CN101101358B - 光开关以及用于控制光开关的方法 - Google Patents

光开关以及用于控制光开关的方法 Download PDF

Info

Publication number
CN101101358B
CN101101358B CN2007101465701A CN200710146570A CN101101358B CN 101101358 B CN101101358 B CN 101101358B CN 2007101465701 A CN2007101465701 A CN 2007101465701A CN 200710146570 A CN200710146570 A CN 200710146570A CN 101101358 B CN101101358 B CN 101101358B
Authority
CN
China
Prior art keywords
output port
light beam
wavelength
light
catoptron
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN2007101465701A
Other languages
English (en)
Other versions
CN101101358A (zh
Inventor
青田宏史
赤司保
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Publication of CN101101358A publication Critical patent/CN101101358A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN101101358B publication Critical patent/CN101101358B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/26—Optical coupling means
    • G02B6/28—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals
    • G02B6/293—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means
    • G02B6/29379—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means characterised by the function or use of the complete device
    • G02B6/29395—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means characterised by the function or use of the complete device configurable, e.g. tunable or reconfigurable
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/26—Optical coupling means
    • G02B6/28—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals
    • G02B6/293—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means
    • G02B6/29304—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means operating by diffraction, e.g. grating
    • G02B6/29305—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means operating by diffraction, e.g. grating as bulk element, i.e. free space arrangement external to a light guide
    • G02B6/2931—Diffractive element operating in reflection
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/26—Optical coupling means
    • G02B6/28—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals
    • G02B6/293—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means
    • G02B6/29304—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means operating by diffraction, e.g. grating
    • G02B6/29305—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means operating by diffraction, e.g. grating as bulk element, i.e. free space arrangement external to a light guide
    • G02B6/29311—Diffractive element operating in transmission
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/26—Optical coupling means
    • G02B6/28—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals
    • G02B6/293—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means
    • G02B6/29304—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means operating by diffraction, e.g. grating
    • G02B6/29305—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means operating by diffraction, e.g. grating as bulk element, i.e. free space arrangement external to a light guide
    • G02B6/29313—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means operating by diffraction, e.g. grating as bulk element, i.e. free space arrangement external to a light guide characterised by means for controlling the position or direction of light incident to or leaving the diffractive element, e.g. for varying the wavelength response
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/26—Optical coupling means
    • G02B6/35—Optical coupling means having switching means
    • G02B6/351—Optical coupling means having switching means involving stationary waveguides with moving interposed optical elements
    • G02B6/3512—Optical coupling means having switching means involving stationary waveguides with moving interposed optical elements the optical element being reflective, e.g. mirror
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/26—Optical coupling means
    • G02B6/35—Optical coupling means having switching means
    • G02B6/354—Switching arrangements, i.e. number of input/output ports and interconnection types
    • G02B6/3544—2D constellations, i.e. with switching elements and switched beams located in a plane
    • G02B6/3548—1xN switch, i.e. one input and a selectable single output of N possible outputs
    • G02B6/355—1x2 switch, i.e. one input and a selectable single output of two possible outputs
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/26—Optical coupling means
    • G02B6/35—Optical coupling means having switching means
    • G02B6/354—Switching arrangements, i.e. number of input/output ports and interconnection types
    • G02B6/3554—3D constellations, i.e. with switching elements and switched beams located in a volume
    • G02B6/3556—NxM switch, i.e. regular arrays of switches elements of matrix type constellation
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/26—Optical coupling means
    • G02B6/35—Optical coupling means having switching means
    • G02B6/354—Switching arrangements, i.e. number of input/output ports and interconnection types
    • G02B6/356—Switching arrangements, i.e. number of input/output ports and interconnection types in an optical cross-connect device, e.g. routing and switching aspects of interconnecting different paths propagating different wavelengths to (re)configure the various input and output links

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)

Abstract

光开关及用于控制光开关的方法，该光开关包括：根据波长对波长复用光束进行空间分光的波长空间分光光学元件；多个输出端口；多个反射镜，波长空间分光光学元件所分光的光束照射在反射镜上，各反射镜能通过相对于与波长空间分光光学元件的分光方向平行或垂直的方向改变其反射面的角度而把反射光束导向任一输出端口；以及控制装置，在将照射在任一输出端口上的反射光束的入射部位改变为与该输出端口不相邻的另一输出端口时，通过在与分光方向垂直的方向上改变相应反射镜的反射面的角度来衰减反射光束的输出功率，在进行衰减之后，控制该相应反射镜的反射面的角度，使得反射面绕过与该任一输出端口相邻的输出端口而将反射光引导至该另一输出端口。

