TWM445759U - 探針固持結構及其光學檢測裝置 - Google Patents

Description

探針固持結構及其光學檢測裝置

本創作係為一種探針固持的技術，尤其是指一種利用組合式之探針固持結構及其光學檢測裝置。

半導體晶片完成之前，必須經過多道檢測程序以確保品質。其中之一檢測項目即是為了驗證半導體晶片內部之各精密電子元件間的電性連接是否確實以及功能是否符合驗收規格。

一般而言，半導體晶片進行測試時，測試機必須透過一探針卡(probe card)接觸待測物(device under test,DUT)，例如：晶片，並藉由訊號傳輸以及電性訊號分析，以獲得待測物的測試結果。探針卡通常包含若干個尺寸精密的探針相互排列而成，每一個探針通常會對應晶片上特定的電性接點，當探針接觸待測物上的對應電性接點時，可以確實傳遞來自測試機的測試訊號；同時，配合探針卡及測試機之控制與分析程序，達到量測待測物之電性特徵的目的。

請參閱第1A與第1B圖所示，該圖係為習用技術之探針卡結構底視以及剖面示意圖。該探針卡1具有一導引板10，其上具有一通孔11，通孔周圍具有複數排探針12,13以及14。由於在導引板10上有複數排的探針12,13以及14，再加上導引板10的面積很小，因此在製作探針卡1時，在進行第一排探針12之插針動作時，第二排與第三排探針13與14之插針動作就無法同步進行，因而會降低探針卡1 的製作效率。此外，由於在習用技術中，探針是直接插置在導引板10上，因此當製作品質有問題時或者是在使用上探針接觸有異常時，並無法針對有問題的探針，個別進行更換，而必須將探針連同導引板一起報廢，如此必然增加探針卡之成本。

綜合上述，因此亟需一種探針固持結構及其光學檢測裝置來解決習用技術所產生之問題。

本創作之一目的在提供一種探針固持結構其光學檢測裝置，在該探針固持結構中，其係將探針模組化而與導引板相接，增加探針與導引板組合的彈性以提升製作探針卡的效率，而且也可以容易對有問題的探針進行更換，使得維護更方便，進而降低探針卡之成本。

為了達到上述之目的，本創作提供一種探針固持結構，包括：一基板以及複數個固持模組。該基板，其係具有一通孔以及複數個設置在該通孔之周圍的槽體。該複數個固持模組，其係分別與該複數個槽體相連接，每一個固持模組更具有一固定件以及複數個探針，該固定件係與對應之槽體相連接。該複數個探針係連接於該固定件上，且通過對應之槽體。

為了達到上述之目的，本創作更提供一種光學檢測裝置，包括：一座體、至少一鏡頭容置座以及至少一探針固持結構。該座體，其係具有至少一第一通孔。該至少一鏡頭容置座，其係分別容置於該至少一第一通孔內，每一鏡 頭容置座內具有一鏡頭。該至少一探針固持結構，其係設置於該座體之表面上，每一探針固持結構其係包括有一基板以及複數個固持模組。該基板，其係具有一通孔以及複數個設置在該通孔之周圍的槽體。該複數個固持模組，其係分別與該複數個槽體相連接，每一個固持模組更具有一固定件以及複數個探針，該固定件係與對應之槽體相連接。該複數個探針係連接於該固定件上，且通過對應之槽體。

請參閱第2圖所示，該圖係為本創作探針固持結構之實施例立體示意圖。在本實施例中，該探針固持結構2包括有一基板20以及複數個固持模組21。請參閱第3A圖所示，該圖係為本創作之基板第一實施例結構示意圖。在本實施例中，該基板20具有一通孔200以及複數個設置在該通孔之周圍的槽體201。在本實施例中，該複數個槽體201係為貫通該基板20。該複數個槽體201可以呈現類似ㄇ字形或者是口字形的排列，本實施例為類似ㄇ字形的排列，亦即在該通孔200之三側上形成有槽體201。另外，在另一實施例中，如第3B圖所示，該基板20上所具有的槽體並非如第3A圖為貫穿基板20之結構，而是分別具有一底面203，然後在該底面203上形成複數個貫穿基板20的第一貫穿孔204。該基板20之材質可以為工程塑膠、電木等或者是陶瓷材料所構成。在本實施例中，該基板20係為陶瓷板。此外，在第3A圖與第3B圖中，基板20上具有沉孔205。沉孔205之數量與 開設位置係根據基板20之尺寸與構形而定，並不以圖中基板20之四個角落為限制。沉孔205的目的在於利用鎖固元件，例如：螺絲，將基板20固鎖在基座上時，可以讓固鎖元件沉入孔內，而不會凸出基板20表面，進而可以避免傷到待測晶片。

