CN101001972B - 金属薄板的装框方法及装置 - Google Patents

Abstract

通过多个夹持器(27)把持金属薄板(11)的各边(11a)，通过该夹持器(27)张拉金属薄板(11)，并且通过调节各夹持器的拉力而使金属薄板(11)成为没有变形及松弛的平坦状态。同时，通过向与施加在金属薄板(11)上的拉力的相反的方向以相同大小的力推压框(13)而使其弹性变形，在此状态下将金属薄板(11)用点焊机(40)焊接、固定在框(13)上。在将金属薄板(11)及框(13)释放时，残留在金属薄板(11)中的拉力与框(13)的复原力相抵消，能够防止框(13)被金属薄板(11)张拉而变形，能够通过框(13)以没有变形及松弛的状态保持金属薄板(11)。

Description

金属薄板的装框方法及装置

技术领域

本发明涉及将金属薄板以没有变形的平坦状态固定到框上的方法及装置，所述金属薄板如例如用作有机EL元件制造工序中使用的蒸镀掩模的、具有包括多条狭缝的开口部的金属薄板那样，很薄且具有刚性不同的区域。

背景技术

以往，在有机EL元件的制造中进行真空蒸镀，作为其蒸镀掩模，使用具有包括多条狭缝的开口部的金属板。并且，在蒸镀时，将该蒸镀掩模通过磁铁等安装在具备比上述开口部大的开口的刚性较大的框上。但是，近年来，布图的微细化不断发展，如果形成于开口部的狭缝变得微细并且蒸镀掩模的板厚自身也变薄，则紧靠使用磁铁等将蒸镀掩模固定，开口部会产生变形或松弛，有不能维持狭缝精度的问题。鉴于此，本申请人以前开发了在将蒸镀掩模安装在框上的状态下能够将该蒸镀掩模保持为向开口部的狭缝方向张拉的状态的、蒸镀掩模的保持夹具(参照专利文献1)。如果使用该保持夹具，则能够将构成开口部的狭缝的细线部分保持在向长度方向张拉的状态下，所以能够将狭缝保持为直线状且保持为一定的间距，从而有能够进行高精细图案的形成的优点。

但是，记载在专利文献1中的蒸镀掩模仅在一片蒸镀掩模上形成有1个开口部，所以有生产率较差的问题。鉴于此，为了提高生产率，认为如图22所示那样，只要使用在一片蒸镀掩模上形成有多个开口部2的多面掩模1即可，而且只要通过固定夹持器3和可动夹持器4把持该掩模的两端，并将可动夹持器4如箭头所示那样保持为沿开口部2的狭缝方向张拉的状态即可。但是，在具备多个开口部2的多面掩模1的情况下，如果用夹持器3、4把持其两端而张拉，则虽然将掩模的整个宽度均匀地张拉了，但由于在开口部与非开口部刚性不同，所以会在开口部产生变形或松弛，不能得到期望的狭缝图案，并且，可判明各开口部的位置精度也变差。例如，在有机EL元件制造中使用的蒸镀用的多面掩模的情况下，关于各开口部的位置有时要求±10μm以下的总间距，但是达到这样的尺寸精度是很困难的。

鉴于此，作为解决该问题的方法，本申请人以前开发了以下这样构成的多面掩模装置，即，如图23所示，在形成有多个开口部2的多面掩模1A的4边上形成安装部5，将该安装部卷绕在设于框上的卷绕轴上，通过卷在该卷绕轴上而将多面掩模1A向纵横两方向张拉，将其保持在平坦的状态下(参照专利文献2)。在该多面掩模装置中，由于将多面掩模1A向纵横两方向张拉，所以能够使多面掩模1A比较平坦，并能使各开口部的狭缝平行地方向一致，从而有虽然是多面掩模，但也能够进行高精细图案形成的优点。

但是，在专利文献2中记载的多面掩模装置中，在多面掩模较薄而容易变形等的情况下，也会发生在开口部发生变形或松弛、不能得到期望的狭缝图案的问题。此外，在该多面掩模装置中，由于是在框的4边分别设置卷绕轴而将多面掩模1A的4边的安装部5卷起的构造，所以还有构造复杂、成本变高的问题。

专利文献1：特开2003-68453号公报

专利文献2：特开2003-332056号公报。

发明内容

本发明是鉴于该问题而做出的，目的是提供一种将金属薄板以没有变形或松弛且将开口部等保持为期望的尺寸精度的状态固定到简单构造的框上的方法、及在该方法的实施中使用的装置，所述金属薄板如蒸镀用多面掩模那样具有包括多条狭缝的开口部，且具有刚性不同的区域。

