CN114955417B - 接触式电轨高架搬运车（oht）集尘*** - Google Patents
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Abstract
一种接触式电轨高架搬运车(OHT)集尘***，包含有：一电轨轨道，集电弓与该电轨轨道内的电轨导通电流，其组成一接触式电轨；至少一个集尘***总成，该集尘***总成包含设有多个集尘马达、一落尘检测模块、一输出模块及一分析模块相互电连接，该集尘马达内设一集尘滤芯、一电流检测器及一驱动模块，该落尘检测模块包含设有多个落尘检测器，该驱动模块启动该集尘马达，用以清除接触式电轨所产生的微粒及粉尘，该落尘检测模块进行检测落尘，使得能确实掌握落尘分布的实际状况。
Description
技术领域
本发明属高架搬运车(Overhead Hoist Transfer，OHT)的技术领域，尤指其技术上提供一种接触式电轨高架搬运车集尘***，通过在高架搬运车上装设分散式的落尘检测模块来判断并监控落尘量；通过在集尘马达装设电流检测器，进行各项集尘马达的健康管理功能，达到主动式保护集尘马达的功效。
背景技术
近年来全球半导体产业竞争激烈，除了先进制程技术日新月异，工厂智能化也需与时俱进，高架搬运车(OHT)能有效地利用厂房立体空间，在不占用人员走道的前提下，将无尘室内的空间使用率最大化。此一***原先被广泛的使用在12英寸半导体前段晶圆厂内的物料搬送，惟半导体产业后段封装与测试制程亦有感于人力需求孔急，为节省人力亦纷纷跟进采用高架搬运车。
现有的高架搬运车可区分为非接触(High Efficiency Inductive PowerDistribution Technology，HID)式高架搬运车及接触式电轨高架搬运车二种类型，非接触(HID)式高架搬运车主要通过非接触式供电来提供高架搬运车行进动力的使用，因供电设备与高架搬运车未产生实体接触的情形，所以较不容易产生微粒或落尘，通过此无接触的特性来达到减少落尘，得以实现落尘量少的功能。所以现有的非接触(HID)式高架搬运车的优点包括：(1)落尘量少。(2)不会产生火花现象。(3)具有模块化的型式，但亦具有如下述的缺点：(1)设备价格昂贵。(2)后续维护设备成本高(需要更换电力转换部件)。(3)没有针对落尘在行进中或动作中进行检测。
现有的接触式电轨高架搬运车，通过集电弓接触到电轨后产生电力提供高架搬运车行进使用，高架搬运车在行进过程中会因为接触产生落尘现象。因此，现有的接触式电轨高架搬运车其优点为：(1)设备价格低廉。(2)后续维护成本低。(3)具有模块化的型式，惟其缺点为：(1)落尘量高。(2)有产生火花风险。(3)没有针对落尘在行进中或动作中进行检测。
现有的针对接触式电轨落尘的管控落尘方式有：(1)采用集尘***：其使用市售吸尘器集尘，优点为可将落尘做集中，缺点包括：(a)落尘区域未设有对应的传感器。(b)驱动马达部份未设有对应的传感器。(c)集尘滤芯部份未设有对应的传感器。(2)采用落尘钣金遮片：使用钣金形式做遮蔽，优点为可将落尘量集中，缺点为落尘区域未设有对应的传感器。
是以，针对上述现有的高架搬运车结构所存在的问题点，如何开发一种更具理想实用性的创新结构，实消费者所殷切企盼，亦是相关业者须努力研发突破的目标及方向。
有鉴于此，发明人本于多年从事相关产品的制造开发与设计经验，针对上述的目标，详加设计与审慎评估后，终得一确具实用性的本发明。
发明内容
欲解决的技术问题点：现有的高架搬运车，针对落尘区域未设有对应的传感器，驱动马达部份未设有对应的传感器，集尘滤芯部份未设有对应的传感器，导致驱动马达易故障及落尘污染生产环境，严重影响产品质量及生产效率，实有加以改良的必要。
解决问题的技术特点：为改善上述的问题，本发明提供一种接触式电轨高架搬运车集尘***，包含有：一电轨轨道，该电轨轨道设置于厂房的高架位置，至少一个高架搬运车可运行地组设于该电轨轨道上，对应所述至少一个高架搬运车上方设有至少一个集电弓，所述至少一个集电弓与该电轨轨道内的电轨导通电流，其组成一接触式电轨。
至少一个集尘***总成，对应所述至少一个高架搬运车上设有至少一个集尘***总成，该集尘***总成包含设有多个集尘马达、一落尘检测模块、一输出模块及一分析模块相互电连接，该输出模块及该分析模块直接通信连接外部的一中央控制分析***，各个所述集尘马达装设于该高架搬运车上方，用以清除该接触式电轨所产生的微粒及粉尘，该集尘马达内设一集尘滤芯、一电流检测器及一驱动模块，该落尘检测模块包含设有多个落尘检测器，各个所述检测器分别固设于该高架搬运车的壳体上，该驱动模块启动该集尘马达，该落尘检测模块进行检测落尘，同时该电流检测器监控该集尘马达电流，并判断该集尘马达电流是否超过该分析模块的最大电流定义值MAX(A)，如无过载现象则该集尘滤芯可持续使用，如有过载问题则可能为该集尘马达损坏或该集尘滤芯阻塞。
