CN103688164A - 利用紫外线辐射和电子将气体离子化并鉴别该气体的方法及装置 - Google Patents

利用紫外线辐射和电子将气体离子化并鉴别该气体的方法及装置 Download PDF

Info

Publication number
CN103688164A
CN103688164A CN201180043176.XA CN201180043176A CN103688164A CN 103688164 A CN103688164 A CN 103688164A CN 201180043176 A CN201180043176 A CN 201180043176A CN 103688164 A CN103688164 A CN 103688164A
Authority
CN
China
Prior art keywords
electronics
window
ionization
ion
ultraviolet radiation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201180043176.XA
Other languages
English (en)
Other versions
CN103688164B (zh
Inventor
沃夫·马克梅尔
波特·昂格西姆
安德斯·沃特
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Airsense Analytics GmbH
Original Assignee
Airsense Analytics GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Airsense Analytics GmbH filed Critical Airsense Analytics GmbH
Publication of CN103688164A publication Critical patent/CN103688164A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN103688164B publication Critical patent/CN103688164B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J49/00Particle spectrometers or separator tubes
    • H01J49/02Details
    • H01J49/10Ion sources; Ion guns
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/62Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating the ionisation of gases, e.g. aerosols; by investigating electric discharges, e.g. emission of cathode
    • G01N27/622Ion mobility spectrometry
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/62Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating the ionisation of gases, e.g. aerosols; by investigating electric discharges, e.g. emission of cathode
    • G01N27/64Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating the ionisation of gases, e.g. aerosols; by investigating electric discharges, e.g. emission of cathode using wave or particle radiation to ionise a gas, e.g. in an ionisation chamber
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J27/00Ion beam tubes
    • H01J27/02Ion sources; Ion guns
    • H01J27/20Ion sources; Ion guns using particle beam bombardment, e.g. ionisers
    • H01J27/205Ion sources; Ion guns using particle beam bombardment, e.g. ionisers with electrons, e.g. electron impact ionisation, electron attachment
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J27/00Ion beam tubes
    • H01J27/02Ion sources; Ion guns
    • H01J27/24Ion sources; Ion guns using photo-ionisation, e.g. using laser beam
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/62Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating the ionisation of gases, e.g. aerosols; by investigating electric discharges, e.g. emission of cathode
    • G01N27/68Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating the ionisation of gases, e.g. aerosols; by investigating electric discharges, e.g. emission of cathode using electric discharge to ionise a gas

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
  • Electron Tubes For Measurement (AREA)

Abstract

本发明涉及一种对气体进行离子化及鉴别的方法,其中,待检气体在离子化室内被离子化,子离子接受检测,其中,通过作用于子离子的电场,对子离子进行检测,检测由一个检测器实施。本发明还提出,通过使用紫外线辐射进行离子化,并同时或依序使用电子进行离子化。本发明还进一步涉及一种对气体进行离子化及鉴别的装置,其包括设有离子源(1)的离子源室(5)以及离子迁移率光谱仪(2)。为了实现对气体进行离子化及鉴别的目的,离子源室(5)和离子迁移率光谱仪(2)之间设有分隔件(6),分隔件(6)设有一个透明于紫外线的窗口(8)以及一个可让电子透过的窗口(7),其中,使用离子源(1)可在离子源室(5)中生成紫外线辐射和电子辐射。

