CN103581814A - Mems麦克风 - Google Patents

Mems麦克风 Download PDF

Info

Publication number
CN103581814A
CN103581814A CN201310464930.8A CN201310464930A CN103581814A CN 103581814 A CN103581814 A CN 103581814A CN 201310464930 A CN201310464930 A CN 201310464930A CN 103581814 A CN103581814 A CN 103581814A
Authority
CN
China
Prior art keywords
wiring board
encapsulating structure
electrically connected
mainboard
sound
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201310464930.8A
Other languages
English (en)
Inventor
李欣亮
王顺
刘瑞宝
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Goertek Inc
Original Assignee
Goertek Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Goertek Inc filed Critical Goertek Inc
Priority to CN201310464930.8A priority Critical patent/CN103581814A/zh
Publication of CN103581814A publication Critical patent/CN103581814A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Electrostatic, Electromagnetic, Magneto- Strictive, And Variable-Resistance Transducers (AREA)
  • Pressure Sensors (AREA)
  • Details Of Audible-Bandwidth Transducers (AREA)

Abstract

本发明公开了一种MEMS麦克风,涉及声电转换器技术领域,本发明的MEMS麦克风包括一个由线路板主板和中间位置向内凹陷形成一凹槽的第二线路板组成的封装结构,此种结构由于采用双层线路板结构,安装加工过程操作简单、且减小了线路板层与层之间的密封连接使其密封效果得到改善,封装结构内部的线路板主板上设有MEMS芯片,与MEMS芯片相对的线路板主板位置设有声孔,在第二线路板凹槽内壁上设有屏蔽层,减少了线路板层与层之间的密封连接,提高了MEMS麦克风的整体屏蔽效果。第二线路板内部设有导电线路,可以实现由Bottom结构到Top结构的转换,在保证Bottom结构产品各性能指标良好的基础上,实现了Top结构便于与终端产品电连接的效果。