Description

光开关以及用于控制光开关的方法
本申请是申请日为2005年4月19日，申请号为200510066632.9，发明名称为“光开关以及用于控制光开关的装置和方法”的发明专利申请的分案申请。
本申请基于并且要求2004年12月27提交的日本专利申请2004-376932的优先权，在此以引用的方式并入其内容。
技术领域
本发明涉及光开关以及用于控制光开关的装置和方法。具体而言，本发明涉及一种适于在下述情况中的技术：通过改变反射面的角度来使光路偏转以将反射光束导向多个输出端口中的任意一个。
背景技术
迄今为止，在将光信号转换为电信号之后借助于电开关来执行光传输***中的信道切换。然而，使用在不将光信号转换成电信号的情况下原样地对光信号进行切换的开关(光开关)可以提高信道切换速度和效率。
图13、14和15示出了光开关的结构。图13示出了光开关的透视示意图，图14示出了其侧视示意图，图15示出了其平面示意图。
如图13至15所示，光开关10例如包括：波长空间分光光学元件(波长空间分光装置)1，用于根据波长来对WDM(波分复用)光束进行空间分光；输入/输出光学***(输入光学***和输出光学***)2，该***具有排列成阵列的输入端口(输入光纤)21和输出端口(输出光纤)22以及多个准直透镜[准直透镜阵列(准直装置)]23等等；聚光透镜[聚光光学***(聚光装置)]3；以及可动反射体70，其具有与分光后的多个波长分别对应的MEMS反射镜(光偏转装置)4。
作为上述波长空间分光光学元件1，例如可使用透射型的衍射光栅。WDM光束从输入端口21输入到波长空间分光光学元件1上，并且波长空间分光光学元件1根据波长而将包含在WDM光束中的波长成分分散到不同方向，并且输出这些波长成分。
上述可动反射体70具有多个微型反射镜(MEMS反射镜)4，作为在元件(衍射光栅)1的波长分光方向上排列成阵列的光偏转装置。各个MEMS反射镜4执行波长选择切换的功能，对上述元件1所分光的光束当中的照射在自身上的与其自己的位置相对应的光束进行反射，并且把该光束导向输入/输出光学***2中的多个输出端口22的任意一个。
可以通过改变MEMS反射镜4的反射面角度来选择输出端口22。通过对各个MEMS反射镜4的反射面角度进行独立控制，可单独地对多个波长中的每一个执行不同的切换。
例如，如图14和15所示，通过改变一个MEMS反射镜4的反射面角度以将该反射光束导向不同的输出端口23(例如，沿着端口21和22的排列方向改变反射面的角度)，可将从输入端口21输入的WDM光束中包含的预定波长分配给任意一个输出端口22(例如，参考下面的专利文献1)。
当选择输出端口22时，通过精细地改变各个MEMS反射镜4的角度，而不用动态地移动该角度，即可衰减输入到输出端口22的光强度(也就是说，可实现光衰减器功能)。
各个MEMS反射镜4可以绕两个轴动作，也就是说，其反射镜角度可在图14所示的沿着波长分光方向的方向(水平方向)上以及图15所示的垂直于波长分光方向的方向(垂直方向)上变化。
专利文献1：日本特表2003-515187号公报
当对输出端口22进行切换时，如果所要切换到的端口是相邻的端口22，那么MEMS反射镜4的反射镜角度在输出端口22的排列方向上变化。当必须切换到不相邻的端口时，必须避免光束泄漏到相邻端口22。
如图16示意性所示，首先在水平方向(沿着波长分光方向的方向)上改变MEMS反射镜4的反射镜角度，以使光束位置在水平方向上从原来的输出端口(22a)位置移动到远离的位置(光束不会泄漏到输出端口22的位置：称作光隔离区域11)(参考箭头A)。此后，在垂直方向(与波长分光方向相垂直的方向)上改变反射镜角度，以使光束位置移动到与目标输出端口22(22c)的中心位置相对应的位置(参考箭头B)。接下来，再次在水平方向(但是，与第一次相反的方向)上改变反射镜角度，以使光束移动到目标输出端口22(22c)，并且使光束照射在其上(参考箭头C)。
根据如上所述的端口切换，可减小输出端口之间22的距离(间距)(大约1.5mm)。
然而，当对输出端口进行切换时(当使光束衰减时)，该切换操作可使透过波段特性具有图17所示的形状。图17示出了光束点半径与包含衍射效果的波段特性之间的关系，表示了改变MEMS反射镜4的角度时在MEMS反射镜4的各个角度(0°、1.2°、1.5°以及2.0°)上获得的多个不同特性。在图17中，纵轴表示透过强度(dB)，横轴表示MEMS反射镜4的宽度(分光方向上的长度)是1(±0.5)时的波长波段，即规一化的波长波段。图17表示当MEMS反射镜4的角度增大时，产生了从中部的平坦部分升起的凸状的透过波段特性，也就是说，在透过波段的外侧(旁带，side lobe)附近产生了凸起。
图18示出了该原理。
假定波长空间分光光学元件1所分散的各个光束是中心波长，将各个MEMS反射镜4设置为使具有中心波长的各个光束照射在MEMS反射镜4的中心位置上。如果包含在WDM光束之中的各个波长实际上未从中心波长偏移，则各个光束照射在MEMS反射镜4的中心位置上，如图18中的框100中的标号5c所示。
当分光后的各个光束的中心波长发生偏移时(当光束包含偏移成分时)，光束照射在图18中的框100中的标号5b或5d所示的位置上。当光束进一步偏移时，该光束照射MEMS反射镜4的端面侧上(相对于波长分光方向而言的MEMS反射镜4的端面侧)，如图18中的框100中的标号5a或5e所示。
在这里，应当注意的是当如图18中的框100所示，入射光束照射在MEMS反射镜4的端面附近的部分上时，因为入射光束5(5a、5e)的一部分被削减，在反射光束6(6a，6e)中产生了衍射，从而与光束照射在MEMS反射镜4的中心附近的部分上时的反射光束6(6b至6d)相比，光点半径增大。
