CN101190600A - 液滴喷出头的驱动方法、液滴喷出装置和电光装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种提高喷出液滴所形成的膜图案的膜厚均一性的液滴喷出头的驱动方法、液滴喷出装置和电光装置。对于多个喷嘴的每一个，把与喷出的液滴的重量对应的“1”～“4”的等级进行对应关联。为了使喷出的液滴的实际重量变为预先规定的给定的基准重量，生成与各等级的喷嘴对应的驱动波形信号COM(第一驱动波形信号COMA、第二驱动波形信号COMB、第三驱动波形信号COMC、第四驱动波形信号COMD)。然后，对根据描画数据选择的各压电元件，供给与喷嘴的等级对应的驱动波形信号COM，从选择的喷嘴喷出基准重量的液滴。

Description

液滴喷出头的驱动方法、液滴喷出装置和电光装置
技术领域
本发明涉及液滴喷出头的驱动方法、液滴喷出装置和电光装置。
背景技术
一般地，液晶显示器安装具有多个像素的滤色器衬底。滤色器衬底的各像素接收来自光源的光，使特定波长的光透过，在液晶显示器上显示全色图像。在滤色器的制造步骤中，为了谋求生产性的提高或生产成本的降低，采用利用液滴喷出头的喷墨法(例如，专利文献1)。
液滴喷出头具有贮存液体的多个腔、与该腔连通并且在一个方向上排列的多个喷嘴、把各腔内的液体加压的多个致动器(例如，压电元件或电阻加热元件等)。液滴喷出头输入根据描画数据选择的致动器中公共的驱动波形信号，从与各致动器对应的喷嘴喷出液体的液滴。喷墨法对液滴喷出头供给滤色器材料，向滤色器衬底喷出滤色器材料的液滴，使命中衬底上的液滴干燥，从而形成像素。
喷墨法伴随着描画对象的高精彩化，希望灰度表现优异的描画。专利文献2设置了用于生成与墨水的喷出量对应的多个驱动电压波形的公共波形发生部件，根据灰度数据信号，选择公共波形发生部件生成的驱动电压波形中的任意一个，并提供给致动器。据此，能根据不同的驱动电压波形使液滴的尺寸变更，从而使得对喷嘴的内径或喷嘴的形成节距等不实施设计变更的优异的灰度表现成为可能。
[专利文献1]特开平8-146214号公报
[专利文献2]特开平9-11457号公报
所述喷墨法使滤色器衬底和液滴喷出头在给定的扫描方向相对移动，对各致动器以给定的喷出频率输入所述的驱动电压波形。据此，排列的喷嘴的液滴以给定的喷出频率依次喷出，沿着滤色器衬底的扫描方向，依次描画液体的图案。
可是，如果在排列的喷嘴的列内在液滴的重量上产生偏移，则重量大的液滴或重量小的液滴沿着滤色器衬底的扫描方向连续。结果，沿着滤色器衬底的扫描方向，形成膜厚的台阶，使液晶显示器的显示图像质量显著下降。
因此，如果能在各喷嘴上校正液滴的重量，就能提高膜厚的均一性，进而能提高液晶显示器的显示图像质量。
发明内容
本发明是为了解决所述问题而提出的，其目的在于，提供一种能够提高由喷出液滴所形成的膜图案的膜厚均一性的液滴喷出头的驱动方法、液滴喷出装置和电光装置。
本发明的液滴喷出头的驱动方法包括：将与喷出的液滴的重量对应的等级对多个喷嘴的每一个进行对应关联的等级设定步骤；按每个所述等级生成驱动所述喷嘴的致动器、并把所述液滴的重量校正为预先规定的给定重量的驱动波形的驱动波形生成步骤；对根据所述描画数据选择的所述喷嘴的致动器，供给与所述选择的喷嘴的所述等级对应的所述驱动波形，从选择的所述喷嘴向对象物喷出所述给定重量的液滴的液滴喷出步骤。
根据本发明的液滴喷出头的驱动方法，根据描画数据选择的喷嘴接收与设定的等级对应的驱动波形，喷出预先规定的给定重量的液滴。因此，多个喷嘴的每一个通过按每个等级生成的驱动波形，把喷出的液滴的重量规格化为给定的重量。结果，按每个喷嘴来校正液滴的重量，所以能够提高由液滴构成的薄膜的膜厚均一性。
作为该液滴喷出头的驱动方法，可以构成为：所述液滴喷出步骤对于全部的所述喷嘴，把与所述等级对应的所述驱动波形进行对应关联，对于全部的所述喷嘴，设定所述液滴的喷出和非喷出。
根据该液滴喷出头的驱动方法，与液滴喷出、非喷出无关，对于全部喷嘴，把与等级对应的驱动波形进行对应关联。因此，根据描画数据选择的喷嘴更可靠地由对应的驱动波形来驱动。
作为该液滴喷出头的驱动方法，可以构成为：所述液滴喷出步骤每当对于全部的所述喷嘴而设定所述液滴的喷出和非喷出时，对于全部的所述喷嘴，把与所述等级对应的所述驱动波形进行对应关联。
根据该液滴喷出头的驱动方法，每当设定液滴的喷出动作时，对于各喷嘴，把驱动波形进行对应关联。因此，喷出液滴的全部喷嘴更可靠地由对应的驱动波形驱动。
作为该液滴喷出头的驱动方法，可以构成为：所述液滴喷出步骤在对于全部的所述喷嘴、把与所述等级对应的所述驱动波形进行对应关联之后，对于全部的所述喷嘴，重复所述液滴的喷出、非喷出的设定。
根据该液滴喷出头的驱动方法，与液滴喷出、非喷出无关，对于全部喷嘴，只一次把驱动波形进行对应关联，然后，能重复液滴的喷出动作。因此，对于单一的喷嘴，能继续把公共的驱动波形进行对应，喷出液滴的全部喷嘴更可靠地由对应的驱动波形驱动。
本发明的液滴喷出装置是从与设置在液滴喷出头上的多个致动器的每一个相对应的喷嘴喷出液滴的液滴喷出装置，包括：根据描画数据，生成对于所述多个喷嘴的每一个，把所述液滴喷出、非喷出进行对应关联的输出控制信号的输出控制信号生成部件；存储对于所述多个喷嘴的每一个，把按照所述液滴的重量而设定的等级进行对应关联的信息的存储部件；按每个所述等级，生成与所述等级进行对应关联并把所述液滴的重量校正为预先规定的给定重量的驱动波形的驱动波形生成部件；使用所述存储部件存储的所述信息，生成对于所述多个喷嘴的每一个，把与所述等级对应的所述驱动波形进行对应关联后的公共选择控制信号的公共选择控制信号生成部件；根据所述公共选择控制信号和所述输出控制信号，对喷出所述液滴的所述喷嘴的所述致动器，输出与所述等级对应的所述驱动波形的输出部件。
根据本发明的液滴喷出装置，基于描画数据而选择的喷嘴，接收与设定的等级对应的驱动波形，喷出预先设定的给定重量的液滴。因此，多个喷嘴的每一个通过每个等级的驱动波形，把喷出的液滴的重量规格化为给定的重量。结果，由于按每个喷嘴来校正液滴的重量，所以能够提高由液滴构成的薄膜的膜厚均一性。
作为该液滴喷出装置，可以构成为：所述公共选择控制信号生成部件生成与所述输出控制信号同步的所述公共选择控制信号，所述输出部件根据所述输出控制信号、与所述输出控制信号同步的所述公共选择控制信号，对喷出所述液滴的所述喷嘴的所述致动器输出与所述等级对应的所述驱动波形。
根据该液滴喷出装置，每当执行液滴的喷出动作时，对于各喷嘴，把驱动波形进行对应关联。因此，喷出液滴的全部喷嘴更可靠地由对应的驱动波形驱动。
作为该液滴喷出装置，可以构成为：所述公共选择控制信号生成部件在所述输出控制信号之前，先行生成所述公共选择控制信号，所述输出部件每当接收所述输出控制信号时，使用所述先行生成的公共选择控制信号，对喷出所述液滴的所述喷嘴的所述致动器输出与所述等级对应的所述驱动波形。
根据该液滴喷出头的驱动方法，对于全部喷嘴，只一次把驱动波形进行对应关联，然后，能够使液滴的喷出动作重复。因此，对于单一的喷嘴，能继续把公共的驱动波形对应，全部喷嘴更可靠地由对应的驱动波形驱动。
