CN101850883B - 行进车*** - Google Patents

Abstract

本发明提供一种行进车***。行进车***具备实施基板的保管或规定的处理的基板处理装置、使基板在收容在基板盒(1)中的状态下沿上下方向升降的升降部(10)、将基板盒(1)朝向基板处理装置水平移动的水平移动部(8a、8b)、将基板盒(1)沿着朝向基板处理装置设置的轨道输送的无人行进台车(AG)、和在轨道(L)的上方保持并保管基板盒(1)的基板盒保管部(BF1)。

Description

行进车***

技术领域

本发明涉及载置收容基板的基板盒而在环状的轨道上循环行进的行进车***。本申请基于2009年3月30日在日本提出申请的特愿2009-081661号及2009年3月30日在日本提出申请的特愿2009-081662号主张优先权，这里引用其内容。

背景技术

以往，已知有沿着轨道配置有对在轨道上行进的行进车进行输送物的取放的输送物保管搁板的行进车***(例如参照特开平10-273204号公报)、以及为了对处理输送物的处理装置移载输送物而设有行进车能够进入的泊位的行进车***(例如参照特开2001-341640号公报)。

在有关特开平10-273204号公报的行进车***中，在环状轨道的中央的内部设有供给站，并且沿着环状的轨道的侧面配置有保管搁板，从两侧将输送物移载到在行进轨道上行进的行进车上。

此外，在有关特开2001-341640号公报的行进车***中，在轨道的外侧设置用来将行进车停靠在处理装置上的泊位，在进入到泊位中的行进车与处理装置之间进行输送物的装载、卸载。

在有关特开平10-273204号公报的行进车***中，保管搁板(立体自动仓库)构成为高层建筑物。因此，输送物的收容能力较大，但在从保管搁板的保管部取放输送物时使用堆装起重机。

因而，有关特开平10-273204号公报的行进车***不仅在输送物的取放中花费时间，而且不具备临时保管输送物的缓冲功能，所以输送效率降低。此外，在有关特开平10-273204号公报的行进车***中，保管搁板多级、多联地构成，但由于保管搁板与行进车单独地构成，所以具有输送效率变差的问题。

此外，在有关特开2001-341640号公报的行进车***中，在轨道的外侧，设有用来将行进车停靠在处理装置的装载、卸载位置的泊位(空间)。因此，在有关特开2001-341640号公报的行进车***中，对行进车的移载花费时间，具有行进车的输送效率降低的问题。

发明内容

本发明是鉴于上述情况而做出的，目的是提供一种能够提高设备的省空间化和无人行进台车的输送效率的行进车***。

有关本发明的第1技术方案为了解决上述问题而具备以下的机构。

第1技术方案具备：基板处理装置，实施基板的保管或规定的处理；无人行进台车，具有使上述基板在收容在基板盒中的状态下沿上下方向升降的升降部以及将上述基板盒朝向上述基板处理装置水平移动的水平移动部，将上述基板盒沿着朝向上述基板处理装置设置的轨道输送；基板盒保管部，在上述轨道的上方保持并保管基板盒。

有关本发明的第2技术方案在上述第1技术方案中，上述无人行进台车在上述升降部及上述水平移动部的上方具备保管上述基板盒的台车上基板盒保管部。

根据本发明，由于在轨道上方设有基板盒保管部，所以能够实现行进车***整体的省空间化。进而，能够缩短基板盒相对于行进车的移载时间、提高无人行进台车的输送效率及准备时间。