如上所述当光点半径增大时，如图18中的框200所示，反射光束6的旁带升高(参照曲线9)。在旁带部分中，波束功率要大于从MEMS反射镜4中心附近的部分所反射的反射光束6的功率(参照曲线8)。也就是说，当MEMS反射镜的反射面朝着波长分光方向倾斜时，在端部入射光束被进一步削减。然而，反射面的这种倾斜使得可以通过准直透镜23的孔径(面积)7削减反射光束6的旁带部分的功率(也就是说，标号7所示部分中包含的面积是该波长的透过强度)，从而MEMS反射镜4的端面附近的部分的输出光束强度进一步增强。
也就是说，如上所述，因为越靠近MEMS反射镜4的端面，反射光束6的削减量越大，因此在波长分光方向上对端口进行切换时衍射效果增大。如果没有衍射效果，则透过波段特性可以是梯形的，因为只有由于削减反射光束6而引起的波束功率变化。然而，如图17和18所示，衍射效果增加了梯形透过波段特性。
同时，不同波长的反射光束6的峰值处于空间上的相同位置(空间分离量＝0)的原因在于反射光束6通过聚光光学***3而会聚，并且通过分光光学元件1改变角度使光束变得平行，如图18中的框300、400、500以及600所示。图18中的框200所示的开口7的宽度示出了到主要由准直透镜23构成的输出光学***2为止的开口。开口7的宽度与准直透镜23的面积相对应地增大。
当产生了超过中间平坦部分的凸状透过波段特性(也就是说，透过波段的外侧(旁带)附近的凸起)时，当光学***中使用了光放大器时，该凸状部分也在光放大器的光放大中被放大。这可使S/N比劣化。这在多级连接中是值得注意的，其限制了多级连接的数目并且阻碍了***结构具有高自由度。
发明内容
鉴于上述缺点，本发明的目的在于抑制光开关的透过波段特性的外侧(旁带)附近的凸起。
为了实现上述目的，本发明采用了如下的光开关以及用于控制该光开关的方法：
(1)根据本发明的光开关，其包括：波长空间分光光学元件，用于根据波长对波长复用光束进行空间分光；多个输出端口；多个反射镜，所述波长空间分光光学元件所分光的光束照射在所述多个反射镜上，各个反射镜能够通过相对于与所述波长空间分光光学元件的分光方向平行的方向或与所述分光方向垂直的方向改变该反射镜的反射面的角度，而把反射光束导向所述多个输出端口中的任意一个输出端口；以及控制装置，用于在将照射在所述多个输出端口中的任意一个输出端口上的反射光束的入射部位改变为与该任意一个输出端口不相邻的另一输出端口时，通过在与所述分光方向垂直的方向上改变所述多个反射镜中的相应反射镜的反射面的角度来衰减所述反射光束的输出功率，并用于在进行所述衰减之后，控制所述相应反射镜的反射面的角度，使得所述反射面绕过与所述任意一个输出端口相邻的输出端口而将所述反射光引导至所述另一输出端口。
(2)所述光开关包括：波长空间分光光学元件，用于根据波长对波长复用光束进行空间分光；多个输出端口；以及多个反射镜，所述波长空间分光光学元件所分光的光束照射在这多个反射镜上，各个反射镜能够通过相对于与所述波长空间分光光学元件的分光方向平行的方向或与所述分光方向垂直的方向改变该反射镜的反射面的角度，而将反射光束导向所述多个输出端口中的任意一个输出端口，所述控制方法包括以下步骤：衰减步骤，当将照射在所述多个输出端口中的任意一个输出端口上的反射光束的入射部位改变为与该任意一个输出端口不相邻的另一输出端口时，通过在与所述分光方向垂直的方向上改变所述多个反射镜中的相应的反射镜的反射面的角度，来衰减所述反射光束的输出功率；以及控制步骤，在所述衰减步骤中进行衰减之后，控制所述相应的反射镜的反射面的角度，使得所述反射面绕过与所述任意一个输出端口相邻的输出端口而将所述反射光束引导至所述另一输出端口。
(3)根据本发明的另一种光开关，其包括：波长空间分光光学元件，用于根据波长对波长复用光束进行空间分光；多个输出端口；以及多个反射镜，所述波长空间分光光学元件所分光的光束照射在所述多个反射镜上，各个反射镜能够通过相对于与所述波长空间分光光学元件的分光方向平行的方向或与所述分光方向垂直的方向改变该反射镜的反射面的角度，而将反射光束导向所述多个输出端口中的任意一个输出端口，控制单元，用于在将照射到第一输出端口的反射光束的入射部位改变为从第一输出端口切换且与该第一输出端口不相邻的第二输出端口时，通过在与所述分光方向垂直的方向上改变所述多个反射镜中的相应反射镜的反射面的角度，控制为使得所述反射光束接近所述第二输出端口以外的与所述第一输出端口相邻的其他输出端口，来衰减所述反射光束的输出功率，并在进行所述衰减之后控制所述相应反射镜的反射面的角度，使得所述反射面将所述反射光束引导至所述第二输出端口。
根据本发明，可极大地降低输出端口处的透过波段特性的外侧(旁带)附近的凸起量。
由此，可以在不降低S/N比的情况下通过光放大器进行光放大。
另外，可以实现多级连接，这使光***可以具有很高的自由度。
尤其是，因为波段特性可以很平坦，因此可使分配给各个波段的波长(信道)的光电平变得均匀，由此可以提高波长复用光束的所有波段的信号质量。
附图说明
图1是根据本发明实施例的光开关的结构侧视示意图；
图2是用于说明图1所示光开关的操作(无中断端口切换)的示意图；
图3是MEMS反射镜上的光束入射位置的示意图，以便说明图1所示的MEMS反射镜在水平方向上的操作与垂直方向上的操作之间的透过波段特性的差别；
图4示出了图1所示的MEMS反射镜在水平方向上的操作与垂直方向上的操作之间的透过波段特性的差别；
图5是当通过图1所示的MEMS反射镜来在垂直方向上进行端口切换时初始波段特性的一个示例的示意图；
图6是用于说明图1所示的MEMS反射镜在垂直方向上操作时端口之间的距离的设计方法的示意图；
图7是图1所示的MEMS反射镜在垂直方向上操作时初始连接端口处的透过波段特性的变化的一个示例的示意图；