前述的接触式电轨高架搬运车集尘***，其中各个所述集尘马达设置于该高架搬运车壳体上方的两侧。
前述的接触式电轨高架搬运车集尘***，其中各个所述检测器分别固设于该高架搬运车壳体下方两侧的内壁或该集电弓下方的该高架搬运车壳体上。
前述的接触式电轨高架搬运车集尘***，其中各个所述检测器采分散式检测，以便于进行多个点的区域性检测。
前述的接触式电轨高架搬运车集尘***，其中该集尘滤芯处设有一滤芯检测器，该滤芯检测器使用周期检测方式或实时检测方式，可采取监控该集尘马达电流或使用时数的计数方式检测。
前述的接触式电轨高架搬运车集尘***，其中该集尘滤芯为可更换式滤芯。
前述的接触式电轨高架搬运车集尘***，其中该输出模块为RS485通信接口及输入输出接口。
对照先前技术的功效：本发明的接触式电轨高架搬运车集尘***，通过在高架搬运车上装设分散式的落尘检测模块来判断并监控落尘量，可通过将检测结果传送到中央控制分析***进行监控及管控行为模式为禁行或允行或保养，使其得以优于现有非接触(HID)式或接触式电轨高架搬运车；通过在集尘马达加设电流检测器，进行各项集尘马达的健康管理功能，可通过传送到中央控制分析***进行监控及管控，优于现有的高架搬运车，且应用主动式保护集尘马达，可在异常前提前预知，以确保集尘马达得以正常运作；其集尘滤芯设监控检测的滤芯检测器，采用监控马达电流或使用时数计数，可通过传送到中央控制分析***进行监控及管控，充分掌握集尘滤芯使用状况，优于现有的高架搬运车，可达到主动式集尘滤芯最佳效能。
有关本发明所采用的技术、手段及其功效，兹举一较佳实施例并配合图式详细说明于后，相信本发明上述的目的、构造及特征，当可由之得一深入而具体的了解。
附图说明
[图1]是本发明其一实施例的立体示意图。
[图2]是本发明其一实施例的前视平面示意图。
[图3]是本发明其一实施例的***方块图。
附图标记列表：10-接触式电轨；11-电轨轨道；12-高架搬运车(OHT)；121-集电弓；20-集尘***总成；30-集尘马达；31-集尘滤芯；311-滤芯检测器；32-电流检测器；33-驱动模块；40-落尘检测模块；41-落尘检测器；50-输出模块；60-分析模块；70-中央控制分析***。
具体实施方式
本发明提供一种接触式电轨高架搬运车(OHT)集尘***的设计。
为方便读者对本发明的目的、特征及功效能够有更进一步的了解与认识，兹配合实施方式及图式详述如后：
参阅图1至图3所示，本发明提供一种接触式电轨高架搬运车(OHT)集尘***，包含有：
一电轨轨道11，该电轨轨道11设置于厂房的高架位置，至少一个高架搬运车(OHT)12可运行地组设于该电轨轨道11上，对应所述至少一个高架搬运车(OHT)12上方设有至少一个集电弓121，所述至少一个集电弓121与该电轨轨道11内的电轨导通电流，其组成一接触式电轨10。
至少一个集尘***总成20，对应所述至少一个高架搬运车(OHT)12上设有至少一个集尘***总成20，该集尘***总成20包含设有多个集尘马达30、一落尘检测模块40、一输出模块50及一分析模块60相互电连接，该输出模块50及该分析模块60直接通信连接外部的一中央控制分析***70，各个所述集尘马达30装设于该高架搬运车(OHT)12上方，较佳地各个所述集尘马达30设置于该高架搬运车(OHT)12壳体上方的两侧，用以清除该接触式电轨10由于该高架搬运车(OHT)12运行所产生的微粒及粉尘，该集尘马达30内设一集尘滤芯31、一电流检测器32及一驱动模块33，该落尘检测模块40包含设有多个落尘检测器41，各个所述落尘检测器41分别固设于该高架搬运车(OHT)12的壳体上，较佳地各个所述落尘检测器41分别固设于该高架搬运车(OHT)12壳体下方两侧的内壁或该集电弓121下方的该高架搬运车(OHT)12壳体上，各个所述落尘检测器41采分散式检测，以便于进行多个点的区域性检测，使得能更精准地掌握落尘分布的实际状况，该驱动模块33启动该集尘马达30，该落尘检测模块40进行检测落尘，同时该电流检测器32监控该集尘马达30电流，并判断该集尘马达30电流是否超过该分析模块60的最大电流定义值MAX(A)，如无过载现象则该集尘滤芯31可持续使用，如有过载问题则可能为该集尘马达30损坏或该集尘滤芯31阻塞，可实时进行相关处置。
前述的接触式电轨高架搬运车(OHT)集尘***，其中该集尘滤芯31处设有一滤芯检测器311，该滤芯检测器311使用周期检测方式或实时检测方式，可采取监控该集尘马达30电流或使用时数的计数方式检测。