Description

利用紫外线辐射和电子将气体离子化并鉴别该气体的方法及装置
本发明涉及一种将气体离子化并且鉴别气体的方法及装置。
该检测及鉴别气体的方法及相关装置可用于检测及鉴别化学物质或化合物,尤其是用于检测浓度非常低的***性和/或有害物质或混合物。
对***性和/或有害物质或混合物进行检测,需使用检测限度在ppt-ppb范围内的测量方法,因此,通常可使用光谱仪(spectrometer,又称为“分光计”)对此类化合物进行检测及鉴别。优选使用离子迁移率光谱仪(ion mobilityspectrometer,简称IMS),其也被称为等离子色谱(plasma chromatographs)。不像其它诸如质谱仪(mass spectrometer)之类的光谱仪,该光谱仪不在真空中检测和鉴别化学物质或混合物,因此无需使用真空泵形成真空。因此,与其它光谱仪相比,离子迁移率光谱仪占用空间小,安装费用低。而质谱仪在分辨率上具有优势,因而其选择性一般优于IMS。
关于IMS的简介及其应用情况,可参见G.A.Eiceman和Z.Karpas所写文章《离子迁移率光谱技术》(″Ion Mobility Spectrometry″,2nd.edition,CRC,Boca Raton,2005)。
IMS的结构及操作情况可参见各公开文献。
例如,美国专利US3,621,240提出了一种经典飞行时间IMS,其优点是能够在大气压力下利用离子的不同迁移率。目标化合物在离子源中被持续离子化。经常使用放射源来直接离子化空气分子。这些已离子化的空气分子进一步发生反应,并与水分子结合,形成反应离子。这些反应离子经质子传递、电子传递或去质子反应,与受检混合物发生反应,并形成所谓的“子离子”(product ions)。
这些子离子在电栅(electric grid)的帮助下,在约200微秒的极短时间内被带进漂移管中;电栅带有电场,并在周围压力下,在漂移气体中,特别是在经过滤的空气中,加速离子的运动。通过改变漂移区域中电场的极性,使得正极工作模式下可检测正离子,负极工作模式下可检测负离子。
被引入的子离子被电场持续加速,并且由于与漂移气体中的中性分子相互碰撞,这些子离子也被持续减速,产生一个平均漂移速度。电场对所有电荷相同的离子施加相同的牵引力(pulling force)。但是,由于质量和形状的不同,不同子离子在电场中的漂移速度是不同的。在漂移管的末端,子离子在不同时间以不同的漂移速度撞击检测器。根据子离子穿过漂移管的不同飞行时间(通常在5-30毫秒的范围内),检测人员可判断出不同的受检化合物。
电栅在开关过程只允许一部分离子进入漂移空间,在经典飞行时间IMS中,电栅的开关过程为漂移速度的测量界定一个起始脉冲。被引入的离子包(ion packet)在飞行时间内向四周扩散,因此,检测器测到的信号以高斯钟形曲线(Gaussian bell curve)的形状呈现。可根据测到的飞行时间或钟形曲线峰值处的漂移时间,以及漂移区的已知长度,推算出漂移速度,而由此形成的光谱可用于鉴别受检化学物质或化合物。
子离子穿过漂移管的飞行时间与子离子撞击检测器的漂移速度成反比。由于离子在电场内加速以及由于离子与中性分子撞击而导致减速,因此漂移速度分别取决于离子质量(ion mass)以及离子的大小和形状。
除了经典飞行时间IMS***,已知的装置还有离子迁移率光谱仪,该光谱仪通过空气流运送离子,静电场将离子偏转,使其垂直于气流,通过使用若干个电极可检测到这些离子。这种IMS***,也被称为“吸气式IMS”(“Aspirating IMS”),
Figure BDA00002894434100021
等人(DE102005007746B4)就曾描述这种IMS的一种紧凑型设计方案。
使用电场强度高的非对称交变场时,将离子导向垂直于气体流的方向,并根据电场强度的迁移率分开离子,可通过两个电极同时输送正负离子,正负离子被安装于电极组件末端的另外两个电极所检测到。这些IMS***,也被称为“微分迁移率光谱仪”(Differential Mobility Spectrometer,简称DMS),或“场不对称离子移动光谱仪”(Field Asymmetric Ion Mobility Spectrometer,简称FAIMS)。A.A.Shvartsburg在其所写的《微分离子迁移率光谱法》一文中详述了该类光谱仪(″Differential Ion Mobility Spectrometry″,CRC Press,Boca Raton,2009)。
然而,所有这类IMS的一个缺点是,它们使用放射性源来进行离子化。氚(Tritium)、镍-63(nickel-63)或镅-241(americium-241)是常用的放射性材料。但是,放射性离子化材料可能会对周围环境造成危害,影响其生产及服务场所中工人的健康。含放射源的装置的使用和销售,都要受制于不同国家的不同监管规定,而这些监管规定则在行政管理及资金上给相关企业提出了相当高的要求。
因此,人们试图用其它材料取代放射性离子源。例如,现有材料中包括在气体放电(gas discharge)中进行离子化的离子源。经常使用的有电晕放电(corona discharge),但它运作时要使用不同的离子化程序。尤其是,当使用作为载气流及漂移气体的空气进行操作时,将生成臭氧和氮氧化物(nitrogenoxides),而由于其它离子化过程和/或其它化学反应的作用,这些物质通常又妨碍了子离子(product ion)的形成。气体放电的另一个缺点是会增加IMS金属表面的氧化。
因此,多年来,人们一直尝试构建与放射性源具有相同离子化机制和化学反应的非放射性离子源。例如,可以直接用电子轰击(electronbombardment)模仿用β-辐射(如Ni-63或氚)离子化,同样,也可以直接用X-射线模仿γ-辐射离子化。Budovich等人的专利文件(DE19627621C2)描述了一种离子源,其特征是,通过一个非放射性的电子源在真空源室中产生电子。在电场中的电子被加速而达到比如20keV的速度,并且在被部分减速的情况下,在大气压下穿过窗口而进入反应室,该窗口无法让气体透过并且设置在源室的前方。
与使用放射性电子源类似,电子在反应室内将气体离子化。云母(Mica)被用作窗口材料。
Figure BDA00002894434100041
的专利(DE10120335C2)描述了类似的结构,其中,电子在铍(beryllium)制成的并且涂有金属的薄膜中被减速,产生的X射线被用于离子化。
已知的电子源中设有氮化硅(silicon nitride)制成的窗口,电子可透过该窗口,但气体则无法透过该窗口,该窗口厚度小于300纳米。巴瑟等人(DE102005028930A1)描述了这些离子源与离子迁移率光谱仪结合使用的情况。采用半导体工业生产方法制成的这种类型的更多电子源的情况,可参见F.Haase等人在文章《MEMS电子源的电子可渗透膜》中的叙述(″Electronpermeable membranes for MEMS electron sources″,Sensors and Actuators A,132(2006)98-103)以及S.Zimmerman等人(DE102008032333A1)的叙述。
源与放射性源的离子化机制相同,可以替代放射性源。与使用放射性源一样,通过空气的离子团簇(即反应离子)与分析物之间的电荷转移(chargetransfer),可以将目标分子离子化,其中,所述的反应离子不是由阿尔法粒子(alpha particles)、贝塔粒子(beta particle)、伽马射线(gamma ray)生成,而是由电子或X-射线生成。
