CN101037031B - 薄膜粘贴方法及其装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及将叠层着支撑薄膜和粘着性薄膜的叠层薄膜中的前端部以使该粘着性薄膜成为基板侧的方式，临时安装在基板中的至少一方的主面的前端部，对基板和叠层薄膜进行加压，进行粘贴的薄膜粘贴方法及其装置。在本发明中，在临时安装部(10)，在将从薄膜供给辊(15)放出的叠层薄膜(3)临时安装到基板(2)后，在以基板(2)的前端部为最前排，使基板(2)和叠层薄膜(3)向进行加压并进行粘贴的正式粘贴部(50)侧移动时，通过位于从基板(2)的主面离开的位置的导辊(13)，以使叠层薄膜(3)不与基板(2)接触的方式，向基板(2)侧供给叠层薄膜(3)，在叠层薄膜(3)成为粘贴到基板(2)上的所希望的长度时，切断叠层薄膜(3)，在正式粘贴部(50)中进行被切断的所希望的长度的叠层薄膜(3)的粘贴。根据本发明，即使使用具有柔软性的薄膜，也不会产生以切断薄膜时的薄膜的伸缩为起因的皱摺，不会在基板和所粘贴的薄膜之间产生气泡。

Description

薄膜粘贴方法及其装置

技术领域

本发明涉及将叠层着支撑薄膜和粘着性薄膜的叠层薄膜中的前端部以使该粘着性薄膜成为该基板侧的方式，临时安装在该基板中的至少一方的主面的前端部，对该基板和该叠层薄膜进行加压，进行粘贴的薄膜粘贴方法及其装置。

背景技术

在印刷配线用的图案基板上粘贴含有感光性树脂层的薄膜，施行曝光处理等，得到所希望的印刷配线基板，在这样的情况下等，作为将薄膜粘贴到基板上的以往的技术，有特开2000-71332号公报(专利文献1)所公开的技术。

在该以往的技术中，将从薄膜供给辊放出的薄膜的前端部临时安装到基板，一面从薄膜供给辊放出薄膜，一面使之与基板一起通过一对加压辊之间，在该通过中，将薄膜加压到基板上，进行薄膜的粘贴。

在该加压粘贴中，向基板上供给薄膜，在成为所希望的长度时，切断薄膜，保持薄膜的后端部，向基板侧供给，从薄膜的前端至后端，与基板一起，通过加压辊的旋转，一面运送，一面进行加压粘合。

发明内容

在粘贴薄膜的基板的表面上有凹凸，通过凹凸形成的图案复杂，为了进行曝光处理等，要求粘贴薄膜后的基板表面的平坦性，在这种情况下，作为薄膜，使用柔软性高的薄膜，通过将薄膜埋入凹凸，来应对平坦性。

虽然在从薄膜供给辊放出，向基板侧供给时，使张力调节辊处于从薄膜供给辊到加压辊之间，对薄膜施加适当的张力，使加压·粘贴后的加工质量完美，但是，柔软性高的薄膜存在因张力而延伸的倾向。

因为若在加压辊的通过中，薄膜被切断，则施加在薄膜上的张力被释放，所以薄膜收缩，由于该伸缩动作的反作用，在所粘贴的薄膜的后半部产生了皱摺。因为柔软性高的薄膜即使在常温(20℃前后)下，通过略微的按压，也会粘贴在基板上，所以若在产生了皱摺的状态下，通过加压辊，则空气进入皱摺的部位，成为气泡，成为了曝光处理等的妨碍。

因此，本发明的目的在于提供一种即使使用具有柔软性的薄膜，也不会产生以切断薄膜时的薄膜的伸缩为起因的皱摺，不会在基板和所粘贴的薄膜之间产生气泡的薄膜粘贴方法及其装置。

