CN101600991B - 有源矩阵基板和液晶面板及其制造方法、液晶显示单元、液晶显示装置 - Google Patents

有源矩阵基板和液晶面板及其制造方法、液晶显示单元、液晶显示装置 Download PDF

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Abstract

本发明提供有源矩阵基板、液晶面板、液晶显示单元、液晶显示装置、电视接收机、有源矩阵基板的制造方法和液晶面板的制造方法。扫描信号线(16)具有从像素区域外通过数据信号线(15)的下方而到达像素区域内的开口部(29)、和作为该开口部的两侧部分的、隔着该开口部在列方向上相对的第一扫描电极部和第二扫描电极部(16a、16b),将第一扫描电极部(16a)的端部中位于像素区域内的端部设为第一端部(EP1),将第二扫描电极部(16b)的端部中位于像素区域内的端部设为第二端部(EP2),第一晶体管的源极电极(9a)和漏极电极(8a)分别在像素区域内与上述第一扫描电极部(16a)重叠但是不与第一端部(EP1)重叠,第二晶体管的源极电极(9b)和漏极电极(8b)分别在像素区域内与上述第二扫描电极部(16b)重叠但是不与第二端部(EP2)重叠。根据上述结构,能够实现能够容易地修正数据信号线(15)和扫描信号线(16)的短路的像素分割方式的有源矩阵基板。

Description

有源矩阵基板和液晶面板及其制造方法、液晶显示单元、液晶显示装置
技术领域
本发明涉及能够修正配线缺陷的有源矩阵基板和液晶面板。
背景技术
液晶显示装置具有高精细、薄型、低消耗电力等优异特征,近年来,其市场规模迅速扩大。例如,专利文献1中公开了在1个像素中包括多个像素电极的像素分割(多像素驱动)方式的液晶显示装置。根据该像素分割方式的液晶显示装置,能够在1个像素中形成不同的亮度区域,从而能够改善γ特性的视角依存性(从正面观测液晶显示装置时的γ特性与从倾斜方向观测液晶显示装置时的γ特性的差异)。
在此,专利文献2中公开了在像素分割方式的液晶显示装置中能够修正配线缺陷的结构。将该结构示于图39。如该图所示,在该液晶显示装置具备的有源矩阵基板700中,设置有相互正交的扫描信号线702和数据信号线703,在各像素中包括第一晶体管707a、第二晶体管707b、第一像素电极705a、第二像素电极705b、第一保持电容配线712a、第二保持电容配线712b、第一漏极引出配线711a、第二漏极引出配线711b、第一漏极引出电极713a和第二漏极引出电极713b。第一晶体管707a包括源极电极709a、漏极电极710a和从扫描信号线702引出的栅极电极708a,第二晶体管707b包括源极电极709b、漏极电极710b和从扫描信号线702引出的栅极电极708b。
此外,第一晶体管的源极电极709a和第二晶体管的源极电极709b与数据信号线703连接,第一晶体管的漏极电极710a通过第一漏极引出配线711a与第一漏极引出电极713a连接,该第一漏极引出电极713a和第一像素电极705a通过接触孔连接。另外,由第一漏极引出电极713a和第一保持电容配线712a的突出部714a形成保持电容。同样,第二晶体管的漏极电极710b通过第二漏极引出配线711b与第二漏极 引出电极713b连接,该第二漏极引出电极713b和第二像素电极705b通过接触孔连接。另外,由第二漏极引出电极713b和第二保持电容配线712b的突出部714b形成保持电容。
根据上述结构,向第一像素电极705a和第二像素电极705b供给相同的信号电位,但通过单独控制第一保持电容配线和第二保持电容配线712a、712b的电位,能够使第一像素电极705a和第二像素电极705b成为不同的电位,由此,能够在1个像素中形成不同的亮度区域。
在有源矩阵基板700中,在扫描信号线702上形成有位于第一晶体管的栅极电极708a与第二晶体管的栅极电极708b之间的开口部715。因此,例如,当扫描信号线702与数据信号线703在它们的交叉部720发生短路(所谓的SG漏电)时,在开口部715上的区域722和与第一像素电极705a相邻的部分723将数据信号线703切断,并且使用预备配线等(未图示)从数据信号线703的相反侧输送信号电位。由此,能够驱动第二晶体管707b,SG漏电被修正。
专利文献1:日本国公开专利公报“特开2004-78157号公报(公开日:2004年3月11日)”
专利文献2:国际公开专利公报“WO2006/064789(公开日:2006年6月22日)”
发明内容
但是,在专利文献2记载的液晶显示装置中,存在当发生SG漏电时,必须在相应的数据信号线的两端连接预备配线,很费工夫的问题。除此之外,由于连接预备配线,负荷也增加。另一方面,为了不使用预备配线而进行修正,需要形成为例如从数据信号线的两端输送信号电位那样的源极驱动器结构。另外,在不具有预备配线或上述的驱动器结构的有源矩阵基板中,当发生SG漏电时无法对其进行修正,因此成为缺陷品。
本发明鉴于上述课题而做出,其目的在于提出能够容易地修正数据信号线和扫描信号线的短路的像素分割方式的有源矩阵基板。
本发明的有源矩阵基板包括沿行方向延伸(例如,以横穿各像素区域的方式沿行方向延伸)的扫描信号线、和沿列方向延伸(例如, 沿各像素区域在列方向上延伸)的数据信号线,并在各像素区域中形成有与同一数据信号线连接的第一晶体管和第二晶体管、与第一晶体管连接的第一像素电极、和与第二晶体管连接的第二像素电极,其特征在于,上述扫描信号线具有:从像素区域外通过数据信号线的下方而到达像素区域内的开口部;和作为该开口部的两侧部分的、隔着开口部在列方向上相对的第一扫描电极部和第二扫描电极部,将第一扫描电极部的位于行方向的2个端部中位于像素区域内的端部设为第一端部,将第二扫描电极部的位于行方向的2个端部中位于像素区域内的端部设为第二端部,第一晶体管的源极电极和漏极电极分别以在像素区域内与上述第一扫描电极部重叠但是不与第一端部重叠的方式形成,第二晶体管的源极电极和漏极电极分别以在像素区域内与上述第二扫描电极部重叠但是不与第二端部重叠的方式形成。
在本有源矩阵基板中,当发生数据信号线与第一扫描电极部的短路时,通过在第一端部和第一扫描电极部的位于行方向的2个端部中位于像素区域外的端部(第三端部)进行电极切断,能够将第一扫描电极部从扫描信号线分离(切除)。结果,能够不使用预备配线等而从数据信号线向第二晶体管和其下游侧的晶体管输送信号电位。在本有源矩阵基板中,第一晶体管的源极电极和漏极电极分别以不与第一端部重叠的方式形成,因此能够容易并且可靠地进行在第一端部的电极切断。
另外,当发生数据信号线与第二扫描电极部的短路时,通过在第二端部和第二扫描电极部的位于行方向的2个端部中位于像素区域外的端部(第四端部)进行电极切断,能够将第二扫描电极部从扫描信号线分离(切除)。结果,能够不使用预备配线等而从数据信号线向第一晶体管和第二晶体管下游侧的晶体管输送信号电位。在本有源矩阵基板中,第二晶体管的源极电极和漏极电极分别以不与第二端部重叠的方式形成,因此能够容易并且可靠地进行在第二端部的电极切断。
这样,根据本有源矩阵基板,能够不使用预备配线等而修正配线缺陷(SG漏电)。从而,如果将本结构应用于包括预备配线的有源矩阵基板,则能够不进行将数据信号线的两端与预备配线连接的工序而修正SG漏电,除此之外,也能够避免在连接预备配线时产生的负荷 的增加。另外,如果将本结构应用于原来不包括预备配线的有源矩阵基板,则能够使由于SG漏电而成为缺陷品的有源矩阵基板变成优良品,从而能够提高成品率。这些效果在大型液晶面板中可以说特别显著。
在本有源矩阵基板中,可以:从第一晶体管的漏极电极以不与第一端部重叠的方式引出有第一漏极引出配线,从第二晶体管的漏极电极以不与第二端部重叠的方式引出有第二漏极引出配线,上述第一漏极引出配线与第一像素电极连接,并且上述第二漏极引出配线与第二像素电极连接。
在本有源矩阵基板中,优选上述开口部为沿行方向延伸的长方形形状。如果这样,则因为各扫描电极部也为沿行方向延伸的形状,所以能够使上述第一端部~第四端部各自的宽度(行方向的长度)成为适合于切断的尺寸。
在本有源矩阵基板中,优选第一端部和第二端部各自的一部分成为缺口部(切入部)。同样,优选第三端部和第四端部各自的一部分成为缺口部。如果这样,则各端部的切断工序将变得容易。
在本有源矩阵基板中,可以形成为从数据信号线延伸的电极作为第一晶体管和第二晶体管共用的源极电极起作用的结构。如果这样,则能够使像素区域内的扫描信号线的宽度减小,开口率提高。
在本有源矩阵基板中,优选上述从数据信号线延伸的电极与上述开口部重叠。如果这样,则能够使栅极电极(扫描信号线)和源极电极间的寄生电容减少。
在本有源矩阵基板中,可以:作为第一晶体管的源极电极起作用的第一电极、作为第二晶体管的源极电极起作用的第二电极、和作为第一晶体管和第二晶体管共用的源极电极起作用的第三电极,从数据信号线沿行方向延伸,第一晶体管的漏极电极配置在第一电极和第三电极之间,第二晶体管的漏极电极配置在第三电极和第二电极之间。
在上述结构中,第一电极和第三电极作为第一晶体管的源极电极起作用,第三电极和第二电极作为第二晶体管的源极电极起作用。这样,在各晶体管中通过在漏极电极的两侧形成沟道能够缩短沟道宽度,从而能够抑制源极、漏极的短路的发生。
本有源矩阵基板包括沿行方向延伸(例如,以横穿各像素区域的方式沿行方向延伸)的扫描信号线、和沿列方向延伸(例如,沿各像素区域在列方向上延伸)的数据信号线,并在各像素区域中形成有与同一数据信号线连接的第一晶体管和第二晶体管、与第一晶体管连接的第一像素电极、和与第二晶体管连接的第二像素电极,其特征在于,上述扫描信号线具有:从像素区域外通过数据信号线的下方而到达像素区域内的开口部;和作为该开口部的两侧部分的、隔着开口部在列方向上相对的第一扫描电极部和第二扫描电极部,从该第一扫描电极部,在像素区域内沿远离开口部的方向引出有第一栅极延伸部,从该第二扫描电极部,在像素区域内沿远离开口部的方向引出有第二栅极延伸部,将第一扫描电极部的位于行方向的2个端部中位于像素区域内的端部设为第一端部,将第二扫描电极部的位于行方向的2个端部中位于像素区域内的端部设为第二端部,第一晶体管的源极电极和漏极电极分别以与第一栅极延伸部重叠但是不与第一端部重叠的方式形成,第二晶体管的源极电极和漏极电极分别以与第二栅极延伸部重叠但是不与第二端部重叠的方式形成。
本发明的有源矩阵基板包括沿行方向延伸(例如,以横穿各像素区域的方式沿行方向延伸)的扫描信号线、和沿列方向延伸(例如,沿各像素区域在列方向上延伸)的数据信号线,并在各像素区域中形成有与同一数据信号线连接的第一晶体管和第二晶体管、与第一晶体管连接的第一像素电极、和与第二晶体管连接的第二像素电极,其特征在于,上述扫描信号线具有:从像素区域外通过数据信号线的下方而到达像素区域内的第一开口部;相对于第一开口部在行方向上并列的第二开口部;位于两开口部的间隙的连通电极部;和作为由两开口部和连通电极部构成的虫孔状区域的两侧部分的、隔着该虫孔状区域在列方向上相对的第一扫描电极部和第二扫描电极部,将第一扫描电极部的位于行方向的2个端部中位于像素区域内的端部设为第一端部,将第二扫描电极部的位于行方向的2个端部中位于像素区域内的端部设为第二端部,第一晶体管的源极电极和漏极电极分别以在像素区域内与上述第一扫描电极部重叠但是不与第一端部重叠的方式形成,第二晶体管的源极电极和漏极电极分别以在像素区域内与上述第 二扫描电极部重叠但是不与第二端部重叠的方式形成。
在本有源矩阵基板中,当发生数据信号线与第一扫描电极部的短路时,在第一端部、第一扫描电极部的位于行方向的2个端部中位于像素区域外的端部(第三端部)、和连通电极部进行电极切断,能够将第一扫描电极部从扫描信号线分离(切除)。
另外,当发生数据信号线与第二扫描电极部的短路时,在第二端部、第二扫描电极部的位于行方向的2个端部中位于像素区域外的端部(第四端部)、和连通电极部进行电极切断,能够将第二扫描电极部从扫描信号线分离(切除)。
这样,根据本有源矩阵基板,能够不使用预备配线等而修正配线缺陷(SG漏电)。从而,如果将本结构应用于包括预备配线的有源矩阵基板,则能够不进行将数据信号线的两端与预备配线连接的工序而修正SG漏电,除此之外,也能够避免在连接预备配线时产生的负荷的增加。另外,如果将本结构应用于原来不包括预备配线的有源矩阵基板,则能够使由于SG漏电而成为缺陷品的有源矩阵基板变成优良品,从而能够提高成品率。这些效果在大型液晶面板中可以说特别显著。
