CN101195437A - 轨道传送装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种连接轨道，包括：提供在它的宽度方向的另一侧上并沿延伸方向延伸的第一方向控制导轨；和提供在它的宽度方向的一侧上通过间隔区域与第一方向控制导轨隔开并沿延伸方向延伸的第二方向控制导轨。当传送车在反向上移动时，在释放由第一方向控制导轨进行的对于移动单元的导向滚轮的引导操作后，通过执行转移操作转移移动单元，以便移动单元的导向滚轮由第二方向控制导轨引导。在转移操作期间提供具有邻接导向滚轮的邻接面的前移导轨。

Description

轨道传送装置

技术领域

本发明涉及轨道传送装置，其通过运行在轨道上的传送车来传送要被传送的物品。

背景技术

参考文献1(日本特开专利申请No.2001-270435)公开了一种轨道传送装置，其由天花板上提供的轨道支撑并从该轨道悬挂的传送车来传送要被传送的物品。由于这种悬挂式的轨道传送装置不会占用地面，因此它对于用于其中空间的单位价格昂贵的半导体制造的无尘室是很有用的。

近来，在半导体制造工厂中，产品的等级显著增大并日益复杂。因此，在上述传送装置中提供的轨道路线就变得很复杂并包括了很多的分支和交叉。

但是，在参考文献1所公开的传送装置中，在其中将一个传送轨道经由连接轨道连接到另一个传送轨道的区域中，连接轨道变得相对很长。如上所述，空间的单位价格在用于半导体制造的无尘室中是很高的，因此需要尽可能地降低轨道所占用的区域。因此，需要使得被轨道占用的区域尽可能的小并进一步缩短连接轨道。

发明内容

本发明的目的是提供一种轨道传送装置，其中缩短了连接两个轨道的连接轨道。

根据本发明的一个方面，提供了一种轨道传送装置，包括：轨道，包括第一主轨道、第二主轨道和连接第一主轨道和第二主轨道的连接轨道；第一方向控制导轨，其在连接轨道的宽度方向的一侧上沿连接轨道的延伸方向延伸并延伸到第一主轨道；第二方向控制导轨，其在连接轨道的宽度方向的另一侧上沿连接轨道的延伸方向以不与第一方向控制导轨重叠的方式延伸并延伸到第二主轨道；由轨道支撑并引导以移动的传送车，该传送车包括多个滚轮单元，每个滚轮单元都具有由第一方向控制导轨所引导的第一滚轮和由第二方向控制导轨所引导的第二滚轮；以及前移导轨，当在轨道上移动的传送车沿向前方向从第一主轨道的一侧移动到第二主轨道一侧时，在释放由第一方向控制导轨进行的一个滚轮单元的第一滚轮的引导操作后，该前移导轨将滚轮单元引导到一个滚轮单元的第二滚轮由第二方向控制导轨引导的位置。

通过上述的轨道传送装置，在其中释放由第一方向控制导轨进行的第一滚轮的引导操作的滚轮单元可以被强制地转移到该滚轮单元的第二滚轮由第二方向控制导轨所引导的位置。因此，必须让在第一方向控制导轨和第二方向控制导轨之间的间隔区域的长度等于在移动方向上的一个滚轮单元的长度和该滚轮单元在第二滚轮转移到由第二方向控制导轨引导的位置期间所移动的距离之和。不必保持用于在转移操作失败时的传送车的紧急停止的长度。因此，可以将连接轨道的长度缩短用于紧急停止的长度。

在上述轨道传送装置的一种形式中，前移导轨可以与在连接轨道的延伸方向上延伸的第一方向控制导轨的虚拟延长线相交，当第二滚轮处在由第二方向控制导轨引导的位置时，该前移导轨可以延伸到邻接第一滚轮的位置，并且前移导轨可以具有邻接且引导第一滚轮的前移邻接表面。

在这种构造中，由第一方向控制导轨进行的引导操作释放的第一滚轮可以邻接前移导轨的前移邻接表面，而第二滚轮可以被可靠地引导到由第二方向控制导轨所引导的位置。

在上述轨道传送装置的另一形式中，在引导方向上的前移邻接表面的形状可以是正弦曲线形状。在这种构造中，当释放由第一方向控制导轨进行的第一滚轮的引导操作后，在将滚轮单元转移到第二滚轮由第二方向控制导轨引导的位置期间能减少在传送车上的冲击。因此，能防止由传送车所传送的所传物品发生诸如损坏等任何缺损。

在上述轨道传送装置的又一形式中，可以确定前移邻接表面的形状，以便由前移导轨引导并在连接轨道的延伸方向上以恒定速度移动的滚轮单元在连接轨道的宽度方向上的速度首先以恒定加速度增加，并在达到恒定速度后在预定时期内保持恒定的速度，然后经过该预定时期后以恒定的加速度降低。

在这种构造中，在转移操作期间传送车的冲击能被可靠地降低。因此，可以防止由传送车所传送的所传物品发生诸如损坏等任何缺损。

在又一形式中，上述的轨道传送装置还可以包括后移导轨，在传送车沿从第二主轨道的一侧到第一主轨道的一侧的反向在轨道上移动时，在释放由第二方向控制导轨进行的一个滚轮单元的第二滚轮的引导操作后，该后移导轨将该滚轮单元引导到一个滚轮单元的第一滚轮由第一方向控制导轨所引导的位置。

在这种构造中，即便传送车在反向上移动，也无需用于紧急停止的长度。如果间隔区域的长度等于在移动方向上的一个滚轮单元的长度与在将第一滚轮转移到由第一方向控制导轨引导的位置期间该滚轮单元移动的距离之和，则在释放由第二方向控制导轨进行的第二滚轮的引导操作后，该滚轮单元就能被转移到第一滚轮由第一方向控制导轨引导的位置。

在上述的轨道传送装置的又一形式中，后移导轨可以与在连接轨道的延伸方向上延伸的第二方向控制导轨的虚拟延长线相交，并且当第一滚轮位于由第一方向控制导轨引导的位置时，后移导轨可以延伸到邻接第二滚轮的位置，而前移导轨可以具有邻接并引导第二滚轮的后移邻接表面。

在这种构造中，从由第二方向控制导轨进行的引导操作释放的第二滚轮可以邻接后移导轨的后移邻接表面，并且可以可靠地将第一滚轮引导到由第一方向控制导轨引导的位置。

在上述轨道传送装置的又一形式中，在引导方向上的后移邻接表面的形状可以是正弦曲线形状。在这种构造中，在后移操作期间能降低在传送车上的冲击，因此，可以防止传送物品发生诸如损坏等任何缺损。

在上述轨道传送装置的又一形式中，可以确定后移邻接表面的形状，以便由后移导轨引导并在连接轨道的延伸方向上以恒定速度移动的滚轮单元在连接轨道的宽度方向上的速度首先以恒定加速度增加，并在达到恒定速度后在预定时期内保持恒定的速度，然后在经过该预定时期后以恒定的加速度降低。在这种构造中，在后移操作期间能降低在传送车上的冲击，因此，可以防止传送物品发生诸如损坏等任何缺损。

本发明的特性、用途以及进一步的特征将从结合以下简要描述的附图读取的关于本发明的优选实施例所作的以下详细解释中变得更加清晰。

附图说明

图1显示了根据本发明实施例的使用OHT的OHT传送***的示意性构造。

图2是在图1中所示的轨道的一部分的放大图；

图3是在图2中沿III-III线的截面图；

图4是在图2中所示的移动单元的侧视图；

图5显示了在转移操作期间图2所示的移动单元在连接轨道的宽度方向上的速度变化；

图6显示了在转移期间图2所示的移动单元的轨迹，其沿引导方向上具有对应于前移导轨和后移导轨的邻接表面形状的形状；

图7显示了提供在图1所示的轨道的“Y”形区域上的前移导轨和后移导轨；

图8显示了在图6中所示的前移导轨和后移导轨的沿引导方向上的邻接表面的形状的修改实例；和

图9显示了移动具有分支和交点的区域的比较例的传送车。

具体实施方式

以下将参考附图描述本发明的优选实施例。

根据本发明实施例的轨道传送装置是提供在半导体制造工厂中的传送装置并用来传送容纳基板的FOUF(前端开口通用盒)。该轨道传送装置为悬挂式传送装置(OHT：吊运装置传送)，其传送保存有FOUP的车辆并由天花板上的轨道支撑。图1是示意性显示施加了本发明的OHT传送***的平面图。

如在图1中所示，根据本发明的OHT 1的轨道10包括环形的主轨道11、与主轨道11的一部分平行设置的子轨道12以及将主轨道11和子轨道12进行连接的多个连接轨道13。在环形的主轨道11的外侧和下面放置多个半导体制造装置91。子轨道12与主轨道11的一部分平行，在该主轨道11的该部分处，相邻地放置半导体制造装置91。在子轨道12下，提供了存放FOUP 60的托盘93和如果工序调节需要则暂时性存放FOUP 60的简易缓存器95。

传送车30由上述的轨道10以悬挂的方式支撑，并沿轨道10由轨道10引导地移动。保持有FOUP 60的传送车30在半导体制造装置91、托盘93和简易缓存器95之间滑动，从而将FOUP 60置于其上并从它们收集FOUP 60。虽然传送车30通常沿向前方向(由在图1中的箭头所示的逆时针方向)移动，但在进行对故障情况进行修复工作或维护工作时它也可以沿反向滑动。

