CN103646891A - 晶圆派工方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种晶圆派工方法，属于集成电路领域。派工方法包括：根据FAB生产规则定义进入缺陷检测扫描平台的晶圆样本，据此生成抽样配置信息；根据所述抽样配置信息、机台的制程时间，生成派工规则，以将晶圆样本平均派工到制程机台组中的制程机台上。如此，随后到缺陷检测站点检查后，制程机台组中的每个机台都会有检查结果，避免了现有技术中YE工程师手动取消等操作，从而提高了良率监控方案的监控效率。

Description

晶圆派工方法
技术领域
本发明属于集成电路领域，具体地说，涉及一种晶圆派工方法。
背景技术
在晶圆的加工制过程中，不同的制程机台对晶圆进行加工处理。为了监控各个制程机台加工完成的晶圆是否存在缺陷，通常设定一定的抽检晶圆样本，通过缺陷扫描机台对样本中的晶圆进行表面扫描以检测存在缺陷，最终达到对生产区域制程机台的良率实现监控。
目前，业内的良率监控方案是给每一制程机台加工处理的晶圆定义一个生产批号，通过选中生产批号末尾数为奇数或偶数的晶圆，作为抽检晶圆样本，随机的进入缺陷扫描机台进行缺陷检测。良率工程师对生产线产品的抽样控制方法，对于不同类型产品根据产品批号设置以尾数为奇数或者偶数，在生产工艺过程中随机的进入缺陷扫描区域机台进行扫描，从而达到监控工艺过程中良率的作用。
但是，由于扫描的晶圆数量往往很多，而扫描机台的产能却有限，导致需要扫描产品往往远远超出缺陷扫描机台的产能。具体地，一方面，因为要扫描的晶圆很多，但扫描机台的产能，往往会造成等待和滞留的状况，影响工厂流片速度；另外一方面，如果连续对1个制程机台加工的晶圆进行缺陷扫描，这样就会占用其他制程机台加工的晶圆的缺陷扫描，从而缺乏对这些制程机台的监控机会。这两方原因最终导致扫描机台的扫描压力较大。
为缓解扫描机台扫描压力较大的问题，现有技术中，良率（YieldEnhancement，以下简称YE）工程师会根据产品批号手动选择取消等待缺陷扫描区域的晶圆扫描。具体地，YE工程师要对晶圆的来源制程机台的历史记录进行查询，取消刚才已经扫瞄过的制程机台晶圆，把机会留其他制程机台的晶圆，以此方法来减少扫描机台的扫描压力。
但是，现有技术中的良率监控方法有如下缺陷：
（1）YE工程师手动取消扫描，一方面会占用工程师的工作时间；另外一方面，还容易出现选择晶圆错误，将不该取消的晶圆取消。
（2）YE工程师必须每间隔一定时间去进行查看，挑选一些刚才已经监控过的机台的产品，取消扫描，以减少不必要的等待，间隔时间由YE部门基于等待晶圆的数量，根据平时数据统计和经验来定义，这都会影响产品完成一层光罩工艺的时间（Cycle Time），延长了产品的等待时间。
（3）若晶圆在扫描机台上连续扫描或者间隔较短时间的扫描结果是来自同一个工艺的制程机台，导致了扫描机台的浪费。
综上，现有技术中的良率监控方案的监控效率亟待进一步提高。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种晶圆派工方法，用以部分或全部克服、部分或全部解决现有技术存在的上述技术问题。
为了部分或全部克服、部分或全部解决上述技术问题，本发明提供了一种晶圆派工方法，包括：
根据FAB生产规则定义进入缺陷检测扫描平台的晶圆样本，据此生成抽样配置信息；
根据所述抽样配置信息、机台的制程时间，生成派工规则，以将晶圆样本平均派工到制程机台组中的制程机台上。
优选地，在本发明的一实施例中，根据FAB生产规则定义进入缺陷检测扫描平台的晶圆样本，据此生成抽样配置信息包括：
定义一生产批号，根据生产批号的尾数来定义进入缺陷检测扫描平台的晶圆样本，据此生成抽样配置信息。
优选地，在本发明的一实施例中，所述机台的制程时间包括所述生产批号。
优选地，在本发明的一实施例中，所述生产批号的尾数为抽样产品批次，比如为奇数或是偶数，原则上依照良率工程抽样规则选取产品批号尾数。