为了达成上述目的，本发明方法的特征在于是一种薄膜粘贴方法，该薄膜粘贴方法是在临时安装部中，将叠层着支撑薄膜和粘着性薄膜的叠层薄膜中的前端部以使该粘着性薄膜成为该基板侧的方式，临时安装在该基板中的至少一方的主面的前端部上，在正式粘贴部中，对该基板和该叠层薄膜进行加压，进行粘贴，在该临时安装部中，在将从薄膜供给辊放出的该叠层薄膜临时安装到该基板后，在以该基板的该前端部为最前排，使该基板和该叠层薄膜向进行加压并进行粘贴的该正式粘贴部侧移动时，通过位于从该基板的该主面离开的位置的导辊，以使该叠层薄膜不与该基板接触的方式，向该基板侧供给该叠层薄膜，在该叠层薄膜成为粘贴到该基板上的所希望的长度时，切断该叠层薄膜，在该正式粘贴部中进行被切断的所希望的长度的叠层薄膜的粘贴。

另外，为了达成上述目的，本发明装置的特征在于是一种薄膜粘贴装置，该薄膜粘贴装置是在临时安装部中，将叠层着支撑薄膜和粘着性薄膜的叠层薄膜中的前端部以使该粘着性薄膜成为该基板侧的方式，临时安装在该基板中的至少一方的主面的前端部上，在正式粘贴部中，对该基板和该叠层薄膜进行加压，进行粘贴，在该临时安装部和该正式粘贴部之间具有基板夹持机构和导辊，该基板夹持机构将从薄膜供给辊放出的、前端部临时安装到该基板的前端部的该叠层薄膜与该基板一起，以它们的该前端部为最前排，向该正式粘贴部侧运送；该导辊在该基板向该正式粘贴部侧移动时，位于从该基板的运送路面上的该基板的该主面离开的位置，以使该叠层薄膜不与该基板接触的方式，向该基板侧供给该叠层薄膜；再有，该临时安装部在该叠层薄膜成为粘贴到该基板上的所希望的长度时，具有切断该叠层薄膜的刀具，在该正式粘贴部中，进行被切断的所希望的长度的叠层薄膜的粘贴。

根据本发明，因为在正式粘贴部对基板和叠层薄膜加压，进行粘贴之前，叠层薄膜被切断为所希望的长度，在切断叠层薄膜时，作用于叠层薄膜的张力基本不存在，所以不会产生皱摺，通过切断而成为所希望的长度的叠层薄膜仅将前端部临时安装到基板上，剩余的区域在自由状态下与基板相对(正对)。因此，即使是在正式粘贴部加压进行粘贴，叠层薄膜也不会在其与基板之间产生气泡。

附图说明

图1是表示成为本发明的一个实施方式的薄膜粘贴装置的整体构造的示意图。

图2是表示在图1的薄膜粘贴装置中的临时安装部的图。

图3是表示在图2的临时安装部中的基板夹持机构的图。

图4是表示在图1的薄膜粘贴装置中的正式粘贴部的图。

图5是说明在图2的临时安装部中的准备处理的图。

图6是说明在图2的临时安装部中的临时安装处理的图。

图7是说明在图2的临时安装部中的基板夹持处理的图。

图8是说明在图2的临时安装部中的基板运送处理的图。

图9是说明在图2的临时安装部中的薄膜后端部处理的图。

符号说明

1…薄膜粘贴装置

2、2A、2B…基板

3…叠层薄膜

10…临时安装部

11…运送辊

12…夹紧辊

13…导辊

14…架台

15…薄膜供给辊

16…薄膜送出辊

17…剥离部件

18…卷取辊

19…张力调节辊

21…旋转刀具

22…支撑台

23…临时安装部件

24…卷绕用保持部件

25…后端保持部件

30…基板夹持机构

50…正式粘贴部

具体实施方式

下面，对图中所示的本发明的一个实施方式进行说明。

图1表示成为本发明的一个实施方式的薄膜粘贴装置1，由具有临时安装构件的临时安装部10和具有正式粘贴构件的正式粘贴部50构成。图中的单点划线是将基板2从图中左侧的上游侧向右侧的下游侧运送的运送路的路面，该运送路由后述的临时安装部10中的运送辊11或正式粘贴部50中的运送薄膜61构成。

