JP2013186024A - 非球面形状計測方法、非球面形状計測装置、光学素子加工装置および光学素子 - Google Patents
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 155
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title claims abstract description 39
- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims description 26
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 title claims description 6
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims abstract description 160
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 40
- 238000004441 surface measurement Methods 0.000 claims abstract description 12
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 117
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 26
- 230000004075 alteration Effects 0.000 claims description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 38
- 238000013461 design Methods 0.000 description 12
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 11
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 10
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 9
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- 238000007781 pre-processing Methods 0.000 description 4
- LFEUVBZXUFMACD-UHFFFAOYSA-H lead(2+);trioxido(oxo)-$l^{5}-arsane Chemical compound [Pb+2].[Pb+2].[Pb+2].[O-][As]([O-])([O-])=O.[O-][As]([O-])([O-])=O LFEUVBZXUFMACD-UHFFFAOYSA-H 0.000 description 3
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- 206010010071 Coma Diseases 0.000 description 1
- 206010073261 Ovarian theca cell tumour Diseases 0.000 description 1
- 238000004422 calculation algorithm Methods 0.000 description 1
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 238000010008 shearing Methods 0.000 description 1
- 230000009897 systematic effect Effects 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
- 208000001644 thecoma Diseases 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- G01M11/005—Testing of reflective surfaces, e.g. mirrors
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B3/00—Simple or compound lenses
- G02B3/02—Simple or compound lenses with non-spherical faces
- G02B3/04—Simple or compound lenses with non-spherical faces with continuous faces that are rotationally symmetrical but deviate from a true sphere, e.g. so called "aspheric" lenses
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Abstract
【解決手段】非球面計測方法は、非球面である被検面で反射した光を光学系を介して受光センサに導く。該方法は、受光センサとセンサ共役面との間での位置倍率分布および角度倍率分布を演算し、基準面での反射光の受光センサ上での第1の波面をセンサ出力を用いて計測し、光学系のパラメータを用いて、基準面で反射した光の受光センサ上での第2の波面を演算し、第1および第2の波面間の回転対称成分の差が小さくなるように光学系のパラメータを変更する。変更したパラメータを用いて演算したセンサ共役面上での位置倍率分布または角度倍率分布と、基準面および被検面でそれぞれ反射した光線の角度分布の計測値と、基準面の形状とを用いて被検面の形状を演算する。
【選択図】図2
Description
また、特許文献7にて開示された校正方法は、干渉計の光学系の一部を移動させて位置倍率分布の校正を行う。しかし、受光面での干渉縞の径の大きさを指標として校正を行うため、被検面が非球面である場合は、干渉縞のピッチが細かくなりすぎて干渉縞の径が正確に把握できない。さらに、角度倍率分布を高精度に校正することは困難である。
Ψ=atan(Δp/f)
という関係が成り立つ。全ての微小集光レンズに対して上記処理を行うことで、センサ(撮像素子)8に入射する光線の角度分布を、該センサ8からの出力を用いて計測することができる。
M.Takeda,S.Kobayashi,“Lateral Aberration Measurements with a digital Talbot Interferometer,”App.Opt.23,pp1760-1764,1984
また、センサ8が受光する光線の大きさ(径)が該センサ8(受光部8a)の受光面積より大きい場合は、センサ8をその受光面8aに平行な面(xy面)内で移動させて光線の角度分布を計測し、計測された光線角度分布のデータをつなぎ合わせればよい。
r′/R′
で表わされる。また、角度倍率分布βは、基準面を微小角度だけ傾けたときにセンサ共役面上でのメリジオナル面における光線反射角度がΔvだけ変化し、センサ面上でのメリジオナル面における光線入射角度がΔVだけ変化したとき、
ΔV/Δv
で表される。
R′=√(X2+Y2)
である。
j=1〜Nにおいて、Djの値だけj番目の光学系パラメータを変更した後にセンサ8を用いて得られる計測波面Wmと演算波面Wcalとの球面成分の差ΔW′は、以下の式4で表わされる。
r=√(x2+y2)
である。
W.H.Southwell,“Wave-front estimation from wave-front slope measurement” J.Opt.Soc.Amr.70,pp998-1006,1980
ステップD−5では、ステップA−1で計測した基準面10aのデータと、ステップD−4で演算した形状差とを加算することで、被検面11aの形状を演算する。
5 投光レンズ
7 結像レンズ
8 センサ
9 解析演算部
10 基準レンズ
11 被検レンズ
Claims (11)
- 非球面である被検面に光を照射し、該被検面で反射した光を光学系を介して受光センサに導き、該受光センサからの出力を用いて前記被検面の形状を計測する非球面計測方法であって、
形状の計測が行われた非球面としての基準面を用意するステップと、
前記基準面で反射した光の前記受光センサ上での波面である第1の波面を、前記受光センサからの出力を用いて計測するステップと、
前記光学系のパラメータを用いて、前記基準面で反射した光の前記受光センサ上での波面である第2の波面を演算するステップと、
前記第1の波面と前記第2の波面との回転対称成分の差がより小さくなるように前記光学系の前記パラメータを演算上において変更するパラメータ変更ステップと、
変更された前記パラメータを用いて、前記光学系によって該受光センサに対して共役な関係にあるセンサ共役面上における、前記基準面で反射した光線の位置関係および角度関係をそれぞれ示す位置倍率分布および角度倍率分布のうち少なくとも一方である倍率分布を演算するステップと、
前記基準面で反射した光線の角度分布である第1の光線角度分布を、前記受光センサからの出力を用いて計測するステップと、
前記被検面で反射した光線の角度分布である第2の光線角度分布を、前記受光センサからの出力を用いて計測するステップと、
前記基準面の前記形状、前記第1の光線角度分布、前記第2の光線角度分布および前記倍率分布を用いて、前記被検面の形状を演算するステップとを有することを特徴とする非球面計測方法。 - 非球面である被検面に光を照射し、該被検面で反射した光を光学系を介して受光センサに導き、該受光センサからの出力を用いて前記被検面の形状を計測する非球面計測方法であって、
形状の計測が行われた非球面としての基準面を用意するステップと、
前記基準面で反射した光の前記受光センサ上での波面である第1の波面を、前記受光センサからの出力を用いて計測するステップと、
前記光学系のパラメータを用いて、前記基準面で反射した光の前記受光センサ上での波面である第2の波面を演算するステップと、
前記第1の波面と前記第2の波面との回転対称成分の差がより小さくなるように前記光学系の前記パラメータを演算上において変更するパラメータ変更ステップと、
前記基準面で反射した光線の角度分布である第1の光線角度分布を、前記受光センサからの出力を用いて計測するステップと、
前記被検面で反射した光線の角度分布である第2の光線角度分布を、前記受光センサからの出力を用いて計測するステップと、
変更された前記パラメータ、前記第1の光線角度分布および前記第2の光線角度分布を用いて前記光線の追跡演算を行い、該光線の前記基準面との交点および該交点での光線角度を求めるステップと、
前記基準面の前記形状、前記交点および該交点での光線角度を用いて、前記被検面の形状を演算するステップとを有することを特徴とする非球面計測方法。 - 前記パラメータは、前記光学系に含まれる光学素子の面の間隔、該面の曲率半径、該面の形状、該光学素子で発生する収差、該光学素子の材料の屈折率、該光学素子のホモジニティのうち少なくとも1つであることを特徴とする請求項1又は2に記載の非球面計測方法。
- 前記パラメータ変更ステップにおいて、2つ以上の前記パラメータを変更することを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の非球面計測方法。
- 前記パラメータ変更ステップにおいて、変更する前記パラメータとして、該パラメータの変更の前後における前記第1の波面の前記回転対称成分の差の周波数成分が異なるものを選択することを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の非球面計測方法。
- 前記パラメータ変更ステップにおいて、変更する前記パラメータとして、該パラメータの変更の前後における前記第1の波面の前記回転対称成分の差が他の前記パラメータを変更した場合よりも大きいものを選択することを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の非球面計測方法。
- 前記被検面の曲率半径に応じて、前記光学系に含まれる光学素子を、該光学素子とは焦点距離が異なる光学素子に交換することを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載の非球面計測方法。
- 非球面である被検面に光を照射し、該被検面で反射した光を光学系を介して受光センサに導き、該受光センサからの出力を用いて前記被検面の形状を計測する非球面計測装置であって、
形状の計測が行われた非球面としての基準面で反射した光の前記受光センサ上での波面である第1の波面を、前記受光センサからの出力を用いて計測する波面計測部と、
前記光学系のパラメータを用いて、前記基準面で反射した光の前記受光センサ上での波面である第2の波面を演算する波面演算部と、
前記第1の波面と前記第2の波面との回転対称成分の差がより小さくなるように前記光学系の前記パラメータを演算上において変更するパラメータ変更部と、
前記被検面の形状を演算する形状演算部とを有し、
前記形状演算部は、
前記パラメータ変更部により変更された前記パラメータを用いて、前記光学系によって該受光センサに対して共役な関係にあるセンサ共役面上における、前記基準面で反射した光線の位置関係および角度関係をそれぞれ示す位置倍率分布および角度倍率分布のうち少なくとも一方である倍率分布を演算し、
前記基準面で反射した光線の角度分布である第1の光線角度分布および前記被検面で反射した光線の角度分布である第2の光線角度分布を、前記受光センサからの出力を用いて計測し、
前記基準面の前記形状、前記第1の光線角度分布、前記第2の光線角度分布および前記倍率分布を用いて、前記被検面の形状を演算することを特徴とする非球面計測装置。 - 非球面である被検面に光を照射し、該被検面で反射した光を光学系を介して受光センサに導き、該受光センサからの出力を用いて前記被検面の形状を計測する非球面計測装置であって、
形状の計測が行われた非球面としての基準面で反射した光の前記受光センサ上での波面である第1の波面を、前記受光センサからの出力を用いて計測する波面計測部と、
前記光学系のパラメータを用いて、前記基準面で反射した光の前記受光センサ上での波面である第2の波面を演算する波面演算部と、
前記第1の波面と前記第2の波面との回転対称成分の差がより小さくなるように前記光学系の前記パラメータを演算上において変更するパラメータ変更部と、
前記被検面の形状を演算する形状演算部とを有し、
前記形状演算部は、
前記基準面で反射した光線の角度分布である第1の光線角度分布および前記被検面で反射した光線の角度分布である第2の光線角度分布を、前記受光センサからの出力を用いて計測し、
前記パラメータ変更部により変更された前記パラメータ、前記第1の光線角度分布および前記第2の光線角度分布を用いて前記光線の追跡演算を行い、該光線の前記基準面との交点および該交点での光線角度を求め、
前記基準面の前記形状、前記交点および該交点での光線角度を用いて、前記被検面の形状を演算することを特徴とする非球面計測装置。 - 光学素子を加工する加工部と、
請求項1から7のいずれか1項に記載の非球面計測方法により前記光学素子における前記被検面の形状を計測する計測部とを有することを特徴する光学素子加工装置。 - 請求項10に記載の光学素子加工装置を用いて製造されたことを特徴とする光学素子。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012052500A JP5896792B2 (ja) | 2012-03-09 | 2012-03-09 | 非球面計測方法、非球面計測装置および光学素子加工装置 |
US13/789,872 US8947676B2 (en) | 2012-03-09 | 2013-03-08 | Aspheric surface measuring method, aspheric surface measuring apparatus, optical element producing apparatus and optical element |
DE102013004043.4A DE102013004043B4 (de) | 2012-03-09 | 2013-03-08 | Messverfahren für eine asphärische Oberfläche, Messvorrichtung für eine asphärische Oberfläche, Fertigungsvorrichtung für ein optisches Element und optisches Element |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012052500A JP5896792B2 (ja) | 2012-03-09 | 2012-03-09 | 非球面計測方法、非球面計測装置および光学素子加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013186024A true JP2013186024A (ja) | 2013-09-19 |
JP5896792B2 JP5896792B2 (ja) | 2016-03-30 |
Family
ID=49029662
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012052500A Expired - Fee Related JP5896792B2 (ja) | 2012-03-09 | 2012-03-09 | 非球面計測方法、非球面計測装置および光学素子加工装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8947676B2 (ja) |
JP (1) | JP5896792B2 (ja) |
DE (1) | DE102013004043B4 (ja) |
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-
2012
- 2012-03-09 JP JP2012052500A patent/JP5896792B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2013
- 2013-03-08 US US13/789,872 patent/US8947676B2/en not_active Expired - Fee Related
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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R151 | Written notification of patent or utility model registration |
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