請同時參閱第2圖與第3B圖所示，本實施例的基板20係為第3B圖所示的基板實施例，該複數個固持模組21分別容置於該複數個槽體202內，且分別與該複數個槽體202相連接，每一個固持模組21更具有一固定件210以及複數個探針211。在本實施例中，每一個固定件210係為一長條柱體。該固定件210之材質可以為工程塑膠、電木等或者是陶瓷材料所構成。在本實施例中，該固定件210為陶瓷材料所構成。請參閱第4A圖所示，該圖係為本創作第2圖所示的探針固持結構剖面示意圖。首先說明本創作之固持模組21與對應槽體201連接的方式，在本實施例中，每一個探針211係藉由膠材22，例如：黑膠(epoxy)，先黏著於固定件210上，形成單一的固持模組21。每一個探針211被彎折成具有一延伸部2110、一懸臂部2111以及一偵測部2112的N型針結構。該延伸部2110，其係抵靠於該固定件210之一側面上。本實施例中，該延伸部2110大致與基板20之表面相垂直。該懸臂部2111，其係與該延伸部2110相連接，與該延伸部2110間具有一第一夾角θ1。為了讓探針211黏固於該固定件210上，該懸臂部2111與該固定件210間透過膠材22來進行連接。該偵測部2112，其係與該懸臂部2111相連接，且與該懸臂部2111間具有一第二夾角θ2。第一夾角θ1與第二夾 角θ2之大小並無特定之限制，可以根據需要彎折至所需的角度。

該固定件210與該探針211接觸之表面除了為平面之外，更可以為如第4B圖所示，為了讓每一探針211可以容易的放置在該固定件210上，在該固定件210上之至少一側面上可以設置有凹槽2100或2101。其中，凹槽2101提供容置對應該延伸部2110。而凹槽2100的設置，則是有利於彎折探針211之用，其位置係設置於該固定件210對應該懸臂部2111的壁面上。要說明的是，雖然在第4B圖所示的固定件210同時俱有凹槽2100與2101，不過這兩個凹槽2100與2101並不一定要同時具有，使用者可以根據需要而設置其中之一或兩者。

再回到第4A圖所示，每一固持模組21再被嵌入到該基板20上對應的槽體202上，由於本實施例的基板20為第3B圖的實施例，因此每一個探針211的延伸部2110會通過對應的第一貫穿孔204而穿出該基板20。由於該第一貫穿孔204的設計，可以讓穿出基板20的延伸部2110得到更好的定位效果，以利後續電訊號的導引。為了讓固持模組21可以固定在基板20上，當該固持模組21容置於對應的槽體202內時，可以在利用膠材22充填於該固持模組21與該槽體202的縫隙，以強化固持模組21與該槽體202間的連接效果。另外，在另一實施例中，更可以在該探針211懸臂部2111與該基板20間以膠材22a來強化連接關係。此外，要說明的是，在另一實施例中，固定件210也可以不用被容置於槽體202內，而是直接連接在對應槽體202之表面上。此時，槽體202 為開口寬度小於固定件210寬度的貫穿槽，僅提供對應的探針通過。至於該固定件210連接於基板的方式可以利用黑膠來黏著固定。

請參閱第5A圖至第5C圖所示，該圖係為本創作之探針固持結構之實施例立體與剖面以及固持模組分解示意圖。在本實施例中，基本上的結構與第2圖類似，差異的是本實施例的固持模組21a中，固定件210a之結構與第2圖之固定件210不同。在本實施例中，如第5C圖所示，該固定件210a上具有複數個第二貫穿孔2102，其係分別對應有一探針211。每一個探針211的延伸部2110穿過該第二貫穿孔2102。如第5B圖所示，探針211固定在固定件210a上之後，可以藉由膠材22與22a將探針211固著於固定件210a上。要說明的是，膠材的塗佈位置可以根據需要而定，並不以圖示之位置為限制。接著再將整個固持模組21嵌入對應的基板20之凹槽。基板20的凹槽同樣可以選擇如第3A圖或第3B圖所示的槽體201或202之態樣，在本實施例中係使用第3B圖所示的槽體202的結構。當整個固持模組21嵌入到對應槽體202之後，為了加強固持模組21與基板20間的連接效果，在一實施例中，更可以在固持模組21與基板20之交界處塗上膠材22b。要說明的是，將該固持模組21透過膠材連接到基板20上的膠材塗佈位置，並不以本實施例所示之位置為限制，使用者可以根據需求選擇適當的交界面以膠材來強化連接關係。雖然前述的第一貫穿孔204為各自獨立的通孔，要說明的是，該複數個第一貫穿孔204的另一種變化為將其整合成相互連通的單一貫穿槽，以提供探針通過。

