CN101495928B - 服务器装置及控制方法 - Google Patents

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Abstract

以往的服务器装置中，存在无法恰当地指定使测定信息成为输出对象的期间的问题。本发明提供一种服务器装置，是构成具备对被处理基板进行规定处理的一个以上制造装置(11)的群管理***的服务器装置(12)，其具备：测定信息保存部(1201)，其能够保存多个测定信息，该测定信息是具有由一个以上制造装置(11)执行了规定处理时的测定值和表示时刻的时刻信息的时间序列的信息；指示接收部(1205)，其接收包括确定规定起点的信息和有效时间的信息的测定信息的输出指示；测定信息取得部(1203)，其从测定信息保存部(1201)中取得从规定起点起在有效时间内的测定信息；输出信息构成部(1206)，其构成使用了所取得的测定信息的输出信息；输出部(1207)，其输出输出信息构成部(1206)所构成的输出信息。

Description

服务器装置及控制方法
技术领域
本发明涉及例如具备对被处理基板进行规定处理的一个以上制造装置、和与该一个以上制造装置连接的服务器装置的群管理***的服务器装置等。 
背景技术
目前为止，已知有可以对从测定器送来的数据自动并且正确地进行加工的半导体制造装置的群管理***的测定数据加工方法(例如参照专利文献1)。本测定数据加工方法中，在群管理***的群管理部的测定器通信部中，接收测定器所送来的各种测定数据。此外，预先登记有加工所述测定数据的计算式，在接收到所述测定数据时，将所述测定数据保存到测定数据接收缓冲器中，并且基于所述测定数据所具有的配方(recipe)名称，从所登记的所述计算式中选择适于加工所述测定数据的至少一个具有相同配方名称的计算式并保存到计算式保存缓冲器中，将所保存的所述测定数据应用于所选择的所述计算式来进行计算，将计算结果储存于加工完毕数据保存缓冲器中。 
另外，以往的半导体制造装置的群管理***具有显示由半导体制造装置测定的时间序列的信息(以下记作图表(chart))的功能。 
另外，作为构成群管理***的制造装置，有所谓的批处理式纵型热处理装置(参照专利文献2、专利文献3)。 
通常来说，在半导体制造装置中，依照被称作配方的包含制造参数等的表示处理过程和处理条件的信息，来执行制造工艺。构成配方的序列的各过程被称作配方步骤，或者简称为步骤。半导体制造装置的异常等可以根据在变更了配方步骤之时，是否进行与该配方步骤的参数对应的控制来判断。由此，通过在配方步骤被执行的期间内，取得并监视利用测定器取得的全部测定数据，可以知道半导体制造装置的异常等。 
专利文献1：日本特开平11-354395号公报(第一页、第一图等) 
专利文献2：日本专利3543996号公报(第一页、第一图等) 
专利文献3：日本特开2002-25997号公报(第一页、第一图等) 
但是，以往无法恰当地指定监视对象的期间，因而存在有时还会监视本来不想监视的期间以外的半导体制造装置的状态等的问题。 
例如，以往能够以配方步骤为单位来读出测定数据，并监视测定数据。但是，此时，即使在想要监视从某个配方步骤开始时起到经过规定时间为止的数据的情况下，也会取得、分析该配方步骤内的所有测定数据，使得增加不需要的数据量，监视的处理花费时间。 
另外，以往，可以指定用于指定开始时和结束时的测定值的值，在测定值达到了各个所指定的值的情况下，开始测定、结束测定。但是，即使在此种情况下，由于无法监视从测定值达到了所指定的值的时间点起到经过规定时间为止的数据，因此就会取得、分析不需要的数据，使得监视的处理花费时间。 
另外，在将所监视的测定值图表化来输出之际，如果如上所述在监视中含有不需要的测定值等，则由于还包含并非监视对象的部分在内的所有部分都被图表化，因此在实际上想要监视的期间，例如到经过规定时间为止的期间中所得到的测定值等就被显示得较小，或难以找到，在用户通过目视等进行监视之际，难以详细地进行监视。 
发明内容
本发明的服务器装置是构成群管理***的服务器装置，该群管理***具备对被处理基板进行规定处理的一个以上制造装置、和与该一个以上制造装置连接的服务器装置，并具有进行异常检测的功能，该服务器装置具备：测定信息保存部，其可保存多个测定信息，该测定信息是由所述一个以上制造装置测定的信息的时间序列的信息，是具有由所述制造装置执行了规定处理时的测定值和表示时刻的时刻信息的信息；指示接收部，其接收所述测定信息的输出指示，该输出指示包括确定规定起点的信息和作为取得所述测定信息的时间的有效时间的信息；测定信息取得部，其从所述测定信息保存部中取得从所述规定起点起在所述有效时间的信息所表示的时间内的测定信息；输出信息构成部，其构成使用了所取得的所述测定信息的输出信息；以及输出部，其输出所述输出信息构成部所构成的输出信息。 
利用该构成，可以比例如配方步骤单位更为详细地指定输出测定信息的期间。这样，就不需要监视不需要的测定信息，可以有效地监视制造装置。另外，由于不仅设定配方步骤单位，而且还设定有效时间，从而可以更为严密地设定监视对象区间，因此可以更为严密地监视群管理***的动态特性。 
另外，本发明的服务器装置是如下的服务器装置，即，在所述服务器装置中，所述输出信息构成部使用所取得的所述测定信息来构成作为输出信息的图表，所述输出部输出所述输出信息构成部所构成的图表。 
利用该构成，由于可以使用图表来监视输出信息，因此可以容易地把握制造装置的状态等。 
另外，本发明的服务器装置是如下的服务器装置，即，在所述服务器装置中，所述规定起点是配方所具有的规定配方步骤的开始时间点，所述测定信息具有识别配方步骤的配方步骤标识符，所述输出指示包含配方步骤标识符、所述有效时间的信息，所述测定信息取得部取得如下测定信息，该测定信息是与所述输出指示所具有的配方步骤标识符对应的测定信息，是从利用该配方步骤标识符识别的配方步骤的开始时间点起在所述有效时间的信息所表示的时间内的测定信息。 
利用该构成，可以在配方步骤内，监视从配方步骤开始时起到经过有效时间为止的期间。例如，在制造装置中，可以监视从配方步骤的开始时起到经过有效时间为止的压力的值。 
另外，本发明的服务器装置是如下的服务器装置，即，在所述服务器装置中，所述测定信息取得部取得到所述有效时间结束时、和利用所述配方步骤标识符识别的配方步骤结束时当中的较早一方为止的测定信息。 
利用该构成，可以比配方步骤单位更为详细地指定所监视的期间。 
另外，本发明的服务器装置是如下的服务器装置，即，在所述服务器装置中，所述规定起点是符合与测定信息相关的条件的时间点，所述输出指示包含与测定信息相关的条件、所述有效时间的信息，所述测定信息取得部具备：第一测定信息取得机构，其取得最先符合所述与测定信息相关的条件的测定信息；以及有效时间内测定信息取得机构，其取得从所述第一测定信息取得机构取得了最初的测定信息的时间点起、在所述有效时间 内的测定信息。 
利用该构成，可以监视从满足了与测定信息相关的条件的时间点起到经过有效时间为止的期间。例如，在制造装置中，在有进行减压的序列的情况下，可以对从达到作为与测定信息相关的条件的目标压力后经过有效时间为止的压力值进行监视等。 
另外，本发明的服务器装置是如下的服务器装置，即，在所述服务器装置中，测定信息取得部取得到所述有效时间结束时、和有效时间内测定信息取得机构所取得的测定信息不满足所述与测定信息相关的条件时当中的较早一方为止的测定信息。 
利用该构成，能够恰当地指定结束监视所需的测定信息的取得的期间，可以有效地监视制造装置。 
另外，本发明的服务器装置是如下的服务器装置，即，在所述服务器装置中，所述规定起点是符合配方所具有的规定配方步骤内的与测定信息相关的条件的时间点，所述测定信息具有识别配方步骤的配方步骤标识符，所述输出指示包含配方步骤标识符、与测定信息相关的条件、所述有效时间的信息，所述测定信息取得部具备：第一测定信息取得机构，其取得以下测定信息，该测定信息是对应于所述输出指示所具有的配方步骤标识符的测定信息，最先符合所述与测定信息相关的条件的测定信息；以及有效时间内测定信息取得机构，其取得从所述第一测定信息取得机构取得了最初的测定信息的时间点起、在所述有效时间的信息所表示的时间内的测定信息。 
利用该构成，可以在配方步骤内，监视从满足了与测定信息相关的条件的时间点起到经过有效时间为止的期间。 
另外，本发明的服务器装置是如下的服务器装置，即，在所述服务器装置中，所述有效时间内测定信息取得机构取得到所述有效时间结束时、利用所述配方步骤标识符识别的配方步骤结束时、和所取得的测定信息不满足与所述测定值相关的条件时当中的较早一方为止的测定信息。 
利用该构成，可以在配方步骤内，恰当地指定取得监视所需的测定信息的期间的结束时刻，可以有效地监视制造装置。 
另外，本发明的服务器装置是如下的服务器装置，即，在所述服务器装置中，所述输出信息构成部使用所取得的所述测定信息进行规定运算，构成使用了该运算结果的输出信息。 
利用该构成，可以将测定信息加工为与目的相符的数据并输出，从而容易监视。 
另外，本发明的服务器装置是如下的服务器装置，即，在所述服务器装置中，还具备：条件信息保存部，其能够保存表示用于判断所述测定信息是否异常的条件的条件信息；以及异常检测部，其判断所述测定信息取得部所取得的测定信息是否符合所述条件信息保存部所保存的条件信息；所述输出信息构成部构成使用了所述异常检测部的判断结果的输出信息。 
利用该构成，可以容易地认识到制造装置产生了异常。 
另外，本发明的服务器装置是如下的服务器装置，即，在所述服务器装置中，所述输出信息构成部将所取得的所述测定信息构成SPC图表，该SPC图表是依照该测定信息所具有的时刻信息所表示的时刻的顺序绘制的图表，所述输出部输出所述输出信息构成部所构成的SPC图表。 
利用该构成，可以容易地进行制造装置的经时变化和波动监视。 
另外，本发明的服务器装置是如下的服务器装置，即，在所述服务器装置中，所述输出信息构成部利用所取得的所述测定信息来构成作为表示两种测定信息的相关的图表的相关图表，所述输出部输出所述输出信息构成部所构成的相关图表。 
利用该构成，可以监视两个变量的相关关系，可以有效地进行异常检测。 
另外，本发明的服务器装置是如下的服务器装置，即，在所述服务器装置中，所述输出信息构成部利用所取得的所述测定信息来构成作为表示三种以上的测定信息的相关的图表的MD图表，所述输出部输出所述输出信息构成部所构成的MD图表。 
利用该构成，可以监视多变量的相关关系，可以更为有效地进行异常检测。 
根据本发明的服务器装置等，可以恰当地指定输出测定信息的期间。 
附图说明
图1是表示实施方式的群管理***的概念图的图。 
图2是表示该群管理***的制造装置的具体例的图。 
图3是该群管理***的框图。 
图4是对该群管理***的制造装置的动作进行说明的流程图。 
图5是对该群管理***的服务器装置的动作进行说明的流程图。 
图6是说明该群管理***的服务器装置的检索处理的流程图。 
图7是表示该群管理***的测定信息的构成的图。 