作为该液滴喷出装置，可以构成为：具有用于计测所述液滴的重量的液滴重量装置。
根据该液滴喷出装置，能够计测液滴的重量，与用另一种外部装置计测液滴的重量的情形相比，能取得更正确的重量。进而能把液滴的重量更正确地规格化。
本发明的电光装置是具有使对衬底喷出的液滴干燥而形成的薄膜的电光装置，所述薄膜由所述液滴喷出装置形成。
根据本发明的电光装置，能提高各种薄膜的膜厚均一性。进而能提高电光装置的光学特性。
附图说明
图1是说明液晶显示装置的立体图。
图2是说明滤色器衬底的立体图。
图3是说明液滴喷出装置的立体图。
图4是说明液滴喷出头的立体图。
图5是说明液滴喷出头的主要部分剖视图。
图6是说明液滴喷出装置的电结构的电方框电路图。
图7是说明喷嘴的等级的图。
图8是说明驱动波形信号的图。
图9是说明串行图案数据的图。
图10是说明图案数据的时序图。
图11是说明串行公共选择数据的图。
图12是说明等级和驱动波形信号的关联的图。
图13是说明头驱动电路的电方框电路图。
图14是说明输出控制信号生成电路的电方框电路图。
图15是说明图案数据合成电路的电路图。
图16是说明公共选择控制信号生成电路的电路图。
图17是说明公共选择数据译码电路的电路图。
图18是说明头驱动电路的驱动时序的时序图。
图19是说明变更例的头驱动电路的驱动时序的时序图。
符号说明
CF作为薄膜的滤色器；D液滴；N喷嘴；Ip描画数据PI输出控制信号；PXA、PXB、PXC、PXD公共选择控制信号；PZ作为致动器的压电元件；10液滴喷出装置；18液滴喷出头23液滴重量装置；33作为存储部件的RAM；36作为驱动波形生成部件的驱动波形生成电路；50作为输出控制信号生成部件的输出控制信号生成电路；60作为公共选择控制信号生成部件的公共选择控制信号生成电路；70构成输出部件的输出合成电路。
具体实施方式
以下，按照图1～图18，说明把本发明具体化的一个实施例。首先，说明作为电光装置的液晶显示装置1。图1是表示液晶显示装置的全体的立体图，图2是表示液晶显示装置中设置的滤色器衬底的立体图。
在图1中，液晶显示装置1具有背光照明2和液晶面板3。背光照明2使从光源4出射的光照射到液晶面板3的整个面上。液晶面板3具有元件衬底5和滤色器衬底6，这些元件衬底5和滤色器衬底6由四角框状的密封材料7粘贴，在其间隙封入液晶LC。液晶LC调制来自背光照明2的光，在滤色器衬底6的上面显示希望的图像。
在图2中，在滤色器衬底6的上面(图1的下面：与元件衬底5相对置的侧面)形成格子状的遮光层8和由该遮光层8包围的多个空间(像素9)。遮光层8由包含铬或碳块等遮光性材料的树脂形成，把液晶LC的透过的光遮光。在各像素9内，形成作为用于透过特定波长的光的薄膜的滤色器CF。滤色器CF例如具有透过红色的光的红色滤色器CFR、透过绿色的光的绿色滤色器CFG、透过蓝色的光的蓝色滤色器CFB。利用本发明的液滴喷出装置，形成滤色器CF。即，通过向对应的像素9内喷出各滤色器材料的液滴和把命中各像素9内的液滴干燥，来形成滤色器CF。
这里，把滤色器衬底6的上面(图1的下面)称作喷出面6a。
下面，说明用于形成所述滤色器CF的液滴喷出装置。图3是表示液滴喷出装置的全体立体图。
在图3中，液滴喷出装置10具有形成为长方体形状的基台11。在基台11的上面，形成沿着其长度方向(Y方向)延伸的一对引导沟12，在一对引导沟12中安装衬底台13。衬底台13与设置在基台11上的台电动机的输出轴连接。衬底台13在喷出面6a为上侧的状态下，安放滤色器衬底6，定位固定该滤色器衬底6。衬底台13在台电动机正转或反转时，沿着引导沟12以给定的速度扫描，沿着Y方向将滤色器衬底6扫描。
在基台11的上侧，沿着与Y方向正交的X方向，架设形成门形的引导构件14。在引导构件14的上侧配置墨水容器15。墨水容器15贮存包含滤色器材料的液体(滤色器用墨水Ik)，以给定的压力导出滤色器用墨水Ik。
在引导构件14，形成在X方向延伸的上下一对的导轨16，在上下一对的导轨16上安装滑架17。滑架17与设在引导构件14上的滑架电动机的输出轴连接。在滑架17的下侧，安装在X方向排列的多个液滴喷出头18(以下，只称作喷出头18)。滑架17在滑架电动机正转或反转时，沿着导轨16扫描，使各喷出头18沿着X方向扫描。
图4是从下侧(衬底台13)观察喷出头18的图，图5是图4的A-A线剖视图。
在图4中，在喷出头18的上侧(图3的下侧)设置喷嘴板19。在喷嘴板19的上面(图3的下面)形成与滤色器衬底6平行的喷嘴形成面19a，在该喷嘴形成面19a上，沿着X方向，以等间隔排列以喷嘴形成面19a的法线方向贯通的180个通孔(喷嘴N)。在喷出头18的下侧(图3的上侧)设置头衬底20，在该头衬底20的一侧端，设置输入端子20a。在输入端子20a上输入用于驱动喷出头18的各种信号。
在图5中，在各喷嘴N的上侧，形成分别与墨水容器15连通的腔21。各腔21分别贮存墨水容器15导出的滤色器用墨水Ik，向对应的喷嘴N供给。在各腔21的上侧，粘贴能在上下方向振动的振动板22，使得能够扩大和缩小对应的腔21的容积。在振动板22的上侧，分别配置作为致动器的压电元件PZ。各压电元件PZ在分别用于驱动压电元件PZ的信号(驱动波形信号(COM))被输入时，在上下方向收缩和伸张，从而使对应的振动板22振动。
各腔21在分别对应的振动板22振动时，使对应的喷嘴N的弯液面在上下方向振动，从对应的喷嘴N，把与驱动波形信号COM(驱动电压)对应的给定重量的滤色器用墨水Ik作为液滴D喷出。喷出的液滴D沿着滤色器衬底6的大致法线飞行，命中与喷嘴N相对置的喷出面6a上的位置。
图4中，在基台11的左侧配置液滴重量装置23。液滴重量装置23按每个喷嘴N计测液滴D的重量(实际重量Iw)，能使用众所周知的重量计测装置。对液滴重量装置23能使用例如由托盘接受喷出的液滴D而称量液滴D的电子天平。此外，对液滴重量装置23能使用这种装置：其利用具有电极的压电振子，向该电极喷出液滴D，根据由于液滴D的命中而变化的压电振子的共振频率，检测液滴D的实际重量Iw。
这里，把从列内的全部喷嘴N喷出的各液滴D的实际重量Iw的平均值称作平均实际重量Iwcen。而且，在把喷出的液滴D中变为最大的实际重量Iw作为Iwmax、变为最小的实际重量Iw作为Iwmin时，平均实际重量Iwcen由Iwcen＝(Iwmax+Iwmin)/2规定。对于安装在滑架17上的多个喷出头18，规定平均实际重量Iwcen。
下面，按照图6～图18，说明所述液滴喷出装置10的电结构。
图6是表示液滴喷出装置10的电结构的方框电路图。
在图6中，控制装置30是使在液滴喷出装置10中执行各种处理动作的装置。控制装置30具有外部I/F31、由CPU等构成的控制部32、由DRAM和SRAM构成并且作为存储各种数据的存储部件的RAM33、存储各种控制程序的ROM34。此外，控制装置30具有生成时钟信号的振荡电路35、作为用于生成驱动波形信号COM的驱动波形生成部件的驱动波形生成电路36、用于驱动液滴重量装置23的重量装置驱动电路37、用于扫描衬底台13或滑架17的电动机驱动电路38、发送各种信号的内部I/F39。控制装置30通过介入外部I/F31被连接到输入输出装置40。此外，控制装置30通过介入内部I/F39与衬底台13、滑架17、液滴重量装置23、以及喷出头18的每一个所对应的多个头驱动电路41连接。