接下来，将更详细描述OHT 1的构造。图2是上述OHT 1的透视图，并显示了在图1中的连接轨道13周围的区域(被虚线围绕)的放大图。图3是沿对应于轨道10的宽度方向的线III-III切开的轨道10的截面图。

如在图3中所示，轨道10是具有基本上为矩形的截面形状的管状部件，并被提供为从天花板97悬挂下来。在管状轨道10的底壁(表面)处，沿延伸方向(在图3的图纸的前后侧方向)提供了狭缝2来悬挂以后所要描述的车辆单元31。

如在图2中所示，方向控制导轨14至17、前移导轨18和后移导轨19都被提供在轨道10的连接轨道13附近。如在图3中所示，这些导轨14至19都是以基本上与轨道10的内上表面平行的方式提供在轨道10的内侧表面的部件。导轨14至19的一端与轨道10的内侧壁集成，而导轨14至19的另一端以向下弯曲的方式形成。

如在图2中所示，方向控制导轨14和15被提供在主轨道11和连接轨道13的连接部分附近。方向控制导轨14在主轨道11的宽度方向的一侧(在图2中的下侧)上沿主轨道11的延伸方向延伸。方向控制导轨15在主轨道11的宽度方向的另一侧(图2中的上侧)上沿主轨道11的延伸方向延伸，并在连接轨道13的分支点处弯曲，接着在连接轨道13的宽度方向的另一侧(在图2中的左侧)上沿连接轨道13的延伸方向延伸。

另一方面，方向控制导轨16和17被提供在子轨道12和连接轨道13的连接部分附近。方向控制导轨16在子轨道12的宽度方向的一侧(在图2中的上侧)上沿子轨道12的延伸方向延伸。方向控制导轨17在连接轨道13的宽度方向的一侧(图2中的右侧)上沿连接轨道13的延伸方向延伸，并在子轨道12和连接轨道13的交汇处弯曲，接着在子轨道12的宽度方向的一侧(在图2中的下侧)上沿子轨道12的延伸方向延伸。应当注意的是，在连接轨道13中，方向控制导轨15和方向控制导轨17关于连接导轨13的延伸方向并不互相重叠。即，方向控制导轨15和方向控制导轨17关于连接导轨13的延伸方向彼此远离，它们之间间隔了长度L0的间隔区域。

前移导轨18被提供在连接导轨13的宽度方向的另一侧(在图2中的左侧)上，并具有邻接表面18a，当传送车30在向前方向(在图2中的箭头所示的方向)移动时，在连接导轨13的宽度方向上转移的移动单元(滚轮单元)40的导向滚轮42在该邻接表面18a上邻接在该间隔区域内。后移导轨19被提供在连接轨道13的宽度方向的一侧(在图2中的右侧)上，并具有邻接表面19a，当传送车30沿反向滑动时，在连接导轨13的宽度方向上转移的移动单元(滚轮单元)40的导向滚轮43在该邻接表面19a上邻接在该间隔区域内。前移导轨18的邻接表面18a和后移导轨19的邻接表面19a的形状将在以后详细描述。

回到图3，在轨道10的内上壁上提供次级侧永磁体3。该次级侧永磁体3是线性电机的次级侧部件，线性电机是传送车30的驱动源。作为次级侧永磁体3，沿着延伸方向(图3的图纸的前后方向)布置形成预定形状的多个永磁体，并使得这些永磁体的磁体极性一个接一个反转。

在轨道10的内侧壁上，提供了一对沿延伸方向(图3的图纸的前后方向)延伸的初级侧供电线4。该对初级侧供电线4是回转线，包括去线和回线。将高频电力施加到初级侧供电线4，并且初级侧供电线4与以后要详细描述的提供在传送车30上的次级侧铁心35一起实现非触式地将电力馈送给传送车30。应当注意，初级侧供电线4还被用作在控制器(未示出)和传送车之间的通信线，该控制器控制传送车30的移动。

如在图3中所示，在传送车30上，提供了初级侧叠片铁心34，该初级侧叠片铁心34采用与在轨道10的内上壁提供的次级侧永磁体3面对面的形式，并且与该次级侧永磁体3之间具有预定的空间。初级侧叠片铁心34为与次级侧永磁体3一起构成线性电机的初级侧部件，并且在初级侧叠片铁心34周围绕有线圈。

传送车30包括具有基本上为“E”状的截面形状的次级侧铁心35。在次级侧铁心35的“E”形的两个凹进部分中，***提供在轨道10的内侧壁上的初级侧供电线4。当向初级侧供电线4提供高频电力时，该初级侧高频电力被感应到缠绕在次级侧铁心35周围的线圈(未示出)中，从而以非接触的方式传输电力。这种非接触的电力传送覆盖了传送车30所需的所有电力。