前述的接触式电轨高架搬运车(OHT)集尘***，其中该集尘滤芯31为可更换式滤芯。
前述的接触式电轨高架搬运车(OHT)集尘***，其中该输出模块50为RS485通信接口及输入输出(IO)接口。
本发明的接触式电轨高架搬运车(OHT)集尘***，通过在高架搬运车(OHT)12上装设分散式的落尘检测模块40来判断并监控落尘量，可通过将检测结果传送到中央控制分析***70进行监控及管控行为模式为禁行或允行或保养，使其得以优于现有非接触(HID)式或接触式电轨高架搬运车(OHT)。
本发明的接触式电轨高架搬运车(OHT)集尘***，通过在集尘马达30加设电流检测器32，进行各项集尘马达30的健康管理功能，可通过传送到中央控制分析***70进行监控及管控，优于现有的高架搬运车(OHT)，且应用主动式保护集尘马达30，可在异常前提前预知，以确保集尘马达30得以正常运作。
本发明的接触式电轨高架搬运车(OHT)集尘***，其集尘滤芯31设监控检测的滤芯检测器311，采用监控马达电流或使用时数计数，可通过传送到中央控制分析***70进行监控及管控，充分掌握集尘滤芯31使用状况，优于现有的高架搬运车(OHT)，可达到主动式集尘滤芯最佳效能。
由其上述可知，本发明的接触式电轨高架搬运车(OHT)集尘***，其落尘区域、集尘马达及集尘滤芯都设有检测器，使监控及管控落尘优于现有的非接触(HID)式或接触式电轨高架搬运车(OHT)，符合较佳的产业利用性。
前文是针对本发明的较佳实施例为本发明的技术特征进行具体的说明；惟，熟悉此项技术的人士当可在不脱离本发明的精神与原则下对本发明进行变更与修改，而该等变更与修改，皆应涵盖于如下申请专利范围所界定的范畴中。
Claims (8)
1.一种接触式电轨高架搬运车集尘***，其特征在于，包括：
一电轨轨道，该电轨轨道设置于厂房的高架位置，至少一个高架搬运车可运行地组设于该电轨轨道上，对应所述至少一个高架搬运车上方设有至少一个集电弓，所述至少一个集电弓与该电轨轨道内的电轨导通电流，其组成一接触式电轨；及
至少一个集尘***总成，对应所述至少一个高架搬运车上设有至少一个集尘***总成，该集尘***总成包含设有多个集尘马达、一落尘检测模块、一输出模块及一分析模块相互电连接，该输出模块及该分析模块直接通信连接外部的一中央控制分析***，各个所述集尘马达装设于该高架搬运车上方，用以清除该接触式电轨所产生的微粒及粉尘，该集尘马达内设一集尘滤芯、一电流检测器及一驱动模块，该落尘检测模块包含设有多个落尘检测器，各个所述落尘检测器分别固设于该高架搬运车的壳体上，该驱动模块启动该集尘马达，该落尘检测模块进行检测落尘，同时该电流检测器监控该集尘马达电流，并判断该集尘马达电流是否超过该分析模块的最大电流定义值。
2.根据权利要求1所述的接触式电轨高架搬运车集尘***，其特征在于，该集尘滤芯处设有一滤芯检测器，该滤芯检测器可采取监控该集尘马达电流或使用时数的计数方式检测。
3.根据权利要求2所述的接触式电轨高架搬运车集尘***，其特征在于，该滤芯检测器使用周期检测方式或实时检测方式。
4.根据权利要求2或3所述的接触式电轨高架搬运车集尘***，其特征在于，该集尘滤芯为可更换式滤芯。
5.根据权利要求1所述的接触式电轨高架搬运车集尘***，其特征在于，该输出模块为RS485通信接口及输入输出接口。
6.根据权利要求1所述的接触式电轨高架搬运车集尘***，其特征在于，各个所述集尘马达设置于该高架搬运车壳体上方的两侧。
7.根据权利要求1所述的接触式电轨高架搬运车集尘***，其特征在于，各个所述落尘检测器分别固设于该高架搬运车壳体下方两侧的内壁或该集电弓下方的该高架搬运车壳体上。
8.根据权利要求1所述的接触式电轨高架搬运车集尘***，其特征在于，各个所述落尘检测器采用分散式检测，以便于进行多个点的区域性检测。
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|---|---|
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| TW (1) | TWI751919B (zh) |
Citations (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07112393A (ja) * | 1993-10-18 | 1995-05-02 | Yamaha Motor Co Ltd | ロボットの集塵装置 |