优选地，在本发明的一实施例中，根据FAB生产规则定义进入缺陷检测扫描平台的晶圆样本，据此生成抽样配置信息包括：
根据生产批号的尾数有规律或者随机定义进入缺陷检测扫描平台的晶圆样本。
优选地，在本发明的一实施例中，将晶圆样本平均派工到制程机台组中的制程机台上时还包括：给已经分配了晶圆样本的制程机台赋予一生产标志。
优选地，在本发明的一实施例中，所述抽样配置信息包括晶圆样本的名称、晶圆样本加工的制程机台编号、FAB生产规则。
优选地，在本发明的一实施例中，所述机台的制程时间为产品进出制程机台的时间。
优选地，在本发明的一实施例中，上述方法还包括：当一组制程机台组中的每一个制程机台都分配了生产标志后，在下一个生产周期前，清除该生产标志。
与现有的方案相比，本发明中，根据FAB生产规则定义进入缺陷检测扫描平台的晶圆样本，据此生成抽样配置信息；根据所述抽样配置信息、机台的制程时间，生成派工规则，以将晶圆样本平均派工到制程机台组中的制程机台上。如此，随后到缺陷检测站点检查后，制程机台组中的每个机台都会有检查结果，避免了现有技术中YE工程师手动取消等操作，从而提高了良率监控方案的监控效率。
附图说明
图1为本发明实施例一中晶圆派工方法流程示意图；
图2所示为图1中步骤101的流程图；
图3为本发明实施例二中晶圆派工方法流程示意图；
图4为本发明实施例三中晶圆派工方法流程图。
具体实施方式
以下将配合图式及实施例来详细说明本发明的实施方式，藉此对本发明如何应用技术手段来解决技术问题并达成技术功效的实现过程能充分理解并据以实施。
本发明的下述实施例中，根据FAB生产规则定义进入缺陷检测扫描平台的晶圆样本，据此生成抽样配置信息；根据所述抽样配置信息、机台的制程时间，生成派工规则，以将晶圆样本平均派工到制程机台组中的制程机台上。如此，随后到缺陷检测站点检查后，制程机台组中的每个机台都会有检查结果，避免了现有技术中YE工程师手动取消等操作，从而提高了良率监控方案的监控效率。
图1为本发明实施例一中晶圆派工方法流程示意图；如图1所示，其可以包括：
步骤101、根据FAB生产规则定义进入缺陷检测扫描平台的晶圆样本，据此生成抽样配置信息；
步骤102、根据所述抽样配置信息、机台的制程时间，生成派工规则，以将晶圆样本平均派工到制程机台组中的制程机台上。
需要说明的是，由于派工可能发生的制程机台是可以正在运行的，允许等待时间又会影响产品关键的时间，但实际生产过程中，是不是要派货的机台还得需要进一步确定。因此，步骤102中，具体地，通过计算FAB生产规则中的样本晶圆的允许等待时间是否大于机台生产的制程时间，如果大于，则可以将晶圆样本平均派工到制程机台上；否则，如果等待时间小于机台生产的制程时间，即若允许等待时间不足以让产品等待派工，就不能执行平均抽样派工，而应该马上通过当前制程机台。
本实施例中，步骤101可以具体包括：定义一生产批号，根据生产批号的尾数来定义进入缺陷检测扫描平台的晶圆样本，据此生成抽样配置信息。
本实施例中，优选地，所述机台的制程时间包括所述生产批号。具体地，所述生产批号的尾数为抽样产品批次。
据此，图2所示为图1中步骤101的流程图；如图2所示，当所述生产批号的尾数为抽样产品批次时，步骤101可以包括：
步骤111、定义一生产批号，根据生产批号的尾数来定义进入缺陷检测扫描平台的晶圆样本，据此生成抽样配置信息；
步骤121、根据生产批号的尾数有规律或者随机定义进入缺陷检测扫描平台的晶圆样本。
图3为本发明实施例二中晶圆派工方法流程示意图；如图3所示，其还可以包括：
步骤301、根据FAB生产规则定义进入缺陷检测扫描平台的晶圆样本，据此生成抽样配置信息；
步骤302、根据所述抽样配置信息、机台的制程时间，生成派工规则，以将晶圆样本平均派工到制程机台组中的制程机台上；
上述步骤301-302中的，与图1中的步骤101-102相同，在此不再赘述。