输入输出装置40例如是具有CPU、RAM、ROM、硬盘、液晶显示器等的外部计算机。输入输出装置40把用于按照ROM或硬盘中存储的控制程序来驱动液滴喷出装置10的各种控制信号输出到外部I/F31。外部I/F31从输入输出装置40接收描画数据Ip、基准驱动电压数据Iv和头数据Ih。
这里，描画数据Ip是关于滤色器CF的位置或膜厚的信息、关于液滴D的喷出位置的信息、关于衬底台13的扫描速度的信息等的、用于对喷出面6a的各像素9喷出液滴D的各种数据。
基准驱动电压数据Iv是与用于把平均实际重量Iwcen校正为预先规定的给定重量(基准重量)的驱动电压(基准驱动电压Vh0)相关的数据。因为各喷出头18的平均实际重量Iwcen不同，所以按每个喷出头18来规定基准驱动电压数据Iv。即，基准驱动电压数据Iv是用于把各喷出头18的平均实际重量Iwcen校正为公共的基准重量的数据。
头数据Ih是把喷嘴N(压电元件PZ)的每一个分类为4种“等级”的数据，是对于各喷嘴N的每一个，把基于液滴D的重量的等级进行对应关联的数据。在头数据Ih中，例如如图7所示，对于喷出的液滴D的实际重量Iw满足Iwcen×1.02＞Iw≥Iwcen×1.01的喷嘴N，设定等级“1”。对于喷出的液滴D的实际重量Iw满足Iwcen×1.01＞Iw≥Iwcen的喷嘴N，设定等级“2”，对于喷出的液滴D的实际重量Iw满足Iwcen＞Iw≥Iwcen×0.99的喷嘴N，设定等级“3”。此外，对于喷出的液滴D的实际重量Iw满足Iwcen×0.99＞Iw≥Iwcen×0.98的喷嘴N，设定等级“4”。
在图6中，RAM33作为接收缓存器33a、中间缓存器33b、输出缓存器33c利用。
ROM34存储控制部32执行的各种控制例行程序、用于执行该控制例行程序的各种数据。ROM34例如存储用于把各点与灰度进行对应关联的灰度数据、用于把与等级对应的驱动波形信号COM和这时的各喷嘴N进行对应关联的等级数据。
所谓灰度数据，是指由多个液滴D形成一个点、由是否喷出液滴D(即喷出、非喷出)的2灰度来模拟地表现多灰度的数据。等级数据如图7所示，是用于把各等级(“1”～“4”)分别与4种不同的驱动波形信号COM(第一驱动波形信号COMA、第二驱动波形信号COMB、第三驱动波形信号COMC、第四驱动波形信号COMD)中的任意一个进行对应关联的数据。即，等级数据是对于全部喷嘴N，用于把与等级对应的驱动波形信号COM进行对应关联的数据。
在图6中，振荡电路35生成用于使各种数据或各种驱动信号同步的时钟信号。振荡电路35例如生成在各种数据串行传送时所利用的传送时钟SCLK。振荡电路35生成在串行传送的各种数据的并行变换时所利用的锁定信号(图案数据用锁定信号LATA或公共选择数据用锁定信号LATB)。此外，振荡电路35生成用于规定液滴D的喷出时刻的状态切换信号CHA。
驱动波形生成电路36具有波形存储器36a、锁定电路36b、D/A转换器36c、放大器36d。波形存储器36a把用于生成各种驱动波形信号COM的波形数据与给定的地址对应存储。锁定电路36b用给定的时钟信号把控制部32从波形存储器读出的波形数据锁定。D/A转换器36c把锁定电路36b锁定的波形数据变换为模拟信号，放大器36d把D/A转换器36c变换的模拟信号放大，同时生成驱动波形信号COM。
控制部32在输入输出装置40输入基准驱动电压数据Iv时，通过介入驱动波形生成电路36和参照基准驱动电压数据Iv，读出波形存储器36a的波形数据。然后，控制部32通过介入驱动波形生成电路36，生成与喷出频率同步的4种驱动波形信号COM(第一驱动波形信号COMA、第二驱动波形信号COMB、第三驱动波形信号COMC、第四驱动波形信号COMD)。
控制部32通过介入驱动波形生成电路36，把第一～第四驱动波形信号COMA、COMB、COMC、COMD作为分别与等级“1”～“4”对应的不同的驱动电压构成的信号来生成。例如，如图7和图8所示，控制部32把第一驱动波形信号COMA作为与等级“1”的喷嘴N对应的驱动电压(第一驱动电压Vha)构成的信号来生成。第一驱动电压Vha是比基准驱动电压Vh0更低电平的电压(例如，Vha＝Vh0×0.985)。据此，等级“1”的喷嘴N在向对应的压电元件PZ输入第一驱动波形信号COMA时，使对应的压电元件PZ的驱动量(伸缩量)只减小第一驱动电压Vha的部分，从而校正液滴D的实际重量Iw，并把该液滴D的实际重量Iw作为平均实际重量Iwcen(基准重量)。
同样，控制部32通过介入驱动波形生成电路36，把第二驱动波形信号COMB、第三驱动波形信号COMC、第四驱动波形信号COMD分别作为与等级“2”、等级“3”、等级“4”对应的驱动电压(第二驱动电压Vhb、第三驱动电压Vhc、第四驱动电压Vhd)构成的信号来生成。第二驱动电压Vhb、第三驱动电压Vhc、第四驱动电压Vhd分别是Vhb＝Vh0×0.995、Vhc＝Vh0×1.005、Vhd＝Vh0×1.015。等级“2”、等级“3”、等级“4”的喷嘴N在对分别对应的压电元件PZ输入第二驱动波形信号COMB、第三驱动波形信号COMC、第四驱动波形信号COMD时，通过与等级对应的驱动电压，校正液滴D的实际重量Iw，把该液滴D的实际重量Iw作为基准重量。
据此，全部喷嘴N(压电元件PZ)在分别输入与等级对应的驱动波形信号COM时，能把各液滴D的实际重量Iw分别规格化为公共的基准重量。
在图6中，控制部32输出与重量装置驱动电路37对应的驱动控制信号。重量装置驱动电路37响应来自控制部32的驱动控制信号，通过介入内部I/F39来驱动液滴重量装置23。
控制部32输出与电动机驱动电路38对应的驱动控制信号。电动机驱动电路38响应来自控制部32的驱动控制信号，通过介入内部I/F39来扫描衬底台13、滑架17。
控制部32将外部I/F31接收的描画数据Ip临时存储在接收缓存器33a中。控制部32把描画数据Ip变换为中间代码，作为中间代码数据存储到中间缓存器33b。控制部32从中间缓存器33b读出中间代码数据，参照ROM34内的灰度数据，展开为点图案数据，把该点图案数据存储到输出缓存器33c。
点图案数据是用于把点图案格子的各格子点分别与点的灰度(驱动脉冲的图案)进行对应关联的数据。点图案数据是把二维描画平面(喷出面6a)的各位置(点图案格子的各格子点)分别与2位的值(“00”、“01”“10”或“11”)对应的数据。而且，点图案格子是规定了点的灰度的最小间隔的格子。
控制部32在展开了衬底台13的与1次扫描相当的点图案数据时，就利用该点图案数据，生成与传送时钟SCLK同步的串行数据，通过介入内部I/F39，把该串行数据向头驱动电路41串行传送。控制部32在把1次扫描的点图案数据串行传送时，就删除中间缓存器33b的内容，对下一个中间代码数据执行展开处理。
这里，把利用点图案数据生成的串行数据称作串行图案数据SIA。串行图案数据SIA以沿着扫描方向的点图案格子的格子单位生成。