与放射性源类似,此类源的缺点是,它们无法检测到一些非常有毒的有机化合物,如苯(benzene),胂(arsine)或膦(phosphine)。很多有机分子,如链烷烃(alkanes)和链烯烃(alkenes),或芳烃(aromatics),如甲苯(toluene)或氯苯(chlorobenzene),就无法被检测到,原因是其质子亲合性小,或其电子亲和性小,或其电负性低,或因为其漂移时间与离子团簇的漂移时间相同。这种源的另一个缺点是,对很多物质来说,它们的可测浓度范围都是有上限的,检测结果只在很小的范围内呈线性。
使用光子(photon)进行离子化是生成离子的另一途径。通过紫外线辐射进行离子化是一种已知技术,并被用在光致电离检测器(photo ionizationdetector)等装置中。
光致电离可以在很宽的浓度范围内对分子进行检测。与使用放射性源进行离子化不同,分析物直接被光子离子化。通常使用电离能(ionizationenergy)为10.6eV的紫外线灯,这样可离子化所有电离势(ionizationpotential)比该电离能小或相等的分子。如RAE System公司在美国专利(U.S.6,509,562B2)中所述,人们可通过采用带不同电离能的不同紫外线源,选择性地对分子进行离子化和检测。
然而,这种技术有一个缺点:光致电离很少形成负离子,这样就通常使卤代烃(halogenated hydrocarbon)等物质无法被检测到。由于紫外线辐射的能量低于氮和氧的电离能,因此在空气中不能生成相关信号。另一缺点是,用紫外线辐射离子化,没有反应离子峰值(reactant ion peak,RIP)出现,因此就缺少了用于内部校准的峰值。
上述一些缺点可以通过组合使用不同的离子源来克服。例如,Bensch等人的专利(DE10042394B4)公开了将一种放射源与具有漂移管的紫外线灯结合使用的方法,而
Figure BDA00002894434100051
等人(DE19730896C2)则描述了将至少一种放射源和其它更多离子源与不同漂移管结合使用的方法。
这类解决方法的一个缺点是,仍然需要使用放射性源。另一个缺点是无法轻易关闭放射性源。苯之类的一些化合物,由于其漂移时间与空气中离子团簇的漂移时间相同,只使用单根漂移管与至少一种放射源无法检测到这类化合物。另一缺点是,只有结合使用不同离子源与不同的漂移管时,才能同时检测到多种有毒化合物,其结果是,该类装置设计复杂,生产成本昂贵。
因此,理想的解决途径是:将非放射性离子源、放射性源及可选的光致电离源与分离和检测方法相结合,非放射性离子源可通过使用电子轰击或X-射线生成完全相同的光谱,而光致电离源可通过紫外线辐射产生完全相同光谱。此外,同样可取的是,使用这种非放射性离子源时,可将其与电子辐射,X-射线或紫外线辐射交替结合使用。
因此,本发明的一个目的在于:研发一种离子化气体的通用方法及其相应装置,该装置结构简单紧凑,可以在气压下分别通过电子轰击、X-射线或紫外线辐射,将气体离子化,其中,可以通过某种分离方法对离子进行检测。在本发明中,对离子源进行构建,使得离子化过程特别是电子轰击离子化过程,可以被迅速开启和关闭。
就方法可言,上述目的可通过权利要求1所述的特征实现,就其装置而言,上述目的可通过权利要求10所述的特征实现。而其中的一些优选实施例则在从属权利要求2至9和权利要求11至18中有所列举。
在本发明中,通过紫外线辐射进行的离子化与通过电子进行的离子化同步进行或依次进行。
这种对气体进行离子化及鉴别的新方法及装置,可避免现有技术的上述缺点。
这种对气体进行离子化和鉴定的新方法的优点在于,这种离子化是非放射性的。使用本发明所述的装置,可通过电子及紫外线辐射进行离子化。
在本发明的一个优选实施方式中,利用电子进行离子化过程是:在低压区域内对电子进行电加速,随后进一步加速电子,使其朝着一个可让电子透过的电子窗口移动,然后在高压区域内生成离子。
此外,在本发明的一个优选实施方式中,利用电子进行离子化过程是:在低压区域对电子进行电加速,接着进一步加速电子,使其朝着一个电子窗口移动,电子在电子窗口处被急剧减速,产生韧致辐射(bremsstrahlung),然后在高压区域内生成离子。
本发明所述的对气体进行离子化及鉴别的新方法及装置可通过多种方式实现。下文将参照附图对一些实施例进行详述,其中:
图1是新型离子源与离子迁移率光谱仪连用的示意图;
图2显示了离子迁移率光谱仪使用放射性离子源测量正己烷(hexane)的一个光谱(无子离子);
图3显示了离子迁移率光谱仪使用紫外线离子源测量正己烷的一个光谱(有明显可见的子离子);
图4是另一种变型的离子源本与离子迁移率光谱仪连用的示意图;
图5是一种微型离子源的示意图;
图6显示了一种微型版新离子源的一个实施例。
在本发明的一个具体实施例中,本发明所述的气体离子化装置由图1所示的离子源1和离子迁移率光谱仪2组成,离子迁移率光谱仪2包括漂移管19,漂移管19的边界一方面由具有离子源1的入口***3界定,另一方面由检测器4界定。
在一个以布拉德伯里-尼尔森的几何形状(Bradbury-Nielsen geometry)呈现的一个具体实施例中,一个漂移电极11和一个电闸门12位于漂移管19内,其中,漂移管19的内部空间被分隔成反应室20和漂移室21。用于电容退耦的遮蔽栅13设置在检测器4的前方。漂移电极11经多个电阻器相互电连接,形成直流电极。通过对施加到漂移电极11上的电压进行选择,使得漂移管19内形成恒定的电场强度。
离子源1包括一个真空密封的离子源室5,离子源室5与反应室20被分隔件6隔开。分隔件6包括一个窗口7和第二个窗口8,窗口7可让电子透过但不可让气体透过,并可由约100nm至400nm的薄硅氮化膜(siliconnitride membrane)或金刚石膜(diamond membrane)制成,窗口8则是透明于紫外线辐射的,并可由氟化镁(MgF2)制成。
窗口7也可由铍,特别是有金属涂层的铍制成。
此外,离子源室5中设有气体室9,其中,气体室9优选用压力大于或等于大气压的惰性气体填充。该气室9也与分隔件6连接。另一个可让电子透过的窗口10位于气室9的对面一侧。
图1所示配置中的离子源室5是处于高真空下的。在这种配置中,电子由灯丝(filament)14生成。安装了用于加速和聚焦电子的电极组件15,使得电子要么绕过气体室9直接入射在窗口7上,进入反应室20,要么入射在窗口10上,从窗口10进入气体室9,在气体室9内通过与气体的相互作用产生紫外线辐射,而紫外线辐射穿过透明于紫外线的窗口8进入反应室20。这些电子被范围为2至50KeV的高电压加速。
被加速并穿过薄的窗口7的电子主要将空气分子离子化。反应离子17通过更多的反应以及与水分子的结合得以形成,这些反应离子随后将通过质子转移、电子转移或去质子反应,将受检化合物的分子离子化,并产生子离子。该离子化过程与使用放射性源进行离子化的过程十分相似,因此它们产生的光谱是相同的。
被加速并穿过薄的窗口10的电子在气体室9的气体中被减速。这里合适的气体是惰性气体。由于来自惰性气体的受激准分子发射(excimeremission),因此电子在惰性气体中被减速,从而产生紫外线光谱范围内的光发射(light emission)。受激准分子(excimer)是有两个原子的分子,并且只在激发状态下存在。受激准分子发射只发生在约0.2巴(bar)的压力下或更高的压力下,优选压力为约1巴至3巴的更高压力。受激准分子发射的紫外线光谱取决于惰性气体。交换惰性气体则会产生不同的光发射,其波长范围可以是200nm或低于200nm。通过掺杂少量的较重惰性气体,经能量传递过程,可改变紫外线光谱。
