CN101852370A - 外观检查用照明装置和外观检查装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及外观检查用照明装置和外观检查装置，所述外观检查用照明装置包括：透射性反射板，由透光材料形成，在中心具有开口，呈以所述开口的中心轴为中心且半径向下逐渐变大的圆顶形状，并具有下表面和位于该下表面相反侧的上表面，所述下表面由形成有漫射并反射来自下方的光的细微凹凸的反射面形成；第一、第二和第三光源单元，用于照射检查对象，设置在所述透射性反射板的上表面上，并布置在位于所述开口下方且经过所述中心轴的位置；和第四光源单元，用于照射所述检查对象，并设置在透射性反射板下方。

Description

外观检查用照明装置和外观检查装置

技术领域

本发明涉及外观检查用照明装置和外观检查装置。

背景技术

人们已经提出了以摄像装置拍摄检查对象并基于所获得的图像来检查检查对象的多种外观检查装置。外观检查装置设置有向检查对象照射照明光的外观检查用照明装置。

作为这种外观检查装置之一，提出了采用所谓光切法(optical cuttingmethod)的外观检查装置，其通过外观检查用照明装置向检查对象投射激光束，同时以激光束扫描检查对象，来进行拍摄，并基于获得的图像数据来获得检查对象的三维图像(见JP-A-2000-193432)。

然而，当使用光切法时，因为外观检查用照明装置在扫描激光束的同时投射激光束，所以存在外观检查装置大型化的缺点。

因此，可以设想使用光度立体法(photometric stereo method，见JP-A-2001-245323)来从通过改变光源相对于检查对象的照射方向所获得的多个图像数据，获得检查对象的三维数据。

这是因为，在光度立体法中，光源相对于检查对象的照射方向只须通过切换多个光源来改变，与扫描激光束的外观检查用照明装置相比，外观检查用照明装置的构造得以简化。

提出了使用光度立体法来进行外观检查的外观检查用照明装置(见JP-A-2005-17234)。

当以这种方法对检查对象进行外观检查时，根据获得图像的方法，具有不同构造的外观检查用照明装置成为必要。

对于例如印刷在电子线路板上的焊膏和安装在电路板上的电子部件等要求严格精度管理的检查对象，只基于三维图像进行外观检查并不足够。需要与基于三维图像的外观检查一起进行基于二维图像的外观检查。

然而，过去，为了进行基于三维图像和二维图像的外观检查必须分别准备用于三维图像的外观检查用照明装置和用于二维图像的外观检查用照明装置。

因此，不利于减少检查所必需的工时和设备成本。

发明内容

因此，希望提供一种外观检查用照明装置和外观检查装置，其有利于减少外观检查所必需的工时和成本，同时能应对使用三维图像和二维图像所进行的多种外观检查。

根据本发明一实施例，提供了一种外观检查用照明装置，其包括：透射性反射板，由透光材料形成，在中心具有开口，呈以所述开口的中心轴为中心且半径向下逐渐变大的圆顶形状，并具有下表面和位于该下表面的相反侧的上表面，所述下表面由反射面形成，该反射面形成有用于漫射并反射来自下方的光的细微凹凸；第一光源单元、第二光源单元和第三光源单元，用于照射检查对象，设置在所述透射性反射板的上表面上，并布置在位于所述开口下方且经过所述中心轴的位置；和第四光源单元，用于照射所述检查对象，并设置在透射性反射板下方，其中：所述第一光源单元包括多个光源，这些光源布置在所述上表面上的以所述中心轴为中心的第一环形区域中，并且从这些光源发出的光穿过所述透射性反射板，并以第一角度与垂直于所述中心轴并通过所述检查对象的虚拟平面相交，以照射所述检查对象；所述第二光源单元包括多个光源，这些光源布置在所述上表面上的以所述中心轴为中心且半径大于第一环形区域的第二环形区域中，并且从这些光源发出的光穿过所述透射性反射板，并以小于所述第一角度的第二角度与所述虚拟平面相交，以照射所述检查对象；所述第三光源单元包括多个光源，这些光源布置在所述上表面上的以所述中心轴为中心且位于所述第一环形区域与所述第二环形区域之间的第三环形区域中，并且从这些光源发出的光穿过所述透射性反射板，并以介于所述第一角度与所述第二角度之间的第三角度与所述虚拟平面相交，以照射所述检查对象；并且所述第四光源单元包括沿所述透射性反射板的外周的下部布置的多个光源，从这些光源发出的光被所述透射性反射板的下表面漫射并反射，以照射所述检查对象。

根据本发明另一实施例，提供了一种外观检查装置，其包括：基台，包括载置检查对象的基台本体和从所述基台本体直立的支柱；摄像装置，被所述支柱支承，并且该摄像装置的摄像光学***的光轴指向下方；透射性反射板，被所述支柱支承，由透光材料形成，在中心具有供所述摄像装置从上方***的开口，呈以所述开口的中心轴为中心且半径向下逐渐变大的圆顶形状，并具有下表面和位于该下表面的相反侧的上表面，所述下表面由反射面形成，该反射面形成有用于漫射并反射来自下方的光的细微凹凸；第一光源单元、第二光源单元和第三光源单元，用于照射检查对象，设置在所述透射性反射板的上表面上，并布置在位于所述开口下方且经过所述中心轴的位置；和第四光源单元，用于照射所述检查对象，并设置在透射性反射板下方，其中：所述第一光源单元包括多个光源，这些光源布置在所述上表面上的以所述中心轴为中心的第一环形区域中，并且从这些光源发出的光穿过所述透射性反射板，并以第一角度与垂直于所述中心轴并通过所述检查对象的虚拟平面相交，以照射所述检查对象；所述第二光源单元包括多个光源，这些光源布置在所述上表面上的以所述中心轴为中心且半径大于第一环形区域的第二环形区域中，并且从这些光源发出的光穿过所述透射性反射板，并以小于所述第一角度的第二角度与所述虚拟平面相交，以照射所述检查对象；所述第三光源单元包括多个光源，这些光源布置在所述上表面上的以所述中心轴为中心且位于所述第一环形区域与所述第二环形区域之间的第三环形区域中，并且从这些光源发出的光穿过所述透射性反射板，并以介于所述第一角度与所述第二角度之间的第三角度与所述虚拟平面相交，以照射所述检查对象；并且所述第四光源单元包括沿所述透射性反射板的外周的下部布置的多个光源，从这些光源发出的光被所述透射性反射板的下表面漫射并反射，以照射所述检查对象。

根据所述实施例，由于第一、第二、第三和第四光源单元被选择使用，所以能够应对通过使用三维图像和二维图像所进行的多种外观检查。因此，本外观检查用照明装置和外观检查装置有利于减少外观检查所必需的工时和成本。

附图说明

图1是本发明一实施例的外观检查用照明装置16的构造的局部剖切透视图；

图2是该实施例的外观检查用照明装置16的构造的截面图；

图3是该实施例的外观检查用照明装置16的构造的俯视图；

图4示出了该实施例的外观检查用照明装置16和外观检查装置10的构造；

图5是印刷线路板402上印刷有焊膏404的状态的俯视图；

图6A是焊膏404的俯视图；

图6B是焊膏404的侧视图。

具体实施方式

下面参考图1～6来描述本发明的一个实施例。

首先，说明该实施例的外观检查用照明装置和外观检查装置。

如图4所示，外观检查装置10包括基台12、摄像装置14、根据本实施例的外观检查用照明装置、图像处理单元18、驱动单元20、控制单元22等。

基台12包括平板状基台本体24和在基台本体24的后部直立的支柱26。

在基台本体24的上表面设置有能够相对于基台本体24在水平面中沿彼此垂直的两个方向移动的XY平台28。

XY平台28的上表面形成为平坦的载置面30。载置面30上载置检查对象2。

摄像装置安装部2602沿上下方向可调节位置地接合至支柱26的上部。

外观检查用照明装置安装部2604沿上下方向可调节位置地接合至支柱26的中间部。

摄像装置14包括长方体状本体1402和从本体1402的前表面突出的圆筒形透镜镜筒1404。

透镜镜筒1404容纳保持有拍摄被摄体图像的摄像光学***1406。

本体1402容纳有拍摄通过摄像光学***1406聚焦的被摄体图像的摄像元件1408、和基于摄像元件1408所生成的摄像信号生成视频信号的信号处理单元1410。

本体1402的一侧安装至摄像装置安装部2602，由此，摄像装置14在摄像光学***1406的光轴L指向下方的情况下得到基台12的支承。处于这种被支承状态的摄像装置14定位在载置面30上方间隔开的位置处。摄像光学***1406的光轴L垂直于载置面30。

因此，当载置在载置面30上的检查对象2的图像被摄像光学***1406聚焦在摄像元件1408上时，摄像元件1408将摄像信号供给至信号处理单元1410。信号处理单元1410生成表示检查对象2的图像的视频信号。

基于控制单元22的控制，图像处理单元18对从信号处理单元1410供给的视频信号施加基于过去的各种公知方法的图像处理，从而生成检查对象2的三维图像数据和二维图像数据。

基于控制单元22的控制，驱动单元20对向外观检查用照明装置16的光源的驱动电流的供给进行控制。

基于从图像处理单元18供给的三维图像数据和二维图像数据，控制单元22根据检查对象2是否满足提前设定的条件来判断检查对象2的质量。控制单元22将判定结果供给至外部装置(未示出)。

该外部装置是例如基于判定结果显示质量的显示装置、或者基于判定结果将检查对象2分为良品或不良品的搬运装置。

下面说明检查对象2。

在本实施例中，如图2和5所示，检查对象2是电子线路板4。

在以下说明中，将如图5所示的通过印刷施加有焊膏404的印刷线路板402作为电子线路板4进行外观检查。

或者，将如图2所示的安装有片状部件406的施加有焊膏404的印刷线路板402作为外观检查对象。

如图5所示，在多数情况下，在印刷线路板402的表面上形成由铜箔制成的布线图案410和由铜箔制成的用于焊接的衬垫412。

印刷线路板402表面上的除衬垫412外的部分覆盖有由绝缘材料制成的抗蚀剂420。

在印刷线路板402的表面上形成有指示布线图案410和衬垫412的基准位置的多个定位标记430。

各定位标记430按如下方式形成。

布线图案410和衬垫412在印刷线路板402上由铜箔432形成。铜箔432残留在形成定位标记430的位置。在形成抗蚀剂420的过程中，在残留的铜箔432的区域的内侧形成由抗蚀剂形成的矩形抗蚀剂部分436。当形成矩形抗蚀剂部分436后，在矩形抗蚀剂部分436的中心形成暴露铜箔432的圆孔434。

因此，形成了矩形抗蚀剂部分436和位于抗蚀剂部分436中心的圆形铜箔部分438。定位标记430由抗蚀剂部分436和铜箔部分438形成。

下面说明本实施例的外观检查用照明装置16。

如图1～3所示，外观检查用照明装置16包括透射性反射板32、盖34、框36、第一光源单元38、第二光源单元40、第三光源单元42、第四光源单元44、第五光源单元46、和漫射板48。

透射性反射板32由透光材料形成，在中心具有开口3202，并呈以开口3202的中心轴3204为中心而半径向下逐渐变大的圆顶形状。

透射性反射板32具有下表面3206和位于下表面3206相反侧的上表面3208。

下表面3206由反射面32A形成，在反射面32A上形成有漫射并反射来自下方的光的细微凹凸。

透射性反射板32的开口3202的部分是向上直立的直立部分3210。

盖34具有位于中心的开口3402，并具有围绕开口3402的由环形平面形成的内周部3404、从内周部3404的外端朝径向方向外侧向下移位的倾斜部3406、和从倾斜部3406的外端垂直设置成圆筒形状的外周部3408。

盖34布置在透射性反射板32上方，并在盖34与透射性反射板32之间形成容纳空间S。

盖34的与透射性反射板32相对的下表面由反射面34A形成。

透射性反射板32的直立部分3210的上端与盖34的内周部3404的内端结合。

透射性反射板32的位于径向方向外侧的外端和盖34的外周部3408的下端被框36支承。

框36呈环形形状，并保持透射性反射板32的外周部和盖34的外周部3408。

在框36中设置有环形板部3602，环形板部3602位于透射性反射板32的外周部的下方，并沿透射性反射板32的外周部延伸。

框36被外观检查用照明装置安装部2604支承(图4)。

开口3202的中心轴3204与摄像装置14的摄像光学***1406的光轴L彼此重合。

如图1～3所示，第一光源单元38包括多个光源3802，这些光源3802布置在上表面3208上的以中心轴3204作为中心的第一环形区域50中。

在第一光源单元38中，从多个光源3802发出的光穿过透射性反射板32，并以第一角度θ1与垂直于中心轴3204且通过检查对象2的虚拟平面相交，以照射检查对象2。

通过检查对象2的虚拟平面是通过印刷线路板402的表面的平面。

所述多个光源3802经由支承构件3804被盖34支承(图1)。

如图1～3所示，第二光源单元40包括多个光源4002，这些光源4002布置在上表面3208上的以中心轴3204作为中心且半径大于第一环形区域50的第二环形区域52中。

在第二光源单元40中，从多个光源4002发出的光穿过透射性反射板32，并以小于第一角度θ1的第二角度θ2与虚拟平面相交，以照射检查对象2。

所述多个光源4002经由支承构件4004被盖34支承。

如图1～3所示，第三光源单元42包括多个光源4202，这些光源4202布置在上表面3208上的以中心轴3204作为中心且位于第一环形区域50与第二环形区域52之间的第三环形区域54中。

在第三光源单元42中，从多个光源4202发出的光穿过透射性反射板32，并以介于第一角度θ1与第二角度θ2之间的第三角度θ3与虚拟平面相交，以照射检查对象2。

第三环形区域54沿圆周方向被分成多个照明区域54A、54B、54C等。

第三光源单元42被驱动单元20将位于照明区域54A、54B、54C等中的多个光源4202中的每一个选择性地打开。

所述多个光源4202经由支承构件4204被盖34支承。

如图1～3所示，第四光源单元44包括沿透射性反射板32的外周的下部布置的多个光源4402。

在第四光源单元44中，从多个光源4402发出的光被透射性反射板32的下表面漫射并反射，以照射检查对象2。

所述多个光源4402被环形板部3602支承。

如图1和2所示，在第四光源单元44下方，在本实施例中为环形板部3602的下方，设置有以中心轴3204作为中心、呈环形形状延伸的半透射性漫射板48。

漫射板48具有与检查对象2相对的前表面4802和位于前表面4802相反侧的后表面4804。

第五光源单元46布置在后表面4804上。因此，如图3所示，第五光源单元46布置在以中心轴3204作为中心的环形区域56中。

第五光源单元46包括布置在环形区域56中的多个光源4602。

环形区域56沿圆周方向被分成多个照明区域56A、56B、56C等。

漫射板48经由框36得到支承。多个光源4602经由支承构件(未示出)被框36支承。

在第五光源单元46中，从多个光源4602发出的光穿过透射性漫射板48，并以大于第三角度θ3的第四角度θ4与虚拟平面相交，以照射检查对象2。

第五光源单元46被驱动单元20将位于照明区域56A、56B、56C等中的多个光源4602中的每一个选择性地打开。

下面说明使用外观检查用照明装置16进行外观检查的操作。

首先，在以下说明中，如图5所示，检查对象2是施加有焊膏404的印刷线路板402。

假定检查对象2被提前载置于载置面30上。

根据控制单元22的控制，从驱动单元20将驱动电流供给至第一光源单元38，由此只打开第一光源单元38。

然后，从第一光源单元38的多个光源3802发出的光穿过透射性反射板32，并以第一角度θ1与垂直于中心轴3204且通过检查对象2的虚拟平面相交，以照射检查对象2。

在该状态下，摄像装置14进行拍摄，并且图像处理单元18生成检查对象2的二维图像数据D1。

然后，关闭第一光源单元38，并根据控制单元22的控制，从驱动单元20将驱动电流供给至第二光源单元40，由此只打开第二光源单元40。

然后，从第二光源单元40的多个光源4002发出的光穿过透射性反射板32，并以第二角度θ2与垂直于中心轴3204且通过检查对象2的虚拟平面相交，以照射检查对象2。

在该状态下，摄像装置14进行拍摄，并且图像处理单元18生成检查对象2的二维图像数据D2。

从第一光源单元38和第二光源单元40发出的光穿过透射性反射板32，发生一定程度的漫射，并变成大致平行的光线来照射检查对象2。

从第一和第二光源单元38、40发出的光的一部分被透射性反射板32的上表面3208反射。反射光再次被盖34的反射面34A朝透射性反射板32反射，并穿过透射性反射板32，以照射检查对象2。该这有利于确保照射检查对象2的光的光量。

当以这种方法获得了通过改变照射检查对象2的光的角度而获得的两个二维图像数据D1、D2时，控制单元22计算这两个二维图像数据D1与D2之间的差异，从而获得检查对象2的表面图像的轮廓。

更具体地说，精确地获得了定位标记430的轮廓、衬垫412的轮廓、和焊膏404的轮廓。

因此，控制单元22参考定位标记430的位置，指定衬垫412的位置。控制单元22判断焊膏404的轮廓相对于所指定的衬垫412的轮廓的位置、或者焊膏404的轮廓的面积是否满足提前设定的检查标准，并将判定结果供给至外部装置(未示出)。

下面说明使用通过将照射检查对象2的光的角度变成第一角度θ1和第二角度θ2而获得的两个二维图像数据D1和D2的原因。

当光以第一角度θ1照射时，由于焊膏404和抗蚀剂420所反射的光量之间的差异小，所以获得焊膏404与抗蚀剂420之间的对比度相对较低的二维图像数据D1。

另一方面，当光以小于第一角度θ1的第二角度θ2照射时，由于焊膏404和抗蚀剂420所反射的光量之间的差异大，所以获得焊膏404与抗蚀剂420之间的对比度相对较高的二维图像数据D2。

计算具有这种对比度差异的两个二维图像数据D1与D2之间的差异，有利于清楚地获得检查对象2的表面图像的轮廓。

相同原理适用于检查安装在焊膏404上的片状部件的场合。具体说，计算两个二维图像数据D1与D2之间的差异，有利于清楚地获得安装在印刷线路板402表面上的片状部件的图像的轮廓。

此外，为了使控制单元22的图像处理所生成的检查对象2的表面图像的轮廓更精确，希望进一步加大摄像装置14所拍摄的检查对象2的图像的对比度。

当施加于检查对象2的表面上的抗蚀剂420是绿色时，如果将红色用作照射检查对象2的表面的光的颜色，则抗蚀剂420的部分拍摄得较暗，而由铜箔形成的衬垫412的部分拍摄得较亮。相似地，定位标记430的抗蚀剂部分436拍摄得较暗，而铜箔部分438拍摄得较亮。

因此，希望通过从第一光源单元38和第二光源单元42照射的光为红色，来确保较大的对比度。

根据控制单元22的控制，从驱动单元20将驱动电流供给至第三光源单元42，由此只打开第三光源单元42。

具体说，第三光源单元42被驱动单元20将位于照明区域54A、54B、54C等中的多个光源4202中的每一个选择性地打开。

然后，从第三光源单元42的多个光源4202发出的光穿过透射性反射板32，并以第三角度θ3与垂直于中心轴3204且通过检查对象2的虚拟平面相交，以照射检查对象2。

每次位于照明区域54A、54B、54C等中的多个光源4202被选择性地打开时，摄像装置14进行拍摄，并且图像处理单元18生成检查对象2的二维图像数据D3。

通过使用过去公知的方法，例如光度立体法，来组合多个二维图像数据D3，由此生成三维图像数据D4。也就是说，生成了在检查对象2的高度方向上具有分量的三维图像数据D4，并且获得了检查对象2的立体形状。

然而，由于位于照明区域54A、54B、54C等中的多个光源4202被选择性地打开，所以在检查对象2中有阴影形成。含有阴影的图像生成为二维图像数据D3。

因此，基于含有阴影的二维图像数据D3所生成的三维图像数据D4包含有误差。

具体说，假定焊膏404的实际立体形状如图6A和6B中的虚线所示。基于含有阴影的二维图像数据D3所生成的三维图像数据D4看起来好像在焊膏404的周围形成了如实线所示的凹部405。

根据控制单元22的控制，从驱动单元20将驱动电流供给至第四光源单元44，由此只打开第四光源单元44。

然后，从第四光源单元44的多个光源4402发出的光被透射性反射板32的下表面漫射和反射，以照射检查对象2。

由于被透射性反射板32的下表面漫射和反射的光从检查对象2的整个周缘照射检查对象2，所以在检查对象2中不会形成阴影。

在该状态下，摄像装置14进行拍摄，并且图像处理单元18生成检查对象2的二维图像数据D5。

控制单元22使用不含阴影的二维图像数据D5来修正三维图像数据D4，从而获得如图6B所示的检查对象2(焊膏404)的精确的三维图像数据D6。

然后，控制单元22判断检查对象2的立体形状是否满足提前设定的检查标准，并将判定结果供给至外部装置(未示出)。

具体说，控制单元22判断焊膏404的量是否过少或过多、或者焊膏404是否分布不均匀(发生印刷模糊)，并将判定结果供给至外部装置(未示出)。

基于检查对象2的高度，当在从第三光源单元42发出的光以第三角度θ3与虚拟平面相交以照射检查对象2的状态下进行拍摄时，可能无法获得具有生成三维图像数据所需的充分信息的二维图像数据。

在该情况下，使用第五光源单元46代替第三光源单元42来照射检查对象2。

具体说，根据控制单元22的控制，从驱动单元20将驱动电流供给至第五光源单元46，由此只打开第五光源单元46。

第五光源单元46被驱动单元20将位于照明区域56A、56B、56C等中的多个光源4602中的每一个选择性地打开。

然后，从第五光源单元46的多个光源4602发出的光穿过漫射板48，并以第四角度θ4与垂直于中心轴3204且通过检查对象2的虚拟平面相交，以照射检查对象2。

每次位于照明区域56A、56B、56C等中的多个光源4602被选择性地打开时，摄像装置14进行拍摄，并且图像处理单元18生成检查对象2的二维图像数据D3。

然后，进行与前述相同的操作。

为了以摄像装置14精确地拍摄检查对象2的表面形状，从第三光源单元42和第五光源单元46发出的光优选为具有短波分量的光。具体说，优选为蓝光，或者优选为包括蓝色波长分量的白光。

这是因为，光的波长分量越短，光越不容易受衍射的影响。

为了以摄像装置14精确地辨别检查对象2的颜色，从第四光源单元44发出的光优选为白光。

这是因为对检查对象2的颜色的辨别使区分检查对象2与除检查对象2外的部分变得容易。

根据本实施例，由于第一、第二、第三和第四光源单元38、40、42和44被选择使用，所以能够应对通过使用三维图像和二维图像所进行的多种外观检查。

因此，不同于过去，不必分别准备用于三维图像的外观检查用照明装置和用于二维图像的外观检查用照明装置。这有利于减少外观检查所必需的工时和成本。

本申请包含2009年3月31日在日本专利局提交的日本优先权专利申请JP2009-085257所涉及的主题，其全部内容通过引用并入本文。

本领域的技术人员应该了解的是，在所附权利要求书或其等同方案的范围内，可根据设计要求和其它因素做出各种修改、组合、子组合和变更。

Claims (8)

1.一种外观检查用照明装置，包括：

透射性反射板，由透光材料形成，在中心具有开口，呈以所述开口的中心轴为中心且半径向下逐渐变大的圆顶形状，并具有下表面和位于该下表面的相反侧的上表面，所述下表面由反射面形成，该反射面形成有用于漫射并反射来自下方的光的细微凹凸；

第一光源单元、第二光源单元和第三光源单元，用于照射检查对象，设置在所述透射性反射板的上表面上，并布置在位于所述开口下方且经过所述中心轴的位置；和

第四光源单元，用于照射所述检查对象，并设置在透射性反射板下方，其中：

所述第一光源单元包括多个光源，这些光源布置在所述上表面上的以所述中心轴为中心的第一环形区域中，并且从这些光源发出的光穿过所述透射性反射板，并以第一角度与垂直于所述中心轴并通过所述检查对象的虚拟平面相交，以照射所述检查对象；

所述第二光源单元包括多个光源，这些光源布置在所述上表面上的以所述中心轴为中心且半径大于第一环形区域的第二环形区域中，并且从这些光源发出的光穿过所述透射性反射板，并以小于所述第一角度的第二角度与所述虚拟平面相交，以照射所述检查对象；

所述第三光源单元包括多个光源，这些光源布置在所述上表面上的以所述中心轴为中心且位于所述第一环形区域与所述第二环形区域之间的第三环形区域中，并且从这些光源发出的光穿过所述透射性反射板，并以介于所述第一角度与所述第二角度之间的第三角度与所述虚拟平面相交，以照射所述检查对象；并且

所述第四光源单元包括沿所述透射性反射板的外周的下部布置的多个光源，从这些光源发出的光被所述透射性反射板的下表面漫射并反射，以照射所述检查对象。

2.如权利要求1所述的外观检查用照明装置，其中，

在所述透射性反射板上方设置有盖，在该盖与所述透射性反射板之间形成有容纳空间，并且

所述第一光源单元、第二光源单元和第三光源单元被所述盖支承，并容纳在所述容纳空间中。

3.如权利要求2所述的外观检查用照明装置，其中，所述盖的与所述透射性反射板相对的下表面由反射面形成。

4.如权利要求1所述的外观检查用照明装置，其中，

在所述透射性反射板上方设置有盖，在该盖与所述透射性反射板之间形成有容纳空间，

设置有保持所述透射性反射板的外周和所述盖的外周的环形框，

在所述框中设置有位于所述透射性反射板的外周的下方并沿所述透射性反射板的外周延伸的环形板部，并且

所述第四光源单元被所述环形板部支承。

5.如权利要求1所述的外观检查用照明装置，其中，

在所述第四光源单元下方设置有以所述中心轴为中心并呈环形形状延伸的半透射性漫射板，

所述漫射板具有与所述检查对象相对的前表面和位于该前表面相反侧的后表面，

在所述后表面上布置有第五光源单元，并且

从所述第五光源单元发出的光穿过所述漫射板，并以小于所述第二角度的第四角度与所述虚拟平面相交，以照射所述检查对象。

6.如权利要求1所述的外观检查用照明装置，其中，

所述第三环形区域沿圆周方向被分成多个照明区域，并且

在所述第三光源单元中，位于各照明区域中的各光源被选择性地打开。

7.如权利要求5所述的外观检查用照明装置，其中，

所述第五光源单元布置成以所述中心轴为中心的环形区域，

该环形区域沿圆周方向被分成多个照明区域，

所述第五光源单元包括布置在该环形区域中的多个光源，并且

在所述第五光源单元中，位于各照明区域中的各光源被选择性地打开。

8.一种外观检查装置，包括：

基台，包括载置检查对象的基台本体和从所述基台本体直立的支柱；

摄像装置，被所述支柱支承，并且该摄像装置的摄像光学***的光轴指向下方；

透射性反射板，被所述支柱支承，由透光材料形成，在中心具有供所述摄像装置从上方***的开口，呈以所述开口的中心轴为中心且半径向下逐渐变大的圆顶形状，并具有下表面和位于该下表面的相反侧的上表面，所述下表面由反射面形成，该反射面形成有用于漫射并反射来自下方的光的细微凹凸；

第一光源单元、第二光源单元和第三光源单元，用于照射检查对象，设置在所述透射性反射板的上表面上，并布置在位于所述开口下方且经过所述中心轴的位置；和

第四光源单元，用于照射所述检查对象，并设置在透射性反射板下方，其中

所述第一光源单元包括多个光源，这些光源布置在所述上表面上的以所述中心轴为中心的第一环形区域中，并且从这些光源发出的光穿过所述透射性反射板，并以第一角度与垂直于所述中心轴并通过所述检查对象的虚拟平面相交，以照射所述检查对象；

所述第二光源单元包括多个光源，这些光源布置在所述上表面上的以所述中心轴为中心且半径大于第一环形区域的第二环形区域中，并且从这些光源发出的光穿过所述透射性反射板，并以小于所述第一角度的第二角度与所述虚拟平面相交，以照射所述检查对象；

所述第三光源单元包括多个光源，这些光源布置在所述上表面上的以所述中心轴为中心且位于所述第一环形区域与所述第二环形区域之间的第三环形区域中，并且从这些光源发出的光穿过所述透射性反射板，并以介于所述第一角度与所述第二角度之间的第三角度与所述虚拟平面相交，以照射所述检查对象；并且

所述第四光源单元包括沿所述透射性反射板的外周的下部布置的多个光源，从这些光源发出的光被所述透射性反射板的下表面漫射并反射，以照射所述检查对象。

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