将运送路面中的从上游侧向下游侧的基板2的移动方向作为运送方向，另外，将与该运送方向正交的水平的方向作为宽度方向。还有，62是保护薄膜。

基板2的一个例子是印刷配线用的图案基板，在临时安装部10中，将含有感光性树脂层的叠层薄膜3的前端部临时安装在基板2的上下各面，得到该叠层薄膜3被切断为与基板2相配合的所希望的长度的基板2A，并向正式粘贴部50运送，在正式粘贴部50中，将基板2A中的叠层薄膜3全面地粘合到基板1，得到基板2B。将基板2B进一步向下游侧的曝光装置等运送，实施必要的处理。

下面，对临时安装部10和正式粘贴部50的构成进行详细说明。另外，在全部的图中，为了避免说明的重复，对相同的物品标注相同的符号。

图2表示临时安装部10。

在图2中，12是从上下把持基板2，通过旋转，将基板向下游运送的夹紧辊，13是叠层薄膜3的导辊，在运送路面的上下各设置一个，即使最接近单点划线所示的运送路面，也不会与基板2的上下各面接触。

叠层薄膜3从设置在架台14的上下的各薄膜供给辊15分别被放出。从各薄膜供给辊15分别被放出的叠层薄膜3作为一个例子，是以感光性树脂层(感光性树脂)为中心，在前后各面设置透光性的支撑薄膜和保护薄膜的3层的叠层构成，通过薄膜送出辊16，从各薄膜供给辊15拉出并放出。在各薄膜供给辊15中，叠层薄膜3以将透光性支撑薄膜作为外侧，将保护薄膜作为内侧的方式被卷入。

薄膜送出辊16的叠层薄膜3的放出速度(移动速度)由于后述的伺服马达(图7所示的伺服马达20)，比运送路面上的基板2的运送速度要快一些。

三层的叠层薄膜3在剥离部件17中，其保护薄膜被剥离，被卷取在卷取辊18上。据此，叠层薄膜3在剥离部件17的下游成为感光性树脂层和透光性支撑薄膜的两层叠层构成。

19是在运送路面的方向移动或反向移动，调整施加在两层的叠层薄膜3上的张力的张力调节辊。

21是切断叠层薄膜的旋转刀具，22是旋转刀具21的支撑台，23是保持由旋转刀具21切断的叠层薄膜的前端，并临时安装到基板2上的临时安装部件，24是将叠层薄膜的前端卷绕到临时安装部件23上的卷绕用保持部件，25是保持由旋转刀具21切断的叠层薄膜的后端，并向基板2运送的后端保持部件。

临时安装部件23、卷绕用保持部件24、后端保持部件25在与叠层薄膜接触的面上具有与未图示出的真空源连通的多个吸附孔，通过连通的开闭，吸附或放开叠层薄膜3。另外，在临时安装部件23的运送路面侧的前端部内置着加热器，对所吸附的叠层薄膜3进行加热，提高感光性树脂层的粘着性。

27是使上下的临时安装部件23同时向基板2移动的驱动机构，虽然旋转刀具21-后端保持部件25等的动作在后面将详细说明，但省略这些驱动机构的图示。28是小口径的导辊。

30是基板夹持机构，通过图3进行详细说明。

在图3(a)中，31是长度方向与运送方向一致的环形皮带，能够通过伺服马达32的正反各旋转，向朝向下游的运送方向和朝向上游的相反方向移动。在环形皮带31上固定着臂33，在臂33上，上下地设置着一对基板夹持器34。

各基板夹持器34其长度方向与运送方向一致，通过上游侧的前端部把持基板2(2A)的前端。因此，臂33其基板夹持器34相互接近，内置着用于把持基板2(2A)的前端的空气缸。另外，臂33也内置着用于使臂33本身上下移动的空气缸。因为是通过使臂33动作的空气缸，使由把持基板2(2A)的前端的空气缸所把持的基板2(2A)向上方移动，所以基板2A成为其前端部从运送路面向上方浮起的状态。

