JP3803820B2 - 積層成形装置 - Google Patents
積層成形装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3803820B2 JP3803820B2 JP2000315118A JP2000315118A JP3803820B2 JP 3803820 B2 JP3803820 B2 JP 3803820B2 JP 2000315118 A JP2000315118 A JP 2000315118A JP 2000315118 A JP2000315118 A JP 2000315118A JP 3803820 B2 JP3803820 B2 JP 3803820B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laminated
- irregularities
- laminate
- flattening
- press machine
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Landscapes
- Press Drives And Press Lines (AREA)
- Lining Or Joining Of Plastics Or The Like (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、積層成形装置および積層成形方法に関し、さらに詳しくは、被積層材と積層材とを積層して表面を平坦に成形する積層成形装置および積層成形方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
被積層材と積層材とを積層するための積層装置に関する従来の技術としては、一般に、少なくとも一対の相対向する熱盤を有するホットプレスが用いられている。熱盤は所定の温度に調節されており、互いに近接遠退するように支持されている。被積層材と積層材とは、所定の温度に調整された熱盤の間に搬入され加圧されることにより積層される。そして、一般的な熱盤は、互いに対向する表面が剛性を有する平面状に形成されている。また、一般的な熱盤は、比較的厚い板状ブロックに形成されており、その対向表面を所定の温度に調節するために内部にヒータが設けられている。
【0003】
また、特公昭59−43311号公報や特公昭61−53925号公報、あるいは特開平11‐129431号公報に開示されているように、ホットプレスとコールドプレスを隣接して設け、積層材と被積層材とをホットプレスにて加熱および圧締(加圧)することにより積層するホットプレス加工を行った後、この積層された積層材と被積層材とをコールドプレスにて圧締しながら冷却して硬化させるコールドプレス加工を行うことが知られている。
【0004】
そして、特公昭59−43311号公報には、処理板(積層材と被積層材)の加熱時間が冷却時間より長い場合加工サイクル短縮のためホットプレスを複数台にし(第1ステージのホットプレスと、第2ステージのホットプレス)コールドプレスを1台にすることが記載されている(第2欄第4行〜同欄第7行)。これらのプレスは、直列に配設される。
【0005】
また、特開平11‐129431号公報には、積層された積層材と被積層材とを、熱変形温度以下に調整された冷却板間により加圧することが開示されている。さらに、当該公報には、連続したフィルム状搬送体上に被積層材を載置して搬送することも開示されている。
【0006】
このように積層材と被積層材とを積層してなる積層品の例としては、絶縁層と、所定の回路を形成するためにパターン化された導体層とを積層してなる配線基板がある。そして、このような配線基板のなかには、複数の絶縁層とパターン化された導電層とを順次積層してなる所謂ビルドアップ基板と呼ばれる積層品も知られている。このような積層品を積層する際には、積層材と被積層材との間にその揮発性成分等の気泡等が残留すると、ボイドが発生する原因となる。発生したボイドは、例えば配線基板において溶融はんだ浴等、後工程における高温処理時に膨張して配線基板を破損させる場合等があり、回路基板の保護不良や絶縁不良、ひいては導電不良等の原因となるおそれがある。そのため、各種積層材と被積層材とを加熱および加圧することにより積層する場合においては、両者の間にボイドを発生させないように、真空雰囲気下で積層することが従来から行われている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように、従来のホットプレスのみを使用して表面が剛性を有する平面状に形成された一般的な熱盤により積層材と被積層材とを積層する場合にあっては、積層品の表面を平坦な表面に成形し得る圧力で加圧するとその加圧により積層品に割れが生じるなどの問題が生じ、また、この割れを回避するために加圧力を弱めると積層材と被積層材とが適切に積層されず表面に凹凸が形成されるなどの問題が生じる。
【0008】
