备有机发光功能层和阴极，从而制备得到有机电致发光器件；

其中，有机发光功能层依次包括空穴传输层、发光层和电子传输层；空穴传输层采用2-TNATA，厚度为60nm，蒸发速度为1nm/s；发光层材料为NPB掺杂Ir(MDQ)2(acac)形成的混合材料，Ir(MDQ)2(acac)与NPB的质量比为20:100，发光层厚度为20nm，其中NPB的蒸发速度为1nm/s,Ir(MDQ)2(acac)蒸发速度为0.2nm/s.；电子传输层材质为Bphen，厚度为60nm，蒸发速度为1nm/s；阴极为CsF-Al叠层阴极，首先在电子传输层上制备CsF层，厚度为2nm，蒸发速度为1nm/s，然后制备金属Al层，厚度为200nm，蒸发速度为2nm/s。

实施例3

一种有机电致发光器件的制备方法，包括以下步骤：

（1）提供一透明玻璃基底及一掩膜板，所述掩膜板贴合于所述玻璃基底表面；将玻璃基底置于1×10^-4Pa的真空镀膜室中，采用真空镀膜法在透光基底贴合有掩膜板的一面制备25个阵列排布的有机材料子单元区形成有机材料区，材质为BAlq，蒸发速度为5nm/s；有机材料子单元区呈正方形，正方形边长为20μm，相邻两个有机材料子单元区之间的间隔为5μm；

（2）取下所述掩膜板，再取另一预制备好的掩膜板将有机材料区覆盖，然后在真空度为1×10^-3Pa的真空镀膜***中，采用真空镀膜法在透光基底表面制备无机材料区，材质为Sb₂O₃，蒸发速度为5nm/s；有机材料区与无机材料区构成光提取层，光提取层铺满透光基底的平面，光提取层的厚度为5μm，即有机材料区与无机材料区的厚度一致；

（3）在真空度为1×10^-4Pa的真空镀膜***中，采用磁控溅射法在光提取层表面制备阳极，材料为AZO，厚度为100nm，溅射速度为1nm/s；再采用真空热镀膜法，在阳极表面制备有机发光功能层和阴极，从而制备得到有机电致发光器件；

其中，有机发光功能层依次包括空穴传输层、发光层和电子传输层；空穴传输层采用m-MTDATA，厚度为30nm，蒸发速度为0.5nm/s；发光层材料为Alq3掺杂DCJTB形成的混合材料，DCJTB与Alq3的质量比为2:100，发光层厚度为5nm，其中Alq3的蒸发速度为1nm/s,DCJTB蒸发速度为0.02nm/s.；电子传输层材质为BCP，厚度为40nm，蒸发速度为0.5nm/s；阴极为CsF-Mg-Al叠层阴极，首先在电子传输层上制备CsF层，厚度为1nm，蒸发速度为0.1nm/s，然后制备金属Mg-Al合金层，厚度为100nm，蒸发速度为1nm/s。

对比例1

对比例1与实施例1的区别在于，在阳极与玻璃基底之间不设置光提取层。

对比例2

对比例2与实施例2的区别在于，在阳极与玻璃基底之间不设置光提取层。

对比例3

对比例3与实施例3的区别在于，在阳极与玻璃基底之间不设置光提取层。

效果实施例

本发明测试与制备设备为高真空镀膜***（沈阳科学仪器研制中心有限公司），美国海洋光学Ocean Optics的USB4000光纤光谱仪测试电致发光光谱，美国吉时利公司的Keithley2400测试电学性能，日本柯尼卡美能达公司的CS-100A色度计测试亮度和色度。

将本发明实施例1～3和对比例1～3所制得的有机电致发光器件进行发光亮度的测试，以及在6V驱动电压下进行发光效率测试，测试结果如表1所示：

表1

	发光亮度（cd/m2）	发光效率（lm/W）
			实施例1	6574	26.1
对比例1	3765	14.7
			实施例2	6023	21.4
对比例2	3643	13.1
			实施例3	4986	19.9
对比例3	3120	12.3