这里，给出对于作为传送车30驱动源的线性电机的驱动方式的描述。首先，由上述非接触馈电方式感应到次级侧铁心35的高频电力，在整流单元(未示出)中通过全波整流的方式被转换成直流电流，接着利用电力控制单元(未示出)被转换成PWM***的三相交流电流，接着被提供给构成线性电机的初级侧叠片铁心34。当电力被提供给初级侧叠片铁心34时，在初级叠片铁心34中产生线性移动传播的磁场，并通过在彼此相对的初级侧叠片铁心34和次级侧永磁体3之间的磁效应而在初级侧叠片铁心34中产生驱动力。如以后所要描述的，初级侧叠片铁心34被连接到能在管状轨道10中移动的移动单元40。因此，利用线性电机向移动单元40给予沿轨道10的延伸方向的驱动力，并且该移动单元40在轨道10中移动。

传送车30还包括车辆单元31，和两个具有相同构造并在传送车30的移动方向上彼此对齐排列的移动单元40。如在图3中所示，移动单元40位于管状轨道10内。经由轨道10的狭缝2，利用从轨道10的内部延伸出的悬挂部件33，将车辆单元31连接到两个移动单元40的每一个，并将车辆单元31以悬挂的方式保留在轨道10下。

这里，进一步参考显示移动单元40的侧视图的图4，来描述移动单元40的构造。移动单元40的每一个都包括用来选择传送车30的移动方向的四个导向滚轮41至44，和用来移动传送车30的两个移动滚轮49和50。

导向滚轮41至44能在水平方向上旋转。导向滚轮41至44中的两个被提供在移动单元40的宽度方向上的一端上，而它们中的另外两个被提供在移动单元40的宽度方向上的另一端上。通过使导向滚轮在轨道10的分支或交汇处邻接方向控制导轨14至17中的一个，可以选择传送车30的直进、分支移动或合并移动。

如在图2和4中所示，在宽度方向的一侧上的两个导向滚轮41和43通过臂杆45彼此连接。类似地，在宽度方向的另一侧上的两个导向滚轮42和44通过臂46彼此连接。此外，臂45和46通过在移动单元40的宽度方向(即，轨道10的宽度方向)上延伸的臂连接部件47彼此连接。臂连接部件47能通过未示出的单元驱动机构沿其延伸方向驱动。即，移动单元40的每个都能通过单元驱动机构的驱动操作而沿轨道10的宽度方向转移。每个移动单元40的臂连接部件47通过单元连接部件48以可摆动(swingable)方式彼此连接。

如图3中所示，移动滚轮49和50被提供在移动单元40的宽度方向上的两个端部上，并且与轨道10的内下表面接触且可以摆动。

相对于如上所述的两个移动单元40以悬挂方式保持的车辆单元31包括：车辆位置调节机构36、悬挂机构37和夹持机构38。车辆位置调节机构36可在水平面内移动，且是在放下或收集作为传送的物品的FOUP60时使用的定位机构。悬挂机构37是用来发送和缠绕悬挂带37a的机构。夹持机构38附于悬挂带37a的端部并能通过夹子38a来保持FOUP60。

这里，参考图2，给出如下操作的描述：其中，在向前方向(在图2中的箭头所示的方向)上移动的传送车30脱离主轨道11而进入子轨道12。在以下的描述中，轨道10(主轨道11、子轨道12和连接轨道13)的宽度方向和延伸方向分别被简称为“宽度方向”和“延伸方向”。

首先，当将在主轨道11上沿向前方向移动的传送车30引导进入连接轨道13时，利用单元驱动机构的驱动力，该单元驱动机制将在主轨道11上移动的传送车30的两个移动单元40转移到宽度方向的另一方向(图2中的上行方向)。在这种状态中，当传送车30移动到具有连接导轨13的连接部分时，在宽度方向的另一侧上的两个移动单元40的导向滚轮42和44由方向控制导轨15进行引导，并且传送车30运行到连接轨道13内。

此后，释放由方向控制导轨15进行的对于位于传送车30的前侧上的移动单元40的导向滚轮42和44的的引导操作，接着通过单元驱动机制的驱动力将在延伸方向上以恒定速度运行的移动单元40转移到在间隔区域内的宽度方向的一侧(在图2中的右侧)。由此，在宽度方向的前侧和一侧上的移动单元40的导向滚轮41被转移到其由方向控制导轨17引导的位置(由在图2中的虚线所示)。因此，在前侧上的移动单元40的导向滚轮41和43由方向控制导轨17引导。接着，对在间隔区域内在移动方向上的后侧的移动单元40执行相同的转移操作，从而传送车30运行到子轨道12中。

在上述转移操作中，在宽度方向上的另一侧和在移动方向上的前侧上的导向滚轮42邻接前移导轨18的邻接表面18a。即，前移导轨18的邻接表面18a沿连接导轨13的延伸方向与方向控制导轨15的虚拟延长线相交。此外，邻接表面18a从引导释放点延伸到引导重始点。引导释放点是这样的点，在该引导释放点处，释放由方向控制导轨15进行的引导操作之后的移动单元40的导向滚轮42邻接于邻接表面18a。引导重始点为这样的点，当移动单元40的导向滚轮41位于其由方向控制导轨17引导的位置时，在该引导重始点处，导向滚轮42邻接于邻接表面18a。应当注意的是，在先前方向的转移操作期间，导向滚轮41至44都没有邻接后移导轨19。

图5显示了在如上执行转移操作时，相对于宽度方向的移动单元40的速度变化。如在图5中所示，在宽度方向上的移动单元40的速度v从时间t0至t1以加速度α增加，并在时间t1达到恒定速度后一直保持该恒定速度直至时间t2，并从时间t2至t3以加速度α减小。因此，在时间t0≤t≤t1期间的速度v1，在时间t1≤t≤t2期间的速度v2和在时间t2≤t≤t3期间的速度v3由以下的等式(1)至(3)表示：

v1＝α·t            (1)

v2＝α·t1           (2)

v3＝α·(t1+t2-t)    (3)

在本实施例中，用来驱动以动单元40的单元驱动机构由控制器(未示出)控制，以致于在宽度方向上的移动单元40的速度在转移操作期间如上所述地变化。从而，能降低在转移操作期间在传送车30上的冲击。因此，可以防止由传送车30所保持的FOUP 60中容纳的基板滑动、产生摩擦力从而产生颗粒而导致图案受损以及恶化产品的合格率。

在转移操作期间在宽度方向上的移动单元40的移动距离S由以下的等式(4)至(6)表示：

$S=\frac{1}{2}\mathrm{\α}\·t^2,(t0\≤t\≤t1)---\left(4\right)$

$S=\frac{1}{2}\mathrm{\&alpha;}{\&CenterDot;t1}^2+v_2\&CenterDot;(t-t1),(t1<t\&le;t2)---\left(5\right)$

$S=\frac{1}{2}\mathrm{\&alpha;}\&CenterDot;{t1}^2+v_2\&CenterDot;(t2-t1)+\frac{1}{2}\mathrm{\&alpha;}\&CenterDot;{(t-t2)}^2,(t2<t\&le;t3)---\left(6\right)$

这里，在转移操作期间在延伸方向上的移动单元40的速度是恒定的。因此，在转移操作期间移动单元40在宽度方向上的移动距离S和移动单元40在延伸方向上的移动距离L(即，在转移操作期间移动单元40的轨迹)如图6所示。在图6中，点A、B、C和D分别相应于时间t0、t1、t2和t3。如图6所示，在转移操作期间移动单元40的轨迹由平滑线表示。移动单元40的轨迹从时间t0至t1和t2至t3为二次曲线，而从t1至t2为直线。在本实施例中，在转移操作期间移动单元40在延伸方向上运行的距离L2通过如下方式获得：从在方向控制导轨15和17之间的间隔区域的长度L0中减去单个移动单元40的长度L1。

从引导释放点到引导重始点，在转移操作中上面邻接有导向滚轮42的前移导轨18的邻接表面18a的形状(即，沿引导方向的形状)与在图6中所示的曲线图的曲线一致。

现描述由于故障等而使单元驱动机构不能在转移操作期间将在宽度方向上的驱动力施加到移动单元40的情况。在这种情况中，通过邻接前移滚轮18的邻接表面18a，将滑动单元40的导向滚轮42从引导释放点引导到引导重始点，并强制地执行转移操作。此时，由于前移导轨18的邻接表面18a具有上述的形状，因此利用由线性电机所提供的驱动力运行以在延伸方向上以恒定速度运行的移动单元40在宽度方向上的速度如在图5中所示变化。

在沿反向(与在图2中的箭头所示的方向相反的方向)运行的传送车30脱离子轨道12而进入主轨道11时的转移操作是相同的。即，在释放由方向控制导轨17进行的对于移动单元40的导向滚轮41和43的引导操作后，单元驱动机构利用其驱动力来执行转移操作，以将在延伸方向上以恒定速度运行的移动单元40转移到由方向控制导轨15引导导向滚轮44的位置。控制在转移操作期间的在宽度方向上的移动单元40的速度，以使得该速度如图5中所示变化。

在转移操作期间，虽然移动单元40反向运行，但在宽度方向的一侧(图2中的右侧)和在移动方向的前侧上的导向滚轮43邻接后移导轨19的邻接表面19a。即，后移导轨19的邻接表面19a沿连接轨道13的延伸方向与方向控制导轨17的虚拟延长线相交。此外，邻接表面19a从引导释放点延伸到引导重始点。引导释放点是这样的点，在引导释放点处，释放由方向控制导轨17进行的引导操作的移动单元40的导向滚轮43邻接于邻接表面19a。引导重始点为这样的点，在引导重始点处，当移动单元40的导向滚轮44位于由方向控制导轨15引导的位置时，导向滚轮43邻接于邻接表面19a。后移导轨19的邻接表面19a的引导方向的形状与在图6中所示的曲线图中的曲线一致。应当注意，在后移方向上的转移操作期间，导向滚轮41至44中没有一个邻接前移导轨18。

如上所述的前移导轨18和后移导轨19被提供在轨道10上的“H”形位置处，其中如图2所示，在该“H”形位置处，在前移方向上运行的传送车30从主轨道11移动到子轨道12。此外，前移导轨18和后移导轨19被提供在“H”形位置，在该“H”形位置处，传送车30从子轨道12移动到主轨道11；前移导轨18和后移导轨19被提供在“Y”形位置，在该“Y”形位置处，传送车30从主轨道11移动到子轨道12的一端(在图1中的左端)  (参见图7)；以及前移导轨18和后移导轨19被提供在“Y”形位置，在该“Y”形位置处，传送车30从子轨道12的另一端(在图1中的右端)移动到主轨道11。

如上所述，在本实施例中的OHT 1包括：方向控制导轨15，该方向控制导轨15被提供在连接主轨道11和子轨道12的连接导轨13的宽度方向的另一侧(在图2中的左侧)上并延伸到连接轨道13的延伸方向；和方向控制导轨17，其被提供在连接轨道13的宽度方向的一侧(在图2中的右侧)上，通过间隔区域在连接轨道13的延伸方向上与方向控制导轨15隔开，并在连接轨道13的延伸方向上延伸。此外，OHT 1还包括前移导轨18，当传送车30沿前移方向(由图2中的箭头所示的方向)移动时，在释放由方向控制导轨15进行的对于移动单元40的导向滚轮42和44的引导操作后，该前移导轨18将移动单元40引导到移动单元40的导向滚轮41由方向控制导轨17引导的位置。因此，即便在转移操作期间发生了诸如由单元驱动机构所导致的移动单元40的转移定时延迟等的故障，在释放由方向控制导轨15进行的引导操作后，前移导轨18也能引导移动单元40并使该移动单元40转移到其由方向控制导轨17引导的位置。因此，必须使得其中将引导操作从方向控制导轨15转移到方向控制导轨17的间隔区域的长度L0为在移动方向上的一个移动单元40的长度L1和移动单元40在转移操作期间运行的距离L2之和，但不必确保用于传送车30的紧急停止的长度。因此，连接导轨13可以被缩短用于这种紧急停止所需的长度。

此外，在本实施例的OHT 1中，前移导轨18与在连接轨道13的延伸方向上延伸的方向控制导轨15的虚拟延长线相交，并从引导释放点延伸到引导重始点。此外，前移导轨18具有邻接并引导导向滚轮42的邻接表面18a。因此，导向滚轮42可以被可靠地从引导释放点引导到引导重始点。

而且，在本实施例的OHT 1中，确定在引导方向上的前移导轨18的邻接表面18a的形状，以便沿连接轨道13的延伸方向以恒定速度移动并由前移导轨18引导的移动单元40在连接轨道13的宽度方向上的速度首先以恒定加速度增加，并在达到恒定速度后在预定的时期内保持恒定速度，然后在经过预定时期后以恒定加速度降低。因此，即便在转移操作出现故障时利用前移导轨18强制转移移动单元40，也能降低在传送车30上的冲击。因此，能防止在由传送车30所保持的FOUP60中容纳的基板发生任何缺陷。

此外，在本实施例中的OHT 1包括后移导轨19，在传送车30沿反向以动时，在释放由方向控制导轨17进行的引导操作后，该后移导轨19将移动单元40引导到移动单元40由方向控制导轨15引导的位置。因此，当传送车30在从例如故障恢复或进行维修工作的情况下在反向上移动时，它无需确保用于在出现故障时的传送车30的紧急停止的长度。即，如果间隔区域具有在移动方向上的一个移动单元40的长度L1和在转移操作期间移动单元40运行的距离L2之和的长度，则在释放由方向控制导轨17进行的引导操作后，移动单元40可以被转移到移动单元40由方向控制导轨15引导的位置。

此外，在本实施例中的OHT 1中，后移导轨19与在连接轨道13的延伸方向上延伸的方向控制导轨17的虚拟延长线相交，并从引导释放点延伸到引导重始点。此外，后移导轨19具有邻接并引导导向滚轮43的邻接表面19a。因此，导向滚轮43可以被可靠地从引导释放点引导到引导重始点。

此外，确定在引导方向上的后移导轨19的邻接表面19a的形状，以便沿连接轨道13的延伸方向以恒定速度滑动并由后移导轨19引导的滑动单元40在连接轨道13的宽度方向上的速度首先以恒定加速度增加，并在达到恒定速度后在预定的时期内保持恒定速度，然后在经过预定时期后以恒定加速度降低。因此，即便在转移操作出现故障时由后移导轨19强制转移移动单元40，也能降低在传送车30上的冲击。因此，能防止由传送车30所保持的FOUP 60中容纳的基板发生任何缺陷。

接下来，将结合以下比较实例描述根据本发明的OHT 1的优点。图9是根据比较例的传送装置的传送车130的平面图。该传送车包括：车辆单元131，其以悬挂的方式载有要传送的物品；和在移动方向(由在图9中的箭头所示的方向)上排列在车辆单元131的前部分和后部分的两个移动单元140。移动单元140的每一个在其宽度方向(垂直于移动方向的方向)的两侧上都具有两个导向滚轮，即，总共四个导向滚轮141至144。移动单元140可以利用未示出的单元驱动机构的驱动力而在宽度方向上移动。两个移动单元140通过单元连接部件148以旋转的方式彼此连接。

在图9中所示的传送装置具有“H”形的轨道，其中，提供了一系列分支和交汇点。具体地，在图9中所示的轨道包括：彼此平行并在图9中的左右方向上延伸的主轨道111和子轨道112，以及从图9中的左下区域延伸到右上区域并连接主轨道111和子轨道112的连接轨道113。

在主轨道111和子轨道112的连接区域附近，提供了方向控制导轨114和115。方向控制导轨114沿主轨道111的延伸方向在主轨道111的宽度方向的一侧(图9中的下侧)上延伸。方向控制导轨115沿连接轨道113的延伸方向在连接轨道113的宽度方向的另一侧(图9中的左侧)上延伸并延伸到主轨道111。

类似地，在子轨道112和连接轨道113的连接区域附近，提供了方向控制导轨116和117。方向控制导轨116沿子轨道112的延伸方向在子轨道112的宽度方向的另一侧(图9中的上侧)上延伸。方向控制导轨117沿连接轨道113的延伸方向在连接轨道113的宽度方向上的一侧(图9中的右侧)上延伸并延伸到子轨道112。在连接轨道113中，方向控制导轨115和117通过具有长度L0的间隔区域而在连接轨道113的延伸方向上彼此分隔开。

现给出在比较例中的操作的描述，其中沿在图9中的主轨道111的右向移动的传送车130离开主轨道111并进入在图9中所示的“H”形的轨道中的子轨道112。首先，利用单元驱动机构的驱动力，将移动单元140转移到宽度方向的另一侧(在图9中的上侧)，以便在主轨道111上移动的移动单元140的位于宽度方向另一侧上的导向滚轮142和144由延伸到连接轨道113的方向控制导轨115引导。在这种情况下，传送车130被移动到主轨道111和连接轨道113的连接区域，以将传送车130移动到连接轨道113内。

接着，如在图9中所示，在释放由方向控制导轨115进行的在前侧上的移动单元140的导向滚轮142和144的引导操作后，利用单元驱动机构的驱动力，在宽度方向上转移移动单元140，并将移动单元140移动到在宽度方向的一侧和在移动方向的前侧上的移动单元140的导向滚轮141由方向控制导轨117引导的位置。由此，在前侧上的移动单元140的导向滚轮141和143由方向控制导轨117引导。当释放由方向控制导轨115进行的对于导向滚轮142和144的引导操作时，在后侧上的移动单元40也以相同方式转移。从而，传送车130运行到子轨道112中。

如上所述，在比较例的传送装置中，其中将移动单元140从方向控制导轨115转移到方向控制导轨117的间隔区域具有长度L10，该长度L10至少比长度L11、距离L12和长度L13的和还要长。长度L11是一个移动单元140沿移动方向的长度。L12是在利用单元驱动机构进行移动单元140的转移操作期间该移动单元140运行的距离。长度L13是在移动单元140由于诸如转移移动单元140的时间延迟等转移操作失败而导致移动单元140必须被停止时传送车130紧急停止所需要的距离。

相反，根据本发明的传送装置，该间隔区域所具有的长度L0必须短于上述比较例中的长度L10。因此，在本发明中，可以减少间隔区域，并因此缩短了连接轨道的长度。从而，能减少传送装置所必须的空间。

虽然以上描述了本发明的优选实施例，但本发明的应用并不限于在以上实施例中所描述的那些，在所附权利要求的范围内可以在设计上进行各种变化和修改。

例如，在上述实施例中，提供具有邻接表面19a的后移导轨19，当在反向上移动的传送车30进行转移操作时，导向滚轮43邻接于该邻接表面19a。但是，也可以省略该后移导轨19。

在上述实施例中，前移导轨18的邻接表面18a和后移导轨19的邻接表面19a都可以被确定，以致于在转移操作期间移动单元40在连接轨道13的宽度方向上的速度首先以恒定的加速度增加，并在达到恒定速度后在预定的时期内保持该恒定的速度，然后在经过了预定的时期后以恒定的加速度降低。即，邻接表面18a和19a的形状如在图6中所示。但，本发明的应用并不限于此实例。沿引导方向的邻接表面18a和19a的形状可以是对应于在图8中所示的1/2周期的正弦曲线。

此外，在上述实施例中，传送车30具有两个在移动方向上线性排列的移动单元40。但是，传送车30也可以具有三个或更多的移动单元40。

此外，在上述实施例中，将本发明应用到作为天花板移动类型的轨道传送装置的OHT 1中，以及其中，传送车30以悬挂的方式移动。但，本发明的应用并不限于此。例如，本发明可以被应用到地面移动类型的轨道传送装置中，在其中，传送车在地面提供的轨道上移动。

包括说明书、权利要求、附图和概述的于2006年11月17日提交的日本专利申请No.2006-311595的全部公开内容都合并在此作为参考。

Claims (8)

1.一种轨道传送装置，包括：

轨道，包括第一主轨道、第二主轨道和连接所述第一主轨道和所述第二主轨道的连接轨道；

第一方向控制导轨，在所述连接轨道的宽度方向的一侧上沿所述连接轨道的延伸方向延伸并延伸到所述第一主轨道；

第二方向控制导轨，在所述连接轨道的宽度方向的另一侧上以不与所述第一方向控制导轨重叠的方式沿所述连接轨道的延伸方向延伸并延伸到所述第二主轨道；

由所述轨道支撑并引导以移动的传送车，所述传送车包括多个滚轮单元，所述滚轮单元的每一个都包括由所述第一方向控制导轨引导的第一滚轮和由所述第二方向控制导轨所引导的第二滚轮；和

前移导轨，当在所述轨道上的所述传送车沿前移方向从所述第一主轨道的一侧移动到所述第二主轨道的一侧时，在释放由所述第一方向控制导轨进行的对于一个滚轮单元的所述第一滚轮的引导操作后，所述前移导轨将所述滚轮单元引导到一个滚轮单元的所述第二滚轮由所述第二方向控制导轨引导的位置。

2.根据权利要求1所述的轨道传送装置，

其中，所述前移导轨与在所述连接轨道的所述延伸方向上延伸的所述第一方向控制导轨的虚拟延长线相交，

其中，当所述第二滚轮处于由所述第二方向控制导轨引导的位置时，所述前移导轨延伸到邻接所述第一滚轮的位置，以及

其中，所述前移导轨具有邻接并引导所述第一滚轮的前移邻接表面。

3.根据权利要求2所述的轨道传送装置，其中，在引导方向上的所述前移邻接表面的形状为正弦曲线形状。

4.根据权利要求2所述的轨道传送装置，其中，确定所述前移邻接表面的形状，以便由所述前移导轨引导并在沿所述连接轨道的延伸方向上以恒定速度滑动的所述滚轮单元在所述连接轨道的宽度方向上的速度首先以恒定加速度增加，在达到恒定速度后在预定时期内保持恒定速度，随后在经过所述预定时期后以所述恒定加速度降低。

5.根据权利要求1所述的轨道传送装置，还包括后移导轨，当在所述轨道上的所述传送车沿反向从所述第二主轨道的一侧移动到所述第一主轨道的一侧时，在释放由所述第二方向控制导轨进行的对于一个滚轮单元的所述第二滚轮的引导操作后，所述后移导轨将所述滚轮单元引导到一个滚轮单元的所述第一滚轮由所述第一方向控制导轨引导的位置。

6.根据权利要求5所述的轨道传送装置，

其中，所述后移导轨与在所述连接轨道的延伸方向上延伸的所述第二方向控制导轨的虚拟延长线相交，

其中，当所述第一滚轮位于由所述第一方向控制导轨引导的位置时，所述后移导轨延伸到邻接所述第二滚轮的位置，以及

其中，所述后移导轨具有邻接并引导所述第二滚轮的后移邻接表面。

7.根据权利要求6所述的轨道传送装置，其中，在引导方向上的所述后移邻接表面的形状为正弦曲线形状。

8.根据权利要求6所述的轨道传送装置，其中，确定所述后移邻接表面的形状，以便由所述后移导轨引导并在所述连接轨道的延伸方向上以恒定速度滑动的所述滚轮单元在所述连接轨道的宽度方向上的速度首先以恒定加速度增加，在达到恒定速度后在预定时期内保持恒定速度，随后在经过所述预定时期后以所述恒定加速度降低。

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