根據前述本創作的探針固持結構的實施例，本創作的探針固持結構由於具有與基板分離的固持模組，使得排設探針形成探針的固持模組以及將固持模組裝設在基板上的動作變成可以獨立分開進行，因此可以增加組裝的效率，而且在探針維護上也可以獨立分拆裝，避免整個探針固持結構報廢而增加成本的問題。此外，前述之第2圖與第5A圖所示之實施例的固持模組21與21a中，各個固持模組21或21a所具有的固定件210或210a為長條柱體的獨立結構。但在另一實施例中，如第6A至第6D圖所示，多個固定件210可以相互連接而成為環狀的一體成形結構，例如：口字型或者是ㄇ字型的一體結構。其中，第6A圖為ㄇ字型的固定件210b，而第6B圖為口字型的固定件210c，第6A圖與第6B圖其係可以被用於第2圖之固持模組中的固定件。另外，在第6C圖所示的ㄇ字型的固定件210d與第6D圖所示的口字型的固定件210e中，都具有第二貫穿孔2102，其係可以被用於第5A圖之固持模組中的固定件。

請參閱第6E圖所示，該圖係為以第6C圖的固定件210d所形成的固持模組21a與基板20b相結合的示意圖。該基板20b上具有通孔200、四個沉孔205以及複數個貫穿槽206。其中，該複數個貫穿槽206設置在通孔200之周圍，形成一纇似ㄇ字型的結構，每一個貫穿槽206係貫穿該基板20b。在本實施例中，該固定件210d上的每一個第二貫穿孔2102提供每一個探針211之延伸部2110通過。延伸部再進一步穿過對應的貫穿槽206。固定件210d可以直接放置在附件基板的表面，之後，再用黑膠固定。要說明的是，雖然第6E圖 的實施例中，所使用的為第6C圖之固定件210d，但根據前述之精神，固定件也可以採用第6A、6B以及6D的結構。此外，在另一實施例中，基板20b的結構可以增設限位槽之結構，以限制固定件210b,210c,210d或210e的位置，將其固定在基板20b的特定位置。在這實施例中，貫穿槽則開設於限位槽之底面，而固定件210b,210c,210d或210e則容置於該限位槽內，而抵靠在該底面上，固定件上的探針則通過貫穿槽。

請參閱第7圖所示，該圖係為本創作之光學檢測裝置立體分解示意圖。該光學檢測裝置3包括有一座體30、一鏡頭容置座31以及一探針固持結構2。該座體30係具有一通孔300，該通孔300之內壁具有第一螺牙301。在該座體30之一第一側面上開設有一容置槽302以提供容置該探針固持結構2。該通孔300貫通該容置槽302，使該通孔與對應之探針固持結構2所具有的通孔200相對應。該容置槽302之底面上開設複數個螺孔303，在本實施例中，該複數個螺孔303分別設置在容置槽302的四個角落，分別與探針固持結構2中的四個沉孔205相對應。此外，該容置槽302之底面上更形成有複數個槽口304，其係分別與複數個固持模組21相對應，每一個槽口304內具有複數個分別與固持模組21所具有的複數個探針211相對應的穿孔305。該穿孔305貫穿該座體30，使得每一個探針201之延伸部2110可以經由對應的穿孔305而與探針卡之電路板表面上的焊墊電性連接。