此外，根据本发明，在上述基板盒上设有被保持部件，在上述基板盒保管部上设有卡合到上述被保持部件上的保持部件。

由此，能够容易且可靠地将基板盒载置到基板盒保管部上。

此外，根据本发明，上述保持部件能够沿上下方向或水平方向移动而构成。

由此，能够容易或高效率地将基板盒保持到基板盒保管部上。

此外，根据本发明，使上述无人行进台车在上述基板盒保管部的下方停止；使上述升降部与上述水平移动部协同动作，将上述基板盒保持在上述基板盒保管部上。

此外，根据本发明，使上述无人行进台车的行进部与上述升降部协同动作，将基板盒保持在上述基板盒保管部上。

此外，根据本发明，上述基板盒可多级堆叠地构成。

由此，根据本发明，能够进一步实现行进车***整体的省空间化。

此外，根据本发明，卡合到上述被保持部件上的保持部件设在上述台车上基板盒保管部上。

由此，能够容易且可靠地将基板盒载置到台车上基板盒保管部上。

此外，上述保持部件能够沿上下方向或水平方向移动而构成。

由此，能够容易或高效率地将基板盒保持在台车上基板盒保管部上。

此外，根据本发明，将没有收容上述基板的空的基板盒保持在上述台车上基板盒保管部上。由此，能够实现行进车***整体的高效率的运用。

附图说明

图1是表示有关本发明的第1实施方式的行进车***的整体结构的概略图。

图2A至图2C是表示有关该***的基板盒的图。

图3是表示有关该***的无人行进台车与基板盒保管部的关系的主视图。

图4是表示有关该***的无人行进台车与基板盒保管部的关系的侧视图。

图5是表示有关该***的无人行进台车与基板盒保管部的关系的俯视图。

图6A至图6D是在该***中将基板盒移载到基板盒保管部的动作的说明图。

图7是表示有关该***的基板盒保管部的变形例的主视图。

图8是有关图7的基板盒保管部的侧视图。

图9是有关图7的基板盒保管部的俯视图。

图10是表示有关本发明的第2实施方式的行进车***中的无人行进台车的概略结构的主视图。

图11是表示有关图10的无人行进台车的概略结构的俯视图。

图12是在该***中将基板盒卸载到缓冲部(台车上基板盒保管部)上的动作的说明图。

图13是接着图12的动作的说明图。

图14是接着图13的动作的说明图。

图15是接着图14的动作的说明图。

具体实施方式

以下，参照附图对有关本发明的行进车***A的第1实施方式进行说明。

如图1所示，铺设有用来导引行进有轨道无人行进台车(以下称作台车AG)的环状的轨道L。该轨道L由缓冲侧轨道LA、处理侧轨道LB、和将两轨道LA、LB的两末端间连接的一对连接轨道SL构成为环状。并且，台车AG在上述环状的轨道L上循环行进。

在缓冲侧轨道LA的两侧(兼作为处理侧轨道LB的单侧)，配设有临时保管成为输送物的基板盒1的缓冲部ST1、ST2。缓冲部ST1、ST2由一级或多级的搁板构成。并且，在缓冲部ST1、ST2中保管基板盒1。

另一方面，在处理侧轨道LB的剩下的单侧，相邻配设有例如对玻璃板等基板G进行清洗处理的基板处理装置R1、和例如对基板G进行涂层处理的基板处理装置R2。

在两轨道LA、LB的末端上，分别可往复行进地配设有用来移载台车AG的移车台T。并且，在移车台T的载置面上设有与两轨道LA、LB相同高度的轨道。

在基板处理装置R1、R2上，在面对处理侧轨道LB的一侧，配设有接纳台车AG内的收容有未处理的基板G的基板盒1的两个装载站LS、和将收容有已处理的基板G的基板盒1向台车AG侧送出的卸载站ULS。

此外，在基板处理装置R1、R2上，分别连接着用来在与载置于装载站LS及卸载站ULS上的基板盒1之间将基板G一片片送入、送出的送入输送机LC和送出输送机ULC。

台车AG具有四个车轮4，由载置后述的基板盒1并在轨道L上行进的台车主体(行进部)11、使载置在台车主体11上的基板盒1沿上下方向升降的升降机(升降部)10、和为了使基板盒1沿正交于轨道LA、LB的方向水平移动而成为一体并驱动的一对叉(水平移动部)8a、8b构成。

在环状的轨道L上，配置有多台(在图1的例子中是5台)台车AG。这些台车AG都具有相同的构造。

接着，对由台车AG输送的基板盒1进行说明。

基板盒1构成为，能够保管多片(5～6片)例如玻璃基板等基板G。

基板盒1如图2A所示，由具有取放基板G的开口部2的扁平型长方体构成为箱形。基板盒1通过由前框FFL、侧框SFL、后框BFL和中间梁部件3形成的一对框体、配置在一对框体的四角上而将一对框体连结的支柱(未图示)、粘贴在开口部2以外的外周上的两侧板SP、和顶板TP构成。

