JP2005017234A - 外観検査方法、外観検査装置及び電子回路基板の製造装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】被検査物が複雑な外観構造のものであっても、比較的簡単な構成で、検査時間が比較的高速で検査できる外観検査方法、外観検査装置及び電子回路基板の製造装置を得ること。
【解決手段】本発明の一実施形態の外観検査方法は、被立体検査物Ojに、その外方の数ヶ所に配設した照明ランプ13A、13E及び照明ランプ13C、13Gから被立体検査物Ojの左右前後の斜め上方からそれぞれ平行光を当て、被立体検査物Ojの上方に配設したビデオカメラ14でその照射面と陰影面とを撮影して第1の平面画像Im1と第2の平面画像Im2を得、それら両平面画像Im1とIm2とを合成して得られた合成平面画像Imの継ぎ目の状態から被立体検査物Ojの良否を検査する方法を採っている。
【選択図】 図3
【解決手段】本発明の一実施形態の外観検査方法は、被立体検査物Ojに、その外方の数ヶ所に配設した照明ランプ13A、13E及び照明ランプ13C、13Gから被立体検査物Ojの左右前後の斜め上方からそれぞれ平行光を当て、被立体検査物Ojの上方に配設したビデオカメラ14でその照射面と陰影面とを撮影して第1の平面画像Im1と第2の平面画像Im2を得、それら両平面画像Im1とIm2とを合成して得られた合成平面画像Imの継ぎ目の状態から被立体検査物Ojの良否を検査する方法を採っている。
【選択図】 図3
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、クリーム半田、部品、半田などの被立体検査物の外観検査を画像処理手法を用いて検査する特徴を備えた外観検査方法、外観検査装置及び電子回路基板の製造装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
通常、従来技術の多くの外観検査装置は、ビデオカメラで撮影した平面画像に高さ情報を加えた3次元画像を用い、いわゆる「光切断法」が用いられている。その一代表例として公開特許公報、特開2000−193432「画像認識による計測方法および装置」を挙げることができる。その外観検査装置及び外観検査方法の概要を図を用いて説明する。
【0003】
図8は従来技術の外観検査装置のブロック図、そして図9は図8に示した外観検査装置の3次元計測の原理を説明する略線図である。
【0004】
これらの図において、レーザプロジェクタ等の投影装置2からレーザ光Lを投影し、ウェーハWの鏡面反射光Laと撮影装置3のカメラの光軸が平行になるように撮像装置3のカメラを設置し、ウェーハ投影線(基準線)Laと半田投影線Lbを撮像可能にする。撮像装置3のカメラで撮優したウェハ投影線Laからの半田投影線Lbのオフセットa(図9)を求め、半田高さをh=a*sinθ/cos(90°−2θ)から求める。このような計測方法を採ることにより、シリコンウエーハバンプの3次元計測を行っている。
【0005】
この他、「光切断法」の原理を用いた外観検査装置が公開されている前記公開特許以外のものとしては特開2000−171409及び特表2002−525606を挙げることができる。
【0006】
【特許文献1】
特開2000−193432(第5〜7頁、図1、図8)
【特許文献2】
特開2000−171409(第1頁、図1)
【特許文献3】
特表2002−525606(第1頁、図1)
【発明が解決しようとする課題】
しかし、クリーム半田、配線基板に搭載された部品など被検査物が複雑な外観構造のものであれば、前記[特許文献2]及び[特許文献3]に開示されているように、光学系や画像処理が複雑になり、また、そのような複雑な構成の「光切断法」技術をクリーム半田の印刷状態、そのクリーム半田上に部品が搭載されている状態、リフロー後の電子回路基板の良否などを検査する「外観検査装置」に用いるためには、検査時間の高速化が困難となるという課題がある。
【0007】
本発明はこのような課題を解決しようとするものであって、クリーム半田の印刷状態、そのクリーム半田上に部品が搭載されている状態、リフロー後の電子回路基板の良否など被検査物が複雑な外観構造のものであっても、比較的簡単な構成で、検査時間が比較的高速で検査できる外観検査方法、外観検査装置及び電子回路基板の製造装置を得ることを目的とするものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】
それ故、前記課題を解決するために、請求項1に記載の本発明の外観検査方法では、被立体検査物に、その外方の数ヶ所に配設した光源から前記被立体検査物の一方の側面に平行光を当て、前記被立体検査物の上方に配設したビデオカメラで前記被立体検査物の照射面と陰影面とを撮影して第1の平面画像を得、同様に前記複数の光源から前記被立体検査物の他方の側面に平行光を当て、前記被立体検査物の上方に配設したビデオカメラで前記被立体検査物の照射面と陰影面とを撮影して第2の平面画像を得、それら両平面画像を合成して得られた合成平面画像の継ぎ目の状態から前記被立体検査物の良否を検査することを特徴とする。
【0009】
そして、請求項2に記載の外観検査方法では、請求項1に記載の外観検査方法における前記被立体検査物が配線基板上に塗布されたクリーム半田であることを特徴とする。
【0010】
また、請求項3に記載の外観検査方法では、請求項1に記載の外観検査方法における前記被立体検査物が配線基板上に塗布されたクリーム半田上に搭載された部品であることを特徴とする。
【0011】
そしてまた、請求項4に記載の外観検査方法では、請求項1に記載の外観検査方法における前記被立体検査物が半田であって、その半田がドーム形或いはそれに近い形状である否かを検査することを特徴とする。
【0012】
更に、請求項5に記載の外観検査方法では、請求項1、請求項2、請求項3、或いは請求項4に記載の外観検査方法における前記被立体検査物が複数個の単位で検査されることを特徴とする。
【0013】
そして更に、請求項6に記載の外観検査装置では、検査しようとする被立体検査物を位置せしめる中心位置からほぼ均等な側方位置に均等な角間隔で配設されている複数の光源と、前記中心位置の上方位置に配設され、前記相対向する複数の前記光源からの平行光で前記被立体検査物を照射し、その結果生じた前記被立体検査物の照射面と陰影面とを撮影して第1の平面画像と前記相対向する複数の前記光源とは異なる角度の光源からの平行光で前記被立体検査物を照射し、その結果生じた前記被立体検査物の照射面と陰影面とを撮影して第2の平面画像とを得る共通のビデオカメラと、前記第1の平面画像と前記第2の平面画像とを記憶する記憶装置と、その記憶装置に接続され、前記前記第1の平面画像と前記第2の平面画像との陰影の差の絶対値を演算する演算装置と、その演算装置に接続され、その演算結果に基づいて前記被立体検査物の良否を判定する判定装置とを備えていることを特徴とする。
【0014】
そして更にまた、請求項7に記載の電子回路基板の製造装置では、検査しようとする被立体検査物を位置せしめる中心位置からほぼ均等な側方位置に均等な角間隔で配設されている複数の光源と、前記中心位置の上方位置に配設され、前記相対向する複数の前記光源からの平行光で前記被立体検査物を照射し、その結果生じた前記被立体検査物の照射面と陰影面とを撮影して第1の平面画像と前記相対向する複数の前記光源とは異なる角度の光源からの平行光で前記被立体検査物を照射し、その結果生じた前記被立体検査物の照射面と陰影面とを撮影して第2の平面画像とを得る共通のビデオカメラと、前記第1の平面画像と前記第2の平面画像とを記憶する記憶装置と、その記憶装置に接続され、前記前記第1の平面画像と前記第2の平面画像との陰影の差の絶対値を演算する演算装置と、その演算装置に接続され、その演算結果に基づいて前記被立体検査物の良否を判定する判定装置とを備えている外観検査装置が、配線基板にクリーム半田印刷装置により印刷されたクリーム半田の外観検査として前記クリーム半田印刷装置の下流に配設されていることを特徴とする。