如图3(b)所示，运送辊11在配置着基板夹持机构30的部位中，以在宽度方向也在内部配置各一对基板夹持器34的方式，在宽度方向被一分为三。在宽度方向被一分为三的运送辊11用11A-11C表示。

各运送辊11A-11C同步旋转，使基板2A不会相对于运送方向倾斜。在宽度方向配置的各一对基板夹持器34都是通过臂33固定在环形皮带31上，在通过环形皮带31的旋转向下游侧移动时，同步向运送方向移动，使基板2A不会向运送方向倾斜。

接着，通过图4，就正式粘贴部50进行说明。

在架台51上设置着由下腔52和上腔57构成的、二分割构成的真空腔，下腔52在底部内置着液压装置53。液压装置53使滑块54上下运动，在其上端部保持着下压板55。

下压板55的上面为水平面，内部具有未图示出的加热器。上腔57通过未图示出的驱动机构上下，侧壁部57a与下腔52的侧壁部52a成为一体，形成气密空间，内部通过与真空源连通而被减压。

上腔57在盖部保持着上压板58，上压板58的下面为水平面。

63、64分别是将轴固定于架台51上的运送薄膜61的供给辊和卷绕辊，65、66分别是将轴固定于架台51上的保护薄膜62的供给辊和卷绕辊。

因为卷绕辊64、66通过未图示出的扭矩马达，总是向卷取各薄膜61、62的方向施加张力，所以若供给辊63、65的未图示出的制动器被解除，则运送薄膜61和保护薄膜62被同步放出，在运送方向移动。另外，其运送速度与临时安装部10中的运送辊11进行的基板2的运送速度一致。

70是基板取出装置，上下的各臂71在上游侧的端部分别具有薄膜夹持器72，在下游侧的端部具有薄膜引导器73。

另外，74、75分别是运送薄膜61和保护薄膜62的方向转换辊。

上下的各臂71内置着使上游侧端部的薄膜夹持器72接近或离开的空气缸，通过未图示出的驱动机构，与运送路面平行地向下游或上游移动。在其移动时的薄膜夹持器72的动作在后面叙述。

运送薄膜61和保护薄膜62在方向转换辊74、75中转换方向，水平地相对，使上下的两腔52、57的中央沿运送方向延伸，在薄膜引导器73中再次转换方向，被卷取在卷取辊64、66上。两薄膜61、62的宽度比基板2(2A、2B)的宽度宽。另外，保护薄膜62使上压板58的下面不会因基板2A而污浊，同时保护基板2A。

基板2A通过上游的临时安装部10中的基板夹持机构30和运送辊11，被供给到运送薄膜61和保护薄膜62之间，向打开的上下两腔52、57的中央运送，在关闭上下两腔52、57，气密空间处于减压下，上压板58下降，借助运送薄膜61和保护薄膜62进行正式粘贴，将临时安装的叠层薄膜3粘贴到基板2A上，作为基板2B，向下游运送。在正式粘贴中，加热各压板55、58的内置加热器，通过提高感光性树脂层的粘着性和进行加压，来进行切实的粘贴。

接着，对从将叠层薄膜3临时安装到基板2上后进行正式粘贴开始，到送至下游的处理装置为止的薄膜粘贴装置1中的一系列动作进行说明。另外，在与运送路面相比的下侧，针对叠层薄膜3的处理与上侧的叠层薄膜3的处理相同，下面的各图是为了便于理解，将图放大，以上侧的叠层薄膜3为中心进行表示。

首先，通过图5，就准备处理进行说明。

拉出卷绕在薄膜供给辊15上的三层构成的叠层薄膜3，经过薄膜送出辊16，在剥离部件17中剥离保护薄膜，剥离掉的保护薄膜卷绕在保护薄膜的卷取辊18上，未加改变地放置在薄膜供给辊15的上部。

