CN103036522B - 压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟 - Google Patents

压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种压电振动片(1),其中包括:互相平行地配置的一对振动臂部(10、11);和将一对振动臂部在长度方向上的基端部(10a、11a)侧固定成一体的基部(12),在一对振动臂部的主面,形成有位于振动臂部的基端部侧的第一槽部(18)、和相对于第一槽部位于振动臂部的前端部侧的第二槽部(19),第一槽部形成为在振动臂部的主面上沿着与振动臂部的长度方向正交的宽度方向的宽度窄于第二槽部,在第二槽部形成有从该第二槽部的底面突出的加强肋(20)。从而能够抑制刚性下降的同时谋求小型化,并且防止输出信号品质的下降。

Description

压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟
技术领域
本发明涉及压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟。
背景技术
在便携电话、便携信息终端设备上,采用利用水晶(石英)等作为时刻源、控制信号的定时源、参考信号源等的压电振动器。已提供各式各样的这种压电振动器,但作为其中之一,众所周知具有所谓音叉型压电振动片的压电振动器。
音叉型振动片具有平行配置的一对振动臂部和支撑一对振动臂部的基端部的基部的结构。
而且,在压电振动片的表面形成有电极膜,通过对该电极膜施加电压,能够使一对振动臂部以既定的谐振频率在互相接近或分离的方向上振动。
然而,近年来,随着压电振动器搭载的设备的小型化,希望压电振动片小型化。
但是,例如收窄振动臂部的宽度时,形成在振动臂部上的电极膜(激振电极)的形成宽度也变小,其等效串联电阻值(晶体阻抗(Crystal Impedance):CI值)上升而会使输出信号的品质恶化。
此外,一对振动臂部振动的谐振频率F可用
F=k(W/L2)
表示(k:系数;w:振动臂部的宽度;L:振动臂部的长度)。因此,在改变振动臂部的长度或宽度时,谐振频率F会偏移。因而,为了实现压电振动片的小型化,要考虑使该谐振频率不偏移的同时进行小型化。
因此,众所周知在减小振动臂部的宽度时,在振动臂部的上下表面形成槽部的方案(例如,参照专利文献1)。在形成槽部的情况下,成对的激振电极彼此在槽部的两侧对置,因此能够使电场有效率地作用于其对置方向。由此,即便缩小振动臂部的宽度,也能提高电场效率,并能提高品质的同时谋求小型化。
专利文献
专利文献1:日本特开2009-81520号公报。
但是,如果在振动臂部形成槽部,就会降低振动臂部的刚性。特别是,在振动臂部的基端部和基部的连接部附近形成槽部的情况下,振动臂部得不到充分的强度,进而在该部分容易发生应力集中。因此,当外部撞击等作用于压电振动片时,会以振动臂部的基端部和基部的连接部附近为起点发生断裂等。
此外,在振动臂部的宽度相同的情况下,电场效率会与槽部的宽度增大成比例地升高,但其反面,槽部的宽度越大,振动臂部在扭转方向、厚度方向的刚性会下降,越容易发生变形。其结果,有可能会激励出以与希望的振动模式不同的振动模式的振动,这也与输出信号品质的下降相关。
发明内容
为此而完成的本发明的目的在于提供在抑制刚性下降的同时能谋求小型化并能防止输出信号品质的下降的压电振动片、具备该压电振动片的压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟。
为了解决上述课题,本发明采用以下方案。
本发明的压电振动片,其特征在于,具备:互相平行地配置的一对振动臂部;以及将所述一对振动臂部的长度方向上的基端部侧固定成一体的基部,在所述一对振动臂部的主面,形成有位于所述振动臂部的所述基端部侧的第一槽部、和相对于所述第一槽部位于所述振动臂部的前端部侧的第二槽部,在所述振动臂部的主面上,所述第一槽部形成为沿着与所述振动臂部的长度方向正交的宽度方向的宽度小于所述第二槽部,在所述第二槽部形成有从该第二槽部的底面突出的加强肋。
根据本发明,由于形成在振动臂部的基端部侧的第一槽部的宽度形成得小于第二槽部,所以能够提高振动臂部在基端部上的刚性。由此,能够抑制应力集中到振动臂部的基端部。此外,在第二槽部内形成有加强肋,提高振动臂部在厚度方向、扭转方向的刚性。
因此,能够抑制振动臂部全体的刚性下降,并能防止在振动臂部中发生不需要的振动。因而,在谋求振动臂部的小型化的同时,还防止压电振动片的断裂等而能得到高的可靠性,并且抑制发生不需要的振动(以与希望的振动模式不同的振动模式进行的振动),能够抑制输出信号的品质下降。
此外,在本发明的压电振动片中,优选将第一槽部形成为其沿着振动臂部的长度方向的长度短于第二槽部。
在这种情况下,能更容易提高振动臂部在基端部上的刚性,并能抑制应力集中到振动臂部的基端部。
此外,在本发明的压电振动片中,优选所述第一槽部和所述第二槽部夹着分割壁沿着所述振动臂部的长度方向形成,所述分割壁沿着所述振动臂部的宽度方向,从所述振动臂部的前端部侧向基端部侧倾斜地设置。
在这种情况下,分割壁不仅具有宽度方向部分而且具有长度方向部分,因此会作为对振动臂部厚度方向的振动的加强部分而做贡献。因而,能有效地抑制振动臂部厚度方向的振动,更加容易抑制不需要的振动的发生。
此外,在本发明的压电振动片中,优选以连结所述第二槽部中的、所述振动臂部的基端部侧的一端和所述振动臂部的前端部侧的另一端之间的方式,在第二槽部内沿着所述振动臂部的长度方向延伸设置所述加强肋。