图8是表示该群管理***的初始信息管理表的图。 
图9是表示该群管理***的测定信息管理表的图。 
图10是表示该群管理***的显示例的图。 
图11是表示该群管理***的服务器装置的测定信息取得部所取得的测定信息的图。 
图12是表示该群管理***的显示例的图。 
图13是表示该群管理***的显示例的图。 
图14是表示该群管理***的服务器装置的测定信息取得部所取得的测定信息的图。 
图15是表示该群管理***的显示例的图。 
图16是表示该群管理***的显示例的图。 
图17是表示该群管理***的显示例的图。 
图18是表示该群管理***的显示例的图。 
图19是表示该群管理***的显示例的图。 
具体实施方式
以下，将参照附图对服务器装置等的实施方式进行说明。而且，由于在实施方式中使用了相同符号的构成要素进行相同的动作，因此有时省略再次的说明。 
(实施方式) 
图1是本实施方式的群管理***的概念图。群管理***是例如管理半导体制造装置、液晶面板制造装置等制造装置的***。另外，群管理***具有一个以上的制造装置11(从制造装置11a到制造装置11n(其中n表示任意数))、服务器装置12及客户装置13。 
制造装置11是对被处理基板、例如半导体晶片等进行规定处理的装置。制造装置11例如进行成膜处理、蚀刻处理、热氧化处理等针对被处理基板的各种处理。制造装置11例如为上述的专利文献2或专利文献3等中的批处理式纵型热处理装置。将本制造装置11的例子表示于图2中。本制造装置11是作为装载室被制成了所谓装载互锁室(load-lock)结构的装置，该装载室可以相对于其他室密闭，能够进行作为惰性气氛的N2气的供给、抽真空。制造装置11由如下部分构成主要部：作为处理室的处理管a，其对作为被处理体的晶片W实施规定处理；作为装载室的装载互锁室h，其具备移送机构g，该移送机构g对该处理管a***取出收纳了多片、例如100片晶片W的作为保持体的晶片舟f；搬入搬出室ab，其相对于该装载互锁室h搬入搬出晶片W；形成于该搬入搬出室ab上的料盒收容容器用口ac；取入机构ae，其将放置于该口ac中的料盒收容容器ad取入搬入搬出室ab内；容器保管载台af，其临时保管所取入的料盒收容容器ad；料盒取出载台ag，其将收容于料盒收容容器ad内的料盒C取出；容器转装机构ah，其在搬入搬出室ab内进行料盒收容容器ad的转交；以及保持体收容室ai，其配置于装载互锁室h与搬入搬出室ab之间，收容晶片舟f。对于图2的制造装置11的例子中的其他部位及动作，由于是公知技术(参照专利文献2)，因此省略详细的说明。另外，作为构成制造装置11的腔室(chamber)，优选专利文献3的图1中的腔室。 
另外，制造装置11例如保存有配方，该配方是与对晶片的规定处理 相关的信息，使用该配方进行控制。 
另外，服务器装置12是构成所谓的群管理***的服务器装置，可以保存一个以上的制造装置11的各种测定信息，具有对该测定信息进行异常检测的功能。 
另外，客户装置13对服务器装置12输出各种要求，接收服务器装置12的处理结果。 
图3是本实施方式的群管理***的框图。 
制造装置11具备：输入接收部1101、配方保存部1102、制造装置标识符保存部1103、计时部1104、处理部1105、测定部1106、初始信息存储部1107、初始信息发送部1108。 
服务器装置12具备：测定信息保存部1201、初始信息接收部1202、测定信息取得部1203、测定信息存储部1204、指示接收部1205、输出信息构成部1206、输出部1207、输出指示存储部1208、条件信息保存部1209、异常检测部1210。 
测定信息取得部1203具备：第一测定信息取得机构12031、有效时间内测定信息取得机构12032。 
客户装置13具备：指示输入部1301、指示发送部1302、接收部1303、显示部1304。 
输入接收部1101从制造装置11的用户处接收各种输入。所谓各种输入例如是配方、识别配方的配方标识符、对晶片的加工处理等处理的执行指示等。由用户进行各种输入的输入机构，无论是数字键、键盘、鼠标还是菜单画面等都可以。输入接收部1101可以利用数字键、键盘等输入机构的设备驱动器、菜单画面的控制软件等来实现。 
配方保存部1102保存有为了控制制造装置11而使用的配方。所谓配方是指与制造装置11所执行的规定处理相关的信息，例如为指定包含制造参数等的处理条件的信息。配方通常来说包含构成工艺的多个过程、设定该过程中的工艺参数等的信息等。构成配方的各过程通常来说被称作配方步骤或步骤。工艺参数的信息例如包括类别名、项目名、参数名、值。所谓类别名是指表示工艺参数的种类的名称，例如为“温度”、“气体流量”、“舟升降机的速度”等。项目名是表示工艺参数的属性的名称，例如为“上下速度”、“旋转速度”等。参数名是工艺参数的名称，例如为“C”、“A” 等。值是赋予工艺参数之类的变量的值。通常来说，配方与识别配方的配方标识符(例如配方名)成对地保存。另外，配方与配方步骤标识符一起保存在配方保存部1102中，该配方步骤标识符是构成该配方的配方步骤的标识符。配方步骤标识符例如为配方步骤的名称、识别编号等。配方保存部1102优选非易失性的记录介质，然而利用易失性的记录介质也可以实现。 
制造装置标识符保存部1103保存有识别制造装置11的制造装置标识符。制造装置标识符只要是可以识别各制造装置11的信息即可，例如可以是装置名、型号、制造编号、各制造装置11中所设定的识别编号和名称等。该制造装置标识符既可以是输入接收部1101所接收的信息，也可以是制造装置出售时预先保存的信息。制造装置标识符保存部1103无论是硬盘、ROM等非易失性记录介质，还是RAM等易失性记录介质都可以。 
计时部1104计测时间。计时部1104将表示计测时间所得到的时刻的信息向测定部1106输出。这里所说的表示时刻的信息也可以包含年月日等信息。计时部1104所计测的时间既可以是绝对时间，也可以是相对时间。计时部1104例如利用钟表等来实现。 
处理部1105读出配方保存部1102的配方，依照该配方对被处理基板进行规定处理。处理部1105通常来说可以利用MPU和存储器等来实现。处理部1105的处理过程通常来说由软件来实现，该软件被记录于ROM等记录介质中。但是，也可以利用硬件(专用电路)来实现。 
测定部1106测定制造装置11内的温度、气体流量、压力、制造装置11的功率等，取得初始信息，该初始信息是成为测定信息的基础的信息，该测定信息为图表化等的对象。初始信息是所测定的温度等信息。测定部1106例如定期地或者以不定期的规定时间间隔进行测定。初始信息通常来说具有表示所测定的时刻的时刻信息。该时刻信息例如由计时部1104取得。初始信息优选具有：识别在测定部1106测定温度等的值之时所处理的配方的配方标识符、所测定的值、表示所测定的时刻的时刻信息。另外，优选具有识别测定之时所执行的配方步骤的配方步骤标识符。而且，配方标识符、配方步骤标识符只要是可以识别配方、配方步骤的信息即可，例如可以利用配方的名称、配方步骤的名称、配方和配方步骤的识别编号等。配方标识符和配方步骤标识符可以从配方保存部1102中取得。另外，初始信息也可以具有执行了配方的制造装置11的制造装置标识符。该制造装置 标识符例如可以从制造装置标识符保存部1103中取得。另外，初始信息也可以具有：用于识别测定部1106所测定的测定对象、例如温度和气体压力等，以及测定部位、例如处理管内等的信息，例如具有测定对象的名称、测定部位的名称或者与它们对应的识别信息等。测定部1106当然也可以测定多个部位的多个温度、或温度与气体流量等的多个值。也就是说，初始信息也可以具有两种以上的测定值。测定部1106可以利用一个以上的温度传感器、一个以上的流量传感器等传感器等来实现。 
初始信息存储部1107将测定部1106所取得的初始信息存储于未图示的记录介质中。初始信息存储部1107通常来说可以利用MPU、存储器等来实现。初始信息存储部1107的处理过程通常来说由软件来实现，该软件被记录于ROM等记录介质中。但是，也可以利用硬件(专用电路)来实现。另外，上述的未图示的记录介质虽然优选非易失性的记录介质，但是也可以利用易失性的记录介质来实现。 
初始信息发送部1108将初始信息存储部1107所存储的初始信息向服务器装置12发送。不管发送初始信息的触发为何均可。另外，初始信息发送部1108所发送的初始信息具有所测定的一种以上(例如温度和气体流量)的值及时刻信息。另外，初始信息发送部1108所发送的初始信息优选具有识别配方步骤的配方步骤标识符。除此以外，初始信息发送部1108所发送的初始信息还优选具有识别制造装置11的制造装置标识符、识别配方的配方标识符。另外，也可以具有用于识别测定部1106所测定的测定对象、例如温度和气体压力等，以及测定部位、例如处理管内等的信息。而且，初始信息存储部1107所存储的初始信息、初始信息发送部1108所发送的初始信息在其结构或构成方面也可以不同。另外，初始信息也可以是如下结构：对于多个被测定的值，具有一个制造装置标识符、一个配方标识符和一个配方步骤标识符的至少一个。初始信息发送部1108可以利用无线或有线的通信机构等来实现。另外，初始信息发送部1108也可以在将初始信息向服务器装置12发送之前，从配方保存部1102和制造装置标识符保存部1103中分别读出配方步骤标识符、配方标识符和制造装置标识符，并附加在初始信息中。另外，初始信息发送部1108既可以在每次测定值(例如气体流量)时发送初始信息，也可以对汇总了规定数目的所测定的值的初始信息(例如汇总了10个后的初始信息)进行一次性发送。不管初始信息发送部1108所发送的数据的单位、数据结构等如何均可。另外，构成所发送的初始信息的处理也可以不是由初始信息发送部1108进行，而是由初 始信息存储部1107来进行。不管发送所测定的初始信息、制造装置标识符、配方标识符、配方步骤标识符的时机等为何均可。 
测定信息保存部1201可以保存多个测定信息。多个测定信息是如下的信息，即，是用一个以上的制造装置11测定的一种以上信息(例如温度和压力)的时间序列的信息，是具有用制造装置执行规定处理时的测定值和表示时刻的时刻信息的信息。另外，多个测定信息也可以具有识别制造装置11的制造装置标识符、配方标识符、配方步骤标识符等。测定信息既可以是测定信息取得部1203对初始信息接收部1202所接收的多个初始信息进行规定运算而取得的信息，也可以是与初始信息相同的信息。测定信息保存部1201虽然优选为非易失性的记录介质，但是也可以利用易失性的记录介质来实现。而且，测定信息保存部1201的测定信息既可以是测定信息存储部1204所存储的信息，也可以是从制造装置11直接接收的信息，还可以是从未图示的记录介质中读出的信息。 
初始信息接收部1202从一个以上的制造装置11接收初始信息，该初始信息是成为多个测定信息的基础的信息。初始信息接收部1202可以利用无线或有线的通信机构等来实现。 
