CN103996638B - 基底装载装置 - Google Patents

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Abstract

基底装载装置包括框架部分、主支撑件和副支撑件，框架部分形成多个基底被装载在其中的装载空间，并具有基底被***在其中的入口表面以及与入口表面相对的后表面，主支撑件从框架部分的后表面伸出，以支撑装载后的基底的后侧，副支撑件被安装在框架部分的入口表面并从入口表面伸出，以支撑装载后的基底的与后侧相对的前侧。

Description

基底装载装置
优先权要求
本申请基于35U.S.C.§119要求早前在2013年2月19日递交到韩国知识产局并分配了序列号10-2013-0017471的申请的所有权益，并参考该申请并将该申请合并于此。
技术领域
本发明涉及装载多个基底的基底装载装置。
背景技术
作为平板显示装置的具体示例，有液晶显示装置（LCD）、等离子显示面板装置（PDP）、场致发光显示装置（FED）、有机发光二极管（OLED）等。这里，平板显示装置的每一种基本上具有平坦透明基底，这些平坦透明基底彼此面对并附着，并具有在它们之间的荧光和/或偏振材料层。
在制造平板显示装置的工艺中，包含大量的工艺，例如清洁工艺、附着工艺、切割工艺、在基底上沉积由预定材料制成的薄膜的沉积工艺、暴露薄膜的选定部分的光刻工艺、以及通过去除薄膜的暴露部分实现所需的薄膜图案的蚀刻工艺。
同时，用于制造平板显示装置的基底可以被保持在例如盒子的基底装载装置中，以暂时保持、传送或移动到每个工艺。特别地，在基底被装载的状态下，基底装载装置可以被放置在例如硬化炉的热加工装置中。鉴于硬化的加工特性，由于要消耗大量的时间，基底装载装置必须被配置为同时加工多个半导体基底，以便对生产线环境提供足够的吞吐量。
然而，在基底被长时间加热的情况下，基底可能弯曲、翘曲和/或下垂。当出现基底的这种弯曲、翘曲和下垂时，可能产生缺陷。
根据最近的基底薄和表面积增加的趋势，基底的翘曲问题进一步加剧，从而导致制造工艺中的生产率、产量和可靠性下降。
发明内容
本发明的目的是提供一种通过当基底长时间经受加热时使基底的翘曲问题最小化来保证显示器的制造工艺的可靠性、产量、吞吐量以及生产率的基底装载装置。
根据本发明的一个方面，提供了一种基底装载装置，包括：框架部分，形成多个基底被装载在其中的装载空间，并具有多个基底被***在其中的入口表面以及与入口表面相对的后表面；主支撑件，从框架部分的后表面伸出，以支撑装载后的基底的后侧；以及副支撑件，被安装在框架部分的入口表面处并从入口表面伸出，以支撑装载后的基底的与后侧相对的前侧。
主支撑件可以包括：主支撑杆，横贯框架部分的后表面；和多个后导向件，以预定间隔布置在主支撑杆上，以便支撑装载后的基底的下表面的后侧。框架部分可以包括布置在上部处的上框架、布置在下部处的下框架；和与上框架和下框架一起形成装载空间的右侧框架和左侧框架。框架部分还可以包括多个侧导向件，多个侧导向件从右侧框架和左侧框架伸出，并沿着装载后的基底的下表面的侧部以预定的间隔布置。
副支撑件可以包括：副支撑杆，横贯框架部分的入口表面；和多个前导向件，被布置在副支撑杆上并且彼此之间具有预定间隔，以支撑装载后的基底的下表面的前侧。副支撑件还可以包括被分别布置在副支撑杆的上部和下部处并安装在框架部分上的上支持件和下支持件，框架部分还可以包括被分别提供在入口表面的上部和下部处以容纳上支持件和下支持件并分别与上支持件和下支持件联接的上联接块和下联接块。上支持件、下支持件和上联接块、下联接块可以具有可拆卸的结构。上联接块可以包括沿竖向提升上支持件以调节多个前导向件的高度的提升装置。提升装置可以包括由螺钉联接到上联接块以通过旋转沿竖向提升上支持件的提升体。提升体可以包括：固定体，上支持件被***地固定到固定体；和旋转体，旋转体的第一端可以独立可旋转地联接到固定体。提升装置还可以包括从旋转体的与第一端相对的第二端弯曲以形成用户手柄的操作杆。提升装置还可以包括用于旋转旋转体的驱动电机和用于控制驱动电机的控制器。下联接块可以包括沿竖向方向升为下支持件提供弹性的弹性构件。