图8(A)和8(B)是用于说明该实施例的第一变型例的示意图；
图9(A)和9(B)是用于说明该实施例第二变型例的示意图；
图10是用于说明该实施例的第三变型例的示意图；
图11是用于说明该实施例的第四变型例的示意图；
图12是用于说明该实施例的第五变型例的示意图；
图13示出了光开关的透视示意图；
图14示出了光开关的侧视示意图；
图15示出了光开关的平面示意图；
图16是用于说明公知光开关控制方法(无中断端口切换)的示意图；
图17是图16所示的无中断端口切换时透过波段特性的一个示例的示意图；以及
图18是图16所示的无中断端口切换时透过波段特性的原理示意图。
具体实施方式
[A]实施例的说明
图1是根据本发明实施例的光开关结构的侧视示意图。图1与图14相对应。如图1所示，与上面参考图13至15所描述的光开关相类似，根据该实施例的光开关10例如包括：波长空间分光光学元件(波长空间分光装置，波长空间分光单元)1，用于根据波长(对于各个波长)对波长复用的WDM光束进行空间分光；输入/输出光学***(输入光学***以及输出光学***)2，其具有排列成阵列的输入端口(输入光纤)21和输出端口(输出光纤)22、以及多个准直透镜[准直透镜阵列(准直装置)]23等；聚光光学***(聚光装置)3；以及可动反射体70，其具有分别与多个分光波长相对应(例如与信道的中心波长相对应)的MEMS反射镜(光偏转装置，偏转装置)4。控制装置(反射镜控制装置，控制单元)50对各个MEMS反射镜4进行单独控制。
在这里，例如，假定输出端口22排列为阵列(在垂直于波长分光方向的方向上)。例如，作为光偏转装置的MEMS反射镜4排列为阵列(在分光方向上)。
或者，还存在这样一种情况，即不是所有输出端口22排列为阵列，但是至少排列两个输出端口22，并且至少一个MEMS反射镜4在这两个输出端口22之间进行端口切换。在这里，应该注意的是可将随后描述的两个输出端口22之间的切换当作这两个输出端口之间的切换。
在该实施例中，各个MEMS反射镜4可以绕两个轴操作。也就是说，至少可以在沿着波长分光方向(MEMS反射镜4的排列方向)的方向(水平方向)以及在与波长分光方向相垂直的方向(输出端口22的排列方向；垂直方向)上改变各个MEMS反射镜4的反射镜角度。在下面的描述中，除非特别说明，类似的标号指示相似或相应的部分。
与参考图16所描述的情况相类似，例如当将照射在输出端口22a上的反射光束6的入射位置切换到作为另一端口的输出端口22c(在这里，输出端口22c不是相邻端口，但也可以是相邻端口)时，根据该实施例的控制装置50按照下述方式来对MEMS反射镜4的反射镜角度进行控制，即在与波长分光方向不同的方向(例如，与波长分光方向相垂直的方向)上倾斜反射镜的反射面，此后，绕过相邻端口而将反射光束6的入射位置导向非相邻端口，例如如图2所示。
优选的是，当将反射光束6的入射位置导向非相邻端口时，控制装置50对MEMS反射镜4的反射镜角度进行控制，使得面向与波长分光方向不同的方向的反射镜的反射面最终朝着波长分光方向倾斜。
也就是说，控制装置50在垂直方向(例如与波长分光方向相垂直的方向)上改变MEMS反射镜4的反射镜角度，以使反射光束6的入射位置朝着相邻输出端口22b的方向移动(在与波长分光方向相垂直的方向上)(参考箭头A)。例如，将此时的移动量控制在下述区域之内，即在所述区域中泄漏到相邻输出端口22b的光束不会超过随后参考图5描述的容许串扰水平。更详细的，控制装置50可执行两种方式。一个是控制装置50对入射到输出端口22b的入射光束功率进行监视，并且将反射镜角度控制在其监视值不超过容许串扰水平的范围内，并且使光束位置移动。另一个是控制装置50使光束位置移动到预先确定的设计值位置，该设计值位置被确定得使得光束泄漏不会超过容许串扰水平(也就是说，控制装置50按照预先确定为使光束泄漏不会超过容许串扰水平的设计角度对MEMS反射镜4的反射面进行控制)。
接下来，控制装置50将反射镜角度改变为水平方向(例如波长分光方向)以使光束入射位置移动到光隔离区域11中(参考箭头B)，此后在垂直方向上改变反射镜角度，以使光束入射位置在光隔离区域11中朝着目标输出端口22c直线移动(例如，与波长分光方向相垂直的方向)(参考箭头C)。例如，当光束位置移动到输出端口22b与22c之间的位置时，控制装置50使光束位置移动到光隔离区域11中的与下述位置相对应的位置(箭头E的开始位置)，在所述位置处泄漏到与目标输出端口22c相邻的输出端口22b中的光束不超过容许串扰水平。更详细的，控制装置50同样可以执行两种方式。一个是控制装置50对例如入射到输出端口22b的入射光束功率进行监视，并且对反射镜角度进行控制，以使光束入射位置移动到其监视值不超过容许串扰水平的位置。另一个是控制装置50使入射光束位置移动到预先确定为使光束泄漏不超过容许串扰水平的设计值位置。
控制装置50再次在水平方向上(波长分光方向)(但是，与第一个水平方向相反的方向)改变反射镜角度，以使光束位置线性移动直至与目标输出端口22c的中心相对应的位置(参考箭头D)。再次，控制装置50最终在垂直方向上(与波长分光方向相垂直的方向)改变反射镜角度，以使光束位置移动到目标输出端口22c的中心(参考箭头E)。
也就是说，当执行切换以使反射光束照射在切换目标输出端口22c上时，控制装置50首先在MEMS反射镜4的排列方向之外的方向上移动被导向切换起始输出端口22a的中心的光束，然后移动光束，绕过(避开)介于输出端口22a与切换目标输出端口22c之间的另一输出端口，最终在MEMS反射镜4的排列方向(水平方向)之外的方向上(垂直方向)上移动光束，以将光束导向切换目标输出端口22c的中心。