在图9中，对于串行图案数据SIA，仅仅以喷嘴N的数量(180个)具有用于选择点的灰度的2位值。串行图案数据SIA具有由用于选择点的灰度的2位值中的上位位构成的180位的上位选择数据SIH、和由下位位构成的180位的下位选择数据SIL。此外，串行图案数据SIA除了上位选择数据SIH和下位选择数据SIL之外，还具有图案数据SP。
图案数据SP是由将上位选择数据SIH和下位选择数据SIL规定的4值的每一个与8位的数据(各开关数据Pnm(nm＝00～03、10～13、…、70～73))对应的32位构成的数据。各开关数据Pnm(nm＝00～03、10～13、…、70～73)分别是用于规定压电元件PZ的导通、断开的数据。
在图10中，状态切换信号CHA是由液滴D的喷出频率生成的脉冲信号。这里，把对状态切换信号CHA的每个脉冲规定的状态称作“状态”。状态切换信号CHA把从先行的图案数据用锁定信号LATA生成到后续的图案数据用锁定信号LATA生成之间的状态划分为多个状态(例如“0”～“7”的各状态)。而且，从先行的图案数据用锁定信号LATA生成到后续的图案数据用锁定信号LATA生成之间的期间相当于各喷嘴N分别与点图案格子的单位格子相对置的期间。
控制部32介入头驱动电路41，按照图10所示的真值表，把图案数据SP的各数据(各开关数据Pnm)分别与各状态对应。例如，控制部32介入头驱动电路41，对于上位选择数据SIH为“0”、下位选择数据SIL为“0”的喷嘴N(压电元件PZ)，把开关数据P00、P10、…、P70进行对应关联。控制部32把开关数据P00、P10、…、P70分别与“0”～“7”的各状态进行对应关联。然后，控制部32通过头驱动电路41，用设定为“1”的开关数据P00～P70的状态来对该压电元件PZ供给驱动波形信号COM。例如，P00～P60是“0”、P70为“1”时，控制部32在状态为“0”～“6”时，断开压电元件PZ，在状态变为“7”的时刻，把该压电元件PZ导通。
同样，控制部32对于上位选择数据SIH和下位选择数据SIL分别为“01”、“10”、“11”的喷嘴N(压电元件PZ)，分别把开关数据P01～P71、P02～P72、P03～P73进行对应关联。控制部32将开关数据P01～P71、P02～P72、P03～P73分别与“0”～“7”的各个状态进行对应关联。然后，控制部32通过头驱动电路41，以设定为“1”的开关数据P01～P71、P02～P72、P03～P73的状态向对应的压电元件PZ供给驱动波形信号COM。
据此，全部喷嘴N每当分别生成串行图案数据SIA时，此刻，对于对应的格子，实现由对应的上位选择数据SIH和下位选择数据SIL选择的点灰度(即驱动脉冲的图案)。
在图6中，控制部32将外部I/F31接收的头数据Ih暂时存储到接收缓存器33a中。控制部32将头数据Ih变换为中间代码，作为中间代码数据存储到中间缓存器33b。控制部32从中间缓存器33b读出中间代码数据，参照ROM34内的等级数据，展开为公共选择数据，把该公共选择数据存储在输出缓存器33c中。
公共选择数据是把所述点图案格子的各格子点分别与2位值(“00”、“01”、“10”、“11”)进行对应关联后的数据，是对于4值的每一个，把所述第一～第四驱动波形信号COMA、COMB、COMC、COMD中的任意一个进行对应关联的数据。
控制部32如果取得了与衬底台13的与1个扫描相当的公共选择数据，就利用公共选择数据生成与传送时钟SCLK同步的串行数据，通过内部I/F39把该串行数据向头驱动电路41串行传送。控制部32如果串行传送了1次扫描的公共选择数据，就删除中间缓存器33b的内容，对下一个中间代码数据执行展开处理。
这里，把利用公共选择数据生成的串行数据称作串行公共选择数据SIB。串行公共选择数据SIB与串行图案数据SIA同样，以沿着扫描方向的点图案格子的格子单位生成。
在图11中，串行公共选择数据SIB具有用于规定驱动波形信号COM的种类的2位值中的由上位位构成的180位的上位选择数据SXH、由下位位构成的180位的下位选择数据SXL、以及控制数据CR。
上位选择数据SXH和下位选择数据SXL是用于按照图12所示的真值表，把各喷嘴N的每一个与驱动波形信号COM的种类进行对应关联的数据。
控制部32通过头驱动电路41，使用上位选择数据SXH和下位选择数据SXL，按照图12所示的真值表，把180个的各个喷嘴N(压电元件PZ)分别与驱动波形信号COM的种类进行对应关联。例如，控制部32通过头驱动电路41，把上位选择数据SXH为“0”、下位选择数据SXL为“0”的喷嘴N(压电元件PZ)分别与第一驱动波形信号COMA进行对应关联。控制部32把上位选择数据SXH和下位选择数据SXL为“01”、“10”、“11”的喷嘴N(压电元件PZ)分别与第二驱动波形信号COMB、第三驱动波形信号COMC、第四驱动波形信号COMD进行对应关联。
控制数据CR是用于驱动设置在头驱动电路41中的温度检测电路的数据等的、用于使头驱动电路41执行各种控制的数据。控制部32通过头驱动电路41，根据控制数据CR来检测喷出头18的温度。
下面，说明头驱动电路41。
在图13中，头驱动电路41具有作为输出控制信号生成部件的输出控制信号生成电路50、作为公共选择控制信号生成部件的公共选择控制信号生成电路60。此外，头驱动电路41具有输出合成电路70(第一～第四公共输出合成电路70A、70B、70C、70D)、把逻辑信号升压并且升压到模拟开关的驱动电压电平的电平移动器71(第一～第四公共用电平移动器71A、71B、71C、71D)。此外，头驱动电路41具有安装了对压电元件PZ供给各驱动波形信号COM的模拟开关的4***的开关电路72(第一～第四公共用开关电路72A、72B、72C、72D)。由所述输出合成电路70、电平移动器71、以及开关电路72构成输出部件。
首先，以下说明用于生成输出控制信号PI的输出控制信号生成电路50。
在图14中，输出控制信号生成电路50具有移位寄存器51、锁定电路52、状态计数器53、选择器54、图案数据合成电路55。
移位寄存器5具有图案数据寄存器51A、下位选择数据寄存器51B、上位选择数据寄存器51C，并且从控制装置30输入串行图案数据SIA和传送时钟SCLK。
对于图案数据寄存器51A，串行传送串行图案数据SIA中的图案数据SP，并根据传送时钟SCLK来依次移动，从而存储32位的图案数据SP。对于下位选择数据寄存器51B，串行传送串行图案数据SIA中的下位选择数据SIL，并根据传送时钟SCLK来依次移动，从而存储180位的下位选择数据SIL。对于上位选择数据寄存器51C，串行传送串行图案数据SIA中的上位选择数据SIH，并根据传送时钟SCLK来依次移动，从而存储180位的上位选择数据SIH。
锁定电路52具有图案数据锁定电路52A、下位选择数据锁定电路52B、上位选择数据锁定电路52C，并从控制装置30输入图案数据用锁定信号LATA。
图案数据锁定电路52A在输入图案数据用锁定信号LATA时，锁定图案数据寄存器51A的数据即图案数据SP。下位选择数据锁定电路52B在输入图案数据用锁定信号LATA时，锁定下位选择数据寄存器51B的数据即下位选择数据SIL。上位选择数据锁定电路52C在输入图案数据用锁定信号LATA时，锁定上位选择数据寄存器51C的数据即上位选择数据SIH。
状态计数器53是3位的计数器电路，根据状态切换信号CHA的上升沿计数，使状态变化。状态计数器53从“0”到“7”把状态计数后，通过输入状态切换信号CHA，把状态返回“0”。此外，状态计数器53在LATA信号变为“H”电平(高电位的电平)时复位，把状态返回“0”。状态计数器53在从控制装置30输入状态切换信号CHA和图案数据用锁定信号LATA时，把状态的值计数，并对选择器54输出。
选择器54根据状态计数器53输出的状态的值和图案数据锁定电路52A锁定的图案数据SP，在该时刻，选择与状态的值对应的开关数据Pn0～Pn3，把选择的开关数据Pn0～Pn3对图案数据合成电路55输出。即，选择器54在对图案数据锁定电路52A输入图案数据用锁定信号LATA时，读入由图案数据锁定电路52A锁定的图案数据SP，按照图10所示的真值表，选择与状态的值“n”对应的开关数据Pn0～Pn3。例如，选择器54在状态计数器53的状态为“0”时，把与状态“0”对应的图案数据SP即图10所示的开关数据P00～P03对图案数据合成电路55输出。
图案数据合成电路55从选择器54输入各开关数据Pn0～Pn3，读入下位选择数据锁定电路52B锁定的下位选择数据SIL、上位选择数据锁定电路52C锁定的上位选择数据SIH。图案数据合成电路55使用各开关数据Pn0～Pn3、下位选择数据SIL、上位选择数据SIH，按照图10所示的真值表，对于每个状态，生成对于180个喷嘴N用于规定液滴D的喷出、非喷出(各位的值：“0”或“1”)的180位的数据(输出控制信号PI)。
图案数据合成电路55例如如图15所示，由与一个喷嘴N对应的4个与门55a，55b，55c，55d、输入这些与门55a，55b，55c，55d的输出的或门55e构成。在与门55a、55b、55c、55d上分别输入上位选择数据SIH、下位选择数据SIL、对应的开关数据Pn0～Pn3。在上位选择数据SIH和下位选择数据SIL为“00”时，只有与门55a变为有效，开关数据Pn0(“0”或“1”)作为对应的喷嘴N的输出控制信号PI而输出。此外，在上位选择数据SIH和下位选择数据SIL为“01”、“10”、“11”时，分别只有与门55b、55c、55d变为有效，开关数据Pn1、Pn2、Pn3(“0”或“1”)作为对应的喷嘴N的输出控制信号PI而输出。据此，与图1所示的真值表对应的开关数据Pnm作为输出控制信号PI输出。
接着，以下说明用于生成各公共选择控制信号PXA、PXB、PXC、PXD的公共选择控制信号生成电路60。
在图16中，公共选择控制信号生成电路60具有移位寄存器61、锁定电路62、公共选择信号译码电路63。
移位寄存器61具有控制数据寄存器61A、下位选择数据寄存器61B、上位选择数据寄存器61C，并从控制装置30输入串行公共选择数据SIB和传送时钟SCLK。
对于控制数据寄存器61A，串行传送串行公共选择数据SIB中的控制数据CR，并根据传送时钟SCLK来依次移动，从而存储32位的控制数据CR。对于下位选择数据寄存器61B，串行传送串行公共选择数据SIB中的下位选择数据SXL，并根据传送时钟SCLK来依次移动，从而存储180位的下位选择数据SXL。对于上位选择数据寄存器61C，串行传送串行公共选择数据SIB中的上位选择数据SXH，并根据传送时钟SCLK来依次移动，从而存储180位的上位选择数据SXH。
锁定电路62具有控制数据锁定电路62A、下位选择数据锁定电路62B、上位选择数据锁定电路62C，并从控制装置30输入公共选择数据用锁定信号LATB。
控制数据锁定电路62A在输入公共选择数据用锁定信号LATB时，锁定控制数据寄存器61A的数据即控制数据CR，把锁定的数据对给定的控制电路(例如温度检测电路等)输出。下位选择数据锁定电路62B在输入公共选择数据用锁定信号LATB时，锁定下位选择数据寄存器61B的数据即下位选择数据SXL。上位选择数据锁定电路62C在输入公共选择数据用锁定信号LATB时，锁定上位选择数据寄存器61C的数据即上位选择数据SXH。
公共选择数据译码电路63读入下位选择数据锁定电路62B锁定的下位选择数据SXL、上位选择数据锁定电路62C锁定的上位选择数据SXH。公共选择数据译码电路63使用下位选择数据SXL和上位选择数据SXH，按照图12所示的真值表，关于4个不同的驱动波形信号COM的每一个，规定是否使用(选择、非选择)。公共选择数据译码电路63生成对于180个喷嘴N的每一个的、用于规定各驱动波形信号COM的选择、非选择的数据。
这里，把关于第一驱动波形信号COMA的选择、非选择而规定的数据称作第一公共选择控制信号PXA。此外，把关于第二驱动波形信号COMB、第三驱动波形信号COMC、第四驱动波形信号COMD的选择、非选择而规定的数据分别称作第二公共选择控制信号PXB、第三公共选择控制信号PXC、第四公共选择控制信号PXD。
公共选择数据译码电路63例如由与一个喷嘴N对应的4个与门电路63a、63b、63c、63d构成。在与门电路63a、63b、63c、63d上分别输入上位选择数据SXH和下位选择数据SXL。在上位选择数据SXH和下位选择数据SXL为“00”时，只有与门电路63a变为有效，对应的喷嘴N的第一公共选择控制信号PXA作为“1”输出，其他的第二～第四公共选择控制信号PXB、PXC、PXD作为“0”输出。此外，在上位选择数据SXH和下位选择数据SXL为“01”、“10”、“00”时，仅仅与门电路63b、63c、63d分别变为有效，对应的喷嘴N的第二公共选择控制信号PXB、第三公共选择控制信号PXC、第四公共选择控制信号PXD作为“1”输出。据此，输出与图12所示的真值表对应的第一～第四公共选择控制信号PXA、PXB、PXC、PXD。
在图13中，输出合成电路70具有第一公共输出合成电路70A、第二公共输出合成电路70B、第三公共输出合成电路70C、第四公共输出合成电路70D。对各输出合成电路70A、70B、70C、70D分别从输出控制信号生成电路50公共输入180位的输出控制信号PI。此外，对各输出合成电路70A、70B、70C、70D，从公共选择控制信号生成电路60分别输入第一公共选择控制信号PXA、第二公共选择控制信号PXB、第三公共选择控制信号PXC、第四公共选择控制信号PXD。
第一～第四公共输出合成电路70A、70B、70C、70D分别由与一个喷嘴N对应的与门构成。在第一公共输出合成电路70A的各与门上分别输入对应的输出控制信号PI、对应的第一公共选择控制信号PXA。第一公共输出合成电路70A的各与门输出用于规定分别向对应的压电元件PZ是否输出(供给、非供给)第一驱动波形信号COMA的信号(第一选择公共输出控制信号CPA)。在第二公共输出合成电路70B的各与门上分别输入对应的输出控制信号PI和对应的第二公共选择控制信号PXB。第二公共输出合成电路70B的各与门分别输出用于规定向对应的压电元件PZ供给、非供给第二驱动波形信号COMB的信号(第二选择公共输出控制信号CPB)。在第三公共输出合成电路70C的各与门上分别输入对应的输出控制信号PI和对应的第三公共选择控制信号PXC。第三公共输出合成电路70C的各与门分别输出用于规定向对应的压电元件PZ供给、非供给第三驱动波形信号COMC的信号(第三选择公共输出控制信号CPC)。在第四公共输出合成电路70D的各与门上分别输入对应的输出控制信号PI和对应的第四公共选择控制信号PXD。第四公共输出合成电路70D的各与门分别输出用于规定向对应的压电元件PZ供给、非供给第四驱动波形信号COMD的信号(第四选择公共输出控制信号CPD)。