此外,在本发明的压电振动片中,优选在所述第二槽部内,沿着所述振动臂部的长度方向间歇地设置所述加强肋。
此外,在本发明的压电振动片中,优选在所述第二槽部内,以在所述振动臂部的宽度方向上横架在该第二槽部的方式沿着宽度方向延伸设置所述加强肋。
在这种情况下,通过加强肋进一步提高振动臂部在厚度方向、扭转方向上的刚性。特别是,通过改变加强肋的设置长度、设置间隔、设置方式等,能够适宜调整振动臂部的刚性。
此外,本发明的压电振动器,其特征在于:具有上述本发明的压电振动片。
依据该结构,由于具备上述本发明的压电振动片,能够提供具有高的强度的同时具有高的性能的压电振动器。因而,即便将压电振动器小型化,也能得到高的可靠性及高的振动特性。
此外,本发明涉及的振荡器,其特征在于:上述本发明的压电振动器,作为振子与集成电路电连接。
此外,本发明涉及的电子设备,其特征在于:上述本发明的压电振动器与计时部电连接。
此外,本发明涉及的电波钟,其特征在于:上述本发明的压电振动器与滤波部电连接。
依据该结构,由于具备上述本发明的压电振动器,能够提供具有高的可靠性及高的性能的振荡器、电子设备、电波钟。
根据本发明,能抑制刚性下降的同时能谋求小型化,并且能够防止输出信号品质的下降。
附图说明
图1是压电振动片的俯视图;
图2是图1所示的压电振动片的截面向视A-A图及B-B图;
图3是示出压电振动片的第一变形例的图,并且是示出在第二槽部的长度方向上间歇地设置加强肋的例子的图;
图4是示出压电振动片的第二变形例的图,并且是示出倾斜地设置第一槽部与第二槽部之间的壁部的例子的图;
图5是示出压电振动片的第三变形例的图,并且是示出改变第一槽部的宽度后的例子的图;
图6是示出压电振动片的第四变形例的图,并且是示出设置多个加强肋的例子的图;
图7是示出压电振动片的第五变形例的图,并且是示出在基部设置切口的例子的图;
图8是示出压电振动片的第六变形例的图,并且是示出放大振动臂部的前端部的宽度的例子的图;
图9是示出压电振动片的第七变形例的图,并且是示出以阶梯状放大基部的宽度的例子的图;
图10是示出压电振动片的第八变形例的图,并且是示出在基部设置侧臂的例子的图;
图11是示出压电振动片的第九变形例的图,并且是示出在基部设置切口和侧臂的例子的图;
图12是示出压电振动片的第十变形例的图,并且是示出在基部设置切口、台阶部、及侧臂的例子的图;
图13是示出本发明涉及的压电振动器的一实施方式的外观立体图;
图14是图13所示的压电振动器的内部结构图,并且是在取下盖基板后的状态下从上方观察压电振动片的图;
图15是沿着图14所示的C-C线的压电振动器的剖视图;
图16是图13所示的压电振动器的分解立体图;
图17是示出本发明涉及的振荡器的一实施方式的结构图;
图18是示出本发明涉及的电子设备的一实施方式的结构图;
图19是示出本发明涉及的电波钟的一实施方式的结构图。
具体实施方式
以下,参照附图,说明用于实施本发明的压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备、及电波钟的最佳方式。但是,本发明并不限定于这些实施例。
(压电振动片)
如图1、图2所示,压电振动片1是用水晶、钽酸锂、铌酸锂等的压电材料形成的音叉型振动片,具有以互相平行地延伸的方式配置的一对振动臂部10、11;和将一对振动臂部10、11的基端侧固定成一体的板状的基部12。
一对振动臂部10、11在其外表面上形成有使一对振动臂部10、11振动的未图示的激振电极。此外,在基部12的外表面形成有未图示的装配电极,通过未图示的迂回电极而与激振电极连接。若对这些各电极施加既定的电压,则因为振动臂部10、11的双方的激振电极彼此的相互作用,而使振动臂部10、11以既定的谐振频率在互相接近或分离的方向(宽度方向)上振动。
此外,本实施方式的压电振动片1具备在一对振动臂部10、11的两主面10c、11c上沿着振动臂部10、11的长度方向(连结振动臂部10、11的基端部10a、11a和前端部10b、11b的方向)分别形成的槽部(第一槽部)18、及槽部(第二槽部)19。这些槽部18和槽部19夹着壁部(分割壁)25沿着振动臂部10、11的长度方向而形成。
槽部18配置在振动臂部10、11的基端部10a、11a和基部12的接合部附近。另一方面,相对于槽部18,槽部19配置在振动臂部10、11的前端部10b、11b侧,并且夹着上述壁部25而从接近槽部18的位置形成到振动臂部10、11的中间部附近。
槽部18形成为使其宽度(在振动臂部10、11的主面10c、11c上,与振动臂部10、11的长度方向正交的宽度)W1小于槽部19的宽度W2。由此,槽部18两侧的壁部21、22的宽度T1被设定为大于槽部19两侧的壁部23、24的宽度T2。由此,振动臂部10、11中形成槽部18的基端部10a、11a中的刚性被设定为高于形成槽部19的区域。
此外,槽部18形成为沿着振动臂部10、11的长度方向的长度L1小于槽部19的长度L2。
在槽部19中宽度方向的中间部,在连结槽部19的长度方向的一端19a和另一端19b的方向连续地形成有加强肋20。更具体地说,以连结槽部19长度方向的一端19a和另一端19b的方式,在该槽部19内沿着振动臂部10、11的长度方向呈凸条地延伸设置该加强肋20。然后,在振动臂部10、11厚度方向上该加强肋20从槽部19的底面突出,并且以与槽部19两侧的壁部23、24的高度H相同的高度形成。由此,加强肋20的上下端面20a与振动臂部10、11的主面10c、11c成为同一面。
通过具备这种加强肋20,振动臂部10、11中形成槽部19的部分的刚性,在其厚度方向(与振动臂部10、11互相邻接的方向正交的方向:图2(b)中的箭头P方向)、扭转方向(振动臂部10、11的中心轴圆周的方向:图2(b)中的箭头Q方向)上得到提高,能够抑制因不需要的变形而产生的振动。
(实施方式的效果)
在上述那样的压电振动片1中,形成在振动臂部10、11的基端部10a、11a的槽部18,与相对于槽部18形成在前端部10b、11b侧的槽部19相比,其宽度W1、长度L1都形成为较小,能够提高振动臂部10、11在基端部10a、11a上的刚性。由此,能够抑制在振动臂部10、11的基端部10a、11a产生应力集中,即便有外部撞击等作用到压电振动片1,也能防止发生压电振动片1的断裂等。
此外,形成在振动臂部10、11的长度方向中间部的槽部19具备加强肋20,因此提高振动臂部10、11在厚度方向、扭转方向Q上的刚性。由此,虽然通过槽部19提高了电场效率,但防止在振动臂部10、11发生不需要的振动,并防止以与希望的振动模式不同的振动模式激励出振动,从而能够抑制输出信号品质的下降。
再者,在上述实施方式中,沿着振动臂部10、11的长度方向夹着壁部25而形成了槽部18和槽部19,但也可以不隔着壁部25,而以连通槽部18和槽部19的方式沿着振动臂部10、11的长度方向形成。
在这种情况下,通过使槽部18的宽度W1小于槽部19的宽度W2,且在槽部19内设置加强肋20,也能发挥同样的作用效果。
下面,示出上述实施方式的变形例。在以下说明中,以与上述实施方式不同的结构为中心进行说明,对于与上述实施方式共同的结构,图中标注相同符号而省略其说明。
(实施方式的第一变形例)
在上述实施方式中,以连结槽部19的一端19a和另一端19b的方式,沿着长度方向连续形成了加强肋20,但并不限于此。
例如,如图3所示,也能在槽部19的一端19a和另一端19b之间,沿着长度方向间歇地配置加强肋20A。
通过这种结构,也能得到与上述实施方式同样的效果。
除此之外,加强肋20也可以从一端19a和另一端19b分别沿着长度方向对置的方式悬臂状延伸,而不是完全连结槽部19的一端19a和另一端19b的双柱(両持)状的结构。即,这时在槽部19的中间部中加强肋20被中断,成为槽部19呈近似H字状的结构。
此外,加强肋20、20A使其高度H为与两侧的壁部23、24相同的高度,但是能够比壁部23、24低地形成。
而且,加强肋20并不限于沿着槽部19的长度方向形成的情况,也要以沿着连结两侧的壁部23、24的振动臂部10、11的宽度方向形成,并且以沿着宽度方向横架的方式设置槽部19。
在此情况下,沿着长度方向隔着间隔而设置多个横架在槽部19的加强肋20也可。而且,以沿着长度方向及宽度方向交叉的方式设置加强肋20也可。此外,在上述实施方式中,对加强肋20与振动臂部10、11形成一体的情况进行了说明,但并不限于此,在槽部19内另行设置加强肋也可。
(实施方式的第二变形例)
此外,在上述实施方式中采用位于槽部18和槽部19之间的壁部25在振动臂部10、11的宽度方向延伸的结构,但并不限于此。
例如,如图4所示,使位于槽部18和槽部19之间的壁部(分割壁)25A,在振动臂部10、11的主面10c、11c上沿着与振动臂部10、11的宽度方向交叉的方向延伸也可。随着从宽度方向的两侧向中心侧,本变形例的壁部25A朝着沿着振动臂部10、11的长度方向的前端部10b、11b侧倾斜。
这样,壁部25A不仅有宽度方向部分而且还有长度方向部分,因此,与上述实施方式那样使壁部25沿着宽度方向延伸的情况相比,会具有针对振动臂部10、11的厚度方向的振动的加强部分。因而,在本变形例中加强肋20外,还有壁部25A作为针对振动臂部10、11的厚度方向的振动的加强单元而做出有效贡献,因此在抑制振动臂部10、11的不需要的振动这一点上是优选的。
此外,以随着从宽度方向的两侧向内侧,向沿着振动臂部10、11的长度方向的基端部10a、11a侧倾斜的方式形成壁部25A也可。
(实施方式的第三变形例)
此外,如图5所示,除了与上述第二变形例同样的壁部25A外,还能使槽部(第一槽部)18A的宽度形成为从振动臂部10、11中基端部10a、11a侧的端部18b起向前端部10b、11b侧的端部18c逐渐扩大的锥形状。
这样,在槽部18A中,在振动臂部10、11的基端部10a、11a侧的端部18b侧,通过抑制其宽度而能够确保振动臂部10、11的刚性。另一方面,在槽部18A中,在前端部10b、11b侧使其宽度较大,从而能够提高电场效率并能提高性能。
(实施方式的第四变形例)
而且,如图6所示,槽部19中能够设置2个加强肋20。由此,在振动臂部10、11的长度方向中间部,能进一步提高振动臂部10、11在厚度方向、扭转方向上的刚性,并且能更加有效地抑制输出信号品质的下降。而且,设置2个以上的多个加强肋20也可。
(实施方式的第五变形例)
在此,为了谋求压电振动片1的小型化,缩短基部12的长度是有效的,但是存在会发生振动泄漏(振动能量的泄漏)的问题。即,若缩短基部12,则基部12中与振动臂部10、11的连接部与经由未图示的凸点(bump)等而装配的装配部分的距离会接近。
这样,在基部12中振动并没充分地衰减而通过装配部分例如会漏到封装件侧,其结果,谐振频率F会偏移。这种现象被定为振动泄漏,当发生该振动泄漏时,除了谐振频率F偏移的问题外,还因为从电信号转换到机械振动时的损耗增大而出现CI值上升、品质下降的问题。
于是,如图7所示,优选在基部12中,在振动臂部10、11的与基端部10a、11a的连接部附近,形成从宽度方向的两侧面分别向宽度方向的中心切去的切口部(缺口)26(所谓的缺口型)。这些切口部26分别朝着宽度方向的外侧而开口,沿基部12的厚度方向贯通。因而,在基部12中,振动臂部10、11的与基端部10a、11a的连接部附近呈现成为宽度比其它部分窄的幅窄部的收缩形状。
通过因切口部26而形成的上述幅窄部,能缩小传到基部12侧的由振动臂部10、11激励的振动的路线,因此将该振动关在振动臂部10、11侧,容易抑制会漏到基部12侧的情况。由此,能够有效地抑制振动泄漏,从而能够抑制CI值的上升、输出信号品质的下降。
(实施方式的第六变形例)
如图8所示,在振动臂部10、11的前端部10b、11b,形成比基端部10a、11a扩大了宽度的锤部10H、11H(所谓的锤头型)也可。
通过该锤部10H、11H,能够进一步加重振动臂部10、11的前端部10b、11b,进而能增大振动时的惯性力矩。因此,能够使振动臂部10、11容易振动,相应地,能够缩短振动臂部10、11的长度,容易谋求更进一步的小型化。
(实施方式的第七变形例)
如图9所示,也可以使基部12从振动臂部10、11的与基端部10a、11a的连接部侧向另一端部12b侧多级扩大。
具体而言,本变形例的基部12具有:连接部侧的第一基部27;和相对于第一基部27在另一端部12b侧连接设置且宽度比第一基部27大的第二基部28(所谓的二级基部型)。此外,第一基部27与振动臂部10、11的基端部10a、11a的连接部分、以及各基部27、28间的连接部分,成为从沿着长度方向的连接部侧向另一端部12b侧宽度逐渐扩大的倾斜面27a、28a。
依据该结构,通过宽度窄的第一基部27,能够缩小会传到第二基部28侧的由振动臂部10、11激励的振动的路线,因此将该振动关在振动臂部10、11侧,容易抑制会漏到第二基部28侧的情况。由此,能够有效地抑制振动泄漏,从而能抑制CI值的上升,进而抑制输出信号品质的下降。
此外,无需增加连结振动臂部10、11的与基端部10a、11a的连接部侧和另一端部12b侧的长度方向的长度L3,而能够增加基部12的体积,在此基础上利用加大宽度的第二基部28能够装配,因此还能提高装配性。
(实施方式的第八变形例)
如图10所示,在基部12的宽度方向两侧将沿着长度方向延伸的一对侧臂29与基部12一体形成也可(所谓的侧臂型)。
具体而言,各侧臂29从基部12的另一端部12b侧向宽度方向的两侧分别延伸,并且从其外侧端部向沿着长度方向的振动臂部10、11侧延伸。即,各侧臂29位于基部12、及振动臂部10、11的基端部10a、11a的宽度方向两侧,并且其前端部29a位于长度方向的槽部19的基端部10a、11a侧。
这时,能够使侧臂29的前端部29a作为装配部起作用,通过该装配部能够安装到例如封装件。
这样,在基部12中,能够确保与振动臂部10、11的连接部和装配部(侧臂29的前端部29a)的距离较长。其结果,无需增大振动片1的全长,而抑制振动泄漏,从而抑制CI值的上升,进而能够抑制输出信号品质的下降。
(实施方式的第九变形例)
而且,如图11所示,能够组合具备图10所示的侧臂29的结构(侧臂型)和在图7所示的基部12形成切口部26的结构(缺口型)。
由此,可靠地抑制振动泄漏而抑制CI值的上升、抑制输出信号品质的下降的效果变得更加显著。
(实施方式的第十变形例)
而且,如图12所示,能够对具备图11所示的侧臂29及切口部26的结构组合图9所示的在基部12形成第一基部27及第二基部28的结构(二级基部型)。
由此,可靠地抑制振动泄漏而抑制CI值的上升、抑制输出信号品质的下降的效果变得更加显著。
(压电振动器)
接着,对采用上述实施方式的压电振动片1的压电振动器30进行说明。在此,作为压电振动片1,列举使用图12所示的压电振动片1的情况进行说明。但是,并不限定于该情况的压电振动片1,也可以采用其它形态的压电振动片。
如图13~图16所示,本实施方式的压电振动器30是具备基底基板31和盖基板32例如阳极接合或通过未图示的接合膜等接合的封装件P、和被收纳于形成在封装件P内部的空腔C内的压电振动片1的表面安装型。
基底基板31及盖基板32是用玻璃材料例如碱石灰玻璃构成的透明的绝缘基板,且形成为近似板状。在盖基板32的接合基底基板31的接合面一侧,形成有收纳压电振动片1的矩形状的凹部32a。该凹部32a成为在叠合基底基板31及盖基板32时收纳压电振动片1的空腔C。
在基底基板31形成有沿厚度方向贯通基底基板31的一对贯通孔33、34。该贯通孔33、34形成在被收纳于空腔C内的位置。更详细地说,本实施方式的贯通孔33、34中,一个贯通孔33形成在与所装配的压电振动片1的基部12侧对应的位置,另一贯通孔34形成在与振动臂部10、11的前端侧对应的位置。
然后,在这一对贯通孔33、34中,形成有以填埋这些贯通孔33、34的方式形成的一对贯通电极35、36。这些贯通电极35、36例如为对贯通孔33、34固定成一体的导电性的芯材,形成为两端平坦且厚度成为与基底基板31的厚度大致相同的厚度。由此,维持空腔C内的气密性,并且在基底基板31的两面确保电导通性。
再者,贯通电极35、36并不限定于上述情况,例如向贯通孔33、34***未图示的金属销后,在贯通孔33、34与金属销之间填充玻璃料后烧成而形成也可。而且,在贯通孔33、34内埋设的导电性粘接剂也可。
在基底基板31的上表面侧(接合盖基板32的接合面一侧),用导电性材料构图有一对迂回电极38、39。在一对迂回电极38、39之中,一个迂回电极38在一端侧覆盖贯通电极35,并且另一端侧向基底基板31的长度方向的中心部延伸。此外,另一迂回电极39在一端侧覆盖贯通电极36,并且另一端侧向基底基板31的长度方向的中心部延伸。因而,各迂回电极38、39的另一端侧,配置在基底基板31中长度方向的相同位置,具体而言压电振动片1中与侧臂29的前端部29a对应的位置。
然后,在这一对迂回电极38、39的另一端侧形成有分别由金等构成的凸点B。对这些凸点B接触基部12的装配电极的状态下装配压电振动片1。由此,压电振动片1以从基底基板31的上表面浮起的状态被支撑,并且成为与迂回电极38、39分别电连接的状态。
在本实施方式中,在侧臂29的前端部29a形成有装配电极,该装配电极经由凸点B连接到迂回电极38、39。
此外,如图13、图15及图16所示,在基底基板31的下表面,形成有分别与一对贯通电极35、36电连接的外部电极40、41。
在使这样构成的压电振动器30工作的情况下,对于形成在基底基板31的外部电极40、41施加既定的驱动电压。由此,能够使电流在压电振动片1的激振电极中流过,并且能够使一对振动臂部10、11以既定的频率在互相接近/分离的方向上振动。然后,利用该一对振动臂部10、11的振动,能够作为时刻源、控制信号的定时源、参考信号源等而利用压电振动器30。
依据上述结构的压电振动片1,能够在谋求小型化的基础上确保较高的强度并进一步降低CI值,因此在空腔C内装配了这种压电振动片1的情况下,能够将压电振动器30小型化的同时,得到高的可靠性及高的振动特性。
(振荡器)
接着,参照图17,对本发明涉及的振荡器的一实施方式进行说明。
本实施方式的振荡器100如图17所示,将压电振动器30作为电连接至集成电路101的振子而构成。该振荡器100具备安装了电容器等电子部件102的基板103。在基板103上安装有振荡器用的上述集成电路101,并在该集成电路101的附近安装有压电振动器30。这些电子部件102、集成电路101及压电振动器30通过未图示的布线图案分别电连接。此外,各构成部件通过未图示的树脂而模制(mould)。
在这样构成的振荡器100中,当对压电振动器30施加电压时,该压电振动器30内的压电振动片1进行振动。该振动通过压电振动片1所具有的压电特性被转换成电信号,并作为电信号被输入至集成电路101。通过集成电路101对所输入的电信号进行各种处理,并作为频率信号而输出。由此,压电振动器30作为振子发挥功能。
另外,通过根据需求有选择性地设定集成电路101的结构,例如RTC(实时时钟)模块等,除钟表用单功能振荡器等之外还能附加如下功能,即控制该设备或外部设备的工作日期或时刻,或者提供时刻或日历等。
如上所述,依据本实施方式的振荡器100,由于具备能够具有高的强度的同时将CI值抑制在较低水平的、小型化及高性能化的压电振动器30,能够提供具有高的可靠性及高的性能的振荡器100。
(电子设备)
接着,参照图18就本发明涉及的电子设备的一实施方式进行说明。此外作为电子设备,以具有上述压电振动器30的便携信息设备(电子设备)110为例进行说明。
在此,本实施方式的便携信息设备110是例如以便携电话为代表的,并对现有技术中的手表进行了发展和改良的设备。它是这样的设备:外观类似于手表,在相当于字符盘的部分配置液晶显示器,能够使当前的时刻等显示在该画面上。另外,在作为通信机利用的情况下,还可从手腕取下来并通过内置于表带内侧部分的扬声器及麦克风进行与现有技术的便携电话同样的通信。但是,与现有的便携电话相比较要明显小型化及轻量化。
接着,对本实施方式的便携信息设备110的结构进行说明。如图18所示,该便携信息设备110具备压电振动器30和供电用的电源部111。电源部111例如由锂二次电池构成。在该电源部111上并联连接有:进行各种控制的控制部112;进行时刻等的计数的计时部113;与外部进行通信的通信部114;显示各种信息的显示部115;以及检测各个功能部电压的电压检测部116。然后,通过电源部111对各功能部进行供电。
控制部112控制各功能部以进行声音数据的发送及接收、当前时刻的计测或显示等整个***的动作控制。另外,控制部112具备:预先被写入程序的ROM;读取并执行该ROM中所写入的程序的CPU;以及作为该CPU的工作区使用的RAM等。
计时部113具备:内置振荡电路、寄存器电路、计数器电路及接口电路等的集成电路和压电振动器30。当对压电振动器30施加电压时压电振动片1进行振动,该振动通过水晶所具有的压电特性被转换成电信号,并作为电信号被输入到振荡电路。振荡电路的输出被二值化,并通过寄存器电路和计数器电路来进行计数。然后,经由接口电路与控制部112进行信号的收发,并在显示部115上显示当前时刻或当前日期或者日历信息等。
通信部114具有与现有的便携电话相同的功能,具备无线电部117、声音处理部118、切换部119、放大部120、声音输入输出部121、电话号码输入部122、来电音发生部123及呼叫控制存储器部124。
无线电部117经由天线125对声音数据等各种数据与基站进行收发交换。声音处理部118对从无线电部117或放大部120输入的声音信号进行编码及解码。放大部120将从声音处理部118或声音输入输出部121输入的信号放大到既定电平。声音输入输出部121由扬声器、麦克风等构成,扩大来电音或受话声音或者将声音进行拢音。
另外,来电音发生部123响应来自基站的呼叫而生成来电音。切换部119仅在来电时,通过将连接于声音处理部118的放大部120切换到来电音发生部123,以使在来电音发生部123中所生成的来电音经由放大部120输出至声音输入输出部121。
另外,呼叫控制存储器部124保存与通信的呼叫及来电控制相关的程序。此外,电话号码输入部122例如具备0至9的号码键及其它键,通过按压这些号码键等来输入通话对象的电话号码等。
电压检测部116在由电源部111对控制部112等各功能部所施加的电压低于既定值时,检测出该电压下降并通知给控制部112。这时的既定的电压值是作为使通信部114稳定动作所需要的最低限度的电压而预先设定的值,例如3V左右。从电压检测部116收到电压下降通知的控制部112禁止无线电部117、声音处理部118、切换部119及来电音发生部123的动作。尤其是,必须停止耗电较大的无线电部117的动作。进而,在显示部115上显示通信部114因电池余量不足而不能使用的提示。
亦即,通过电压检测部116和控制部112,就能够禁止通信部114的动作并在显示部115上显示提示。虽然该显示可为字符消息,但作为更加直观的显示,还可在显示部115的显示画面的顶部所显示的电话图标上附加“×(叉)”标记。
此外,通过具备能够有选择性地截断与通信部114的功能相关部分的电源的电源截断部126,就能够更加可靠地停止通信部114的功能。
如上所述,依据本实施方式的便携信息设备110,由于具备能够具有高的强度的同时将CI值抑制在较低水平的、小型化及高性能化的压电振动器30,能够提供具有高的可靠性及高的性能的便携信息设备110。
(电波钟)
接着,参照图19就本发明涉及的电波钟的一实施方式进行说明。
如图19所示,本实施方式的电波钟130具备电连接到滤波部131的压电振动器30,它是具备接收含时钟信息的标准电波,并自动修正成准确时刻进行显示这一功能的钟表。
在日本国内,发送标准电波的发送站(发送局)处在福岛县(40kHz)和佐贺县(60kHz),分别发送标准电波。由于40kHz或60kHz这样的长波兼有沿地表传播的性质和一边在电离层和地表反射一边传播的性质,所以传播范围宽广,用上述两处发送站来覆盖整个日本国内。
下面就电波钟130的功能性结构详细地进行说明。
天线132接收40kHz或60kHz的长波标准电波。长波标准电波是将称为定时码的时刻信息实施AM调制而成为40kHz或60kHz的载波这种电波。所接收的长波标准电波通过放大器133进行放大,并通过具有多个压电振动器30的滤波部131来进行滤波和调谐。
本实施方式中的压电振动器30分别具备具有与上述载波频率相同的40kHz及60kHz的谐振频率的水晶振动器部138、139。
进而,经过滤波的既定频率的信号通过检波、整流电路134进行检波和解调。
接下来,经由波形整形电路135抽取出定时码,并用CPU136进行计数。在CPU136中读取当前的年、累积日、星期、时刻等信息。所读取的信息被反映于RTC137以显示准确的时刻信息。
由于载波为40kHz或60kHz,所以水晶振动器部138、139优选是具有上述音叉型结构的振动器。
此外,虽然上述的说明以日本国内的例子来表示,但长波标准电波的频率在海外却有所不同。例如,在德国使用77.5KHz的标准电波。从而,当在便携设备中装入亦可在海外应对的电波钟130的情况下,就进一步需要频率与日本情况不同的压电振动器30。
如上所述,依据本实施方式的电波钟130,由于具备能够具有高的强度的同时将CI值抑制在较低水平的、小型化及高性能化的压电振动器30,能够提供具有高的可靠性及高的性能的电波钟130。
以上,参照附图对本发明的实施方式进行了详细说明,但具体的结构并不限于这些实施方式,还包含不超出本发明的宗旨的范围的设计变更等。
例如,在上述实施方式中,对表面安装型的压电振动器30采用了本发明的压电振动片1,但并不限于此,在柱式(cylinder)封装型的压电振动器采用本发明的压电振动片1也可。
除此之外,只要不超出本发明的宗旨,可以对上述实施方式中列举的结构进行取舍选择或者适宜变更为其它结构。
标号说明
1…压电振动片;10、11…振动臂部;10a、11a…基端部;10b、11b…前端部;12…基部;18、18A…槽部(第一槽部);19…槽部(第二槽部);19a…一端;19b…另一端;20…加强肋;21…壁部;26…切口部;27、28…台阶部;29…侧臂;30…压电振动器;31…基底基板;32…盖基板;100…振荡器;101…集成电路;110…便携信息设备(电子设备);113…计时部;130…电波钟;131…滤波部;B…凸点;C…空腔。

Claims (11)

1.一种压电振动片,其特征在于,具备:
互相平行地配置的一对振动臂部;以及
将所述一对振动臂部的长度方向上的基端部侧固定成一体的基部,
在所述一对振动臂部的主面,形成有
位于所述振动臂部的所述基端部侧的第一槽部、和
相对于所述第一槽部位于所述振动臂部的前端部侧的第二槽部,
在所述振动臂部的主面上,所述第一槽部形成为沿着与所述振动臂部的长度方向正交的宽度方向的宽度小于所述第二槽部,
在所述第二槽部形成有从该第二槽部的底面突出并且具有与所述第一槽部两侧的壁部的高度相同的高度的加强肋,
所述第一槽部和所述第二槽部夹着分割壁而沿着所述振动臂部的长度方向形成,
在所述振动臂部的宽度方向,所述第一槽部的两侧的臂部大于所述第二槽部的两侧的壁部。
2.根据权利要求1所述的压电振动片,其特征在于:所述第一槽部形成为使沿着所述振动臂部的长度方向的长度短于所述第二槽部。
3.根据权利要求1或2所述的压电振动片,其特征在于:
所述分割壁沿着所述振动臂部的宽度方向从所述振动臂部的前端部侧向基端部侧倾斜地设置。
4.根据权利要求1或2所述的压电振动片,其特征在于:所述加强肋在第二槽部内沿着所述振动臂部的长度方向延伸设置,以在所述第二槽部中连结所述振动臂部的基端部侧的一端和所述振动臂部的前端部侧的另一端之间。
5.根据权利要求1或2所述的压电振动片,其特征在于:在所述第二槽部内,所述加强肋沿着所述振动臂部的长度方向被间歇地设置。
6.根据权利要求1或2所述的压电振动片,其特征在于:在所述第二槽部内,所述加强肋在所述振动臂部的宽度方向上横架在该第二槽部的方式沿着宽度方向延伸设置。
7.一种压电振动器,其特征在于:具有权利要求1所述的压电振动片。
8.一种振荡器,其特征在于:权利要求7所述的所述压电振动器作为振子与集成电路电连接。
9.一种电子设备,其特征在于:权利要求7所述的所述压电振动器与计时部电连接。
10.一种电波钟,其特征在于:权利要求7所述的所述压电振动器与滤波部电连接。
11.一种压电振动片,其特征在于,具备:
互相平行地配置的一对振动臂部;以及
将所述一对振动臂部的长度方向上的基端部侧固定成一体的基部,
在所述一对振动臂部的主面,形成有
位于所述振动臂部的所述基端部侧的第一槽部、和
相对于所述第一槽部位于所述振动臂部的前端部侧的第二槽部,
在所述振动臂部的主面上,所述第一槽部形成为沿着与所述振动臂部的长度方向正交的宽度方向的宽度小于所述第二槽部,
在所述第二槽部形成有从该第二槽部的底面突出并且具有与所述第一槽部两侧的壁部的高度相同的高度的加强肋,
所述第一槽部和所述第二槽部夹着分割壁而沿着所述振动臂部的长度方向形成,
所述分割壁沿着所述振动臂部的宽度方向从所述振动臂部的前端部侧向基端部侧倾斜地设置。
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Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20110215680A1 (en) * 2010-03-05 2011-09-08 Seiko Epson Corporation Resonator element, resonator, oscillator, and electronic device
JP5085679B2 (ja) * 2010-03-15 2012-11-28 日本電波工業株式会社 圧電振動片および圧電デバイス
JP5592812B2 (ja) * 2011-01-27 2014-09-17 エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器、および電波時計
JP6080486B2 (ja) * 2012-10-19 2017-02-15 エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計
JP2015008353A (ja) * 2013-06-24 2015-01-15 セイコーエプソン株式会社 振動素子、振動デバイス、電子機器、移動体、および振動素子の製造方法
US9548719B2 (en) * 2013-06-26 2017-01-17 Daishinku Corporation Tuning fork type piezoelectric vibration piece and tuning fork type piezoelectric vibrator
KR101514527B1 (ko) * 2013-07-02 2015-04-22 삼성전기주식회사 진동발생장치
JP6373669B2 (ja) * 2013-07-12 2018-08-15 シチズンファインデバイス株式会社 水晶振動子
CN105814795B (zh) * 2013-12-27 2018-11-23 株式会社村田制作所 压电振子以及压电振子的频率调整方法
JP2016065752A (ja) * 2014-09-24 2016-04-28 セイコーエプソン株式会社 振動片、角速度センサー、電子機器および移動体
JP6587389B2 (ja) * 2015-01-20 2019-10-09 エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 圧電振動片および圧電振動子
JP6479509B2 (ja) * 2015-03-09 2019-03-06 シチズン時計株式会社 圧電振動子
JP6582501B2 (ja) * 2015-04-02 2019-10-02 セイコーエプソン株式会社 振動素子、振動子、電子機器および移動体
WO2018216264A1 (ja) * 2017-05-25 2018-11-29 株式会社村田製作所 共振子及び共振装置

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004260593A (ja) * 2003-02-26 2004-09-16 Seiko Epson Corp 水晶振動片とその製造方法及び水晶振動片を利用した水晶デバイス、ならびに水晶デバイスを利用した携帯電話装置および水晶デバイスを利用した電子機器
CN1557048A (zh) * 2002-07-23 2004-12-22 株式会社大真空 腐蚀方法及由该方法成形的腐蚀成形品
CN1815885A (zh) * 2005-02-02 2006-08-09 日本电波工业株式会社 压电振子
CN101729038A (zh) * 2008-10-16 2010-06-09 日本电波工业株式会社 压电振动片、压电框架及压电装置
CN102025341A (zh) * 2009-09-11 2011-04-20 精工爱普生株式会社 振动片、振子、振荡器及电子设备
CN102035498A (zh) * 2009-10-08 2011-04-27 精工爱普生株式会社 振动片、振子、振荡器以及电子仪器
JP2011182203A (ja) * 2010-03-01 2011-09-15 Seiko Instruments Inc パッケージ、パッケージの製造方法、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計
CN102195609A (zh) * 2010-03-17 2011-09-21 精工爱普生株式会社 压电振动片、压电装置、以及电子设备

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3900846B2 (ja) * 2001-03-02 2007-04-04 セイコーエプソン株式会社 音叉型水晶振動片、振動子、発振器及び携帯用電話装置
JP3812724B2 (ja) * 2001-09-13 2006-08-23 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動子、発振器及び電子機器
ATE467268T1 (de) 2004-09-03 2010-05-15 Eta Sa Mft Horlogere Suisse Quartzresonator mit sehr kleinen abmessungen
JP4319657B2 (ja) * 2006-01-30 2009-08-26 日本電波工業株式会社 圧電振動子
JP2008060952A (ja) * 2006-08-31 2008-03-13 Kyocera Kinseki Corp 音叉型水晶振動板とその製造方法
JP2009081520A (ja) 2007-09-25 2009-04-16 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 水晶振動片および水晶デバイス
JP5272880B2 (ja) * 2009-04-30 2013-08-28 セイコーエプソン株式会社 屈曲振動片
JP5482541B2 (ja) 2009-10-01 2014-05-07 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動子、発振器、及び電子機器
JP5592812B2 (ja) * 2011-01-27 2014-09-17 エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器、および電波時計
JP6080449B2 (ja) * 2012-09-18 2017-02-15 エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計
JP6080486B2 (ja) * 2012-10-19 2017-02-15 エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1557048A (zh) * 2002-07-23 2004-12-22 株式会社大真空 腐蚀方法及由该方法成形的腐蚀成形品
JP2004260593A (ja) * 2003-02-26 2004-09-16 Seiko Epson Corp 水晶振動片とその製造方法及び水晶振動片を利用した水晶デバイス、ならびに水晶デバイスを利用した携帯電話装置および水晶デバイスを利用した電子機器
CN1815885A (zh) * 2005-02-02 2006-08-09 日本电波工业株式会社 压电振子
CN101729038A (zh) * 2008-10-16 2010-06-09 日本电波工业株式会社 压电振动片、压电框架及压电装置
CN102025341A (zh) * 2009-09-11 2011-04-20 精工爱普生株式会社 振动片、振子、振荡器及电子设备
CN102035498A (zh) * 2009-10-08 2011-04-27 精工爱普生株式会社 振动片、振子、振荡器以及电子仪器
JP2011182203A (ja) * 2010-03-01 2011-09-15 Seiko Instruments Inc パッケージ、パッケージの製造方法、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計
CN102195609A (zh) * 2010-03-17 2011-09-21 精工爱普生株式会社 压电振动片、压电装置、以及电子设备

Also Published As

Publication number Publication date
US8987977B2 (en) 2015-03-24
US20130076211A1 (en) 2013-03-28
CN103036522A (zh) 2013-04-10
JP2013074519A (ja) 2013-04-22
JP5839919B2 (ja) 2016-01-06
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