CN104808213A - 异物检测装置和涂布*** - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种异物检测装置和涂布***，所述异物检测装置包括并排设置的光发射单元和光接收单元，所述光发射单元用于发出照射在待检测的基板上的光，所述光接收单元用于检测所述基板反射回的反射光的光信号，所述光信号包括反射光的亮度分布信息以及反光点的位置信息，并且所述光接收单元具有能够将测得的所述光信号输出的输出端。本发明通过向基板发射光源并检测反射光的亮度变化情况来检测异物。与现有技术相比，本发明能够同时检测到位于基板上方和下方的异物，避免了由于基板被异物垫高而与喷嘴发生碰撞的风险。此外，本发明能够对异物进行平面式检测，有利于更加快捷地确定异物所在的位置。

Description

异物检测装置和涂布***
技术领域
本发明涉及显示面板制造技术领域，尤其涉及一种异物检测装置、以及包括该异物检测装置的涂布***。
背景技术
涂布设备是液晶显示器制造行业的关键工艺设备之一。其中涂布设备的喷嘴是其最重要且精密的构成单元，用于在基板表面进行光阻液的涂布以形成均匀的光阻膜。在涂布过程中，涂布设备的平台或基板表面经常会有外部异物(如玻璃碎屑或滴落的光阻液凝结块等)被带入，当异物的大小超过涂布高度时就会发生碰撞喷嘴并导致喷嘴尖端损伤的问题。
现有的异物检测装置是使用激光传感器进行点线式扫描来检测异物。图1是现有的异物检测装置的俯视图(图中箭头表示涂布方向)，基板101放置在平台102上，喷嘴103前方设置有激光传感器，该激光传感器包括激光发射器104和激光接收器105。当基板101上方有异物106时，如图2a-图2b所示(图中箭头表示激光方向)，激光发射器104发出的激光被遮挡，使得激光接收器105接收到的光强减弱，从而感知异物106的存在。
然而，上述检测方式具有以下不足：首先，对于基板101下方的异物106，如图3a-图3b所示(图中箭头表示激光方向)，由于直接扫描的是被垫高的基板101，激光仍可到达激光接收器105，导致检测灵敏度不理想，无法有效检出异物106，从而使得被垫高的基板101与喷嘴103碰撞造成更大的损伤。此外，这种点线式扫描仅能够确定出异物106在涂布方向上(即图1中X方向)的位置，不能够确定异物106在Y方向的位置，难以快捷地找出异物106所在的具***置。
发明内容
本发明的目的在于提供一种异物检测装置和涂布***，以实现对基板上下表面的异物进行平面式检测。
为解决上述技术问题，作为本发明的第一个方面，提供一种异物检测装置，包括并排设置的光发射单元和光接收单元，所述光发射单元用于发出照射在待检测的基板上的光，所述光接收单元用于检测所述基板反射回的反射光的光信号，所述光信号包括反射光的亮度分布信息以及反光点的位置信息，并且所述光接收单元具有能够将测得的所述光信号输出的输出端。
优选地，所述光发射单元和所述光接收单元均为条形，所述光发射单元和所述光接收单元的长度均大于或等于待检测基板的宽度。
优选地，所述光发射单元能够发出垂直于基板的光线。
优选地，所述光发射单元包括透光盒和设置在所述透光盒中的条状光源和聚焦透镜，所述透光盒的朝向所述基板的一侧设置有一条狭缝，所述狭缝的延伸方向与所述条状光源的延伸方向一致，所述条状光源发出的光经过所述聚焦透镜汇聚后，通过所述狭缝射出。
优选地，所述光发射单元还包括设置在所述条状光源和所述聚焦透镜之间的导光扩散板。
优选地，所述条状光源包括条状发光二极管、排列为条状点阵的多个发光二极管、条状激光发射器中的任意一者。
优选地，所述光接收单元包括排列为条状的多个CCD摄像头或条状光电探测器中的任意一者。
作为本发明的第二个方面，还提供一种涂布***，包括喷嘴和本发明所提供的上述异物检测装置，所述异物检测装置固定在所述喷嘴沿涂布方向的前方，所述涂布***还包括控制单元，所述光接收单元的输出端与所述控制单元相连，所述控制单元还与所述喷嘴相连，所述控制单元能够对接收到的所述光信号进行处理和判定，当所述控制单元判定所述光信号中某个反光点的反射光的亮度值低于预设值时，控制所述涂布***停止工作。
优选地，所述涂布***还包括驱动装置，所述驱动装置的输出端与所述喷嘴相连，用于驱动所述喷嘴在所述基板的上方移动，所述驱动装置的控制端与所述控制单元相连，当所述控制单元判定所述光信号中某个反光点的反射光的亮度值低于预设值时，向所述驱动装置的控制端发出控制信号，以控制所述驱动装置停止向所述喷嘴输出动力。
优选地，所述控制单元包括信号转换模块和判定模块，所述信号转换模块用于将所述光信号转成电信号，所述电信号包括异物尺寸和异物位置坐标，