副支撑件可以包括彼此间隔开的第一副支撑件和第二副支撑件，第一副支撑件和第二副支撑件中的每一个包括：副支撑杆，横贯框架部分的入口表面；和多个前导向件，被布置在副支撑杆上并且彼此之间具有预定间隔，以支撑装载后的基底的下表面的前侧，第一副支撑件的副支撑杆被布置在基底装载装置的中心线的与第二副支撑件的副支撑杆相对的一侧上。第一副支撑件的副支撑杆可以被布置在基底装载装置的左半部分内，第二副支撑件的副支撑杆可以被布置在基底装载装置的右半部分内，第一副支撑件和第二副支撑件的中每一个还可以包括被分别布置在相应副支撑杆的上部和下部处并被安装在框架部分上的上支持件和下支持件。
框架部分可以包括从框架部分的入口表面伸出的多个前导向件、从框架部分的后表面伸出的多个后导向件、以及从框架部分的右表面和左表面伸出的多个右导向件和左导向件，前、后、右、左导向件中的每一个可以分别支撑装载后的基底的前部、后部、右部和左部的下表面，以防止装载后的基底在被加热时下垂。左、右导向件中的对应导向件可被布置在同一水平上，支撑装载后的基底中的同一个基底，并且左导向件中的对应左导向件朝右导向件中的对应右导向件的顶端延伸，而前、后导向件中的对应导向件可以被布置在同一水平上，支撑装载后的基底中的同一个基底，并且前导向件中的对应前导向件朝后导向件中的对应后导向件的顶端延伸。
附图说明
通过参考下面结合附图考虑时的详细描述，对本发明的更完整的理解及本发明的许多伴随的优点将是显而易见的，在附图中相同的附图标记表示相同或相似的部件，附图中：
图1A是示意性地示出了根据本发明的实施例的基底装载装置的示例的示意图；
图1B是图1A的基底装载装置的主视图，示出了其中具有装载的基底的基底装载装置的正面；
图1C是示出了图1A的基底装载装置的另一个实施例的主视图，其中包括了额外的副支撑件；
图2A至图2C是描述用于安装用于图1A的布局结构的副支撑件的方法的剖视图；和
图3是示意性地示出了提升装置的示例的局部放大图。
具体实施例
在下面的详细描述中，仅简单地通过举例说明的方式示出和描述了本发明的某些示例性实施例。如本领域技术人员将认识到的那样，所描述的实施例可以以各种不同的方式修改，所有这些都不脱离本发明的精神或范围。因此，附图和描述将被视为在本质上是说明性的，而不是限制性的。此外，当元件被称为在另一元件“上”时，该元件可以直接在另一元件上，或间接地在另一元件上，它们之间***有一个或多个中间元件。并且，当元件被称为“被连接到”另一元件时，它可以被直接连接到另一元件，或者被间接连接到另一元件，它们之间***有一个或多个中间元件。在下文中，相同的附图标记指代相同的元件。
在下文中，将参考附图详细描述本发明的示例性实施例。
现在转到图1A至图1C，图1A是示意性地示出了基底装载装置的示例的示意图，图1B是图1A的基底被布置在其中的基底装载装置的主视图，图1C是示出了提供有多个副支撑件的另一个实施例的主视图。在多个基底被装载的状态下，基底装载装置可以被传送、保持或布置在基底加工装置内。图1A中示出了方向坐标轴，其中Z方向垂直于表面。
现在参考图1A和图1B，基底装载装置包括框架部分10，框架部分10形成其中装载多个基底S的装载空间并且具有基底S被***在其中的入口表面FS以及与入口表面FS相对的后表面BS。基底装载装置还包括主支撑件20和副支撑件30，主支撑件20从框架部分10的后表面BS伸出，然后支撑被装载的基底S的后侧，副支撑件30被安装在框架部分10的入口表面FS处，从入口表面FS伸出，并支撑被装载的基底S的前侧和相对侧。
框架部分10具有其中至少一个表面（入口表面FS）被打开的盒形，并具有包括被装载在其中的多个基底的装载空间。除了入口表面FS之外的其它表面可被平板覆盖，并且可以是具有打开的区域的框架结构。