第一公共输出合成电路70A例如在输出控制信号PI为“1”并且第一公共选择控制信号PXA为“1”时，输出用于向对应的压电元件PZ供给第一驱动波形信号COMA的第一选择公共输出控制信号CPA(位值为“1”的信号)。相反，第一公共输出合成电路70A在输出控制信号PI为“0”或者第一公共选择控制信号PXA为“0”时，输出用于对该压电元件PZ不供给第一驱动波形信号COMA的第一选择公共输出控制信号CPA(位值为“0”的信号)。
据此，180个的各个喷嘴N(压电元件PZ)分别根据输出控制信号PI来决定液滴D的喷出、非喷出，根据第一～第四公共选择控制信号PXA、PXB、PXC、PXD，决定各驱动波形信号COM的供给、非供给。
电平移动器71具有第一～第四驱动波形信号COMA、COMB、COMC、COMD用的4***的电平移动器(第一公共用电平移动器71A、第二公共用电平移动器71B、第三公共用电平移动器71C、第四公共用电平移动器71D)。对第一～第四公共用电平移动器71A、71B、71C、71D，分别从对应的输出合成电路70输入第一～第四选择公共输出控制信号CPA、CPB、CPC、CPD。第一～第四公共用电平移动器71A、71B、71C、71D分别把第一～第四选择公共输出控制信号CPA、CPB、CPC、CPD升压为模拟开关的驱动电压电平，输出与180个压电元件PZ对应的开关信号。
开关电路72具有第一～第四驱动波形信号COMA、COMB、COMC、COMD用的4***的开关电路(第一公共用开关电路72A、第二公共用开关电路72B、第三公共用开关电路72C、第四公共用开关电路72D)。第一～第四公共用开关电路72A、72B、72C、72D具有分别与压电元件PZ对应的180个模拟开关。在第一～第四公共用开关电路72A、72B、72C、72D上，分别从对应的电平移动器71输入开关信号。在4***的各模拟开关的输入端分别输入对应的驱动波形信号COM，在4***的各模拟开关的输出端分别公共连接对应的压电元件PZ。各模拟开关分别从对应的电平移动器71输入开关信号，在开关信号为“H”电平时，输出与对应的压电元件PZ对应的驱动波形信号COM。
据此，180个的各个喷嘴N(压电元件PZ)在分别根据输出控制信号PI选择液滴D的喷出动作时，根据第一～第四选择公共输出控制信号CPA、CPB、CPC、CPD，供给第一～第四驱动波形信号COMA、COMB、COMC、COMD中的任意一个。即，180个的各个喷嘴N(压电元件PZ)在选择液滴D的喷出动作时，供给与等级对应的驱动波形信号COM。
接着，以下说明液滴喷出装置10中安装的液滴喷出头18的驱动方法。图18是用于说明对各压电元件PZ供给的驱动波形信号COM的时序图。
首先，如图3所示，滤色器衬底6把其喷出面6a为上侧而安装在衬底台13上。这时，衬底台13把滤色器衬底6配置在滑架17的反Y箭头方向。从该状态，输入输出装置40对控制装置30输入描画数据Ip、基准驱动电压数据Iv、头数据Ih。基准驱动电压数据Iv和头数据Ih分别是根据由液滴重量装置23计测的各液滴D的实际重量Iw所生成的数据。
这时，头数据Ih把最位于X箭头方向的喷嘴N(第一压电元件PZ1)分类为“1”的等级，把从X箭头方向计算、第10个喷嘴N(第十压电元件PZ10)分类为“4”的等级，把从X箭头方向计算、第20个喷嘴N(第20压电元件PZ20)分类为“2”的等级。
配置滑架17，使得控制装置30通过电动机驱动电路38扫描滑架17，并且当滤色器衬底6在Y箭头方向被扫描时，各喷出头18通过滤色器衬底6。如果配置滑架17，控制装置30就通过电动机驱动电路38开始衬底台13的扫描。
控制装置30把从输入输出装置40输入的描画数据Ip展开为点图案数据。控制装置30如果展开相当于衬底台13的1次扫描的点图案数据，如图18所示，则使用点图案数据来生成串行图案数据SIA，把该串行图案数据SIA与传送时钟SCLK同步而对头驱动电路41串行传送。此外，控制装置30把从输入输出装置40输入的头数据Ih展开为公共选择数据。控制装置30如果展开相当于衬底台13的1次扫描的公共选择数据，如图18所示，则使用公共选择数据来生成串行公共选择数据SIB，把该串行公共选择数据SIB与传送时钟SCLK同步而对头驱动电路41串行传送。
控制装置30在衬底台13到达给定的描画开始位置时，如图18所示，向头驱动电路41输出图案数据用锁定信号LATA和公共选择数据用锁定信号LATB，在头驱动电路41上锁定串行图案数据SIA和串行公共选择数据SIB。
控制装置30如果锁定了串行图案数据SIA和串行公共选择数据SIB，就把状态切换信号CHA对头驱动电路41输出，把状态从“0”按照“1”、“2”、“3”…的顺序切换。这时，控制装置30参照基准驱动电压数据Iv，使驱动波形生成电路36生成4种驱动波形信号COM(第一驱动波形信号COMA、第二驱动波形信号COMB、第三驱动波形信号COMC、第四驱动波形信号COMD)。控制装置30把第一～第四驱动波形信号COMA、COMB、COMC、COMD分别与图案数据用锁定信号LATA和状态切换信号CHA同步，逐次对头驱动电路41输出。
头驱动电路41如果锁定串行图案数据SIA，就按照上位选择数据SIH以及下位选择数据SIL、图10所示的真值表，把图案数据SP的各数据分别与各状态对应，对180个的各个喷嘴N(压电元件PZ)，规定各状态的喷出、非喷出。例如，如图18所示，在第一压电元件PZ1和第10压电元件PZ10，以“2”、“3”、“4”、“5”的各状态选择液滴D的喷出。在第20压电元件PZ20，以“1”、“3”、“5”、“7”的各状态选择液滴D的喷出。
结果，各喷嘴N分别按照所希望的驱动脉冲的图案而驱动，形成所希望的灰度的点。
此外，头驱动电路41如果锁定串行公共选择数据SIB，就按照上位选择数据SXH和下位选择数据SXL、图12所示的真值表，为180个的各个喷嘴N(压电元件PZ)分别规定驱动波形信号COM的种类。
例如，规定为等级“1”的第一压电元件PZ1因为对应的上位选择数据SXH和下位选择数据SXL是“00”，所以按照图12所示的真值表，规定第一驱动波形信号COMA。即，对于分类为“1”的等级的第一压电元件PZ1，供给与同等级对应的第一驱动波形信号COMA。此外，规定为等级“4”的第10压电元件PZ10，因为对应的上位选择数据SXH和下位选择数据SXL是“11”，所以按照图12所示的真值表，规定第四驱动波形信号COMD。即，对于分类为“4”的等级的第10压电元件PZ10，供给与同等级对应的第四驱动波形信号COMD。规定为等级“2”的第20压电元件PZ20，因为对应的上位选择数据SXH和下位选择数据SXL是“01”，所以按照图12所示的真值表，规定第二驱动波形信号COMB。即，对于分类为“2”的等级的第20压电元件PZ20，供给与该等级对应的第二驱动波形信号COMB。