Description

MEMS麦克风
技术领域
本发明涉及声电产品技术领域,特别涉及一种MEMS麦克风。 
背景技术
MEMS麦克风是将声音信号转换为电信号的能量转换器,近年来随着便携式电子设备的飞速发展,MEMS麦克风在便携式电子设备中得到了广泛的应用。 
MEMS麦克风通常有两种结构,一种是接收声音信号的声孔与焊盘均设置在同一线路板上,此种结构在行业内被称为“Bottom结构”;另外一种是声孔与焊盘分别设置,不在同一线路板上,此种结构在行业内被称为“Top结构”,Bottom结构的MEMS麦克风产品性能优越、Top结构的MEMS麦克风便于与终端产品进行电连接,以上两种结构的MEMS麦克风各有利弊,但只能单独采用其中的一种方式实现与终端产品的电连接。 
同时常规的MEMS麦克风,为了采用同一材料来制作外部封装结构,通常采用上下两层线路板与一个中间带腔的线路板组成一个中间带有音腔的三层线路板外部封装结构,并在封装结构上设有能够接收声音信号的声孔,在封装结构内部的音腔内设有用于将声音信号转换成电信号的MEMS芯片,此种结构称为“三层线路板结构”MEMS麦克风,此种结构的MEMS麦克风由于采用三层线路板结构,每层之间分别需要密封固定,操作繁琐且密封效果较差。同时由于各层之间用密封胶固定,影响了整个封装结构的电磁屏蔽效果。由此需要设计一种操作简单、密封效果及电磁屏蔽效果良好,并能实现由Bottom结构到Top结构的转换的一种MEMS麦克风。 
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种操作简单、密封效果及电磁屏蔽效果良好、并能实现由Bottom结构到Top结构的转换的一种MEMS麦克风。 
为解决上述技术问题,本发明的技术方案是: 
作为实现本发明的第一种技术方案:一种MEMS麦克风,包括一个封装 所述封装结构内部形成一个音腔,所述封装结构上设有接收声音信号的声孔,所述封装结构内部所述音腔内设有MEMS芯片,其中,所述封装结构由线路板主板和第二线路板组成;所述第二线路板中间位置向内凹陷形成一凹槽;所述线路板主板覆盖所述凹槽并与所述第二线路板结合形成带有音腔的所述封装结构;所述MEMS芯片设置在所述封装结构内部所述线路板主板上并与所述线路板主板进行电连接,所述声孔设置在与所述MEMS芯片相对的所述线路板主板位置;所述第二线路板所述凹槽内壁上或封装结构外部所述第二线路板表面设有屏蔽层;所述封装结构外部所述第二线路板表面设有与外部电连接的焊盘;所述第二线路板内部设有电连接所述线路板主板与所述焊盘的导电线路,所述焊盘通过所述第二线路板内部的所述导电线路、所述线路板主板实现与所述MEMS芯片的电连接。 
一种优选的技术方案,所述线路板主板与所述第二线路板之间通过异响导电胶或焊锡膏或银浆或铜膏实现电连接。 
一种优选的技术方案,所述第二线路板内部的所述导电线路为电连接所述焊盘与所述线路板主板的导电体。 
作为实现本发明的第二种技术方案:一种MEMS麦克风,包括一个封装结构,所述封装结构内部形成一个音腔,所述封装结构上设有接收声音信号的声孔,所述封装结构内部所述音腔内设有MEMS芯片,其中,所述封装结构由线路板主板和第二线路板组成;所述第二线路板中间位置向内凹陷形成一凹槽;所述线路板主板覆盖所述凹槽并与所述第二线路板结合形成带有音腔所述封装结构;所述MEMS芯片设置在所述封装结构内部所述第二线路板凹槽底部,所述声孔设置在与所述MEMS芯片相对的所述第二线路板上并与所述第二线路板电连接;所述第二线路板所述凹槽内壁上或封装结构外部所述第二线路板表面设有屏蔽层;所述封装结构外部所述线路板主板表面设有与外部电连接的焊盘;所述第二线路板内部设有电连接所述线路板主板的导电线路,所述焊盘通过所述线路板主板、第二线路板内部的所述导电线路实现与所述MEMS芯片的电
Figure BDA0000392134200000021
一种优选的技术方案,所述线路板主板与所述第二线路板之间通过
Figure BDA0000392134200000022
 电胶或焊锡膏或银浆或铜膏实现电连接。 
一种优选的技术方案,所述第二线路板内部的所述导电线路为电连接所述MEMS芯片与所述线路板主板的导电体。 
以上结构,由于本发明的MEMS麦克风的封装结构采用由线路板主板和第二线路板组成的双层线路板结构来代替三层线路板结构,使在安装加工过程操作简单、且减小了线路板层与层之间的密封连接使其密封效果得到改善,并且在第二线路板中间位置向内凹陷形成一凹槽,并在凹槽内壁上或封装结构外部所述第二线路板表面设有屏蔽层,减少了线路板层与层之间的密封连接提高了MEMS麦克风的整体屏蔽效果,同时由于在第二线路板内部设有导电线路分别通过线路板主板---第二线路板---焊盘、第二线路板---线路板主板---焊盘,实现了由Bottom结构到Top结构的转换,在保证产品各性能指标良好的基础上,便于与终端产品实现电连接。 