保护薄膜的卷取辊18在从薄膜供给辊15拉出叠层薄膜3时，向与薄膜供给辊15相反的方向旋转，卷取保护薄膜。

保护薄膜被剥离成为了两层构成的叠层薄膜3，其透光性支撑薄膜成为了张力调节辊19侧，经过该张力调节辊19，进而经过临时安装部件23和卷绕用保持部件24，通过旋转刀具21和其支撑台22之间。

使旋转刀具21旋转，切断叠层薄膜3，废弃位于运送路面侧的、切断的叠层薄膜3的上游侧部分(图5表示进行切断并废弃了前端部的状况)。

通过卷绕用保持部件24，吸引吸附所切断的下游侧前端部，使之向下游侧移动，卷绕在临时安装部件23的运送路面侧的前端部。另外，在旋转刀具21中所切断的叠层薄膜的下游侧前端部成为粘贴到基板2上的叠层薄膜的前端部。

临时安装部件23通过吸引吸附来保持被卷绕的叠层薄膜3，因为在临时安装部件23的前端部内置着加热器，所以叠层薄膜3的感光性树脂层被加热，粘性提高。

与卷绕用保持部件24向下游侧的移动相配合，支撑台22、导辊28一起移动，位于不成为后述的临时安装部件23向运送路面侧移动的障碍的位置。

在临时安装部件23的运送路面侧的前端部吸附保持叠层薄膜3的前端部时，卷绕用保持部件24解除自身的吸附，将叠层薄膜3的前端部转交到临时安装部件23的运送路面侧的前端部。

虽然薄膜送出辊16向将叠层薄膜3从薄膜供给辊15拉出的方向旋转，薄膜供给辊15向卷取叠层薄膜3的方向施加扭矩，但是，通过张力调节辊19在运送路面侧移动，对叠层薄膜3施加微小的张力，该状态为结束了准备处理的待机状态。

在待机状态下，夹紧辊12和导辊13处于放开状态。对于两辊12、13的闭锁，将在后面叙述。后端保持部件25与导辊13的动作联动，处于从运送路面离开的状态。

若为待机状态，则基板2从上游机被运送。

基板2若被组装在运送辊11之间的未图示出的基板检测传感器检测到前端部，则在与临时安装部件23的前端部相比稍稍下游侧的位置成为基板2的前端的位置，运送被停止。若基板2停止，则夹紧辊12在运送路面侧移动，把持运送方向中的基板2的中央部。

若基板2停止，则进入后面的临时安装处理。

通过图6，说明临时安装处理。

如图6所示，若基板2停止，则通过驱动机构27，临时安装部件23向运送路面侧移动。在临时安装部件23向运送路面侧移动时，薄膜送出辊16以比临时安装部件23向运送路面侧移动的速度快的速度，向将叠层薄膜3从薄膜供给辊15拉出的方向旋转，张力调节辊19随着叠层薄膜3的张力移动，张力基本没有施加到叠层薄膜3上。

若临时安装部件23向运送路面侧移动，保持在前端部的叠层薄膜3的前端部与基板2的前端部所希望的位置接触，则在一定时间维持该状态，通过叠层薄膜3中的感光性树脂层的粘着性，将叠层薄膜3的前端部临时安装到基板2的前端部。临时安装有叠层薄膜3的前端部的基板2用基板2A表示。

在一定时间后，如图7(a)所示，临时安装部件23解除叠层薄膜3的吸附保持，通过驱动机构27离开运送路面，回复到原来的位置。另外，20是驱动薄膜送出辊16的伺服马达。

若临时安装部件23通过驱动机构27回复到原来的位置，则大口径的导辊13从点线所示的放开位置移动到剖面所示的闭锁位置。闭锁位置在与放开位置相比的上游侧成为运送路面侧，但是，不存在导辊13与基板2的上下各主面接触的情况，而是如图7(b)放大地表示的那样，虽然叠层薄膜3与导辊13的外周面接触，但不与基板2A的上下各主面接触，叠层薄膜3除其进行了临时安装的前端部以外的区域，没有粘贴到基板2A的上下各主面上。