结果，喷出液滴D的全部喷嘴N接收分别与等级对应的驱动波形信号COM，喷出公共的基准重量的液滴D。
以下，记载按上述那样构成的本实施例的效果。
(1)根据所述实施例，对于多个喷嘴N的每一个，把与喷出的液滴D相对应的“1”～“4”的等级进行对应关联。此外，为了使喷出的液滴D的实际重量Iw变为预先规定的给定的基准重量，生成与等级对应的驱动波形信号COM(第一驱动波形信号COMA、第二驱动波形信号COMB、第三驱动波形信号COMC、第四驱动波形信号COMD)。然后，对根据描画数据选择的各压电元件PZ，供给与相同喷嘴N的等级对应的驱动波形信号COM，从选择的喷嘴N向喷出面喷出基准重量的液滴D。
因此，根据描画数据Ip而选择的喷嘴N，接收与设定的等级对应的驱动波形信号COM，喷出预先规定的基准重量的液滴D。结果，多个喷嘴N的每一个，按照每个等级的驱动波形信号COM，把喷出的液滴D的重量规格化为给定的基准重量。因此，由于对每个喷嘴N校正液滴D的重量，所以能提高滤色器CF的膜厚均一性。
(2)根据所述实施例，生成公共选择数据(串行公共选择数据SIB)，在每个状态，对于180个的全部的喷嘴N，把与等级对应的驱动波形信号COM进行对应关联。此外，生成图案数据(串行图案数据SIA)，在每个状态，对于180个的全部的喷嘴N，设定液滴D的喷出、不喷出。因此，对于全部喷嘴N，分别规定液滴D的喷出、不喷出，并且把与等级对应的驱动波形信号COM进行对应关联。结果，喷出液滴D的喷嘴N更可靠地由与等级对应的驱动波形信号COM所驱动。
(3)对于全部喷嘴N，在每个状态，分别规定液滴D的喷出、不喷出，并且把与等级对应的驱动波形信号COM进行对应关联。因此，每当液滴D的喷出动作时，对于各喷嘴N，把与等级对应的驱动波形信号COM进行对应关联。结果，能更可靠地以基准重量把喷出的全部液滴D规格化。
(4)在所述实施例中，在液滴喷出装置10上安装了计测液滴D的重量的液滴重量装置23。因此，能在液滴的喷出环境中计测液滴的重量，与用另一种外部装置计测液滴的重量的情况相比，能更可靠地取得正确的实际重量Iw。进而能更正确地以基准重量把液滴D的实际重量Iw规格化。
而且，上述实施例也可以按如下变更。
在所述实施例中，采用下述结构：控制装置30每当传送串行图案数据SIA时，传送串行公共选择数据SIB。然后，采用这种结构：每当生成用于规定液滴D的喷出、非喷出的输出控制信号PI时，生成用于规定驱动波形信号COM的选择、非选择的第一～第四公共选择控制信号PXA、PXB、PXC、PXD。
不局限于此，例如，如图19所示，也可以采用下述结构：只先行传送串行公共选择数据SIB，在公共选择控制信号生成电路60(下位选择数据锁定电路62B、上位选择数据锁定电路62C)上存储上位选择数据SXH、下位选择数据SXL、控制数据CR。然后，可以采用这种结构：，每当头驱动电路41锁定串行图案数据SIA和生成输出控制信号PI时，利用先行存储的上位选择数据SXH和下位选择数据SXL，生成第一～第四公共选择控制信号PXA、PXB、PXC、PXD。
据此，对单一的喷嘴N，能够把与各状态中公共的驱动波形信号COM进行对应关联。因此，能更可靠地通过与等级对应的驱动波形信号COM来驱动喷出液滴D的全部的喷嘴N。
在所述实施例中，采用下述结构：控制部32把描画数据Ip展开处理为点图案数据。不局限于此，例如，也可以采用下述结构：输入输出装置40把描画数据Ip展开为点图案数据，输入输出装置40把点图案数据对控制装置30输入。
在所述实施例中，把致动器具体化为压电元件PZ。不局限于此，例如，也可以把致动器具体化为电阻加热元件，接收给定的驱动波形信号COM，从而喷出液滴D。
在所述实施例中，采用下述结构：各喷出头18只具有1列180个喷嘴N。不局限于此，也可以采用下述结构：各喷出头18具有2列以上180个喷嘴N，还可以用比180个更多的数量把列内的喷嘴数具体化。
在所述实施例中，采用下述结构：把电光装置具体化为液晶显示装置1，通过液滴D制造滤色器CF。不局限于此，例如，也可以采用下述结构：通过液滴D制造液晶显示装置1的取向膜。或者，也可以采用下述结构：把电光装置具体化为场致发光显示装置，喷出包含发光元件形成材料的液滴D来制造发光元件。

Claims (9)

1.一种液滴喷出头的驱动方法，其特征在于，包括：
对多个喷嘴的每一个，把与喷出的液滴的重量对应的等级进行对应关联的等级设定步骤；
按每个所述等级生成用于驱动所述喷嘴的致动器和把所述液滴的重量校正为预先规定的给定重量的驱动波形的驱动波形生成步骤；以及
对根据描画数据选择的所述喷嘴的致动器，供给与所述选择的喷嘴的所述等级对应的所述驱动波形，从所述选择的喷嘴向对象物喷出所述给定重量的液滴的液滴喷出步骤。
2.根据权利要求1所述的液滴喷出头的驱动方法，其特征在于：
所述液滴喷出步骤对于全部的所述喷嘴，把与所述等级对应的所述驱动波形进行对应关联，
对于全部的所述喷嘴，设定所述液滴的喷出、非喷出。
3.根据权利要求1或2所述的液滴喷出头的驱动方法，其特征在于：
所述液滴喷出步骤每当对于全部的所述喷嘴，设定所述液滴的喷出、非喷出时，对于全部的所述喷嘴，把与所述等级对应的所述驱动波形进行对应关联。
4.根据权利要求1或2所述的液滴喷出头的驱动方法，其特征在于：
所述液滴喷出步骤在对于全部的所述喷嘴，把与所述等级对应的所述驱动波形进行对应关联之后，对于全部的所述喷嘴，重复所述液滴的喷出、非喷出的设定。
5.一种液滴喷出装置，对设置在液滴喷出头中的多个致动器的每一个供给驱动波形，从与所述致动器对应的喷嘴喷出液滴，其特征在于，包括：
输出控制信号生成部件，根据描画数据，生成对于所述多个喷嘴的每一个，把所述液滴喷出、非喷出进行对应关联的输出控制信号；
存储部件，存储对于所述多个喷嘴的每一个，把按照所述液滴的重量而设定的等级进行对应关联的信息；
驱动波形生成部件，按每个所述等级，生成与所述等级进行对应关联和把所述液滴的重量校正为预先规定的给定重量的驱动波形；
公共选择控制信号生成部件，使用所述存储部件存储的所述信息，生成对于所述多个喷嘴的每一个，把与所述等级对应的所述驱动波形进行对应关联的公共选择控制信号；和
输出部件，根据所述公共选择控制信号和所述输出控制信号，对喷出所述液滴的所述喷嘴的所述致动器，输出与所述等级对应的所述驱动波形。
6.根据权利要求5所述的液滴喷出装置，其特征在于：
所述公共选择控制信号生成部件生成与所述输出控制信号同步的所述公共选择控制信号，
所述输出部件根据所述输出控制信号和与所述输出控制信号同步的所述公共选择控制信号，对喷出所述液滴的所述喷嘴的所述致动器，输出与所述等级对应的所述驱动波形。
7.根据权利要求5所述的液滴喷出装置，其特征在于：
所述公共选择控制信号生成部件在所述输出控制信号之前，先行生成所述公共选择控制信号，
所述输出部件每当接收所述输出控制信号时，使用所述先行生成的公共选择控制信号，对喷出所述液滴的所述喷嘴的所述致动器，输出与所述等级对应的所述驱动波形。
8.根据权利要求5～7中的任意一项所述的液滴喷出装置，其特征在于：
