CN102937421B - 旋转轴对称光学非球面的实时检测方法 - Google Patents
旋转轴对称光学非球面的实时检测方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102937421B CN102937421B CN 201210421308 CN201210421308A CN102937421B CN 102937421 B CN102937421 B CN 102937421B CN 201210421308 CN201210421308 CN 201210421308 CN 201210421308 A CN201210421308 A CN 201210421308A CN 102937421 B CN102937421 B CN 102937421B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- wave aberration
- spherical face
- actual
- wave
- real
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
Description
Claims (1)
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201310412055.9A CN103471521B (zh) | 2012-10-29 | 2012-10-29 | 快速、准确的光学非球面的实时检测方法 |
CN 201210421308 CN102937421B (zh) | 2012-10-29 | 2012-10-29 | 旋转轴对称光学非球面的实时检测方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN 201210421308 CN102937421B (zh) | 2012-10-29 | 2012-10-29 | 旋转轴对称光学非球面的实时检测方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201310412055.9A Division CN103471521B (zh) | 2012-10-29 | 2012-10-29 | 快速、准确的光学非球面的实时检测方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN102937421A CN102937421A (zh) | 2013-02-20 |
CN102937421B true CN102937421B (zh) | 2013-12-25 |
Family
ID=47696332
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201310412055.9A Expired - Fee Related CN103471521B (zh) | 2012-10-29 | 2012-10-29 | 快速、准确的光学非球面的实时检测方法 |
CN 201210421308 Expired - Fee Related CN102937421B (zh) | 2012-10-29 | 2012-10-29 | 旋转轴对称光学非球面的实时检测方法 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201310412055.9A Expired - Fee Related CN103471521B (zh) | 2012-10-29 | 2012-10-29 | 快速、准确的光学非球面的实时检测方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (2) | CN103471521B (zh) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103234480A (zh) * | 2013-04-16 | 2013-08-07 | 北京理工大学 | 一种环形凸非球面的快速面形检测方法 |
CN103196391A (zh) * | 2013-04-16 | 2013-07-10 | 北京理工大学 | 一种近抛物面的环形凹非球面的快速面形检测方法 |
CN104070418B (zh) * | 2014-06-30 | 2016-08-24 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 轴对称光学非球面面形在线测量方法 |
CN105547183B (zh) * | 2015-12-21 | 2017-11-28 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种复位被测非球面空间位置的调整方法 |
CN108225187B (zh) * | 2018-01-29 | 2020-01-14 | 清华大学深圳研究生院 | 一种基于波前传感的非球面透镜误差检测方法 |
CN109029288B (zh) * | 2018-07-25 | 2020-10-16 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种基于dmd波前传感技术的反射式大陡度非球面及自由曲面检测装置和方法 |
CN110220477B (zh) * | 2019-06-19 | 2020-09-29 | 昆明北方红外技术股份有限公司 | 红外干涉仪测量光学非球面反射镜面形的检测装置及方法 |
CN110703434B (zh) * | 2019-10-15 | 2024-04-12 | 南通大学 | 一种确定环形孔径二次曲面非球面度梯度的方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003322587A (ja) * | 2002-04-30 | 2003-11-14 | Canon Inc | 面形状測定装置 |
CN1746648A (zh) * | 2005-10-31 | 2006-03-15 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种大口径深型非球面镜检测*** |
CN101285734A (zh) * | 2008-05-28 | 2008-10-15 | 中国科学院光电技术研究所 | 扇形离轴非球面拼接测量*** |
CN101504276A (zh) * | 2009-03-09 | 2009-08-12 | 中国科学院光电技术研究所 | 大口径光学镜面Ronchi光栅定量检测仪 |
CN102155926A (zh) * | 2011-03-09 | 2011-08-17 | 浙江大学 | 一种非球面顶点球曲率半径的测量***及方法 |
CN102353342A (zh) * | 2011-06-13 | 2012-02-15 | 苏州大学 | 一种自由曲面面型检测*** |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1885097A (zh) * | 2005-06-22 | 2006-12-27 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 利用计算机对非球面检验光学***进行调整的方法 |
JP2007064965A (ja) * | 2005-08-03 | 2007-03-15 | Pentax Corp | 光学素子の波面収差測定方法及び波面収差補正方法 |
-
2012
- 2012-10-29 CN CN201310412055.9A patent/CN103471521B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2012-10-29 CN CN 201210421308 patent/CN102937421B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003322587A (ja) * | 2002-04-30 | 2003-11-14 | Canon Inc | 面形状測定装置 |
CN1746648A (zh) * | 2005-10-31 | 2006-03-15 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种大口径深型非球面镜检测*** |
CN101285734A (zh) * | 2008-05-28 | 2008-10-15 | 中国科学院光电技术研究所 | 扇形离轴非球面拼接测量*** |
CN101504276A (zh) * | 2009-03-09 | 2009-08-12 | 中国科学院光电技术研究所 | 大口径光学镜面Ronchi光栅定量检测仪 |
CN102155926A (zh) * | 2011-03-09 | 2011-08-17 | 浙江大学 | 一种非球面顶点球曲率半径的测量***及方法 |
CN102353342A (zh) * | 2011-06-13 | 2012-02-15 | 苏州大学 | 一种自由曲面面型检测*** |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN103471521B (zh) | 2015-10-21 |
CN102937421A (zh) | 2013-02-20 |
CN103471521A (zh) | 2013-12-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN102937421B (zh) | 旋转轴对称光学非球面的实时检测方法 | |
CN103017681B (zh) | 近抛物面的旋转轴对称凹非球面的实时检测方法 | |
CN102506750A (zh) | 部分补偿非球面反射镜面形检测方法 | |
CN102997863A (zh) | 一种全口径光学非球面面形误差直接检测*** | |
CN102778210B (zh) | 一种基于计算全息的非球面绝对检测方法 | |
CN103234480A (zh) | 一种环形凸非球面的快速面形检测方法 | |
CN104006759A (zh) | 大口径大偏离量非球面反射镜抛光过程中复合检测方法 | |
CN104949763A (zh) | 一种基于逆哈特曼原理的透镜波前像差测量方法 | |
CN105318847A (zh) | 基于***建模的非球面非零位环形子孔径拼接方法 | |
CN103063415B (zh) | 一种基于莫尔条纹匹配的长焦距透镜焦距测量方法 | |
CN104048619B (zh) | 一种判断旋转轴对称非球面能否采用直接干涉检测的方法 | |
CN105466351A (zh) | 用于检测凸非球面面形误差的折反式部分补偿器及设计方法 | |
CN105444693A (zh) | 一种浅度非球面的面形误差测量方法 | |
JP2013186024A (ja) | 非球面形状計測方法、非球面形状計測装置、光学素子加工装置および光学素子 | |
CN105547179A (zh) | 一种非球面方程的测量方法 | |
CN104697464A (zh) | 基于补偿透镜的大口径凸非球面反射镜的干涉检验方法 | |
CN204479018U (zh) | 基于子孔径拼接法与计算全息法的非球面干涉检测装置 | |
CN102889978B (zh) | 一种大口径窗口检测装置及检测方法 | |
CN103196391A (zh) | 一种近抛物面的环形凹非球面的快速面形检测方法 | |
CN103439085A (zh) | 一种接触式测量曲面棱镜参数的方法及装置 | |
CN104634275A (zh) | 一种基于牛顿环的非球面实时干涉测量装置及方法 | |
CN104048596A (zh) | 补偿器及补偿器与干涉仪共轴的调节方法 | |
CN102519611A (zh) | 共光路径向剪切数字波面干涉仪 | |
KR20110065365A (ko) | 비구면체 측정 방법 및 장치 | |
CN104776811A (zh) | 大口径、批量化离轴子镜的面形检测方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
C53 | Correction of patent of invention or patent application | ||
CB03 | Change of inventor or designer information |
Inventor after: Pan Baozhu Inventor after: Tang Jing Inventor after: Fang Jinghuai Inventor after: Zhao Yonglin Inventor after: Chen Zhongping Inventor after: Cui Ronghua Inventor after: Da Jian Inventor before: Pan Baozhu Inventor before: Tang Jing Inventor before: Fang Jinghuai Inventor before: Zhao Yonglin Inventor before: Da Jian Inventor before: Cui Ronghua |
|
COR | Change of bibliographic data |
Free format text: CORRECT: INVENTOR; FROM: PAN BAOZHU TANG JING FANG JINGHUAI ZHAO YONGLIN DA JIAN CUI RONGHUA TO: PAN BAOZHU TANG JING FANG JINGHUAI ZHAO YONGLIN CHEN ZHONGPING CUI RONGHUA DA JIAN |
|
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20131225 Termination date: 20151029 |
|
EXPY | Termination of patent right or utility model |