【0015】
そして更にまた、請求項8に記載の電子回路基板の製造装置では、検査しようとする被立体検査物を位置せしめる中心位置からほぼ均等な側方位置に均等な角間隔で配設されている複数の光源と、前記中心位置の上方位置に配設され、前記相対向する複数の前記光源からの平行光で前記被立体検査物を照射し、その結果生じた前記被立体検査物の照射面と陰影面とを撮影して第1の平面画像と前記相対向する複数の前記光源とは異なる角度の光源からの平行光で前記被立体検査物を照射し、その結果生じた前記被立体検査物の照射面と陰影面とを撮影して第2の平面画像とを得る共通のビデオカメラと、前記第1の平面画像と前記第2の平面画像とを記憶する記憶装置と、その記憶装置に接続され、前記前記第1の平面画像と前記第2の平面画像との陰影の差の絶対値を演算する演算装置と、その演算装置に接続され、その演算結果に基づいて前記被立体検査物の良否を判定する判定装置とを備えている外観検査装置が、配線基板に塗布されたクリーム半田上に部品実装装置により搭載された部品の外観検査として前記部品実装装置の下流に配設されていることを特徴とする。
【0016】
そして更にまた、請求項9に記載の電子回路基板の製造装置では、検査しようとする被立体検査物を位置せしめる中心位置からほぼ均等な側方位置に均等な角間隔で配設されている複数の光源と、前記中心位置の上方位置に配設され、前記相対向する複数の前記光源からの平行光で前記被立体検査物を照射し、その結果生じた前記被立体検査物の照射面と陰影面とを撮影して第1の平面画像と前記相対向する複数の前記光源とは異なる角度の光源からの平行光で前記被立体検査物を照射し、その結果生じた前記被立体検査物の照射面と陰影面とを撮影して第2の平面画像とを得る共通のビデオカメラと、前記第1の平面画像と前記第2の平面画像とを記憶する記憶装置と、その記憶装置に接続され、前記前記第1の平面画像と前記第2の平面画像との陰影の差の絶対値を演算する演算装置と、その演算装置に接続され、その演算結果に基づいて前記被立体検査物の良否を判定する判定装置とを備えている外観検査装置が、配線基板に塗布されたクリーム半田上に搭載されている部品をリフロー装置により加熱、溶融され、そして冷却されて良好に固定されているか否かを検査する外観検査として前記リフロー装置の下流に配設されていることを特徴とする。
【0017】
そして更にまた、請求項10に記載の電子回路基板の製造装置では、請求項6、請求項7、請求項8、或いは請求項9に記載の電子回路基板の製造装置において、前記被立体検査物が複数個の単位で検査されることを特徴とする。
【0018】
従って、本発明の外観検査方法によれば、被立体検査物が複雑な外観構造物であっても容易に外観検査を行うことができる。
【0019】
その被立体検査物としては配線基板上に塗布されたクリーム半田であっても、その配線基板上に塗布されたクリーム半田上に搭載された部品であっても、また、前記被立体検査物が半田であって、その半田がドーム形或いはそれに近い形状であっても検査することが出来る。そして前記被立体検査物が複数個の単位で検査できることから比較的短時間で検査することができる。
【0020】
また、本発明の外観検査装置によれば、簡単な構成で複数の画像の合成画像ができ、その結果から被立体検査物の有無、良否などを検査することができる。
【0021】
その被立体検査物としては配線基板上に塗布されたクリーム半田であっても、その配線基板上に塗布されたクリーム半田上に搭載された部品であっても、また、前記被立体検査物が半田であって、その半田がドーム形或いはそれに近い形状であっても検査することができる。
【0022】
更に、本発明の電子回路基板の製造装置によれば、電子回路基板の製造工程におけるクリーム半田の印刷工程の下流に、また、同じく部品搭載工程の下流に、或いはリフロー炉の下流に、本発明の外観検査装置を配設することにより、信頼性の高い電子回路基板を製造することができる。
【0023】
【発明の実施の形態】
以下、図を用いて、本発明の一実施形態の外観検査方法、外観検査装置及び電子回路基板の製造装置を説明する。
【0024】
図1は電極パッドにクリーム半田が印刷された一部の配線基板の斜視図、図2はチップ部品を搭載した状態の電子回路基板の斜視図、図3は本発明の外観検査装置の概念斜視図、図4はリフロー炉で加熱した後の電子回路基板の良否を検査する本発明の外観検査方法を説明するための斜視図、図5は本発明の外観検査方法及び外観検査装置の動作を説明するための説明図、図6は図3に示した本発明の外観検査装置へのティーチングのフローチャート、そして図7は図3に示した本発明の外観検査装置の動作フローチャートである。
【0025】
なお、以下の説明では、配線基板に部品を半田付けして電子回路基板を製造する製造方法を一例として採り上げて説明するが、本発明の外観検査方法及び外観検査装置は電子回路基板の外観検査のみに限定されるものではなく、電子部品そのも、機械部品、容器類、金属材などの外観検査にも応用できることを予め断っておく。
【0026】
先ず、図1、図2及び図4を用いて電子回路基板を簡単に説明する。
【0027】
電子回路基板は、部品を接続する配線回路を基板上に形成する配線基板の形成工程、この工程に続いて配線基板上の部品を半田付けする電極パッドにスクリーン印刷法などでクリーム半田を印刷するクリーム半田印刷工程、この工程に続いてクリーム半田が印刷されている電極に部品を搭載する部品実装工程、続いて部品が搭載された配線基板をリフロー炉に投入してクリーム半田を溶融し、そして冷却して半田付けする半田付け工程からなる製造工程を経て得られる。
【0028】
図2にリフロー炉に投入される前の状態の電子回路基板Cを示した。この電子回路基板Cは、前記のように、図1に示したプリント配線基板のような配線基板Bを基に製作される。配線基板Bには別工程で電極パッドDが所定の数、所定の配列で配線(不図示)と共に形成されているものである。そして各電極パッドD上にはクリーム半田印刷工程で、スクリーン印刷法を用いてクリーム半田Saが印刷されている。印刷に用いたマスク(不図示)を配線基板Bから外すと、多くの電極パッドD上に塗布された殆どのクリーム半田Saは、図1に示したように、角がだれて全体の形状としてはほぼドーム型となる。
【0029】
次に、部品実装工程で、前記のような配線基板Bのクリーム半田Sが印刷された電極パッドDに、例えば、両端部に電極dが形成されているチップ抵抗、チップコンデンサのようなチップ部品Pを部品実装装置(不図示)を用いて搭載する。その状態を示したのが図2に示した電子回路基板Cである。
【0030】
次に、半田付け工程で、このようにチップ部品Pが搭載された配線基板Bをリフロー炉(不図示)に投入し、所定の時間、所定の温度で加熱すると、クリーム半田Saが溶融し、その冷却後、チップ部品Pの両端部の電極dが電極パッドDに半田付けされ、固定される。
【0031】
前記のように、クリーム半田Saが印刷されて部品実装装置によるチップ部品Pの配線基板Bへの搭載の時に、チップ部品Pが電極パッドDに搭載されていない場合には不良品となる。そのような不良品が次工程に搬送されることは絶対に避けなければならない。
【0032】
本発明の一目的はそのようなチップ部品Pの搭載されていない電子回路基板Pを未然に発見し、製造ラインから排除することである。その目的のために、本発明では、前記のようなチップ部品Pの搭載されていない配線基板Bをリフロー炉に投入すると、クリーム半田Saが溶融して、その表面張力によりドーム状に盛り上がる。また、チップ部品Pが電極パッドDに対して許容範囲を超えた角度で搭載された配線基板Bをリフロー炉に投入すると、その搭載の姿勢が悪いチップ部品Pはリフロー炉で加熱される時に、溶融したクリーム半田の張力で跳ね飛ばされたり、立ち上がり、チップ部品Pが飛ばされた場合はクリーム半田Saだけが溶融して、その表面張力によりドーム状に盛り上がり、チップ部品Pが立ち上がった場合は、その状態で半田付けされてしまう。ドーム状に盛り上がった半田Sの高さは電極パッドDの面積やクリーム半田Saの量により高くもなり低くもなるが、本発明ではそのようなドーム形状の固まった半田Sの有無を検出して、電子回路基板C上に所望のチップ部品Pが実装されているか否かを検査しようとする外観検査方法を提供しようとするものである。
【0033】
以下、図3乃至図7を用いて、本発明によるチップ部品Pが配線基板Bに搭載されているか否かを検査するための外観検査装置及びそれを用いた外観検査方法を説明する。
【0034】
図3において、符号10は本発明の一実施形態の外観検査装置を指す。この外観検査装置10は、支持基板11、照明ランプ13、ビデオカメラ14、記憶装置(画像メモリ、メモリ、ハードディスクなど)17、処理装置(CPU)18、制御装置19、表示装置20、及びXYテーブル30などから構成されている。
【0035】
支持基板11はその中央部に開口12が形成された、ほぼ八角形の基板で、その外周辺に8個の光源である照明ランプ13A、13B、13C、13D、13E、13F、13G、13Hが環状に、そして仰角が調整できる構造で取り付けられている。これらの照明ランプ13A、13B、13C、13D、13E、13F、13G、13Hは相対向するものが点灯して被立体検査物Ojの斜め上方から平行光を照射できるように構成されている。
【0036】
ビデオカメラ14は特定の組合せの照明ランプ13で照射された被立体検査物Ojの平面画像を撮影するもので、対物レンズ部15と本体16とから構成されており、対物レンズ部15は支持基板11の開口12に差し込まれて、その下方に配置されており、本体16は支持基板11の上方に配置され、支持されている。
【0037】
記憶装置17はこのビデオカメラ14の出力側に接続されていて、ビデオカメラ14で撮影した被立体検査物の画像をストアする装置である。
【0038】
処理装置(CPU)18は記憶装置17にストアされた画像を読み出して画像処理により2次元演算を行う処理ソフトウェアを内蔵している。
【0039】
制御装置19は処理装置(CPU)18の演算結果に基づいて本外観検査装置10の動作を制御する。
【0040】
表示装置20は画像及び演算結果を表示し、演算結果などの結果が不可の場合に警報ランプ、警報音などで作業者に報知する。
【0041】
XYテーブル30は電子回路基板Cを載置、固定し、X軸方向及びY軸方向に図示していない駆動装置により微細に調整されながら移動する。
【0042】
次に、本発明の外観検査装置10を用いて電子回路基板Cの良否の外観検査方法を説明する。
【0043】
先ず、外観検査装置10の処理装置(CPU)18に予め検査しようとする電子回路基板Cの配線基板B上の対向するコーナに付されている認識マークMa、Mb(図3)の座標を入力し(図6のステップS1)、続いて配線基板B上に存在する各部品Pの座標(位置)を入力し(ステップS2)、次に、下記の[数1]を含むプログラムを入力して(ステップS3)ティーチングしておく。
【0044】
【数1】
【0045】
次に、図7に示したように、検査しようとする電子回路基板Cを搬送装置で外観検査装置10のXYテーブル30上に載置、固定し(ステップS11)、XYテーブル30を移動させて、図示していないカメラの下に電子回路基板Cを移動させ(ステップS12)、その電子回路基板C上の認識マークMa、Mbの位置を処理装置(CPU)18に認識させる(ステップS13)。
【0046】
なお、この電子回路基板Cの一部分の配線基板B上には、図4Aに略線図で示したように、何らかの原因でチップ部品Pが搭載されておらず、そのままリフロー炉に投入されたクリーム半田Saのみが溶融、凝固した状態の半田Sが形成されている。そして図3の鎖線で示した部分の複数個のドーム状半田Sを1検査単位とした被立体検査物Ojである。
【0047】
次に、このような被立体検査物Ojの左右から図3に示した照明ランプ13Aと照明ランプ13Eのみを点灯させて照明し、ビデオカメラ14で記憶装置17にストアする(ステップS14)。この照明の当てる角度を照明パターンLRとする。
【0048】
これら照明ランプ13Aと照明ランプ13Eの照明により、表面が鏡面状態の各半田Sは照明された左右部分S1は光がほぼ全反射して最も明るく、照明されなかった前後部分S2には陰が生じる。1個の半田Sを照明パターンLRで照明して断面図で示したのが図5Aである。なお、図5は被立体検査物Ojの内の1個の半田Sを採り上げて説明図としたものである。そしてこの明暗の生じた被立体検査物Ojの一つであるドーム型半田Sの画像を上方からビデオカメラ14で撮影し、その画像Im1(図5B)を記憶装置17にストアする。
【0049】
続いて、図3に示した外観検査装置10の照明ランプ13Cと照明ランプ13Gのみを点灯し、被立体検査物Ojを前後から照明する。この照明の当てる角度を照明パターンFBとする。この照明により各半田Sは照明された前後部分S1は光がほぼ全反射して最も明るく、照明されなかった左右部分S2には陰が生じる。この明暗の生じた被立体検査物Ojの他の一つであるドーム型半田Sの画像を上方からビデオカメラ14で撮影し、その画像Im2(図5C)を記憶装置17にストアする(ステップS15)。
【0050】
次に、処理装置(CPU)18において、[数1]に基づいて、画像データIm1及び画像データIm2の差の絶対値を演算し、合成画像Imを得る。この合成画像を図5Fに示した(ステップS16)。
【0051】
この演算の原理を図5D及び図5Eで示した。図5Bの画像Im1と図5Cの画像Im2との同一画素部分を全て前記[数1]に基づいて演算すれば図5Eのようなプロファイルが得られ、それらを平面的に表せば図5Fのような合成画像Imが得られるのである。
【0052】
なお、図5B及び図5Cにおいて実線で囲った部分S1は最も明るい部分であり、その実線部分と点線部分との間は徐々に明るさが暗くなる部分であり、そしてハッチングを施した部分S2は陰の部分を示したものである。この陰の部分S2も暗さが徐々に暗くなる。
【0053】
この放射状に描かれた「帯状の陰」がドーム型半田S(立体形状)の認識に有効な情報となる。この放射状の「帯状の陰」ができる原理は、2パターンで撮影された画像の輝度差が「帯」の位置で少なくなっていて、[数1]で差を取ることで作られる。
【0054】
前記合成画像Imはクリーム半田Saが正常に印刷されて、かつチップ部品Pが搭載されておらず、それ故、そのクリーム半田Saのみが加熱溶融、冷却された時に、半田Sが理想的なドーム型となった場合の画像であることから、この合成画像Imが得られた場合は、制御装置19に指令が発せられ、制御装置19は外観検査装置10のを停止させ、必要に応じてこの不良の電子回路基板Cを製造ラインから排出する。同時にその表示装置20で異常を警告ランプ、警報音で作業者に報知する。また、合成画像Imをモニターに映出させる(ステップS18)。
【0055】
図5Fに示した合成画像Imは半田Sが理想的なドーム型をしている場合であって、クリーム半田Saの印刷状態によっては形状が変化する。
【0056】
そしてまた、前記したが、クリーム半田Saの印刷が不良か、チップ部品Pの搭載が不良であった場合、チップ部品Pが起立した状態になることがあり、このような場合も画像認識されて、その電子回路基板Cは半田付け不良として半田付けラインから除外される。
【0057】
また、チップ部品Pが搭載されていて、正常に半田付けされている場合は目視で見た場合と同様の画像がビデオカメラ14によりモニター上に映出される。このような映像が得られた場合は、この電子回路基板Cは正常なものとして認識され、次工程に搬出される(ステップS19)。
【0058】
以上のような各ステップを踏んで被立体検査物Ojの範囲ずつ検査されながら電子回路基板C全体を検査する。
【0059】
照明パターンは前記のような「左右前後」の4方向に限定するものではなく、8方向など、より多くのパターンを行うことで、「帯状の陰」の本数を増やすことができる。
【0060】
以上、説明したように、本発明の外観検査方法は画像処理技術を用いて、チップ部品Pが配線基板B上の所定の位置に良好に半田付けされているか否かを、即ち、電子回路基板Cは良好に製造されているか否かを検査することができた。
【0061】
前記の例は、リフロー炉でクリーム半田Saを加熱溶融し、冷却して電子回路基板C上に部品が正常に半田付けされているか否かの検査を行う場合の外観検査方法及び外観検査装置10として説明したが、本発明の外観検査方法及び外観検査装置10はクリーム半田Saが配線基板Bの電極パッドD上などに正常に印刷されているか否かを検査することが出来る。この検査の場合も、クリーム半田Saの塗布工程の下流に本発明の外観検査装置10を配設し、クリーム半田Saに左右前後から照明を当てることによって良否の検査を行うことができる。クリーム半田Saの印刷が不良の場合は電子回路基板の製造工程を止め、その外観検査装置10から配線基板Bを排出する。この場合の良否検査は印刷された部品の搭印刷形状を画像処理することによって行われる。
【0062】
また、部品実装装置により配線基板B上のクリーム半田Sa上に部品が正常に搭載されているか否かも検査することができる。この検査の場合は、部品実装工程の下流に本発明の外観検査装置10を配設し、部品に左右前後から照明を当てることによって良否の検査を行うことができる。部品の搭載が不良の場合は、同様に電子回路基板の製造工程を止め、その外観検査装置10から配線基板Bを排出する。この場合の良否検査は搭載された部品の搭載姿勢を画像処理することによって行われる。
【0063】
更に、前記の例では、被立体検査物Ojとして1個のドーム型半田Sを採り上げて説明したが、実際には、図3に示したように、符号Ojの点線で囲った範囲内には複数個のチップ部品Pが含まれており、この範囲は、通常、直径1cm程度であって、外観検査装置10に予めプログラムされた順序で電子回路基板が検査されるものである。
【0064】
更にまた、前記の例では部品としてチップ部品Pを採り上げて説明したが、本発明は冒頭で記したようにこのチップ部品のみに限定されるものではないことを付言しておく。
【0065】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、
1.安価な構成で立体物の形状を認識することができる
2.画像処理に要する負荷が軽いため、高速で処理することができる
3.自動で検査を行う場合、立体表現が簡素なため、「判定」アルゴリズムを簡単に作成することができる
など、数々の優れた効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】電極パッドにクリーム半田が印刷された一部の配線基板の斜視図電子回路基板或る。
【図2】チップ部品を搭載した状態の電子回路基板の斜視図電子回路基板ある。
【図3】本発明の外観検査装置の概念斜視図である。
【図4】リフロー炉で加熱した後の電子回路基板の良否を検査する本発明の外観検査方法を説明するための斜視図である。
【図5】本発明の外観検査方法及び外観検査装置の動作を説明するための説明図である。
【図6】図3に示した本発明の外観検査装置へのティーチングのフローチャートである。
【図7】図3に示した本発明の外観検査装置の動作フローチャートである。
【図8】従来技術の外観検査装置のブロック図である。
【図9】図8に示した外観検査装置の3次元計測の原理を説明する略線図である。
【符号の説明】
10…本発明の一実施形態の外観検査装置、11…支持基板、12…支持基板11の開口、13A,13B,13C,13D,13E,13F,13G,13H…照明ランプ、14…ビデオカメラ、15…対物レンズ部、16…ビデオカメラ14の本体、17…記憶装置、18…処理装置(CPU)、19…制御装置、20…表示装置、30…XYテーブル、B…配線基板、C…電子回路基板、D…電極パッド、P…部品(チップ部品)、d…チップ部品Pの電極、Oj…被立体検査物、Ma,Mb…認識マーク、S…半田、Sa…電極パッドD上に印刷されたクリーム半田
【発明の属する技術分野】
本発明は、クリーム半田、部品、半田などの被立体検査物の外観検査を画像処理手法を用いて検査する特徴を備えた外観検査方法、外観検査装置及び電子回路基板の製造装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
通常、従来技術の多くの外観検査装置は、ビデオカメラで撮影した平面画像に高さ情報を加えた3次元画像を用い、いわゆる「光切断法」が用いられている。その一代表例として公開特許公報、特開2000−193432「画像認識による計測方法および装置」を挙げることができる。その外観検査装置及び外観検査方法の概要を図を用いて説明する。
【0003】
図8は従来技術の外観検査装置のブロック図、そして図9は図8に示した外観検査装置の3次元計測の原理を説明する略線図である。
【0004】
これらの図において、レーザプロジェクタ等の投影装置2からレーザ光Lを投影し、ウェーハWの鏡面反射光Laと撮影装置3のカメラの光軸が平行になるように撮像装置3のカメラを設置し、ウェーハ投影線(基準線)Laと半田投影線Lbを撮像可能にする。撮像装置3のカメラで撮優したウェハ投影線Laからの半田投影線Lbのオフセットa(図9)を求め、半田高さをh=a*sinθ/cos(90°−2θ)から求める。このような計測方法を採ることにより、シリコンウエーハバンプの3次元計測を行っている。
【0005】
この他、「光切断法」の原理を用いた外観検査装置が公開されている前記公開特許以外のものとしては特開2000−171409及び特表2002−525606を挙げることができる。
【0006】
【特許文献1】
特開2000−193432(第5〜7頁、図1、図8)
【特許文献2】
特開2000−171409(第1頁、図1)
【特許文献3】
特表2002−525606(第1頁、図1)
【発明が解決しようとする課題】
しかし、クリーム半田、配線基板に搭載された部品など被検査物が複雑な外観構造のものであれば、前記[特許文献2]及び[特許文献3]に開示されているように、光学系や画像処理が複雑になり、また、そのような複雑な構成の「光切断法」技術をクリーム半田の印刷状態、そのクリーム半田上に部品が搭載されている状態、リフロー後の電子回路基板の良否などを検査する「外観検査装置」に用いるためには、検査時間の高速化が困難となるという課題がある。
【0007】
本発明はこのような課題を解決しようとするものであって、クリーム半田の印刷状態、そのクリーム半田上に部品が搭載されている状態、リフロー後の電子回路基板の良否など被検査物が複雑な外観構造のものであっても、比較的簡単な構成で、検査時間が比較的高速で検査できる外観検査方法、外観検査装置及び電子回路基板の製造装置を得ることを目的とするものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】