步骤303、给已经分配了晶圆样本的制程机台赋予一生产标志。
在上述图3所示实施例的基础上，还可以形成本发明另一实施例中的派工方法。图4为本发明实施例三中晶圆派工方法流程图；如图4所示，其可以具体包括：
步骤401、根据FAB生产规则定义进入缺陷检测扫描平台的晶圆样本，据此生成抽样配置信息；
步骤402、根据所述抽样配置信息、机台的制程时间，生成派工规则，以将晶圆样本平均派工到制程机台组中的制程机台上，给已经分配了的制程机台赋予一生产标志；
步骤403：当一组制程机台组中的每一个制程机台都分配了生产标志后，在下一个生产周期前，清除该生产标志。
需要说明的是，在上述实施例中，所述抽样配置信息可以包括晶圆样本的名称、晶圆样本加工的制程机台编号、FAB生产规则。如表一所示抽样配置信息示例，样品1被机台1加工，其生产批号的尾数为奇数，样品2为机台2加工，其生产批号的尾数为偶数。
实例中使用到尾数为奇数或偶数。但实际生产中不一定都是奇数或者偶数来抽样的，原则上可以根据良率抽样规则的尾数产品来进行抽样。
表一抽样配置信息示例
样品编号 机台号 生产批号
样品1 机台1 尾数为奇数
样品2 机台2 尾数为偶数
需要说明的是，在上述实施例中，FAB生产规则为基于上述生产批号的。
在上述实施例中，所述机台的制程时间为产品进出制程机台的时间。如表二所示FAB生产规则示例，假设A组制程机台有三台支制程，机台号分别为1、2、3，晶圆通过进出机台的时间即通过时间间隔分别为2小时、8小时、4小时。
但是，只有机台1和3进行晶圆样本的派工，因此，也就只有机台1和3的通过样本符号为PASS。从表二可看出，机台2的通过样本符号为空，因此，还可以给机台2进行晶圆样本的派工，直至当机台组别A中的所有机台都具有通过样本符号位置，从而可以使每个机台都加工过一晶圆样本。
表二FAB生产规则示例
机台组别 机台号 通过样本符号 通过时间间隔
A组 机台1 Pass 2小时
A组 机台2 8小时
A组 机台3 Pass 4小时
但是，对于本领域普通技术人员来说，抽样配置信息、FAB生产规则并不局限于上述特定的方式，只要可以定义制程机台和被加工晶圆的对应关系、能够推算出晶圆被加工进出机台的时间既可。
下面结合具体应用场景，对上述实施例进行示例性解释。
应用场景一：某一制程机台组有2制程机台，共有4批产品，生产批号分别为1、2、3、4。假如抽样概率为50%，即从4批产品中，抽出2批产品。假如采用规律采样法，生产批号尾数为奇数的1、3批产品作为晶圆样本。生产批号为1和3的晶圆样本，分别派工到机台1和机台2机台上进行生产。
具体的派工方案有如下选择：
（1）生产批号为1的晶圆派工到机台1进行生产，生产批号为2的晶圆派工到机台2机台进行生产。
（2）生产批号为2的晶圆派工到机台1进行生产，生产批号为1的的晶圆派工到机台2机台进行生产。
选择上述（1）-（2）中任一派工方案，随后到缺陷检测站点检查后，对机台1和机台2都会有检查结果，达到了缺陷检查检测的目的：100%检查。
若使用现有技术派工方案的话，极端情况下，生产批号为1和3的产品都在机台1完成生产，而机台2没有；随后，进入缺陷检测站点后，只有对机台1有检查结果，对机台2却没有，因此抽样率仅为50%。
在应用场景一中，假如尾数为偶数的生产批号对应的产品为晶圆样：本与上述情况类似，在此不再赘述。
应用场景二：某一制程机台组有2制程机台，共有6批产品，生产批号分别为1、2、3、4、5、6。假如抽样概率为50%，即从6批产品中，抽出3批产品。假如采用规律采样法，生产批号尾数为奇数的1、3、5批产品作为晶圆样本。具体的派工方法可能有如下选择：
（1）生产批号为1的晶圆派工到机台1，生产批号为5的晶圆派工到机台2进行生产；
（2）生产批号为3的晶圆派工到机台1，生产批号为5的晶圆工到机台2进行生产；
（3）生产批号为5的晶圆派工到机台1，假如生产批号为3的晶圆派工到机台2进行生产；