与大口径的导辊13向闭锁位置的前进相配合，后端保持部件25和小口径的导辊28前进，接着，准备进行叠层薄膜3的供给。

若大口径的导辊13向闭锁位置前进，则基板夹持机构30的伺服马达32动作，使环形皮带31转动，借助臂33，使各一对的基板夹持器34向上游侧前进，通过内置在臂33内的空气缸，利用各一对的基板夹持器34，把持基板2A的前端部。

在该把持后，通过内置在臂33内的空气缸，各一对的基板夹持器34在把持基板2A的前端部的状态下稍稍上升，成为使基板2A的前端部从由运送辊11构成的运送路面上浮起的状态。

然后，如图8所示，伺服马达32动作，使环形皮带31转动，借助臂33，使各一对的基板夹持器34向下游侧前进，向下游侧运送基板2A。

在该基板运送中，加紧辊12与伺服马达32的动作相配合，向下游运送基板2A，薄膜送出辊16以比基板夹持机构30进行的基板2A的运送速度快一些的速度，将叠层薄膜3从薄膜供给辊15拉出，向基板2A侧供给。

小口径的导辊28与大口径的导辊13相比，稍稍位于上游侧，小口径的导辊28和大口径的导辊13与伴随着基板2A向下游侧的移动(运送)的叠层薄膜3的移动相配合，轻快地旋转，进行叠层薄膜3的顺畅的供给。

因此，在基板夹持机构30进行的基板2A的运送中，张力基本没有施加到叠层薄膜3上。

若在基板夹持机构30进行的基板2A的运送中，支撑台22和卷绕用保持部件24返回到图5所示的叠层薄膜3的切断位置，基板2A和叠层薄膜3向下游侧移动所希望的距离，基板2A的后端部靠近夹紧辊12，则旋转刀具21旋转，切断叠层薄膜3。通过该切断，叠层薄膜3成为粘贴到基板2A上的所希望的长度。

在叠层薄膜3的切断动作之前，临时安装部件23与叠层薄膜3向运送路面侧的移动速度相配合，一面移动，一面开始吸引吸附，吸附保持移动的叠层薄膜3。

后端保持部件25在叠层薄膜3被切断的时刻，吸引吸附并保持叠层薄膜3，大口径导辊的外周部与叠层薄膜3的移动速度相配合，在运送路面侧移动，将叠层薄膜3的后端部运送到基板2A上，在叠层薄膜3覆盖在基板2A上的状态下，解除吸附保持。

因为大口径导辊13离开基板2，所以在大口径导辊13的上游侧形成了大的空间，因此，后端保持部件25能够接近基板2的上下各主面，据此，由于叠层薄膜3的后端部在基板2的各主面的附近，解除了吸附保持，所以叠层薄膜3的后端部正对基板2的各主面，不会散乱。

薄膜送出辊16持续旋转，供给叠层薄膜3，直至旋转刀具21结束对叠层薄膜3的切割，张力基本没有施加到叠层薄膜3上，不会引起因切断而产生的张力的释放而伸缩，在叠层薄膜3上产生皱摺。

大口径导辊13因为稍稍离开基板2A的上下各主面，叠层薄膜3没有被基板2A加压，所以上侧的叠层薄膜3通过后端保持部件25解除吸附保持，成为被覆盖在基板2A的上主面的状态，因为各一对的基板夹持器34在把持基板2A的前端部的状态下稍稍上升，在使基板2A的前端部从由运送辊11构成的运送路面上浮起的状态下，将基板2A运送到下游侧，所以下侧的叠层薄膜3仅仅通过在其运送中，在运送辊11或大口径导辊13上移动过去，即处于稍稍离开基板2A的下主面的状态，没有被加压粘贴。

图9表示后端保持部件25马上要解除叠层薄膜3的吸附保持前的、针对叠层薄膜3的后端部处理的状况。

在基板2A通过了大口径导辊13之间后，大口径导辊13和后端保持部件25向待机位置返回。

同时，因为临时安装部件23向待机位置返回，薄膜送出辊16反转，叠层薄膜3被卷回薄膜供给辊15，叠层薄膜3已经被切断，所以卷绕用保持部件24使叠层薄膜3的前端部卷绕在临时安装部件23中的运送路面侧的前端部上并吸附保持，一直待机，直至下一个基板被运送。