具体地说，框架部分10可以被配置为包括设置在上部的上框架11a、设置在下部的下框架11b以及与上框架11a和下框架11b一起形成装载空间的侧框架11c。此外，框架部分10可进一步包括从侧框架11c伸出并沿基底S的侧部以预定间隔设置的多个侧导向件13。这里，多个侧框架11c具有杆状，并且可以相对于入口表面FS被垂直（Z方向）布置到右侧和左侧。多个侧导向件13沿一个方向（X方向）水平伸出，并在每个侧框架11c的内表面处彼此接近，以支撑基底S的两侧。位于同一平面（XY平面）上的多个侧导向件13被定义为单层，基底S以每一层的形式被装载。框架部分10的形状和基底S的装载后的结构不限于此，并可以具有各种经修改的示例。
主支撑件20可以被配置为包括主支撑杆21和后表面导向件23，主支撑杆21沿竖向方向升（Z方向）横贯框架部分10的后表面BS，后表面导向件23以预定间隔被设置在主支撑杆21上并支撑基底S的下表面的后部。更具体地说，主支撑杆21可以具有杆状，并可以被垂直设置为横贯后表面BS的中心部分。后表面导向件23从主支撑杆21的内表面朝入口表面FS伸出，以支撑基底S的中心部分。主支撑杆21和后表面导向件23通过例如螺栓/螺母、接头和/或夹具或螺纹和法兰结构的联接构件（未示出）而联接，从而保证机械联接强度。
副支撑件30可以被配置为包括副支撑杆31、前导向件33以及支持件35a和35b，副支撑杆31沿竖向方向升横贯框架部分10的入口表面FS，前导向件33以预定间隔被设置在副支撑杆31上并支撑基底S的下表面的前部，支持件35a和35b各自被提供在副支撑杆31的上部和下部并安装在框架部分10上。更具体地说，副支撑杆31可以具有杆状，并且可以被垂直安装为横贯入口表面FS的中心部分。
前导向件33从副支撑杆31的内表面伸出，并朝后表面BS延伸，以支撑基底S的中心部分。也就是，主支撑杆21和副支撑杆31被形成为彼此平行，基底被设置在它们之间。此外，后导向件23和前导向件33沿一个方向（Y方向）彼此面对地水平伸出，以支撑装载后的基底S的中心部分。在这种情况下，后导向件23的长度可以比前导向件33的长度长。副支撑杆31和前导向件33通过例如螺栓/螺母、接头和/或夹具或螺纹的联接构件（未示出）以及这些联接构件之间法兰结构而联接，从而保证机械联接强度。
和前导向件33相似，支持件35a和35b从副支撑杆31伸出，但不像前导向件33，支持件35a和35b用于安装到框架部分10。支持件可以被分为设置在副支撑杆31的上部的上支持件35a和设置在副支撑杆31的下部的下支持件35b。框架部分10可以进一步包括分别提供在入口表面FS的上部和下部的联接块15a和15b，支持件35a和35b在入口表面FS的上部和下部被分别***到联接块15a和15b中。这里，支持件35a和35b以及联接块15a和15b具有可拆卸的结构。
同时，参考图1C，作为另一个示例性实施例，根据基底的尺寸和厚度，副支撑件30可包括多个副支撑件（例如，第一副支撑件）30a和（例如，第二副支撑件）30b，以增加承载能力和基底的范围。虽然未示出，主支撑件20也可以包括多个主支撑杆。在一个实施例中，副支撑件30a和30b彼此间隔开，并且它们中的每一个包括：副支撑杆，横贯框架部分10的入口表面FS；和多个前导向件，被布置在副支撑杆上并且彼此之间具有预定间隔，以支撑装载后的基底的下表面的前侧，副支撑件30a的副支撑杆被布置在基底装载装置的中心线的与副支撑件30b的副支撑杆相对的一侧上。在一个实施例中，副支撑件30a的副支撑杆被布置在基底装载装置的左半部分内，副支撑件30b的副支撑杆被布置在基底装载装置的右半部分内，其中副支撑件30a和30b中的每一个进一步包括被分别布置在副支撑杆的上部和下部处并被安装在框架部分10上的上支持件和下支持件。
现在转到图2A至图3，图2A至图2C是描述用于安装副支撑件的方法的剖视图，图3是示意性地示出了提升装置的示例的局部放大图。对和前述相同的项目的描述将被简化。
参考图2A至图2C，首先，多个基底S被装载到框架部分10的装载空间中。例如，基底的装载操作可以由例如机械臂的用于装载/卸载基底的装置（未示出）执行。装载后的基底S的侧部由从侧框架11c伸出的侧导向件13支撑，后表面BS和装载后的基底S的中心部分由从主支撑杆21伸出的后导向件23支撑。