該鏡頭容置座31，其係容置於該通孔300內，該鏡頭容置座31內具有一容置槽310，其內具有一鏡頭33。該鏡頭容 置座31之外部表面具有第二螺牙311可與該通孔300內的第一螺牙301相螺接。在一實施例中，該鏡頭33係藉由螺牙與該與該容置座內的螺牙312相螺接。此外，在該鏡頭容置座31之一端，具有複數個調整槽313與314，其係可以提供與一調整治具相偶接，藉由該調整治具來轉動該鏡頭容置座31，使得鏡頭容置座31可以透過第一螺牙301與第二螺牙311螺接而向上或向下移動。該調整治具可以為一字形治具或者是十字形治具，但不以此為限制。

該探針固持結構2可以選擇為第2圖或者是第5A圖的實施態樣。該探針固持結構2係藉由複數個固鎖元件32，例如螺絲，通過對應沉孔205而與對應的螺孔303相螺接，進而將該探針固持結構2鎖固在座體30的容置槽302內。在進行晶片測試時，可以藉由外部光源將光投射到待測晶片上，使得待測晶片產生電訊號。與該待測晶片電性連接的複數個探針211接收電訊號後，經由延伸部2110將訊號傳遞至電路板上的焊墊。電路板接收該電訊號，並將該電訊號傳遞至測試機進行電訊號檢測。又鏡頭容置座31螺接在該通孔300內，而通孔300又與探針固持結構2的通孔200相對應，因此該鏡頭容置座31內的鏡頭33可以藉由該通孔200接收到光進而可以對待側物進行光學檢測。

要說明的是，前述之座體30雖然為提供容置單一個探針固持結構2，在另一實施例中，如第8A與第8B圖所示，該圖為本創作之探針固持結構陣列示意圖。在第8A與第8B之實施例中，探針固持結構2以二維陣列的排列方式容置於座體30a內。每一個探針固持結構2係可對應耦接有一鏡頭 容置座。其中，在第8A的實施例中，每一基板20上具有複數個排列成單一個ㄇ字形的固持模組21；但是在第8B圖中，單一基板20a上具有複數個排列成複數個ㄇ字形的固持模組21，都是根據本創作之精神可以予以變化的實施態樣。

惟以上所述之具體實施例，僅係用於例釋本創作之特點及功效，而非用於限定本創作之可實施範疇，於未脫離本創作上揭之精神與技術範疇下，任何運用本創作所揭示內容而完成之等效改變及修飾，均仍應為下述之申請專利範圍所涵蓋。

2‧‧‧探針固持結構

20,20a‧‧‧基板

200‧‧‧通孔

201、202‧‧‧槽體

203‧‧‧底面

204‧‧‧第一貫穿孔

205‧‧‧沉孔

206‧‧‧貫穿槽

21,21a‧‧‧固持模組

210,210a~210e‧‧‧固定件

2100,2101‧‧‧凹槽

2102‧‧‧第二貫穿孔

211‧‧‧探針

2110‧‧‧延伸部

2111‧‧‧懸臂部

2112‧‧‧偵測部

22,22a,22b‧‧‧膠材

3‧‧‧光學檢測裝置

30,30a‧‧‧座體

300‧‧‧通孔

301‧‧‧第一螺牙

302‧‧‧容置槽

303‧‧‧螺孔

304‧‧‧槽口

305‧‧‧穿孔

31‧‧‧鏡頭容置座

310‧‧‧容置槽

311‧‧‧第二螺牙

312‧‧‧螺牙

313,314‧‧‧調整槽

32‧‧‧固鎖元件

33‧‧‧鏡頭

第1A與第1B圖係為習用技術之探針卡結構底視以及剖面示意圖。

第2圖係為本創作探針固持結構之實施例立體示意圖。

第3A與3B圖係為本創作之基板不同之實施例結構示意圖。

第4A圖係為本創作第2圖所示的探針固持結構剖面示意圖。

第4B圖係為本創作之固定件另一實施例示意圖。

第5A圖至第5C圖係為本創作之探針固持結構之實施例立體與剖面以及固持模組分解示意圖。

第6A至第6D圖係為本創作之一體結構的固定件不同實施例示意圖。

第6E圖為本創作之探針固持結構另一實施例示意圖。

第7圖係為本創作之光學檢測裝置立體分解示意圖。

第8A與第8B圖為本創作之探針固持結構陣列示意圖。

2‧‧‧探針固持結構

20‧‧‧基板

200‧‧‧通孔

205‧‧‧沉孔

21‧‧‧固持模組

210‧‧‧固定件

211‧‧‧探針

22‧‧‧膠材

Claims (38)

1. 一種探針固持結構，包括：一基板，其係具有一通孔以及複數個設置在該通孔之周圍的槽體；以及複數個固持模組，其係分別與該複數個槽體相連接，每一個固持模組更具有：一固定件，其係與對應之槽體相連接；以及複數個探針，其係連接於該固定件上，且通過對應之槽體。
2. 如申請專利範圍第1項所述之探針固持結構，其中該複數個槽體係為貫通該基板的槽體，且每一個固持模組容置於每一個槽體內。
3. 如申請專利範圍第1或2項所述之探針固持結構，其中每一探針具有：一延伸部，其係抵靠於該固定件之一側面上，且通過對應之槽體；一懸臂部，其係與該延伸部相連接，與該延伸部間具有一第一夾角，該懸臂部與該固定件間具有一膠材；以及一偵測部，其係與該懸臂部相連接，且與該懸臂部間具有一第二夾角。
4. 如申請專利範圍第1項所述之探針固持結構，其中每一個固持模組分別容置於每一個槽體內，每一個槽體分別具有一底面，每一底面上具有複數個第一貫穿孔貫穿該基板，該複數個第一貫穿孔分別提供該複數個探針通 過。
5. 如申請專利範圍第4項所述之探針固持結構，其中每一固定件係具有複數個分別與每一第一貫穿孔相對應之第二貫穿孔，該複數個第二貫穿孔分別提供該複數個探針通過。
6. 如申請專利範圍第5項所述之探針固持結構，其中每一探針具有：一延伸部，其係通過該第一貫穿孔以及該第二貫穿孔；一懸臂部，其係與該延伸部相連接，與該延伸部間具有一第一夾角；以及一偵測部，其係與該懸臂部相連接，且與該懸臂部間具有一第二夾角。
7. 如申請專利範圍第1項所述之探針固持結構，其中該複數個槽體相互連通。
8. 如申請專利範圍第1或7項所述之探針固持結構，其中該複數個固定件相互連接形成一體的固定件結構。
9. 如申請專利範圍第8項所述之探針固持結構，其中該複數個槽體係為貫通該基板的貫穿槽，且該一體之固定件結構連接在對應於相互連通之複數個槽體之基板表面上，每一探針係通過該貫穿槽。
10. 如申請專利範圍第8項所述之探針固持結構，其中該相互連通之複數個槽體係具有一底面，在該底面上具有複數個貫通該基板的貫穿槽，該一體之固定件結構容置於該相互連通之複數個槽體內且抵靠於該底面 上，每一探針係通過對應之貫穿槽。
11. 如申請專利範圍第8項所述之探針固持結構，其中該一體之結構係為口字型或ㄇ字型結構。
12. 如申請專利範圍第1項所述之探針固持結構，其中該基板的材質係為陶瓷、工程塑膠或者是電木。
13. 如申請專利範圍第1項所述之探針固持結構，其中該固定件的材質係為陶瓷、工程塑膠或者是電木。
14. 如申請專利範圍第1項所述之探針固持結構，其中該基板上更具有複數個沉孔。
15. 如申請專利範圍第1項所述之探針固持結構，其中每一個固持模組係藉由一膠材與對應之槽體相連接。
16. 如申請專利範圍第1項所述之探針固持結構，其中每一個固持模組分別容置於每一個槽體內，每一個槽體分別具有一底面，每一底面上具一貫穿槽貫穿該基板，每一貫穿槽提供探針通過。
17. 如申請專利範圍第16項所述之探針固持結構，其中每一固定件係具有複數個與貫穿槽相對應之第二貫穿孔，該複數個第二貫穿孔分別提供該複數個探針通過。
18. 如申請專利範圍第17項所述之探針固持結構，其中每一探針具有：一延伸部，其係通過該第一貫穿孔以及該貫穿槽；一懸臂部，其係與該延伸部相連接，與該延伸部間具有一第一夾角；以及一偵測部，其係與該懸臂部相連接，且與該懸臂部間具有一第二夾角。
19. 一種光學檢測裝置，包括：一座體，其係具有至少一第一通孔；至少一鏡頭容置座，其係分別容置於該至少一第一通孔內，每一鏡頭容置座內具有一鏡頭；以及至少一探針固持結構，其係設置於該座體之表面上，每一探針固持結構其係包括有：一基板，其係具有一第二通孔以及複數個設置在該第二通孔之周圍的槽體；以及複數個固持模組，其係分別與該複數個槽體相連接，每一個固持模組更具有：一固定件，其係與對應之槽體相連接；以及複數個探針，其係連接於該固定件上，且通過對應之槽體。