基板盒1的下面如图2B所示，为不设置底板而侧框SFL、前框FFL、后框BFL及梁部件3露出的开放构造。在基板盒1的内部，在对置的两侧框SFL间沿横向张设有金属线W，并且该金属线W沿前后方向以一定间隔配置有多根。并且，多根金属线W每规定间隔保持多片(5～6片)基板G。

在基板盒1的两侧板SP上，一对宽度较窄的爪片N在上端的前后部位处相互离开间隔而从4个部位分别水平突设。

另外，爪片N也可以形成为宽度较宽的爪片N。在此情况下，爪片N从基板盒1的两侧板SP的中央上端分别水平地突设。

接着，对配设在轨道LA(LB)的上方的基板盒保管部BF1进行说明。

在台车AG循环行进的轨道LA(LB)的上方，连续设置有多个基板盒保管部(以下称作缓冲部BF1)。

缓冲部BF 1由沿着轨道LA、LB的侧面以规定间隔立设在地面F上的多个支柱5、从支柱5朝向缓冲侧轨道LA的上方水平延伸的支承臂6、和从支承臂6的前后两侧4个部位朝向行进方向突出的保持片K1构成。

缓冲部BF1由支柱5和支承臂6形成为倒L字形。并且，支承臂6设定为与载置在台车AG上的基板盒1不干涉的高度。

接着，参照图6，对将台车AG上的基板盒1移载到轨道LA(LB)上方的缓冲部BF1上的动作进行说明。

首先，如图6A所示，载置有基板盒1的台车AG在轨道LA上行进，在缓冲部BF1的下方停止。更正确地讲，在台车AG的行进方向上，在载置于台车AG上的基板盒1的爪片N与缓冲部BF1的保持片K1一致的位置上台车AG停止。

接着，如图6B所示，通过使台车AG的升降机10启动，使叉8a、8b上的基板盒1上升到比缓冲部BF1的保持片K1稍稍靠上方。

在此状态下，支承臂6的保持片K1位于缓冲侧轨道LA的单侧(在图6B中是右侧)。因此，即使使基板盒1向垂直上方上升，也能够避免与基板盒1的爪片N的干涉。

进而，如图6C所示，叉8a、8b伸长到缓冲侧轨道LA的单侧，将基板盒1的爪片N在缓冲部BF1的保持片K1上定位。

最后，如图6D所示，使升降机10下降。由此，台车AG上的基板盒1被移载到缓冲侧轨道LA上方的缓冲部BF1上。

接着，使升降机10及叉8a、8b回到初始位置。

另外，在将载置于缓冲部BF1上的基板盒1移载到台车AG上的情况下，只要以相反的顺序进行上述动作就可以。

这样，有关本实施方式的行进车***A由于在轨道LA(LB)的上方具备缓冲部BF1，所以能够实现行进车***A整体的省空间化。由此，基板盒1相对于台车AG的移载时间缩短，台车AG的工作效率及准备时间(lead time)提高。

此外，通过使用台车AG具有的升降机10和叉8a、8b，能够容易地将基板盒1载置到缓冲部BF1上。因此，不需要特别的设备，能够实现行进车***A的低成本化。

接着，参照图7～图9，对基板盒保管部的变形例进行说明。

如图7～图9所示，缓冲部BF2相对于缓冲部BF1具有使与基板盒1的卡止位置旋转了90度的构造。

即，缓冲部BF2具备沿着缓冲侧轨道LA的两外侧立设在前后的地面F上的未图示的支柱、和与缓冲侧轨道LA平行地设在该支柱的为规定高度位置的上部的横框12a、12b。并且，在这些两横框12a、12b的内侧，前后离开间隔而对置配置有朝向缓冲侧轨道LA水平地突设的保持片K2。

另一方面，在载置于台车AG上的基板盒1上，宽度较窄的爪片M在基板盒1上端的左右部位上与缓冲部的保持片K2以相同间隔离开间隔而分别水平地突设。即，爪片M与上述爪片N不同，相对于输送方向设在左右的面上。

接着，参照图7～图9，对将台车AG上的基板盒1移载到轨道LA(LB)的上方的缓冲部BF2上的动作进行说明。

首先，台车AG行进到缓冲部BF2的正下方而停止。更正确地讲，在台车AG的行进方向上，在基板盒1的爪片M与缓冲部BF2的保持片K1不一致的地方，台车AG停止(参照图8、图9)。

接着，通过驱动台车AG的升降机10，基板盒1上升移动。

接着，在爪片N上升到比保持片K1高的位置之后，台车AG在缓冲侧轨道LA上移动到爪片M与保持片K1在上下方向上重叠的位置。即，台车AG稍稍向行进方向移动而停止。

最后，使升降机10下降。由此，使爪片M分别卡止在保持片K1上，将基板盒1保管在缓冲部BF2中。

这样，在使用缓冲部BF2的情况下，通过使用台车AG的升降机10和行进部11，能够将台车AG上的基板盒1卡止在缓冲部BF2上而保管。

接着，对有关本发明的行进车***A的第2实施方式进行说明。

在本实施方式中，在第1实施方式的***中，在台车主体11的上方设有临时保管基板盒1的缓冲部BF。

另外，在有关本实施方式的台车中，由于基板盒1、爪部N、车轮4、台车主体(行进部)11、升降机(升降部)10、叉(水平移动部)8a、8b是与上述第1实施方式同样的构造，所以省略说明。

首先，参照图10、图11对有关本实施方式的台车AG进行说明。

在台车主体11的上方，设有临时保管基板盒1的缓冲部BF。

即，在台车AG的升降机10及叉8a、8b的上面上能够载置基板盒1。进而，在比升降机10及叉8a、8b靠上方也能够通过缓冲部BF载置基板盒1。

缓冲部BF由立设在台车主体11的行进方向前后端部上的一对支承壁14a、14b、和从支承壁14a、14b的对置面分别朝向内方水平地突设的保持片K构成。

保持片K设在支承壁14a、14b的各自的宽度方向的两端上。此外，4个保持片K设在相同高度的位置上。具体而言，如图10所示，4个保持片K在使升降机10降低的状态下设在比载置在叉8a、8b的上面上的基板盒1的顶面稍稍靠上方。

并且，在该保持片K上卡止后述的基板盒1的爪片N，将基板盒1保持在支承壁14a、14b之间。

接着，参照图12～图15，对将基板盒1对台车AG的缓冲部BF卸载(載せ降ろし)的动作进行说明。

首先，如图12所示，在1个基板盒1载置在台车AG的叉8a、8b的上面上的状态下，通过驱动叉8a、8b，基板盒1水平移动。更详细地讲，如果俯视观察，则基板盒1水平移动到基板盒1的爪片N不与缓冲部BF的保持片K干涉的位置。

接着，如图13所示，通过驱动升降机10，基板盒1上升。更详细地讲，基板盒1上升直到基板盒1的爪片N成为比缓冲部BF的保持片K稍稍靠上方。

接着，如图14所示，叉8a、8b后退到初始位置。即，如果俯视观察，则基板盒1水平移动到基板盒1的爪片N与缓冲部BF的保持片K一致的位置。

最后，如图15所示，升降机10下降到初始位置。由此，基板盒1的保持片K与缓冲部BF的爪片N卡合，基板盒1被保持在缓冲部BF上。即，基板盒1被从叉8a、8b上移载到缓冲部BF上。

另外，在将载置于缓冲部BF上的基板盒1移载到叉8a、8b上的情况下，只要以相反的顺序进行上述动作就可以。

这样，在有关本实施方式的行进车***B中，台车AG具备临时保管基板盒1的缓冲部BF。因此，能够实现行进车***B整体的省空间化。由此，基板盒1相对于台车AG的移载时间缩短，台车AG的工作效率及准备时间提高。

此外，通过使用台车AG具有的升降机10和叉8a、8b，能够容易地将基板盒1载置到缓冲部BF上。因此，不需要特别的设备，能够实现行进车***B的低成本化。

另外，在台车AG的缓冲部BF上也可以将基板盒1多级地堆叠。

在此情况下，优选的是，在基板盒1的上面上设置销P，使得多级堆叠的多个基板盒1不会货物倒塌。

在缓冲部BF上多级堆叠多个基板盒1的情况下，在上述图12～图15的动作之前，通过升降机10使叉8a、8b上的基板盒1暂且先上升。接着，使该基板盒1抵接在保持于缓冲部BF上的其他基板盒1上，使其他基板盒1从缓冲部BF的爪片N离开间隔。然后进行上述图12～图15的动作。