由表1的数据可以看出，本发明提供的有机电致发光器件，通过在透光基底与阳极之间设置光提取层，由于光提取层包括不同折射率的有机材料区和无机材料区，因此当入射光从阳极进入光提取层时，光线将在光提取层不断发生折射现象，从而改变光线入射透光基底的入射角，使从阳极向透光基底之间的入射角范围增大，因而出光效率提高；此外，有机材料区和无机材料区呈规律性设置，这样，在无机材料区中横向传播的可见光将不断发生耦合作用，使横向传播的光减少，而纵向传播，即向出光面发射的光增多，从而进一步提高了出光效率，最终导致器件的发光亮度和发光效率都提高了。如表1中所示，相对于对比例1，实施例1有机电致发光器件的发光亮度提高了75%，发光效率提高了78%；相对于对比例2，实施例2有机电致发光器件的发光亮度提高了65%，发光效率提高了63%；相对于对比例3，实施例3有机电致发光器件的发光亮度提高了60%，发光效率提高了62%。

以上所述是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种有机电致发光器件，包括透光基底和依次层叠设置在透光基底上的光提取层、阳极、有机发光功能层和阴极，所述有机发光功能层包括依次层叠的空穴传输层，发光层和电子传输层，其特征在于，所述光提取层由无机材料区和有机材料区构成，所述光提取层铺满所述透光基底的平面，所述有机材料区包括多个阵列设置的有机材料子单元区，所述光提取层的厚度为2～10μm。

2.如权利要求1所述的有机电致发光器件，其特征在于，所述无机材料区的材质为WO₃，ReO₃，MoO₃，V₂O₅，Sb₂O₃和Nd₂O₅中的一种或多种。

3.如权利要求1所述的有机电致发光器件，其特征在于，所述有机材料区的材质为4,4',4''-三(N-3-甲基苯基-N-苯基氨基)三苯胺，8-羟基喹啉铝，1,3,5-三(1-苯基-1H-苯并咪唑-2-基)苯、N,N'-二苯基-N,N'-二(1-萘基)-1,1'-联苯-4,4'-二胺和二(2-甲基-8-喹啉)-（4-苯基苯酚）铝中的一种或多种。

4.如权利要求1所述的有机电致发光器件，其特征在于，相邻两个所述有机材料子单元区之间的间隔为2～10μm。

5.如权利要求1所述的有机电致发光器件，其特征在于，多个所述有机材料子单元区为方形，长宽尺寸为5～30μm。

6.如权利要求5所述的有机电致发光器件，其特征在于，多个所述有机材料子单元区为正方形。

7.如权利要求1所述的有机电致发光器件，其特征在于，所述阳极的材质为铟锡氧化物、铟锌氧化物、铝锌氧化物和镓锌氧化物中的一种或多种，所述阳极的厚度为70～200nm.

8.如权利要求1所述的有机电致发光器件，其特征在于，所述透光基底为透明玻璃或透明聚合物薄膜。

9.如权利要求1所述的有机电致发光器件，其特征在于，所述阴极为氟化铯或氟化锂层与金属层组成的叠层电极，所述氟化铯或氟化锂层的厚度为0.5～2nm，所述金属层的厚度为70～200nm，所述金属层为银、铝、银镁合金或铝镁合金，所述氟化铯或氟化锂层靠近所述电子传输层。

10.一种如权利要求1～9任一项所述的有机电致发光器件的制备方法，其特征在于，包括步骤如下：

提供一透光基底及一掩膜板，所述掩膜板贴合于所述透光基底表面，

采用真空镀膜法在所述透光基底贴合有掩膜板的一面制备多个阵列排布的有机材料子单元区形成有机材料区，蒸发速度为1～10nm/s；

取下所述掩膜板，再取另一预制备好的掩膜板将所述有机材料区覆盖，然后采用真空镀膜法在所述透光基底表面制备无机材料区，蒸发速度为1～10nm/s；所述有机材料区与所述无机材料区构成光提取层，所述光提取层铺满所述透光基底的平面，所述光提取层的厚度为2～10μm；

采用磁控溅射法在所述光提取层表面制备阳极，再采用真空热镀膜法，在所述阳极表面依次制备有机发光功能层和阴极，从而制备得到所述有机电致发光器件，所述有机发光功能层包括依次层叠的空穴传输层，发光层和电子传输层。