積層品としてビルドアップ基板を構成するために、絶縁層の表面にパターン化された導電層が積層されてなる被積層材の表面に、さらに別の積層材を積層する場合など、多層からなる積層品を積層する場合においては、先の積層工程で積層品の表面が平坦化されておらず凹凸があると、次の積層工程で被積層材としての積層品に積層材を積層するときに、最終的な製品として見栄えが悪いだけでなく、かかる凹凸の周辺に気泡が生じてボイドの発生原因となるなどの問題があった。
【0009】
さらに、従来の一般的な熱盤にあっては、表面が平面状に形成されていても、対向する熱盤の表面が互いに平行であることは保証されておらず、積層品の厚さが部分によって異なるように成形される可能性があるという問題があった。
【0010】
また、従来の一般的な熱盤にあっては、内部にヒータが設けられた熱盤が比較的厚い板状ブロックに形成されているため、熱盤の対向表面の中央には熱が溜まる一方で周縁からは放熱することにより、その対向表面の中央と周縁との温度に差が生じ均一に加熱することができないという問題があった。
【0011】
本発明は、上記従来の課題を優位に解決するためになされたもので、ボイドを発生することなく表面に凹凸を有する被積層材と積層材とを積層することができ、その積層品の表面を平坦に成形することができる積層成形装置および積層成形方法を提供することを目的とする。
さらに、本発明は、積層材と被積層材とを均一な厚さに積層成形することができる積層成形装置を提供することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】
請求項1の積層成形装置に係る発明は、上記目的を達成するため、真空雰囲気下で表面に凹凸を有する被積層材と積層材とを加熱するとともに加圧して、被積層材の凹凸に応じて表面に凹凸を有する積層品を積層する真空ラミネータと、相対向して近接・遠退可能に設けられた熱盤を備えており、前記真空ラミネータで積層された表面に凹凸を有する積層品を該熱盤間において加熱すると共に加圧して平坦に成形する平坦化プレス機と、を有しており、前記平坦化プレス機の熱盤の対向面に緩衝材層を設け、該緩衝材層を介して前記表面に凹凸を有する積層品を加圧するための成形面を構成する弾性変形可能な鏡面板を設けたことを特徴とするものである。
【0013】
請求項2の積層成形装置に係る発明は、上記目的を達成するため、請求項1に記載の発明において、前記平坦化プレス機の熱盤の少なくとも一方は、互いに摺動することによってその成形面が加圧方向に対して角度を変化させることが可能な球面状部材と、前記成形面の加圧方向に対する角度を所定の角度に固定維持する固定機構とが設けられていることを特徴とするものである。
【0014】
請求項3の積層成形方法に係る発明は、上記目的を達成するため、真空ラミネータを使用して、真空雰囲気下で表面に凹凸を有する被積層材と積層材とを加熱するとともに加圧して、被積層材の凹凸に応じて表面に凹凸を有する積層品を積層した後、該表面に凹凸を有する積層品を相対向して近接・遠退可能に設けられた熱盤を有する平坦化プレス機により加熱すると共に加圧して平坦に成形するに際して、前記平坦化プレス機の熱盤の対向面に緩衝材層を設け、該緩衝材層を介して前記表面に凹凸を有する積層品を加圧するための成形面を構成する弾性変形可能な鏡面板を設けて、該鏡面板により前記表面に凹凸を有する積層品を加圧して平坦に成形することを特徴とするものである。
【0015】
請求項4の積層成形方法に係る発明は、上記目的を達成するため、請求項3に記載の発明において、被積層材と積層材とを積層成形して、ビルドアップ基板を成形することを特徴とするものである。
【0016】
請求項1に記載の発明では、真空ラミネータにより真空雰囲気下で表面に凹凸を有する被積層材と積層材とを加熱するとともに加圧して、被積層材の凹凸に応じて表面に凹凸を有する積層品を積層し、前記真空ラミネータで積層された表面に凹凸を有する積層品を平坦化プレス機の熱盤間において加熱すると共に加圧する。このとき、熱盤の対向面に緩衝材層を介して設けられた成形面を構成する弾性変形可能な鏡面板が被積層材と積層材とを加圧するため、真空ラミネータで積層品の表面に形成された凹凸は、適切に平坦に成形される。
【0017】
請求項2に記載の発明では、請求項1に記載の発明において、前記平坦化プレス機の熱盤の成形面が加圧方向に対する角度を変化させることができる状態で熱盤の成形面を互いに衝合させると、球面状部材が互いに摺動し成形面が平行となる。そして、このときの成形面の角度を固定機構によって固定維持する。相対向する熱盤の成形面が平行に固定維持されていることにより、積層品が均一な厚さで積層成形される。
【0018】
請求項3に記載の発明では、真空ラミネータを使用して真空雰囲気下で表面に凹凸を有する被積層材と積層材とを加熱するとともに加圧して、被積層材の凹凸に応じて表面に凹凸を有する積層品を積層した後、該表面に凹凸を有する積層品を相対向して近接・遠退可能に設けられた熱盤を有する平坦化プレス機により加熱すると共に加圧して平坦に成形する。このとき、平坦化プレス機の熱盤の対向面に緩衝材層を設け、該緩衝材層を介して前記表面に凹凸を有する積層品を加圧するための成形面を構成する弾性変形可能な鏡面板を設けて、熱盤の対向面に緩衝材層を介して設けられた成形面を構成する弾性変形可能な鏡面板により積層品を加圧するため、最終的に積層品の表面を適切に平坦に成形することができる。