基板夹持机构30中的基板夹持器34解除对基板2A的把持，使基板2A离开的时点是旋转刀具21切断叠层薄膜3，基板夹持机构30把持基板2A，使之在下游侧从临时安装部10向正式粘贴部50侧仅移动基板2A全长的量并且下降，使基板2A的前端部达到运送辊11上的时间。通过该把持的放开，基板2A成为通过运送辊11向下游侧被运送的状态。另外，基板夹持机构30向上游侧行进的时点是临时安装部件23将叠层薄膜3的前端部临时安装在下一个被运送的基板2的前端的时间。

从基板夹持机构30放开并移动到运送辊11上的基板2A通过运送辊11的旋转，被转移放置在正式粘贴部50的运送薄膜61上。即，由于运送薄膜61向下游侧的移动速度与运送辊11的旋转速度一致，基板2A顺畅地转移到运送薄膜61上。

另外，在基板夹持机构30离开基板2A后，向下游侧稍稍移动，使用臂33的内置空气缸下降。在该情况下，基板夹持机构30成为比运送辊11或基板2A低的位置。基板2A逐渐滑过基板夹持机构30的上部。

此后，基板夹持机构30回到待机位置，准备下一个基板2A的把持。

运送薄膜61上的基板2A如图4所示，被设置在因运送薄膜61的移动而打开的上下两腔52、57的上下各压板55、58之间。然后，通过未图示出的驱动机构，上腔57下降，两侧壁部52a、57a对接，形成气密空间，内部通过与真空源连通而被减压。

通过该减压，基板2A和上下的叠层薄膜3之间的空气被排出，滑块54通过液压装置53上升，通过上下各压板55、58，借助运送薄膜61和保护薄膜62，基板2A和上下的叠层薄膜3被加压加热，进行正式粘贴。

因为叠层薄膜3在后端保持部件25解除叠层薄膜3的吸附保持时，处于基本不存在张力的状态，所以上侧的叠层薄膜3仅处于稍许位于基板2A上的状态，不会引起与张力的释放相伴的伸缩。

下侧的叠层薄膜3在从基板夹持机构30放开，移动到运送辊11上时，也不会引起与张力的释放相伴的伸缩，在这种状态下，仅仅是基板2的重量处处稍许施加于上部。

因此，因为在基板2和各叠层薄膜3之间所有的地方都存在间隙，不是处于基板2A的上下两主面存在气泡或皱摺的状况，若向正式粘贴部50移动，则容易地排气，进行正式粘贴处理，所以在正式粘贴后的基板2B上不存在气泡或皱摺。

正式粘贴后的基板2B在气密空间返回到大气压，通过未图示出的驱动机构，上腔57上升，上下两腔52、57被打开时，基板取出装置70的薄膜夹持器72同时把持运送薄膜61和保护薄膜62，向下游侧移动，拉出两薄膜61、62，与其相配合，将两薄膜61、62之间的基板2B拉出到上下两腔52、57外。此时，因为薄膜引导器73也向下游侧移动，所以通过比较图1和图4可以看出，两薄膜61、62的下游侧与薄膜引导器73相比向下游侧突出。

其后，薄膜夹持器72放开对运送薄膜61和保护薄膜62的把持，返回到上游侧，等待下一个基板2A的正式粘贴。此时，薄膜引导器73也一起返回，但因为卷绕辊64、66通过未图示出的扭矩马达，卷取各薄膜61、62，在两薄膜61、62之间的基板2B的下游端露出，所以通过合适的构件，将基板2B转交到下游机。