然而，在这种状态下，由于没有支撑框架部分10的入口表面FS的结构，基底的翘曲可能会发生。特别地，在其中每个基底S具有大尺寸或者可以在厚度上较薄的情况下，基底的翘曲可能是显著的，并导致缺陷。因此，本发明包括安装在基底装载装置的入口表面FS处的至少一个副支撑件30和提升副支撑件30的提升装置。因此，通过更稳定地支撑基底S并最小化基底的翘曲问题，可以保证基底装载装置在加工中的可靠性。
更具体地说，副支撑件30的支持件35a和35b被分别***和联接到联接块15a和15b。在这种情况下，为了防止基底S的低垂，前导向件33应当被安装为以预定间隔和基底S的下表面间隔开。也就是，前导向件33和后导向件23被设置成彼此交替。
支持件35a和35b和联接块15a和15b由例如螺纹或法兰结构的联接构件（未示出）联接在一起，从而保证了机械联接强度。此外，联接结构必须具有可拆卸的结构。
然后，副支撑件30可以使用提升装置具有预定间隔地沿竖向方向升（Z方向）移动。也就是，副支撑件30被抬起，以使前导向件33和后导向件23彼此在同一个水平。
在预定的加工完成后，在将基底S从基底装载装置取出的情况下，相反的过程发生。首先，副支撑件30沿竖向方向升被降下，然后从壳体释放、拆卸和分离副支撑件30，最后由机器臂等从装载装置取出基底。
现在参考图3，联接块15a和15b中的至少一个，例如上联接块15a，可以包括提升装置LF，以通过沿竖向提升上支持件35a来调节前导向件33的高度。提升装置LF可被配置为包括提升体17，提升体17由螺钉联接技术被联接到上联接块15a，以通过旋转沿竖向提升上支持件35a。提升体包括上支持件35a被***并固定在其上的固定体17a、一端被独立地和可旋转地联接到固定体17a的旋转体17b以及从旋转体17b的另一端弯曲以形成用户手柄的操作杆17c。
更具体地说，固定体17a具有上支持件35a被***并被布置在其中的打开的联接孔CH，并且被机械联接到旋转体17b。然而，由于提供在固定体17a和旋转体17b之间的垫圈18，固定部17a并不根随旋转体17b而旋转。
旋转体17b具有螺纹形状，并贯通和被***到上联接块15a的一个表面，该螺纹形状具有被成在其外圆周表面的螺纹。固定体17a被布置在旋转体17b的下端，操作杆17c被布置在旋转体17b的顶端。
在用户旋转操作杆17c的情况下，旋转体17b沿螺纹旋转，并和操作杆17c的旋转一起垂直移动，使得联接到固定体17a的副支撑件30垂直移动。在另一个示例性实施例中，提升装置可包括旋转旋转体17b的驱动电机（未示出）和控制驱动电机的控制器（未示出），从而可以提供精确和自动的提升功能。
同时，由于狭窄空间，联接块15a和15b中的另一个，例如下联接块15b，可以包括相对于联接后的下支持件35b沿竖向方向升（Z方向）提供弹性的弹性构件（未示出），而不是具有单独的提升装置。
如上所述，使用本发明的示例性实施例，基底装载装置在入口表面安装单独的基底支撑件，并包括提升入口基底支撑件的提升装置，由此通过稳定地支撑基底并最小化翘曲问题保证了工艺的可靠性。
尽管已经结合某些示例性实施例描述了本发明，但是应当理解，本发明并不限于所公开的实施例，而是相反，意在覆盖包括在所附权利要求及其等同方案的精神和范围内的各种修改和等同布置。

Claims (17)

1.一种基底装载装置，包括：
框架部分，形成多个基底被装载在其中的装载空间，并具有所述多个基底被***在其中的入口表面以及与所述入口表面相对的后表面；
主支撑件，从所述框架部分的所述后表面伸出，以支撑装载后的基底的后侧；和
副支撑件，被安装在所述框架部分的所述入口表面处并从所述入口表面伸出，以支撑装载后的基底的与所述后侧相对的前侧，
其中所述副支撑件可拆卸地附接到所述框架部分，并且其中所述主支撑件不能从所述框架部分拆卸。
2.根据权利要求1所述的基底装载装置，所述副支撑件包括：