具有用于计测所述液滴的重量的液滴重量装置。
9.一种电光装置，具有通过使对衬底喷出的液滴干燥所形成的薄膜，其特征在于：
通过权利要求5～8中的任意一项所述的液滴喷出装置形成所述薄膜。
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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101738665A (zh) * 2008-11-11 2010-06-16 世联株式会社 滤色器的制造方法
CN102729628A (zh) * 2011-03-30 2012-10-17 精工爱普生株式会社 喷嘴喷出量的修正方法以及液滴的喷出方法
CN103879145A (zh) * 2012-12-21 2014-06-25 精工爱普生株式会社 喷出量修正方法、功能液喷出方法、有机el 装置制造方法
CN104175715A (zh) * 2013-05-24 2014-12-03 株式会社御牧工程 印刷装置及修正方法
CN104512110A (zh) * 2013-10-07 2015-04-15 株式会社御牧工程 印刷装置以及喷出异常的侦测方法
CN108290412A (zh) * 2015-11-30 2018-07-17 精工爱普生株式会社 液体喷射装置和喷射选择信号产生电路
CN110303789A (zh) * 2019-08-15 2019-10-08 武汉璟丰科技有限公司 一种喷墨打印机打印方法和***
CN115122758A (zh) * 2021-03-25 2022-09-30 东芝泰格有限公司 液体喷出头及其驱动电路、喷墨或3d打印机、分注装置

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4905380B2 (ja) * 2008-02-08 2012-03-28 セイコーエプソン株式会社 駆動信号設定方法
JP2009189954A (ja) * 2008-02-14 2009-08-27 Seiko Epson Corp 駆動信号設定方法
JP5115281B2 (ja) * 2008-04-01 2013-01-09 セイコーエプソン株式会社 液滴吐出装置、液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法、有機ｅｌ装置の製造方法
KR20110065098A (ko) 2009-12-09 2011-06-15 삼성전자주식회사 잉크젯 프린팅 장치의 잉크토출특성조절방법 및 구동방법
JP7019303B2 (ja) * 2017-03-24 2022-02-15 東芝テック株式会社 液滴分注装置
JP6939357B2 (ja) * 2017-09-29 2021-09-22 ブラザー工業株式会社 液体吐出装置及び液体吐出システム
JP2021154519A (ja) * 2020-03-25 2021-10-07 セイコーエプソン株式会社 プリントヘッド駆動回路、印刷装置

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08146214A (ja) 1994-09-19 1996-06-07 Canon Inc カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ、液晶パネル、および同液晶パネルを備えた情報処理装置
JP3513986B2 (ja) 1995-06-30 2004-03-31 セイコーエプソン株式会社 インクジェット記録ヘッドの駆動装置及び駆動方法
JPH11248927A (ja) 1998-03-03 1999-09-17 Seiko Epson Corp フィルター製造装置とフィルター製造装置におけるインク重量測定方法
JP4126976B2 (ja) * 2001-07-23 2008-07-30 セイコーエプソン株式会社 吐出装置及びその制御方法、吐出方法、マイクロレンズアレイの製造方法、並びに電気光学装置の製造方法
JP3772805B2 (ja) * 2002-03-04 2006-05-10 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッド、及び、それを備えた液体噴射装置
KR100563411B1 (ko) 2003-02-25 2006-03-23 세이코 엡슨 가부시키가이샤 구동 파형 결정 장치, 전기 광학 장치 및 전자 기기
JP4093167B2 (ja) 2003-10-15 2008-06-04 セイコーエプソン株式会社 液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器
DE602005003516T2 (de) * 2004-08-05 2008-10-23 Brother Kogyo K.K., Nagoya Zeilenkopftintenstrahldrucker

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101738665A (zh) * 2008-11-11 2010-06-16 世联株式会社 滤色器的制造方法
CN101738665B (zh) * 2008-11-11 2013-11-27 世联株式会社 滤色器的制造方法
CN102729628A (zh) * 2011-03-30 2012-10-17 精工爱普生株式会社 喷嘴喷出量的修正方法以及液滴的喷出方法
CN102729628B (zh) * 2011-03-30 2015-12-16 精工爱普生株式会社 喷嘴喷出量的修正方法以及液滴的喷出方法
CN103879145A (zh) * 2012-12-21 2014-06-25 精工爱普生株式会社 喷出量修正方法、功能液喷出方法、有机el 装置制造方法
CN104175715A (zh) * 2013-05-24 2014-12-03 株式会社御牧工程 印刷装置及修正方法
CN104512110A (zh) * 2013-10-07 2015-04-15 株式会社御牧工程 印刷装置以及喷出异常的侦测方法
CN104512110B (zh) * 2013-10-07 2016-09-07 株式会社御牧工程 印刷装置以及喷出异常的侦测方法
CN108290412A (zh) * 2015-11-30 2018-07-17 精工爱普生株式会社 液体喷射装置和喷射选择信号产生电路
CN110303789A (zh) * 2019-08-15 2019-10-08 武汉璟丰科技有限公司 一种喷墨打印机打印方法和***
CN115122758A (zh) * 2021-03-25 2022-09-30 东芝泰格有限公司 液体喷出头及其驱动电路、喷墨或3d打印机、分注装置

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