JP4983591B2 - 光学的検査方法および光学的検査装置 - Google Patents
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Description
図9は、液晶パネルの全体像を、ICおよびFPCが接続された面とは反対側の面を正面にして表したものである。図中、50は、ICやFPCが接続されたガラス基板である。このガラス基板50は、図示しないもう一方のガラス基板より若干大きく、基板同士が重ね合わせられる範囲より外側(ガラス基板50の周縁部)に、複数のIC60が接続されている。また、このガラス基板50の周縁部の一辺に沿うようにして、FPC70が接続される。
また同軸照明によって、金属製のダミー電極から撮像装置にある程度の反射光を入射させることができたとしても、画像の明暗の差のみで透明のダミー電極と金属製のダミー電極とを見分けるのは困難であり、検査の精度を確保できないおそれがある。
このように、圧痕が周囲より明るくなるように焦点位置を調整することによって、基板等に付着したゴミ(ゴミは、通常、光を遮るため、周囲より暗い画像になる。)との区別が容易になる。
この実施例の光学的検査装置100(以下、単に「検査装置100」という。)は、液晶パネルを対象に、その本体部を構成するガラス基板と、このガラス基板に一体に設けられた駆動用ICおよびFPCの接続状態の適否を検査するためのものである。
撮像部102は、前面に扉102aを備えた筐体内に、後記する撮像ユニット1A,1BやXYステージ111などを組み込んだ構成のものである。扉102aには表示部105が設けられ、さらにその下方に、検査対象の液晶パネル(以下、「ワーク」という。)の搬出入口106が設けられる。作業台103は、扉102aの下端縁より低くなるように設定され、その上面に、ワーク固定用のエア吸着機構(図示せず。)を具備するワーク支持面107が、撮像部102の内部に連なるようにして形成される。またワーク支持面107の横手には、所定数の操作スイッチを含む操作部108が配備される。
この実施例の撮像部102には、2組の撮像ユニット1A,1Bが設けられる。これらの撮像ユニット1A,1Bは、撮像倍率が異なることを除けば、構成は同様であるので、共通する構成を同一の符号で示す。なお、図中、手前の撮像ユニット1Aの倍率は10倍に設定され、後方の撮像ユニット1Bの倍率は2倍に設定される。
図示のように、カメラ10は、光軸を鉛直方向(ワークWの面の法線方向)に向けて配備される。このカメラ10に取り付けられるレンズ部11は、長筒状の本体部15の所定位置に、横手方向に延びる短筒状の光導入部16を連続形成した形状のものである。本体部15の内部には、先端位置に対物レンズ17が、光導入部16への連通口に対向する場所にハーフミラー18が、それぞれ配備される。また、図示されていないが、光導入部16には、開口絞りが内蔵されている。
なお、各撮像ユニット1A,1Bの撮像倍率は、対物レンズ17によって決定される。
なお、光導入部16の開口絞りの後段には、数種類のレンズが内蔵される場合もある。
上下動制御部24には、各撮像ユニット1A,1Bの変位センサ14と上下動機構112とが接続される。上下動制御部24は、変位センサ14から入力された信号を制御部21に伝達する。制御部21では、伝達された信号を距離データに換算し、その距離と後記する基準の距離とのずれ量に基づき、上下動機構112の動作量を決定する。上下動制御部24が制御部21が決定した動作量に基づき上下動機構112を上昇または下降させることにより、カメラ10およびレンズ部11から成る撮像装置の焦点が適切な位置に合わせられる。
この図では、検査対象のワークWの全体図(紙面の右下の図)の中の領域A,Bについて拡大図を示すとともに、領域Aに含まれる領域Cを、さらに拡大して示している。
なお、全体図中に示した十字マーク41は、ワークWの位置ずれ修正に用いられるフィデューシャルマークである。
上記のように、この実施例では、第1および第2の照明部12,13をともに点灯した状態にして撮像を行うが、各照明部12,13からの照明光は、各電極に対し、それぞれ異なる反射状態を示す。具体例を図6に示す。
このように、色彩の違いによってダミー電極の種類を見分けることが可能になるから、位置ずれ検査においては、各ダミー電極を正しく検出して、位置ずれ量を精度良く求めることが可能になる。
これに対し、上記の境界位置fより下方の所定位置に撮像装置の焦点を合わせると、圧痕51による凹凸は不鮮明になり、基板側電極51が薄い(一般的には数百Å)ことにより、照明光が透過するため、導電性粒子81や金電極61で反射してカメラ10に入射した光の強度差を反映した画像が生成される。導電性粒子81の表面には、一般に金よりも反射率の高いニッケル層が形成されているため、導電性粒子81からカメラ10に入射する反射光は、金電極61からカメラ10に入射する反射光より強くなると考えられる。よって、生成された画像では、導電性粒子81の方が周囲の金電極61よりも明るくなるから、その明るい領域を圧痕51として検出することが可能になる。
この検査は、メモリ22に登録されたプログラムおよび各種設定データに基づいて制御部21が各種機構を制御することによって、実施されるものである。なお、図中のSTは「ステップ」の略であり、以下の説明でもこれを引用する。また、この例では、撮像装置の焦点が図7のfよりも下方の所定位置に合わせられて、圧痕52が周囲より明るい画像が生成されるものとする。
ST4では、撮像ユニット1Aのカメラ10の視野内に処理対象の検査領域が含まれるように、ワークWを移動させる。ST5では、変位センサ14にガラス基板50までの距離を計測させて、その計測値に基づき撮像ユニット1Aの高さを調整する。ST6では、照明部12,13の各LEDを一斉に点灯し、カメラ10に撮像を行わせる。これにより検査領域内のカラー画像が生成される(以下、これを「処理対象画像」という。)
設定されている検査領域に対する処理が全て終了すると、駆動対象の撮像ユニットを1Aから1Bに切り替える(ST13)。そして、FPC70の接続部位を対象に、上記と同様に、ST4〜11のループを実行する。
この後は、ワークWを搬出入口106よりワーク支持面107に搬出し、処理を終了する(ST15)。以下も、検査対象のワークWがあれば、上記の手順が繰り返し実行される。
11 レンズ部
12 第1照明部
13 第2照明部
20 制御処理装置
21 制御部
22 メモリ
24 上下動制御部
25 ステージ制御部
50 ガラス基板
51 基板側電極
52 圧痕
60 IC
61,71 金電極
70 FPC
81 導電性粒子
W ワーク
Claims (5)
- 表面に電極が形成された透光性を有する基板と、表面に金属製の電極が形成された付属物とが、各電極を異方性導電膜を介して接続することにより一体化された部位を具備するワークを検査対象として、各電極の接続状態を光学的に検査する方法であって、
カラー画像用の撮像装置と、この撮像装置の撮像対象領域に対し、所定の色彩光を前記撮像装置の光軸に沿って照射する第1の照明部と、第1の照明部とは異なる色彩光を、撮像装置の光軸に対して斜めになる方向から撮像対象領域に照射する第2の照明部とを、それぞれ配備し、
検査対象のワークを、前記基板の付属物が接続された面とは反対側の面を撮像装置に向けた状態で配置して、撮像対象領域を変更しながら複数回の撮像を実行し、生成されたカラー画像を処理することによって各電極間の接続状態を判別する第1検査と、各電極の位置合わせ状態を判別する第2検査とを実行し、
前記第1検査では、前記異方性導電膜を介して各電極が接続されている部位に撮像対象領域を設定して、少なくとも第1の照明部を点灯した状態で撮像を実行し、生成されたカラー画像を第1の照明部からの色彩光に対応する色彩の強度に基づき処理することによって前記基板側の電極に生じた圧痕の数および大きさの適否を判別し、
前記第2検査では、各電極中のダミー電極を含む部位に撮像対象領域を設定して、第1および第2の照明部の双方を点灯して撮像を実行し、生成されたカラー画像中の各照明部に対応する色彩に基づき各ダミー電極間の位置関係の適否を判別する、
光学的検査方法。 - 前記第1検査では、前記基板の電極形成面よりも付属物側の所定位置に撮像装置の焦点を合わせた状態で撮像を実行することにより、基板側の電極に生じた圧痕が周囲より明るくなる画像を生成する、請求項1に記載された光学的検査方法。
- 表面に電極が形成された透光性を有する基板と、表面に金属製の電極が形成された付属物とが、各電極を異方性導電膜を介して接続することにより一体化された部位を具備するワークを検査対象として、各電極の接続状態を光学的に検査する装置であって、
前記ワークを支持するためのワーク支持手段と、
前記ワーク支持手段により支持されたワークに受光面を向けて配備されるカラー画像用の撮像装置と、
前記撮像装置の撮像対象領域に対し、所定の色彩光を前記撮像装置の光軸に沿って照射する第1の照明部と、
第1の照明部とは異なる色彩光を、撮像装置の光軸に対して斜めになる方向から撮像対象領域に照射する第2の照明部と、
前記ワークのあらかじめ設定された複数の検査領域が撮像対象領域に順次含まれるように、前記ワーク支持手段により支持されたワークと撮像装置との位置関係を調整する位置調整手段と、
前記ワーク支持手段により支持されたワークが前記基板の付属物が接続された面とは反対側の面を撮像装置に向けた状態になっていることを前提として、ワークと撮像装置との距離があらかじめ登録された値になるように両者の距離を調整する距離調整手段と、
前記位置調整手段による位置合わせ後の撮像装置に撮像を行わせ、生成されたカラー画像を処理することによってワークに対する検査を実行する検査実行手段とを備え、
前記検査実行手段は、
少なくとも第1の照明部が点灯している状態での撮像により生成されたカラー画像を第1の照明部からの色彩光に対応する色彩の強度に基づき処理することによって、前記基板側の電極に生じた圧痕の数および大きさの適否を判別する第1検査実行手段と、
第1および第2の照明部の双方が点灯している状態での撮像により生成されたカラー画像を対象に、その画像中の各照明部に対応する色彩に基づき各電極中のダミー電極間の位置関係の適否を判別する第2検査実行手段とが含まれている、光学的検査装置。 - 前記検査実行手段には、前記複数の検査領域について、それぞれ第1検査および第2検査のいずれを実行するかを定めた設定データを登録するための登録手段と、この登録手段に登録された設定データに基づき、検査領域毎に第1検査手段または第2検査手段に処理を行わせる制御手段とが、さらに含まれる、請求項3に記載された光学的検査装置。
- 前記撮像装置は、撮像素子が設けられた本体部に、横手方向に沿って短筒状の光導入部が連続形成されたレンズ部を一体に設けて構成され、
前記第1の照明部は、前記光導入部を介してレンズ部に一体に設けられるとともに、レンズ部の本体内の光導入部に対向する位置にハーフミラーが、先端位置に対物レンズが、それぞれ設けられており、
前記第2の照明部は、前記レンズ部の本体の先端部に連結され、この連結部を囲むように、前記第1の照明部とは異なる色彩光を前記撮像装置の光軸に対して斜めになる方向に出射する光出射面が形成されている、請求項4または5に記載された光学的検査装置。
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