在端口切换(或衰减)操作中，与在与上述方向相垂直的方向(水平方向)上执行光束偏转操作的情况相比，通过在初始阶段执行使光束偏向相邻端口(在垂直方向上)的操作，可极大地减小透过波段特性中的外侧(旁带)附近的凸起量。类似的，与在偏转操作中使光束位置在水平方向上移动并使光束照射在目标输出端口22c上的情况相比，当最终把光束位置移动到目标输出端口22c时，通过使光束位置在垂直方向上移动，可极大地减小透过波段特性中的外侧附近的凸起量。
原因如下。如图3中的标号A、B、C及D所示，例如，因为波长分光方向，即光束在MEMS反射镜4的光束反射面上的移动方向是水平的(沿着波长分光方向的方向)(参照标号B)，在削减光束6的同时在水平方向上开始出现衍射效果。相反的，在光束6的削减在光束垂直方向(参照标号D)上通过中心线60之后，在垂直方向(与波长分光方向相垂直的方向)上开始出现衍射效果。
如图4所示，在水平方向上的偏转操作中，与图3中的标号A所示的功率相比，开口7处的图3中标号B、C及D所示的过量功率很大，因此透过波段特性中的外侧附近的凸起很大。相反，在垂直方向上的偏转操作中，与图3中的标号A所示的功率相比，开口7处的图3中标号B、C及D所示的过量功率很小，因此透过波段特性中的外侧附近的凸起很小，例如如图5所示。顺便说一下，图5中的特性按降序示出了在MEMS反射镜的倾角是0°、0.2°以及0.3°时的透过波段特性。
因此，如上所述，在初始阶段执行朝向相邻端口的光束偏转操作(垂直操作)、此后在与上述方向相垂直的方向(水平方向)上执行光束偏转操作、并且在把光束位置移动到目标输出端口22时，在垂直方向上的光束偏转操作中移动光束位置，由此可极大地减小透过波段特性中的外侧附近的凸起量。
其结果是，可以在不降低S/N比的情况下通过光放大器进行光放大。这使多级连接成为可能，并且使光***具有很高的自由度。尤其是，因为波段特性很平坦，因此可以使分配给各个波段的信道的光信号电平均匀，并且可增加波长复用光信号的所有波段中的信号量。
当切换到相邻端口22时，光束位置直接移动到目标输出端口22而无需使光束位置进入光隔离区域11。
如上所述当执行垂直方向上的偏转操作时，因为光束6朝着相邻输出端口22移动，因此必须根据设计衰减水平以及容许串扰水平来优化端口之间的距离。也就是说，例如，当如图6中的右侧所示确定了某个设计衰减水平以及容许串扰水平时，将端口之间的距离设计(设置)成使得光束6对于光束6所要移开的输出端口(初始连接端口)22的透过率[透过强度(透过波段特性：参考曲线40)]处于所设置的衰减水平以下的范围内，并且光束6对于相邻输出端口22的泄漏(透过波段特性：参考曲线50)处于不超过容许串扰水平的范围之内。顺便说一下，曲线40表示当MEMS反射镜4倾斜大约0.2°时所获得的透过波段特性。曲线50表示当MEMS反射镜4在垂直方向上倾斜大约0.3°并且在水平方向上倾斜大约2.5°时所获得的透过波段特性。
为此，端口之间的间距必须大于已知的间距(最小间距)。
如图7所示，例如，通过如上所述设计端口之间的距离，可在垂直方向上的初始偏转操作(参考箭头A)的开始和结束时提供曲线80和90所示的透过波段特性，这可使特性平坦，其中透过波段的外侧附近的凸起很小。此后在水平方向上的偏转操作中，在操作结束时提供了曲线100所示的透过波段特性，在该特性中在透过波段的外侧附近存在凸起，然而，这不会产生影响，因为该透过波段特性处于由光隔离区域11实现的光隔离水平以下的范围内。顺便说一下，对于垂直方向上(到目标输出端口)的最后阶段的偏转操作(参考箭头E)也是一样。在图7中，曲线80表示当MEMS反射镜4的倾角是0°时所获得的透过波段特性，曲线90表示当MEMS反射镜的倾角大约是0.25°时所获得的透过波段特性，并且曲线100表示当MEMS反射镜4在垂直方向上的倾角大约是0.3°并且在水平方向上大约是2.0°时所获得的透过波段特性。
(A1)第一变型例
当将上述MEMS反射镜4配置成双侧摆动型，也就是说如图8(B)所示在水平方向(波长分光方向)上向左右改变其反射镜角度时，输入端口21和输出端口22例如可以如图图8(A)所示排列。也就是说，对于一个输入端口21，10个输出端口22(22a至22j)排列成两个阵列。各个阵列可以处于与波长分光方向相垂直的方向上。在这个变型例中，如参考图6和7所描述的，根据设计衰减水平以及容许串扰水平来设计(设定)输出端口22之间的距离以及阵列之间的距离。
如图8(A)所示，当希望把照射在右阵列第一行的输出端口22上的反射光束照射到左阵列第四行的输出端口22上时，控制装置50首先在垂直方向上改变相应MEMS反射镜4的反射镜角度，以使照射在先前输出端口22上的反射光束的光束入射位置朝着相邻输出端口22b(右阵列第二行的输出端口)线性移动(参考箭头A)。在这种情况下，控制装置50同样可以执行两种方式。一个是控制装置50例如对入射到输出端口22b的入射光束的功率进行监视、将反射镜角度控制在监视值不超过容许串扰值的范围之内、并且使光束位置移动。另一个是控制装置50使光束位置移动到被确定为不超过容许串扰值的设计值位置。
此后控制装置50在水平方向上改变MEMS反射镜4的反射镜角度，以使反射光束的入射位置移动至光隔离区域11中的位置(参考箭头B)，并且在垂直方向上改变反射镜角度，以使光束的入射位置朝着目标输出端口22i线性移动(参考箭头C)。当使光束位置移动到左阵列第三与第四输出端口22h与22i之间的位置时，控制装置50使光束位置移动到光隔离区域11中的与下述位置相对应的位置上(箭头E的起始点)，在所述位置处光束对于与目标输出端口22i相邻的输出端口22h的泄漏不超过容许串扰水平。