附图说明
图1是本发明MEMS麦克风声孔设置在线路板主板上,焊盘设置在第二线路板上并且将屏蔽层设置在第二线路板凹槽内部的MEMS麦克风的剖面结构示意图; 
图2是本发明MEMS麦克风第二线路板的结构示意图; 
图3是本发明MEMS麦克风声孔设置在线路板主板上,焊盘设置在第二线路板上并且将屏蔽层设置在第二线路板外部的MEMS麦克风的剖面结构示意图; 
图4是本发明MEMS麦克风声孔设置在第二线路板上,焊盘设置在线路板主板上并且将屏蔽层设置在第二线路板外部的MEMS麦克风的剖面结构示意图; 
图5是本发明MEMS麦克风声孔设置在第二线路板上,焊盘设置在线路板主板上并且将屏蔽层设置在第二线路板凹槽内部的MEMS麦克风的剖面结构示意图。 
具体实施方式
下面结合附图和实施例,进一步阐述本发明,同时本实施例是与采 线路板结构产品做对比而进行说明的。 
实施例一: 
如图1、图2所示,本发明中的MEMS麦克风,包括一个由线路板主板1和中间位置向内凹陷形成一凹槽21的第二线路板2组成的带有音腔3的封装结构,此种结构由于采用双层线路板结构,相对于三层线路板结构的MEMS麦克风封装在安装加工过程操作简单、且减小了线路板层与层之间的密封连接使其密封效果得到改善,封装结构内部音腔3的所述线路板主板1上设有MEMS芯片4,MEMS芯片4与线路板主板1之间进行电连接,在与所述MEMS芯片4相对的所述线路板主板1位置设有能够接收声音信号的声孔6,在所述第二线路板2所述凹槽21内壁上设有屏蔽层22;如图3所示,屏蔽层22也可以设置在封装结构外部所述第二线路板2表面上,相对于三层线路板结构的MEMS麦克风,减少了线路板层与层之间的密封连接提高了MEMS麦克风的整体屏蔽效果。 
在以上结构基础上,在所述封装结构外部所述第二线路板2表面设有与外部进行电连接的焊盘5;所述第二线路板2内部设有电连接所述线路板主板1与所述焊盘5的导电线路23,所述焊盘5通过所述第二线路板2内部的所述导电线路23、所述线路板主板1实现与所述MEMS芯片4的电连接,实现了由Bottom结构到Top结构的转换,在保证Bottom结构产品各性能指标良好的基础上,实现了Top结构便于与终端产品电连接的效果。 
本发明中线路板主板1与第二线路板2之间可以通过电连接效果较好且易取材的异响导电胶或焊锡膏或银浆或铜膏实现电连接。 
作为实现本发明一种优选的技术方案,所述第二线路板2内部的所述导电线路23为电连接所述焊盘5与所述线路板主板1的导电体,加工便利,便于与第二线路板2一体加工成型。 
实施例二: 
如图2、图4所示,本实施例中的MEMS麦克风,包括一个由线路板
Figure BDA0000392134200000041
和中间位置向内凹陷形成一凹槽21的第二线路板2组成的带有音腔3的 构,此种结构由于采用双层线路板结构,相对于三层线路板结构的MEMS麦克风封装在安装加工过程操作简单、且减小了线路板层与层之间的密封连接使其密封效果得到改善,封装结构内部第二线路板2的凹槽21底部设有MEMS芯片4,MEMS芯片4与第二线路板2之间进行电连接,在与所述MEMS芯片4相对的所述第二线路板2位置设有能够接收声音信号的声孔6,在所述第二线路板2所述凹槽21内壁上设有屏蔽层22;如图5所示屏蔽层22也可以设置在封装结构外部所述第二线路板2表面上,相对于三层线路板结构的MEMS麦克风,减少了线路板层与层之间的密封连接提高了MEMS麦克风的整体屏蔽效果。 
在以上结构基础上,在所述封装结构外部所述线路板主板1表面设有与外部进行电连接的焊盘5;所述第二线路板2内部设有电连接所述线路板主板1的导电线路23,所述MEMS芯片4通过所述第二线路板2内部的所述导电线路23、所述线路板主板1实现与所述焊盘5的电连接,实现了由Bottom结构到Top结构的转换,在保证Bottom结构产品各性能指标良好的基础上,实现了Top结构便于与终端产品电连接的效果。 
本发明中线路板主板1与第二线路板2之间可以通过电连接效果较好且易取材的异响导电胶或焊锡膏或银浆或铜膏实现电连接。 
作为实现本发明一种优选的技术方案,所述第二线路板2内部的所述导电线路23为电连接所述焊盘5与所述线路板主板1的导电体,加工便利,便于与第二线路板2一体加工成型。 
上述实施例中,鉴于MEMS芯片对本发明的主旨没有影响,图样仅采用简略图样表示,以上实施例仅仅用以解释本发明,并不是用于限定本发明,所述技术领域的技术人员应该明白,凡在本发明的精神和原则之内所做的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本发明的保护范围内。 

Claims (6)

1.一种MEMS麦克风,包括一个封装结构,所述封装结构内部形成一个音腔,所述封装结构上设有接收声音信号的声孔,所述封装结构内部所述音腔内设有MEMS芯片,其特征在于:
所述封装结构由线路板主板和第二线路板组成;
所述第二线路板中间位置向内凹陷形成一凹槽;
所述线路板主板覆盖所述凹槽并与所述第二线路板结合形成带有音腔的所述封装结构;
所述MEMS芯片设置在所述封装结构内部所述线路板主板上并与所述线路板主板进行电连接,所述声孔设置在与所述MEMS芯片相对的所述线路板主板位置;
所述第二线路板所述凹槽内壁上或封装结构外部所述第二线路板表面设有屏蔽层;
所述封装结构外部所述第二线路板表面设有与外部电连接的焊盘;
所述第二线路板内部设有电连接所述线路板主板与所述焊盘的导电线路,所述焊盘通过所述第二线路板内部的所述导电线路、所述线路板主板实现与所述MEMS芯片的电连接。
2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风,其特征在于:
所述线路板主板与所述第二线路板之间通过异响导电胶或焊锡膏或银浆或铜膏实现电连接。
3.根据权利要求1所述的MEMS麦克风,其特征在于:所述第二线路板内部的所述导电线路为电连接所述焊盘与所述线路板主板的导电体。
4.一种MEMS麦克风,包括一个封装结构,所述封装结构内部形成一个音腔,所述封装结构上设有接收声音信号的声孔,所述封装结构内部所述音腔内设有MEMS芯片,其特征在于:
所述封装结构由线路板主板和第二线路板组成;
所述第二线路板中间位置向内凹陷形成一凹槽;
所述线路板主板覆盖所述凹槽并与所述第二线路板结合形成带有音
Figure FDA0000392134190000011
封装结构;
所述MEMS芯片设置在所述封装结构内部所述第二线路板凹槽底部,所述声孔设置在与所述MEMS芯片相对的所述第二线路板上并与所述第二线路板电连接;
所述第二线路板所述凹槽内壁上或封装结构外部所述第二线路板表面设有屏蔽层;
所述封装结构外部所述线路板主板表面设有与外部电连接的焊盘;
所述第二线路板内部设有电连接所述线路板主板的导电线路,所述焊盘通过所述线路板主板、第二线路板内部的所述导电线路实现与所述MEMS芯片的电连接。
5.根据权利要求4所述的MEMS麦克风,其特征在于:
所述线路板主板与所述第二线路板之间通过异响导电胶或焊锡膏或银浆或铜膏实现电连接。
6.根据权利要求4所述的MEMS麦克风,其特征在于:
所述第二线路板内部的所述导电线路为电连接所述MEMS芯片与所述线路板主板的导电体。
CN201310464930.8A 2013-10-08 2013-10-08 Mems麦克风 Pending CN103581814A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201310464930.8A CN103581814A (zh) 2013-10-08 2013-10-08 Mems麦克风

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201310464930.8A CN103581814A (zh) 2013-10-08 2013-10-08 Mems麦克风

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN103581814A true CN103581814A (zh) 2014-02-12

Family

ID=50052557

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201310464930.8A Pending CN103581814A (zh) 2013-10-08 2013-10-08 Mems麦克风

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN103581814A (zh)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106162394A (zh) * 2015-04-28 2016-11-23 钰太芯微电子科技(上海)有限公司 一种防水麦克风单体
WO2018201471A1 (en) * 2017-05-05 2018-11-08 Goertek Inc. Mems microphone
CN113132877A (zh) * 2021-06-17 2021-07-16 甬矽电子(宁波)股份有限公司 麦克风封装结构和麦克风封装结构的制备方法
CN113415781A (zh) * 2021-06-17 2021-09-21 甬矽电子(宁波)股份有限公司 双mems芯片封装结构和双mems芯片封装方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100737726B1 (ko) * 2006-07-10 2007-07-10 주식회사 비에스이 멤스 마이크로폰 패키징 구조체
CN201138866Y (zh) * 2007-12-24 2008-10-22 歌尔声学股份有限公司 改进结构的硅麦克风
CN101651918A (zh) * 2009-06-19 2010-02-17 瑞声声学科技(深圳)有限公司 电容式麦克风
CN203406992U (zh) * 2013-08-22 2014-01-22 歌尔声学股份有限公司 Mems麦克风
CN203590457U (zh) * 2013-10-08 2014-05-07 歌尔声学股份有限公司 Mems麦克风

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100737726B1 (ko) * 2006-07-10 2007-07-10 주식회사 비에스이 멤스 마이크로폰 패키징 구조체
CN201138866Y (zh) * 2007-12-24 2008-10-22 歌尔声学股份有限公司 改进结构的硅麦克风
CN101651918A (zh) * 2009-06-19 2010-02-17 瑞声声学科技(深圳)有限公司 电容式麦克风
CN203406992U (zh) * 2013-08-22 2014-01-22 歌尔声学股份有限公司 Mems麦克风
CN203590457U (zh) * 2013-10-08 2014-05-07 歌尔声学股份有限公司 Mems麦克风

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106162394A (zh) * 2015-04-28 2016-11-23 钰太芯微电子科技(上海)有限公司 一种防水麦克风单体
WO2018201471A1 (en) * 2017-05-05 2018-11-08 Goertek Inc. Mems microphone
US11109162B2 (en) 2017-05-05 2021-08-31 Goertek Inc. MEMS microphone
CN113132877A (zh) * 2021-06-17 2021-07-16 甬矽电子(宁波)股份有限公司 麦克风封装结构和麦克风封装结构的制备方法
CN113132877B (zh) * 2021-06-17 2021-09-21 甬矽电子(宁波)股份有限公司 麦克风封装结构和麦克风封装结构的制备方法
CN113415781A (zh) * 2021-06-17 2021-09-21 甬矽电子(宁波)股份有限公司 双mems芯片封装结构和双mems芯片封装方法
CN113415781B (zh) * 2021-06-17 2023-05-23 甬矽电子(宁波)股份有限公司 双mems芯片封装结构和双mems芯片封装方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20170064458A1 (en) Mems microphone package structure having a non-planar substrate
US8339798B2 (en) Printed circuit boards with embedded components
CN105792083B (zh) 微机电麦克风封装
US9018741B2 (en) Semiconductor package and manufacturing method thereof
US20180146302A1 (en) Mems microphone package structure and method for manufacturing the mems microphone package structures
CN105357616B (zh) 具有立体基板的微机电麦克风封装结构
CN103581814A (zh) Mems麦克风
CN103957498A (zh) 侧面进声的硅麦克风封装结构
CN201138866Y (zh) 改进结构的硅麦克风
CN203590457U (zh) Mems麦克风
CN102378093A (zh) 一种硅微麦克风
CN105993207A (zh) 用于装配麦克风构件的电路板和具有这种电路板的麦克风模块
CN204442690U (zh) Mems麦克风
WO2016011780A1 (zh) 一种mems麦克风、前进音mems麦克风
CN112770495B (zh) 全向内埋模组及制作方法、封装结构及制作方法
JP6208935B2 (ja) コネクタ
CN102244972A (zh) 电路板及其应用
WO2017094836A1 (ja) シールドを有するモジュール
CN201450592U (zh) 线路板框架结构的微型麦克风
CN203883993U (zh) 一种mems麦克风
CN201234332Y (zh) 全屏蔽微型麦克风
CN202799143U (zh) Mems麦克风
CN203840542U (zh) 侧面进声的硅麦克风封装结构
CN105789148A (zh) 滤波器封装结构及滤波器封装结构的制作方法
CN103607688A (zh) Mems麦克风的制造方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
CB02 Change of applicant information

Address after: 261031 Dongfang Road, Weifang high tech Industrial Development Zone, Shandong, China, No. 268

Applicant after: Goertek Inc.

Address before: 261031 Dongfang Road, Weifang high tech Industrial Development Zone, Shandong, China, No. 268

Applicant before: Goertek Inc.

COR Change of bibliographic data
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20140212

RJ01 Rejection of invention patent application after publication