通过对电极组件15使用偏转电压,电子可以交替进入用于紫外线辐射离子化的气室中,或者穿过可让电子透过的窗口7直接进入反应室20。
在这种配置下,使用电子进行离子化的过程可以被开启和关闭,而紫外线辐射也可以同时被开启和关闭。
因此,电子辐射和光子辐射(即紫外辐射)可以在几毫秒之内快速转换。
入口***3可由如薄硅膜之类的材料制成,待分析的物质穿过入口***3,进入反应室,在反应室内,这些物质被电子或紫外线辐射离子化。在漂移电极11产生的电场的作用下,反应室20中生成的离子被加速,朝电闸门12的方向移动。根据布拉德伯里-尼尔森几何学,入口电栅(electric inlet grid)由交替排列的电导体组成,导体之间设有电场,防止离子穿过。当电导体之间的电压被关闭几微秒时,离子被漂移空间21中的电场短暂吸引。于是,只有一小部分离子进入漂移室21,其它的漂移电极11则将离子引至检测器4。在电场中被输送的过程中,离子不断与漂移气体中的中性分子碰撞。漂移气体通常是干燥的空气,该气体通过泵而被输送,其被输送的方向与离子的飞行方向相反。离子的飞行时间尤其取决于离子的碰撞剖面,这就意味着,小离子比大离子更快到达检测器。检测器信号的强度,即:作为飞行时间的函数的离子数目,被称为IMS光谱。也可以反转漂移管19中电场的极性,使得正离子和负离子可以被测量到。
图2显示了用电子进行离子化测量含苯(benzene)混合物的一个IMS光谱。该光谱基本上只显示了反应离子峰17,即只显示了水团簇,未检测到苯。被紫外线辐射离子化时,同样的混合物则生成完全不同的光谱,如图3所示。图3中,子离子用标号18表示。
图4是将气体离子化的一种新装置的另一实施例。
与图1相反,在该实施例中,离子源室5不是一个气体室;离子源室5中含有一种气体,优选为一种惰性气体,并且,优选的情况是:在帕邢曲线(Paschen curve)最小的区域,即在几毫巴的区域中,该气体处于负压中。该离子源室由一种不导电的材料(如玻璃)制成。离子源室5上设置有射频电极(radiofrequency electrodes)16,射频电极16上的高交流电压在离子源室5内引发气体发电(gas discharge),从而生成紫外线辐射。这些紫外线可以穿过透明于紫外线的窗口8进入反应室20。离子源室5内至少安装一个电极组件15,用于从气体放电中提取电子以及用于将电子聚集在可让电子透过的窗口7上。所提取的电子被电极组件15加速,并可穿过可让电子透过的窗口7进入反应室20。
结合图1描述的相同部件被安装在漂移管19内。
通过气体放电在离子源1内产生的紫外线辐射,可以直接将一些分析物离子化。
通过切换电极组件15上的电压,可以开启和关闭利用电子进行离子化的过程,从而周期性地加速电子及聚集电子。这样,紫外线辐射生成的光谱可叠加在电子辐射生成的光谱之上。
可以理解的是,可以设置更多使用紫外线辐射和电子进行离子化的装置。例如,可以用高直流电压代替交流电压产生紫外线辐射。这时候,只需将相应的电极安装到离子源室中。
图5和图6显示了本发明所述气体离子化装置的更多实施例。
与图1和图4不同,在图5和图6中,离子源1采用应用于半导体技术领域的方法进行构建,而不是由灯丝生成电子,而是通过若干个场致发射尖端(field emitter tips)22形成的排列来生成电子。电子被格栅23加速,并朝着可让电子透过的窗口7被加速,从该窗口进入反应室。格栅23也可以直接放置在窗口7上。那些具有宽波束形式的电子穿过第二窗口10并且可部分地进入气室9,在气室9产生紫外线辐射,而紫外线辐射则通过透明于紫外线的窗口8再次进入反应室。
还可以以其它方式对离子源进行几何排列,比如图6所示的排列。例如,透明于紫外线的窗口8和可让电子透过的窗口7可以不安装在同一平面上,而是排列成具有一定角度,这样,反应室中的相同区域可以被离子化。圆形排列也是可行的,比如,其中一个半圆配备透明于紫外线的窗口,另一半圆配备可让电子透过的窗口。
其它配置方式也是可能的,例如,图1,图4,图5和图6所示的电子可通过光电作用生成,即,可通过用光子照射一个表面,由外部光源生成电子,该表面由对电子来说功函较低的材料制成,安装在离子源1内。也可以通过气体放电,例如,通过一个中空的阴极气体放电(cathode gas discharge)产生电子,从该气体放电中,通过使用一个电极组件提取电子。
也可以不使用穿过薄的窗口7而进入反应室20的电子进行离子化,而是通过使用X光进行离子化,优选使用能量低的X光。为了实现离子化目的,只需将窗口7和/或窗口10替换成能使电子充分减速的其它窗口,例如可使用较厚的窗口或由有金属涂层的窗口。电极组件15的加速电压不断增加,这样,除电子之外,X光也能在离子化过程中发挥作用。
通过增加其它元件,可延长上述离子源的使用寿命,例如在离子源内放置吸气材料(getter material)。
还可以想到,通过在气室9中开一些孔,可改变或改善惰性气体,使紫外线辐射以及电离能得到改变,以便优化目标物质的离子化。
同样可行的还有:通过使用更多被引入反应室20中的反应气体或掺杂剂气体,可优化测量方法的选择性及检测限度。通过电子碰撞反应进行离子化时,该反应气体可以影响化学反应,而化学反应,对正离子而言,受质子亲和力控制,对负离子而言,受电负性控制。这样就可改变该测量方法的选择性,同样,人们已知,在利用紫外线辐射进行离子化时,使用反应气体可提高检测限度。
此外,将离子迁移率光谱仪与其它传感器和/或其它方法,如与上游气相色谱仪(upstream gas chromatograph)结合使用,以增加其选择性,也是可行的。
因为不需要放射性材料,本发明可避开传统方法的缺点,因此,使用这种新的离子源,通过采用紫外线辐射进行离子化以及使用电子或轫致辐射进行更多的离子化,既可以检测到苯、甲苯(toluene)、氯苯(chlorobenzene)等芳族化合物,也可检测脂肪族化合物(aliphatic compounds)、胂或磷以及卤素化合物(halogen compounds)。这两种离子化方式都可以被开启和关闭,从而可以检测更多的化合物,并通过与已知光谱进行对比,可改善其气体鉴别效果。
使用非放射性源的优势还在于,反应室内的电子流比放射性源的流更大,因为后者的活动上限受到一些监管法规的限制。因此,使用新型离子源可大大降低检测限制。
为了改善检测限度,可以将若干离子源与检测器连用,这种方法尤其适用于小型装置。
可以理解,上述离子源也可以与其它光谱仪连用,包括“微分迁移率光谱仪(″Differential Mobility″spectrometer)等其它类型的IMS光谱仪以及质谱仪(mass spectrometer),如飞行时间(Time-of-Flight,TOF)质谱仪、四极杆(quadrupole)质谱仪和离子阱质谱仪(ion trap mass spectrometer)。当上述离子源与质谱仪连用时,离子源可安装在入口处的高压区域中,这样,通过采纳紫外线辐射和电子作用的交替离子化,可实现检测限度的改善。
参考标号列表
1    离子源
2    离子迁移率光谱仪
3    入口***
4    检测器
5    离子源室
6    分隔件
7    电子窗口
8    透明于紫外线辐射的窗口
9    气体室
10   第二电子窗口
11   漂移电极
12   电闸门
13   遮蔽栅
14   灯丝
15   电极组件
16   射频电极
17   反应离子
18   子离子
19   漂移管
20   反应室
21   漂移空间
22   场致发射尖端
23   加速格栅