控制装置50再次在水平方向(与第一次改变时的方向相同的方向)上改变反射镜角度，以使光束位置线性地移动到与目标输出端口22的中心相对应的位置(参考箭头D)，最后，再次在垂直方向上改变反射镜角度，以使光束位置移动到目标输出端口22的中心(参考箭头E)。
相反地，当将光束位置从左阵列的任意一个输出端口22改变为右阵列的任意一个输出端口时，控制装置50首先在垂直方向上改变反射镜角度，以使光束位置在垂直方向上朝着相邻端口22移动，此后按照与上面的描述相同的方式重复光束位置在水平方向和垂直方向上的移动。当MEMS反射镜4是双侧摆动型时，可以很容易地实现这种方式。
(A2)第二变型例
如图9(B)所示，当MEMS反射镜4是单侧摆动型MEMS反射镜(其中仅可在波长分光方向上向右或向左改变反射镜角度)时，一个输入端口21和九个输出端口22(22a至22i)，总计十个，排列成两个阵列。在这种情况下，与参考图6和7所描述的示例相同，根据设计衰减水平以及容许串扰水平来设计各个阵列中的输出端口22之间的距离以及阵列之间的距离。
如图9(A)所示，当希望把照射在左阵列第一行的输出端口22e上的反射光束照射到右阵列的第四输出端口22c上时，控制装置50在垂直方向上改变相应MEMS反射镜4的反射镜角度，以把照射在输出端口22e上的反射光束的光束位置导向相邻输出端口22f(左阵列的第二输出端口)，并且同样使光束位置线性地移动到光束对于相邻输出端口22f的泄漏不超过容许串扰水平的范围内的位置上(参考箭头A)。
控制装置50接下来在水平方向上改变MEMS反射镜4的反射镜角度，以使反射光束的入射位置线性地移动到光隔离区域11中的位置上(参考箭头B)，并且在垂直方向上改变反射镜角度，以使光束的入射位置朝着目标输出端口22c线性移动(参考箭头C)。更详细的，当把光束位置移动到右阵列的第三与第四输出端口22b与22c之间的位置时，控制装置50使光束位置移动至光隔离区域11中的与光束对于与目标输出端口22c相邻的输出端口22b的泄漏不超过容许串扰水平的位置(箭头E的开始)相对应的位置上。
控制装置50再次在水平方向上(与第一次改变的水平方向相同的方向)改变反射镜角度，以使光束位置线性地移动到与目标输出端口22c的中心相对应的位置上(参考箭头D)，最后，再次在垂直方向上改变反射镜角度，以使光束位置移动到目标输出端口22c的中心(参考箭头E)。
(A3)第三变型例
在上述实施例和变型例中，控制装置50通过一次在水平方向上改变反射镜角度，使光束位置从光束所移开的输出端口22移动到光隔离区域11中，或者使光束位置从光隔离区域11移动到目标输出端口22。然而，如图10所示，反射镜角度每次的变化量可以很微小，并且光束每次的移动量可以很微小，并且可以多次交替地在垂直和水平方向上改变MEMS反射镜4的反射镜角度，由此在从起始输出端口22a至光隔离区域11的过程中或者在从光隔离区域11至目标输出端口22c的过程中，逐步移动光束位置。
与参考图2、图8或图9所述的方式来执行控制的情况相比，这样可进一步缩短端口之间的间距。因此，可进一步减小光开关10的规模。在该变型例中，当开始进行切换时，在第一步骤中首先在与波长分光方向相垂直的方向上移动反射光束，并且同样在结束切换时，在最后步骤中首先在与波长分光方向相垂直的方向上移动反射光束。
(A4)第四变型例
根据参考图17所述的透过波段特性中的凸起高度的容许量(旁带中的凸起量)，可以首先在水平方向上变化反射镜角度，以使光束位置在水平方向上移动，如图11所示。例如，当容许凸起量达到5dB时，控制装置50可以首先在凸起量不超过5dB的范围内在水平方向上移动光束位置。此后，与图10所示的示例相同，控制装置50使光束位置交替地在垂直和水平方向上移动，由此使光束位置通过光隔离区域11移动到目标输出端口22c。
(A5)第五变型例
在上述示例中，当开始或者最终在垂直方向上移动光束位置时，光束位置朝着相邻输出端口22移动(例如图2中向着纸面下方)。或者，控制装置50可以控制相应MEMS反射镜5的角度，以使光束位置按照图12所示的方式移动。
如图12所示，当希望把照射在输出端口22a上的光束照射到输出端口22c上时，控制装置50首先在光束对于输入端口21的泄漏低于容许串扰水平的范围内、在与相邻输出端口22相对的方向上(朝着图12中的输入端口21)移动光束位置(参考箭头A)，以使光束线性地移动到光隔离区域11中(参考箭头B)，此后使光束位置在光隔离区域11中朝着目标输出端口22c线性移动，直到光束位置通过目标输出端口22c(参考箭头C)，最后在与第一垂直操作相同的垂直方向上把光束导向目标输出端口22c的中心(参考箭头D和E)。例如，当在位于两端的输出端口22之间执行切换时，这种控制是有效的。
值得注意的是，本发明并不局限于上述实施例和变型例，而是当然可以在不脱离本发明范围的情况下以多种方式进行改进。
在上述示例中，在光束位置的初期或最终移动过程中，在与波长分光方向(MEMS反射镜4的排列方向)相垂直的方向(端口的排列方向)上移动MEMS反射镜4的反射镜角度，以使光束位置在垂直方向上移动。然而，也可以在除波长分光方向之外的方向上移动光束位置，这可以在某种程度上使透过波段特性变得平坦。
考虑到变型例的所有上述实施例，优选的是，包括用于对输入光束进行分光的波长分光光学元件1以及至少两个输出端口22、并且能够在上述两个输出端口之间切换要输出由偏转装置4进行分光后的光束的端口22的光开关10执行包括下列步骤的处理：第一步骤，当把反射光束导向至少切换起始或切换目标输出端口22的相邻区域(参考图2和图6至12中虚线所示的圆圈)时，在与波长分光方向相垂直的方向上移动反射光束；以及第二步骤，在所述邻近区域之外的区域中、在波长分光方向上移动反射光束。
通过包括该第一步骤，可减小如上所述的在切换输出端口时产生的衍射的不利影响，即使很少。

Claims (3)

1.一种光开关，其包括：
波长空间分光光学元件(1)，用于根据波长对波长复用光束进行空间分光；
多个输出端口(22)；
多个反射镜(4)，所述波长空间分光光学元件(1)所分光的光束照射在所述多个反射镜上，各个反射镜能够通过相对于与所述波长空间分光光学元件(1)的分光方向平行的方向或与所述分光方向垂直的方向改变该反射镜的反射面的角度，而把反射光束导向所述多个输出端口(22)中的任意一个输出端口(22)；以及
控制装置(5)，用于在将照射在所述多个输出端口(22)中的任意一个输出端口(22)上的反射光束的入射部位改变为与该任意一个输出端口(22)不相邻的另一输出端口时，通过在与所述分光方向垂直的方向上改变所述多个反射镜(4)中的相应反射镜(4)的反射面的角度来衰减所述反射光束的输出功率，并用于在进行所述衰减之后，控制所述相应反射镜(4)的反射面的角度，使得所述反射面绕过与所述任意一个输出端口相邻的输出端口而将所述反射光引导至所述另一输出端口。
2.一种光开关(10)中的控制方法，所述光开关(10)包括：波长空间分光光学元件(1)，用于根据波长对波长复用光束进行空间分光；多个输出端口(22)；以及多个反射镜(4)，所述波长空间分光光学元件(1)所分光的光束照射在这多个反射镜上，各个反射镜能够通过相对于与所述波长空间分光光学元件(1)的分光方向平行的方向或与所述分光方向垂直的方向改变该反射镜的反射面的角度，而将反射光束导向所述多个输出端口(22)中的任意一个输出端口(22)，所述控制方法包括以下步骤：
衰减步骤，当将照射在所述多个输出端口(22)中的任意一个输出端口(22)上的反射光束的入射部位改变为与该任意一个输出端口(22)不相邻的另一输出端口时，通过在与所述分光方向垂直的方向上改变所述多个反射镜(4)中的相应的反射镜(4)的反射面的角度，来衰减所述反射光束的输出功率；以及
控制步骤，在所述衰减步骤中进行衰减之后，控制所述相应的反射镜(4)的反射面的角度，使得所述反射面绕过与所述任意一个输出端口相邻的输出端口而将所述反射光束引导至所述另一输出端口。
3.一种光开关，其包括：
波长空间分光光学元件(1)，用于根据波长对波长复用光束进行空间分光；
多个输出端口(22)；以及
多个反射镜(4)，所述波长空间分光光学元件(1)所分光的光束照射在所述多个反射镜上，各个反射镜能够通过相对于与所述波长空间分光光学元件(1)的分光方向平行的方向或与所述分光方向垂直的方向改变该反射镜的反射面的角度，而将反射光束导向所述多个输出端口(22)中的任意一个输出端口，
控制单元(5)，用于在将照射到第一输出端口的反射光束的入射部位改变为从第一输出端口切换且与该第一输出端口不相邻的第二输出端口时，通过在与所述分光方向垂直的方向上改变所述多个反射镜(4)中的相应反射镜(4)的反射面的角度，控制为使得所述反射光束接近所述第二输出端口以外的与所述第一输出端口相邻的其他输出端口，来衰减所述反射光束的输出功率，并在进行所述衰减之后控制所述相应反射镜(4)的反射面的角度，使得所述反射面将所述反射光束引导至所述第二输出端口。
CN2007101465701A 2004-12-27 2005-04-19 光开关以及用于控制光开关的方法 Expired - Fee Related CN101101358B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004-376932 2004-12-27
JP2004376932A JP4528112B2 (ja) 2004-12-27 2004-12-27 光スイッチ並びに光スイッチの制御装置及び制御方法
JP2004376932 2004-12-27