| JP2000271552A (ja) * | 1999-03-26 | 2000-10-03 | Hitachi Kiden Kogyo Ltd | 天井走行式搬送台車における走行路内清掃装置 |
| JP2002154782A (ja) * | 2000-11-15 | 2002-05-28 | Tsubakimoto Chain Co | 天井走行式ワーク搬送車 |
| CN1473357A (zh) * | 2000-12-04 | 2004-02-04 | 株式会社荏原制作所 | 基片加工方法 |
| CN101195437A (zh) * | 2006-11-17 | 2008-06-11 | 日本阿西斯特技术株式会社 | 轨道传送装置 |
| CN101398632A (zh) * | 2007-09-27 | 2009-04-01 | Asml荷兰有限公司 | 光刻设备和清洁光刻设备的方法 |
| TW200921808A (en) * | 2007-11-09 | 2009-05-16 | Able Print Technology Co Ltd | Bubble exclusion method for chip adhesive layer of semiconductor packaging |
| CN202575750U (zh) * | 2012-05-18 | 2012-12-05 | 馨宝显机械有限公司 | 无尘式天车 |
| KR20130070194A (ko) * | 2011-12-19 | 2013-06-27 | 주식회사 신성에프에이 | 오버헤드 호이스트 이송장치의 차륜 집진장치 |
| TWI522182B (zh) * | 2014-10-03 | 2016-02-21 | 德範先進科技有限公司 | 自動化清洗站 |
| JP2016047520A (ja) * | 2014-08-26 | 2016-04-07 | ユーエスウラサキ株式会社 | 集塵装置 |
| CN206948758U (zh) * | 2017-06-14 | 2018-01-30 | 河南新科起重机股份有限公司 | 一种具有除尘功能的新型电器柜 |
| KR101924311B1 (ko) * | 2017-06-23 | 2018-12-03 | 주식회사 엔아이티코리아 | 전기 집진 장치용 세척 장치 |
| CN208853380U (zh) * | 2018-09-17 | 2019-05-14 | 德淮半导体有限公司 | 半导体处理设备 |
| EP3533735A1 (en) * | 2018-03-02 | 2019-09-04 | Kannegiesser UK Limited | Cleaning apparatus for cleaning a rail system |
| CN209542382U (zh) * | 2019-01-31 | 2019-10-25 | 湖北方圆环保科技有限公司 | 一种粉尘浓度测量装置 |
| WO2021013905A2 (en) * | 2019-07-22 | 2021-01-28 | Conservator Tyche Beheer B.V. | Device for and method of cleaning installations |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6374748B1 (en) * | 1999-10-28 | 2002-04-23 | Murata Kikai Kabushiki Kaisha | Tracking cart system |
| JP5495070B2 (ja) * | 2011-06-10 | 2014-05-21 | 株式会社ダイフク | 天井搬送設備の清掃装置 |
| JP5720954B2 (ja) * | 2012-03-06 | 2015-05-20 | 株式会社ダイフク | 天井搬送車の清掃装置 |
| JP2013216446A (ja) * | 2012-04-09 | 2013-10-24 | Daifuku Co Ltd | 清掃装置 |
| TWI645162B (zh) * | 2017-03-23 | 2018-12-21 | 台灣積體電路製造股份有限公司 | 環境監測系統 |
| US11183409B2 (en) * | 2018-08-28 | 2021-11-23 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Ltd. | System for a semiconductor fabrication facility and method for operating the same |
-
2021
- 2021-02-26 TW TW110107438A patent/TWI751919B/zh active
- 2021-08-13 CN CN202110931245.6A patent/CN114955417B/zh active Active
Patent Citations (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07112393A (ja) * | 1993-10-18 | 1995-05-02 | Yamaha Motor Co Ltd | ロボットの集塵装置 |
| JP2000271552A (ja) * | 1999-03-26 | 2000-10-03 | Hitachi Kiden Kogyo Ltd | 天井走行式搬送台車における走行路内清掃装置 |
| JP2002154782A (ja) * | 2000-11-15 | 2002-05-28 | Tsubakimoto Chain Co | 天井走行式ワーク搬送車 |
| CN1473357A (zh) * | 2000-12-04 | 2004-02-04 | 株式会社荏原制作所 | 基片加工方法 |
| CN101195437A (zh) * | 2006-11-17 | 2008-06-11 | 日本阿西斯特技术株式会社 | 轨道传送装置 |
| CN101398632A (zh) * | 2007-09-27 | 2009-04-01 | Asml荷兰有限公司 | 光刻设备和清洁光刻设备的方法 |
| TW200921808A (en) * | 2007-11-09 | 2009-05-16 | Able Print Technology Co Ltd | Bubble exclusion method for chip adhesive layer of semiconductor packaging |
| KR20130070194A (ko) * | 2011-12-19 | 2013-06-27 | 주식회사 신성에프에이 | 오버헤드 호이스트 이송장치의 차륜 집진장치 |
| CN202575750U (zh) * | 2012-05-18 | 2012-12-05 | 馨宝显机械有限公司 | 无尘式天车 |
| JP2016047520A (ja) * | 2014-08-26 | 2016-04-07 | ユーエスウラサキ株式会社 | 集塵装置 |
| TWI522182B (zh) * | 2014-10-03 | 2016-02-21 | 德範先進科技有限公司 | 自動化清洗站 |
| CN206948758U (zh) * | 2017-06-14 | 2018-01-30 | 河南新科起重机股份有限公司 | 一种具有除尘功能的新型电器柜 |
| KR101924311B1 (ko) * | 2017-06-23 | 2018-12-03 | 주식회사 엔아이티코리아 | 전기 집진 장치용 세척 장치 |
| EP3533735A1 (en) * | 2018-03-02 | 2019-09-04 | Kannegiesser UK Limited | Cleaning apparatus for cleaning a rail system |
| CN208853380U (zh) * | 2018-09-17 | 2019-05-14 | 德淮半导体有限公司 | 半导体处理设备 |
| CN209542382U (zh) * | 2019-01-31 | 2019-10-25 | 湖北方圆环保科技有限公司 | 一种粉尘浓度测量装置 |
| WO2021013905A2 (en) * | 2019-07-22 | 2021-01-28 | Conservator Tyche Beheer B.V. | Device for and method of cleaning installations |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 新美星智能磁导搬运车;沈华;《酒·饮料技术装备》;20190228(第1期);第63-65页 * |
Also Published As
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