Claims (18)

1.一种鉴别和离子化气体的方法,其中,待检气体在反应室内被离子化,子离子得到检测;其中,通过将子离子暴露在电场中对子离子进行检测,检测由一个离子检测器实施,其特征在于:通过使用紫外线辐射进行离子化,并且同时或随后使用电子进行离子化。
2.如权利要求1所述的方法,其特征在于:电子在一个低压区域被电加速,并朝着可让电子透过的电子窗口加速移动;其中,电子透过这个可让电子透过的窗口,随后在高压区域生成离子,从而实现离子化。
3.如权利要求1所述的方法,其特征在于:电子在一个低压区域被电加速,并朝着电子窗口加速移动,在所述电子窗口处,这些电子被急剧减速,并且产生轫致辐射,随后所述轫致辐射被用于在高压区域生成离子,从而间接实现离子化。
4.如上述权利要求之一所述的方法,其特征在于:所述紫外线辐射由气体放电生成,电子被电极组件从所述气体放电中提取出来,并被聚集在所述电子窗口上。
5.如上述权利要求之一所述的方法,其特征在于:来自由灯丝生成的电子源或来自一个或多个场发射尖端的电子:
a)朝着电子窗口的方向被加速,穿透所述电子窗口和/或产生轫致辐射,从而在反应室中将分子离子化,和
b)随后朝着第二电子窗口的方向被加速,穿透所述第二电子窗口,并在一个高压室内产生紫外线辐射,所述紫外线辐射穿过透明于紫外线的窗口,并且在反应室中将分子离子化。
6.如上述权利要求之一所述的方法,其特征在于:通过只在特定的时间内将电子引向电子窗口,使得在使用紫外线辐射进行离子化的期间,间断性地发生使用电子进行的离子化。
7.如上述权利要求之一所述的方法,其特征在于:在如下情况下,通过紫外线辐射进行的离子化和通过电子轰击进行的离子化间断性发生,因为:
a)电子被引至可让电子透过的窗口,从而在反应室内生成离子;以及
b)此后只在特定时间内将电子引至第二电子窗口上,并且这些电子通过与气体室内的气体相互作用而在所述气体室内产生紫外线辐射,所述紫外线辐射随后穿过透明于紫外线的窗口而进入反应室,从而发生利用电子或紫外线辐射进行的离子化,其中,所述两种离子化方式之一持续进行,而另一种离子化方式则被另外短暂开启。
8.如上述权利要求之一所述的方法,其特征在于:利用紫外线辐射进行的离子化和利用电子轰击进行的离子化在极短时间内,即,在几毫秒内,间断性及交替性地发生。
9.如上述权利要求之一所述的方法,其特征在于:为了对物质进行鉴别,利用紫外线辐射进行离子化所测到的光谱以及利用电子轰击离子化所测到的光谱被结合考虑,通过数据库对比的方法对这些物质进行鉴别。
10.一种用于对气体进行离子化和鉴别的装置,其包括设有离子源(1)的离子源室(5)以及离子迁移率光谱仪(2),其特征在于:所述离子源室(5)与所述离子迁移率光谱仪(2)之间设有分隔件(6),所述分隔件(6)设有一个透明于紫外线辐射的窗口(8)和一个可让电子透过的窗口(7),其中,所述离子源室(5)中的所述离子源(1)可生成紫外线辐射和电子辐射。
11.如权利要求10所述的装置,其特征在于:所述离子源室(5)中设有惰性气体,所述气体处于气体放电的最佳压力下,特别是在毫巴范围内的压力下;一个由镁氟化物或氟化钙等材料制成并且透明于气体放电所生成的紫外线辐射的窗口(8)界定了所述离子源室(5)相对于一个反应室(20)的边界;另一个由氮化硅、金刚石或铍等材料制成的窗口(7)是可让电子透过的电子窗口,并且位于所述透明于紫外线辐射窗口(8)的旁边;用于加速气体放电所产生的电子并将其聚集在所述窗口(7)上的电极组件(15)被安装在所述离子源室(5)内。
12.如权利要求10所述的方法,其特征在于:所述离子源室(5)内形成高真空,尤其是压力小于10-6毫巴的高真空;所述离子源室(5)的边界由两个电子窗口(7,10)界定,所述电子窗口(7,10)可让电子透过,所述窗口(7)与所述反应室(20)直接相邻,而所述另一窗口(10)则与高压室(9)相邻;所述高压室(9)中含有压力大于0.1巴的惰性气体,所述高压室(9)与具有透明于紫外线辐射的窗口(8)的反应室(20)毗连。
13.如前述权利要求之一所述的装置,其特征在于:所述电子窗口(7)使电子减速,并透明于轫致辐射,电子窗口(7)由覆盖金属涂层的铍制成。
14.如前述权利要求之一所述的装置,其特征在于:电极组件(15)安装在所述离子源室(5)内,其中,所述电极组件(15)使电子加速,并朝着所述电子窗口(7,10)的方向输送这些电子,或者将这些电子分别从所述窗口(7,10)偏移。
15.如前述权利要求之一所述的装置,其特征在于:所述离子源室(5)内设置有离子源,所述离子源包括对于电子来说功函低的材料;所述离子源室(5)上安装一个或多个可产生光子的外部光源,所述光子通过光电效应在所述电子源处释放电子。
16.如前述权利要求之一所述的装置,其特征在于:所述透明于紫外线的窗口(8)与所述电子窗口(7)未安装在同一平面上,所述两个窗口(7,8)被如此安装,从而使得紫外线辐射和电子和/或韧致辐射在所述反应室(20)内交叉。
17.如前述权利要求之一所述的装置,其特征在于:所述离子源室(5)与离子迁移率光谱仪的所述反应室(20)相连。
18.如权利要求10至16中任何一项所述的装置,其特征在于:所述离子源室(5)分别与离子迁移率光谱仪的所述反应室(20)或者质谱仪的入口区域相连,尤其是在一个入口细管或一个入口孔处直接相连。
CN201180043176.XA 2010-09-09 2011-08-11 利用紫外线辐射和电子将气体离子化并鉴别该气体的方法及装置 Expired - Fee Related CN103688164B (zh)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP10175936.3 2010-09-09
EPEP10175936.3 2010-09-09
EP10175936.3A EP2428796B1 (de) 2010-09-09 2010-09-09 Verfahren und Vorrichtung zur Ionisierung und Identifizierung von Gasen mittels UV-Strahlung und Elektronen
PCT/EP2011/063807 WO2012031850A1 (de) 2010-09-09 2011-08-11 Verfahren und vorrichtung zur ionisierung von gasen mittels uv-strahlung und elektronen und deren identifizierung