测定信息存储部1204将与初始信息接收部1201所接收的多个初始信息对应的测定信息存储于测定信息保存部1201中。该测定信息既可以是测定信息取得部1203对初始信息接收部1202所接收的多个初始信息进行规定运算而取得的信息，也可以是与初始信息相同的信息。所谓规定运算例如是按规定的时间间隔，算出多个初始信息所具有的多个值的平均值、或取得最大值、或取得最小值、或将值标准化、或算出标准差、或取得中值的运算。在将测定信息取得部1203所取得的多个测定信息配置于测定信息保存部1201中的情况下，测定信息存储部1204所进行的存储处理与NOP(No Operation)是相同意义。测定信息存储部1204通常来说可以由MPU、存储器等来实现。测定信息存储部1204的处理过程通常来说利用软件来实现，该软件被记录于ROM等记录介质中。但是，也可以利用硬件(专用电路)来实现。 
指示接收部1205接收指示。该指示通常来说是从客户装置13处接收，然而也可以从与服务器装置12连接的键盘或鼠标等处接收。指示接收部1205所接收的指示例如为保存在测定信息保存部1201中的测定信息的输出指示，该输出指示包括：确定规定起点的信息、作为取得测定信息的时 间的有效时间的信息。“确定规定起点的信息”具体来说是为了确定存储在服务器装置12中的作为时间序列的信息的测定信息当中成为输出对象的测定信息而使用的信息，是用于确定测定信息所具有的时刻信息的期望起点的信息。该“确定规定起点的信息”只要结果是可以确定用于测定信息取得部1203取得测定信息的起点的信息，则无论是何种信息都可以。所谓“确定规定起点的信息”，具体来讲是确定配方步骤内的仅仅一部分的起点的信息。“确定规定起点的信息”例如可以是以时刻、例如以下午1点10分等来指定起点的信息。另外，也可以将“确定起点的信息”例如设定为特定的配方步骤标识符。该情况下，该配方步骤的开始时间点被设定为起点。或者，“确定起点的信息”也可以是对测定信息等设定与测定信息相关的条件的信息。所谓“与测定信息相关的条件”例如是测定信息的值、指定值的范围等的条件。例如为作为测定信息之一的温度、压力、气体流量、功率等的值、指定值的范围的条件。该情况下，将满足了该条件的时间点设定为起点。作为具体例，也可以将某个测定信息，例如温度、气体流量等满足了规定值的时间点，例如温度达到300℃以上的时间点、或气体流量达到100SCCM的时间点设定为起点。所谓“有效时间的信息”具体来说是指指定取得测定信息的时间，也就是指定期间的信息。“有效时间的信息”例如为5分钟、1小时等表示时间长度的信息。指示接收部1205在接收到例如包含此种确定规定起点的信息、和作为取得测定信息的时间的有效时间的信息的测定信息的输出指示的情况下，由后述的测定信息取得部1203开始测定信息的取得，从与指定该起点的时刻建立了对应的测定信息中，取得与以下期间所包含的时刻对应的测定信息，该期间是到经过了有效时间的长度的时间的时刻为止的期间。而且，这里所说的时刻既可以是各地的标准时刻等绝对的时刻，也可以是以群管理***内的固有时钟等为基准时间的时刻等相对的时刻。另外，输出指示也可以除了包括上述的确定规定起点的信息和有效时间的信息以外，还包括为了输出期望配方步骤内的、从所述规定起点起的有效期间的信息所表示的时间内的测定信息，而指定配方步骤的信息，例如配方步骤标识符。另外，输出指示也可以还包括为了输出期望配方内的测定信息而指定配方的信息，例如配方标识符。通常来说，该配方标识符和配方步骤标识符用于指定与一个以上制造装置的具有相同标识符的多个配方或配方步骤建立了对应的测定信息。另外，输出指示也可以还包括为了输出一个以上制造装置11中的特定制造装置的测定信息，而指定一个以上制造装置11中的至少任意一个的 信息，例如制造装置标识符等。另外，在输出指示中，也可以包括指定如何输出从起点起的有效时间内的测定信息的信息。例如，既可以是将测定信息作为期望形式的数据输出的指示、或进行图表化而输出的指示，也可以是输出使用测定信息进行了规定分析、处理，例如进行了多变量解析或统计处理等的结果的指示。另外，也可以是使用测定信息进行异常检测或异常分析等的指示。另外，输出指示也可以包括所输出的图表的种类，例如SPC图表、相关图表或MD图表等信息。另外，输出指示也可以包括指定进行图表输出的测定信息的数据类型，例如温度、气体流量、压力等的信息。另外，输出指示也可以包括构成图表的点、线的属性信息。所谓属性信息是指点的颜色、点的种类(形状)、线的颜色、线种类等。指示接收部1205例如由无线或有线的接收机构构成。指示的输入机构可以是数字键、键盘、鼠标也可以是菜单画面等，哪一种都可以。指示接收部1205可以利用数字键或键盘等输入机构的设备驱动器、菜单画面的控制软件等来实现。 
测定信息取得部1203根据包括指示接收部1205所接收到的确定规定起点的信息和有效时间的信息的测定信息的输出指示，从测定信息保存部1201中取得从规定起点起的有效时间的信息所表示的时间内的测定信息。具体来说，根据如上所述的输出指示所具有的确定规定起点的信息和有效时间的信息，取得具有与以下各时刻相对应的时刻信息的测定信息，该各时刻是从规定起点起的有效时间的信息所表示的时间内所包含的时刻，该规定起点是由确定该规定起点的信息所确定的。所谓有效时间的信息具体来说是确定配方步骤内的仅仅一部分的时间，也就是确定期间的信息，例如用于指定某个配方步骤整体的时间的信息除外。具体来说，在输出指示中包括了作为确定规定起点的信息的起点时刻、有效时间的信息的情况下，取得从起点时刻起、该有效时间的信息所表示的时间内，即、到达到有效时间的时刻为止的时间内的测定信息。另外，例如在输出指示中包括了作为确定规定起点的信息的配方步骤标识符、有效时间的信息的情况下，取得从作为利用该配方步骤标识符识别的配方步骤的开始时间点的起点起、有效时间的信息所表示的时间内，即、到达到有效时间的时刻为止的时间内的测定信息。另外，在输出指示中包括了与作为确定规定起点的信息的测定信息相关的条件、有效时间的信息的情况下，取得从取得了最先符合与测定信息相关的条件的测定信息的时间点起、有效时间的信息所表示的时间内，即、至达到有效时间的时刻为止的时间内的测定信息。所 谓“与测定信息相关的条件”如上所述，是测定信息的值、指定值的范围等的条件。具体来说，在作为测定信息之一具有温度或压力、气体流量等的测定值的情况下，将该温度达到了作为“与测定信息相关的条件”的规定值的时刻设定为起点。另外，输出指示也可以除了与作为用于确定起点的信息的测定信息相关的条件、有效时间的信息以外，还包括配方步骤标识符，使得取得从以下时间点起、有效时间的信息所表示的时间内、也就是以达到有效时间的时刻为终点的时间内的测定信息，该时间点是取得了与该配方步骤标识符对应的配方步骤的测定信息当中的、最先符合与测定值相关的条件的测定信息的时间点。另外，也可以如下所示这样，根据确定起点的信息等各种各样的条件，例如配方步骤的处理时间、测定信息的值的变化等来变更取得测定信息的范围。例如，在从某个起点起的有效时间的结束时刻处于包含该起点的配方步骤的结束时刻之后的情况下，也可以取得到该配方步骤结束时为止的测定信息。另外，在如上所述那样，确定起点的信息例如为配方步骤标识符，且测定信息取得部1203从作为由该配方步骤标识符识别的配方步骤的开始时间点的起点起取得测定信息的情况下，测定信息取得部1203也可以取得到有效时间结束时、和由配方步骤标识符识别的配方步骤结束时当中的较早一方为止的测定信息。另外，在使用与作为确定起点的信息的测定信息相关的条件，取得从取得了最先符合与测定信息相关的条件的测定信息的时间点起、有效时间的信息所表示的时间内、也就是以达到了有效时间的时刻为终点的时间内的测定信息的情况下，测定信息取得部1203也可以取得到所述有效时间结束时、和所取得的测定信息不满足上述与测定信息相关的条件时当中的任意一个较早一方为止的测定信息。另外，如上所述，在确定起点的信息是与测定信息相关的条件，并且输出指示具有用于指定配方步骤的配方步骤标识符的情况下，也可以取得从取得了与该配方步骤标识符对应的配方步骤的测定信息中的最先符合所述与测定值相关的条件的测定信息的时间点起、到上述的有效时间结束时、作为由配方步骤标识符识别的配方步骤结束时、和所取得的测定信息不满足所述与测定值相关的条件时当中的较早一方为止的测定信息。另外，在输出信息除了具有确定起点的信息和有效时间的信息以外，还具有如上所述的与测定信息相关的条件来作为用于确定结束测定信息的取得的终点的信息的情况下，可以在从设定为起点的时刻起到经过有效时间为止的时间内，取得了最先不符合与用于确定起点的测定信息相关的条件的测定信息时，将该时间点作为终点，取得到该终点为止的 有效时间的信息所表示的时间内的测定信息。该情况下的与测定信息相关的条件也可以和与用于确定起点的测定信息相关的条件不同。测定信息取得部1203通常来说可以由MPU、存储器等来实现。测定信息取得部1203的处理过程通常来说利用软件来实现，该软件被记录于ROM等记录介质中。但是，也可以利用硬件(专用电路)来实现。 
第一测定信息取得机构12031取得最先符合与输出指示中所包含的测定信息相关的条件的测定信息。具体来说，在输出指示包括与测定信息相关的条件和作为取得测定信息的时间的有效时间的信息，并将取得测定信息之时的规定起点作为符合与测定信息相关的条件的时间点的情况下，第一测定信息取得机构12031取得最先符合与输出指示中所包含的测定信息相关的条件的测定信息。另外，第一测定信息取得机构12031也可以取得如下的测定信息，该测定信息是与输出指示所具有的配方步骤标识符对应的测定信息，是最先符合与输出指示中所包含的测定信息相关的条件的测定信息。具体来说，在输出指示包括配方步骤标识符、与测定信息相关的条件、作为取得测定信息的时间的有效时间的信息，且将取得测定信息之时的规定起点作为以下时间点，即、配方所具有的配方步骤当中的由上述配方步骤标识符识别的规定配方步骤内的、符合上述与测定信息相关的条件的时间点的情况下，第一测定信息取得机构12031也可以取得与输出指示所具有的配方步骤标识符对应的测定信息当中的、最先符合输出指示中所包含的与测定信息相关的条件的测定信息。第一测定信息取得机构12031通常来说可以由MPU和存储器等来实现。第一测定信息取得机构12031的处理过程通常来说利用软件来实现，该软件被记录于ROM等记录介质中。但是，也可以利用硬件(专用电路)来实现。而且，在输出指示中不包含与测定信息相关的条件的情况下，由于不需要该第一测定信息取得机构12031，因此也可以省略。 
有效时间内测定信息取得机构12032取得从第一测定信息取得机构12031取得了最初的测定信息的时间点起、有效时间的信息所表示的时间内的测定信息。例如，从第一测定信息取得机构12031所取得的测定信息所具有的时刻信息所表示的时刻起，取得测定信息。而且，第一测定信息取得机构12031所取得的测定信息与有效时间内测定信息取得机构12032所取得的测定信息也可以不一致。例如，也可以是第一测定信息取得机构12031所取得的测定信息为温度的测定信息，有效时间内测定信息取得机构12032所取得的测定信息为气体流量、压力的测定信息。而且，有效时 间内测定信息取得机构12032也可以根据例如配方步骤的时间、测定信息的值的变化等适当地变更取得测定信息的范围。具体来说，有效时间内测定信息取得机构12032也可以取得到有效时间结束时、利用配方步骤标识符识别的配方步骤结束时、和所取得的测定信息不满足所述与测定值相关的条件时当中的较早一方为止的测定信息。有效时间内测定信息取得机构12032通常来说可以由MPU和存储器等来实现。有效时间内测定信息取得机构12032的处理过程通常来说可以利用软件来实现，该软件被记录于ROM等记录介质中。但是，也可以利用硬件(专用电路)来实现。而且，在输出指示中不包含与测定信息相关的条件的情况下，由于不需要该有效时间内测定信息取得机构12032，因此也可以省略。 
输出信息构成部1206构成使用了测定信息取得部1203所取得的测定信息的输出信息。例如，输出信息构成部1206构成预先设定了的形式或指示接收部1205接收到的指示所指定的形式的输出信息，具体来说，构成文本形式、XML形式或数据库形式等的输出信息。另外，输出信息构成部1206使用测定信息取得部1203所取得的测定信息来构成作为输出信息的图表。此时，输出信息构成部1206最好以在视觉上可区别不同种类的测定信息与不同的制造装置的测定信息的方式来构成输出信息。输出信息构成部1206例如构成与存储于输出指示存储部1208中的输出指示对应的输出信息。另外，也可以使用所取得的测定信息进行规定运算，构成使用了该运算结果的输出信息。所谓规定运算例如是每隔规定的时间间隔，算出多个测定信息所具有的多个值的平均值、将多个测定信息沿着时间轴进行累计、取得最大值、取得最小值、将值标准化、算出标准差、取得中值的运算。而且，也可以在测定信息存储部1204存储初始信息接收部1202接收到的多个初始信息之时，对多个初始信息进行此种规定运算。另外，输出信息构成部1206也可以构成使用了后述的异常检测部1210的判断结果的输出信息。例如，输出信息构成部1206利用测定信息取得部1203所取得的多个测定信息来构成图表，此时，输出信息构成部1206以视觉上可区别异常的测定信息与正常的测定信息的方式来构成输出信息。这里所说的输出信息例如可以是与异常的测定信息相关的测定部名和时刻的列表信息。该测定部名例如是根据识别测定信息中所包含的测定部1106所测定的测定部位的信息而取得的。另外，所谓输出信息例如也可以是由该列表信息和测定信息构成的图表的信息。所谓输出信息例如为表示正常的信息、表示异常的信息。所谓输出信息例如为表示是正常和异常的哪一方的声音信 息(蜂鸣等)。另外，输出信息构成部1206为了检测异常，也可以进行构成示出了异常值、正常值的范围的图表的处理。该情况下，异常检测部1210读入符合输出指示的测定信息，而不管是否进行异常检测的处理。在输出指示中包含两个以上的制造装置标识符的情况下，输出信息构成部1206最好构成能够在视觉上区别与每个制造装置标识符对应的测定信息的样式的图表。另外，在输出指示中包含两个以上配方标识符的情况下，输出信息构成部1206最好构成能够在视觉上区别与每个配方标识符对应的测定信息的样式的图表。这里，所谓能够在视觉上区别与每个制造装置标识符对应的测定信息的样式的图表，是指在输出指示包含两个以上的制造装置标识符的情况下，将与每个制造装置标识符对应的测定信息用不同的点的种类(四边形和圆圈的形状、颜色、大小)输出的图表，或将与每个制造装置标识符对应的测定信息用不同的线颜色连结的图表等。另外，所谓能够在视觉上区别与每个制造装置标识符对应的测定信息的样式的图表，还指在输出指示仅包含一个制造装置标识符的情况下，由该一个制造装置标识符的多个测定信息构成的图表。另外，所谓能够在视觉上区别与每个配方标识符对应的测定信息的样式的图表，是指在输出指示包含两个以上的配方标识符的情况下，将与每个配方标识符对应的测定信息用不同的点的种类(四边形和圆圈的形状、颜色、大小)输出的图表，或将与每个配方标识符对应的测定信息用不同的线种类(实线和虚线等)连结的图表等。另外，所谓能够在视觉上区别与每个配方标识符对应的测定信息的样式的图表，还指在输出指示仅包含一个配方标识符的情况下，由该一个配方标识符的多个测定信息构成的图表。另外，输出信息构成部1206也可以利用所读出的多个测定信息构成如下的SPC图表(统计过程管理图表)，该SPC图表是在视觉上能够区别与每个制造装置标识符对应的测定信息的样式的图表，是依照一种测定信息具有的时刻信息所表示的时刻的顺序，描绘所读出的多个测定信息而得到的图表。SPC图表是统计过程管理中所用的图表，是用于监视单变量而进行异常检测的图表。SPC图表中，最好事先设定好监视对象的上下限值(管理值)，在成为管理值外的值的情况下，异常检测部1210检测出异常，在视觉上表示所检测到的异常。此种上限值例如预先保存在后述的条件信息保存部1209中。另外，输出信息构成部1206在输出指示包含一个以上的制造装置标识符的情况下，也可以利用具有该一个以上的制造装置标识符中的任意一个的多个测定信息来构成如下的相关图表，该相关图表是在视觉上能够区别与每个制造装置标识符对 应的测定信息的样式的图表，是表示两种测定信息的相关的图表。相关图表是监视2个变量的相关关系的图表，是可以从2个变量中检测异常的图表。另外，输出信息构成部1206在输出指示包含一个以上的配方标识符的情况下，也可以利用具有该一个以上的配方标识符中的任意一个的多个测定信息来构成如下的MD(Mahalanobis距离)图表，该MD图表是在视觉上能够区别与每个配方标识符对应的测定信息的样式的图表，是表示三种以上的测定信息的相关的图表。图表的构成例如是依照时间轴将多个测定信息用线连结而得到图表的处理。在被赋予多个具有值和时刻信息的测定信息的情况下，由于构成图表的处理是公知技术，因此省略详细的说明。另外，在被赋予多个具有值和时刻信息的测定信息的情况下，由于构成SPC图表、相关图表、MD图表的处理是公知技术，因此省略详细的说明。另外，所谓两种测定信息也包括在一个测定信息中包含两种被测定的值(例如温度和气体流量)的信息。另外，所谓三种以上的测定信息也包括在一个测定信息中包含三种以上被测定的值(例如温度、气体流量和压力)的信息。输出信息构成部1206通常来说可以由MPU和存储器等来实现。输出信息构成部1206的处理过程通常来说可以用软件实现，该软件被记录于ROM等记录介质中。但是，也可以利用硬件(专用电路)来实现。 
输出部1207输出输出信息构成部1206所构成的图表。这里，所谓输出通常来说是向客户装置13的发送。但是，输出部1207也可以在与服务器装置12连接的显示器上显示图表，或向打印机打印，或向外部的装置发送。输出部1207可以利用无线或有线的通信机构来实现。但是，输出部1207也可以利用输出设备的驱动软件或用输出设备的驱动软件和输出设备等来实现。 
输出指示存储部1208存储输出指示，该输出指示是点及线等的属性信息和制造装置标识符的指示，或者是点及线等的属性信息与配方标识符等的指示。输出指示存储部1208例如也可以在指示接收部1205接收到作为存储图表的设定(包括颜色信息)的指示的存储指示的情况下，存储具有点及线等的属性信息和装置标识符、或具有点及线的属性信息和配方标识符的输出指示。另外，输出指示存储部1208通常来说可以由MPU和存储器等来实现。输出指示存储部1208的处理过程通常来说可以利用软件来实现，该软件被记录于ROM等记录介质中。但是，也可以用硬件(专用电路)来实现。 
条件信息保存部1209保存了作为与异常检测的条件相关的信息的条 件信息。条件信息例如是表示测定值的正常范围的上限值和下限值。条件信息例如也可以仅为正常值与异常值之间的边界值。这些值通常被称为管理值。此外，条件信息随着测定对象的值(温度、压力、气体流量、功率等)的不同而不同。另外，不管条件信息的结构如何均可。条件信息保存部1209优选为非易失性的记录介质，然而也可以利用易失性的记录介质来实现。 
异常检测部1210判断作为测定信息取得部1203所取得的测定信息所具有的值的测定值是异常还是正常。异常检测部1210使用条件信息保存部1209的条件信息，判断测定信息所具有的测定值是异常还是正常。具体来说，异常检测部1210在测定信息取得部1203取得了测定信息的情况下，判断该测定信息是否分别符合条件信息。异常检测部1210通常来说可以由MPU和存储器等来实现。异常检测部1210的处理过程通常可以用软件来实现，该软件被记录于ROM等记录介质中。但是，也可以用硬件(专用电路)来实现。而且，异常检测部1210的异常检测处理也可以是公知的异常检测的处理。 
指示输入部1301输入各种指示。所谓各种指示例如为如上所述的服务器装置12中所存储的测定信息的输出指示。另外，是起动的指示、图表的输出指示、图表的属性值(线种类、线的颜色、点的种类和点的颜色等)的变更的指示等。指示的输入机构可以是数字键、键盘、鼠标也可以是菜单画面等，哪一种都可以。指示输入部1301可以利用数字键和键盘等输入机构、其设备驱动器、菜单画面的控制软件等来实现。 
指示发送部1302将由指示输入部1301输入的指示向服务器装置12发送。这里所说的发送通常来说是使用了通信机构的发送。指示发送部1302可以利用无线或有线的通信机构等来实现。 
接收部1303从服务器装置12接收图表等输出信息。这里所说的接收通常来说是使用了通信机构的接收。接收部1303可以利用无线或有线的通信机构等来实现。 
显示部1304在显示器上显示接收部1303所接收到的图表等输出信息。而且，在接收部1303从服务器装置12接收文本形式、XML形式、数据库形式等的输出信息的情况下，显示部1304也可以具备用于利用这些输出信息构成显示数据的MPU和存储器等，使显示部1304与输出信息构成部1206同样地来构成显示图表等用的输出信息，并将该输出信息显示在 显示器上。显示部1304既可以看作包含显示器，也可以看作不包含显示器。显示部1304可以利用显示器的驱动软件或利用显示器的驱动软件和显示器等来实现。 
下面，对群管理***的动作进行说明。首先，使用图4的流程图对制造装置11的动作进行说明。而且，在这里，对初始信息包含与测定时执行的配方步骤对应的配方步骤标识符的情况进行说明。 
(步骤S401)处理部1105读出配方保存部1102的配方。 
(步骤S402)处理部1105向计数器i中代入1。 
(步骤S403)处理部1105判断在步骤S401中读入的配方中，是否存在第i个配方步骤。如果存在第i个配方步骤，则前进到步骤S404，如果不存在第i个配方步骤，则前进到步骤S411。 
(步骤S404)处理部1105执行第i个配方步骤的处理。 
(步骤S405)测定部1106进行预先决定的一种以上的测定(例如温度和压力)，取得测定值(这里的测定值通常来说仅具有一种以上的值)。 
(步骤S406)测定部1106从计时部1104中取得时刻信息，另外，从配方保存部1102中取得配方步骤标识符，对所测定的信息赋予时刻信息和配方步骤标识符，构成初始信息。 
(步骤S407)初始信息存储部1107将在步骤S406中构成的初始信息暂时存储在未图示的存储器中。 
(步骤S408)处理部1105判断第i个配方步骤的处理是否结束。例如，在第i个配方步骤的处理时间被预先决定的情况下，判断是否经过了该处理时间。另外，在第i个配方步骤的处理的结束条件决定了的情况下，例如，在预先决定了当温度达到了规定温度时结束处理的情况下，判断是否满足处理条件，在满足的情况下，决定结束处理。在结束处理的情况下，前进到步骤S409，在不结束处理的情况下，回到步骤S405。 
(步骤S409)初始信息发送部1108将在步骤S407中暂时存储的初始信息(这里是一种以上的值、时刻信息和配方步骤标识符的组)向服务器装置12发送。另外，假定初始信息发送部1108保持有用于与服务器装置12通信的信息(例如服务器装置12的IP地址等)。 
(步骤S410)处理部1105将计数器i加一，并回到步骤S403。 
(步骤S411)初始信息发送部1108从配方保存部1102中读出配方标识符。该配方标识符是在步骤S401中读入的配方的配方标识符。 
(步骤S412)初始信息发送部1108从制造装置标识符保存部1103中读出制造装置标识符。 
(步骤S413)初始信息发送部1108将从步骤S410到步骤S411中读出的配方标识符及制造装置标识符向服务器装置12发送。而且，假定初始信息发送部1108保持有用于与服务器装置12通信的信息(例如服务器装置12的IP地址等)。此后，结束处理。 
另外，图4的流程图的步骤S407中，初始信息存储部1107也可以不将步骤S406中构成的初始信息暂时存储在未图示的存储器中，而是逐个地与步骤S409同样地向服务器装置12发送。由此，可以实时地向服务器装置发送数据。另外，也可以在测定的开始时发送制造装置标识符、配方标识符。 
此外，在初始信息中不含有配方步骤标识符的情况下，也可以在步骤S408之后，进行从步骤S411到步骤S413的处理，并且进行从配方保存部1102中读出配方步骤标识符，将其向服务器装置发送的处理。 
下面，使用图5的流程图对服务器装置12的动作进行说明。而且，这里以指示接收部1205接收到的输出指示为图表的输出指示的情况为例进行说明。 
(步骤S501)判断指示接收部1205是否接收到指示。如果接收到指示，则前进到步骤S502，如果没有接收到指示，则前进到步骤S507。 
(步骤S502)测定信息取得部1203判断在步骤S501中接收到的指示是否是图表的输出信息的输出指示。如果是图表的输出指示，则前进到步骤S503，如果不是图表的输出指示，则回到步骤S501。 
(步骤S503)测定信息取得部1203将步骤S501中接收到的图表的输出指示中所包含的、确定规定起点的信息及有效时间的信息、一个以上的制造装置标识符、一个以上的配方标识符等作为关键值，检索测定信息保存部1201，取得一个以上的测定信息。而且，测定信息至少具有值(温度、气体流量的值等)和时刻信息。另外，测定信息也可以具有配方步骤标识符。另外，所谓将确定规定起点的信息及有效时间的信息作为关键值检索是指，从利用该确定规定起点的信息确定的规定起点起，取得具有与有效 时间的信息所表示的时间内、也就是期间内的各时刻对应的时刻信息的测定信息。另外，所谓将一个以上的制造装置标识符作为关键值检索是指，取得具有一个以上的制造装置标识符中的任意一个的测定信息。另外，所谓将一个以上的配方标识符作为关键值检索是指，取得具有一个以上的配方标识符中的任意一个的测定信息。而且，对于该处理，将在图6中详细说明。 
(步骤S504)异常检测部1210判断在步骤S503中取得的一个以上的测定信息所具有的各测定值是异常还是正常。具体来说，异常检测部1210使用条件信息来判断各测定值是异常还是正常。 
(步骤S505)输出信息构成部1206利用在步骤S503中取得的测定信息，来构成遵循了所接收的输出指示的图表等输出信息。此时，也可以对测定信息进行规定运算。而且，在输出信息为图表的情况下，图表的线的属性值(线的颜色、线种类、点的颜色、点的种类等)是所指示的属性值、默认的属性值等，输出信息构成部1206使用该属性值来构成图表。所构成的图表是在视觉上能够区别与每个制造装置标识符对应的测定信息的样式的图表，或在视觉上能够区别与每个配方标识符对应的测定信息的样式的图表，或者在视觉上能够区别这两者的样式的图表。另外，所构成的图表是遵循了输出指示所具有的图表的种类信息(SPC图表、相关图表、MD图表等)的图表。另外，输出信息构成部1206构成使用了步骤S505中的异常检测处理的结果的输出信息。所谓“使用了异常检测处理的结果的输出信息”既可以是明示是异常的测定信息还是正常的测定信息的样式的输出信息，也可以是明示了异常与正常的阈值的图表等。 
(步骤S506)输出部1207输出步骤S505中构成的输出信息。这里所说的输出是向客户装置13的发送。回到步骤S501。 
(步骤S507)初始信息接收部1202判断是否从制造装置11接收到一个以上的初始信息。如果接收到初始信息，则暂时存储在未图示的存储器等中，并前进到步骤S508，如果没有接收到初始信息，则回到步骤S501。 
(步骤S508)测定信息存储部1204对初始信息接收部1202接收到的初始信息进行规定运算，取得一个以上的测定信息。所谓对多个初始信息进行规定运算是指，对多个初始信息具有的多个组所具有的一种以上的值分别进行规定运算(算出平均值、算出标准差、取得最大值等)。但是，也可以不进行规定运算。另外，所谓成为规定运算的对象的多个初始信息 是分别间隔规定时间间隔(例如10分钟)的多个初始信息，是分别间隔规定步骤数的多个初始信息。而且，测定信息存储部1204也可以在初始信息接收部1202接收到的初始信息或测定信息上，适当地附加初始信息接收部1202接收到的制造装置标识符、配方标识符等。 
(步骤S509)测定信息存储部1204将在步骤S512中取得的一个以上的测定信息存储在测定信息保存部1201中。回到步骤S501。 
另外，在图5的流程图中，通过电源切断、处理结束的中断来结束处理。 
另外，在图5的流程图中，在接收图表的输出指示之前，存储测定信息。 
另外，在图5的流程图中，也可以取代测定信息而存储初始信息，在进行图表等输出信息的输出之时，对多个初始信息进行规定运算，取得一个以上的测定信息，使用该一个以上的测定信息来构成输出信息并输出。也就是说，不管构成测定信息的时机如何均可。 
以下，使用图6的流程图对图5的流程图中的检索测定信息的处理进行说明。这里，假定在输出指示中包含：含有成为输出对象的测定信息的配方步骤的配方步骤标识符；与作为用于确定起点的信息的测定信息相关的条件、即，用于指定要取得的测定信息的值的范围等的例如温度、压力等条件；指定用于取得测定信息的期间的有效时间。另外，这里为了简化说明，假定在输出指示中包含制造装置标识符及配方标识符，从存储在测定信息保存部1201中的测定信息当中的、输出指示中所包含的制造装置标识符及配方标识符一致的测定信息内，检索测定信息。 
(步骤S601)测定信息取得部1203将计数器K设定为1。 
(步骤S602)第一测定信息取得机构12031从测定信息保存部1201中取得与配方步骤标识符所指定的配方步骤对应的测定信息中的第K个测定信息。 
(步骤S603)第一测定信息取得机构12031判断测定信息是否满足与测定信息相关的条件。在满足的情况下，前进到步骤S606，在不满足的情况下，前进到步骤S604。 
(步骤S604)测定信息取得部1203将计数器K加一。 
(步骤S605)第一测定信息取得机构12031判断在与配方步骤标识符 所指定的配方步骤对应的测定信息中是否有第K个测定信息。在有的情况下，回到步骤S602，在没有的情况下，返回上级函数。 
(步骤S606)有效时间内测定信息取得机构12032判断第K个测定信息是否是如下的测定信息，即，具有从满足了与测定信息相关的条件的测定信息的时刻信息所表示的时刻起经过了有效时间的时刻信息。在已经经过的情况下，结束处理，在尚未经过的情况下，前进到步骤S607。 
(步骤S607)有效时间内测定信息取得机构12032将第K个测定信息存储在未图示的存储器等中。 
(步骤S608)测定信息取得部1203将计数器K加一。 
(步骤S609)有效时间内测定信息取得机构12032判断在与配方步骤标识符所指定的配方步骤对应的测定信息中是否有第K个测定信息。在有的情况下，前进到步骤S610，在没有的情况下，返回上级函数。 
(步骤S610)有效时间内测定信息取得机构12032取得第K个测定信息。 
(步骤S611)有效时间内测定信息取得机构12032判断所取得的第K个测定信息是否满足与测定信息相关的条件。在满足的情况下，回到步骤S606，在不满足的情况下，返回上级函数。 
此外，在图6的流程图中，在未设定与测定信息相关的条件的状态下，将配方步骤的开始时设定为取得测定信息的起点的情况下，例如只要省略从步骤S603到步骤S605的处理即可。另外，此种情况下，可以省略第一测定信息取得机构12031和有效时间内测定信息取得机构12032，它们所执行的处理可以由测定信息取得部1203进行。 
另外，在作为确定起点的信息不使用与测定信息相关的条件的情况下，以及在不使用与测定信息相关的条件进行终点的判断的情况下，由于取得测定信息的终点为有效期间经过时或配方步骤结束时，因此可以省略步骤S611的处理。 
另外，也可以单独将与作为确定起点的信息的测定信息相关的条件、例如温度设定为270度以上等，将与用于设定终点的测定信息相关的条件、例如温度设定为300度以上等。该情况下，只要在步骤S603中，进行是否满足与用于设定起点的测定信息相关的条件的判断，在步骤S611中，进行是否满足与用于设定终点的设定信息相关的条件的判断即可。 
而且，这里虽然对在输出指示中包含配方步骤标识符的情况进行了说明，然而只要可以指定起点等，则也可以不必一定包含配方步骤标识符。但是，通常来说，在使用测定信息进行异常监视的情况下，由于用于判断测定信息是否异常的管理值是对每个配方步骤设定的，因此最好在输出指示中含有配方步骤标识符等，取得来自一个配方步骤的测定信息。 
另外，在图5及图6的流程图中，最好通过用户输入输出信息的输出指示，来实时地开始异常检测，在每次接收到初始信息时，一边更新输出信息(图表等)一边进行异常检测处理，如果发生异常，则立即通知用户。也就是说，在图5及图6的流程图中，更优选进行以下的处理。即，初始信息接收部1202在利用制造装置11的制造中等，实时地接收从制造装置11一个接一个送来的初始信息，测定信息存储部1204将测定信息至少暂时依次存储在测定信息保存部1201中。此后，测定信息取得部1203进行：依次存储的测定信息是否满足步骤S603中所示的与测定信息相关的条件的判断；以及该测定信息是否是具有以下时刻信息的测定信息的判断，该时刻信息是未达到步骤S606中所示的从满足了起点条件的测定信息的时刻信息所表示的时刻起经过了有效时间的时刻的时刻信息。另外，如果需要，则进行该测定信息是否是与输出指示中所包含的配方步骤标识符所指定的配方步骤对应的测定信息的判断。此后，在依次存储的测定信息满足这些所有条件的情况下，测定信息取得部1203取得该测定信息。另外，异常检测部1210对该测定信息进行异常的检测处理。此后，输出信息构成部1206使用该测定信息、异常的检测处理的结果，更新输出信息，输出部1207一个接一个地输出更新了的输出信息。利用该处理，可以实时地确认制造装置11的状态，并且实时地进行异常检测，用户可以立即认识到异常的发生。 
下面，对客户装置13的动作进行说明。在客户装置13的指示输入部1301从用户处接收到图表的输出指示时，指示发送部1302将该输出指示向服务器装置12发送，接收部1303接收作为服务器装置12中的处理结果的图表的信息，显示部1304显示图表。 
下面，对本实施方式的群管理***的具体动作进行说明。群管理***的概念图为图1。 
在本具体例中，当一个以上的制造装置11的输入接收部1101接收到来自用户的对晶片的加工处理的开始指示时，则处理部1105读出配方保存 部1102的配方，在每个配方步骤中执行所读出的配方，进行晶片的加工处理。此外，测定部1106在晶片的加工处理中，例如每隔1秒就对预先决定的炉内的气体流量进行测定，构成将所取得的气体流量、从计时部1104取得的时刻信息、从配方保存部1102中取得的配方步骤标识符配成对的初始信息。所构成的初始信息由初始信息存储部1107暂时存储。所存储的初始信息的例子为图7。初始信息具有配方步骤标识符、气体流量、时刻信息。时刻信息是表示时刻的信息，既可以是确定到时分秒的信息，也可以是仅为日期及小时的信息。而且，该初始信息也可以包含数据类型(是测定信息的数据种类，例如气体流量、温度、压力等)的信息，在这里包含表示是气体流量的信息。 
制造装置11的初始信息发送部1108在构成配方的所有配方步骤的执行结束的阶段，将由初始信息存储部1107存储的初始信息向服务器装置12发送。另外，制造装置11的初始信息发送部1108读出制造装置标识符保存部1103的制造装置标识符及配方保存部1102的配方标识符(在对被处理基板进行规定处理之时执行的配方的标识符)，向服务器装置12发送。而且，虽然这里是在所有的配方步骤结束之时，将初始信息向服务器装置12发送，然而例如也可以在每取得一个初始信息时就实时地向服务器装置12发送。 
然后，服务器装置12的初始信息接收部1202接收由配方步骤标识符、气体流量和时刻信息的组构成的初始信息。另外，接收制造装置标识符及配方标识符。此外，测定信息存储部1204将具有配方步骤标识符、气体流量和时刻信息的多个组、配方标识符及制造装置标识符的初始信息存储于未图示的存储器等中。将该初始信息的例子表示于图8中。图8是初始信息管理表。初始信息管理表具有“制造装置标识符”、“配方标识符”、“配方步骤标识符”、“值(气体流量)”、“时刻信息”。图8的初始信息管理表具有一个制造装置标识符及配方标识符对应有值(这里为一种)、配方步骤标识符和时刻信息的多个组的数据结构。另外，图8中，假定管理对应于一个以上的制造装置11及多个配方的执行的初始信息。而且，图8的初始信息等的值是为了说明而准备的信息，并非实测值。 
然后，测定信息存储部1204对图8所示的多个初始信息进行规定运算，取得多个测定信息。这里，假定规定运算是算出平均值，测定信息存储部1204每隔1分钟就算出平均值。测定信息存储部1204将该多个测定信息存储在测定信息保存部1201中。图9是用于管理存储于测定信息存储 部1204中的测定信息的测定信息管理表。测定信息管理表具有“制造装置标识符”、“配方标识符”、“配方步骤标识符”、“平均值(气体流量)”、“时刻信息”。“制造装置标识符”、“配方标识符”、“配方步骤标识符”、“平均值(气体流量)”、“时刻信息”与图8相同。另外，平均值是测定信息存储部1204所算出的平均值。 
另外，假定在条件信息保存部1209中，保存了判断炉内的气体流量正常还是异常的条件信息“260≤气体流量≤280”。 
在该状况下，假定用户从客户装置13向图10所示的画面输入必要的信息，并按下“图表输出”按钮。图10是用于输入图表的输出指示并输出图表的画面。这里，所谓必要的信息是指指定用于取得测定信息的时间的包含确定规定起点的信息和有效时间的信息的信息。这里作为例子，假定分别设有输入配方步骤标识符的区域101；输入有效时间的区域102；用于指定与测定信息相关的条件的输入气体流量的值的条件的区域103。在区域103中未输入值的情况下，则意味着将在区域101中输入的“配方步骤标识符”所指定的配方步骤的开始时间点指定为取得测定信息的起点。除了该信息以外，还适当地指定数据类型(是测定信息的数据种类，例如有气体流量、温度、压力等)、制造装置标识符、配方标识符中的一个以上的信息等信息。通常来说，数据类型是必需的。另外，也可以对图10的画面仅输入数据类型的信息。对于图9的画面，可以仅输入数据类型、制造装置标识符，也可以仅输入数据类型、配方标识符。另外，假定当选中“累计图表”的复选框104时，作为各测定信息的值，将用图表输出从配方步骤开始时起到得到该测定信息为止的所有测定信息的值的累计值。图10中，输入了区域101及区域102的配方步骤标识符“001”及有效时间(分钟)“20”、数据类型“气体流量”、制造装置标识符“E1”、配方标识符“R1”。所以，该状态下，如果用户按下“图表输出”按钮，则指示输入部1301就会接收输出“气体流量”的测定信息(例如图8所示的信息)当中的符合“对象配方步骤＝001”且“有效时间＝20分钟”且“制造装置标识符＝E1”且“配方标识符＝R1”的条件的测定信息的输出指示。而且，该输出指示的例子例如为“图表输出  配方步骤标识符＝‘001’，有效时间＝‘20’，数据类型＝‘气体流量’，制造装置标识符＝‘E1’，配方标识符＝‘R1’”。 
然后，指示发送部1302向服务器装置12发送输出指示“图表输出配方步骤标识符＝‘001’，有效时间＝‘20’，数据类型＝‘气体流量’，制造装置标识符＝‘E1’，配方标识符＝‘R1’”。 
此后，服务器装置12的指示接收部1205接收输出指示“图表输出  配方步骤标识符＝‘001’，有效时间＝‘20’，数据类型＝‘气体流量’，制造装置标识符＝‘E1’，配方标识符＝‘R1’”。 
然后，服务器装置12的测定信息取得部1203从保存于测定信息保存部1201中的测定信息中，检索、取得符合输出指示“图表输出  配方步骤标识符＝‘001’，有效时间＝‘20’，数据类型＝‘气体流量’，制造装置标识符＝‘E1’，配方标识符＝‘R1’”的测定信息。具体来说，测定信息取得部1203将以下起点设定为作为配方步骤标识符“001”的开始时刻的“2005/12/02 15:00:00”，该起点是由图9的测定信息管理表管理的气体流量的测定信息的、制造装置标识符为“E1”、配方标识符为“R1”的数据中的起点，将终点设定为作为从该起点起经过作为有效时间的20分钟后的时间的“2005/12/02 15:20:00”。此后，从包含作为配方步骤标识符“001”的测定信息的起点的“2005/12/02 15:00:00”的测定信息起，依次取得测定信息。此后，在取得了作为终点的“2005/12/02 15:20:00”的测定信息的时间点，结束测定信息的取得。这样就取得上述的起点与终点之间的期间内所包含的所有测定信息。此后，测定信息取得部1203得到图11的信息。而且，既可以取得终点的测定信息，也可以不取得。 
然后，服务器装置12的异常检测部1210从测定信息取得部1203中取得如图11所示的测定信息，并且从条件信息保存部1209中读出条件信息“260≤气体流量≤280”，使用该条件信息，检测图11的测定信息的异常。例如由于图11的测定信息的所有“平均值”都小于260，因此被判断为异常值。 
然后，输出信息构成部1206使用测定信息取得部1203所取得的图11的信息、异常检测部1210的判断结果，构成作为输出信息的图表。本图表是横轴为时刻信息所表示的时刻、纵轴为值(气体流量的平均值)的折线图。 
然后，输出部1207将输出信息构成部1206所构成的折线图向客户装置13发送。 
然后，客户装置13的接收部1303接收该折线图，显示部1304如图12所示那样将折线图显示于显示器上。图12中，用斜线来表示正常范围。 
然后，如图13所示，假定在图10所示的输入例中，将气体流量条件设定为“250”以上，另外，选中“累计图表”的复选框104。该状况下， 如果用户按下“图表输出”按钮，则指示输入部1301接收输出“气体流量”的测定信息(例如图8所示的信息)当中的符合“对象配方步骤＝001”且“有效时间＝20分钟”且“气体流量条件＝250”且“图表输出＝累计”且“制造装置标识符＝E1”且“配方标识符＝R1”的条件的测定信息的输出指示。另外，该输出指示的例子例如为“图表输出  配方步骤标识符＝‘001’，有效时间＝‘20’，气体流量条件＝‘250’，数据类型＝‘气体流量’，图表输出＝‘累计’，制造装置标识符＝‘E1’，配方标识符＝‘R1’”。此外，假定在选中了“累计图表”的复选框104的情况下，在这里不进行利用异常检测部1210进行异常检测的处理。 
然后，指示发送部1302将该输出指示向服务器装置12发送。此后，服务器装置12的指示接收部1205接收该输出指示。 
然后，服务器装置12的测定信息取得部1203从保存于测定信息保存部1201中的测定信息中检索并取得符合输出指示“图表输出  配方步骤标识符＝‘001’，有效时间＝‘20’，气体流量条件＝‘250’，数据类型＝‘气体流量’，图表输出＝‘累计’，制造装置标识符＝‘E1’，配方标识符＝‘R1’”的测定信息。具体来说，异常检测部1210的第一测定信息取得机构12031从利用图8的测定信息管理表管理的气体流量的测定信息的、制造装置标识符为“E1”、配方标识符为“R1”的数据当中的、作为配方步骤标识符“001”的开始时刻的“2005/12/02 15:00:00”起，依次取得测定信息。此后，判断该测定信息的“平均值”是否为作为气体流量条件的“250”以上。此后，在为“250”以上的情况下，有效时间内测定信息取得机构12032以该测定信息作为起点，沿着时间轴进行测定信息的取得。这里，由于“时刻信息”为“2005/12/02 15:03:00”的测定信息的“平均值”为“251”，在“250”以上，因此从该测定信息起开始测定信息的取得。但是，在这里，由于在输出指示中包含“图表输出＝‘累计’”，因此有效时间内测定信息取得机构12032算出从配方步骤标识符“001”的配方步骤的开始时间点起的“平均值”的累计值，将该累计值取为测定信息的值。此后，在以下任意一种情况下，即，在所取得的测定信息小于作为气体流量条件的“250”的情况下，在配方步骤标识符“001”的配方步骤内的信息消失的情况下，以及在是对应于从作为开始取得的测定信息的“时刻信息”的“2005/12/0215:03:00”起经过了作为有效时间的“20分钟”的时刻“2005/12/02 15:23:00”的测定信息的情况下，结束测定信息的取得。这里，假定气体流量在时刻“2005/12/02 15:03:00”以后至时刻“2005/12/02 15:23:00” 都小于“250”，则取得至作为有效时间的结束时间点的时刻“2005/12/02 15:23:00”为止的测定信息。此后，测定信息取得部1203得到图14的信息。另外，既可以取得终点的测定信息，也可以不取得。 