【0019】
請求項4に記載の発明では、請求項3に記載の発明において、表面に凹凸を有する被積層材と積層材とを積層成形して、表面が平坦なビルドアップ基板を適切に成形することができる。
【0020】
【発明の実施の形態】
本発明の積層成形装置の実施の一形態を図1に基づいて詳細に説明する。同一符号は同一部分または相当部分とする。
【0021】
本発明の積層成形装置は、相対向して配置され互いに近接・遠退可能に設けられた一対からなる熱盤1A・1B、2A・2Bが複数(図1に示した実施の形態では2対)配列されてなり、連続したフィルム状の積層材(5)および搬送体6が、それぞれ供給ロール7、8から両熱盤1Aと1B、および、2Aと2Bの間を通って巻き取りロール9、10に向って延びるよう配置されている。
【0022】
なお、この実施の形態においては、被積層材4が板状に成形されており、積層材(5)が搬送体6と同様に連続したフィルム状支持体5に塗布されている場合で説明するが、被積層材4と略同じ大きさの連続していないものを使用することもできる。また、連続したフィルム状の搬送体6は、所謂離型フィルムやキャリアフィルムと呼ばれているもののほかに、積層材(5)と同様に、積層材(5)が塗布された連続したフィルム状支持体を用いることもできる。被積層材4と積層成形された後の連続した帯状の搬送体6および積層材(5)を支持していたフィルム状支持体5は、巻き取りロール10、9にそれぞれ巻き取られる。
【0023】
供給ロール7、8に隣接する熱盤1A・1B(図1における右方)は、少なくとも一方がこれを昇降移動させることによって他方と互いに相対的に近接遠退するように駆動する昇降駆動手段(図示は省略する)により支持されている。また、かかる熱盤1A・1Bには、図示は省略するが、例えば周囲に密閉された空間を形成する筐体と、この密閉された筐体内を真空引きする吸引手段とを備えるなど、熱板1A・1B間で連続したフィルム状の搬送体6に載置された被積層材4とフィルム状支持体5に支持された積層材(5)を加熱および加圧する際に、真空雰囲気下とするための手段が設けられている。以下、図1の右方に示された熱盤1A・1Bを有する積層装置全体を真空ラミネータ1という。
【0024】
巻き取りロール9、10に隣接する熱盤2A・2B(図1における左方)は、一方(以下、上平坦化熱盤2Aという)がタイバ21ーの一端に固定されている。また、タイバー21の他端に油圧シリンダ22が固定されている。そして、他方の熱盤(以下、下平坦化熱盤2Bという)は、タイバー21の中間部に摺動可能に挿通され、油圧シリンダ22のピストンロッド23の先端に接続されている。油圧シリンダ22のピストンロッド23を伸長退縮駆動させることにより、下平坦化熱盤2Bが上平坦化熱盤2Aに対して近接遠退移動されることになる。以下、図1の左方に示された上下平坦化熱盤2A・2Bを有する成形装置全体を平坦化プレス機2という。
【0025】
さらに、真空ラミネータ1と平坦化プレス機2との間には、被積層材4とフィルム状支持体5に支持された積層材(5)とが積層された積層品4’を支持している連続したフィルム状の搬送体6を図1の矢印Xの方向に送るためのチャック搬送装置25が設けられている。チャック搬送装置25は、連続したフィルム状の搬送体6の側縁の下方に配置された下把持部材25Bと、この下把持部材25Bと対向するように搬送体6の側縁の上方に配置されエアシリンダなどによって下把持部材25Bに対して近接遠退駆動される上把持部材25Aと、を備えてなるもので、真空ラミネータ1と平坦化プレス機2との間で図1の左右方向に移動される。チャック搬送装置25は、真空ラミネータ1に接近した位置で、エアシリンダなどの駆動により上把持部材25Aが下把持部材25Bに対して近接されて、フィルム状の搬送体6の側縁を積層材(5)を支持するフィルム状支持体5と共に把持して、平坦化プレス機2に向かって移動される。これにより、連続したフィルム状の搬送体6に支持された積層品4’は、真空ラミネータ1から平坦化プレス機2へと搬送される。なお、巻き取りロール9、10は、チャック搬送装置25の図1における左方への移動と同期して連続した帯状の搬送体6およびフィルム状支持体5をそれぞれ巻き取るよう回転される。
【0026】
なお、本発明は、この実施の形態に限定されることなく、図2に示すように、供給ロール7、8から巻き取りロール9、10に向って、真空ラミネータ1と、第1平坦化プレス機2と、この第1平坦化プレス機2と同様の平坦化熱盤3A・3Bを有する第2平坦化プレス機3と、を順に直列配置することもできる。この場合にあっては、チャック搬送装置25は、第2平坦化プレス機3の巻き取りロール側9、10に設けられる。また、チャック搬送装置25は、エアシリンダなどの駆動により下把持部材25Bが上把持部材25Aに対して近接遠退駆動されるように構成することもできる。以下の記載では、第2平坦化プレス機3の構成については、第1平坦化プレス機2と同様であるため、その説明は省略する。
【0027】