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN103688164A true CN103688164A (zh) 2014-03-26
CN103688164B CN103688164B (zh) 2017-02-15

Family

ID=43063632

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201180043176.XA Expired - Fee Related CN103688164B (zh) 2010-09-09 2011-08-11 利用紫外线辐射和电子将气体离子化并鉴别该气体的方法及装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US8742363B2 (zh)
EP (1) EP2428796B1 (zh)
JP (1) JP5678189B2 (zh)
CN (1) CN103688164B (zh)
WO (1) WO2012031850A1 (zh)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104103488A (zh) * 2014-05-28 2014-10-15 北京大学 用于飞行时间质谱计的场发射电离源
CN105353023A (zh) * 2014-08-20 2016-02-24 布鲁克道尔顿公司 离子迁移谱迁移轴校正方法和仪器
CN106057628A (zh) * 2016-06-13 2016-10-26 塔里木大学 迁移管及带有该迁移管的大气压下轴向聚焦离子迁移谱仪
CN107636454A (zh) * 2015-04-10 2018-01-26 离子科学有限公司 一种浸水式检测器
CN109887824A (zh) * 2019-03-08 2019-06-14 王亮 一种质谱仪及质谱检测方法
CN110487885A (zh) * 2018-11-25 2019-11-22 中国科学院大连化学物理研究所 一种高通量测量大气中氨的装置及方法
CN111630624A (zh) * 2018-01-24 2020-09-04 拉皮斯坎***股份有限公司 利用极紫外辐射源的表面层破坏和电离
CN111638264A (zh) * 2020-06-22 2020-09-08 郑州轻工业大学 一种基于离子峰谱线的faims图谱特征提取方法
CN113436957A (zh) * 2021-06-29 2021-09-24 苏州传澈特种材料有限公司 一种电晕放电组件和测试装置

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2428796B1 (de) * 2010-09-09 2015-03-18 Airsense Analytics GmbH Verfahren und Vorrichtung zur Ionisierung und Identifizierung von Gasen mittels UV-Strahlung und Elektronen
EP2815473A1 (en) * 2012-02-18 2014-12-24 Pegasor OY Apparatus and process for producing acknowledged air flow and the use of such apparatus in measuring particle concentration in acknowledged air flow
GB201208733D0 (en) * 2012-05-18 2012-07-04 Micromass Ltd Excitation of reagent molecules within a rf confined ion guide or ion trap to perform ion molecule, ion radical or ion-ion interaction experiments
EP2894469B1 (en) * 2012-09-04 2019-03-06 Atonarp Inc. Membrane exchange unit and systems having membrane exchange units
EP2907155A4 (en) * 2012-10-12 2016-07-13 Dh Technologies Dev Pte Ltd ION GUIDANCE FOR MASS SPECTROMETRY
US20140125349A1 (en) * 2012-11-07 2014-05-08 General Electric Company Electrometer current injection by high voltage ramp
US20150260684A1 (en) * 2012-11-16 2015-09-17 Dh Technologies Development Pte. Ltd. Method and apparatus for ion mobility spectrometry
US10078068B2 (en) * 2013-05-18 2018-09-18 Brechtel Manufacturing Aerosol ionizer
EP2835634B1 (en) * 2013-08-06 2017-10-04 Bruker Daltonik GmbH Methods and devices for calibrating the mobility axis of an ion mobility spectrum
WO2015168493A1 (en) 2014-05-02 2015-11-05 Hamilton Ian C Device for converting radiation energy to electrical energy
CN108088891A (zh) * 2016-11-21 2018-05-29 中国科学院大连化学物理研究所 一种垂直放置vuv射频灯的离子迁移谱及操作方法
US10090143B2 (en) * 2016-12-13 2018-10-02 R.J. Reynolds Tobacco Company Real time measurement techniques combining light sources and mass spectrometer
US10895507B2 (en) 2017-06-08 2021-01-19 United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Method for spatially-localized gas-phase temperature measurements through ceramic materials
US10782265B2 (en) * 2018-03-30 2020-09-22 Sharp Kabushiki Kaisha Analysis apparatus
SG11202103423WA (en) * 2018-10-03 2021-05-28 Univ Michigan Regents Integrated micro-photoionization detector with an ultrathin ultraviolet transmission window
JP7272916B2 (ja) * 2019-09-18 2023-05-12 シャープ株式会社 分析装置及び分析方法
JP7445507B2 (ja) 2020-04-22 2024-03-07 シャープ株式会社 分析装置
DE102020132851B3 (de) * 2020-12-09 2021-12-30 Bruker Optik Gmbh Ionenmobilitätsspektrometer und verfahren zum betrieb eines ionenmobilitätsspektrometers
CN113675069A (zh) * 2021-08-20 2021-11-19 苏州微木智能***有限公司 一种离子迁移***

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5969349A (en) * 1996-07-09 1999-10-19 Bruker-Saxonia Analytik Gmbh Ion mobility spectrometer
US20020185594A1 (en) * 2001-04-26 2002-12-12 Bruker Saxonia Analytik Gmbh Ion mobility spectrometer with mechanically stabilized vacuum-tight x-ray window
US6509562B1 (en) * 1999-09-16 2003-01-21 Rae Systems, Inc. Selective photo-ionization detector using ion mobility spectrometry
JP2005093152A (ja) * 2003-09-16 2005-04-07 Hitachi High-Technologies Corp 質量分析装置
US20050205775A1 (en) * 2004-03-05 2005-09-22 Leslie Bromberg Plasma ion mobility spectrometer
CN1811408A (zh) * 2005-01-28 2006-08-02 方向 内部光电离离子阱质量分析装置及其方法
CN101405828A (zh) * 2006-03-17 2009-04-08 浜松光子学株式会社 离子化装置
CN101405600A (zh) * 2006-03-17 2009-04-08 株式会社理光 气体分析装置

Family Cites Families (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3621240A (en) 1969-05-27 1971-11-16 Franklin Gro Corp Apparatus and methods for detecting and identifying trace gases
US5504326A (en) * 1994-10-24 1996-04-02 Indiana University Foundation Spatial-velocity correlation focusing in time-of-flight mass spectrometry
US5808308A (en) * 1996-05-03 1998-09-15 Leybold Inficon Inc. Dual ion source
DE19730896C2 (de) 1997-07-18 1999-04-29 Bruker Saxonia Analytik Gmbh Ionen-Mobilitätsspektrometer in Zentripetalanordnung
US6410914B1 (en) * 1999-03-05 2002-06-25 Bruker Daltonics Inc. Ionization chamber for atmospheric pressure ionization mass spectrometry
DE19933650C1 (de) * 1999-07-17 2001-03-08 Bruker Saxonia Analytik Gmbh Ionisationskammer mit einer nicht- radioaktiven Ionisationsquelle
DE10042394B4 (de) * 2000-08-29 2006-06-29 Dräger Safety AG & Co. KGaA Ionenquelle für Ionenmobilitätsspektrometer mit optischer und Teilchenstrahlun gsionisation
DE10120336C2 (de) * 2001-04-26 2003-05-08 Bruker Saxonia Analytik Gmbh Ionenmobilitätsspektrometer mit nicht-radioaktiver Ionenquelle
US6797943B2 (en) * 2002-05-07 2004-09-28 Siemens Ag Method and apparatus for ion mobility spectrometry
US6919562B1 (en) * 2002-05-31 2005-07-19 Analytica Of Branford, Inc. Fragmentation methods for mass spectrometry
US7078681B2 (en) * 2002-09-18 2006-07-18 Agilent Technologies, Inc. Multimode ionization source
US6646257B1 (en) * 2002-09-18 2003-11-11 Agilent Technologies, Inc. Multimode ionization source
DE102004025841B4 (de) * 2004-05-24 2015-07-09 Bruker Daltonik Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur massenspektroskopischen Untersuchung von Analyten
US7034291B1 (en) * 2004-10-22 2006-04-25 Agilent Technologies, Inc. Multimode ionization mode separator
DE102005007746B4 (de) 2005-02-18 2009-01-08 Dräger Safety AG & Co. KGaA Ionenmobilitätsspektrometer mit parallel verlaufender Driftgas- und Ionenträgergasströmung
US20060255261A1 (en) * 2005-04-04 2006-11-16 Craig Whitehouse Atmospheric pressure ion source for mass spectrometry
DE102005028930A1 (de) 2005-06-22 2007-01-04 Technische Universität München Vorrichtung für die Spektroskopie mit geladenen Analyten
DE102005031048A1 (de) * 2005-07-02 2007-01-04 Dräger Safety AG & Co. KGaA Ionenmobilitätsspektrometer mit parallel verlaufender Driftgas- und Ionenträgergasströmung
DE102005039269B4 (de) * 2005-08-19 2011-04-14 Helmholtz Zentrum München Deutsches Forschungszentrum Für Gesundheit Und Umwelt (Gmbh) Verfahren und Vorrichtung zum massenspektrometrischen Nachweis von Verbindungen
US7411186B2 (en) * 2005-12-20 2008-08-12 Agilent Technologies, Inc. Multimode ion source with improved ionization
US7642510B2 (en) * 2006-08-22 2010-01-05 E.I. Du Pont De Nemours And Company Ion source for a mass spectrometer
DE102008032333A1 (de) 2008-07-09 2010-06-10 Drägerwerk AG & Co. KGaA Miniaturisierter nicht-radioaktiver Elektronenemitter
US8461521B2 (en) * 2010-12-14 2013-06-11 Virgin Instruments Corporation Linear time-of-flight mass spectrometry with simultaneous space and velocity focusing
EP2302372A1 (en) * 2009-09-18 2011-03-30 Helmholtz Zentrum München Deutsches Forschungszentrum für Gesundheit und Umwelt GmbH Method and device for repetitive chemical analysis of a gas flow
EP2428796B1 (de) * 2010-09-09 2015-03-18 Airsense Analytics GmbH Verfahren und Vorrichtung zur Ionisierung und Identifizierung von Gasen mittels UV-Strahlung und Elektronen
US8410704B1 (en) * 2011-11-30 2013-04-02 Agilent Technologies, Inc. Ionization device