除此之外,因为使第一开口部和第二开口部为隔着连通电极部在行方向上并列(由连通电极部将开口部分离)的结构,所以,与形成1个大的开口部的结构比较,能够使各开口部的宽度(行方向的长度)减小。因此,即使有源矩阵基板大型化、各像素区域的尺寸变大,也能够像从前那样将扫描信号线的开口部(其边缘)用于层的位置对准等,很便利。
本有源矩阵基板包括沿行方向延伸(例如,以横穿各像素区域的方式沿行方向延伸)的扫描信号线、和沿列方向延伸(例如,沿各像素区域在列方向上延伸)的数据信号线,并在各像素区域中形成有与同一数据信号线连接的第一晶体管和第二晶体管、与第一晶体管连接的第一像素电极、和与第二晶体管连接的第二像素电极,其特征在于,上述扫描信号线具有:从像素区域外通过数据信号线的下方而到达像素区域内的第一开口部;相对于第一开口部在行方向上并列的第二开口部;位于两开口部的间隙的连通电极部;和作为由两开口部和连通 电极部构成的虫孔状区域的两侧部分的、隔着该虫孔状区域在列方向上相对的第一扫描电极部和第二扫描电极部,从该第一扫描电极部,在像素区域内沿远离开口部的方向引出有第一栅极延伸部,从该第二扫描电极部,在像素区域内沿远离开口部的方向引出有第二栅极延伸部,将第一扫描电极部的位于行方向的2个端部中位于像素区域内的端部设为第一端部,将第二扫描电极部的位于行方向的2个端部中位于像素区域内的端部设为第二端部,第一晶体管的源极电极和漏极电极分别以与第一栅极延伸部重叠但是不与第一端部重叠的方式形成,第二晶体管的源极电极和漏极电极分别以与第二栅极延伸部重叠但是不与第二端部重叠的方式形成。
在本有源矩阵基板中,也能够形成为上述扫描信号线以横穿各像素区域的方式在行方向上延伸、上述数据信号线沿各像素区域的边缘在列方向上延伸的结构。
在本有源矩阵基板中,也能够形成为设置有作为第一晶体管和第二晶体管共用的源极电极起作用的主体电极、和连接该主体电极与上述数据信号线的连接电极,该连接电极位于开口部上的结构。或者,也能够形成为设置有作为第一晶体管和第二晶体管共用的源极电极起作用的主体电极、和连接该主体电极与上述数据信号线的连接电极,该连接电极位于第一开口部上的结构。这样,通过使连接电极能够切断,能够得到以下的效果。
即,当在某个像素区域中确认了SG漏电,但不清楚其原因是数据信号线与第一扫描电极部或第二扫描电极部的短路、还是源极电极与第一扫描电极部或第二扫描电极部的短路的情况下,(与扫描信号线相比)先将上述连接电极切断,能够将主体电极(作为两个晶体管共用的源极电极起作用)从数据信号线切离。由此,当上述SG漏电的原因为主体电极与第一扫描电极部或第二扫描电极部的短路时,能够不切断扫描信号线而进行修正。在该情况下,通过使上述连接电极的列方向的宽度小于主体电极的列方向的宽度、或者使上述连接电极形成为行方向的宽度比列方向的宽度大的形状(在行方向上细长的形状),连接电极的切断将变得容易。
在本有源矩阵基板中,优选上述开口部(或第一开口部)的与作 为上述连接电极的两侧的区域的一个重叠的部分的至少一部分在列方向上膨胀,并且上述开口部(或第一开口部)的与作为上述连接电极的两侧的区域的另一个重叠的部分的至少一部分在列方向上膨胀。如果这样,则能够容易进行连接电极的切断,而不增大整个开口部的列方向的宽度。此外,当增大整个开口部的列方向的宽度时,扫描信号线自身的宽度增大,开口率降低,但是在上述结构中能够避免该问题。
在本有源矩阵基板中,可以形成为以下结构:主体电极的边缘中与第一晶体管的漏极电极和主体电极间的沟道区域相接的部分为L字形状,上述主体电极的边缘中与第二晶体管的漏极电极和主体电极间的沟道区域相接的部分为L字形状。
根据上述结构,例如,即使作为第一晶体管的源极电极起作用的只是上述主体电极、且作为第二晶体管的源极电极起作用的也只是上述主体电极,也能够充分地确保沟道宽度。
在本有源矩阵基板中,可以形成为以下结构:包括第一保持电容配线、从该第一保持电容配线引出的第一保持电容配线延伸部、第二保持电容配线、和从该第二保持电容配线引出的第二保持电容配线延伸部,第一保持电容配线延伸部的前端部与上述第一漏极引出配线的前端部重叠,第二保持电容配线延伸部的前端部与上述第二漏极引出配线的前端部重叠。
根据上述结构,例如,当第一扫描电极部与数据信号线短路时,通过将第一扫描电极部从扫描信号线主体切离、并且将第一漏极引出配线的前端部与第一保持电容配线延伸部的前端部连接(例如熔融连接),能够将第一像素电极与第一保持电容配线连接。即,能够使第一像素电极的电位降低至第一保持电容配线的电位,在包括本有源矩阵基板的液晶显示装置中,能够使包括与缺陷晶体管连接的像素电极的子像素黑点化。此外,当第一扫描电极部与上述主体电极(源极电极)短路时,只要将主体电极从数据信号线切离、并将第一漏极引出配线的前端部与第一保持电容配线延伸部的前端部连接即可。
在上述结构中,可以以与第一漏极引出配线的前端部重叠的方式设置有连接第一漏极引出配线和第一像素电极的接触孔,以与第二漏极引出配线的前端部重叠的方式设置有连接第二漏极引出配线和第二 像素电极的接触孔。如果这样,则有以下优点:当将漏极引出配线的前端部与保持电容配线的前端部熔融连接时,也能够消除由接触孔内的层间绝缘膜残留等引起的接触不良(漏极引出配线与像素电极的连接不良)。
本液晶面板的特征在于,包括上述有源矩阵基板。在该情况下,优选在与有源矩阵基板相对的基板(例如,彩色滤光片基板)上形成的黑矩阵与扫描信号线的开口部重叠。
本液晶显示单元的特征在于,包括上述液晶面板。
本液晶显示装置的特征在于,包括上述液晶显示单元。
本电视接收机的特征在于,包括:上述液晶显示装置;和接收电视广播的调谐部。
本发明提供一种有源矩阵基板的制造方法,该有源矩阵基板包括以横穿各像素区域的方式在行方向上延伸的扫描信号线、和沿各像素区域的边缘在列方向上延伸的数据信号线,各像素区域具有与同一数据信号线连接的第一晶体管和第二晶体管、与第一晶体管连接的第一像素电极、和与第二晶体管连接的第二像素电极,上述有源矩阵基板的制造方法的特征在于,包括:形成扫描信号线的工序,该扫描信号线具有从像素区域外到达像素区域内的开口部、和作为该开口部的两侧部分的、隔着开口部在列方向上相对的第一扫描电极部和第二扫描电极部;形成以上述第一扫描电极部的一部分作为栅极电极的第一晶体管、以上述第二扫描电极部的一部分作为栅极电极的第二晶体管、和上述数据信号线的工序;判定有无该数据信号线与第一扫描电极部的短路、以及有无上述数据信号线与第二扫描电极部的短路的工序;和将上述第一扫描电极部的位于行方向的2个端部中位于像素区域内的端部设为第一端部并且将上述第一扫描电极部的位于行方向的2个端部中位于像素区域外的端部设为第三端部,将第二扫描电极部的位于行方向的2个端部中位于像素区域内的端部设为第二端部并且将第二扫描电极部的位于行方向的2个端部中位于像素区域外的端部设为第四端部,当存在上述数据信号线与第一扫描电极部的短路时,通过在第一端部和第三端部进行电极切断,将包括短路部位的第一扫描电极部从扫描信号线切离,当存在上述数据信号线与第二扫描电极部的 短路时,通过在第二端部和第四端部进行电极切断,将包括短路部位的第二扫描电极部从扫描信号线切离的工序。
如果这样,则能够不使用预备配线等而修正配线缺陷(SG漏电)。从而,在制造包括预备配线的有源矩阵基板时,能够不进行将数据信号线的两端与预备配线连接的工序而修正SG漏电,除此之外,也能够避免在连接预备配线时产生的负荷的增加。另外,在制造原来不包括预备配线的有源矩阵基板时,能够使由于SG漏电而成为缺陷品的有源矩阵基板变成优良品,从而能够提高成品率。这些效果在大型有源矩阵基板中可以说特别显著。
本发明提供一种液晶面板的制造方法,该液晶面板包括有源矩阵基板,该有源矩阵基板包括以横穿各像素区域的方式在行方向上延伸的扫描信号线、和沿各像素区域的边缘在列方向上延伸的数据信号线,各像素区域具有与同一数据信号线连接的第一晶体管和第二晶体管、与第一晶体管连接的第一像素电极、和与第二晶体管连接的第二像素电极,上述液晶面板的制造方法的特征在于,包括:形成扫描信号线的工序,该扫描信号线具有从像素区域外到达像素区域内的开口部、和作为该开口部的两侧部分的、隔着开口部在列方向上相对的第一扫描电极部和第二扫描电极部;形成以上述第一扫描电极部的一部分作为栅极电极的第一晶体管、以上述第二扫描电极部的一部分作为栅极电极的第二晶体管、和数据信号线的工序;判定有无上述数据信号线与第一扫描电极部的短路、以及有无上述数据信号线与第二扫描电极部的短路的工序;和将上述第一扫描电极部的位于行方向的2个端部中位于像素区域内的端部设为第一端部并且将上述第一扫描电极部的位于行方向的2个端部中位于像素区域外的端部设为第三端部,将第二扫描电极部的位于行方向的2个端部中位于像素区域内的端部设为第二端部并且将第二扫描电极部的位于行方向的2个端部中位于像素区域外的端部设为第四端部,当存在上述数据信号线与第一扫描电极部的短路时,通过在第一端部和第三端部进行电极切断,将包括短路部位的第一扫描电极部从扫描信号线切离,当存在上述数据信号线与第二扫描电极部的短路时,通过在第二端部和第四端部进行电极切断,将包括短路部位的第二扫描电极部从扫描信号线切离的工序。
如果这样,则能够不使用预备配线等而修正配线缺陷(SG漏电)。从而,在制造包括预备配线的液晶面板时,能够不进行将数据信号线的两端与预备配线连接的工序而修正SG漏电,除此之外,也能够避免在连接预备配线时产生的负荷的增加。另外,在制造原来不包括预备配线的液晶面板时,能够使由于SG漏电而成为缺陷品的液晶面板变成优良品,从而能够提高成品率。这些效果在大型液晶面板中可以说特别显著。
本发明提供一种有源矩阵基板的制造方法,该有源矩阵基板包括以横穿各像素区域的方式在行方向上延伸的扫描信号线、和沿各像素区域的边缘在列方向上延伸的数据信号线,各像素区域具有与同一数据信号线连接的第一晶体管和第二晶体管、与第一晶体管连接的第一像素电极、和与第二晶体管连接的第二像素电极,上述有源矩阵基板的制造方法的特征在于,包括:形成扫描信号线的工序,该扫描信号线具有从像素区域外到达像素区域内的长方形形状的第一开口部、相对于第一开口部在行方向上并列的第二开口部、作为两开口部的间隙的连通电极部、和作为由两开口部和连通电极部构成的虫孔状区域的两侧部分的、隔着该虫孔状区域在列方向上相对的第一扫描电极部和第二扫描电极部;形成以上述第一扫描电极部的一部分作为栅极电极的第一晶体管、以上述第二扫描电极部的一部分作为栅极电极的第二晶体管、和数据信号线的工序;判定有无上述数据信号线与第一扫描电极部的短路、以及有无上述数据信号线与第二扫描电极部的短路的工序;和将上述第一扫描电极部的位于行方向的2个端部中位于像素区域内的端部设为第一端部并且将上述第一扫描电极部的位于行方向的2个端部中位于像素区域外的端部设为第三端部,将第二扫描电极部的位于行方向的2个端部中位于像素区域内的端部设为第二端部并且将第二扫描电极部的位于行方向的2个端部中位于像素区域外的端部设为第四端部,当存在上述数据信号线与第一扫描电极部的短路时,通过在第一端部和第三端部以及连通电极部进行电极切断,将包括短路部位的第一扫描电极部从扫描信号线切离,当存在上述数据信号线与第二扫描电极部的短路时,通过在第二端部和第四端部以及连通电极部进行电极切断,将包括短路部位的第二扫描电极部从扫描信号线 切离的工序。根据上述有源矩阵基板的制造方法,除了上述的效果以外,还能够将第一开口部的沿列方向的2个边缘用于层的对准。
本发明提供一种液晶面板的制造方法,该液晶面板包括有源矩阵基板,该有源矩阵基板包括以横穿各像素区域的方式在行方向上延伸的扫描信号线、和沿各像素区域的边缘在列方向上延伸的数据信号线,各像素区域具有与同一数据信号线连接的第一晶体管和第二晶体管、与第一晶体管连接的第一像素电极、和与第二晶体管连接的第二像素电极,上述液晶面板的制造方法的特征在于,包括:形成扫描信号线的工序,该扫描信号线具有从像素区域外到达像素区域内的长方形形状的第一开口部、相对于第一开口部在行方向上并列的第二开口部、作为两开口部的间隙的连通电极部、和作为由两开口部和连通电极部构成的虫孔状区域的两侧部分的、隔着该虫孔状区域在列方向上相对的第一扫描电极部和第二扫描电极部;形成以上述第一扫描电极部的一部分作为栅极电极的第一晶体管、以上述第二扫描电极部的一部分作为栅极电极的第二晶体管、和数据信号线的工序;判定有无上述数据信号线与第一扫描电极部的短路、以及有无上述数据信号线与第二扫描电极部的短路的工序;和将上述第一扫描电极部的位于行方向的2个端部中位于像素区域内的端部设为第一端部并且将上述第一扫描电极部的位于行方向的2个端部中位于像素区域外的端部设为第三端部,将第二扫描电极部的位于行方向的2个端部中位于像素区域内的端部设为第二端部并且将第二扫描电极部的位于行方向的2个端部中位于像素区域外的端部设为第四端部,当存在上述数据信号线与第一扫描电极部的短路时,通过在第一端部和第三端部以及连通电极部进行电极切断,将包括短路部位的第一扫描电极部从扫描信号线切离,当存在上述数据信号线与第二扫描电极部的短路时,通过在第二端部和第四端部以及连通电极部进行电极切断,将包括短路部位的第二扫描电极部从扫描信号线切离的工序。根据上述液晶面板的制造方法,除了上述的效果以外,还能够将第一开口部的沿列方向的2个边缘用于层的对准。
如以上那样,根据本有源矩阵基板,能够不使用预备配线等而修正配线缺陷(SG漏电)。从而,如果将本结构应用于包括预备配线的 有源矩阵基板,则能够不进行将数据信号线的两端与预备配线连接的工序而修正SG漏电,除此之外,也能够避免在连接预备配线时产生的负荷的增加。另外,如果将本结构应用于原来不包括预备配线的有源矩阵基板,则能够使由于SG漏电而成为缺陷品的有源矩阵基板变成优良品,从而能够提高成品率。这些效果在大型的有源矩阵基板中可以说特别显著。
附图说明
图1是表示本实施方式的有源矩阵基板的结构的平面图。
图2是表示本实施方式的有源矩阵基板的另一个结构的平面图。
图3是表示本实施方式的有源矩阵基板的另一个结构的平面图。
图4是表示本实施方式的有源矩阵基板的另一个结构的平面图。
图5是表示本实施方式的液晶面板的结构的平面图。
图6是表示图1所示的有源矩阵基板的SG漏电修正方法的平面图。
图7是表示图4所示的有源矩阵基板的SG漏电修正方法的平面图。
图8是表示本实施方式的有源矩阵基板的另一个结构的平面图。
图9是表示图8所示的有源矩阵基板的SG漏电修正方法的平面图。
图10是表示本实施方式的有源矩阵基板的另一个结构的平面图。
图11是表示由SG漏电产生的十字线缺陷的示意图。
图12是表示包括本有源矩阵基板的装置的示意图,(a)是表示本液晶显示单元的结构的示意图,(b)是表示本液晶显示装置的结构的示意图。
图13是表示本液晶显示装置的驱动方法的时间图。
图14是表示本液晶显示装置的另一个驱动方法的时间图。
图15是说明本液晶显示装置的功能的框图。
图16是说明本电视接收机的功能的框图。
图17是表示本电视接收机的结构的分解立体图。
图18是表示在本液晶面板上安装偏光板的方法的示意图。
图19是更详细地表示图1的有源矩阵基板的结构的平面图。
图20是表示图1的有源矩阵基板的变形例的平面图。
图21是表示本实施方式的有源矩阵基板的又一个结构的平面图。
图22是表示图21所示的有源矩阵基板的修正方法的平面图。
图23是表示图21所示的有源矩阵基板的变形例的平面图。
图24是表示图21所示的有源矩阵基板的变形例的平面图。
图25是表示图21所示的有源矩阵基板的变形例的平面图。
图26是表示图19所示的有源矩阵基板的沿箭头看的剖面图。
图27是表示图19所示的有源矩阵基板的修正方法的剖面图。
图28是包括图26所示的有源矩阵基板的液晶面板的剖面图。
图29是表示图28所示的液晶面板的修正方法的剖面图。
图30是表示图29中的修正的失败例的剖面图。
图31是表示图21所示的有源矩阵基板的沿箭头看的剖面图。
图32是表示图21所示的有源矩阵基板的修正方法的剖面图。
图33是包括图31所示的有源矩阵基板的液晶面板的剖面图。
图34是表示图33所示的液晶面板的修正方法的剖面图。
图35是表示图20所示的有源矩阵基板的沿箭头看的剖面图。
图36是说明图20所示的有源矩阵基板中的保持电容配线延伸部与漏极电极的熔融连接的剖面图。
图37是表示图21所示的有源矩阵基板的另一个变形例的平面图。
图38是用于说明本有源矩阵基板的效果的参考图。
图39是表示以往的有源矩阵基板的结构的平面图。
符号说明
3a~3f    有源矩阵基板
5         像素区域
7a~7d    缺口部
9x        主体电极
9y        连接电极
10        液晶面板
12a       第一晶体管
12b      第二晶体管
15       数据信号线
16       扫描信号线
16a      第一扫描电极部
16b      第二扫描电极部
16x      第一栅极延伸部
16y      第二栅极延伸部
17a      第一像素电极
17b      第二像素电极
18a      第一保持电容配线
18b      第二保持电容配线
18ax     第一保持电容配线延伸部
18bx     第二保持电容配线延伸部
29       开口部
29a      第一开口部
29b      第二开口部
31       虫孔状区域
32       连通电极部
100      液晶显示单元
110      液晶显示装置
601      电视接收机
EP1~EP4 第一端部~第四端部
具体实施方式
图1是表示本实施方式的有源矩阵基板的一部分的(透视)平面图。如该图所示,有源矩阵基板3a包括相互正交的数据信号线15和扫描信号线16、第一保持电容配线和第二保持电容配线18a、18b和配置成矩阵状的像素区域5。此外,数据信号线15与扫描信号线16相比配置在上层。扫描信号线16以横穿各像素区域5的方式沿行方向(图中的左右方向)延伸,数据信号线15沿着各像素区域的边缘(沿着与扫描信号线正交的方向的边缘)沿列方向(图中的上下方向)延 伸,第一保持电容配线和第二保持电容配线18a、18b分别以与在列方向上相邻的2个像素区域各自的端部重叠的方式沿行方向(图中的左右方向)延伸。
在各像素区域5中,形成有第一晶体管12a、第二晶体管12b、第一像素电极17a、第二像素电极17b、第一保持电容配线18a、第二保持电容配线18b、第一漏极引出配线27a、第二漏极引出配线27b、第一接触孔11a和第二接触孔11b。
在横穿像素区域5的中央部的扫描信号线16上,形成有从像素区域外通过数据信号线15的下方而到达像素区域内的长方形形状的开口部29,在扫描信号线16中,开口部29的两侧部分、即隔着开口部29在列方向上相对的部分成为第一扫描电极部和第二扫描电极部16a、16b。扫描信号线16为在扫描电极部16a、16b膨胀的形状。第一扫描电极部16a的一部分作为第一晶体管12a的栅极电极起作用,第二扫描电极部16b的一部分作为第二晶体管12b的栅极电极起作用。
此外,在第一扫描电极部16a的位于行方向的2个端部中,将位于像素区域内的端部设为第一端部EP1,将位于像素区域外(数据信号线15的外侧)的端部设为第三端部EP3。另外,在第二扫描电极部16b的位于行方向的2个端部中,将位于像素区域内的端部设为第二端部EP2,将位于像素区域外(数据信号线15的外侧)的端部设为第四端部EP4。
当第一像素电极17a配置在扫描信号线16的一侧(图中的上侧)、第二像素电极17b配置在扫描信号线16的另一侧(图中的下侧)、并使用本有源矩阵基板3a构成液晶面板的情况下,由第一像素电极17a、在彩色滤光片基板上形成的对置电极(共用电极)和两电极间的液晶材料形成第一像素电容,由第二像素电极17b、上述对置电极和两电极间的液晶材料形成第二像素电容。另外,当将本有源矩阵基板3a作为液晶面板时,扫描信号线16的开口部29如图5所示与黑矩阵BM重叠,因此不用担心漏光等。
第一晶体管的源极电极9a以与第一扫描电极部16a重叠的方式从数据信号线15沿行方向引出。第一晶体管的漏极电极8a以与第一扫描电极部16a重叠并且与源极电极9a相对的方式形成,通过第一漏极 引出配线27a和接触孔11a与第一像素电极17a连接。另外,在第一像素电极17a与第一保持电容配线18a的重叠部形成第一保持电容。
同样,第二晶体管的源极电极9b以与第二扫描电极部16b重叠的方式从数据信号线15沿行方向引出。第二晶体管的漏极电极8b以与第二扫描电极部16b重叠并且与源极电极9b相对的方式形成,通过第二漏极引出配线27b和接触孔11b与第二像素电极17b连接。另外,在第二像素电极17b与第二保持电容配线18b的重叠部形成第二保持电容。
根据上述结构,从数据信号线15向第一像素电极17a和第二像素电极17b供给相同的信号电位,但是通过单独控制第一保持电容配线和第二保持电容配线18a、18b的电位,能够通过第一保持电容和第二保持电容使第一像素电极17a和第二像素电极17b成为不同的电位。即,在包括本有源矩阵基板3a的液晶显示装置中,能够在1个像素中形成不同的亮度区域以表现基于面积灰度等级的中间灰度,从而能够改善画面的浮白。
在本有源矩阵基板3a中,第一晶体管的源极电极9a和漏极电极8a以及漏极引出配线27a分别以在像素区域内与第一扫描电极部16a重叠但是不与第一端部EP1重叠的方式形成,并且,第一端部EP1的一部分成为缺口部7a。另外,第二晶体管的源极电极9b和漏极电极8b以及漏极引出配线27b分别以在像素区域内与第二扫描电极部16b重叠但是不与第二端部EP2重叠的方式形成,并且,第二端部EP2的一部分成为缺口部7b。另外,第三端部EP3的一部分成为缺口部7c,第四端部EP4的一部分成为缺口部7d。此外,在图1的结构中,各端部(EP1~EP1)的缺口部(7a~7d)形成在扫描信号线16的边缘一侧,但是并不限定于此。也可以形成在开口部29一侧。另外,也可以在扫描信号线16的边缘一侧和开口部29一侧两者上均形成有缺口部,在各端部(EP1~EP4)形成有中间细的部分。
图19表示图1的半导体层的位置,图26是图19的沿箭头看的剖面图。如图26所示,在本有源矩阵基板3a中,在基板30上形成有具有开口部29的扫描信号线(第一扫描电极部和第二扫描电极部16a、16b),在其上层形成有栅极绝缘膜23。在栅极绝缘膜23上,隔着半 导体层24形成有源极电极9a、9b和漏极电极8a、8b,另外,形成有漏极引出配线27b。在源极电极9a、9b、漏极电极8a、8b和漏极引出配线27b的上层形成有层间绝缘膜(无机层间绝缘膜)25,在其上层形成有第二像素电极17b。第二像素电极17b被取向膜79覆盖。此外,在接触孔11b中,层间绝缘膜25被除去,由此,漏极引出配线27b与第二像素电极17b连接。
根据本有源矩阵基板3a,当例如如图6那样发生数据信号线15与第一扫描电极部16a的短路(SG漏电)的情况下,能够如以下那样进行短路修正工序。即,在第一端部EP1(像素区域内)的缺口部7a与开口部29之间的部分、和第三端部EP3(数据信号线15的外侧)的缺口部7c与开口部29之间的部分进行电极切断,将与数据信号线15短路的第一扫描电极部16a从扫描信号线16主体切离。在此,在本有源矩阵基板中,第一晶体管的源极电极9a和漏极电极8a以及漏极引出配线27a各自以不与第一端部EP1重叠的方式形成,因此,能够容易并且可靠地进行在第一端部EP1的电极切断。
图27是用剖面图说明图6所示的在第三端部EP3(数据信号线15的外侧)的电极切断的情形的图。如该图所示,短路修正工序中的电极切断(破坏分离)通过从有源矩阵基板的表面照射激光而进行。使用的激光没有特别限定,例如能够使用YAG(钇铝石榴石)激光,作为使用的波长,可举出YAG激光的四次谐波(波长266nm)等。
通过上述的短路修正工序,能够不使用预备配线等而从数据信号线15向第二晶体管12b和其下游侧的晶体管输送信号电位。此外,第一晶体管12a在短路修正工序后也作为缺陷残留,但是由此受到影响的是1个像素区域的一半,另外,受到该影响的区域也在常黑模式的液晶面板中成为黑点,因此,对显示品质的影响可以说是微小的。
另外,在第一晶体管的源极电极9a与第一扫描电极部16a短路的情况下,也能够通过进行上述的短路修正工序而进行其修正。即,只要对有源矩阵基板3a进行上述的短路修正工序,不论是在数据信号线15与第一扫描电极部16a的交叉部分发生短路,还是在第一晶体管的源极电极9a与第一扫描电极部16a的交叉部发生短路,都能够可靠地对它们进行修正。
图38(a)是参考图,表示从扫描信号线116引出栅极延伸部116x,在该栅极延伸部116x上形成有晶体管112的源极电极109和漏极电极108,该漏极电极108通过漏极引出配线127和接触孔111与像素电极117连接的有源矩阵基板。在这样的结构中,如果如图38(b)所示,在晶体管112的源极电极109与栅极延伸部116x的交叉部P1发生短路,则能够通过将栅极延伸部116x的根部NP切断而进行其修正,但如果在数据信号线115与扫描信号线116的交叉部P2发生短路,则只有放弃修正自身,或在2个部位将数据信号线115切断、使用预备配线等进行修正。
与此相对,根据图1的本有源矩阵基板,不论是在数据信号线15与扫描信号线16的交叉部发生短路,还是在各晶体管的源极电极(9a、9b)与扫描信号线16的交叉部发生短路,都能够容易并且可靠地将包括短路部位的扫描电极部(16a或16b)从扫描信号线主体切离,因此,能够不需要预备配线等而进行它们的修正。
此外,作为检测有源矩阵基板的SG漏电的方法,例如,有使用光透过率根据电场强度而变化的调制器的方法。在该调制器的一个面上形成有透明电极,在另一个面上形成有光反射面。在此,在调制器的光反射面一侧设置有源矩阵基板并在有源矩阵基板与调制器的透明电极之间产生电场,从调制器的透明电极一侧向调制器内部照射光。透过调制器内部并在其反射面反射后的光由CCD(电荷耦合元件)摄像机接收,根据该反射光的强度,确定缺陷(SG漏电)部位。当发生SG漏电时,短路的扫描信号线上的像素区域和包括与短路的数据信号线连接的晶体管的像素区域会作为十字线缺陷被识别,因此,通过用显微镜确认十字线的交点,能够检测出短路坐标位置(SG漏电部位)(参照图11)。
另外,也可以通过利用图案识别的外观检查检测出SG漏电。即,在相邻的像素区域间将反射光的图案进行比较,根据其比较结果检测出SG漏电部位。
以下,对有源矩阵基板的制造方法的一个例子进行说明。
首先,在玻璃、塑料等透明绝缘性基板上,利用溅射法等方法,以 
Figure G2007800509359D00191
的膜厚形成例如钛、铬、铝、钼、钽、钨、铜等的 金属膜或它们的合金膜、或者它们的叠层膜,利用光蚀刻法将其图案化为需要的形状,由此形成扫描信号线(也作为各晶体管的栅极电极起作用)和各保持电容配线。此外,在本有源矩阵基板中,如图1所示,在扫描信号线16上形成有开口部29和缺口部7a~7d。
接着,利用等离子体CVD(化学气相沉积)法等连续形成作为栅极绝缘膜的氮化硅膜(SiNx)、由非晶硅或多晶硅等构成的高电阻半导体层、和n+非晶硅等低电阻半导体层,利用光蚀刻法进行图案化。此外,作为栅极绝缘膜的氮化硅膜为例如 
Figure G2007800509359D00201
左右的膜厚,作为高电阻半导体层的非晶硅膜为例如 
Figure G2007800509359D00202
左右的膜厚,作为低电阻半导体层的n+非晶硅膜为例如 
Figure G2007800509359D00203
左右的膜厚。
接着,利用溅射法等方法,以 
Figure G2007800509359D00204
的膜厚形成钛、铬、铝、钼、钽、钨、铜等的金属膜或它们的合金膜、或者它们的叠层膜,利用光蚀刻法等图案化为需要的形状,由此形成数据信号线、源极电极、漏极电极和漏极引出配线。此外,在本有源矩阵基板中,如图1所示,以在像素区域内与第一扫描电极部16a重叠但是不与第一端部EP1重叠的方式形成有第一晶体管的源极电极9a和漏极电极8a以及漏极引出配线27a,以在像素区域内与第二扫描电极部16b重叠但是不与第二端部EP2重叠的方式形成有第二晶体管的源极电极9b和漏极电极8b以及漏极引出配线27b。
接着,将数据信号线、源极电极、漏极电极和漏极引出电极的图案作为掩模,利用干蚀刻对非晶硅膜等高电阻半导体层(i层)、n+非晶硅膜等低电阻半导体层(n+层)进行沟道蚀刻。在该处理中使i层的膜厚最佳化,形成各晶体管(沟道区域)。在此,未被数据信号线、源极电极、漏极电极和漏极引出配线覆盖的半导体层被蚀刻除去,保留各晶体管的能力所需要的i层膜厚。
接着,作为层间绝缘膜,以覆盖各晶体管(沟道区域)、扫描信号线、数据信号线、源极电极、漏极电极和漏极引出配线的方式形成感光性丙烯酸树脂膜或氮化硅、氧化硅等无机绝缘膜、或它们的叠层膜等。在此,能够使用利用等离子体CVD法等形成的膜厚 
Figure G2007800509359D00205
Figure G2007800509359D00206
左右的氮化硅膜、利用旋涂法形成的膜厚 
Figure G2007800509359D00207
的 感光性丙烯酸树脂膜、或它们的叠层膜。在本有源矩阵基板中,形成氮化硅膜作为层间绝缘膜(钝化膜)。此外,作为层间绝缘膜,也能够使用聚酰亚胺树脂膜、不具有感光性的树脂膜、或旋涂玻璃(SOG)膜等。
接着,根据接触孔的位置,对层间绝缘膜进行蚀刻以形成孔。在此,例如,利用光刻法(曝光和显影)对感光性抗蚀剂进行图案化,并进行蚀刻。
接着,在层间绝缘膜上,利用溅射法等以 左右的膜厚形成例如ITO(氧化铟锡)、IZO、氧化锌、氧化锡等具有透明性的导电膜,利用光蚀刻法等将其图案化为需要的形状,由此形成各像素电极。此外,在用于MVA方式的液晶面板的有源矩阵基板中,各像素电极被形成为包括狭缝等的形状。
然后,利用喷墨法等涂敷取向膜。通过以上步骤形成有源矩阵基板。
另外,SG漏电(短路)的检测和短路修正工序,当在该检测中使用上述的调制器的情况下至少在形成各像素电极之后进行,但是当在该检测中使用图案识别的情况下,也能够在数据信号线形成后或沟道蚀刻后进行。
接着,对在有源矩阵基板与作为对置基板的彩色滤光片基板之间封入液晶的方法等进行说明。
关于液晶的封入方法,可以采用以下方法(真空注入法)进行:在热固化型密封树脂上设置用于液晶注入的注入口,在真空下将注入口浸入液晶,通过大气开放注入液晶,然后,用UV固化树脂等将注入口密封。另外,也可以利用以下所示的液晶滴下贴合法进行。
在有源矩阵基板一侧的周围涂敷含有纤维玻璃等间隔物的UV固化型密封树脂,使用液晶滴下法在彩色滤光片基板一侧进行液晶的滴下。利用液晶滴下法,能够在密封的内侧部分规则地滴下最佳的液晶量。该滴下量由单元间隙值和要在单元内填充液晶的容积值来决定。
接着,为了将像上述那样进行了密封描绘和液晶滴下的彩色滤光片基板与有源矩阵基板贴合,将贴合装置内的气氛减压至1Pa,在该减压下进行两基板的贴合。这样,通过使气氛变成大气压,密封部分 被压实。
接着,利用UV固化装置进行UV照射,进行密封树脂的临时固化。然后,进行烘焙以进行密封树脂的最终固化。在该时刻,液晶遍及密封树脂的内侧,达到液晶被填充在单元内的状态。
此外,在彩色滤光片基板上形成有与有源矩阵基板的各像素对应而呈矩阵状配置的着色层(R、G、B)、在各着色层的间隙中设置的黑矩阵、以及对置电极(共用电极)等,将这样的彩色滤光片基板与本有源矩阵基板贴合,像上述那样注入、密封液晶,由此形成本液晶面板。
图28是表示包括图1的有源矩阵基板的液晶面板的一个例子的剖面图,关于有源矩阵基板3a,如用图26所说明的那样。如图28所示,在彩色滤光片基板35中,在基板39上形成有黑矩阵(BM)13和R、G、B的着色层14,在它们的上层形成有共用电极28(对置电极),共用电极28由取向膜19覆盖。在该彩色滤光片基板35与有源矩阵基板3a之间形成有液晶层40。
SG漏电(短路)的检测和短路修正工序,可以如上述那样在有源矩阵基板的制造工序中进行,但是也能够在形成液晶面板后进行。
例如,在液晶面板两面配置偏光板并且向液晶面板供给规定的电信号,通过从液晶面板背面照射光而显示规定图像。当发生SG漏电时,短路的扫描信号线上的像素区域和包括与短路的数据信号线连接的晶体管的像素区域作为十字线缺陷被识别,因此,通过在如上述那样使液晶面板显示的状态下,利用显微镜从有源矩阵基板一侧确认十字线的交点,能够检测出短路坐标位置(SG漏电部位)(参照图11)。当发生例如数据信号线15与第一扫描电极部16a的短路(SG漏电)时,在有源矩阵基板3a(参照图1、6)的第一端部EP1(像素区域内)和第三端部EP3(数据信号线15的外侧)进行电极切断,将与数据信号线15短路的第一扫描电极部16a从扫描信号线16主体切离。
图29是用剖面图说明在第三端部EP3(数据信号线15的外侧)的电极切断的情形的图。如该图所示,通过从液晶面板的背面照射激光来进行电极切断(破坏分离)。
如以上所述,SG漏电(短路)的检测和短路修正工序,只要在有 源矩阵基板的阶段或液晶面板的阶段进行就足够,但是也可以在有源矩阵基板的阶段和液晶面板的阶段两者中进行。如果这样,则能够以更高的概率防止将包含缺陷的不良品输送到后面的工序(例如后述的液晶显示单元的制造工序、电视接收机的制造工序等)的情况。
本有源矩阵基板也能够如图20那样构成。即,从第一保持电容配线18a引出第一保持电容配线延伸部18ax,该第一保持电容配线延伸部18ax的前端部与漏极引出配线27a的前端部重叠。另外,从第二保持电容配线18b引出第二保持电容配线延伸部18bx,该第二保持电容配线延伸部18bx的前端部与漏极引出配线27b的前端部重叠。此外,连接第一漏极引出配线27a和第一像素电极17a的第一接触孔11a设置在第一漏极引出配线27a的前端部上,连接第二漏极引出配线27b和第二像素电极17b的第二接触孔11b设置在第二漏极引出配线27b的前端部上。图35是图20的沿箭头看的剖面图。如该图所示,在基板30上形成有第二保持电容配线延伸部18bx,它与设置在栅极绝缘膜23上的第二漏极引出配线27b重叠。另外,在该重叠的部分上设置有第二接触孔11b。其它的结构与图26同样。
根据上述结构,例如当数据信号线15与第二扫描电极部16b短路时,通过将与数据信号线15短路的第二扫描电极部16b从扫描信号线16主体切离、并且将漏极引出配线27b的前端部与第二保持电容配线延伸部18bx的前端部熔融连接(参照图36),能够将第二像素电极17b与第二保持电容配线18b连接。即,当数据信号线15与第二扫描电极部16b短路时,能够将第二像素电极17b的电位降低至第二保持电容配线18b的电位,在包括本有源矩阵基板的液晶显示装置中,能够将包括与缺陷晶体管连接的第二像素电极17b的子像素黑点化。此外,在将漏极引出配线的前端部与保持电容配线的前端部进行熔融连接时,也能够消除由接触孔内的层间绝缘膜残留等引起的接触不良(像素电极与漏极引出配线的连接不良)。
本有源矩阵基板也能够如图2那样构成。有源矩阵基板3b为从数据信号线15引出到像素区域内的共用源极电极9兼作第一晶体管的源极电极和第二晶体管的源极电极的结构。
具体地说,在横穿像素区域5的中央部的扫描信号线16上,形成 有从像素区域外通过数据信号线15的下方而到达像素区域内的长方形形状的开口部29,在扫描信号线16中,开口部29的两侧部分、即隔着开口部29在列方向上相对的部分成为第一扫描电极部和第二扫描电极部16a、16b。第一扫描电极16a的一部分作为第一晶体管12a的栅极电极起作用,第二扫描电极16b的一部分作为第二晶体管12b的栅极电极起作用。共用源极电极9以与开口部29以及第一扫描电极16a和第二扫描电极16b重叠的方式沿行方向延伸,第一晶体管的漏极电极8a与第一扫描电极16a重叠并且与共用源极电极9相对,第二晶体管的漏极电极8b与第二扫描电极16b重叠并且与共用源极电极9相对。其它结构与图1同样。
根据上述结构,除了能够不使用预备配线等而修正SG漏电的上述效果以外,还能够得到以下的效果。即,可以不在开口部29上将源极电极分离,因此,能够将开口部29的列方向(图中的上下方向)的长度缩小。由此,能够提高像素开口率,而不需要使扫描信号线***或形成为扫描信号线在像素区域内膨胀的结构。
源极电极的形成,通常,通过利用光刻工序涂敷抗蚀剂,利用曝光、显影进行图案化,以其图案作为掩模进行蚀刻而进行,但是当开口部29的列方向(图中的上下方向)的长度小的情况下,开口部上的抗蚀剂的表面位置追随(开口部两侧的)各扫描电极部上的抗蚀剂的表面位置,开口部上的抗蚀剂膜厚比各扫描电极部上的抗蚀剂膜厚形成得要厚。因此,当为了将各晶体管的源极电极分离而与开口部上的抗蚀剂深度一致地设定曝光量时,各电极的边缘后退,沟道长度变大。在这样将从数据信号线引出的源极电极在开口部上分离的结构中,不得不增大开口部29的列方向(图中的上下方向)的长度,使得开口部上的抗蚀剂的表面位置不追随各扫描电极部上的抗蚀剂的表面位置,像素区域内的扫描信号信号线16的宽度变大。
本有源矩阵基板也能够如图3那样构成。有源矩阵基板3c为在各晶体管中使源极电极相对,在它们之间设置漏极电极的结构。
具体地说,在横穿像素区域5的中央部的扫描信号线16上,形成有从像素区域外通过数据信号线15的下方而到达像素区域内的长方形形状的开口部29,在扫描信号线16中,开口部29的两侧部分、即 隔着开口部29在列方向上相对的部分成为第一扫描电极部和第二扫描电极部16a、16b。第一扫描电极16a的一部分作为第一晶体管12a的栅极电极起作用,第二扫描电极16b的一部分作为第二晶体管12b的栅极电极起作用。共用源极电极9以与开口部29以及第一扫描电极部16a和第二扫描电极部16b重叠的方式沿行方向引出,第一晶体管的源极电极9a以与第一扫描电极部16a重叠并且与共用源极电极9相对的方式引出,第二晶体管的源极电极9b以与第一扫描电极部16b重叠并且与共用源极电极9相对的方式引出。另外,第一晶体管的漏极电极8a以与第一扫描电极部16a重叠的方式形成在共用源极电极9和源极电极9a之间,第二晶体管的漏极电极8b以与第二扫描电极部16b重叠的方式形成在共用源极电极9和源极电极9b之间。其它结构与图1同样。
根据上述结构,除了能够不使用预备配线等而修正SG漏电的上述效果以外,还能够得到以下效果。即,在各晶体管中在漏极电极的两侧形成沟道,因此,能够减小沟道宽度,从而能够减少由异物等引起的源极电极与漏极电极的短路。
本有源矩阵基板也能够如图8那样构成。有源矩阵基板3e为从各扫描电极部(16a、16b)沿列方向(远离开口部29的方向)引出有栅极延伸部16x、16y的结构。此外,栅极延伸部16x作为第一晶体管12a的栅极电极起作用,栅极延伸部16y作为第二晶体管12b的栅极电极起作用。
具体地说,第一晶体管的源极电极9a以与栅极延伸部16x重叠的方式沿行方向引出,第一晶体管的漏极电极8a以与栅极延伸部16x重叠并且与源极电极9a相对的方式形成。同样,第二晶体管的源极电极9b以与栅极延伸部16y重叠的方式沿行方向引出,第二晶体管的漏极电极8b以与栅极延伸部16y重叠并且与源极电极9b相对的方式形成。其它结构与图1同样。
在有源矩阵基板3e中,如图9所示,当在源极电极9a与栅极延伸部16x的交叉部P1发生短路的情况下,在栅极延伸部16x的根部EP5进行切断,能够修正SG漏电。当然,在该情况下(在交叉部P1发生短路的情况下),也可以在第一端部EP1和第三端部EP3进行切 断。此外,当在数据信号线15与第一扫描电极部16a的交叉部P2发生短路的情况下,需要在第一端部EP1和第三端部EP3进行切断。即,如果在第一端部EP1和第三端部EP3进行切断,则即使在交叉部P1和交叉部P2的任一个中发生短路也能够对该短路进行修正。
本有源矩阵基板也能够如图4那样构成。有源矩阵基板3d为对扫描信号线16的开口部进行分割以减小各开口部的宽度(行方向的长度),从而将开口部的边缘用于层对准的结构。
具体地说,在横穿像素区域5的中央部的扫描信号线16上,形成有从像素区域外通过数据信号线的下方而到达像素区域内的长方形形状的第一开口部29a、相对于第一开口部29a在行方向上并列的长方形形状的第二开口部29b、和位于两开口部29a、29b的间隙的连通电极部32,作为由第一开口部和第二开口部29a、29b和连通电极部32构成的虫孔状区域31的两侧部分,隔着该虫孔状区域31在列方向上相对的部分成为第一扫描电极部和第二扫描电极部16a、16b。第一扫描电极部16a的一部分作为第一晶体管12a的栅极电极起作用,第二扫描电极部16b的一部分作为第二晶体管12b的栅极电极起作用。其它结构与图3同样。
根据有源矩阵基板3d,当例如如图7那样发生数据信号线15与第二扫描电极部16b的短路(SG漏电)的情况下,能够如以下那样进行短路修正工序。即,在第二端部EP2(像素区域内)的缺口部7b与开口部29b之间的部分、第四端部EP4(数据信号线15的外侧)的缺口部7d与开口部29a之间的部分、和连通电极部32进行电极切断,将与数据信号线15短路的第二扫描电极部16b从扫描信号线16主体切离。在此,在本有源矩阵基板中,第二晶体管的源极电极9b和漏极电极8b以及漏极引出配线27b各自以不与第二端部EP2重叠的方式形成,因此,能够容易并且可靠地进行在第二端部EP2的电极切断。此外,当第二晶体管的源极电极9b与第二扫描电极部16b短路的情况下,只要进行与上述同样的短路修正工序即可。
通过上述的短路修正工序,能够不使用预备配线等而从数据信号线15向第一晶体管12a和第二晶体管12b下游侧的晶体管输送信号电位。此外,第二晶体管12b在短路修正工序后也作为缺陷残留,但是 由此而受到影响的是1个像素区域的一半,另外,受到该影响的区域也在常黑模式的液晶面板中成为黑点,因此,对显示品质的影响可以说是微小的。
可是,在光刻工序中,有对图案边缘进行自动图像识别,根据其结果测定对准状态的情况。当例如在图1的有源矩阵基板3a中测定沿行方向延伸的扫描信号线与沿列方向延伸的数据信号线的对准状态的情况下,检测出设置在扫描信号线上的开口部的2个边缘(沿列方向的2边)并求出其中心线,确定扫描信号线的基准位置。另外,检测出数据信号线的沿行方向的边缘并求出其中心线,通过测定这些中心线彼此的距离来判定对准状态。
在该情况下,需要上述开口部的2个边缘在能够进行图案边缘检测的区域内,但是当各晶体管的尺寸伴随着液晶面板的大型化而变大时,用于能够进行SG漏电修正的开口部也变大,也出现开口部的2个边缘不在图案边缘检测区域内,无法测定对准状态的情况。
但是,根据图4的有源矩阵基板3d,通过在扫描信号线16中设置2个开口部(由连通电极部32将开口部分离),能够使第一开口部29a的2个边缘(沿列方向的2边)在图案边缘检测区域内。由此,即使在大型液晶面板中,也能够使用在扫描信号线中形成的开口部的2个边缘来判定对准状态。
本有源矩阵基板也能够如图10那样构成。在有源矩阵基板3f中,在横穿像素区域5的中央部的扫描信号线16上,形成有从像素区域外通过数据信号线的下方而到达像素区域内的长方形形状的第一开口部29a、相对于第一开口部29a在行方向上并列的长方形形状的第二开口部29b、和位于两开口部29a、29b的间隙的连通电极部32,作为由第一开口部和第二开口部29a、29b和连通电极部32构成的虫孔状区域31的两侧部分,隔着该虫孔状区域31在列方向上相对的部分成为第一扫描电极部和第二扫描电极部16a、16b。在此,从各扫描电极部(16a、16b)沿列方向(远离虫孔状区域31的方向)引出有栅极延伸部16x、16y,栅极延伸部16x作为第一晶体管12a的栅极电极起作用,栅极延伸部16y作为第二晶体管12b的栅极电极起作用。
在有源矩阵基板3f中,如果在第一端部EP1和第三端部EP3以 及连通电极部32进行切断,则即使在源极电极9a与栅极延伸部16x的交叉部、和数据信号线15与第一扫描电极部16a的交叉部中的任一个发生短路,也能够对它们进行修正。另外,即使液晶面板大型化,也能够使用在扫描信号线中形成的第一开口部29a的两边缘(例如沿列方向的2边)来判定对准状态。
本有源矩阵基板也能够如图21那样构成。有源矩阵基板3g为能够将作为第一晶体管和第二晶体管共用的源极电极起作用的电极(主体电极9x)容易地从数据信号线15切离的结构。
当在某个像素(像素区域)中确认了SG漏电时,其原因有数据信号线15与第一扫描电极部16a或第二扫描电极部16b的短路的情况,另外,也有源极电极与第一扫描电极部16a或第二扫描电极部16b的短路的情况。在此,如果例如如图6那样在第一端部EP1(像素区域内)和第三端部EP3(数据信号线15的外侧)进行电极切断,将第一扫描电极部16a从扫描信号线16主体切离,则能够修正第一扫描电极部16a与源极电极9a的短路。但是,例如当为了低电阻化而将扫描信号线16形成得较厚时,源极电极9a、9b比扫描信号线16容易切断。当在该情况下(使扫描信号线16厚膜化的情况下)在液晶面板阶段进行扫描信号线的切断时,如图30所示,有可能由于栅极金属的碎片M而重新发生G-C漏电(扫描信号线-共用电极间的短路)。如果这样,则当在某个像素(像素区域)中确认了SG漏电,不清楚其原因是数据信号线15与第一扫描电极部16a或第二扫描电极部16b的短路、或者是源极电极与第一扫描电极部16a或第二扫描电极部16b的短路的情况下,(与扫描信号线16相比)先将源极电极切断也可以说是有效的方法。
因此,在图21的有源矩阵基板3g中,鉴于这些情况,设置作为第一晶体管和第二晶体管12a、12b共用的源极电极起作用的主体电极9x、和连接该主体电极9x与数据信号线15的连接电极9y,将连接电极9y配置在开口部29上,并且使连接电极9y的形状为行方向的宽度比列方向的宽度大的形状(在行方向上细长地延伸的形状)。另外,在主体电极9x的一侧以与其相对的方式形成第一晶体管12a的漏极电极8a,从漏极电极8a引出有漏极引出配线27a。另外,在主体电极 9x的另一侧以与其相对的方式形成第二晶体管12b的漏极电极8b,从漏极电极8b引出有漏极引出配线27b。
此外,在有源矩阵基板3g中,在横穿像素区域5的中央部的扫描信号线16上,形成有从像素区域外通过数据信号线15的下方而到达像素区域内的长方形形状的开口部29,在扫描信号线16中,开口部29的两侧部分、即隔着开口部29在列方向上相对的部分成为第一扫描电极部和第二扫描电极部16a、16b。第一扫描电极16a的一部分作为第一晶体管12a的栅极电极起作用,第二扫描电极16b的一部分作为第二晶体管12b的栅极电极起作用。另外,在第一扫描电极部16a的位于行方向的2个端部中,将位于像素区域内的端部设为第一端部EP1,将位于像素区域外(数据信号线15的外侧)的端部设为第三端部EP3。另外,在第二扫描电极部16b的位于行方向的2个端部中,将位于像素区域内的端部设为第二端部EP2,将位于像素区域外(数据信号线15的外侧)的端部设为第四端部EP4。在此,主体电极9x以在像素区域内与第一扫描电极部16a和第二扫描电极部16b分别重叠但是既不与第一端部EP1重叠也不与第二端部EP2重叠的方式形成。另外,漏极电极8a和漏极引出配线27a分别以在像素区域内与第一扫描电极部16a重叠但是不与第一端部EP1重叠的方式形成。另外,漏极电极8b和漏极引出配线27b分别以在像素区域内与第二扫描电极部16b重叠但是不与第二端部EP2重叠的方式形成。另外,从第一保持电容配线18a引出第一保持电容配线延伸部18ax,其前端部与漏极引出配线27a的前端部重叠。另外,从第二保持电容配线18b引出第二保持电容配线延伸部18bx,其前端部与漏极引出配线27b的前端部重叠。图31表示图21的沿箭头看的剖面图。关于图31,除了形成有主体电极9x作为各晶体管12a、12b共用的源极电极这点以外与图35同样。
根据图21的有源矩阵基板3g,当虽然确认SG漏电但是其部位不清楚的情况下,如图22所示,首先,将连接电极9y切断,将主体电极9x(共用的源极电极)从数据信号线15切离,如果即使这样也不能修正SG漏电,则能够采用在第一端部EP1(像素区域内)和第三端部EP3(数据信号线15的外侧)进行电极切断,将第一扫描电极部 16a从扫描信号线16主体切离的工序。图32是用剖面图说明连接电极9y的电极切断的情形的图。如该图所示,电极切断(破坏分离)通过从有源矩阵基板表面照射激光而进行。
另外,主体电极9x具有帽子型,在主体电极9x的边缘中,与第一晶体管12a的漏极电极8a和主体电极9x间的沟道区域相接的部分为L字形状,在主体电极的边缘中,与第二晶体管12b的漏极电极8b和主体电极9x间的沟道区域相接的部分为L字形状。如果这样,则即使如有源矩阵基板3g那样,在作为第一晶体管12a的源极电极起作用的只是主体电极9x、且作为第二晶体管12b的源极电极起作用的也只是主体电极9x的结构中,也能够充分确保沟道宽度。
图33是表示包括图21的有源矩阵基板的液晶面板的一个例子的剖面图。关于图33也是,除了形成有主体电极9x作为各晶体管12a、12b共用的源极电极这点以外与图28同样。图34是用剖面图说明在液晶面板阶段中的连接电极9y的电极切断的情形的图。如该图所示,电极切断(破坏分离)通过从液晶面板背面照射激光而进行。
此外,也可以如图23那样构成图21所示的有源矩阵基板。即,形成为使上述开口部中与连接电极9y的两侧区域的一个重叠的部分的一部分和与连接电极9y的两侧区域的另一个重叠的部分的一部分各自在列方向上膨胀的结构。如果这样,则能够容易进行连接电极9y的电极切断,而不增大整个开口部29的列方向的宽度。当整体地增大开口部29的列方向的宽度时,扫描信号线16自身的宽度变大,开口率降低,但是在上述结构中能够避免这样的问题。
此外,也可以如图24那样构成图21所示的有源矩阵基板。即,在第一扫描电极部和第二扫描电极部16a、16b各自的两端部(EP1~EP4)形成切入部(7a~7d)。如果这样,则当即使将连接电极9y切断也不能修正SG漏电的情况下,能够容易地进行在第一端部EP1(像素区域内)和第三端部EP3(数据信号线15的外侧)的电极切断、或者在第二端部EP2(像素区域内)和第四端部EP4(数据信号线15的外侧)的电极切断。
另外,也能够如图25所示的有源矩阵基板那样,将使开口部29的与连接电极9x相对的2个部分各自的一部分在列方向上膨胀的结 构、与在第一扫描电极部和第二扫描电极部16a、16b各自的两端部(EP1~EP4)形成切入部(7a~7d)的结构组合。
另外,也可以如图37那样构成图21所示的有源矩阵基板。即,将开口部分成2个,在这些开口部29a、29b的间隙中形成连通电极部32。如果这样,则即使在大型液晶面板中,也能够使用在扫描信号线中形成的开口部的2个边缘来判定对准状态。此外,对于图37的结构,当然也能够加上使第一开口部29a中与连接电极9y的两侧区域的一个重叠的部分的一部分和与连接电极9y的两侧区域的另一个重叠的部分的一部分各自在列方向上膨胀的结构,或者加上在第一扫描电极部和第二扫描电极部16a、16b各自的两端部(EP1~EP4)形成切入部的结构。
此外,在上述的有源矩阵基板中,各保持电容由像素电极、保持电容配线和它们之间的绝缘膜形成,但是并不限定于此。例如,也可以在保持电容配线上设置与各晶体管的漏极电极和像素电极连接的保持电容上电极,由该保持电容上电极、保持电容配线和它们之间的绝缘膜形成各保持电容。
另外,在本申请中为了说明方便起见,将数据信号线延伸的方向设为列方向,将扫描信号线延伸的方向设为行方向,但是例如在能够使画面旋转90°的液晶显示装置中,当旋转角为0°时如上述的那样,但是当旋转角为90°时,数据信号线延伸的方向成为行方向,扫描信号线延伸的方向成为列方向,这是不言而喻的。
在本实施方式中,如以下那样构成本液晶显示单元和液晶显示装置。
即,如图18所示,在液晶面板的两面粘贴2片偏光板A、B,使得偏光板A的偏光轴与偏光板B的偏光轴相互正交。此外,在偏光板上,也可以根据需要叠层光学补偿片等。接着,如图12(a)所示,连接驱动器(栅极驱动器102、源极驱动器101)。在此,作为一个例子,对利用TCP(Tape Carrier Package:卷带式封装)方式连接驱动器进行说明。首先,在液晶面板的端子部临时压接ACF(AnisotropicConductive Film:各向异性导电膜)。接着,从载带(carrier tap)冲压载有驱动器的TCP,与面板端子电极进行位置对准,加热,进行正 式压接。然后,用ACF连接用于连结驱动器TCP彼此的电路基板103(PWB:Printed wiring board,印刷线路板)与TCP的输入端子。由此,液晶显示单元100完成。
此后,如图12(b)所示,将显示控制电路113通过电路基板103与液晶显示单元的各驱动器(101、102)连接,并与照明装置(背光源单元)104形成一体,成为液晶显示装置110。
图13是表示本液晶显示装置的各部的动作的时间图。在此,Vg是扫描信号线16的电压,Vs是数据信号线15的电压(源极电压),Vcs1是第一保持电容配线18a的电压,Vcs2是第二保持电容配线18b的电压,Vlc1是第一像素电极17a的电压,Vlc2是第二像素电极17b的电压。在液晶显示装置中,为了使得液晶不极化,一般进行帧反转、线反转、点反转等的交流驱动。即,向第n帧提供相对于源极电压的中央值Vsc为正极性的源极电压(Vsp),向接下来的第(n+1)帧提供相对于Vsc为负极性的源极电压(Vsn),并且对每个帧进行点反转。另外,使第一保持电容配线18a的电压和第二保持电容配线18b的电压分别以振幅电压Vad进行振荡,并且使两者的相位错开180度。即,对两者进行控制,使得当在T2,Vg刚成为“L”(各TFT12a、12b刚断开)之后,Vcs1成为“H”、Vsc2成为“L”。
另外,也能够如图14那样,使Vcs1为在Vg在T2刚成为“L”(各TFT12a、12b刚断开)之后的T3成为“高”(“High”)并保持不变(或者成为“低”(“Low”)并保持不变)的波形,使Vcs2为在从T3经过1个水平期间(1H)后的T4成为“低”(“Low”)并保持不变(或者成为“高”(“High”)并保持不变)的波形。即,进行电位控制,使得:在各晶体管被断开后,使Vcs1上升,在该帧中维持该上升后的状态,并且,从Vcs1的上升错开1H期间使Vcs2下降,在该帧中维持该下降后的状态,或者,进行电位控制,使得:在各晶体管被断开后,使Vcs1下降,在该帧中维持该下降后的状态,并且,从Vcs1的下降错开1H期间使Vcs2上升,在该帧中维持该上升后的状态。如果这样,则Vcs1和Vcs2波形的变钝对漏极有效电位的影响变小,对降低亮度不均匀是有效的。
此外,在本申请中为了说明方便起见,将扫描信号线的延伸方向 设为行方向,将数据信号线的延伸方向设为列方向,但是也可以是扫描信号线的延伸方向为列方向、数据信号线的延伸方向为行方向,这是不言而喻的。在该情况下,在上述的说明中,行与列调换。
接着,对将本液晶显示装置应用于电视接收机时的一个结构例进行说明。图15是表示电视接收机用的液晶显示装置110的结构的框图。液晶显示装置110包括液晶显示单元100、Y/C分离电路80、视频色度电路81、A/D转换器82、液晶控制器83、背光源驱动电路85、背光源86、微机(微型计算机)87和灰度等级电路98。
上述液晶显示单元100包括在上述各实施方式中所示的液晶面板、和用于驱动它的源极驱动器和栅极驱动器。
在上述结构的液晶显示装置110中,首先,作为电视信号的复合彩***信号Scv从外部被输入Y/C分离电路80,并在那里被分离成亮度信号与颜色信号。这些亮度信号与颜色信号在视频色度电路81中被转换成与光的三原色对应的模拟RGB信号,进一步,该模拟RGB信号被A/D转换器82转换成数字RGB信号。该数字RGB信号被输入液晶控制器83。另外,在Y/C分离电路80中,还从外部输入的复合彩***信号Scv中取出水平同步信号和垂直同步信号,这些同步信号也通过微机87被输入液晶控制器83。
数字RGB信号与基于上述同步信号的定时信号一起在规定的定时从液晶控制器83被输入液晶显示单元100。另外,在灰度等级电路98中,生成彩色显示的三原色R、G、B各自的灰度等级电压,这些灰度等级电压也被供给液晶显示单元100。在液晶显示单元100中,根据这些RGB信号、定时信号和灰度等级电压,利用内部的源极驱动器、栅极驱动器等生成驱动用信号(数据信号、扫描信号等),根据这些驱动用信号,在内部的显示部上显示彩色图像。此外,为了利用该液晶显示单元100显示图像,需要从液晶显示单元100的后方照射光,在该液晶显示装置110中,在微机87的控制下,背光源驱动电路85驱动背光源86,由此向本液晶面板的背面照射光。
包括上述处理在内,***整体的控制由微机87进行。此外,作为从外部输入的视频信号(复合彩***信号),不仅可以使用基于电视广播的视频信号,而且可以使用由摄像机拍摄的视频信号、通过互 联网线路供给的视频信号等,在该液晶显示装置110中,能够进行基于各种视频信号的图像显示。
当利用液晶显示装置110显示基于电视广播的图像的情况下,如图16所示,调谐部90与液晶显示装置110连接,由此构成本电视接收机601。该调谐部90从由天线(未图示)接收的接收波(高频信号)中挑出要接收的频道的信号,并将其转换成中间频率信号,通过检测该中间频率信号,取出作为电视信号的复合彩***信号Scv。该复合彩***信号Scv如上所述被输入液晶显示装置110,由液晶显示装置110显示基于该复合彩***信号Scv的图像。
图17是表示本电视接收机的一个结构例的分解立体图。如图17所示,本电视接收机601中,作为其结构要素,除了液晶显示装置110以外,还具有第一框体801和第二框体806,成为以由第一框体801与第二框体806包入的方式夹持液晶显示装置110的结构。在第一框体801上形成有使由显示装置800显示的图像透过的开口部801a。另外,第二框体806覆盖显示装置800的背面侧,设置有用于操作该显示装置800的操作用电路805,并且在下方安装有支撑用部件808。
本发明并不限定于上述的各实施方式,能够在权利要求表示的范围内进行各种各样的变更,将在不同的实施方式中分别公开的技术手段适当组合而得到的实施方式,也包含在本发明的技术范围内。
产业上的可利用性
本发明的液晶面板和液晶显示装置适合于例如液晶电视。

Claims (39)

1.一种有源矩阵基板,其包括沿行方向延伸的扫描信号线、和沿列方向延伸的数据信号线,并在各像素区域中形成有与同一数据信号线连接的第一晶体管和第二晶体管、与第一晶体管连接的第一像素电极、和与第二晶体管连接的第二像素电极,其特征在于:
所述扫描信号线具有:从像素区域外通过数据信号线的下方而到达像素区域内的开口部;和作为该开口部的两侧部分的、隔着开口部在列方向上相对的第一扫描电极部和第二扫描电极部,
将第一扫描电极部的位于行方向的2个端部中位于像素区域内的端部设为第一端部,将第二扫描电极部的位于行方向的2个端部中位于像素区域内的端部设为第二端部,
第一晶体管的源极电极和漏极电极分别以在像素区域内与所述第一扫描电极部重叠但是不与第一端部重叠的方式形成,
第二晶体管的源极电极和漏极电极分别以在像素区域内与所述第二扫描电极部重叠但是不与第二端部重叠的方式形成。
2.根据权利要求1所述的有源矩阵基板,其特征在于:
从第一晶体管的漏极电极以不与第一端部重叠的方式引出有第一漏极引出配线,从第二晶体管的漏极电极以不与第二端部重叠的方式引出有第二漏极引出配线,
所述第一漏极引出配线与第一像素电极连接,并且所述第二漏极引出配线与第二像素电极连接。
3.根据权利要求1所述的有源矩阵基板,其特征在于:
所述开口部为沿行方向延伸的长方形形状。
4.根据权利要求1所述的有源矩阵基板,其特征在于:
在第一端部和第二端部分别形成有缺口部。
5.根据权利要求1所述的有源矩阵基板,其特征在于:
将第一扫描电极部的位于行方向的2个端部中位于像素区域外的端部设为第三端部,将第二扫描电极部的位于行方向的2个端部中位于像素区域外的端部设为第四端部,
在第三端部和第四端部分别形成有缺口部。
6.根据权利要求1所述的有源矩阵基板,其特征在于:
从数据信号线延伸的电极作为第一晶体管和第二晶体管共用的源极电极起作用。
7.根据权利要求6所述的有源矩阵基板,其特征在于:
从数据信号线延伸的所述电极与所述开口部重叠。
8.根据权利要求1所述的有源矩阵基板,其特征在于:
作为第一晶体管的源极电极起作用的第一电极、作为第二晶体管的源极电极起作用的第二电极、和作为第一晶体管和第二晶体管共用的源极电极起作用的第三电极,从数据信号线沿行方向延伸,
第一晶体管的漏极电极配置在第一电极和第三电极之间,第二晶体管的漏极电极配置在第三电极和第二电极之间。
9.一种有源矩阵基板,其包括沿行方向延伸的扫描信号线、和沿列方向延伸的数据信号线,并在各像素区域中形成有与同一数据信号线连接的第一晶体管和第二晶体管、与第一晶体管连接的第一像素电极、和与第二晶体管连接的第二像素电极,其特征在于:
所述扫描信号线具有:从像素区域外通过数据信号线的下方而到达像素区域内的第一开口部;相对于第一开口部在行方向上并列的第二开口部;位于两开口部的间隙的连通电极部;和作为由两开口部和连通电极部构成的虫孔状区域的两侧部分的、隔着该虫孔状区域在列方向上相对的第一扫描电极部和第二扫描电极部,
将第一扫描电极部的位于行方向的2个端部中位于像素区域内的端部设为第一端部,将第二扫描电极部的位于行方向的2个端部中位于像素区域内的端部设为第二端部,
第一晶体管的源极电极和漏极电极分别以在像素区域内与所述第一扫描电极部重叠但是不与第一端部重叠并且不与所述连通电极部重叠的方式形成,
第二晶体管的源极电极和漏极电极分别以在像素区域内与所述第二扫描电极部重叠但是不与第二端部重叠并且不与所述连通电极部重叠的方式形成。
10.根据权利要求9所述的有源矩阵基板,其特征在于:
从第一晶体管的漏极电极以不与第一端部重叠的方式引出有第一漏极引出配线,从第二晶体管的漏极电极以不与第二端部重叠的方式引出有第二漏极引出配线,
所述第一漏极引出配线与第一像素电极连接,并且所述第二漏极引出配线与第二像素电极连接。
11.根据权利要求9所述的有源矩阵基板,其特征在于:
将第一扫描电极部的位于行方向的2个端部中位于像素区域外的端部设为第三端部,将第二扫描电极部的位于行方向的2个端部中位于像素区域外的端部设为第四端部,
在第一端部~第四端部分别形成有缺口部。
12.根据权利要求9所述的有源矩阵基板,其特征在于:
作为第一晶体管的源极电极起作用的第一电极、作为第二晶体管的源极电极起作用的第二电极、和作为第一晶体管和第二晶体管共用的源极电极起作用的第三电极,从数据信号线沿行方向延伸,
第一晶体管的漏极电极配置在第一电极和第三电极之间,第二晶体管的漏极电极配置在第三电极和第二电极之间。
13.一种有源矩阵基板,其包括沿行方向延伸的扫描信号线、和沿列方向延伸的数据信号线,并在各像素区域中形成有与同一数据信号线连接的第一晶体管和第二晶体管、与第一晶体管连接的第一像素电极、和与第二晶体管连接的第二像素电极,其特征在于:
所述扫描信号线具有:从像素区域外通过数据信号线的下方而到达像素区域内的开口部;和作为该开口部的两侧部分的、隔着开口部在列方向上相对的第一扫描电极部和第二扫描电极部,从该第一扫描电极部,在像素区域内沿远离开口部的方向引出有第一栅极延伸部,从该第二扫描电极部,在像素区域内沿远离开口部的方向引出有第二栅极延伸部,
将第一扫描电极部的位于行方向的2个端部中位于像素区域内的端部设为第一端部,将第二扫描电极部的位于行方向的2个端部中位于像素区域内的端部设为第二端部,
第一晶体管的源极电极和漏极电极分别以与第一栅极延伸部重叠但是不与第一端部重叠的方式形成,
第二晶体管的源极电极和漏极电极分别以与第二栅极延伸部重叠但是不与第二端部重叠的方式形成。
14.一种有源矩阵基板,其包括沿行方向延伸的扫描信号线、和沿列方向延伸的数据信号线,并在各像素区域中形成有与同一数据信号线连接的第一晶体管和第二晶体管、与第一晶体管连接的第一像素电极、和与第二晶体管连接的第二像素电极,其特征在于:
所述扫描信号线具有:从像素区域外通过数据信号线的下方而到达像素区域内的第一开口部;相对于第一开口部在行方向上并列的第二开口部;位于两开口部的间隙的连通电极部;和作为由两开口部和连通电极部构成的虫孔状区域的两侧部分的、隔着该虫孔状区域在列方向上相对的第一扫描电极部和第二扫描电极部,从该第一扫描电极部,在像素区域内沿远离开口部的方向引出有第一栅极延伸部,从该第二扫描电极部,在像素区域内沿远离开口部的方向引出有第二栅极延伸部,
将第一扫描电极部的位于行方向的2个端部中位于像素区域内的端部设为第一端部,将第二扫描电极部的位于行方向的2个端部中位于像素区域内的端部设为第二端部,
第一晶体管的源极电极和漏极电极分别以与第一栅极延伸部重叠但是不与第一端部重叠并且不与所述连通电极部重叠的方式形成,
第二晶体管的源极电极和漏极电极分别以与第二栅极延伸部重叠但是不与第二端部重叠并且不与所述连通电极部重叠的方式形成。
15.根据权利要求1至14中任一项所述的有源矩阵基板,其特征在于:
所述扫描信号线以横穿各像素区域的方式在行方向上延伸,所述数据信号线沿着各像素区域的边缘在列方向上延伸。
16.根据权利要求1所述的有源矩阵基板,其特征在于:
设置有作为第一晶体管和第二晶体管共用的源极电极起作用的主体电极、和连接该主体电极与所述数据信号线的连接电极,该连接电极位于开口部上。
17.根据权利要求9所述的有源矩阵基板,其特征在于:
设置有作为第一晶体管和第二晶体管共用的源极电极起作用的主体电极、和连接该主体电极与所述数据信号线的连接电极,该连接电极位于第一开口部上。
18.根据权利要求16或17所述的有源矩阵基板,其特征在于:
所述连接电极的列方向的宽度小于主体电极的列方向的宽度。
19.根据权利要求16所述的有源矩阵基板,其特征在于:
所述连接电极为行方向的宽度比列方向的宽度大的形状。
20.根据权利要求17所述的有源矩阵基板,其特征在于:
所述连接电极为行方向的宽度比列方向的宽度大的形状。
21.根据权利要求16所述的有源矩阵基板,其特征在于:
所述开口部的与作为所述连接电极的两侧的区域的一个重叠的部分的至少一部分在列方向上膨胀,并且所述开口部的与作为所述连接电极的两侧的区域的另一个重叠的部分的至少一部分在列方向上膨胀。
22.根据权利要求17所述的有源矩阵基板,其特征在于:
所述第一开口部的与作为所述连接电极的两侧的区域的一个重叠的部分的至少一部分在列方向上膨胀,并且所述第一开口部的与作为所述连接电极的两侧的区域的另一个重叠的部分的至少一部分在列方向上膨胀。
23.根据权利要求16所述的有源矩阵基板,其特征在于:
主体电极的边缘中与第一晶体管的漏极电极和主体电极间的沟道区域相接的部分为L字形状,所述主体电极的边缘中与第二晶体管的漏极电极和主体电极间的沟道区域相接的部分为L字形状。
24.根据权利要求17所述的有源矩阵基板,其特征在于:
主体电极的边缘中与第一晶体管的漏极电极和主体电极间的沟道区域相接的部分为L字形状,所述主体电极的边缘中与第二晶体管的漏极电极和主体电极间的沟道区域相接的部分为L字形状。
25.根据权利要求2或10所述的有源矩阵基板,其特征在于:
包括第一保持电容配线、从该第一保持电容配线引出的第一保持电容配线延伸部、第二保持电容配线、和从该第二保持电容配线引出的第二保持电容配线延伸部,
第一保持电容配线延伸部的前端部与所述第一漏极引出配线的前端部重叠,第二保持电容配线延伸部的前端部与所述第二漏极引出配线的前端部重叠。
26.根据权利要求25所述的有源矩阵基板,其特征在于:
以与第一漏极引出配线的前端部重叠的方式设置有连接所述第一漏极引出配线和第一像素电极的接触孔,以与第二漏极引出配线的前端部重叠的方式设置有连接第二漏极引出配线和第二像素电极的接触孔。
27.一种液晶面板,其特征在于:
包括权利要求1所述的有源矩阵基板。
28.一种液晶面板,其特征在于:
包括权利要求9所述的有源矩阵基板。
29.一种液晶面板,其特征在于:
包括权利要求13所述的有源矩阵基板。
30.一种液晶面板,其特征在于:
包括权利要求14所述的有源矩阵基板。
31.根据权利要求27至30中任一项所述的液晶面板,其特征在于:
在与有源矩阵基板相对的基板上形成的黑矩阵与所述开口部重叠。
32.一种液晶显示单元,其特征在于,包括:
权利要求27至30中任一项所述的液晶面板;和驱动器。
33.一种液晶显示装置,其特征在于,包括:
权利要求32所述的液晶显示单元;和照明装置。
34.一种电视接收机,其特征在于,包括:
权利要求33所述的液晶显示装置;和接收电视广播的调谐部。
35.一种有源矩阵基板的制造方法,所述有源矩阵基板包括以横穿各像素区域的方式在行方向上延伸的扫描信号线、和沿各像素区域的边缘在列方向上延伸的数据信号线,各像素区域具有与同一数据信号线连接的第一晶体管和第二晶体管、与第一晶体管连接的第一像素电极、和与第二晶体管连接的第二像素电极,所述有源矩阵基板的制造方法的特征在于,包括:
形成扫描信号线的工序,该扫描信号线具有从像素区域外到达像素区域内的开口部、和作为该开口部的两侧部分的、隔着开口部在列方向上相对的第一扫描电极部和第二扫描电极部;
形成以所述第一扫描电极部的一部分作为栅极电极的第一晶体管、以所述第二扫描电极部的一部分作为栅极电极的第二晶体管、和所述数据信号线的工序;
判定有无该数据信号线与第一扫描电极部的短路、以及有无所述数据信号线与第二扫描电极部的短路的工序;和
将所述第一扫描电极部的位于行方向的2个端部中位于像素区域内的端部设为第一端部并且将所述第一扫描电极部的位于行方向的2个端部中位于像素区域外的端部设为第三端部,将第二扫描电极部的位于行方向的2个端部中位于像素区域内的端部设为第二端部并且将第二扫描电极部的位于行方向的2个端部中位于像素区域外的端部设为第四端部,
在形成第一晶体管、第二晶体管和数据信号线的工序中,第一晶体管的源极电极和漏极电极分别以在像素区域内与所述第一扫描电极部重叠但是不与第一端部重叠的方式形成,第二晶体管的源极电极和漏极电极分别以在像素区域内与所述第二扫描电极部重叠但是不与第二端部重叠的方式形成,
当存在所述数据信号线与第一扫描电极部的短路时,通过在第一端部和第三端部进行电极切断,将包括短路部位的第一扫描电极部从扫描信号线切离,当存在所述数据信号线与第二扫描电极部的短路时,通过在第二端部和第四端部进行电极切断,将包括短路部位的第二扫描电极部从扫描信号线切离的工序。
36.一种液晶面板的制造方法,所述液晶面板包括有源矩阵基板,所述有源矩阵基板包括以横穿各像素区域的方式在行方向上延伸的扫描信号线、和沿各像素区域的边缘在列方向上延伸的数据信号线,各像素区域具有与同一数据信号线连接的第一晶体管和第二晶体管、与第一晶体管连接的第一像素电极、和与第二晶体管连接的第二像素电极,所述液晶面板的制造方法的特征在于,包括:
形成扫描信号线的工序,该扫描信号线具有从像素区域外到达像素区域内的开口部、和作为该开口部的两侧部分的、隔着开口部在列方向上相对的第一扫描电极部和第二扫描电极部;
形成以所述第一扫描电极部的一部分作为栅极电极的第一晶体管、以所述第二扫描电极部的一部分作为栅极电极的第二晶体管、和所述数据信号线的工序;
判定有无所述数据信号线与第一扫描电极部的短路、以及有无所述数据信号线与第二扫描电极部的短路的工序;和
将所述第一扫描电极部的位于行方向的2个端部中位于像素区域内的端部设为第一端部并且将所述第一扫描电极部的位于行方向的2个端部中位于像素区域外的端部设为第三端部,将第二扫描电极部的位于行方向的2个端部中位于像素区域内的端部设为第二端部并且将第二扫描电极部的位于行方向的2个端部中位于像素区域外的端部设为第四端部,
在形成第一晶体管、第二晶体管和数据信号线的工序中,第一晶体管的源极电极和漏极电极分别以在像素区域内与所述第一扫描电极部重叠但是不与第一端部重叠的方式形成,第二晶体管的源极电极和漏极电极分别以在像素区域内与所述第二扫描电极部重叠但是不与第二端部重叠的方式形成,
当存在所述数据信号线与第一扫描电极部的短路时,通过在第一端部和第三端部进行电极切断,将包括短路部位的第一扫描电极部从扫描信号线切离,当存在所述数据信号线与第二扫描电极部的短路时,通过在第二端部和第四端部进行电极切断,将包括短路部位的第二扫描电极部从扫描信号线切离的工序。
37.一种有源矩阵基板的制造方法,所述有源矩阵基板包括以横穿各像素区域的方式在行方向上延伸的扫描信号线、和沿各像素区域的边缘在列方向上延伸的数据信号线,各像素区域具有与同一数据信号线连接的第一晶体管和第二晶体管、与第一晶体管连接的第一像素电极、和与第二晶体管连接的第二像素电极,所述有源矩阵基板的制造方法的特征在于,包括:
形成扫描信号线的工序,该扫描信号线具有从像素区域外到达像素区域内的长方形形状的第一开口部、相对于第一开口部在行方向上并列的第二开口部、作为两开口部的间隙的连通电极部、和作为由两开口部和连通电极部构成的虫孔状区域的两侧部分的、隔着该虫孔状区域在列方向上相对的第一扫描电极部和第二扫描电极部;
形成以所述第一扫描电极部的一部分作为栅极电极的第一晶体管、以所述第二扫描电极部的一部分作为栅极电极的第二晶体管、和所述数据信号线的工序;
判定有无所述数据信号线与第一扫描电极部的短路、以及有无所述数据信号线与第二扫描电极部的短路的工序;和
将所述第一扫描电极部的位于行方向的2个端部中位于像素区域内的端部设为第一端部并且将所述第一扫描电极部的位于行方向的2个端部中位于像素区域外的端部设为第三端部,将第二扫描电极部的位于行方向的2个端部中位于像素区域内的端部设为第二端部并且将第二扫描电极部的位于行方向的2个端部中位于像素区域外的端部设为第四端部,
在形成第一晶体管、第二晶体管和数据信号线的工序中,第一晶体管的源极电极和漏极电极分别以在像素区域内与所述第一扫描电极部重叠但是不与第一端部重叠并且不与所述连通电极部重叠的方式形成,第二晶体管的源极电极和漏极电极分别以在像素区域内与所述第二扫描电极部重叠但是不与第二端部重叠并且不与所述连通电极部重叠的方式形成,
当存在所述数据信号线与第一扫描电极部的短路时,通过在第一端部和第三端部以及连通电极部进行电极切断,将包括短路部位的第一扫描电极部从扫描信号线切离,当存在所述数据信号线与第二扫描电极部的短路时,通过在第二端部和第四端部以及连通电极部进行电极切断,将包括短路部位的第二扫描电极部从扫描信号线切离的工序。
38.一种液晶面板的制造方法,所述液晶面板包括有源矩阵基板,所述有源矩阵基板包括以横穿各像素区域的方式在行方向上延伸的扫描信号线、和沿各像素区域的边缘在列方向上延伸的数据信号线,各像素区域具有与同一数据信号线连接的第一晶体管和第二晶体管、与第一晶体管连接的第一像素电极、和与第二晶体管连接的第二像素电极,所述液晶面板的制造方法的特征在于,包括:
形成扫描信号线的工序,该扫描信号线具有从像素区域外到达像素区域内的长方形形状的第一开口部、相对于第一开口部在行方向上并列的第二开口部、作为两开口部的间隙的连通电极部、和作为由两开口部和连通电极部构成的虫孔状区域的两侧部分的、隔着该虫孔状区域在列方向上相对的第一扫描电极部和第二扫描电极部;
形成以所述第一扫描电极部的一部分作为栅极电极的第一晶体管、以所述第二扫描电极部的一部分作为栅极电极的第二晶体管、和所述数据信号线的工序;
判定有无所述数据信号线与第一扫描电极部的短路、以及有无所述数据信号线与第二扫描电极部的短路的工序;和
将所述第一扫描电极部的位于行方向的2个端部中位于像素区域内的端部设为第一端部并且将所述第一扫描电极部的位于行方向的2个端部中位于像素区域外的端部设为第三端部,将第二扫描电极部的位于行方向的2个端部中位于像素区域内的端部设为第二端部并且将第二扫描电极部的位于行方向的2个端部中位于像素区域外的端部设为第四端部,
在形成第一晶体管、第二晶体管和数据信号线的工序中,第一晶体管的源极电极和漏极电极分别以在像素区域内与所述第一扫描电极部重叠但是不与第一端部重叠并且不与所述连通电极部重叠的方式形成,第二晶体管的源极电极和漏极电极分别以在像素区域内与所述第二扫描电极部重叠但是不与第二端部重叠并且不与所述连通电极部重叠的方式形成,
当存在所述数据信号线与第一扫描电极部的短路时,通过在第一端部和第三端部以及连通电极部进行电极切断,将包括短路部位的第一扫描电极部从扫描信号线切离,当存在所述数据信号线与第二扫描电极部的短路时,通过在第二端部和第四端部以及连通电极部进行电极切断,将包括短路部位的第二扫描电极部从扫描信号线切离的工序。
39.根据权利要求38所述的液晶面板的制造方法,其特征在于:
将所述第一开口部的沿列方向的2个边缘用于层的对准。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5064500B2 (ja) * 2007-06-28 2012-10-31 シャープ株式会社 アクティブマトリクス基板、液晶パネル、液晶表示ユニット、液晶表示装置、テレビジョン受像機
KR101060472B1 (ko) * 2007-11-30 2011-08-29 엘지디스플레이 주식회사 액정표시패널의 불량셀 리페어방법
KR101427584B1 (ko) * 2008-01-22 2014-08-08 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치
JP4730410B2 (ja) 2008-03-27 2011-07-20 エプソンイメージングデバイス株式会社 電気光学装置及び電子機器
KR100986845B1 (ko) * 2008-08-14 2010-10-08 삼성모바일디스플레이주식회사 유기전계발광 표시장치의 배선수리구조 및 그 수리방법
WO2011046012A1 (ja) * 2009-10-13 2011-04-21 シャープ株式会社 トランジスタ評価装置の製造方法およびトランジスタ評価装置
JP5134676B2 (ja) * 2010-11-24 2013-01-30 株式会社ジャパンディスプレイイースト 液晶表示装置およびその製造方法
US9568794B2 (en) 2010-12-20 2017-02-14 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Display device
KR101886301B1 (ko) * 2010-12-21 2018-08-07 엘지디스플레이 주식회사 액정표시장치 및 그 제조방법
CN102043284B (zh) * 2011-01-25 2012-06-13 信利半导体有限公司 一种实现高精细显示的液晶显示器
WO2013061556A1 (ja) * 2011-10-27 2013-05-02 シャープ株式会社 液晶表示パネル及びその製造方法
JP6025851B2 (ja) * 2012-09-13 2016-11-16 シャープ株式会社 液晶表示装置
KR102096051B1 (ko) 2013-03-27 2020-04-02 삼성디스플레이 주식회사 박막 트랜지스터 어레이 기판 및 이를 포함하는 유기 발광 표시 장치
US9915848B2 (en) * 2013-04-19 2018-03-13 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Display device and electronic device
KR102059371B1 (ko) * 2013-05-24 2019-12-27 엘지디스플레이 주식회사 액정 디스플레이 장치와 이의 제조방법
JP2015090435A (ja) 2013-11-06 2015-05-11 株式会社ジャパンディスプレイ 液晶表示装置
CN104460149B (zh) * 2014-12-03 2017-09-15 深圳市华星光电技术有限公司 一种阵列基板、显示装置
CN115542621A (zh) 2015-02-12 2022-12-30 株式会社半导体能源研究所 显示装置
CN105572994A (zh) * 2016-01-27 2016-05-11 深圳市华星光电技术有限公司 阵列基板及液晶显示屏及终端设备
KR102509111B1 (ko) * 2018-05-17 2023-03-13 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치
CN111443536A (zh) * 2020-05-14 2020-07-24 成都中电熊猫显示科技有限公司 阵列基板、驱动方法以及液晶显示面板
CN114815425B (zh) * 2022-05-07 2023-11-28 Tcl华星光电技术有限公司 显示面板及其制作方法
CN115202118B (zh) * 2022-07-29 2023-06-23 惠科股份有限公司 显示面板、显示面板的制作方法及显示装置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4786780A (en) * 1987-04-21 1988-11-22 Alps Electric Co., Ltd. Method for trimming thin-film transistor array
US5062690A (en) * 1989-06-30 1991-11-05 General Electric Company Liquid crystal display with redundant FETS and redundant crossovers connected by laser-fusible links
WO2006064789A1 (ja) * 2004-12-14 2006-06-22 Sharp Kabushiki Kaisha 液晶表示装置および液晶表示装置の欠陥修正方法

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3581498D1 (de) * 1984-11-16 1991-02-28 Matsushita Electric Ind Co Ltd Aktive matrixschaltung fuer fluessigkristallanzeigen.
JPH0740101B2 (ja) * 1985-04-23 1995-05-01 旭硝子株式会社 薄膜トランジスタ
JPS63221325A (ja) * 1987-03-11 1988-09-14 Fujitsu Ltd 薄膜トランジスタマトリクス
DE68909973T2 (de) * 1988-03-18 1994-03-24 Seiko Epson Corp Dünnfilmtransistor.
DE4016443A1 (de) * 1990-05-22 1991-11-28 Daimler Benz Ag Fluessigkristallanzeigevorrichtung
US5303074A (en) * 1991-04-29 1994-04-12 General Electric Company Embedded repair lines for thin film electronic display or imager devices
JP2762820B2 (ja) * 1992-02-21 1998-06-04 株式会社日立製作所 薄膜トランジスタマトリクス及びそれを用いた液晶表示装置
JPH06208130A (ja) * 1993-01-11 1994-07-26 Hitachi Ltd 液晶表示装置
JP3507117B2 (ja) * 1993-02-26 2004-03-15 キヤノン株式会社 Tft基板及び該基板を有する液晶表示装置
JP3335567B2 (ja) * 1997-10-17 2002-10-21 シャープ株式会社 アクティブマトリクス型液晶表示装置およびその欠陥修正方法
JP4674926B2 (ja) * 1999-02-12 2011-04-20 エーユー オプトロニクス コーポレイション 液晶ディスプレイパネル及びその製造方法
JP4248306B2 (ja) * 2002-06-17 2009-04-02 シャープ株式会社 液晶表示装置
WO2007043399A1 (ja) * 2005-10-07 2007-04-19 Sharp Kabushiki Kaisha 表示パネル用の基板、この基板を備える表示パネルと、この表示パネル用の基板の修正方法
US8023054B2 (en) * 2005-12-30 2011-09-20 Lg Display Co., Ltd. Flat panel display and fabricating method thereof
KR101248003B1 (ko) * 2006-05-09 2013-03-27 엘지디스플레이 주식회사 액정표시장치용 어레이 기판과 그 제조방법
JP5064500B2 (ja) * 2007-06-28 2012-10-31 シャープ株式会社 アクティブマトリクス基板、液晶パネル、液晶表示ユニット、液晶表示装置、テレビジョン受像機
KR20090045023A (ko) * 2007-11-01 2009-05-07 소니 가부시끼 가이샤 액티브 매트릭스형 표시 장치
CN101952772B (zh) * 2007-11-22 2013-07-03 夏普株式会社 有源矩阵基板、液晶面板、电视接收机、液晶面板的制造方法
KR101041618B1 (ko) * 2008-04-24 2011-06-15 엘지디스플레이 주식회사 액정표시장치용 어레이 기판과 그 제조방법

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4786780A (en) * 1987-04-21 1988-11-22 Alps Electric Co., Ltd. Method for trimming thin-film transistor array
US5062690A (en) * 1989-06-30 1991-11-05 General Electric Company Liquid crystal display with redundant FETS and redundant crossovers connected by laser-fusible links
WO2006064789A1 (ja) * 2004-12-14 2006-06-22 Sharp Kabushiki Kaisha 液晶表示装置および液晶表示装置の欠陥修正方法

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