図3に示すように、平坦化プレス機2の油圧シリンダ22のピストンロッド23の先端には、所定の曲率の凸球面状部材30が設けられており、また、下平坦化熱盤2Bの下面には凸球面状部材30と同じ曲率の凹球面状部材31が設けられている。ピストンロッド23の中心線Cからその外周縁23aを通る45度の仮想線Fまでの範囲に凸球面状部材30の凹球面状部材31に対する接合部および下平坦化熱盤2Bの成形面Sが位置するように設定されている。両球面状部材30、31を接合することにより、下平坦化熱盤2Bの成形面Sとなる上面は、ピストンロッド23の伸長退縮方向(すなわち加圧方向である)に対して直交する方向から所定の角度に変化させることができる。そして、両球面状部材30、31の間には、下平坦化熱盤2Bの成形面Sの加圧方向に対する角度を所定の角度に固定維持するための固定機構32が設けられている。固定機構32は、図4に示すように、凸球面状部材30の周縁に配設された段部33aを有する挿入孔33と、凹球面状部材31の周縁に挿入孔33と略対応するように形成されためねじ34と、挿入孔33に挿通されて軸部の先端に形成されたおねじ部35aが凹球面状部材31のめねじ34に螺合されるボルト35と、挿入孔33の段部33aとボルトヘッド35bとの間に介装された1組の球面座金36と、を備え、挿入穴33の径がボルト35の軸部の径よりも大きく設定されてなる。
【0028】
このように構成されていることにより、積層品4’の平坦化成形に先立って、ボルト35を緩めた状態で、油圧シリンダ22のピストンロッド23を伸長させるように駆動して下平坦化熱盤2Bを上平坦化熱盤2Aに衝合させると、下平坦化熱盤2Bの凹球面状部材31がピストンロッド23の凸球面状部材30に接合されていることにより角度変化可能となっているため、下平坦化熱盤2Bの成形面Sが上平坦化熱盤2Aの成形面Sと平行となる。このとき、下平坦化熱盤2Bの凹球面状部材31がピストンロッド23の凸球面状部材30に対して摺動すると、それに伴って、小径であるボルト35が大径である挿入穴33内で移動することができる。そして、ボルト35を締付けて凹球面状部材31の凸球面状部材30に対する位置を固定することにより、下平坦化熱盤2Bの成形面Sの上平坦化熱盤2Aの成形面Sに対する平行な状態を固定維持するのであるが、挿入孔33の段部33aとボルトヘッド35bとの間に球面座金36が介装されていることにより、ボルトヘッド35bの段部33aに対する締結力を有効に作用させることができる。
【0029】
平坦化プレス機2の上下平坦化熱盤2A・2Bの成形面Sは、図5に示すように、緩衝材層40を介して設けられた鏡面板41により構成されている。上下平坦化熱盤2A・2Bの互いの対向面には、断熱材42を介してヒータ43が設けられており、ヒータ43の表面には例えば10mm程度の厚さの研磨板44が、スライド機構(図示は省略する)によって被積層材4の搬送方向とほぼ直交する方向(搬送体6の幅方向)にスライドさせることが可能に設けられている。この研磨板44の表面には、例えば1.5mm程度の厚さを有するゴムなどからなる緩衝材40が貼着されている。この緩衝材40の硬度は、例えば、シェア硬さSH70度程度とすることができる。そして、緩衝材40の表面には、例えば2mm程度の厚さのステンレスなどからなる鏡面板41が貼着されている。緩衝材40や鏡面板41などの交換など、平坦化プレス機2のメンテナンスを行う場合には、図示しないスライド機構により、緩衝材40および鏡面板41と共に研磨板44を平坦化プレス機2の側方にスライドさせて取り出すことができる。
【0030】
さらに、平坦化プレス機2の上下平坦化熱盤2A・2Bには、その成形面Sに対する側面を覆う断熱材45が、研磨板44に対してボルト46を螺合することにより、着脱可能に設られけている。ヒ―タ43により加熱される成形面Sである鏡面板41の温度の分布などに応じて、図5に示すように、異なる長さ(高さ)の断熱材45、45を用意することができ、また図6に平面図で示すように、研磨板44の周囲に部分的に取付けない部分47を適当に設けることができる。
【0031】
なお、本発明の積層成形装置は、上述した実施の形態に限定されることなく、必要に応じて、真空ラミネータ1の熱盤1A・1Bの成形面に対する側面を覆うように、断熱材45を着脱可能に設けることもできる。さらに、真空ラミネータ1の熱盤1A・1Bに、緩衝材40を介して弾性変形可能な鏡面板41を設けることもでき、また、図3および図4に示したように、真空ラミネータ1の熱盤1A・1Bを所定の角度に変化させることができるように構成して、その真空ラミネータ1の熱盤1A・1Bの角度を固定維持するための固定機構32を設けてもよい。
【0032】
以上のように構成された本発明の積層成形装置により積層成形を行うときには、概略、連続したフィルム状の搬送体6上に載置された被積層材4と積層材(5)とを、真空雰囲気下で相対向して設けられた熱盤1A・1Bにより加熱および加圧して積層し、該積層された被積層材4と積層材(5)とからなる積層品4’を賦形可能な状態で、前記搬送体6を送ることにより前記熱盤1A・1B間から、該熱盤1A・1Bと隣接して相対向して設けられた平坦化熱盤間2A・2Bに移送し、賦形可能な状態の積層品4’を前記平坦化熱盤2A・2B間で加圧して平坦に成形する。以下にこの積層成形を行うときの詳細を説明する。