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5969349A (en) * 1996-07-09 1999-10-19 Bruker-Saxonia Analytik Gmbh Ion mobility spectrometer
US6509562B1 (en) * 1999-09-16 2003-01-21 Rae Systems, Inc. Selective photo-ionization detector using ion mobility spectrometry
US20020185594A1 (en) * 2001-04-26 2002-12-12 Bruker Saxonia Analytik Gmbh Ion mobility spectrometer with mechanically stabilized vacuum-tight x-ray window
JP2005093152A (ja) * 2003-09-16 2005-04-07 Hitachi High-Technologies Corp 質量分析装置
US20050205775A1 (en) * 2004-03-05 2005-09-22 Leslie Bromberg Plasma ion mobility spectrometer
CN1811408A (zh) * 2005-01-28 2006-08-02 方向 内部光电离离子阱质量分析装置及其方法
CN101405828A (zh) * 2006-03-17 2009-04-08 浜松光子学株式会社 离子化装置
CN101405600A (zh) * 2006-03-17 2009-04-08 株式会社理光 气体分析装置

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104103488B (zh) * 2014-05-28 2016-06-15 北京大学 用于飞行时间质谱计的场发射电离源
CN104103488A (zh) * 2014-05-28 2014-10-15 北京大学 用于飞行时间质谱计的场发射电离源
CN105353023B (zh) * 2014-08-20 2018-10-16 布鲁克道尔顿公司 离子迁移谱迁移轴校正方法和仪器
CN105353023A (zh) * 2014-08-20 2016-02-24 布鲁克道尔顿公司 离子迁移谱迁移轴校正方法和仪器
CN107636454A (zh) * 2015-04-10 2018-01-26 离子科学有限公司 一种浸水式检测器
CN106057628A (zh) * 2016-06-13 2016-10-26 塔里木大学 迁移管及带有该迁移管的大气压下轴向聚焦离子迁移谱仪
CN106057628B (zh) * 2016-06-13 2018-03-27 塔里木大学 迁移管及带有该迁移管的大气压下轴向聚焦离子迁移谱仪
CN111630624A (zh) * 2018-01-24 2020-09-04 拉皮斯坎***股份有限公司 利用极紫外辐射源的表面层破坏和电离
CN110487885A (zh) * 2018-11-25 2019-11-22 中国科学院大连化学物理研究所 一种高通量测量大气中氨的装置及方法
CN110487885B (zh) * 2018-11-25 2021-06-01 中国科学院大连化学物理研究所 一种高通量测量大气中氨的装置及方法
CN109887824A (zh) * 2019-03-08 2019-06-14 王亮 一种质谱仪及质谱检测方法
CN111638264A (zh) * 2020-06-22 2020-09-08 郑州轻工业大学 一种基于离子峰谱线的faims图谱特征提取方法
CN111638264B (zh) * 2020-06-22 2023-08-01 郑州轻工业大学 一种基于离子峰谱线的faims图谱特征提取方法
CN113436957A (zh) * 2021-06-29 2021-09-24 苏州传澈特种材料有限公司 一种电晕放电组件和测试装置

Also Published As

Publication number Publication date
US20130153762A1 (en) 2013-06-20
US8742363B2 (en) 2014-06-03
EP2428796A1 (de) 2012-03-14
CN103688164B (zh) 2017-02-15
EP2428796B1 (de) 2015-03-18
WO2012031850A1 (de) 2012-03-15
JP2013541701A (ja) 2013-11-14
JP5678189B2 (ja) 2015-02-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103688164B (zh) 利用紫外线辐射和电子将气体离子化并鉴别该气体的方法及装置
US7015464B2 (en) Apparatus for detecting chemical substances and method therefor
US9404889B2 (en) Method and device for detection and identification of gases
CA2562802C (en) Mass spectrometer
US6797943B2 (en) Method and apparatus for ion mobility spectrometry
US8866072B2 (en) Method and apparatus for detecting and identifying gases by means of ion mobility spectrometry
US6822226B2 (en) Corona ionization source
AU2009206767B2 (en) Components for reducing background noise in a mass spectrometer
US20050199799A1 (en) Mass spectrometric apparatus and ion source
US8829467B2 (en) Analytical apparatus
US5545894A (en) Compact hydrogen/helium isotope mass spectrometer
GB2315155A (en) Ion mobility spectrometer
US20090200459A1 (en) Analytic spectrometers with non-radioactive electron sources
JP6768938B2 (ja) イオン衝突断面積を決定するための分離後の移動度分析器および方法
EP0292974B1 (en) Atmospheric sampling glow discharge ionization source
CN214099579U (zh) 一种反射式离子迁移谱仪
US20080245962A1 (en) Ion trap time-of-flight mass spectrometer
RU2216817C2 (ru) Спектрометр подвижности ионов
Tadjimukhamedov et al. Mass Spectrometry and Ion Mobility Spectrometry
CN107478711A (zh) 二氯甲烷诱导低压质子化光电离气溶胶质谱仪
Torvela et al. Analysis Methods
Marinsky et al. Spectrometry^ Mass Spectrometry Ion Mobility

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20170215

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee