JP6262137B2 - 統合管理システム、管理装置、基板処理装置の情報表示方法及びプログラム - Google Patents
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Description
Claims (13)
- 基板処理を実施する基板処理装置と、
前記基板処理装置の稼働状況に関する稼働情報を含む各種情報を蓄積する蓄積部と、前記蓄積部に蓄積された情報から所定の条件を満たす情報を取得し、前記基板処理装置の装置稼働率を算出する加工表示部と、を含む管理装置と、を備え、
前記蓄積部は、前記稼働情報として、稼働している前記基板処理装置を特定する装置特定情報と、前記基板処理装置の稼働開始時刻及び稼働停止時刻を特定する稼働時間情報と、前記基板処理装置が実行した基板処理のレシピを特定するレシピ特定情報がそれぞれ蓄積し、
前記加工表示部は、前記稼働時間情報と前記レシピ特定情報とに基づいて、前記基板処理装置毎に稼働率を算出し、所定の表示期間における前記稼働率の平均値を算出して表示するよう構成されている統合管理システム。 - 前記基板処理装置に付帯されて付帯設備が設置されており、
前記蓄積部は、
前記基板処理装置及び前記付帯設備に関する情報をそれぞれ取得して読み出し可能に蓄積するよう構成されている請求項1記載の統合管理システム。 - 更に、前記蓄積部は、
前記基板処理装置の装置電力消費量情報と、前記基板処理装置の電力消費開始時刻及び電力消費停止時刻を特定する電力消費時間情報と、を蓄積するように構成されている請求項1記載の統合管理システム。 - 前記基板処理装置は、基板を加熱する加熱部と、前記基板処理装置に設けられた前記基板を処理する処理室内を排気する排気部と、少なくとも前記加熱部及び前記排気部を制御する制御部と、を備え、
更に、前記蓄積部は、少なくとも前記加熱部の電力消費量を示す加熱電力消費量情報と、前記加熱部の電力消費開始時刻及び電力消費停止時刻を特定する加熱時間情報と、前記排気部の電力消費量を示す排気電力消費量情報と、前記排気部の電力消費開始時刻及び電力消費停止時刻を特定する排気時間情報と、前記制御部の電力消費量を示す制御電力消費量情報と、前記制御部の電力消費開始時刻及び電力消費停止時刻を特定する制御時間情報と、を蓄積するよう構成されている請求項1記載の統合管理システム。 - 更に、前記蓄積部は、ガス供給系の処理ガス消費量情報と、処理ガス消費開始時刻及び処理ガス消費停止時刻を特定する処理ガス消費時間情報と、を少なくとも蓄積するよう構成されている請求項1記載の統合管理システム。
- 基板処理を実施する基板処理装置の稼働状況に関する稼働情報を含む各種情報を蓄積する蓄積部と、前記蓄積部に蓄積された情報から所定の条件を満たす情報を取得し、前記基板処理装置の装置稼働率を算出する加工表示部と、を備え、
前記蓄積部は、前記稼働情報として、稼働している前記基板処理装置を特定する装置特定情報と、前記基板処理装置の稼働開始時刻及び稼働停止時刻を特定する稼働時間情報と、前記基板処理装置が実行した基板処理のレシピを特定するレシピ特定情報がそれぞれ蓄積し、
前記加工表示部は、前記稼働時間情報と前記レシピ特定情報とに基づいて、前記基板処理装置毎に稼働率を算出し、所定の表示期間における前記稼働率の平均値を算出して表示するよう構成されている管理装置。 - 基板処理を実施する基板処理装置の稼働状況に関する稼働情報を含む各種情報を蓄積する蓄積工程と、前記蓄積工程で蓄積した情報から所定の条件を満たす情報を取得し、前記基板処理装置の装置稼働率を算出して表示する表示工程と、を有し、
前記蓄積工程では、前記稼働情報として、稼働している前記基板処理装置を特定する装置特定情報と、前記基板処理装置の稼働開始時刻及び稼働停止時刻を特定する稼働時間情報と、前記基板処理装置が実行した基板処理のレシピを特定するレシピ特定情報がそれぞれ蓄積され、
前記表示工程では、前記稼働時間情報と前記レシピ特定情報とに基づいて、前記基板処理装置毎に稼働率を算出し、所定の表示期間における前記稼働率の平均値を算出して表示する基板処理装置の情報表示方法。 - 前記稼働率は、1日におけるレシピ実行時間の割合である請求項7の基板処理装置の情報表示方法。
- 前記表示工程では、算出した前記稼働率を前記装置特定情報で特定した稼働中の前記基板処理装置について平均した平均装置稼働率を算出して表示する請求項7の基板処理装置の情報表示方法。
- 前記レシピ特定情報は、レシピ名称、レシピの実行開始時刻及びレシピの実行停止時刻、正常終了したか異常終了したかを示すレシピ終了状態などのうち少なくとも一つを有する請求項7の基板処理装置の情報表示方法。
- 前記蓄積工程では、更に、前記基板処理装置で消費される電力に関する電力消費情報、前記基板処理装置で消費されるガスに関するガス消費量情報を含む各種情報を蓄積し、
前記表示工程では、前記電力消費情報に基づき前記基板処理装置毎に算出された電力消費量、及び前記ガス消費量情報に基づき前記基板処理装置毎に算出された不活性ガス消費量をそれぞれ前記基板処理装置の台数分積算して、合計電力消費量、合計不活性ガス消費量を算出するとともに、前記基板処理装置毎の稼働率を前記基板処理装置の台数分で平均した平均装置稼働率を算出して表示する請求項7記載の基板処理装置の情報表示方法。 - 前記蓄積工程では、前記各種情報を格納する所定のデータテーブルが作成され、
前記表示工程では、所定の条件を満たす情報を取得する指示を受付け、前記所定のデータテーブルを繰返し検索し、前記検索による情報取得を終了した後、前記所定の条件に基づいて取得した情報から、前記基板処理装置の装置稼働率を算出する請求項7の基板処理装置の情報表示方法。 - 基板処理を実施する基板処理装置を管理する管理装置で実行される情報提供プログラムであって、
前記基板処理装置の稼働状況に関する稼働情報を含む各種情報を所定のデータテーブルを作成して蓄積するステップと、所定の条件を満たす情報を取得する指示を受付け、前記所定のデータテーブルを繰返し検索するステップと、前記検索による情報取得を終了するステップと、前記所定の条件に基づいて取得した情報から、前記基板処理装置の装置稼働率を算出して表示するステップと、を備え、
前記管理装置に、
前記蓄積するステップでは、前記稼働情報として、稼働している前記基板処理装置を特定する装置特定情報と、前記基板処理装置の稼働開始時刻及び稼働停止時刻を特定する稼働時間情報と、前記基板処理装置が実行した基板処理のレシピを特定するレシピ特定情報がそれぞれ蓄積させ、
前記表示するステップでは、前記稼働時間情報と前記レシピ特定情報とに基づいて、前記基板処理装置毎に稼働率を算出し、所定の表示期間における前記稼働率の平均値を算出して表示させる情報提供プログラム。
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