所述判定模块用于将所述电信号中的异物尺寸与预设的阈值尺寸进行比较，以判定检测到的异物的尺寸是否超出预设范围。
优选地，所述控制单元还包括模型建立模块和显示模块，所述模型建立模块用于根据所述信号转换模块处理得到的所述电信号建立三维模型，所述显示模块用于展示所述三维模型，所述三维模型中包括异物在所述基板上的位置，以及异物的尺寸。
优选地，所述控制单元还包括报警模块，所述报警模块与所述判定模块相连，当所述判定模块判定所述电信号中的异物尺寸超出所述阈值尺寸时，发送异常信号给所述报警模块，所述报警模块接收到所述异常信号后发出报警信号。
本发明在基板上方并排设置了光发射单元和光接收单元，通过向基板发射光源并检测反射光的亮度变化情况来检测异物。与现有技术相比，本发明不仅能够检测到位于基板上方的异物，还能够有效检测位于基板下方的异物，避免了由于基板被异物垫高而与喷嘴发生碰撞的风险。
另一方面，本发明能够对异物进行平面式检测，并根据检测数据建立三维模型，以立体显示异物的尺寸和在基板上的位置，与现有技术只能检测出异物在单一方向上的位置相比，本发明能够更加快捷地确定异物所在的位置。
附图说明
附图是用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本发明，但并不构成对本发明的限制。
图1是现有的异物检测装置的俯视图；
图2a-图2b分别是异物在基板上方时沿图1中X方向和Y方向的侧视图；
图3a-图3b分别是异物在基板下方时沿图1中X方向和Y方向的侧视图；
图4是本发明实施例中的异物检测装置的俯视图；
图5是本发明实施例中的异物检测装置的侧视图；
图6a-图6b分别是异物在基板上方和基板下方时的检测原理示意图；
图7a-图7b分别是本发明实施例中光发射单元沿图4中X方向和Y方向的侧视图；
图8是本发明实施例中涂布***的示意图；
图9是本发明实施例中的三维模型的示意图。
在附图中，101-基板；102-平台；103-喷嘴；104-激光发射器；105-激光接收器；106-异物；204-光发射单元；205-光接收单元；401-透光盒；402-条状光源；403-聚焦透镜；404-狭缝；405-导光扩散板；206-控制单元；207-驱动装置；601-信号转换模块；602-判定模块；603-模型建立模块；604-显示模块；605-报警模块。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。
本发明首先提供一种异物检测装置，图4和图5分别是依照本发明一种实施例的异物检测装置的俯视图和侧视图，图中的箭头表示涂布方向。
所述异物检测装置包括并排设置的光发射单元204和光接收单元205，光发射单元204用于发出照射在待检测的基板101上的光，基板101放置在平台102上，光接收单元205用于检测基板101反射回的反射光的光信号，所述光信号包括反射光的亮度分布信息以及反光点的位置信息，并且光接收单元205具有能够将测得的所述光信号输出的输出端。
图6a和图6b是本发明的检测原理示意图，图6a是异物106位于基板101上方的情况，图6b是异物106位于基板101下方的情况。当基板101上方存在异物106时，照射在异物106上的光发生漫反射，对应于异物106所在位置的反光点的反射光的亮度降低，也就是说，异物106所在位置的反射光的亮度低于基板101其它位置的反射光的亮度，因此根据探测到的反射光亮度降低的位置就能够确定异物106的位置。
当异物106位于基板101的下方时，基板101对应于有异物106存在的部位被垫高，照射在被垫高部位的光发生漫反射，对应于异物106所在位置的反光点的反射光的亮度降低，因此根据探测到的反射光亮度降低的位置就能够确定异物106的位置。
此外，根据异物106的大小、高度不同，所反射回的光线的亮度也不同，通常异物106的尺寸越大、高度越高，则反射光的亮度越低，因此根据反射光的具体亮度分布情况还可以计算出异物的具体尺寸。例如，根据接收到的反射光亮度降低的区域的面积来计算异物所占的面积，根据接收到的反射光的亮度降低的程度来计算出异物的高度等。
本发明通过向基板101发射光源并检测反射光的亮度变化情况来检测异物，与现有技术相比，本发明不仅能够检测到位于基板101上方的异物106，还能够有效检测位于基板101下方的异物106，避免了由于基板101被异物106垫高而与喷嘴发生碰撞的风险。
此外，本发明能够对异物106进行平面式检测，与现有技术只能检测出异物106在单一方向上的位置相比，本发明能够更加快捷地确定异物106所在的位置。
进一步地，如图4所示，光发射单元204和光接收单元205均为条形，并且，光发射单元204和光接收单元205的长度均大于或等于待检测基板的宽度。当所述异物检测装置沿涂布方向移动时，能够覆盖扫描整个基板101所在的区域，提高异物检测效率。
优选地，光发射单元204能够发出垂直于基板101的光线。如图6a和图6b所示，当入射光垂直照射时，异物106所在位置的散射现象最明显，对于光接收单元205来说，更容易探测到与无异物位置相比光线亮度的变化。
本发明对于光发射单元204和光接收单元205的具体形式不做限定，为了提高检测光线的准直性，可以采用如图7a和图7b所示的光发射单元204。其中，图7a-图7b分别是本发明实施例中光发射单元沿图4中X方向和Y方向的侧视图。
光发射单元204包括透光盒401和设置在透光盒401中的条状光源402和聚焦透镜403，透光盒401的朝向基板101的一侧设置有有一条狭缝404，狭缝404的延伸方向与条状光源402的延伸方向一致，条状光源402发出的光经过聚焦透镜403汇聚后，通过狭缝404射出。通常，为了提高光线的均匀性，光发射单元204还包括设置在条状光源402和聚焦透镜403之间的导光扩散板405。
本发明采用导光扩散板405对条状光源402发出的光进行扩散，得到平行且亮度均匀的检测光，然后采用聚焦透镜403对检测光进行汇聚，得到高亮度的条状检测光，最后经由狭缝404竖直射出，以确保最终得到的检测光源的准直性和均匀性。
本发明中的条状光源402可以包括条状发光二极管、排列为条状点阵的多个发光二极管、条状激光发射器中的任意一者。在上述光源中，优选以白光作为检测光。
进一步地，光接收单元205包括排列为条状的多个CCD摄像头或条状光电探测器中的任意一者，多个所述CCD摄像头的探测面或所述条状光电探测器的探测面用作光接收单元205的光接收面。
其中，多个所述CCD摄像头能够直接抓获异物106在基板101表面的图像，或者，采用所述条状光电探测器先获取反射光的亮度数据，然后再对所述亮度数据进行处理，获得异物106在基板101表面的位置信息。
本发明还提供了一种涂布***，如图8所示，所述涂布***包括喷嘴103和本发明所提供的上述异物检测装置。所述异物检测装置包括光发射单元204和光接收单元205，所述异物检测装置固定在喷嘴103沿涂布方向的前方，图中箭头表示涂布方向。其中，光发射单元204紧邻喷嘴103设置，光接收单元205设置在光发射单元204沿涂布方向的前方。在涂布过程中，首先采用所述异物检测装置对待涂布的基板101进行异物检测，之后再进行喷涂，以便于及时发现异物，避免出现喷涂不良的现象，造成资材浪费。
所述涂布***还包括控制单元206，光接收单元205的输出端与控制单元206相连，控制单元206还与喷嘴103相连。控制单元206能够对接收到的所述光信号进行处理和判定，当控制单元206判定所述光信号中某个反光点的反射光的亮度值低于预设值时，表示该反光点处存在异物，因此控制所述涂布***停止工作。
如上所述，所述光信号包括反射光的亮度值以及反光点的位置坐标。当基板101上方或下方存在异物106时，异物106所在位置的反射光的亮度低于基板101其它位置的反射光的亮度，控制单元206根据反射光亮度降低的位置来确定异物106的位置，并在发现异物106时控制喷嘴103停止移动及喷涂。
本发明不仅能够检测到位于基板101上方的异物106，还能够有效检测位于基板101下方的异物106，避免了由于基板101被异物106垫高而与喷嘴发生碰撞的风险。另一方面，本发明能够对异物106进行平面式检测，有利于更加快捷地确定异物106所在的位置。当发现异物106存在时，控制单元206能够及时控制喷嘴103停止移动及喷涂，以防止造成喷涂不良。
进一步地，所述涂布***还包括驱动装置207，驱动装置207的输出端与喷嘴103相连，用于驱动喷嘴103在基板101的上方移动，驱动装置207的控制端与控制单元206相连。当控制单元206判定所述光信号中某个反光点的反射光的亮度值低于预设值时，向驱动装置207的控制端发出控制信号，以控制驱动装置207停止向喷嘴103输出动力。
本发明对于驱动装置207的具体形式不做限定，例如驱动装置可以是马达，所述马达能够驱动喷嘴103在基板101上方沿涂布方向移动。
具体地，控制单元206包括信号转换模块601和判定模块602。信号转换模块601用于将所述光信号转成电信号，所述电信号包括异物尺寸和异物位置坐标。这里的“异物尺寸”包括异物所占的面积和异物的高度。通常，异物106的尺寸越大，反射光的亮度越低，因此根据反射光的亮度分布情况就可以计算出异物106所在的具***置和尺寸信息。
判定模块602用于将所述电信号中的异物尺寸与预设的阈值尺寸进行比较，以判定检测到的异物106的尺寸是否超出预设范围。
在本发明中，所述阈值尺寸可以直接存储在判定模块602中，也可以另外设置一个存储模块来进行存储，此处不再赘述。
进一步地，为了使操作人员更加直观地了解异物所在的位置和尺寸，控制单元206还包括模型建立模块603和显示模块604。模型建立模块603用于根据信号转换模块601处理得到的所述电信号建立三维模型。显示模块604用于展示所述三维模型，所述三维模型中包括异物在所述基板上的位置，以及异物的尺寸(包括异物所占的面积和异物的高度)，如图9所示。
进一步地，控制单元206还包括报警模块605，报警模块605与判定模块602相连，当判定模块602判定所述电信号中的异物尺寸超出所述阈值尺寸时，发送异常信号给报警模块605，报警模块605接收到所述异常信号后发出报警信号，提醒操作人员进行处理。
综上所述，本发明所提供的涂布***能够对待涂布的基板进行平面式异物检测，提高了异物检测的效率。同时，本发明不仅能够检测到位于基板上方的异物，还能够有效检测到位于基板下方的异物，进一步避免了涂布不良的风险。此外，本发明能够对异物的尺寸以及异物所在的位置建立三维模型，有利于更加快捷直观地进行异物检测，提高涂布良率。
可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (12)

1.一种异物检测装置，其特征在于，包括并排设置的光发射单元和光接收单元，所述光发射单元用于发出照射在待检测的基板上的光，所述光接收单元用于检测所述基板反射回的反射光的光信号，所述光信号包括反射光的亮度分布信息以及反光点的位置信息，并且所述光接收单元具有能够将测得的所述光信号输出的输出端。
2.根据权利要求1所述的异物检测装置，其特征在于，所述光发射单元和所述光接收单元均为条形，所述光发射单元和所述光接收单元的长度均大于或等于待检测基板的宽度。
3.根据权利要求1所述的异物检测装置，其特征在于，所述光发射单元能够发出垂直于基板的光线。
4.根据权利要求3所述的异物检测装置，其特征在于，所述光发射单元包括透光盒和设置在所述透光盒中的条状光源和聚焦透镜，所述透光盒的朝向所述基板的一侧设置有一条狭缝，所述狭缝的延伸方向与所述条状光源的延伸方向一致，所述条状光源发出的光经过所述聚焦透镜汇聚后，通过所述狭缝射出。
5.根据权利要求4所述的异物检测装置，其特征在于，所述光发射单元还包括设置在所述条状光源和所述聚焦透镜之间的导光扩散板。
6.根据权利要求4所述的异物检测装置，其特征在于，所述条状光源包括条状发光二极管、排列为条状点阵的多个发光二极管、条状激光发射器中的任意一者。
7.根据权利要求1至6中任意一项所述的异物检测装置，其特征在于，所述光接收单元包括排列为条状的多个CCD摄像头或条状光电探测器中的任意一者。
8.一种涂布***，包括喷嘴和异物检测装置，其特征在于，所述异物检测装置为权利要求1至7中任意一项所述的异物检测装置，所述异物检测装置固定在所述喷嘴沿涂布方向的前方，所述涂布***还包括控制单元，所述光接收单元的输出端与所述控制单元相连，所述控制单元还与所述喷嘴相连，所述控制单元能够对接收到的所述光信号进行处理和判定，当所述控制单元判定所述光信号中某个反光点的反射光的亮度值低于预设值时，控制所述涂布***停止工作。
9.根据权利要求8所述的涂布***，其特征在于，所述涂布***还包括驱动装置，所述驱动装置的输出端与所述喷嘴相连，用于驱动所述喷嘴在所述基板的上方移动，所述驱动装置的控制端与所述控制单元相连，当所述控制单元判定所述光信号中某个反光点的反射光的亮度值低于预设值时，向所述驱动装置的控制端发出控制信号，以控制所述驱动装置停止向所述喷嘴输出动力。
10.根据权利要求9所述的涂布***，其特征在于，所述控制单元包括信号转换模块和判定模块，所述信号转换模块用于将所述光信号转成电信号，所述电信号包括异物尺寸和异物位置坐标，
所述判定模块用于将所述电信号中的异物尺寸与预设的阈值尺寸进行比较，以判定检测到的异物的尺寸是否超出预设范围。
11.根据权利要求10所述的涂布***，其特征在于，所述控制单元还包括模型建立模块和显示模块，所述模型建立模块用于根据所述信号转换模块处理得到的所述电信号建立三维模型，所述显示模块用于展示所述三维模型，所述三维模型中包括异物在所述基板上的位置，以及异物的尺寸。
12.根据权利要求10所述的涂布***，其特征在于，所述控制单元还包括报警模块，所述报警模块与所述判定模块相连，当所述判定模块判定所述电信号中的异物尺寸超出所述阈值尺寸时，发送异常信号给所述报警模块，所述报警模块接收到所述异常信号后发出报警信号。
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Cited By (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105214906A (zh) * 2015-08-26 2016-01-06 武汉华星光电技术有限公司 一种涂布装置及其清除异物误报的方法
CN106370134A (zh) * 2016-10-27 2017-02-01 南京华东电子信息科技股份有限公司 基板平整度监控装置
CN106583157A (zh) * 2016-12-23 2017-04-26 武汉华星光电技术有限公司 涂布设备
CN106646493A (zh) * 2015-10-29 2017-05-10 青岛海尔智能技术研发有限公司 一种红外测量装置的红外信号的放大系数确定方法
CN106706660A (zh) * 2017-02-04 2017-05-24 信利（惠州）智能显示有限公司 一种基板异物和光学浓度的检测方法及装置
CN107199139A (zh) * 2017-05-25 2017-09-26 昆山国显光电有限公司 涂布装置及检测基板上异物的方法
CN107462228A (zh) * 2017-07-17 2017-12-12 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 定位装置及定位方法、彩膜涂布机
CN107894421A (zh) * 2017-10-25 2018-04-10 共享铸钢有限公司 摄影测量***和光笔测量***结合检测标识铸件缺陷的方法
CN107978262A (zh) * 2017-12-29 2018-05-01 深圳市华星光电技术有限公司 显示面板不良的解析方法
WO2018120312A1 (zh) * 2016-12-28 2018-07-05 武汉华星光电技术有限公司 一种柔性衬底的检测方法、检测***及检测装置
CN108303379A (zh) * 2018-01-08 2018-07-20 中国农业大学 手持式的马铃薯检测设备
CN108630586A (zh) * 2018-05-25 2018-10-09 深圳市华星光电技术有限公司 带异物检测功能的基板吸附设备及异物检测方法
CN108987303A (zh) * 2018-05-25 2018-12-11 深圳市华星光电技术有限公司 带异物检测装置的基板吸附设备及异物检测方法
CN109581815A (zh) * 2019-01-16 2019-04-05 深圳市华星光电技术有限公司 光阻涂布装置及其制备图案化光阻层的方法
CN109596640A (zh) * 2018-12-05 2019-04-09 京东方科技集团股份有限公司 异物检测方法及装置
CN110412837A (zh) * 2018-04-28 2019-11-05 上海微电子装备（集团）股份有限公司 喷洒装置、显影***和显影方法
US10955239B2 (en) * 2017-07-17 2021-03-23 Shenzhen China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co., Ltd. Positioning device and positioning method, color film coating machine
CN113132003A (zh) * 2020-01-10 2021-07-16 茂达电子股份有限公司 异物检测***及方法
CN113875214A (zh) * 2019-06-05 2021-12-31 索尼半导体解决方案公司 距离测量传感器、信号处理方法和距离测量模块

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111514505B (zh) * 2020-06-12 2024-04-02 国网江苏省电力有限公司宿迁供电分公司 一种用于排油注氮灭火***的防潮、防异物装置

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007085960A (ja) * 2005-09-26 2007-04-05 Tokyo Electron Ltd 光学式異物検出装置およびこれを搭載した処理液塗布装置
CN201281691Y (zh) * 2008-09-03 2009-07-29 华映视讯（吴江）有限公司 Lcd面板异物检测***
US20100091063A1 (en) * 2007-01-22 2010-04-15 Sharp Kabushiki Kaisha Liquid drop discharge head inspecting device and liquid drop discharge device
CN102192915A (zh) * 2010-03-12 2011-09-21 东京毅力科创株式会社 背面异物检测方法、背面异物检测装置以及涂布装置
CN103323442A (zh) * 2013-06-20 2013-09-25 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 一种应用于共聚焦显微术中的led线扫描光学***
CN103353459A (zh) * 2013-06-18 2013-10-16 深圳市华星光电技术有限公司 一种检测装置及检测方法
CN203259481U (zh) * 2013-04-24 2013-10-30 合肥京东方光电科技有限公司 一种玻璃基板检测装置
CN203396719U (zh) * 2013-08-29 2014-01-15 合肥京东方光电科技有限公司 基板检测装置
CN203502360U (zh) * 2013-09-27 2014-03-26 京东方科技集团股份有限公司 基板检查装置
CN103698910A (zh) * 2013-11-28 2014-04-02 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司 一种异物检查机及其检查方法

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4982527B2 (ja) * 2009-06-08 2012-07-25 株式会社東芝 成膜装置及び成膜方法
CN101933650B (zh) 2009-06-30 2013-08-07 福建中烟工业有限责任公司 引入近红外光谱技术的烟草异物剔除装置及其剔除方法
JP5537581B2 (ja) * 2012-03-08 2014-07-02 株式会社東芝 塗布装置及び塗布体の製造方法

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007085960A (ja) * 2005-09-26 2007-04-05 Tokyo Electron Ltd 光学式異物検出装置およびこれを搭載した処理液塗布装置
US20100091063A1 (en) * 2007-01-22 2010-04-15 Sharp Kabushiki Kaisha Liquid drop discharge head inspecting device and liquid drop discharge device
CN201281691Y (zh) * 2008-09-03 2009-07-29 华映视讯（吴江）有限公司 Lcd面板异物检测***
CN102192915A (zh) * 2010-03-12 2011-09-21 东京毅力科创株式会社 背面异物检测方法、背面异物检测装置以及涂布装置
CN203259481U (zh) * 2013-04-24 2013-10-30 合肥京东方光电科技有限公司 一种玻璃基板检测装置
CN103353459A (zh) * 2013-06-18 2013-10-16 深圳市华星光电技术有限公司 一种检测装置及检测方法
CN103323442A (zh) * 2013-06-20 2013-09-25 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 一种应用于共聚焦显微术中的led线扫描光学***
CN203396719U (zh) * 2013-08-29 2014-01-15 合肥京东方光电科技有限公司 基板检测装置
CN203502360U (zh) * 2013-09-27 2014-03-26 京东方科技集团股份有限公司 基板检查装置
CN103698910A (zh) * 2013-11-28 2014-04-02 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司 一种异物检查机及其检查方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
刘铁根: "《光电检测技术与***》", 31 October 2009 *

Cited By (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105214906A (zh) * 2015-08-26 2016-01-06 武汉华星光电技术有限公司 一种涂布装置及其清除异物误报的方法
CN106646493A (zh) * 2015-10-29 2017-05-10 青岛海尔智能技术研发有限公司 一种红外测量装置的红外信号的放大系数确定方法
CN106646493B (zh) * 2015-10-29 2020-12-29 青岛海尔智能技术研发有限公司 一种红外测量装置的红外信号的放大系数确定方法
CN106370134A (zh) * 2016-10-27 2017-02-01 南京华东电子信息科技股份有限公司 基板平整度监控装置
CN106583157A (zh) * 2016-12-23 2017-04-26 武汉华星光电技术有限公司 涂布设备
WO2018120312A1 (zh) * 2016-12-28 2018-07-05 武汉华星光电技术有限公司 一种柔性衬底的检测方法、检测***及检测装置
CN106706660A (zh) * 2017-02-04 2017-05-24 信利（惠州）智能显示有限公司 一种基板异物和光学浓度的检测方法及装置
CN107199139A (zh) * 2017-05-25 2017-09-26 昆山国显光电有限公司 涂布装置及检测基板上异物的方法
US10955239B2 (en) * 2017-07-17 2021-03-23 Shenzhen China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co., Ltd. Positioning device and positioning method, color film coating machine
CN107462228A (zh) * 2017-07-17 2017-12-12 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 定位装置及定位方法、彩膜涂布机
CN107894421A (zh) * 2017-10-25 2018-04-10 共享铸钢有限公司 摄影测量***和光笔测量***结合检测标识铸件缺陷的方法
CN107894421B (zh) * 2017-10-25 2020-07-03 共享铸钢有限公司 摄影测量***和光笔测量***结合检测标识铸件缺陷方法
CN107978262A (zh) * 2017-12-29 2018-05-01 深圳市华星光电技术有限公司 显示面板不良的解析方法
CN108303379A (zh) * 2018-01-08 2018-07-20 中国农业大学 手持式的马铃薯检测设备
CN108303379B (zh) * 2018-01-08 2024-03-15 中国农业大学 手持式的马铃薯检测设备
CN110412837A (zh) * 2018-04-28 2019-11-05 上海微电子装备（集团）股份有限公司 喷洒装置、显影***和显影方法
CN108987303A (zh) * 2018-05-25 2018-12-11 深圳市华星光电技术有限公司 带异物检测装置的基板吸附设备及异物检测方法
CN108630586A (zh) * 2018-05-25 2018-10-09 深圳市华星光电技术有限公司 带异物检测功能的基板吸附设备及异物检测方法
CN109596640A (zh) * 2018-12-05 2019-04-09 京东方科技集团股份有限公司 异物检测方法及装置
CN109596640B (zh) * 2018-12-05 2021-09-03 京东方科技集团股份有限公司 异物检测方法及装置
CN109581815A (zh) * 2019-01-16 2019-04-05 深圳市华星光电技术有限公司 光阻涂布装置及其制备图案化光阻层的方法
CN113875214A (zh) * 2019-06-05 2021-12-31 索尼半导体解决方案公司 距离测量传感器、信号处理方法和距离测量模块
CN113875214B (zh) * 2019-06-05 2024-04-05 索尼半导体解决方案公司 距离测量传感器、信号处理方法和距离测量模块
CN113132003A (zh) * 2020-01-10 2021-07-16 茂达电子股份有限公司 异物检测***及方法

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