CN103353459A - 一种检测装置及检测方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种检测装置及检测方法，所述检测装置包括本体、台架、摄像单元、光发射单元及光接收单元，所述摄像单元可移动地设置在所述台架上，且所述摄像单元位于待检测基板上方，所述光发射单元和所述光接收单元分别位于待检测基板的相对两侧，且所述光发射单元用于沿所述待检测基板的表面上方照射光，所述光接收单元用于接收所述光发射单元照射的光。根据本发明的检测装置，可根据照射的光是否被遮蔽以及遮蔽的程度，判断出异物的存在，可靠地防止喷嘴等损伤。

Description

一种检测装置及检测方法
技术领域
本发明属于液晶平板显示的制造技术的领域，尤其涉及一种检测装置及检测方法，其可用于检测基板上的异物。
背景技术
液晶电视、液晶电脑等平板显示器越来越受到大众的欢迎。在平板显示器的制造产业中，异物(例如尘埃等微粒)是影响生产之重要问题。例如，在薄膜晶体管的制程(TFT process)中，利用彩墨涂布机进行光阻涂敷。其中，彩墨涂布机主要是依靠狭缝喷嘴将光阻均匀涂布在基板上的装置，涂布时喷嘴距离基板近(例如约120um)。因此，若基板表面上粘附的颗粒碰到喷嘴，则容易导致喷嘴受到损伤，甚至报废。
发明内容
本发明的目的在于提供一种检测装置，其能够检测出基板上颗粒等异物，可靠地防止喷嘴损伤。
本发明通过如下技术方案实现：一种检测装置，其中，所述检测装置包括本体、台架、摄像单元、光发射单元及光接收单元，所述摄像单元可移动地设置在所述台架上，且所述摄像单元位于待检测基板上方，所述光发射单元和所述光接收单元分别位于待检测基板的相对两侧，且所述光发射单元用于沿所述待检测基板的表面上方照射光，所述光接收单元用于接收所述光发射单元照射的光。
作为上述技术方案的进一步改进，所述光发射单元为激光发射单元，所述光接收单元为CCD图像传感器。
作为上述技术方案的进一步改进，所述检测装置还包括设置在所述摄像单元旁边的照明单元。
作为上述技术方案的进一步改进，所述摄像单元为CCD摄像机。
作为上述技术方案的进一步改进，所述检测装置还包括驱动部及控制器，所述驱动部用于驱动所述摄像单元、所述光发射单元及所述光接收单元运动，所述控制器用于控制所述摄像单元、所述驱动部、所述光发射单元及所述光接收单元。
作为上述技术方案的进一步改进，所述检测装置还包括警报器，所述警报器与所述控制器连接以在所述光接收单元检测出异常时通过所述控制器控制所述警报器发出警报。
作为上述技术方案的进一步改进，所述检测装置还包括长度方向导轨、宽度方向导轨及高度方向导轨，所述宽度方向导轨设置在所述检测装置的本体上，所述长度方向导轨及所述高度方向导轨设置在所述台架上，所述台架沿所述宽度方向导轨上滑动，所述摄像单元沿所述长度方向导轨及所述高度方向导轨上滑动。
作为上述技术方案的进一步改进，所述检测装置还包括显示单元，所述显示单元用于显示所述摄像单元拍摄的图像。
作为上述技术方案的进一步改进，所述显示单元为计算机。
本发明还提供了一种检测方法，其中，所述检测方法包括以下步骤：
照射步骤，光发射单元发出光信号；
检测步骤，光接收单元接收光发射单元发出的光信号，并判断接收到的光信号是否异常；
摄像步骤，如果接收到的光信号异常，则开启照明单元，驱动摄像单元以便对待测试基板进行摄像，并将摄取的图像通过显示单元显示出来。
本发明的有益效果是：根据本发明的检测装置，其包括本体、台架、摄像单元、光发射单元及光接收单元，所述摄像单元可移动地设置在所述台架上，且所述摄像单元位于待检测基板上方，所述光发射单元和所述光接收单元分别位于待检测基板的相对两侧，且所述光发射单元用于沿所述待检测基板的表面上方照射光，所述光接收单元用于接收所述光发射单元照射的光，当待检测基板上有颗粒等异物时，则会引起光的强度的变化，由此，根据照射的光是否被遮蔽以及遮蔽的程度，判断出异物的存在，可靠地防止喷嘴等损伤。
附图说明
图1是根据本发明的一个具体实施例的检测装置的正面示意图。
图2是图1的检测装置的侧面示意图。
图3是图1的检测装置的示意性电气控制框图。
图4是根据本发明的一个具体实施例的检测方法的流程示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的具体实施方式进行进一步的说明。
本发明的检测装置和检测方法可用于在薄膜晶体管的制程(TFT process)中检测待检测基板100上的异物，防止喷嘴等被基板100上的异物(例如微粒、粉尘、颗粒等)损伤。
如图1和图2所示，本实施例的检测装置包括本体200、台架(gantry)202、摄像单元210、光发射单元300及光接收单元400。其中，本体200可以是机台等支撑结构。所述摄像单元210可移动地设置在所述台架202上。且所述摄像单元210位于待检测基板100上方，以便对待检测基板100上表面进行摄像。所述光发射单元300和所述光接收单元400分别位于待检测基板100的相对两侧。其中，所述光发射单元300用于沿所述待检测基板100的表面上方照射光。相应地，所述光接收单元400用于接收所述光发射单元300照射的光。由此，根据照射的光是否被遮蔽以及遮蔽的程度(例如可以将光信号的强弱转换成电压信号进行检测)，判断出异物的存在及大小。本例中，所述光发射器300为激光发射器300。而且，所述光接收器400为CCD图像传感器。
本实施例中，如图1至图3所示，所述检测装置还包括设置在所述摄像单元210旁边的照明单元220。照明单元220可以为一个或多个LED灯。所述摄像单元210为CCD(Charge-coupled Device)摄像机。由此，可以通过照明单元220，使摄像单元210清楚地拍摄待检测基板100上的状态。
另外，在本发明的一个具体实施例中，所述检测装置还包括驱动部212及控制器10，如图3所示。所述控制器10用于控制所述摄像单元210、所述驱动部212、所述光发射单元300和所述光接收单元400。所述驱动部212用于驱动所述摄像单元210、所述光发射单元300及所述光接收单元400运动，在进行检测时，所述台架202、所述光发射器300及所述光接收器400进行扫描方式的检测运动，玻璃基板100可保持静止。扫描方向可以为基板100的长度方向Y或宽度方向X。在本例中，扫描方向为宽度方向X。
此外，所述检测装置还包括警报器500。所述警报器500与所述控制器10连接，以便在所述光接收器400检测出异常时通过所述控制器10控制所述警报器500发出声音警报、颜色警报等警报信号，通知操作人员快速进行相应处理。
在本实施例中，如图1和图2所示，所述检测装置还包括长度方向Y导轨204、宽度方向X导轨208及高度方向Z导轨206。所述宽度方向X导轨208设置在所述检测装置的本体200上。所述长度方向Y导轨204及所述高度方向Z导轨206设置在所述台架202上。所述台架202沿所述宽度方向X导轨208上滑动。所述摄像单元210沿所述长度方向Y导轨204及所述高度方向Z导轨206上滑动。本例中，可以通过驱动部212驱动台架202、摄像单元210沿各自所在的导轨滑动。
本实施例中，所述检测装置还包括显示单元230。显示单元230由控制器10控制。所述显示单元230用于显示所述摄像单元210拍摄的图像。例如，所述显示单元230可以为计算机。而且，控制器10可以与显示单元230集成在一起，即共用一台计算机实现其各自功能。
如图4所示，本发明还提供了一种检测方法，其利用上述检测装置检测基板100上的异物。所述检测方法包括照射步骤S1、检测步骤S2和摄像步骤S3。照射步骤S1中，光发射单元300发出光信号。检测步骤S2中，光接收单元400接收光发射单元300发出的光信号，并判断接收到的光信号是否异常。摄像步骤S3中，如果接收到的光信号异常，则开启照明单元220，驱动摄像单元210以便对待测试基板100进行扫描式(例如沿长度方向Y和宽度方向X)摄像，并将摄取的图像通过显示单元230显示出来。另外，如果接收到的光信号无异常，则回到照射步骤S1。而且，如果接收到的光信号异常，还可以通过警报部500发出警报信号。
根据本发明的检测装置及检测方法，当发现异物时，通过控制台架202、摄像单元210移动，同时照明单元220(LED灯)点亮，摄像单元210开启并摄像找到颗粒等异物的具***置(例如坐标位置等)。利用显示单元230显示摄像单元210拍摄的图像，可以更方便察看异物，耗时少，且无需工作人员进入内部，可以有效地节省时间，避免工作人员打开设备进入内部造成的二次污染。另外，摄像单元210可以具有放大功能，通过该放大功能有助于更好地察看颗粒，便于工作人员快速判断和快速处理，并进行相应方向的改善，。
以上具体实施方式对本发明进行了详细的说明，但这些并非构成对本发明的限制。本发明的保护范围并不以上述实施方式为限，但凡本领域普通技术人员根据本发明所揭示内容所作的等效修饰或变化，皆应纳入权利要求书中记载的保护范围内。

Claims (10)

1.一种检测装置，其特征在于，所述检测装置包括本体、台架、摄像单元、光发射单元及光接收单元，所述摄像单元可移动地设置在所述台架上，且所述摄像单元位于待检测基板的上方，所述光发射单元和所述光接收单元分别位于待检测基板的相对两侧，且所述光发射单元用于沿所述待检测基板的表面上方照射光，所述光接收单元用于接收所述光发射单元照射的光。
2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述光发射单元为激光发射单元，所述光接收单元为CCD图像传感器。
3.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括设置在所述摄像单元旁边的照明单元。
4.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述摄像单元为CCD摄像机。
5.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括驱动部及控制器，所述驱动部用于驱动所述摄像单元、所述光发射单元及所述光接收单元运动，所述控制器用于控制所述摄像单元、所述驱动部、所述光发射单元及所述光接收单元。
6.根据权利要求5所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括警报器，所述警报器与所述控制器连接以在所述光接收单元检测出异常时通过所述控制器控制所述警报器发出警报。
7.根据权利要求5所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括长度方向导轨、宽度方向导轨及高度方向导轨，所述宽度方向导轨设置在所述检测装置的本体上，所述长度方向导轨及所述高度方向导轨设置在所述台架上，所述台架沿所述宽度方向导轨上滑动，所述摄像单元沿所述长度方向导轨及所述高度方向导轨上滑动。
8.根据权利要求5所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括显示单元，所述显示单元用于显示所述摄像单元拍摄的图像。
9.根据权利要求8所述的检测装置，其特征在于，所述显示单元为计算机。
10.一种检测方法，其特征在于，所述检测方法包括以下步骤：
照射步骤，光发射单元发出光信号；
检测步骤，光接收单元接收光发射单元发出的光信号，并判断接收到的光信号是否异常；
摄像步骤，如果接收到的光信号异常，则开启照明单元，驱动摄像单元以便对待测试基板进行摄像，并将摄取的图像通过显示单元显示出来。
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