【0033】
積層成形を行う際には、当初、真空ラミネータ1の上下熱盤1A・1Bと平坦化プレス機2の上下平坦化熱盤2A・2Bは離間されている。そして、板状の被積層材4は、連続したフィルム状の搬送体6上であって、図1または図2における真空ラミネータ1の右方の位置に載置される。この状態から、チャック搬送装置25によりフィルム状の搬送体6の側縁を積層材(5)を支持するフィルム状支持体5と共に把持し、チャック搬送装置25を図1または図2の矢印Xの方向(左方)に移動させるとともに巻き取りロール9、10を回転させて、被積層材4をフィルム状支持体5に支持された積層材(5)と共に真空ラミネータ1の熱盤1A・1B間に搬入する。次いで、真空ラミネータ1の図示しない筐体を密閉してその内部を図示しない吸引手段によって真空引きし、両熱盤1A・1Bを相対的に近接させて所定の圧力で加圧すると共に所定の温度で加熱して、被積層材4と積層材(5)とを積層する。上述したように(図5および図6を参照)、真空ラミネータ1の熱盤1A・1Bの側方を適当に断熱材45によって覆うようにした場合には、真空ラミネータ1の熱盤1A・1Bの成形面が均一な温度に維持されるため、被積層材4とフィルム状支持体5に支持された積層材(5)とをその全面にわたって適切な温度で積層することができる。しかしながら、例えば、フィルム状支持体5に支持された積層材(5)が所定回路を形成するようにパターン化された導電層である場合などは、この時点では、積層品4’の表面が凹凸の状態で積層されている。
【0034】
被積層材4とフィルム状支持体5に支持された積層材(5)とを積層して積層品4'を得た後には、真空ラミネータ1の図示しない筐体内を大気圧に戻して開放すると共に熱盤1A・1Bを相対的に離間させ、また、チャック搬送装置25によるフィルム状の搬送体6の側縁の把持を解除して図1または図2の右方に戻すように移動させる。このチャック搬送装置25を戻すための移動は、真空ラミネータ1で被積層材4と積層材(5)とを積層している間に行うこともできる。そして、再び、チャック搬送装置25によってフィルム状の搬送体6の側縁を把持して図1または図2の左方に移動させると同時に巻き取りロー9、10を回転させて、真空ラミネータ1の熱盤1A・1B間から隣接して設けられた平坦化プレス機2の上下平坦化熱盤2A・2B間へとフィルム状の搬送体6に載置された積層品4を積層材(5)と共に移送する。
【0035】
積層品4’が平坦化プレス機2に搬入されると、油圧シリンダ22のピストンロッド23を伸長駆動して下平坦化熱盤2Bを上平坦化熱盤2Aに近接させて上下平坦化熱盤2A・2Bの間で表面に凹凸がある状態の積層品4’を、賦形可能な所定の温度で、表面を平坦に成形するのに適した適当な圧力で加圧する。そのとき、上下平坦化熱盤2A・2Bの成形面Sを構成する鏡面板41は、当初、積層品4’の表面の凹凸に応じて弾性変形し、その後徐々に緩衝材40の弾性変形と鏡面板41の弾性変形により、もとの平面に戻るように作用する。そのため、積層品4’は、割れを生じることなく、表面の凹凸が適切に且つ確実に無くなって平面に成形されることとなる。また、5および図6に示したように、平坦化プレス機2の平坦化熱盤2A・2Bの側方を適当に断熱材45によって覆うようにした場合には、平坦化熱盤2A・2Bの平坦化熱盤2A・2Bの成形面が均一な温度に維持されるため、積層された積層品4’をその全面にわたって適切な温度で、積層成形することができる。
【0036】
なお、この実施の形態では、積層材(5)が所定回路を形成するようにパターン化された導電層である場合により説明したが、本発明では、ICチップのような比較的剛性を有する積層材(5)を被積層材4の表面内部に埋め込むように積層して平坦化させるような場合にも適用することができる。上下平坦化熱盤2A・2Bのヒータ43の加熱による温度は、真空ラミネータ1の熱盤1A・1Bの温度よりは低く、積層品4’の表面を平坦に成形し得るように設定される。また、図2に示したように複数の平坦化プレス機2、3を設けた場合には、必要に応じて、例えば、第1の平坦化プレス機2の熱盤2A・2Bの温度を真空ラミネータ1の熱盤1A・1Bの温度よりも低く且つ第2平坦化プレス機3の熱盤3A・3Bの温度を第1平坦化プレス機2の熱盤2A・2Bの温度よりも低く設定し、あるいは、第1の平坦化プレス機2の熱盤2A・2Bの温度を真空ラミネータ1の熱盤1A・1Bの温度よりも低く且つ第2平坦化プレス機3の熱盤3A・3Bの温度を真空ラミネータ1の熱盤1A・1Bの温度と第1平坦化プレス機2の熱盤2A・2Bの温度との間に設定することができる。
【0037】