然后，输出信息构成部1206使用测定信息取得部1203所取得的图14的信息来构成作为输出信息的图表。本图表是横轴为时刻信息所表示的时刻、纵轴为值(气体流量的平均值)的折线图。 
然后，输出部1207将输出信息构成部1206所构成的折线图向客户装置13发送。 
客户装置13的接收部1303接收该折线图，显示部1304如图15所示那样将折线图显示于显示器上。 
以上，根据本实施方式，可以输出由以下输出指示指定的从规定起点起的有效时间所表示的时间内的测定信息，可以详细地确定测定信息的监视对象期间，该输出指示包含确定规定起点的信息和作为取得测定信息的时间的有效时间的信息。这样，可以瞬间仅提示必要的信息，可以有效地进行包括制造装置等的异常检测的监视。更具体来说，可以设定出配方步骤内的更小期间，从而提高便利性，并且不会输出不需要的信息，可以消除错误地监视不同期间的测定信息这样的差错，进行精度高的异常检测等。 
而且，本实施方式中，所输出的图表也可以如图16所示，是如下的SPC图表，即，是从测定信息保存部1201中读出符合作为输出SPC图表的指示的输出指示的多个测定信息，利用所读出的该测定信息构成的，是能够在视觉上区别与每个制造装置标识符对应的测定信息、或与每个配方标识符对应的测定信息、或这两者的样式的图表，是依照一种测定信息具有的时刻信息所表示的时刻的顺序，描绘所读出的多个测定信息而得到的图表。图16所示的SPC图表例如是由一个制造装置标识符的测定信息构成的SPC图表。另外，图16所示的SPC图表中，输出有管理值(上限)及管理值(下限)。在成为该管理值之外的值的情况下，表明属于异常。管理值(上限)及管理值(下限)被预先保持在条件信息保存部1209中。图16中所用的测定信息等是为了说明而准备的测定信息，与本实施方式中所说明的测定信息不同。 
另外，本实施方式中，所输出的图表也可以如图17所示，是如下的相关图表，即，是从测定信息保存部1201中读出符合作为输出相关图表的 指示的输出指示的多个测定信息，利用所读出的该测定信息构成的，是能够在视觉上区别与每个制造装置标识符对应的测定信息、或与每个配方标识符对应的测定信息、或这两者的样式的图表，是表示两种测定信息(例如温度和压力等)的相关的图表。图17所示的相关图表例如是由一个制造装置标识符的两种测定信息构成的相关图表。另外，图17所示的相关图表中，输出有两个管理值。在成为这两个管理值的范围之外的值的情况下，表明属于异常。而且，图17中所用的测定信息等是为了说明而准备的测定信息，与本实施方式中所说明的测定信息不同。 
另外，本实施方式中，所输出的图表也可以如图18所示，是如下的MD(Mahalanobis距离)图表，即，是从测定信息保存部1201中读出具有作为输出MD图表的指示的输出指示所包含的一个以上制造装置标识符的任意一个、或一个以上配方标识符的任意一个、或者一个以上制造装置标识符的任意一个及一个以上配方标识符的任意一个的多个测定信息，利用所读出的测定信息构成的，是能够在视觉上区别与每个制造装置标识符对应的测定信息、或与每个配方标识符对应的测定信息、及这两者的测定信息的样式的图表，是表示三种以上测定信息(例如2个部位的温度、气体流量和压力)的相关的图表。图18所示的MD图表例如是由一个制造装置标识符的测定信息构成的MD图表。另外，图18所示的MD图表是使用Mahalanobis距离进行例如异常判断的图表。更具体来说，图18所示的MD图表是将正常时的数据进行模型化，使用Mahalanobis距离将异常时的程度用数值表示的图表。另外，图18所示的MD图表中，输出有两个管理值。在成为这两个管理值的范围之外的值的情况下，表明是异常。而且，图18中所用的测定信息等是为了说明而准备的测定信息，与本实施方式中所说明的测定信息不同。 
另外，本实施方式的具体例中，所输出的图表是显示了一个制造装置标识符或一个配方的测定信息的图表，是依照一种测定信息具有的时刻信息所表示的时刻的顺序，连结所读出的多个测定信息而得到的一个折线图。但是，所输出的图表也可以如图19所示，是以下的图表，即、是从测定信息保存部1201中读出具有输出指示所包含的三个制造装置标识符的多个测定信息，利用所读出的该测定信息构成的，是能够在视觉上区别与每个制造装置标识符对应的测定信息的样式的图表，是依照一种测定信息具有的时刻信息所表示的时刻的顺序，描绘所读出的多个测定信息而成的三个图表。该情况下，输出指示例如包括“装置A”、“装置B”、“装置C” 三个制造装置标识符。此后，测定信息取得部1203将“装置A”、“装置B”、“装置C”分别作为关键值，3次检索测定信息保存部1201，3次取得测定信息，输出信息构成部1206按各个关键值，分别构成不同的点、线的属性值的图表，得到3个图表。这样就输出3个图表。而且，图19中所用的测定信息等是为了说明而准备的测定信息，与本实施方式中所说明的测定信息不同。 
本实施方式中，由于可以如上所述那样自由选择3个以上的图表(SPC图表、相关图表、MD图表等)的显示形态，因此能够从各个角度来进行监视，进行监视结果的分析。 
另外，本实施方式的具体例中，初始信息和测定信息也可以预先由服务器装置12保持。该情况下，初始信息或测定信息利用未图示的机构从制造装置11取得，经由记录介质等转交给服务器装置12。 
另外，本实施方式中，最好用户输入将所关注的图表的一部分放大的指示，改变该图表的一部分的比例尺(改变测定信息的时间间隔、步骤的间隔)来进行图表输出。 
另外，本实施方式中，初始信息与测定信息也可以是相同构成。该情况下就不需要测定信息存储部。 
另外，本实施方式中，不是必须在制造装置与服务器装置之间收发初始信息。初始信息例如也可以是经由记录介质从制造装置提供给服务器装置。 
另外，本实施方式中，群管理***也可以不具有客户装置13。该情况下，用户向服务器装置12输入输出指示等指示。 
另外，在本实施方式的具体例中，虽然是指定制造装置标识符或配方标识符来输出图表，然而也可以指定一个以上制造装置标识符及一个以上配方标识符来输出图表。在用户输入了包括一个以上制造装置标识符及一个以上配方标识符的输出指定的情况下，异常检测部1210将所指定的一个以上的各制造装置标识符及一个以上的各配方标识符分别作为关键值来检索测定信息(或初始信息)，检测异常，输出信息构成部1206构成图表。 
另外，本实施方式中，在制造装置是每当取得初始信息时就逐个地向服务器装置12发送的构成的情况下，最好是，将服务器装置的指示接收部接收到输出指示作为触发，实时地进行从规定起点起的有效时间的信息所 表示的时间内的测定信息的取得、异常检测处理，每当接收到初始信息时就更新输出信息(图表等)。这是因为，用户可以立即知道异常的产生。而且，该实时的异常检测是以下的处理。即，异常检测部针对测定信息取得部一个接一个地取得的、从规定起点起的有效时间的信息所表示的时间内的测定信息，立即判断是否符合条件信息，输出信息构成部一个接一个地构成使用了异常检测部的判断结果的输出信息，输出部边更新边输出输出信息构成部所构成的输出信息。 
另外，本实施方式的处理也可以利用软件来实现。此外，也可以利用软件下载等来分发该软件。另外，也可以将该软件记录于CD-ROM等记录介质中来散播。而且，本实施方式中的实现服务器装置的软件是如下所示的程序。也就是说，该程序是用于使计算机执行如下的步骤的程序，即，指示接收步骤，接收测定信息的输出指示，该测定信息在测定信息保存部中被保存了多个，包括确定规定起点的信息和作为取得所述测定信息的时间的有效时间的信息，是针对用对被处理基板进行规定处理的一个以上制造装置测定的信息的时间序列的信息，是具有用所述制造装置执行规定处理时的测定值和表示时刻的时刻信息的信息；测定信息取得步骤，从所述测定信息保存部中取得从所述规定起点起在所述有效时间的信息所表示的时间内的测定信息；输出信息构成步骤，构成使用了所取得的所述测定信息的输出信息；以及输出步骤，输出在所述输出信息构成步骤中构成的输出信息。 
另外，是如下的程序，即，在上述程序中，在所述输出信息构成步骤中使用所取得的所述测定信息来构成作为输出信息的图表，在所述输出步骤中输出所述输出信息构成部所构成的图表。 
另外，是如下的程序，即，在上述程序中，所述规定起点是配方所具有的规定配方步骤的开始时间点，所述测定信息具有识别配方步骤的配方步骤标识符，所述输出指示包括配方步骤标识符、所述有效时间的信息，在所述测定信息取得步骤中取得如下的测定信息，该测定信息是与所述输出指示所具有的配方步骤标识符对应的测定信息，是从利用该配方步骤标识符识别的配方步骤的开始时间点起在所述有效时间的信息所表示的时间内的测定信息。 
另外，是如下的程序，即，在上述程序中，在所述测定信息取得步骤中取得到所述有效时间的结束时、或利用所述配方步骤标识符识别的配方 步骤的结束时当中的较早一方为止的测定信息。 
另外，是如下的程序，即，在上述程序中，所述规定起点是符合与测定信息相关的条件的时间点，所述输出指示包括与测定信息相关的条件、所述有效时间的信息，所述测定信息取得步骤具备：第一测定信息取得步骤，取得最先符合所述与测定信息相关的条件的测定信息；有效时间内测定信息取得步骤，取得从所述第一测定信息取得机构取得了最初的测定信息的时间点起、所述有效时间内的测定信息。 
另外，是如下的程序，即，在上述程序中，在测定信息取得步骤中取得到所述有效时间的结束时、和有效时间内测定信息取得机构所取得的测定信息不满足所述与测定信息相关的条件时当中的较早一方为止的测定信息。 
另外，是如下的程序，即，在上述程序中，所述规定起点是配方所具有的规定配方步骤内的符合与测定信息相关的条件的时间点，所述测定信息具有识别配方步骤的配方步骤标识符，所述输出指示包括配方步骤标识符、与测定信息相关的条件、所述有效时间的信息，所述测定信息取得步骤具备：第一测定信息取得步骤，取得测定信息，该测定信息是与所述输出指示所具有的配方步骤标识符对应的测定信息，是最先符合所述与测定信息相关的条件的测定信息；有效时间内测定信息取得步骤，取得从所述第一测定信息取得机构取得了最初的测定信息的时间点起、所述有效时间的信息所表示的时间内的测定信息。 
另外，是如下的程序，即，在上述程序中，在所述有效时间内测定信息取得步骤中取得到所述有效时间结束时、用所述配方步骤标识符识别的配方步骤结束时、和所取得的测定信息不满足所述与测定值相关的条件时当中的较早一方为止的测定信息。 
而且，在上述程序中，在发送信息的步骤、接收信息的步骤等中，不包括利用硬件进行的处理，例如进行发送的步骤中利用调制解调器和接口卡等进行的处理(只能利用硬件进行的处理)。 
另外，执行上述程序的计算机既可以是单个，也可以是多个。即，既可以进行集中处理，也可以进行分散处理。 
而且，上述各实施方式中，各处理(各功能)既可以利用单一的装置(***)进行集中处理而实现，也可以利用多个装置进行分散处理来 实现。 
另外，上述各实施方式中，存在于一个装置中的两个以上的通信机构(初始信息接收部和输出部等)当然也可以在物理上利用一个介质来实现。 
本发明并不限定于以上的实施方式，可以进行各种变更，它们当然也包含于本发明的范围内。 
产业可利用性 
如上所述，本发明的服务器装置等适于用作具备对被处理基板进行规定处理的一个以上制造装置、与该一个以上制造装置连接的服务器装置的群管理***的服务器装置等，特别是作为取得并输出在配方步骤等中取得的测定信息等的服务器装置来说是有用的。 

Claims (19)

1.一种服务器装置，是构成群管理***的服务器装置，该群管理***具备对被处理基板进行规定处理的一个以上制造装置、和与该一个以上制造装置连接的服务器装置，并具有进行异常检测的功能，该服务器装置具备：
测定信息保存部，可保存多个测定信息，该测定信息是由所述一个以上制造装置测定的信息的时间序列的信息，是具有由所述制造装置执行了规定处理时的测定值和表示时刻的时刻信息的信息；
指示接收部，接收所述测定信息的输出指示，该输出指示包括确定规定起点的信息和作为取得所述测定信息的时间的有效时间的信息；
测定信息取得部，从所述测定信息保存部中取得从所述规定起点起、在所述有效时间的信息所表示的时间内的测定信息；
输出信息构成部，构成使用了所取得的所述测定信息的输出信息；以及
输出部，输出所述输出信息构成部所构成的输出信息，
所述规定起点是配方所具有的规定配方步骤的开始时间点，
所述测定信息具有识别配方步骤的配方步骤标识符，
所述输出指示包含配方步骤标识符、所述有效时间的信息，
所述测定信息取得部取得以下测定信息，该测定信息是与所述输出指示所具有的配方步骤标识符对应的测定信息，是从利用该配方步骤标识符识别的配方步骤的开始时间点起、在所述有效时间的信息所表示的时间内的测定信息。
2.根据权利要求1所述的服务器装置，其特征在于，所述测定信息取得部取得到所述有效时间结束时、和利用所述配方步骤标识符识别的配方步骤结束时当中的较早一方为止的测定信息。
3.一种服务器装置，是构成群管理***的服务器装置，该群管理***具备对被处理基板进行规定处理的一个以上制造装置、和与该一个以上制造装置连接的服务器装置，并具有进行异常检测的功能，该服务器装置具备：
测定信息保存部，可保存多个测定信息，该测定信息是由所述一个以上制造装置测定的信息的时间序列的信息，是具有由所述制造装置执行了规定处理时的测定值和表示时刻的时刻信息的信息；
指示接收部，接收所述测定信息的输出指示，该输出指示包括确定规定起点的信息和作为取得所述测定信息的时间的有效时间的信息；
测定信息取得部，从所述测定信息保存部中取得从所述规定起点起、在所述有效时间的信息所表示的时间内的测定信息；
输出信息构成部，构成使用了所取得的所述测定信息的输出信息；以及
输出部，输出所述输出信息构成部所构成的输出信息，
所述规定起点是符合与测定信息相关的条件的时间点，
所述输出指示包含与测定信息相关的条件、所述有效时间的信息，
所述测定信息取得部具备：
第一测定信息取得机构，取得最先符合所述与测定信息相关的条件的测定信息；以及
有效时间内测定信息取得机构，取得从所述第一测定信息取得机构取得了最初的测定信息的时间点起、在所述有效时间内的测定信息。
4.根据权利要求3所述的服务器装置，其特征在于，测定信息取得部取得到所述有效时间结束时、和有效时间内测定信息取得机构所取得的测定信息不满足所述与测定信息相关的条件时当中的较早一方为止的测定信息。
5.一种服务器装置，是构成群管理***的服务器装置，该群管理***具备对被处理基板进行规定处理的一个以上制造装置、和与该一个以上制造装置连接的服务器装置，并具有进行异常检测的功能，该服务器装置具备：
测定信息保存部，可保存多个测定信息，该测定信息是由所述一个以上制造装置测定的信息的时间序列的信息，是具有由所述制造装置执行了规定处理时的测定值和表示时刻的时刻信息的信息；
指示接收部，接收所述测定信息的输出指示，该输出指示包括确定规定起点的信息和作为取得所述测定信息的时间的有效时间的信息；
测定信息取得部，从所述测定信息保存部中取得从所述规定起点起、在所述有效时间的信息所表示的时间内的测定信息；
输出信息构成部，构成使用了所取得的所述测定信息的输出信息；以及
输出部，输出所述输出信息构成部所构成的输出信息，
所述规定起点是配方所具有的规定配方步骤内的符合与测定信息相关的条件的时间点，
所述测定信息具有识别配方步骤的配方步骤标识符，
所述输出指示包含配方步骤标识符、与测定信息相关的条件、和所述有效时间的信息，
所述测定信息取得部具备：
第一测定信息取得机构，取得以下测定信息，该测定信息是与所述输出指示所具有的配方步骤标识符对应的测定信息，是最先符合所述与测定信息相关的条件的测定信息；
有效时间内测定信息取得机构，取得从所述第一测定信息取得机构取得了最初的测定信息的时间点起、在所述有效时间的信息所表示的时间内的测定信息。
6.根据权利要求5所述的服务器装置，其特征在于，所述有效时间内测定信息取得机构取得到所述有效时间结束时、利用所述配方步骤标识符识别的配方步骤结束时、和所取得的测定信息不满足与所述测定值相关的条件时当中的较早一方为止的测定信息。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的服务器装置，其特征在于，所述输出信息构成部使用所取得的所述测定信息来构成作为输出信息的图表，
所述输出部输出所述输出信息构成部所构成的图表。
8.根据权利要求1至6中任一项所述的服务器装置，其特征在于，所述输出信息构成部使用所取得的所述测定信息进行规定运算，构成使用了该运算结果的输出信息。
9.根据权利要求1至6中任一项所述的服务器装置，其特征在于，还具备：
条件信息保存部，可保存表示用于判断所述测定信息是否异常的条件的条件信息；和
异常检测部，判断所述测定信息取得部所取得的测定信息是否符合所述条件信息保存部所保存的条件信息；
所述输出信息构成部构成使用了所述异常检测部的判断结果的输出信息。
10.根据权利要求1至6中任一项所述的服务器装置，其特征在于，所述输出信息构成部构成SPC图表，该SPC图表是依照该测定信息具有的时刻信息所表示的时刻的顺序，对所取得的所述测定信息进行描绘而得到的，
所述输出部输出所述输出信息构成部所构成的SPC图表。
11.根据权利要求1至6中任一项所述的服务器装置，其特征在于，所述输出信息构成部利用所取得的所述测定信息来构成相关图表，该相关图表是表示两种测定信息的相关的图表，
所述输出部输出所述输出信息构成部所构成的相关图表。
12.根据权利要求1至6中任一项所述的服务器装置，其特征在于，所述输出信息构成部利用所取得的所述测定信息来构成MD图表、即Mahalanobis距离图表，该MD图表是表示三种以上的测定信息的相关的图表，
所述输出部输出所述输出信息构成部所构成的MD图表。
13.一种控制方法，包括以下步骤：
指示接收步骤，接收测定信息的输出指示，该测定信息在测定信息保存部中被保存了多个，包括确定规定起点的信息和作为取得所述测定信息的时间的有效时间的信息，是由对被处理基板进行规定处理的一个以上制造装置测定的信息的时间序列的信息，是具有由所述制造装置执行规定处理时的测定值和表示时刻的时刻信息的信息；
测定信息取得步骤，从所述测定信息保存部中取得从所述规定起点起、在所述有效时间的信息所表示的时间内的测定信息；
输出信息构成步骤，构成使用了所取得的所述测定信息的输出信息；以及
输出步骤，输出在所述输出信息构成步骤中构成的输出信息，
所述规定起点是配方所具有的规定配方步骤的开始时间点，
所述测定信息具有识别配方步骤的配方步骤标识符，
所述输出指示包含配方步骤标识符、所述有效时间的信息，
所述测定信息取得步骤取得以下测定信息，该测定信息是与所述输出指示所具有的配方步骤标识符对应的测定信息，是从利用该配方步骤标识符识别的配方步骤的开始时间点起、在所述有效时间的信息所表示的时间内的测定信息。
14.根据权利要求13所述的控制方法，其特征在于，所述测定信息取得步骤取得到所述有效时间结束时、和利用所述配方步骤标识符识别的配方步骤结束时当中的较早一方为止的测定信息。
15.一种控制方法，包括以下步骤：
指示接收步骤，接收测定信息的输出指示，该测定信息在测定信息保存部中被保存了多个，包括确定规定起点的信息和作为取得所述测定信息的时间的有效时间的信息，是由对被处理基板进行规定处理的一个以上制造装置测定的信息的时间序列的信息，是具有由所述制造装置执行规定处理时的测定值和表示时刻的时刻信息的信息；
测定信息取得步骤，从所述测定信息保存部中取得从所述规定起点起、在所述有效时间的信息所表示的时间内的测定信息；
输出信息构成步骤，构成使用了所取得的所述测定信息的输出信息；以及
输出步骤，输出在所述输出信息构成步骤中构成的输出信息，
所述规定起点是符合与测定信息相关的条件的时间点，
所述输出指示包含与测定信息相关的条件、所述有效时间的信息，
所述测定信息取得步骤具备：
第一测定信息取得步骤，取得最先符合所述与测定信息相关的条件的测定信息，以及
有效时间内测定信息取得步骤，取得从所述第一测定信息取得步骤中取得了最初的测定信息的时间点起、在所述有效时间内的测定信息。
16.根据权利要求15所述的控制方法，其特征在于，测定信息取得步骤取得到所述有效时间结束时、和有效时间内测定信息取得步骤所取得的测定信息不满足所述与测定信息相关的条件时当中的较早一方为止的测定信息。
17.一种控制方法，包括以下步骤：
指示接收步骤，接收测定信息的输出指示，该测定信息在测定信息保存部中被保存了多个，包括确定规定起点的信息和作为取得所述测定信息的时间的有效时间的信息，是由对被处理基板进行规定处理的一个以上制造装置测定的信息的时间序列的信息，是具有由所述制造装置执行规定处理时的测定值和表示时刻的时刻信息的信息；
测定信息取得步骤，从所述测定信息保存部中取得从所述规定起点起、在所述有效时间的信息所表示的时间内的测定信息；
输出信息构成步骤，构成使用了所取得的所述测定信息的输出信息；以及
输出步骤，输出在所述输出信息构成步骤中构成的输出信息，
所述规定起点是配方所具有的规定配方步骤内的符合与测定信息相关的条件的时间点，
所述测定信息具有识别配方步骤的配方步骤标识符，
所述输出指示包含配方步骤标识符、与测定信息相关的条件、所述有效时间的信息，
所述测定信息取得步骤具备：
第一测定信息取得步骤，取得以下测定信息，该测定信息是与所述输出指示所具有的配方步骤标识符对应的测定信息，是最先符合所述与测定信息相关的条件的测定信息；以及
有效时间内测定信息取得步骤，取得从所述第一测定信息取得步骤中取得了最初的测定信息的时间点起、在所述有效时间的信息所表示的时间内的测定信息。
18.根据权利要求17所述的控制方法，其特征在于，所述有效时间内测定信息取得步骤取得到所述有效时间结束时、利用所述配方步骤标识符识别的配方步骤结束时、和所取得的测定信息不满足与所述测定值相关的条件时当中的较早一方为止的测定信息。
19.根据权利要求13至18中任一项所述的控制方法，其特征在于，所述输出信息构成步骤使用所取得的所述测定信息来构成作为输出信息的图表，
所述输出步骤输出所述输出信息构成步骤中构成的图表。
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