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2005100666329A Division CN1797062B (zh) 2004-12-27 2005-04-19 光开关以及用于控制光开关的装置和方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN101101358A CN101101358A (zh) 2008-01-09
CN101101358B true CN101101358B (zh) 2010-06-09

Family

ID=34934694

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2007101465701A Expired - Fee Related CN101101358B (zh) 2004-12-27 2005-04-19 光开关以及用于控制光开关的方法
CN2005100666329A Expired - Fee Related CN1797062B (zh) 2004-12-27 2005-04-19 光开关以及用于控制光开关的装置和方法

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2005100666329A Expired - Fee Related CN1797062B (zh) 2004-12-27 2005-04-19 光开关以及用于控制光开关的装置和方法

Country Status (5)

Country Link
US (1) US7447399B2 (zh)
EP (1) EP1674906B1 (zh)
JP (1) JP4528112B2 (zh)
CN (2) CN101101358B (zh)
DE (1) DE602005012787D1 (zh)

Families Citing this family (36)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2864258B1 (fr) * 2003-12-23 2006-02-17 Commissariat Energie Atomique Commutateur optique simplifie
US7346234B2 (en) * 2005-04-11 2008-03-18 Capella Photonics Reduction of MEMS mirror edge diffraction in a wavelength selective switch using servo-based multi-axes rotation
US7362930B2 (en) * 2005-04-11 2008-04-22 Capella Photonics Reduction of MEMS mirror edge diffraction in a wavelength selective switch using servo-based rotation about multiple non-orthogonal axes
US7756368B2 (en) * 2005-04-11 2010-07-13 Capella Photonics, Inc. Flex spectrum WSS
US7539371B2 (en) 2005-04-11 2009-05-26 Capella Photonics, Inc. Optical apparatus with reduced effect of mirror edge diffraction
US7352927B2 (en) * 2005-04-11 2008-04-01 Capella Photonics Optical add-drop multiplexer architecture with reduced effect of mirror edge diffraction
US7567756B2 (en) * 2005-08-03 2009-07-28 Capella Photonics Method of automatic adjustment of dither amplitude of MEMS mirror arrays
EP1932033B1 (en) * 2005-09-08 2014-08-06 Finisar Corporation Optical wavelength selective router
FR2905771B1 (fr) * 2006-09-12 2008-11-28 Alcatel Sa Module de commutation de longueurs d'ondes optiques
JP4651635B2 (ja) * 2007-03-29 2011-03-16 富士通株式会社 波長選択スイッチ
JP2009047917A (ja) * 2007-08-20 2009-03-05 Fujitsu Ltd 光波長選択スイッチおよび制御方法
WO2009122516A1 (ja) * 2008-03-31 2009-10-08 富士通株式会社 ミラー装置，光スイッチ，光ノード装置およびミラーデバイスの制御方法
JP5040842B2 (ja) * 2008-07-24 2012-10-03 富士通株式会社 波長選択スイッチ
JP5151794B2 (ja) * 2008-08-08 2013-02-27 富士通株式会社 光モジュール、光モジュールの光制御方法、光スイッチおよび光スイッチ方法
JP2010139854A (ja) * 2008-12-12 2010-06-24 Fujitsu Ltd 波長多重伝送装置及び波長多重伝送方法
JP2011185971A (ja) * 2010-03-04 2011-09-22 Olympus Corp 波長選択スイッチ
JP5563855B2 (ja) * 2010-03-19 2014-07-30 ジェイディーエス ユニフェイズ コーポレーション 波長選択スイッチ
JP5537260B2 (ja) * 2010-05-25 2014-07-02 ジェイディーエス ユニフェイズ コーポレーション 波長選択スイッチ
US8315490B1 (en) * 2010-06-22 2012-11-20 Capella Photonics, Inc. Port array topology for high port count wavelength selective switch
US9097580B2 (en) * 2010-07-26 2015-08-04 Ii-Vi Incorporated Multiport tunable optical filters
CN101995657A (zh) * 2010-09-15 2011-03-30 华为技术有限公司 一种光开关的方法及一种光开关
JP5341867B2 (ja) * 2010-11-24 2013-11-13 日本電信電話株式会社 波長選択スイッチとその制御方法
CN102135647A (zh) * 2011-02-21 2011-07-27 华为技术有限公司 光开关***和信号光的反馈控制方法
US9235006B2 (en) * 2011-05-06 2016-01-12 Finisar Corporation Optical channel monitor
US8643925B2 (en) * 2011-05-12 2014-02-04 Verizon Patent And Licensing Inc. Variable dispersion compensator
JP5827411B2 (ja) * 2012-08-30 2015-12-02 日本電信電話株式会社 光スイッチ
US20160154183A1 (en) * 2013-06-27 2016-06-02 Oplink Communications, Inc. Mems optical switch
WO2014205729A1 (en) * 2013-06-27 2014-12-31 Oplink Communications, Inc. Mems fiber optical switch
CN103558667B (zh) * 2013-11-19 2016-04-13 武汉光迅科技股份有限公司 一种基于自由空间传输的多播交换光开关
WO2016060594A1 (en) * 2014-10-13 2016-04-21 Telefonaktiebolaget L M Ericsson (Publ) An optical wavelength selective switch, an optical network node, an optical network and methods therein
CN108345068B (zh) * 2017-01-25 2020-01-17 华为技术有限公司 光开关和光交换***
CN108319033A (zh) * 2018-01-23 2018-07-24 武汉维莱特光电技术有限公司 一种阵列式光纤准直器
US11693187B2 (en) * 2020-02-14 2023-07-04 Google Llc Multi-axis MEMS mirror parking
US20230213868A1 (en) * 2020-06-23 2023-07-06 Asml Holding N.V. Lithographic apparatus, metrology systems, illumination switches and methods thereof
US11906823B2 (en) * 2021-04-20 2024-02-20 Ii-Vi Delaware, Inc. Reconfigurable port arrays for wavelength selectable switch
CN116184653B (zh) * 2023-04-24 2023-06-30 深圳市致尚科技股份有限公司 基于微透镜阵列mems光开关的切换方法、设备及介质

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6501877B1 (en) * 1999-11-16 2002-12-31 Network Photonics, Inc. Wavelength router
US6415073B1 (en) * 2000-04-10 2002-07-02 Lightchip, Inc. Wavelength division multiplexing/demultiplexing devices employing patterned optical components
AU2001292895A1 (en) * 2000-09-22 2002-04-02 Movaz Networks, Inc. Variable transmission multi-channel optical switch
US6430328B1 (en) * 2000-10-13 2002-08-06 William H. Culver Optical switch
US6707959B2 (en) * 2001-07-12 2004-03-16 Jds Uniphase Inc. Wavelength switch
US6965710B2 (en) * 2001-09-18 2005-11-15 Hitachi Metals, Ltd. Optical switch and its production method, and optical path-switching apparatus comprising optical switch
US7236660B2 (en) * 2002-05-20 2007-06-26 Jds Uniphase Corporation Reconfigurable optical add-drop module, system and method
CN1215348C (zh) * 2002-11-08 2005-08-17 中国科学院上海微***与信息技术研究所 转动竖直镜面微机械光开关及其制造方法

Also Published As

Publication number Publication date
US7447399B2 (en) 2008-11-04
EP1674906B1 (en) 2009-02-18
CN101101358A (zh) 2008-01-09
US20060140536A1 (en) 2006-06-29
EP1674906A1 (en) 2006-06-28
CN1797062A (zh) 2006-07-05
DE602005012787D1 (de) 2009-04-02
CN1797062B (zh) 2010-09-15
JP4528112B2 (ja) 2010-08-18
JP2006184472A (ja) 2006-07-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101101358B (zh) 光开关以及用于控制光开关的方法
US7302134B2 (en) Wavelength selective switch with a 2D arrangement of optical ports
US8437634B2 (en) Wavelength selective optical switch device
EP1445631B1 (en) Optical device with slab waveguide and channel waveguides on substrate
JP2009511955A (ja) 波長選択スイッチ及び変調器のための方法及び装置
JP5040842B2 (ja) 波長選択スイッチ
US7016098B2 (en) Optical device with configurable channel allocation
JP6019466B2 (ja) 波長選択光スイッチ装置
KR20040036929A (ko) 인터리브된 채널들을 갖는 자유공간 파장 라우팅 시스템
CN111399291A (zh) 用于波长选择开关中双功能光束指向控制的硅上液晶元件
US20110318006A1 (en) Multiple input/output wavelength selective switch device
EP1582895B1 (en) Tunable dispersion compensator
JP5015881B2 (ja) 可変分散補償器
US20130070337A1 (en) Optical processing device
US6867920B2 (en) Optical beam-steering switching system having beam coupling control
TW201836296A (zh) 多通道分波多工/解多工裝置
WO2023017563A1 (ja) 光マルチプレクサ
US6947204B2 (en) Compact wavelength selective switching and/or routing system
EP2570829B1 (en) Optical processing device
JP6225075B2 (ja) 波長選択スイッチ
US7924505B1 (en) Free-space hitlessly switchable optical interleaver
WO2005006044A1 (en) Optical multiplexer/demultiplexer and channel equaliser
JPH03208012A (ja) 光信号伝達方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20100609

Termination date: 20180419

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee