JP6373669B2 - 水晶振動子 - Google Patents
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Description
20、21、22、23、24 振動片
30、31、32、33、34 基部
40、41、42、43 溝
44 小溝
50、51、52、53、54、55、56、57、58、59 電極
70、71、72 内壁
80 支持部
81 中央脚
100、110、120、130、140、150 振動脚
160、170、180、190 振動脚
200 レジスト
300、320、400a、400b、420a、420b 側壁
500 電極膜
Claims (1)
- 振動脚に溝を有する振動片上に電極が形成される水晶振動子であって、前記水晶振動子は、中央脚と、前記中央脚の両隣に配置される前記振動脚と、前記中央脚の一端と前記振動脚とを接続する接続部と、前記中央脚の他端に形成された支持部とを備え、前記支持部と前記中央脚とで固定され、前記振動脚は、前記中央脚との接続部から突出方向に向かって縮幅する第一振動脚部と一定の幅を有する第二振動脚部とを備え、前記溝の内側に形成される少なくとも一つの島状の内壁が、前記第一振動脚部と前記第二振動脚部との境界部分に形成されていることを特徴とする水晶振動子。
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---|---|---|---|
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Applications Claiming Priority (3)
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JP2013145956 | 2013-07-12 | ||
JP2013145956 | 2013-07-12 | ||
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JP6373669B2 true JP6373669B2 (ja) | 2018-08-15 |
Family
ID=52544003
Family Applications (1)
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JP6348727B2 (ja) * | 2014-02-14 | 2018-06-27 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器、及び電波時計 |
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- 2014-07-09 JP JP2014141609A patent/JP6373669B2/ja active Active
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