JP5577040B2 - プローブカード - Google Patents
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Description
なお、本段落の設計変更は、段落0074で記述したプローブカードについても適応可能である。
120a、120b 第1、第2のスルーホール
400 ガイド基板(特許請求の範囲の基板)
420a、420b 第1、第2の位置決め溝
430a、430b 第1、第2の貫通孔
440 穴部
450 樹脂
500a、500b 第1、第2の プローブ
510a、510b 先端部
520a、520b 中間部
530a、530b 後端部
600 固定用樹脂
601、602 第1、第2の固定用樹脂
700a、700b 第1、第2の位置決めプレート
710a、710b 凹部
Claims (3)
- 直線状に延びた後端部と、前記後端部に連接され且つ略L字状に折り曲げられた中間部と、前記中間部に連接され且つ先端が前記後端部の反対側に向くように略L字状に折り曲げられた先端部とを有する複数の第1のプローブ、
直線状に延びた後端部と、前記後端部に連接され且つ略L字状に折り曲げられた中間部と、前記中間部に連接され且つ先端が前記後端部の反対側に向くように略L字状に折り曲げられた先端部とを有し、当該前先端部の先端から折り曲げ部までの長さが前記第1のプローブの先端部の先端から折り曲げ部までの長さよりも短い複数の第2のプローブ、
一列で設けられており且つ前記第1のプローブの後端部が挿入された複数の第1の貫通孔と、前記第1の貫通孔の並びに対して略平行に設けられており且つ前記第2のプローブの後端部が挿入された複数の第2の貫通孔とを有する基板、
前記基板の第1面に前記第1の貫通孔の並びに略平行に固着されており且つ前記第1の貫通孔の並びに略平行に、前記第1のプローブの中間部を保持する複数の凹部が一列で設けられた第1の位置決め部材、
および、前記基板の前記第1面の前記第1、第2貫通孔の間に固着されており且つ前記第1の位置決め部材よりも背高である第2の位置決め部材を備えており、
前記第2の位置決め部材の端部には、前記第2の貫通孔の並びに略平行に複数の凹部が設けられており、
前記第2の位置決め部材の凹部は、前記第2のプローブの先端が前記第1のプローブの先端と略同一高さになるように前記第2のプローブの中間部を保持する
ことを特徴とするプローブカード。 - 請求項1記載のプローブカードにおいて、
前記基板は、前記第1、第2の位置決め部材が固着された前記第1面、
前記第1、第2の貫通孔に連通した穴部、
および、前記穴部に充填され、前記第1、第2のプローブを当該基板に固定した樹脂部を有している
ことを特徴とするプローブカード。 - 請求項1又は2記載のプローブカードにおいて、
前記基板は、前記第1面に前記第1の貫通孔の並びに略平行に設けられており且つ前記第1の位置決め部材が嵌合した第1の位置決め溝、
および、前記第1面の前記第1、第2貫通孔の間に、当該第1、第2の貫通孔の並びに略平行に設けられ且つ前記第2の位置決め部材が嵌合した第2の位置決め溝を有している
ことを特徴とするプローブカード。
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