如上述说明，根据本实施方式，即使使用具有柔软性的叠层薄膜，也不会产生皱摺，能够得到没有混入气泡的基板。

虽然在上述实施方式中，是在基板2的上下两主面粘贴叠层薄膜3，但也可以仅在基板2的上下任意一方的单侧面上粘贴叠层薄膜3。

虽然在图1-图9所示的上述实施方式中，是一面运送·供给叠层薄膜3，一面通过旋转刀具21进行切断(流动切断)，但也可以停止叠层薄膜3的运送·供给，来通过旋转刀具21进行切断。

虽然在图1-图9所示的上述实施方式中，是通过环形皮带来进行基板夹持机构的臂的驱动，但也可以通过螺杆的正反旋转来进行。

Claims (8)

1.一种薄膜粘贴方法，该薄膜粘贴方法是在临时安装部中，将叠层着支撑薄膜和粘着性薄膜的叠层薄膜中的前端部，以使该粘着性薄膜成为基板侧的方式，临时安装在该基板中的至少一方的主面的前端部上，在正式粘贴部中，对该基板和该叠层薄膜进行加压，进行粘贴，其特征在于，

在该临时安装部中，在将从薄膜供给辊放出的该叠层薄膜临时安装到该基板后，在以该基板的该前端部为最前排，使该基板和该叠层薄膜向进行加压并进行粘贴的该正式粘贴部侧移动时，通过位于从该基板的该主面离开的位置的导辊，以使该叠层薄膜不与该基板接触的方式，向该基板侧供给该叠层薄膜，在该叠层薄膜成为粘贴到该基板上的所希望的长度时，切断该叠层薄膜，在该正式粘贴部中进行被切断的所希望的长度的叠层薄膜的粘贴。

2.如权利要求1所述的薄膜粘贴方法，其特征在于，在使该基板向该正式粘贴部侧移动时的、该叠层薄膜向该基板侧的供给速度比该基板向该正式粘贴部侧移动的速度快，使张力基本不施加于该叠层薄膜。

3.如权利要求1所述的薄膜粘贴方法，其特征在于，在将该叠层薄膜粘贴在该基板的下侧主面的情况下，在使该基板向该正式粘贴部侧移动时，以从运送路面上浮起的状态，把持该基板的最前排部。

4.如权利要求1所述的薄膜粘贴方法，其特征在于，在正式粘贴部中，在减压下，对该基板和该叠层薄膜进行加压加热并进行粘贴。

5.如权利要求3所述的薄膜粘贴方法，其特征在于，临时安装了该叠层薄膜的前端部，并且该最前排部已经从运送路面上浮起的该基板在该基板的全长的量从该临时安装部移动到正式粘贴部侧后，该最前排部返回到该运送路面上。

6.一种薄膜粘贴装置，该薄膜粘贴装置是在临时安装部中，将叠层着支撑薄膜和粘着性薄膜的叠层薄膜中的前端部，以使该粘着性薄膜成为基板侧的方式，临时安装在该基板中的至少一方的主面的前端部上，在正式粘贴部中，对该基板和该叠层薄膜进行加压，进行粘贴，其特征在于，

在该临时安装部和该正式粘贴部之间具有基板夹持机构和导辊，

所述基板夹持机构将从薄膜供给辊放出的、前端部临时安装到该基板的前端部的该叠层薄膜与该基板一起，以它们的该前端部为最前排，向该正式粘贴部侧运送；

所述导辊在该基板向该正式粘贴部侧移动时，位于从该基板的运送路面上的该基板的该主面离开的位置，以使该叠层薄膜不与该基板接触的方式，向该基板侧供给该叠层薄膜；

还具有，该临时安装部在该叠层薄膜成为粘贴到该基板上的所希望的长度时，切断该叠层薄膜的刀具，

在该正式粘贴部中，进行被切断的所希望的长度的叠层薄膜的粘贴。

7.如权利要求6所述的薄膜粘贴装置，其特征在于，该基板夹持机构在使该基板向该正式粘贴部侧移动时，是在使该基板的最前排部从该运送路面上浮起的状态下使之移动的。

8.如权利要求6所述的薄膜粘贴装置，其特征在于，该正式粘贴部是在减压下，对该基板和该叠层薄膜进行加压加热并进行粘贴。

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