それ故、前記課題を解決するために、請求項1に記載の本発明の外観検査方法では、被立体検査物に、その外方の数ヶ所に配設した光源から前記被立体検査物の一方の側面に平行光を当て、前記被立体検査物の上方に配設したビデオカメラで前記被立体検査物の照射面と陰影面とを撮影して第1の平面画像を得、同様に前記複数の光源から前記被立体検査物の他方の側面に平行光を当て、前記被立体検査物の上方に配設したビデオカメラで前記被立体検査物の照射面と陰影面とを撮影して第2の平面画像を得、それら両平面画像を合成して得られた合成平面画像の継ぎ目の状態から前記被立体検査物の良否を検査することを特徴とする。
【0009】
そして、請求項2に記載の外観検査方法では、請求項1に記載の外観検査方法における前記被立体検査物が配線基板上に塗布されたクリーム半田であることを特徴とする。
【0010】
また、請求項3に記載の外観検査方法では、請求項1に記載の外観検査方法における前記被立体検査物が配線基板上に塗布されたクリーム半田上に搭載された部品であることを特徴とする。
【0011】
そしてまた、請求項4に記載の外観検査方法では、請求項1に記載の外観検査方法における前記被立体検査物が半田であって、その半田がドーム形或いはそれに近い形状である否かを検査することを特徴とする。
【0012】
更に、請求項5に記載の外観検査方法では、請求項1、請求項2、請求項3、或いは請求項4に記載の外観検査方法における前記被立体検査物が複数個の単位で検査されることを特徴とする。
【0013】
そして更に、請求項6に記載の外観検査装置では、検査しようとする被立体検査物を位置せしめる中心位置からほぼ均等な側方位置に均等な角間隔で配設されている複数の光源と、前記中心位置の上方位置に配設され、前記相対向する複数の前記光源からの平行光で前記被立体検査物を照射し、その結果生じた前記被立体検査物の照射面と陰影面とを撮影して第1の平面画像と前記相対向する複数の前記光源とは異なる角度の光源からの平行光で前記被立体検査物を照射し、その結果生じた前記被立体検査物の照射面と陰影面とを撮影して第2の平面画像とを得る共通のビデオカメラと、前記第1の平面画像と前記第2の平面画像とを記憶する記憶装置と、その記憶装置に接続され、前記前記第1の平面画像と前記第2の平面画像との陰影の差の絶対値を演算する演算装置と、その演算装置に接続され、その演算結果に基づいて前記被立体検査物の良否を判定する判定装置とを備えていることを特徴とする。
【0014】
そして更にまた、請求項7に記載の電子回路基板の製造装置では、検査しようとする被立体検査物を位置せしめる中心位置からほぼ均等な側方位置に均等な角間隔で配設されている複数の光源と、前記中心位置の上方位置に配設され、前記相対向する複数の前記光源からの平行光で前記被立体検査物を照射し、その結果生じた前記被立体検査物の照射面と陰影面とを撮影して第1の平面画像と前記相対向する複数の前記光源とは異なる角度の光源からの平行光で前記被立体検査物を照射し、その結果生じた前記被立体検査物の照射面と陰影面とを撮影して第2の平面画像とを得る共通のビデオカメラと、前記第1の平面画像と前記第2の平面画像とを記憶する記憶装置と、その記憶装置に接続され、前記前記第1の平面画像と前記第2の平面画像との陰影の差の絶対値を演算する演算装置と、その演算装置に接続され、その演算結果に基づいて前記被立体検査物の良否を判定する判定装置とを備えている外観検査装置が、配線基板にクリーム半田印刷装置により印刷されたクリーム半田の外観検査として前記クリーム半田印刷装置の下流に配設されていることを特徴とする。
【0015】
そして更にまた、請求項8に記載の電子回路基板の製造装置では、検査しようとする被立体検査物を位置せしめる中心位置からほぼ均等な側方位置に均等な角間隔で配設されている複数の光源と、前記中心位置の上方位置に配設され、前記相対向する複数の前記光源からの平行光で前記被立体検査物を照射し、その結果生じた前記被立体検査物の照射面と陰影面とを撮影して第1の平面画像と前記相対向する複数の前記光源とは異なる角度の光源からの平行光で前記被立体検査物を照射し、その結果生じた前記被立体検査物の照射面と陰影面とを撮影して第2の平面画像とを得る共通のビデオカメラと、前記第1の平面画像と前記第2の平面画像とを記憶する記憶装置と、その記憶装置に接続され、前記前記第1の平面画像と前記第2の平面画像との陰影の差の絶対値を演算する演算装置と、その演算装置に接続され、その演算結果に基づいて前記被立体検査物の良否を判定する判定装置とを備えている外観検査装置が、配線基板に塗布されたクリーム半田上に部品実装装置により搭載された部品の外観検査として前記部品実装装置の下流に配設されていることを特徴とする。
【0016】
そして更にまた、請求項9に記載の電子回路基板の製造装置では、検査しようとする被立体検査物を位置せしめる中心位置からほぼ均等な側方位置に均等な角間隔で配設されている複数の光源と、前記中心位置の上方位置に配設され、前記相対向する複数の前記光源からの平行光で前記被立体検査物を照射し、その結果生じた前記被立体検査物の照射面と陰影面とを撮影して第1の平面画像と前記相対向する複数の前記光源とは異なる角度の光源からの平行光で前記被立体検査物を照射し、その結果生じた前記被立体検査物の照射面と陰影面とを撮影して第2の平面画像とを得る共通のビデオカメラと、前記第1の平面画像と前記第2の平面画像とを記憶する記憶装置と、その記憶装置に接続され、前記前記第1の平面画像と前記第2の平面画像との陰影の差の絶対値を演算する演算装置と、その演算装置に接続され、その演算結果に基づいて前記被立体検査物の良否を判定する判定装置とを備えている外観検査装置が、配線基板に塗布されたクリーム半田上に搭載されている部品をリフロー装置により加熱、溶融され、そして冷却されて良好に固定されているか否かを検査する外観検査として前記リフロー装置の下流に配設されていることを特徴とする。
【0017】
そして更にまた、請求項10に記載の電子回路基板の製造装置では、請求項6、請求項7、請求項8、或いは請求項9に記載の電子回路基板の製造装置において、前記被立体検査物が複数個の単位で検査されることを特徴とする。
【0018】
従って、本発明の外観検査方法によれば、被立体検査物が複雑な外観構造物であっても容易に外観検査を行うことができる。
【0019】
その被立体検査物としては配線基板上に塗布されたクリーム半田であっても、その配線基板上に塗布されたクリーム半田上に搭載された部品であっても、また、前記被立体検査物が半田であって、その半田がドーム形或いはそれに近い形状であっても検査することが出来る。そして前記被立体検査物が複数個の単位で検査できることから比較的短時間で検査することができる。
【0020】
また、本発明の外観検査装置によれば、簡単な構成で複数の画像の合成画像ができ、その結果から被立体検査物の有無、良否などを検査することができる。
【0021】
その被立体検査物としては配線基板上に塗布されたクリーム半田であっても、その配線基板上に塗布されたクリーム半田上に搭載された部品であっても、また、前記被立体検査物が半田であって、その半田がドーム形或いはそれに近い形状であっても検査することができる。
【0022】
更に、本発明の電子回路基板の製造装置によれば、電子回路基板の製造工程におけるクリーム半田の印刷工程の下流に、また、同じく部品搭載工程の下流に、或いはリフロー炉の下流に、本発明の外観検査装置を配設することにより、信頼性の高い電子回路基板を製造することができる。
【0023】
【発明の実施の形態】
以下、図を用いて、本発明の一実施形態の外観検査方法、外観検査装置及び電子回路基板の製造装置を説明する。
【0024】
図1は電極パッドにクリーム半田が印刷された一部の配線基板の斜視図、図2はチップ部品を搭載した状態の電子回路基板の斜視図、図3は本発明の外観検査装置の概念斜視図、図4はリフロー炉で加熱した後の電子回路基板の良否を検査する本発明の外観検査方法を説明するための斜視図、図5は本発明の外観検査方法及び外観検査装置の動作を説明するための説明図、図6は図3に示した本発明の外観検査装置へのティーチングのフローチャート、そして図7は図3に示した本発明の外観検査装置の動作フローチャートである。
【0025】
なお、以下の説明では、配線基板に部品を半田付けして電子回路基板を製造する製造方法を一例として採り上げて説明するが、本発明の外観検査方法及び外観検査装置は電子回路基板の外観検査のみに限定されるものではなく、電子部品そのも、機械部品、容器類、金属材などの外観検査にも応用できることを予め断っておく。
【0026】
先ず、図1、図2及び図4を用いて電子回路基板を簡単に説明する。
【0027】
電子回路基板は、部品を接続する配線回路を基板上に形成する配線基板の形成工程、この工程に続いて配線基板上の部品を半田付けする電極パッドにスクリーン印刷法などでクリーム半田を印刷するクリーム半田印刷工程、この工程に続いてクリーム半田が印刷されている電極に部品を搭載する部品実装工程、続いて部品が搭載された配線基板をリフロー炉に投入してクリーム半田を溶融し、そして冷却して半田付けする半田付け工程からなる製造工程を経て得られる。
【0028】
図2にリフロー炉に投入される前の状態の電子回路基板Cを示した。この電子回路基板Cは、前記のように、図1に示したプリント配線基板のような配線基板Bを基に製作される。配線基板Bには別工程で電極パッドDが所定の数、所定の配列で配線(不図示)と共に形成されているものである。そして各電極パッドD上にはクリーム半田印刷工程で、スクリーン印刷法を用いてクリーム半田Saが印刷されている。印刷に用いたマスク(不図示)を配線基板Bから外すと、多くの電極パッドD上に塗布された殆どのクリーム半田Saは、図1に示したように、角がだれて全体の形状としてはほぼドーム型となる。
【0029】
次に、部品実装工程で、前記のような配線基板Bのクリーム半田Sが印刷された電極パッドDに、例えば、両端部に電極dが形成されているチップ抵抗、チップコンデンサのようなチップ部品Pを部品実装装置(不図示)を用いて搭載する。その状態を示したのが図2に示した電子回路基板Cである。
【0030】
次に、半田付け工程で、このようにチップ部品Pが搭載された配線基板Bをリフロー炉(不図示)に投入し、所定の時間、所定の温度で加熱すると、クリーム半田Saが溶融し、その冷却後、チップ部品Pの両端部の電極dが電極パッドDに半田付けされ、固定される。
【0031】
前記のように、クリーム半田Saが印刷されて部品実装装置によるチップ部品Pの配線基板Bへの搭載の時に、チップ部品Pが電極パッドDに搭載されていない場合には不良品となる。そのような不良品が次工程に搬送されることは絶対に避けなければならない。
【0032】
本発明の一目的はそのようなチップ部品Pの搭載されていない電子回路基板Pを未然に発見し、製造ラインから排除することである。その目的のために、本発明では、前記のようなチップ部品Pの搭載されていない配線基板Bをリフロー炉に投入すると、クリーム半田Saが溶融して、その表面張力によりドーム状に盛り上がる。また、チップ部品Pが電極パッドDに対して許容範囲を超えた角度で搭載された配線基板Bをリフロー炉に投入すると、その搭載の姿勢が悪いチップ部品Pはリフロー炉で加熱される時に、溶融したクリーム半田の張力で跳ね飛ばされたり、立ち上がり、チップ部品Pが飛ばされた場合はクリーム半田Saだけが溶融して、その表面張力によりドーム状に盛り上がり、チップ部品Pが立ち上がった場合は、その状態で半田付けされてしまう。ドーム状に盛り上がった半田Sの高さは電極パッドDの面積やクリーム半田Saの量により高くもなり低くもなるが、本発明ではそのようなドーム形状の固まった半田Sの有無を検出して、電子回路基板C上に所望のチップ部品Pが実装されているか否かを検査しようとする外観検査方法を提供しようとするものである。
【0033】
以下、図3乃至図7を用いて、本発明によるチップ部品Pが配線基板Bに搭載されているか否かを検査するための外観検査装置及びそれを用いた外観検査方法を説明する。
【0034】
図3において、符号10は本発明の一実施形態の外観検査装置を指す。この外観検査装置10は、支持基板11、照明ランプ13、ビデオカメラ14、記憶装置(画像メモリ、メモリ、ハードディスクなど)17、処理装置(CPU)18、制御装置19、表示装置20、及びXYテーブル30などから構成されている。
【0035】
支持基板11はその中央部に開口12が形成された、ほぼ八角形の基板で、その外周辺に8個の光源である照明ランプ13A、13B、13C、13D、13E、13F、13G、13Hが環状に、そして仰角が調整できる構造で取り付けられている。これらの照明ランプ13A、13B、13C、13D、13E、13F、13G、13Hは相対向するものが点灯して被立体検査物Ojの斜め上方から平行光を照射できるように構成されている。
【0036】
ビデオカメラ14は特定の組合せの照明ランプ13で照射された被立体検査物Ojの平面画像を撮影するもので、対物レンズ部15と本体16とから構成されており、対物レンズ部15は支持基板11の開口12に差し込まれて、その下方に配置されており、本体16は支持基板11の上方に配置され、支持されている。
【0037】
記憶装置17はこのビデオカメラ14の出力側に接続されていて、ビデオカメラ14で撮影した被立体検査物の画像をストアする装置である。
【0038】
処理装置(CPU)18は記憶装置17にストアされた画像を読み出して画像処理により2次元演算を行う処理ソフトウェアを内蔵している。
【0039】
制御装置19は処理装置(CPU)18の演算結果に基づいて本外観検査装置10の動作を制御する。
【0040】
表示装置20は画像及び演算結果を表示し、演算結果などの結果が不可の場合に警報ランプ、警報音などで作業者に報知する。
【0041】
XYテーブル30は電子回路基板Cを載置、固定し、X軸方向及びY軸方向に図示していない駆動装置により微細に調整されながら移動する。
【0042】
次に、本発明の外観検査装置10を用いて電子回路基板Cの良否の外観検査方法を説明する。
【0043】
先ず、外観検査装置10の処理装置(CPU)18に予め検査しようとする電子回路基板Cの配線基板B上の対向するコーナに付されている認識マークMa、Mb(図3)の座標を入力し(図6のステップS1)、続いて配線基板B上に存在する各部品Pの座標(位置)を入力し(ステップS2)、次に、下記の[数1]を含むプログラムを入力して(ステップS3)ティーチングしておく。
【0044】
【数1】
【0045】
次に、図7に示したように、検査しようとする電子回路基板Cを搬送装置で外観検査装置10のXYテーブル30上に載置、固定し(ステップS11)、XYテーブル30を移動させて、図示していないカメラの下に電子回路基板Cを移動させ(ステップS12)、その電子回路基板C上の認識マークMa、Mbの位置を処理装置(CPU)18に認識させる(ステップS13)。
【0046】
なお、この電子回路基板Cの一部分の配線基板B上には、図4Aに略線図で示したように、何らかの原因でチップ部品Pが搭載されておらず、そのままリフロー炉に投入されたクリーム半田Saのみが溶融、凝固した状態の半田Sが形成されている。そして図3の鎖線で示した部分の複数個のドーム状半田Sを1検査単位とした被立体検査物Ojである。
【0047】
次に、このような被立体検査物Ojの左右から図3に示した照明ランプ13Aと照明ランプ13Eのみを点灯させて照明し、ビデオカメラ14で記憶装置17にストアする(ステップS14)。この照明の当てる角度を照明パターンLRとする。
【0048】
これら照明ランプ13Aと照明ランプ13Eの照明により、表面が鏡面状態の各半田Sは照明された左右部分S1は光がほぼ全反射して最も明るく、照明されなかった前後部分S2には陰が生じる。1個の半田Sを照明パターンLRで照明して断面図で示したのが図5Aである。なお、図5は被立体検査物Ojの内の1個の半田Sを採り上げて説明図としたものである。そしてこの明暗の生じた被立体検査物Ojの一つであるドーム型半田Sの画像を上方からビデオカメラ14で撮影し、その画像Im1(図5B)を記憶装置17にストアする。
【0049】
続いて、図3に示した外観検査装置10の照明ランプ13Cと照明ランプ13Gのみを点灯し、被立体検査物Ojを前後から照明する。この照明の当てる角度を照明パターンFBとする。この照明により各半田Sは照明された前後部分S1は光がほぼ全反射して最も明るく、照明されなかった左右部分S2には陰が生じる。この明暗の生じた被立体検査物Ojの他の一つであるドーム型半田Sの画像を上方からビデオカメラ14で撮影し、その画像Im2(図5C)を記憶装置17にストアする(ステップS15)。
【0050】
次に、処理装置(CPU)18において、[数1]に基づいて、画像データIm1及び画像データIm2の差の絶対値を演算し、合成画像Imを得る。この合成画像を図5Fに示した(ステップS16)。
【0051】
この演算の原理を図5D及び図5Eで示した。図5Bの画像Im1と図5Cの画像Im2との同一画素部分を全て前記[数1]に基づいて演算すれば図5Eのようなプロファイルが得られ、それらを平面的に表せば図5Fのような合成画像Imが得られるのである。
【0052】
なお、図5B及び図5Cにおいて実線で囲った部分S1は最も明るい部分であり、その実線部分と点線部分との間は徐々に明るさが暗くなる部分であり、そしてハッチングを施した部分S2は陰の部分を示したものである。この陰の部分S2も暗さが徐々に暗くなる。
【0053】
この放射状に描かれた「帯状の陰」がドーム型半田S(立体形状)の認識に有効な情報となる。この放射状の「帯状の陰」ができる原理は、2パターンで撮影された画像の輝度差が「帯」の位置で少なくなっていて、[数1]で差を取ることで作られる。
【0054】
前記合成画像Imはクリーム半田Saが正常に印刷されて、かつチップ部品Pが搭載されておらず、それ故、そのクリーム半田Saのみが加熱溶融、冷却された時に、半田Sが理想的なドーム型となった場合の画像であることから、この合成画像Imが得られた場合は、制御装置19に指令が発せられ、制御装置19は外観検査装置10のを停止させ、必要に応じてこの不良の電子回路基板Cを製造ラインから排出する。同時にその表示装置20で異常を警告ランプ、警報音で作業者に報知する。また、合成画像Imをモニターに映出させる(ステップS18)。
【0055】
図5Fに示した合成画像Imは半田Sが理想的なドーム型をしている場合であって、クリーム半田Saの印刷状態によっては形状が変化する。
【0056】
そしてまた、前記したが、クリーム半田Saの印刷が不良か、チップ部品Pの搭載が不良であった場合、チップ部品Pが起立した状態になることがあり、このような場合も画像認識されて、その電子回路基板Cは半田付け不良として半田付けラインから除外される。
【0057】
また、チップ部品Pが搭載されていて、正常に半田付けされている場合は目視で見た場合と同様の画像がビデオカメラ14によりモニター上に映出される。このような映像が得られた場合は、この電子回路基板Cは正常なものとして認識され、次工程に搬出される(ステップS19)。
【0058】
以上のような各ステップを踏んで被立体検査物Ojの範囲ずつ検査されながら電子回路基板C全体を検査する。
【0059】
照明パターンは前記のような「左右前後」の4方向に限定するものではなく、8方向など、より多くのパターンを行うことで、「帯状の陰」の本数を増やすことができる。
【0060】
以上、説明したように、本発明の外観検査方法は画像処理技術を用いて、チップ部品Pが配線基板B上の所定の位置に良好に半田付けされているか否かを、即ち、電子回路基板Cは良好に製造されているか否かを検査することができた。
【0061】
前記の例は、リフロー炉でクリーム半田Saを加熱溶融し、冷却して電子回路基板C上に部品が正常に半田付けされているか否かの検査を行う場合の外観検査方法及び外観検査装置10として説明したが、本発明の外観検査方法及び外観検査装置10はクリーム半田Saが配線基板Bの電極パッドD上などに正常に印刷されているか否かを検査することが出来る。この検査の場合も、クリーム半田Saの塗布工程の下流に本発明の外観検査装置10を配設し、クリーム半田Saに左右前後から照明を当てることによって良否の検査を行うことができる。クリーム半田Saの印刷が不良の場合は電子回路基板の製造工程を止め、その外観検査装置10から配線基板Bを排出する。この場合の良否検査は印刷された部品の搭印刷形状を画像処理することによって行われる。
【0062】
また、部品実装装置により配線基板B上のクリーム半田Sa上に部品が正常に搭載されているか否かも検査することができる。この検査の場合は、部品実装工程の下流に本発明の外観検査装置10を配設し、部品に左右前後から照明を当てることによって良否の検査を行うことができる。部品の搭載が不良の場合は、同様に電子回路基板の製造工程を止め、その外観検査装置10から配線基板Bを排出する。この場合の良否検査は搭載された部品の搭載姿勢を画像処理することによって行われる。
【0063】
更に、前記の例では、被立体検査物Ojとして1個のドーム型半田Sを採り上げて説明したが、実際には、図3に示したように、符号Ojの点線で囲った範囲内には複数個のチップ部品Pが含まれており、この範囲は、通常、直径1cm程度であって、外観検査装置10に予めプログラムされた順序で電子回路基板が検査されるものである。
【0064】
更にまた、前記の例では部品としてチップ部品Pを採り上げて説明したが、本発明は冒頭で記したようにこのチップ部品のみに限定されるものではないことを付言しておく。
【0065】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、
1.安価な構成で立体物の形状を認識することができる
2.画像処理に要する負荷が軽いため、高速で処理することができる
3.自動で検査を行う場合、立体表現が簡素なため、「判定」アルゴリズムを簡単に作成することができる
など、数々の優れた効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】電極パッドにクリーム半田が印刷された一部の配線基板の斜視図電子回路基板或る。
【図2】チップ部品を搭載した状態の電子回路基板の斜視図電子回路基板ある。
【図3】本発明の外観検査装置の概念斜視図である。
【図4】リフロー炉で加熱した後の電子回路基板の良否を検査する本発明の外観検査方法を説明するための斜視図である。
【図5】本発明の外観検査方法及び外観検査装置の動作を説明するための説明図である。
【図6】図3に示した本発明の外観検査装置へのティーチングのフローチャートである。
【図7】図3に示した本発明の外観検査装置の動作フローチャートである。
【図8】従来技術の外観検査装置のブロック図である。
【図9】図8に示した外観検査装置の3次元計測の原理を説明する略線図である。
【符号の説明】
10…本発明の一実施形態の外観検査装置、11…支持基板、12…支持基板11の開口、13A,13B,13C,13D,13E,13F,13G,13H…照明ランプ、14…ビデオカメラ、15…対物レンズ部、16…ビデオカメラ14の本体、17…記憶装置、18…処理装置(CPU)、19…制御装置、20…表示装置、30…XYテーブル、B…配線基板、C…電子回路基板、D…電極パッド、P…部品(チップ部品)、d…チップ部品Pの電極、Oj…被立体検査物、Ma,Mb…認識マーク、S…半田、Sa…電極パッドD上に印刷されたクリーム半田
Claims (10)
- 被立体検査物に、その外方の数ヶ所に配設した光源から前記被立体検査物の一方の側面に平行光を当て、前記被立体検査物の上方に配設したビデオカメラで前記被立体検査物の照射面と陰影面とを撮影して第1の平面画像を得、同様に前記複数の光源から前記被立体検査物の他方の側面に平行光を当て、前記被立体検査物の上方に配設したビデオカメラで前記被立体検査物の照射面と陰影面とを撮影して第2の平面画像を得、それら両平面画像を合成して得られた合成平面画像の継ぎ目の状態から前記被立体検査物の良否を検査することを特徴とする外観検査方法。
- 前記被立体検査物が配線基板上に塗布されたクリーム半田であることを特徴とする請求項1に記載の外観検査方法。
- 前記被立体検査物が配線基板上に塗布されたクリーム半田上に搭載された部品であることを特徴とする請求項1に記載の外観検査方法。
- 前記被立体検査物が半田であって、該半田がドーム形或いはそれに近い形状である否かを検査することを特徴とする請求項1に記載の外観検査方法。
- 前記被立体検査物が複数個の単位で検査されることを特徴とする請求項1、請求項2、請求項3、或いは請求項4に記載の外観検査方法。
- 検査しようとする被立体検査物を位置せしめる中心位置からほぼ均等な側方位置に均等な角間隔で配設されている複数の光源と、
前記中心位置の上方位置に配設され、前記相対向する複数の前記光源からの平行光で前記被立体検査物を照射し、その結果生じた前記被立体検査物の照射面と陰影面とを撮影して第1の平面画像と前記相対向する複数の前記光源とは異なる角度の光源からの平行光で前記被立体検査物を照射し、その結果生じた前記被立体検査物の照射面と陰影面とを撮影して第2の平面画像とを得る共通のビデオカメラと、
前記第1の平面画像と前記第2の平面画像とを記憶する記憶装置と、
該記憶装置に接続され、前記前記第1の平面画像と前記第2の平面画像との陰影の差の絶対値を演算する演算装置と、
該演算装置に接続され、その演算結果に基づいて前記被立体検査物の良否を判定する判定装置と
を備えていることを特徴とする外観検査装置。 - 検査しようとする被立体検査物を位置せしめる中心位置からほぼ均等な側方位置に均等な角間隔で配設されている複数の光源と、前記中心位置の上方位置に配設され、前記相対向する複数の前記光源からの平行光で前記被立体検査物を照射し、その結果生じた前記被立体検査物の照射面と陰影面とを撮影して第1の平面画像と前記相対向する複数の前記光源とは異なる角度の光源からの平行光で前記被立体検査物を照射し、その結果生じた前記被立体検査物の照射面と陰影面とを撮影して第2の平面画像とを得る共通のビデオカメラと、前記第1の平面画像と前記第2の平面画像とを記憶する記憶装置と、該記憶装置に接続され、前記前記第1の平面画像と前記第2の平面画像との陰影の差の絶対値を演算する演算装置と、該演算装置に接続され、その演算結果に基づいて前記被立体検査物の良否を判定する判定装置とを備えている外観検査装置が、配線基板にクリーム半田印刷装置により印刷されたクリーム半田の外観検査として前記クリーム半田印刷装置の下流に配設されていることを特徴とする電子回路基板の製造装置。
- 検査しようとする被立体検査物を位置せしめる中心位置からほぼ均等な側方位置に均等な角間隔で配設されている複数の光源と、前記中心位置の上方位置に配設され、前記相対向する複数の前記光源からの平行光で前記被立体検査物を照射し、その結果生じた前記被立体検査物の照射面と陰影面とを撮影して第1の平面画像と前記相対向する複数の前記光源とは異なる角度の光源からの平行光で前記被立体検査物を照射し、その結果生じた前記被立体検査物の照射面と陰影面とを撮影して第2の平面画像とを得る共通のビデオカメラと、前記第1の平面画像と前記第2の平面画像とを記憶する記憶装置と、該記憶装置に接続され、前記前記第1の平面画像と前記第2の平面画像との陰影の差の絶対値を演算する演算装置と、該演算装置に接続され、その演算結果に基づいて前記被立体検査物の良否を判定する判定装置とを備えている外観検査装置が、配線基板に塗布されたクリーム半田上に部品実装装置により搭載された部品の外観検査として前記部品実装装置の下流に配設されていることを特徴とする電子回路基板の製造装置。
- 検査しようとする被立体検査物を位置せしめる中心位置からほぼ均等な側方位置に均等な角間隔で配設されている複数の光源と、前記中心位置の上方位置に配設され、前記相対向する複数の前記光源からの平行光で前記被立体検査物を照射し、その結果生じた前記被立体検査物の照射面と陰影面とを撮影して第1の平面画像と前記相対向する複数の前記光源とは異なる角度の光源からの平行光で前記被立体検査物を照射し、その結果生じた前記被立体検査物の照射面と陰影面とを撮影して第2の平面画像とを得る共通のビデオカメラと、前記第1の平面画像と前記第2の平面画像とを記憶する記憶装置と、該記憶装置に接続され、前記前記第1の平面画像と前記第2の平面画像との陰影の差の絶対値を演算する演算装置と、該演算装置に接続され、その演算結果に基づいて前記被立体検査物の良否を判定する判定装置とを備えている外観検査装置が、配線基板に塗布されたクリーム半田上に搭載されている部品をリフロー装置により加熱、溶融され、そして冷却されて良好に固定されているか否かを検査する外観検査として前記リフロー装置の下流に配設されていることを特徴とする電子回路基板の製造装置。
- 前記被立体検査物が複数個の単位で検査されることを特徴とする請求項6、請求項7、請求項8、或いは請求項9に記載の電子回路基板の製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003185855A JP2005017234A (ja) | 2003-06-27 | 2003-06-27 | 外観検査方法、外観検査装置及び電子回路基板の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2003185855A JP2005017234A (ja) | 2003-06-27 | 2003-06-27 | 外観検査方法、外観検査装置及び電子回路基板の製造装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005017234A true JP2005017234A (ja) | 2005-01-20 |
Family
ID=34185144
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003185855A Pending JP2005017234A (ja) | 2003-06-27 | 2003-06-27 | 外観検査方法、外観検査装置及び電子回路基板の製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005017234A (ja) |
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