（4）生产批号为3的晶圆工到机台1，生产批号为1的晶圆派工到机台2进行生产；
（5）生产批号为5的晶圆派工到机台1，生产批号为1的晶圆派工到机台2进行生产；
经过上述（1）-（5）中的任一派工方案，随后到缺陷检测站点检查后，只要检测2批，就实现了对机台1和机台2都会有检查结果，达到了缺陷检查检测的目的：100%检查。
而现有技术中的派工方案的话，则可能有如下6种派工方案：
（1）生产批号为1的晶圆派工到机台1，生产批号为3和5的晶圆派工到机台2进行生产；
（2）生产批号为3的晶圆派工到机台1，生产批号为1和5的晶圆派工到机台2进行生产；
（3）生产批号为2的晶圆派工到机台1，假如生产批号为3和5的晶圆派工到机台2进行生产；
（4）生产批号为1和3晶圆派工到机台1，生产批号为5的晶圆派工到机台2进行生产；
（5）生产批号为1和5的晶圆派工到机台1，生产批号为3的晶圆派工到机台2进行生产；
（6）生产批号为3和5的晶圆派工到机台1，假如生产批号为1的晶圆派工到机台2进行生产。
随后到缺陷检测站点检查后，需要检测3批，才能实现了对机台1和机台2都会有检查结果。
需要说明的是，上述应用场景一和二是根据生产批号的尾数规律性定义晶圆样本。可替代的，在其他应用场景中也可以随机定义进入缺陷检测扫描平台的晶圆样本，比如，生产批号为1、4、6的产品，详细过程类似与上述应用场景一和二，在此不再赘述。
上述说明示出并描述了本发明的若干优选实施例，但如前所述，应当理解本发明并非局限于本文所披露的形式，不应看作是对其他实施例的排除，而可用于各种其他组合、修改和环境，并能够在本文所述发明构想范围内，通过上述教导或相关领域的技术或知识进行改动。而本领域人员所进行的改动和变化不脱离本发明的精神和范围，则都应在本发明所附权利要求的保护范围内。

Claims (9)

1.一种晶圆派工方法，其特征在于，包括：
根据FAB生产规则定义进入缺陷检测扫描平台的晶圆样本，据此生成抽样配置信息；
根据所述抽样配置信息、机台的制程时间，生成派工规则，以将晶圆样本平均派工到制程机台组中的制程机台上。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，根据FAB生产规则定义进入缺陷检测扫描平台的晶圆样本，据此生成抽样配置信息包括：
定义一生产批号，根据生产批号的尾数来定义进入缺陷检测扫描平台的晶圆样本，据此生成抽样配置信息。
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述机台的制程时间包括所述生产批号。
4.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述生产批号的尾数为抽样产品批次。
5.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，根据FAB生产规则定义进入缺陷检测扫描平台的晶圆样本，据此生成抽样配置信息还包括：
根据生产批号的尾数有规律或者随机定义进入缺陷检测扫描平台的晶圆样本。
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，将晶圆样本平均派工到制程机台组中的制程机台上时还包括：给已经分配了晶圆样本的制程机台赋予一生产标志。
7.根据权利要求1-6任意所述的方法，其特征在于，所述抽样配置信息包括晶圆样本的名称、晶圆样本加工的制程机台编号、FAB生产规则。
8.根据权利要求1-6任意所述的方法，其特征在于，所述机台的制程时间为产品进出制程机台的时间。
9.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，还包括：当一组制程机台组中的每一个制程机台都分配了生产标志后，在下一个生产周期前，清除该生产标志。
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