積層品4’の表面が平坦に成形された後には、油圧シリンダ22のピストンロッド23が退縮するように駆動されて下平坦化熱盤2Bが上平坦化熱盤2Aから離間され、また、チャック搬送装置25によるフィルム状の搬送体6の側縁の把持が解除されて図1または図2の右方に戻るように移動される。そして、再び、チャック搬送装置25によってフィルム状の搬送体6の側縁を把持して図1または図2の左方に移動させると同時に巻き取りローラ9、10を回転させて、図1に示した平坦化プレス機2または図2に示した第1平坦化プレス機2の上下平坦化熱盤2A・2B間から積層品4’を搬出する。図2に示した実施の形態の場合、上述した真空ラミネータ1から第1平坦化プレス機2に移送されて所定の温度で積層品を加圧するのと同様に、積層品4’を第1平坦化プレス機2から第2平坦化プレス機3に移送して所定の温度で加圧する。連続した帯状の搬送体6およびフィルム状支持体5は、巻き取りロール10、9にそれぞれ巻き取られる際に、板状の被積層材4と積層材(5)とを積層してその表面が平坦に成形された積層品4’から剥離される。
【0038】
【発明の効果】
請求項1に記載の発明によれば、真空雰囲気下で表面に凹凸を有する被積層材と積層材とを加熱するとともに加圧して、被積層材の凹凸に応じて表面に凹凸を有する積層品を積層する真空ラミネータと、相対向して近接・遠退可能に設けられた熱盤を備えており、前記真空ラミネータで積層された表面に凹凸を有する積層品を該熱盤間において加熱すると共に加圧して平坦に成形する平坦化プレス機と、を有しており、前記平坦化プレス機の熱盤の対向面に緩衝材層を設け、該緩衝材層を介して前記表面に凹凸を有する積層品を加圧するための成形面を構成する弾性変形可能な鏡面板を設けたことにより、ボイドを発生することなく表面に凹凸を有する被積層材と積層材とを積層することができ、割れを生じさせることなくその積層品の表面を平坦に成形することができる積層成形装置を提供することができる。
【0039】
請求項2に記載の発明によれば、請求項1に記載の発明において、前記平坦化プレス機の熱盤の少なくとも一方は、互いに摺動することによってその成形面が加圧方向に対して角度を変化させることが可能な球面状部材と、前記成形面の加圧方向に対する角度を所定の角度に固定維持する固定機構とが設けられていることにより、積層材と被積層材とを均一な厚さに積層成形することができる積層成形装置を提供することができる。
【0040】
請求項3に記載の発明によれば、 真空ラミネータを使用して、真空雰囲気下で表面に凹凸を有する被積層材と積層材とを加熱するとともに加圧して、被積層材の凹凸に応じて表面に凹凸を有する積層品を積層した後、該表面に凹凸を有する積層品を相対向して近接・遠退可能に設けられた熱盤を有する平坦化プレス機により加熱すると共に加圧して平坦に成形するに際して、前記平坦化プレス機の熱盤の対向面に緩衝材層を設け、該緩衝材層を介して前記表面に凹凸を有する積層品を加圧するための成形面を構成する弾性変形可能な鏡面板を設けて、該鏡面板により前記表面に凹凸を有する積層品を加圧して平坦に成形することにより、ボイドを発生することなく表面に凹凸を有する被積層材と積層材とを積層することができ、割れを生じさせることなくその積層品の表面を平坦に成形することができる積層成形方法を提供することができる。
【0041】
請求項4に記載の発明によれば、請求項3に記載の発明において、ボイドを発生することなく表面が平坦なビルドアップ基板を成形することができる方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の積層成形装置の一実施の形態を示す概念図である。
【図2】本発明の積層成形装置の他の実施の形態を示す概念図である。
【図3】本発明の平坦化プレス機の平坦化熱盤の角度を変化させるような構成を説明するための部分拡大断面図である。
【図4】角度が変更された平坦化熱盤の角度を固定維持する固定機構を説明するための図3の拡大断面図である。
【図5】熱盤の構造を説明するための拡大断面図である。
【図6】熱盤の側面を部分的に覆うように設けられた断熱材の配置を示す平面図である。
【符号の説明】
1A・1B 熱盤
2A・2B、3A・3B 平坦化熱盤
4 被積層材
4’ 製品
(5) 積層材
5 フィルム状支持体
6 搬送体
25 チャック搬送装置
23 ピストンロッド
30 凸球面状部材
31 凹球面状部材
32 固定機構
40 緩衝材
41 鏡面板
45 断熱材
Claims (4)
- 真空雰囲気下で表面に凹凸を有する被積層材と積層材とを加熱するとともに加圧して、被積層材の凹凸に応じて表面に凹凸を有する積層品を積層する真空ラミネータと、
相対向して近接・遠退可能に設けられた熱盤を備えており、前記真空ラミネータで積層された表面に凹凸を有する積層品を該熱盤間において加熱すると共に加圧して平坦に成形する平坦化プレス機と、を有しており、
前記平坦化プレス機の熱盤の対向面に緩衝材層を設け、該緩衝材層を介して前記表面に凹凸を有する積層品を加圧するための成形面を構成する弾性変形可能な鏡面板を設けたことを特徴とする積層成形装置。 - 前記平坦化プレス機の熱盤の少なくとも一方は、互いに摺動することによってその成形面が加圧方向に対して角度を変化させることが可能な球面状部材と、前記成形面の加圧方向に対する角度を所定の角度に固定維持する固定機構とが設けられていることを特徴とする請求項1に記載の積層成形装置。
- 真空ラミネータを使用して、真空雰囲気下で表面に凹凸を有する被積層材と積層材とを加熱するとともに加圧して、被積層材の凹凸に応じて表面に凹凸を有する積層品を積層した後、該表面に凹凸を有する積層品を相対向して近接・遠退可能に設けられた熱盤を有する平坦化プレス機により加熱すると共に加圧して平坦に成形するに際して、
前記平坦化プレス機の熱盤の対向面に緩衝材層を設け、該緩衝材層を介して前記表面に凹凸を有する積層品を加圧するための成形面を構成する弾性変形可能な鏡面板を設けて、該鏡面板により前記表面に凹凸を有する積層品を加圧して平坦に成形することを特徴とする積層成形方法。 - 被積層材と積層材とを積層成形して、ビルドアップ基板を成形することを特徴とする請求項3に記載の積層成形方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000315118A JP3803820B2 (ja) | 2000-10-16 | 2000-10-16 | 積層成形装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000315118A JP3803820B2 (ja) | 2000-10-16 | 2000-10-16 | 積層成形装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005182282A Division JP4577613B2 (ja) | 2005-06-22 | 2005-06-22 | ビルドアップ基板を積層成形するための積層成形装置および積層成形方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002120100A JP2002120100A (ja) | 2002-04-23 |
JP3803820B2 true JP3803820B2 (ja) | 2006-08-02 |
Family
ID=18794267
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000315118A Expired - Lifetime JP3803820B2 (ja) | 2000-10-16 | 2000-10-16 | 積層成形装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3803820B2 (ja) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004136354A (ja) * | 2002-10-21 | 2004-05-13 | Sanee Giken Kk | プレス装置および方法 |
JP2007245438A (ja) * | 2006-03-15 | 2007-09-27 | Hitachi Plant Technologies Ltd | フィルム貼付方法とその装置 |
TWI395520B (zh) * | 2006-06-07 | 2013-05-01 | Nichigo Morton Co Ltd | 疊層裝置及利用此疊層裝置之疊層方法 |
JP4666518B2 (ja) * | 2006-08-31 | 2011-04-06 | 株式会社名機製作所 | 積層成形装置の制御方法 |
US7775785B2 (en) * | 2006-12-20 | 2010-08-17 | Brewer Science Inc. | Contact planarization apparatus |
JP4565352B2 (ja) * | 2007-06-26 | 2010-10-20 | 株式会社名機製作所 | 積層成形装置および積層成形方法 |
JP4979611B2 (ja) * | 2008-02-18 | 2012-07-18 | 株式会社名機製作所 | 真空積層装置による積層成形方法 |
JP5645225B2 (ja) * | 2012-06-12 | 2014-12-24 | 株式会社名機製作所 | 積層成形システムおよび積層成形方法 |
TWI541953B (zh) * | 2014-02-20 | 2016-07-11 | All Ring Tech Co Ltd | Pressure method and device |
MY185498A (en) | 2015-06-08 | 2021-05-19 | Nikko Mat Co Ltd | Laminating apparatus |
JP7073551B1 (ja) * | 2021-02-12 | 2022-05-23 | 株式会社日本製鋼所 | 積層成形システムおよび積層成形方法 |
US11325365B1 (en) * | 2021-02-16 | 2022-05-10 | Nikko-Materials Co., Ltd. | Laminating apparatus |
JP7097520B1 (ja) | 2022-04-19 | 2022-07-07 | 株式会社日本製鋼所 | 積層成形システム、積層成形システムの制御方法、および積層成形品の製造方法 |
CN117206431B (zh) * | 2023-09-12 | 2024-03-19 | 广东嘉元科技股份有限公司 | 一种溶铜用铜线压扁自动进料装置 |
-
2000
- 2000-10-16 JP JP2000315118A patent/JP3803820B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2002120100A (ja) | 2002-04-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3803820B2 (ja) | 積層成形装置 | |
JP6125105B1 (ja) | 積層装置 | |
TWI331557B (en) | Laminate molding apparatus and laminate molding process | |
JP6878365B2 (ja) | 積層装置および積層方法 | |
CA2762079C (en) | Multi-layer thermoplastic laminated film arrangement and device and method for laminating | |
JP5193198B2 (ja) | プレス装置及びプレス装置システム | |
JP4926998B2 (ja) | フィルム状樹脂積層装置およびそれを用いたフィルム状樹脂積層方法 | |
JP2002036272A (ja) | 積層方法 | |
JP6995929B2 (ja) | 積層装置 | |
US11745488B2 (en) | Method for production of thin plate-like laminate having film-like resin layer | |
JP2001239537A (ja) | 積層プラスチックカードを製造する方法と装置 | |
JP4577613B2 (ja) | ビルドアップ基板を積層成形するための積層成形装置および積層成形方法 | |
JP7029372B2 (ja) | 積層装置 | |
JP2010167594A (ja) | 薄板の成形方法および薄板の成形システム | |
JP3180149B2 (ja) | 多層回路基板の成形方法 | |
JP3427356B2 (ja) | 積層装置および積層方法 | |
JP7401488B2 (ja) | 積層成形システムおよび積層成形システムの制御方法 | |
JPH11129431A (ja) | 積層装置および積層方法 | |
TWI749632B (zh) | 具有壓合治具盒之疊板壓合系統及方法 | |
JP2000135739A (ja) | ラミネータおよび積層成形方法 | |
WO2024150537A1 (ja) | 回路基板の製造装置及び回路基板の製造方法 | |
JP2000015655A (ja) | 真空積層装置および真空積層方法 | |
JP7413096B2 (ja) | フィルム状樹脂層を有する薄板状積層物の製造装置 | |
WO2024150539A1 (ja) | 回路基板の製造装置及び回路基板の製造方法 | |
US20220161483A1 (en) | Device for production of thin plate-like laminate having film-like resin layer |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060127 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060201 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060320 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060419 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060421 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 3803820 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100519 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100519 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120519 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130519 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130519 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140519 Year of fee payment: 8 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |