TWI761651B - 具有高度資訊之光學檢測系統與方法 - Google Patents
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Abstract
本發明提供一種具有高度資訊之光學檢測系統與方法,該方法包含:啟動不同顏色之光源裝置照射一平台所承載之一校正片,並從該校正片拍攝一校正影像;記錄該校正影像之顏色分佈;啟動不同顏色之光源裝置照射該平台所承載之一待檢測物,並從該待檢測物拍攝一檢測影像;計算該檢測影像之顏色分佈;比對該校正影像與該檢測影像之顏色分佈,若兩者之顏色分佈至少一部份不一致,則記錄該待檢測物具有高度資訊之瑕疵;以及轉換該檢測影像中與該校正影像之顏色分佈一致的部份為一預設顏色,並儲存該轉換的檢測影像用於後續複檢該待檢測物之瑕疵。
Description
本發明是關於一種光學檢測系統與方法,特別是,本發明是一種藉由不同顏色之光源裝置照射一待檢測物以獲得高度資訊之光學檢測系統與方法。
請同時參考第一圖與第二圖,分別顯示習知光學檢測系統之系統架構圖與系統方塊圖。習知光學檢測系統包含:一影像拍攝系統以及一光源裝置,該影像拍攝系統從一平台2所承載的一待檢測物1上界定一拍攝光軸18,以拍攝一檢測影像,其中該待檢測物1以電路板為例,在其表面上可分布複數個零件或其佈線,該影像拍攝系統包括:一具有鏡頭12之相機11,該相機11定義該拍攝光軸18;以及一偏光鏡13,配置於該相機11的拍攝光軸18以濾掉雜散光源。該光源裝置照射該待檢測物1的檢測面,以讓待檢測物1的瑕疵與缺陷可以顯現於該檢測影像中。該光源裝置包含:一分光鏡14,配置於該相機1的拍攝光軸18;一正光源15,搭配該分光鏡14以提供該待檢測物1的正光源供相機11拍攝取像;以及,一左側光源17與一右側光源16,從旁提供待檢測物1的拍攝輔助光。習知光學檢測系統利用該檢測影像決定該待檢測物1為OK件(表示無瑕疵存在)或NG件(表示有瑕疵存在),以便於後續作業人員在瑕疵覆檢程序中,藉由白光照射NG件進行人眼辨識瑕疵的狀況。
在習知光學檢測系統中,待檢測物1上高度的差異是一般光學系統無法得到資訊,常常必須使用可量測高度差異的設備,去檢測得知高度的變化程度,也因此會增加習知光學檢測系統的成本。
待檢測物1的高度檢測手段可搭配不同的光學系統去量測,一種常見的手段會以不同顏色的光源去打光在待檢測物1上,藉由檢測影像顯現不同的顏色反射,以產生高度差的資訊。但也因為如此,得到的檢測影像不是真實人眼看到的白光照射的反應,直接的非白光照射所得到的影像,雖然可以呈現高度的變化,但該影像卻不利於後續的人眼辨識輔以白光照射的瑕疵覆檢程序。
依先前技術,雖然可以得到待檢測物1的高度變化差異,但也因為光源裝置使用非白光的顏色,所以檢測影像整體的呈現與實際白光照射的結果會有差異。但光源裝置如果只是用白光,又看不出待檢測物1的高度差異變化,且單純用同色光源去照射高度有差異的料號,可能會看到料號有陰影的現象,但此現象是因為高度差異所造成,還是原本是黑色的髒污所影響,使先前技術無法辨識。因此,依先前技術的高度檢測,待檢測物1並非存在高度資訊即表示瑕疵,導致後續瑕疵覆檢程序可能因待檢測物1原有的零件或IC在檢測影像中產生高度資訊而重複檢查。
有鑑於先前技術所存在的問題與應用上的需求,本發明的目的之一在於提供一種使用多角度多顏色的對稱光源獲得高度資訊之光學檢測系統與方法。
本發明的目的之一在於提供一種使用多角度多顏色的光
源,將檢測影像中無瑕疵的高度資訊轉換為一預設顏色之光學檢測系統與方法,以便於後續作業人員基於轉換的檢測影像,對NG件輔以光源進行瑕疵覆檢程序。
為實現本發明之上述目的之一,本發明提出一種具有高度資訊之光學檢測系統,包含:一平台,用以承載一待檢測物;一影像拍攝系統,在該待檢測物上界定一拍攝光軸,以拍攝一檢測影像;以及一光源裝置,包含複數個不同顏色的光源,該等不同顏色的光源照射該待檢測物;其中,該等不同顏色的光源至少分為兩群光源,分別配置於該拍攝光軸的兩側,藉由該群光源的配置,以賦予該檢測影像包含該待檢測物的高度資訊。
其中,該平台用以承載一校正片,且該等不同顏色的光源照射該校正片,使該影像拍攝系統在該校正片上拍攝一校正影像,且該校正影像用以決定一校正參數。
其中,該校正參數用以將該檢測影像中無瑕疵的高度資訊的區域之顏色校正為白色,且該檢測影像的顏色分佈包含與該校正影像之顏色分佈不一致的部份,以及白色。
為實現本發明之上述目的之一,本發明提出一種具有高度資訊之光學檢測方法,包含:啟動不同顏色之光源裝置照射一平台所承載之一校正片,並從該校正片拍攝一校正影像;記錄該校正影像之顏色分佈;啟動不同顏色之光源裝置照射該平台所承載之一待檢測物,並從該待檢測物拍攝一檢測影像;計算該檢測影像之顏色分佈;比對該校正影像與該檢測影像之顏色分佈,若兩者之顏色分佈至少一部份不一致,則記錄該待檢
測物具有高度資訊之瑕疵;以及轉換該檢測影像中與該校正影像之顏色分佈一致的部份為一預設顏色,並儲存該轉換的檢測影像用於後續複檢該待檢測物之瑕疵。
其中本發明更包括:設定至少一檢測區之參數;根據該檢測區之參數,比對該校正影像與該檢測影像之顏色分佈;根據該檢測區之參數,記錄該校正影像之一校正參數;以及,根據該檢測區之參數與該校正參數,轉換該檢測影像中與該校正影像之顏色分佈一致的部份為該預設顏色。
其中本發明更包括:設定一色差門檻值;以及若該校正影像與該檢測影像之顏色分佈的色差超過該色差門檻值,則判定兩者之顏色分佈至少一部份不一致。
其中,該校正影像之顏色分佈包含全平面資訊或零件之高度資訊,且該轉換的檢測影像的顏色分佈包含與該校正影像之顏色分佈不一致的部份,以及該預設顏色,而該預設顏色較佳為白色,以利於瑕疵覆檢程序輔以白光檢查待檢測物。
根據本發明所實施的具有高度資訊之光學檢測系統與方法,在檢測影像得到高度差異的顏色分布後,將無瑕疵的高度資訊轉換為白光,而保留與校正影像不一致之顏色分佈,讓後續作業人員輔以白光進行瑕疵覆檢程序可便於確認高度資訊是否為瑕疵,且除瑕疵高度檢查外,同時檢查確認,如刮傷,偏位等缺陷。
1‧‧‧待檢測物
2‧‧‧移動平台
11‧‧‧相機
12‧‧‧鏡頭
13‧‧‧偏光鏡
14‧‧‧分光鏡
15‧‧‧正光源
16‧‧‧右側光源
17‧‧‧左側光源
18‧‧‧拍攝光軸
21‧‧‧左側R光源
22‧‧‧右側R光源
31‧‧‧左側G光源
32‧‧‧右側G光源
41‧‧‧左側B光源
42‧‧‧右側B光源
100‧‧‧檢測校正方法
200‧‧‧光學檢測方法
101~107‧‧‧步驟
201~214‧‧‧步驟
A、B、B’‧‧‧區域
第一圖是習知光學檢測系統之系統架構圖。
第二圖是習知光學檢測系統之系統方塊圖。
第三A圖是本發明光學檢測系統第一實施例之系統架構圖。
第三B圖是本發明光學檢測系統第二實施例之系統架構圖。
第三C圖是本發明光學檢測系統第三實施例之系統架構圖。
第三D圖是本發明光學檢測系統第四實施例之系統架構圖。
第四圖是本發明光學檢測系統之校正流程圖。
第五圖是本發明光學檢測系統之檢測流程圖。
第六A圖是本發明系統使用多角度多顏色的對稱光源之校正影像示意圖。
第六B圖是本發明系統使用多角度多顏色的對稱光源之檢測影像示意圖。
第六C圖是本發明系統將檢測影像中無瑕疵的高度資訊轉換為白色之檢測影像示意圖。
首先請參考第三A圖,係顯示本發明光學檢測系統第一實施例之系統架構圖。在第一實施例中,本發明光學檢測系統包含一平台2;一影像拍攝系統以及一光源裝置,其中該平台2用以承載一待檢測物1或一校正片,而該校正片可視為無瑕疵狀況之待檢測物1。本發明影像拍攝系統包括:一具有鏡頭12之相機11,該相機11從該平台2所承載的待檢測物1上界定一拍攝光軸18,以拍攝一檢測影像;以及一偏光鏡13,配置於該相機11的拍攝光軸18以濾掉雜散光源。該光源裝置配置以照射該待檢測物1的檢測面,讓待檢測物1的瑕疵與缺陷可以顯現於該相機11所拍攝的檢測影像中。
在此第一實施例中,本發明光源裝置,包含:左側群光源(左側R光源21、左側G光源31與左側B光源41);以及,右側群光源(右側R光源22、右側G光源32與右側B光源42),其中,R、G、B分別表示紅色、綠色與藍色。本發明光源裝置使用多角度多顏色的兩群對稱光源,係在影像拍攝系統之拍攝光軸18之兩側配置以相同數量的光源,但夾角位置與顏色可以不一樣。其中,在影像拍攝系統之拍攝光軸18之一側配置以左側R光源21、左側G光源31與左側B光源41等左側群光源,且各色左側光源21、31、41的照射角度分別與該拍攝光軸18或該待檢測物1的檢測面之間具有不同的夾角,例如各色光源的夾角彼此相差5度;並在影像拍攝系統之拍攝光軸18之另一側對稱配置以右側R光源22、右側G光源32與右側B光源42等右側群光源,且各色右側光源22、32、42的照射角度分別對稱於各色左側光源21、31、41的照射角度。
當本發明光學檢測系統啟動第一實施例所配置不同顏色之光源21、22、31、32、41、42共同照射平台2所承載之一校正片時,影像拍攝系統可從該校正片拍攝一校正影像,其中該校正片可視為無瑕疵狀況之待檢測物1。因此本發明光學檢測系統可從校正影像獲得無瑕疵狀況之顏色分佈,並加以儲存記錄。之後,當本發明光學檢測系統啟動第一實施例所配置不同顏色之光源21、22、31、32、41、42共同照射平台2所承載之一待檢測物1時,影像拍攝系統可從該待檢測物1拍攝一檢測影像。本發明光學檢測系統計算該檢測影像之顏色分佈,並比對該校正影像與該檢測影像之顏色分佈,若兩者之顏色分佈至少一部份不一致,則記錄該待檢測物1具有高度資訊之瑕疵,認定為NG件;若兩者之顏色分佈一致,則記錄該待檢測
物1無瑕疵狀況,認定為OK件。本發明光學檢測系統對NG件的檢測影像將無瑕疵的高度資訊轉換為白光,而保留與校正影像不一致之顏色分佈,讓後續作業人員根據轉換的檢測影像,輔以白光對NG件進行瑕疵覆檢程序可便於確認高度資訊是否為瑕疵狀況。
請參考第三B圖,係顯示本發明光學檢測系統第二實施例之系統架構圖。在第二實施例中,本發明光學檢測系統的平台2與影像拍攝系統相同於第一實施例的平台2與影像拍攝系統,但光源裝置不同於第一實施例的光源裝置的對稱方式。在此第二實施例中,本發明光源裝置,包含:左側群光源(左側R光源21、左側G光源31與左側B光源41);以及,右側群光源(右側R光源22、右側G光源32與右側B光源42)。本發明光源裝置使用多角度多顏色的兩群對稱光源,係在影像拍攝系統之拍攝光軸18之兩側配置以相同數量的光源,但夾角位置與顏色可以不一樣。其中,在影像拍攝系統之拍攝光軸18之一側配置以左側R光源21、左側G光源31與左側B光源41等左側群光源,且各色左側光源21、31、41的照射角度分別與該拍攝光軸18或該待檢測物1的檢測面之間具有不同的夾角;並在影像拍攝系統之拍攝光軸18之另一側對稱配置以右側R光源22、右側G光源32與右側B光源42等右側群光源,但各色右側光源22、32、42的照射角度分別對稱於各色左側光源31、21、41的照射角度。換言之,第一實施例與第二實施例的左側R光源21與左側G光源31在位置上對調。
在第二實施例中,本發明光學檢測系統啟動不同顏色之光源共同照射平台2所承載之一校正片或一待檢測物,以拍攝一校正影像或一檢測影像並藉以比對兩者之顏色分佈來決定該待檢測物是否為NG件的運作
方式,係相同於第一實施例所示的光學檢測系統。
請參考第三C圖,係顯示本發明光學檢測系統第三實施例之系統架構圖。在第三實施例中,本發明光學檢測系統的平台2與影像拍攝系統相同於第一實施例的平台2與影像拍攝系統,但光源裝置不同於第一實施例的光源裝置的對稱方式。在此第三實施例中,本發明光源裝置,包含:左側群光源(左側R光源21與左側G光源31);以及,右側群光源(右側R光源22與右側G光源32)。本發明光源裝置使用多角度多顏色的兩群對稱光源,係在影像拍攝系統之拍攝光軸18之兩側配置以相同數量的光源,但夾角位置與顏色可以不一樣。其中,在影像拍攝系統之拍攝光軸18之一側配置以左側R光源21與左側G光源31等左側群光源,且各色左側光源21、31的照射角度分別與該拍攝光軸18或該待檢測物1的檢測面之間具有不同的夾角;並在影像拍攝系統之拍攝光軸18之另一側對稱配置以右側R光源22與右側G光源32等右側群光源,但各色右側光源22、32的照射角度分別對稱於各色左側光源21、31的照射角度。換言之,第三實施例與第一實施例的差異在於未使用左側B光源41與右側B光源42。
在第三實施例中,本發明光學檢測系統啟動不同顏色之光源共同照射平台2所承載之一校正片或一待檢測物,以拍攝一校正影像或一檢測影像並藉以比對兩者之顏色分佈來決定該待檢測物是否為NG件的運作方式,係相同於第一實施例所示的光學檢測系統。
請參考第三D圖,係顯示本發明光學檢測系統第四實施例之系統架構圖。在第四實施例中,本發明光學檢測系統的平台2與影像拍攝系統相同於第一實施例的平台2與影像拍攝系統,但光源裝置不同於第一實施
例的光源裝置的對稱方式。在此第四實施例中,本發明光源裝置,包含:左側群光源(左側R光源21與左側G光源31);以及,右側群光源(右側G光源32與右側B光源42)。本發明光源裝置使用多角度多顏色的兩群對稱光源,係在影像拍攝系統之拍攝光軸18之兩側配置以相同數量的光源,但夾角位置與顏色可以不一樣。其中,在影像拍攝系統之拍攝光軸18之一側配置以左側R光源21與左側G光源31等左側群光源,且各色左側光源21、31的照射角度分別與該拍攝光軸18或該待檢測物1的檢測面之間具有不同的夾角;並在影像拍攝系統之拍攝光軸18之另一側對稱配置以右側G光源32與右側B光源42等右側群光源,但各色右側光源32、42的照射角度分別對稱於各色左側光源31、21的照射角度。換言之,第四實施例與第一實施例的差異在於未使用左側B光源41與右側R光源22,且拍攝光軸18之兩側配置不同顏色的光源組合。
在第四實施例中,本發明光學檢測系統啟動不同顏色之光源共同照射平台2所承載之一校正片或一待檢測物,以拍攝一校正影像或一檢測影像並藉以比對兩者之顏色分佈來決定該待檢測物是否為NG件的運作方式,係相同於第一實施例所示的光學檢測系統。
根據本發明的各種實施例,光源裝置不限於顏色排列與光源數量,重點是不同顏色依照不同角度去排列,本發明系統可獲得不同顏色對應到的瑕疵翹曲的角度高低。相較於第三與第四實施例,本發明第一與第二實施例的光學檢測系統使用較多數量的光源,因此第一與第二實施例所獲得的校正影像與檢測影像在高度資訊的精準度比第三與第四實施例所獲得的校正影像與檢測影像為高。相較於第一與第三實施例,本發明第二
與第四實施例的光學檢測系統在拍攝光軸18之兩側配置不同顏色的光源組合,因此第二與第四實施例所獲得的校正影像與檢測影像可以分辨到底是左邊高度有缺陷還是右側高度造成的缺陷,因為左右兩側的光源顏色不同,又可以多得到瑕疵翹曲位置的資訊,如第三D圖所示,左邊翹曲在檢測影像會反射出紅光,右邊翹曲在檢測影像會反射出藍光。
請參考第四圖,顯示本發明光學檢測系統之校正流程圖。在本發明前述實施例中,對待檢測物1進行瑕疵檢測前,本發明光學檢測系統需先執行檢測校正方法100或校正流程,以獲得必要的校正參數。如第四圖所示本發明光學檢測系統之檢測校正方法100或校正流程包含以下步驟:步驟101:放置一校正片至平台2,其中該校正片可為一無瑕疵狀況之待檢測物,或一全平面(表示無高度資訊)之校正片。步驟102:啟動包含不同顏色之光源裝置照射該平台2所承載的校正片。步驟103:本發明影像拍攝系統掃描拍攝該平台2所承載之該校正片,若校正片的面積超過相機11的取像範圍,在本發明進一步的實施例中,該平台2為一移動平台,可在一往復方向上運動,俾使本發明影像拍攝系統掃描拍攝該校正片的全部面積。步驟104:執行完步驟103,本發明光學檢測系統可獲得一校正影像。步驟105:本發明光學檢測系統計算該校正影像的顏色分布。步驟106:本發明光學檢測系統轉換無瑕疵高度資訊之顏色為一預設顏色,較佳為白色,在不同實施例中,本發明轉換全平面的顏色為白色,或將正常的高度畫面顏色轉換成一般白光的自然色或是使用者需要的單色光;以及步驟107:本發明光學檢測系統記錄校正參數,該校正參數包含檢測位置座標、命名、規格與顏色分布參數等。
在本發明不同實施例中,校正片的不同位置可能因不同材料受不同顏色光源的照射而呈現差異。因此,校正片即使是平面無高度資訊受不同顏色光源的照射所反射的顏色也未必一致,所以本發明除了記錄校正影像的顏色分布,並計算顏色分布與白色的色差參數,加以記錄。一般來說,本發明系統執行第四圖的校正流程,是為了設備出廠前作調整參數,以記錄校正參數。在本發明不同實施例中,若待檢測物的高低起伏比較均勻,則校正流程可使用全平面(表示無高度資訊)之校正片來記錄校正參數當參考,而在進行檢測流程時,起伏均勻的程度可藉由編輯檢測參數來定義,以調整顏色比對的靈敏度。若待檢測物的高低起伏有些特點無法用平坦校正片來表達,則可選用一片OK件的待檢測物當校正片來記錄校正參數當參考,以便於後續檢測流程經檢測參數編輯位置的框選後,再實際與待檢測物的檢測影像作比對。以下進一步說明本發明光學檢測系統之檢測流程。
請參考第五圖,顯示本發明光學檢測系統之檢測流程圖。在本發明前述實施例中,本發明光學檢測系統之光學檢測方法200或檢測流程包含以下步驟:步驟201:放置一待檢測物1至平台2。步驟202:編輯檢測參數,編輯設定該待檢測物1欲進行瑕疵檢測之檢測區包含:位置座標、框選尺寸定義、命名與規格等參數。步驟203:啟動包含不同顏色之光源裝置照射該平台2所承載的待檢測物1,此步驟203與校正流程的步驟102使用相同的光源配置與組合。步驟204:本發明影像拍攝系統掃描拍攝該平台2所承載之該待檢測物1,若待檢測物的面積超過相機11的取像範圍,在本發明進一步的實施例中,該平台2為一移動平台,可在一往復方向上運動,俾使本
發明影像拍攝系統掃描拍攝該待檢測物的全部面積。步驟205:執行完步驟204,本發明光學檢測系統可獲得一檢測影像。
接著,步驟206:根據步驟202所設定檢測參數,本發明光學檢測系統計算每一檢測區的顏色分布。步驟207:本發明光學檢測系統比對校正影像與檢測影像對應檢測區的顏色是否一致,若所有對應檢測區的兩者顏色一致,則執行步驟208,若有任一對應檢測區的兩者顏色不一致,則執行步驟210。步驟208:當比對校正影像與檢測影像所有對應檢測區的顏色為一致時,本發明光學檢測系統判定該待檢測物為OK件,即該待檢測物無瑕疵狀況。步驟209:本發明光學檢測系統記錄該待檢測物為OK件,即完成待檢測物的OK件檢測流程。在本發明進一步的實施例,在第三A圖至第三D圖所示光源裝置下判定該待檢測物為OK件時,本發明光學檢測系統可進一步將該記錄OK件不具高度瑕疵的顏色轉換成一般白光的自然色或是使用者需要的單色光。
步驟210:當比對校正影像與檢測影像任一對應檢測區的顏色為不一致時,本發明光學檢測系統判定該待檢測物為NG件,即該待檢測物有瑕疵狀況。步驟211:本發明光學檢測系統根據比對顏色為不一致的檢測區,從該校正流程帶入該檢測區的校正參數。步驟212:根據步驟211帶入該檢測區的校正參數,本發明光學檢測系統校正該檢測影像在該檢測區的顏色分布,而轉換該檢測影像在檢測區內與該校正影像的顏色分佈一致的部份為一預設顏色,較佳為白色,並保留該檢測影像在檢測區內與該校正影像的顏色分佈不一致的部份,該不一致的部份表示該檢測影像在檢測區內存在與該校正影像不同的高度資訊。步驟213:儲存轉換的檢測影像,
該轉換的檢測影像的顏色分佈包含與該校正影像之顏色分佈不一致的部份,以及該預設顏色。步驟214:本發明光學檢測系統記錄該待檢測物為NG件,即完成待檢測物的NG件檢測流程。
為了降低瑕疵檢測的資訊計算量,本發明檢測流程在步驟202編輯設定該待檢測物1欲進行瑕疵檢測之檢測區,使得步驟206、207只針對設定的檢測區計算顏色分布以及比對顏色,而避免後續比對校正影像與檢測影像的資訊計算量過於龐大,而影響本發明系統判斷瑕疵的時間。
在後續瑕疵覆檢程序中,由本發明光學檢測系統判定NG件之待檢測物被取出交由作業人員進行人眼辨識瑕疵的狀況。判定NG件之待檢測物輔以白光照射,再由作業人員檢視本發明步驟213所儲存的檢測影像,該檢測影像的顏色分佈包含與該校正影像之顏色分佈不一致的部份,以及白色,使作業人員易於在白光照射下覆檢待檢測物對應檢測影像的顏色分佈不一致的部份是否存在瑕疵。
請參考第六A圖、第六B圖與第六C圖,分別顯示本發明系統使用多角度多顏色的對稱光源之校正影像示意圖、本發明系統使用多角度多顏色的對稱光源之檢測影像示意圖與本發明系統將檢測影像中無瑕疵的高度資訊轉換為白色之檢測影像示意圖。第六A圖所示校正影像是本發明方法步驟104使用多角度多顏色的對稱光源照射所呈無高度瑕疵資訊的影像。第六B圖所示檢測影像是本發明方法步驟206所計算一檢測區的顏色分布,其中包含使用多角度多顏色的對稱光源照射所呈現的高度資訊,如區域A所示。因此,在本發明方法步驟207的比對步驟中,該第六B圖所示的檢測區將因區域A的顏色與第六A圖所示校正影像的顏色不一致,而在步驟
210將待檢測物判定為NG件,經步驟211帶入校正參數後,在步驟212校正該檢測區的顏色分布,而轉換該檢測區內與該校正影像的顏色一致的區域B為一預設顏色,較佳為白色,並保留該檢測區內與該校正影像的顏色不一致的區域A。於步驟213儲存轉換的檢測影像,該轉換的檢測影像的顏色分佈包含與該校正影像之顏色分佈不一致的區域A,以及經轉換為白色的區域B’,如第六C圖所示。因此,在後續瑕疵覆檢程序中,由作業人員進行人眼辨識該檢測區的瑕疵狀況時,作業人員對待檢測物輔以白光照射該檢測區,並參考第六C圖所示轉換的檢測影像,可易於檢測該檢測區的區域A是否為瑕疵凹凸。
200‧‧‧光學檢測方法
201~214‧‧‧步驟
Claims (13)
- 一種具有高度資訊之光學檢測系統,包含:一平台,用以分別承載一待檢測物與一校正片;一影像拍攝系統,在該待檢測物上界定一拍攝光軸,根據至少一檢測區的設定以拍攝一檢測影像,且在該校正片上拍攝一校正影像;以及一光源裝置,包含複數個不同顏色的光源,該等不同顏色的光源照射該待檢測物與該校正片;其中,該等不同顏色的光源至少分為兩群光源,分別配置於該拍攝光軸的兩側,且該兩群光源包含在不同高度下分別配置不同色光源與同色光源,而在該拍攝光軸兩側以相同照射角度賦予該檢測影像與該校正影像包含對應該檢測區的高度資訊;其中,該校正影像用以決定一校正參數,該校正參數用以將該檢測影像中對應該檢測區無瑕疵的高度資訊的區域之顏色校正為白色或使用者需要的單色光。
- 如申請專利範圍第1項所載具有高度資訊之光學檢測系統,其中該檢測影像的顏色分佈包含與該校正影像之顏色分佈不一致的部份,以及白色或使用者需要的單色光。
- 一種具有高度資訊之光學檢測方法,包含:設定至少一檢測區之參數;啟動在不同高度下分別配置不同色光源裝置與同色光源裝置,而在一拍攝光軸兩側以相同角度照射一平台所承載之一校正片,並根據該檢測區之參數從該校正片拍攝一校正影像;記錄該校正影像對應該檢測區之顏色分佈; 啟動在不同高度下分別配置不同色光源裝置與同色光源裝置,而在該拍攝光軸兩側以相同角度照射該平台所承載之一待檢測物,並根據該檢測區之參數從該待檢測物拍攝一檢測影像;計算該檢測影像對應該檢測區之顏色分佈;比對該校正影像與該檢測影像對應該檢測區之顏色分佈,若兩者之顏色分佈至少一部份不一致,則記錄該待檢測物對應該檢測區具有高度資訊之瑕疵;以及轉換該檢測影像中與該校正影像對應該檢測區之顏色分佈一致的部份為一預設顏色,並儲存該轉換的檢測影像用於後續複檢該待檢測物之瑕疵。
- 如申請專利範圍第3項所載具有高度資訊之光學檢測方法,其中該預設顏色為白色或使用者需要的單色光。
- 如申請專利範圍第3項所載具有高度資訊之光學檢測方法,更包括:根據該檢測區之參數,記錄該校正影像之一校正參數。
- 如申請專利範圍第5項所載具有高度資訊之光學檢測方法,更包括:根據該檢測區之參數與該校正參數,轉換該檢測影像中與該校正影像之顏色分佈一致的部份為該預設顏色。
- 如申請專利範圍3項所載具有高度資訊之光學檢測方法,更包括:該不同顏色之光源裝置以不同角度照射該校正片或該待檢測物。
- 如申請專利範圍3項所載具有高度資訊之光學檢測方法,其中該校正影像之顏色分佈包含全平面資訊或零件之高度資訊。
- 如申請專利範圍3項所載具有高度資訊之光學檢測方法,其中該轉換的檢測影像的顏色分佈包含與該校正影像之顏色分佈不一致的部份,以及該預設顏色。
- 如申請專利範圍3項所載具有高度資訊之光學檢測方法,更包括:設定一色差門檻值。
- 如申請專利範圍10項所載具有高度資訊之光學檢測方法,更包括:若該校正影像與該檢測影像之顏色分佈的色差超過該色差門檻值,則判定兩者之顏色分佈至少一部份不一致。
- 如申請專利範圍3項所載具有高度資訊之光學檢測方法,更包括:比對該校正影像與該檢測影像之顏色分佈,若兩者之顏色分佈一致,則記錄該待檢測物為OK件。
- 如申請專利範圍12項所載具有高度資訊之光學檢測方法,更包括:將該記錄OK件不具高度瑕疵的顏色轉換成一般白光的自然色或是使用者需要的單色光。
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JPH01282410A (ja) * | 1988-05-09 | 1989-11-14 | Omron Tateisi Electron Co | 曲面性状検査装置 |
CN103792705A (zh) * | 2014-01-28 | 2014-05-14 | 北京京东方显示技术有限公司 | 检测基板缺陷的检测方法及检测装置 |
-
2018
- 2018-12-28 TW TW107147806A patent/TWI761651B/zh active
Patent Citations (2)
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JPH01282410A (ja) * | 1988-05-09 | 1989-11-14 | Omron Tateisi Electron Co | 曲面性状検査装置 |
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