副支撑杆，横贯所述框架部分的所述入口表面；和
多个前导向件，被布置在所述副支撑杆上并且彼此之间具有预定间隔，以支撑装载后的基底的下表面的前侧。
3.根据权利要求2所述的基底装载装置，其中所述副支撑件进一步包括被分别布置在所述副支撑杆的上部和下部处并安装在所述框架部分上的上支持件和下支持件，所述框架部分进一步包括分别提供在所述入口表面的上部和下部处以容纳所述上支持件和所述下支持件并分别与所述上支持件和所述下支持件联接的上联接块和下联接块。
4.根据权利要求3所述的基底装载装置，其中所述上支持件、下支持件和所述上联接块、下联接块具有可拆卸的结构。
5.根据权利要求4所述的基底装载装置，其中所述上联接块包括沿竖向提升所述上支持件以调节所述多个前导向件的高度的提升装置。
6.根据权利要求5所述的基底装载装置，其中所述提升装置包括由螺钉联接到所述上联接块以通过旋转沿竖向提升所述上支持件的提升体。
7.根据权利要求6所述的基底装载装置，其中所述提升体包括：
固定体，所述上支持件被***地固定到所述固定体；和
旋转体，所述旋转体的第一端独立可旋转地联接到所述固定体。
8.根据权利要求7所述的基底装载装置，其中所述提升装置进一步包括从所述旋转体的与所述第一端相对的第二端弯曲以形成用户手柄的操作杆。
9.根据权利要求7所述的基底装载装置，其中所述提升装置进一步包括：
用于旋转所述旋转体的驱动电机；和
用于控制所述驱动电机的控制器。
10.根据权利要求4所述的基底装载装置，其中所述下联接块包括沿竖向方向升为所述下支持件提供弹性的弹性构件。
11.根据权利要求1所述的基底装载装置，其中所述主支撑件包括：
主支撑杆，横贯所述框架部分的所述后表面；和
多个后导向件，以预定间隔布置在所述主支撑杆上，以便支撑装载后的基底的下表面的后侧。
12.根据权利要求1所述的基底装载装置，其中所述框架部分包括：
布置在上部处的上框架；
布置在下部处的下框架；和
与所述上框架和下框架一起形成所述装载空间的右侧框架和左侧框架。
13.根据权利要求12所述的基底装载装置，其中所述框架部分进一步包括多个侧导向件，所述多个侧导向件从所述右侧框架和左侧框架伸出，并沿着装载后的基底的下表面的侧部以预定的间隔布置。
14.根据权利要求1所述的基底装载装置，其中所述副支撑件包括彼此间隔开的第一副支撑件和第二副支撑件，所述第一副支撑件和第二副支撑件中的每一个包括：
副支撑杆，横贯所述框架部分的所述入口表面；和
多个前导向件，被布置在所述副支撑杆上并且彼此之间具有预定间隔，以支撑装载后的基底的下表面的前侧，所述第一副支撑件的副支撑杆被布置在所述基底装载装置的中心线的与所述第二副支撑件的副支撑杆相对的一侧上。
15.根据权利要求14所述的基底装载装置，所述第一副支撑件的副支撑杆被布置在所述基底装载装置的左半部分内，所述第二副支撑件的副支撑杆被布置在所述基底装载装置的右半部分内，其中所述第一副支撑件和第二副支撑件中的每一个进一步包括被分别布置在相应副支撑杆的上部和下部处并被安装在所述框架部分上的上支持件和下支持件。
16.根据权利要求1所述的基底装载装置，所述框架部分包括：
从所述框架部分的所述入口表面伸出的多个前导向件；
从所述框架部分的所述后表面伸出的多个后导向件；和
从所述框架部分的右表面和左表面伸出的多个右导向件和左导向件，所述前、后、右、左导向件中的每一个分别支撑装载后的基底的前部、后部、右部和左部的下表面，以防止装载后的基底在被加热时下垂。
17.根据权利要求16所述的基底装载装置，其中所述左、右导向件中的对应导向件被布置在同一水平上，支撑装载后的基底的同一个基底，并且所述左导向件中的对应左导向件朝所述右导向件中的对应右导向件的顶端延伸，所述前、后导向件中的对应导向件被布置在同一水平上，支撑装载后的基底中的同一个基底，并且所述前导向件中的对应前导向件朝所述后导向件中的对应后导向件的顶端延伸。
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