JP6582501B2 - 振動素子、振動子、電子機器および移動体 - Google Patents
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Description
先行文献1の振動素子では、水晶基板をフォトリソグラフィー技法とエッチング技法を用いてパターニングすることで振動素子の外形形状を得ている。具体的には、水晶基板の上面および下面に外形形状に対応したレジストマスクを形成し、このレジストマスクを介して水晶基板を両面からウエットエッチングすることで、ジャイロ素子の外形形状が得られる。しかしながら、このような方法では、上下のマスクがずれる場合があり、このマスクずれに起因して振動腕の断面形状が設計形状からずれてしまうという問題がある。ちなみに、この問題は、装置の精度上避けることが困難である。
本適用例の振動素子は、基部と、
前記基部に接続され、前記基部の面内方向に含まれる第1方向に屈曲振動する振動腕と、を備え、
前記振動腕は、第1主面と、前記第1主面に対して表裏の関係にある第2主面と、前記第1主面に開放する第1溝と、前記第2主面に開放する第2溝と、を有し、
前記第1主面は、前記第2主面に対して前記第1方向の一方側にずれて配置され、
前記第1溝は、前記第2溝に対して前記第1方向の一方側にずれて配置され、
前記第2主面の前記第1方向の中心に対する前記第1主面の前記第1方向の中心の前記第1方向へのずれ量をL1とし、
前記第2溝の開口の前記第1方向の中心に対する前記第1溝の開口の前記第1方向の中心の前記第1方向へのずれ量をL2としたとき、
L2/L1>0なる関係を満足することを特徴とする。
本適用例の振動素子では、前記第1溝は、開口が底面に対して前記第1方向の一方側にずれるように、前記基部の厚さ方向に対して傾斜して配置され、
前記第2溝は、底面が開口に対して前記第1方向の一方側にずれるように、前記基部の厚さ方向に対して傾斜して配置されていることが好ましい。
これにより、面外振動の結合をより効果的に低減することができる。
本適用例の振動素子は、基部と、
前記基部に接続され、前記基部の面内方向に含まれる第1方向に屈曲振動する振動腕と、を備え、
前記振動腕は、第1主面と、前記第1主面に対して表裏の関係にある第2主面と、前記第1主面に開放する溝と、を有し、
前記第1主面は、前記第2主面に対して前記第1方向の一方側にずれて配置され、
前記溝は、その開口が底面に対して前記第1方向の一方側にずれるように、前記基部の厚さ方向に対して傾斜して配置され、
前記第2主面の前記第1方向の中心に対する前記第1主面の前記第1方向の中心の前記第1方向へのずれ量をL1とし、
前記溝を深さ方向に仮想的に延長して前記第2主面と交差する領域を仮想開口とし、前記仮想開口の前記第1方向の中心に対する前記溝の開口の前記第1方向の中心の前記第1方向へのずれ量をL2としたとき、
L2/L1>0なる関係を満足することを特徴とする。
これにより、面外振動の結合を低減し、優れた振動特性を有する振動素子を提供することができる。
本適用例の振動素子では、L2/L1>2なる関係を満足することが好ましい。
これにより、面外振動の結合をより効果的に低減することができる。
本適用例の振動素子では、L2/L1<4なる関係を満足することが好ましい。
これにより、面外振動の結合をより効果的に低減することができる。
本適用例の振動素子では、角速度を検出する角速度検出素子であることが好ましい。
これにより、振動素子の利便性が高まる。
本適用例の振動子は、上記適用例の振動素子と、
前記振動素子を収容するパッケージと、を有することを特徴とする。
これにより、信頼性の高い振動子が得られる。
本適用例の電子機器は、上記適用例の振動素子を備えることを特徴とする。
これにより、信頼性の高い電子機器が得られる。
本適用例の移動体は、上記適用例の振動素子を備えることを特徴とする。
これにより、信頼性の高い移動体が得られる。
<第1実施形態>
図1は、本発明の第1実施形態に係る振動素子を示す平面図である。図2は、(a)が図1中のA−A線断面図、(b)が図1中のB−B線断面図である。図3は、(a)が駆動振動モードを示す模式図、(b)が検出振動モードを示す模式図である。図4は、駆動腕の断面図である。図5は、ウエットエッチング技術を用いて水晶基板を得る方法を示す図である。図6は、ドライエッチング技術を用いて水晶基板を得る方法を示す図である。図7は、ずれ量とZ軸方向への振動量との関係を示すグラフである。
このような構成のジャイロ素子1では、次のようにして角速度ωyを検出する。
以上、ジャイロ素子1の基本的な構成について簡単に説明した。
図4に示すように、駆動腕22は、上面(第1主面)221と、上面221に対して表裏の関係にある下面(第2主面)222と、上面221に開放する溝(第1溝)228と、下面222に開放する溝(第2溝)229と、を有している。また、駆動腕22は、上面221が下面222に対して+X軸側(一方側)にずれて配置されており、略平行四辺形の横断面形状となっている。
次に、本発明の振動素子の第2実施形態について説明する。
図8は、本発明の第2実施形態に係る振動素子が有する駆動腕の断面図である。
次に、本発明の振動素子の第3実施形態について説明する。
図9は、本発明の第3実施形態に係る振動素子が有する駆動腕の断面図である。
次に、上述したジャイロ素子1を備える振動子10について説明する。
図10に示す振動子10は、前述したジャイロ素子1と、ジャイロ素子1を収容するパッケージ8とを有している。
次に、ジャイロ素子1を備えるジャイロセンサーについて説明する。
図11に示すジャイロセンサー100は、振動子10と、ICチップ9とを有している。ICチップ9は、凹部811の底面にろう材等によって固定されており、ジャイロ素子1と電気的に接続されている。また、ICチップ9は、ジャイロ素子1を駆動振動させるための駆動回路や、角速度が加わったときにジャイロ素子1に生じる検出振動を検出する検出回路等を有している。
次いで、ジャイロ素子1を備える電子機器について説明する。
次いで、図1に示すジャイロ素子1を備える移動体について説明する。
図15は、本発明の移動体を適用した自動車の構成を示す斜視図である。
2……水晶基板
8……パッケージ
9……ICチップ
10……振動子
20……水晶ウエハ
21……基部
22、23……駆動腕
24、25……検出腕
31……駆動信号電極
32……駆動接地電極
33……検出信号電極
34……検出接地電極
51……駆動信号端子
52……駆動接地端子
53……検出信号端子
54……検出接地端子
81……ベース
82……リッド
100……ジャイロセンサー
201……中央部
202……外周部
221……上面
222……下面
223、224……壁部
228……溝
228a……開口
228b……底面
228c……仮想開口
229……溝
229a……開口
229b……底面
231……上面
232……下面
238……溝
239……溝
811……凹部
831、832、833、834……接続端子
861、862、863、864……導電性接着材
1100……パーソナルコンピューター
1102……キーボード
1104……本体部
1106……表示ユニット
1108……表示部
1200……携帯電話機
1202……操作ボタン
1204……受話口
1206……送話口
1208……表示部
1300……デジタルスチールカメラ
1302……ケース
1304……受光ユニット
1306……シャッターボタン
1308……メモリー
1310……表示部
1500……自動車
1501……車体
1502……車体姿勢制御装置
1503……車輪
L1、L2……ずれ量
L、L’……線分
M1、M2……マスク
O11、O12、O21、O22、O23……幅中心
ωy……角速度
Claims (8)
- 基部と、
前記基部に接続され、前記基部の面内方向に含まれる第1方向に屈曲振動する振動腕と、を備え、
前記振動腕は、第1主面と、前記第1主面に対して表裏の関係にある第2主面と、前記第1主面に開放する第1溝と、前記第2主面に開放する第2溝と、を有し、
前記第1主面は、前記第2主面に対して前記第1方向の一方側にずれて配置され、
前記第1溝は、前記第2溝に対して前記第1方向の一方側にずれて配置され、
前記第2主面の前記第1方向の中心に対する前記第1主面の前記第1方向の中心の前記第1方向へのずれ量をL1とし、
前記第2溝の開口の前記第1方向の中心に対する前記第1溝の開口の前記第1方向の中心の前記第1方向へのずれ量をL2としたとき、
L2/L1>2なる関係を満足することを特徴とする振動素子。 - 前記第1溝は、開口が底面に対して前記第1方向の一方側にずれるように、前記基部の厚さ方向に対して傾斜して配置され、
前記第2溝は、底面が開口に対して前記第1方向の一方側にずれるように、前記基部の厚さ方向に対して傾斜して配置されている請求項1に記載の振動素子。 - 基部と、
前記基部に接続され、前記基部の面内方向に含まれる第1方向に屈曲振動する振動腕と、を備え、
前記振動腕は、第1主面と、前記第1主面に対して表裏の関係にある第2主面と、前記第1主面に開放する溝と、を有し、
前記第1主面は、前記第2主面に対して前記第1方向の一方側にずれて配置され、
前記溝は、その開口が底面に対して前記第1方向の一方側にずれるように、前記基部の厚さ方向に対して傾斜して配置され、
前記第2主面の前記第1方向の中心に対する前記第1主面の前記第1方向の中心の前記第1方向へのずれ量をL1とし、
前記溝を深さ方向に仮想的に延長して前記第2主面と交差する領域を仮想開口とし、前記仮想開口の前記第1方向の中心に対する前記溝の開口の前記第1方向の中心の前記第1方向へのずれ量をL2としたとき、
L2/L1>2なる関係を満足することを特徴とする振動素子。 - L2/L1<4なる関係を満足する請求項1ないし3のいずれか1項に記載の振動素子。
- 角速度を検出する角速度検出素子である請求項1ないし4のいずれか1項に記載の振動素子。
- 請求項1ないし5のいずれか1項に記載の振動素子と、
前記振動素子を収容するパッケージと、を有することを特徴とする振動子。 - 請求項1ないし5のいずれか1項に記載の振動素子を備えることを特徴とする電子機器。
- 請求項1ないし5のいずれか1項に記載の振動素子を備えることを特徴とする移動体。
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