20. 如申請專利範圍第19項所述之光學檢測裝置，其中該複數個槽體係為貫通該基板的槽體，且每一個固持模組容置於每一個槽體內。
21. 如申請專利範圍第19或20項所述之光學檢測裝置，其中每一探針具有：一延伸部，其係抵靠於該固定件之一側面上，且通過對應之槽體；一懸臂部，其係與該延伸部相連接，與該延伸部間具有一第一夾角，該懸臂部與該固定件間具有一膠材；以及一偵測部，其係與該懸臂部相連接，且與該懸臂部間具有一第二夾角。
22. 如申請專利範圍第19項所述之光學檢測裝置，其中每一個固持模組分別容置於每一個槽體內，每一個槽體分別具有一底面，每一底面上具有複數個第一貫穿孔，貫穿該基板，該複數個第一貫穿孔分別提供該複數個探針通過。
23. 如申請專利範圍第22項所述之光學檢測裝置，其中每一固定件係具有複數個分別與每一第一貫穿孔相對應之第二貫穿孔，該複數個第二貫穿孔分別提供該複數個探針通過。
24. 如申請專利範圍第23項所述之光學檢測裝置，其中每一探針具有：一延伸部，其係通過該第一貫穿孔以及該第二貫穿孔；一懸臂部，其係與該延伸部相連接，與該延伸部間具有一第一夾角；以及一偵測部，其係與該懸臂部相連接，且與該懸臂部間具有一第二夾角。
25. 如申請專利範圍第19項所述之光學檢測裝置，其中該複數個槽體相互連通。
26. 如申請專利範圍第19或25項所述之光學檢測裝置，其中該複數個固定件相互連接形成一體的結構。
27. 如申請專利範圍第26項所述之光學檢測裝置，其中該複數個槽體係為貫通該基板的貫穿槽，且該一體之固定件結構連接在對應於相互連通之複數個槽體之基板表面上，每一探針係通過該貫穿槽。
28. 如申請專利範圍第26項所述之光學檢測裝置，其中該相互連通之複數個槽體係具有一底面，在該底面上具有複數個貫通該基板的貫穿槽，該一體之固定件結構容置於該相互連通之複數個槽體內且抵靠於該底面上，每一探針係通過對應之貫穿槽。
29. 如申請專利範圍第26項所述之光學檢測裝置，其中該一體之結構係為口字型或ㄇ字型結構。
30. 如申請專利範圍第19項所述之光學檢測裝置，其中該基板的材質係為陶瓷、工程塑膠或者是電木。
31. 如申請專利範圍第19項所述之光學檢測裝置，其中該固定件的材質係為陶瓷、工程塑膠或者是電木。
32. 如申請專利範圍第19項所述之光學檢測裝置，其中該基板上更具有複數個沉孔。
33. 如申請專利範圍第19項所述之光學檢測裝置，其中每一個固持模組係藉由一膠材與對應之槽體相連接。
34. 如申請專利範圍第19項所述之光學檢測裝置，其中該座體之表面更具有至少一容置槽，以分別提供容置該至少一探針固持結構，該第一通孔貫通該容置槽而與對應之探針固持結構所具有之該第二通孔相對應。
35. 如申請專利範圍第34項所述之光學檢測裝置，其中每一容置槽之底面分別開設有對應每一個固持模組之槽口，每一個槽口內具有複數個穿孔以提供對應之探針通過。
36. 如申請專利範圍第19項所述之光學檢測裝置，其中每一個固持模組分別容置於每一個槽體內，每一個槽體 分別具有一底面，每一底面上具一貫穿槽貫穿該基板，每一貫穿槽提供探針通過。
37. 如申請專利範圍第36項所述之光學檢測裝置，其中每一固定件係具有複數個與貫穿槽相對應之第二貫穿孔，該複數個第二貫穿孔分別提供該複數個探針通過。
38. 如申請專利範圍第37項所述之光學檢測裝置，其中每一探針具有：一延伸部，其係通過該第一貫穿孔以及該貫穿槽；一懸臂部，其係與該延伸部相連接，與該延伸部間具有一第一夾角；以及一偵測部，其係與該懸臂部相連接，且與該懸臂部間具有一第二夾角。