此外，在将多个基板盒1多级堆叠在缓冲部BF上的情况下，优选的是将空的基板盒1多级堆叠。这是因为，如果是空的基板盒1，则不需要考虑基板盒1的堆叠顺序。换言之，这是因为，在将收容有基板G的基板盒1多级堆叠在缓冲部BF上的情况下，为了仅有选择地将特定的基板盒1从缓冲部BF卸下而需要许多动作，效率下降。

在环状的轨道L上配置有多台(例如5台)台车AG，但优选地将其中至少一台作为上述带有缓冲部BF的台车AG(例如台车AG5)而多级地堆叠空的基板盒1。由此，不需要准备多台输送空的基板盒1的台车AG5，能够抑制设备成本。此外，不需要将输送空的基板盒1的台车AG5多周循环输送，输送效率提高。

如以上说明，根据有关本发明的行进车***，由于在轨道L的上方设有保管基板盒的缓冲部BF1、BF2，所以能够实现行进车***A整体的省空间化。此外，基板盒1相对于台车AG的移载时间被缩短，台车AG的输送效率及准备时间提高。

由上述实施方式表示的各构成部件的各形状及组合等是一例，在不脱离本发明的主旨的范围内能够基于设计要求等进行各种变更。

例如，基板G也可以是半导体基板。

此外，台车AG以在地面上行进的结构进行了说明，但也可以是在天花板侧行进的结构。

此外，爪片N、M设为从两侧板SP朝向外侧突设的结构进行了说明，但并不限于此，也可以构成为槽或孔。

此外，对于将基板盒1仅载置1个到缓冲部BF1、BF2上的情况进行了说明，但也可以将基板盒1多级地堆叠。由此，能够进一步实现省空间化。在将基板盒1多级堆叠的情况下，也可以将缓冲部BF1、BF2的保持片K1沿高度方向设置多组。此外，也可以将一组保持片K1可上下移动地构成。

此外，保持片K1、K2也可以构成为在水平方向上进退自如的可动式。由此，能够仅通过升降机10的驱动而移载基板盒1。

此外，并不仅限于将具有爪片N的基板盒1载置到缓冲部BF、BF1的保持片K、K1上的情况、以及将具有爪片M的基板盒1载置到BF2的保持片K2上的情况，也可以通过缓冲部BF、BF1及BF2的保持部夹持基板盒1的侧面。

在上述实施方式中，将轨道L构成为环状，但也可以是直线轨道。即，台车AG也可以在直线轨道上往复移动。此外，台车AG也可以不都是相同的构造，也可以混合存在多个种类的台车。

此外，在台车AG的缓冲部BF中，对于将支承基板盒的保持片K固定设置在支承壁14a、14b上的情况进行了说明，但并不限于此。例如保持片K也可以是能够朝向内方出没的可动爪。结果，在将基板盒1移载到缓冲部BF上时，不再需要驱动叉8a、8b，能够高效率地移载。

此外，也可以是将支承壁14a、14b向上方延长、保持片K能够沿上下方向移动的构造。结果，能够将多级堆叠的基板盒1原样成一体地在叉8a、8b与缓冲部BF之间移载。

另外，也可以在上下方向的多个位置上设置能够出没的可动爪、使任意的保持片突出。

Claims (6)

1.一种行进车***，其特征在于，具备：

基板处理装置，实施基板的保管或规定的处理；

无人行进台车，具有使上述基板在收容在基板盒中的状态下沿上下方向升降的升降部以及将上述基板盒朝向上述基板处理装置水平移动的水平移动部，将上述基板盒沿着朝向上述基板处理装置设置的轨道输送；

上述无人行进台车在上述升降部及上述水平移动部的上方具备保管上述基板盒的台车上基板盒保管部。

2.如权利要求1所述的行进车***，其特征在于，

在上述基板盒上设有被保持部件，

卡合到上述被保持部件上的保持部件设在上述台车上基板盒保管部上。

3.如权利要求2所述的行进车***，其特征在于，上述保持部件能够沿上下方向或水平方向移动而构成。

4.如权利要求1所述的行进车***，其特征在于，使上述升降部与上述水平移动部协同动作，将上述基板盒保持在上述台车上基板盒保管部上。

5.如权利要求1所述的行进车***，其特征在于，上述基板盒可多级堆叠到上述台车上基板盒保管部上而构成。

6.如权利要求1所述的行进车***，其特征在于，将没有收容上述基板的空的基板盒保持在上述台车上基板盒保管部上。

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