本发明是一种金属薄板的装框方法，其特征在于，包括：使矩形金属薄板位于矩形框上的工序；张拉工序，将上述金属板的至少相对的两边的每一边用多个夹持器把持，施加拉力而使上述金属薄板成为张拉状态；推压工序，对上述框施加推压力，以便使上述框中与各夹持器对金属薄板作用拉力的区域相对应的区域产生与对上述金属薄板施加的拉力方向相反的弹性变形；将张拉状态的金属薄板固定在推压状态的框上的工序。

本发明是一种金属薄板的装框方法，其特征在于，在张拉工序中，通过夹持器张拉上述金属薄板的4边的每一边；在推压工序中，推压上述框的4边的每一边。

本发明是一种金属薄板的装框方法，其特征在于，使由上述夹持器对金属薄板施加的拉力、和对上述框中与上述夹持器施加拉力的区域对应的区域施加的推压力相等。

本发明是一种金属薄板的装框方法，其特征在于，上述金属薄板包括具有多条狭缝并且并排配置的多个矩形开口部，上述多个夹持器与开口部和非开口部相对应地配置。

本发明是一种金属薄板的装框方法，其特征在于，在张拉工序中，通过夹持器把持金属薄板的相邻两边间的角部附近，该夹持器以能够向相邻两边的各方向移动的方式张拉角部。

本发明是一种金属薄板的装框装置，将矩形金属薄板以张拉状态固定在矩形框上，其特征在于，具备多个板张拉组件及多个框推压组件，所述多个板张拉组件及多个框推压组件设置成，在上述框及其上配置的上述金属薄板的至少相对的两边的每一边上，各设有多个；各板张拉组件具有把持上述金属薄板的夹持器、和使该夹持器移动以使拉力作用在该夹持器把持的金属薄板上的夹持器移动机构；备框推压组件具有框推压部件和框推压部件移动机构，所述框推压部件配置成，对上述框作用推压力，以使上述框中与上述夹持器对金属薄板作用拉力的区域对应的区域产生与上述夹持器的拉力方向相反的弹性变形，所述框推压部件移动机构使上述框推压部件移动以使该框推压部件对上述框作用推压力。

本发明是一种金属薄板的装框装置，其特征在于，上述板张拉组件及框推压组件，分别在上述框及配置于其上的上述金属薄板的4边的每一边上各设有多个。

本发明是一种金属薄板的装框装置，其特征在于，上述板张拉组件及上述框推压组件成型为一体；上述板张拉组件的夹持器移动机构及上述框推压组件的框推压部件移动机构具备共用的压力缸装置，该压力缸装置相对于上述夹持器及框推压部件以使两者向相互离开的方向及接近的方向移动的方式连结。

本发明是一种金属薄板的装框装置，其特征在于，上述框推压部件具备载置并支承上述框的支承面。

本发明是一种金属薄板的装框装置，其特征在于，上述金属薄板包括具有多条狭缝并且并排配置的多个矩形开口部，上述多个夹持器与开口部和非开口部相对应地配置。

本发明是一种金属薄板的装框装置，其特征在于，上述多个板张拉组件的夹持器移动机构施加的拉力，能够针对各板张拉组件分别进行调节。

本发明是一种金属薄板的装框装置，其特征在于，在金属薄板的相邻两边间的角部附近设有追加板张拉组件；该追加板张拉组件具有把持金属薄板的夹持器、和使该夹持器向相邻两边的方向移动的夹持器移动机构。

本发明是一种金属薄板的装框装置，其特征在于，追加板张拉组件还具有第一基座部件、以可向平行于金属薄板且与拉力施加方向成直角的方向移动的方式保持在该第一基座部件上的第二基座部件、和以可与对金属薄板施加拉力的方向平行地移动的方式保持在该第二基座部件上的夹持器支承台；上述夹持器及开闭该夹持器的夹持器开闭机构保持在上述夹持器支承台上，上述夹持器移动机构连结在上述夹持器支承台和第二基座部件上，以使上述夹持器支承台相对于第二基座部件向拉力施加方向移动。

本发明是一种金属薄板的装框装置，其特征在于，追加板张拉组件还具有基座部件、以可与金属薄板的拉力施加方向平行地移动的方式保持在该基座部件上的第一夹持器支承台、和以可向与上述金属薄板平行且与拉力施加方向成直角的方向移动的方式保持在该第一夹持器支承台上的第二夹持器支承台；上述夹持器及开闭该夹持器的夹持器开闭机构保持在上述第二夹持器支承台上，上述夹持器移动机构连结在第一夹持器支承台和基座部件上，以使上述第一夹持器支承台相对于上述基座部件向拉力施加方向移动。

本发明是一种金属薄板的装框装置，其特征在于，追加板张拉组件还具有基座部件、和以可与金属薄板的拉力施加方向平行地移动的方式保持在该基座部件上的夹持器支承台；上述夹持器以可向与由上述夹持器把持的金属薄板平行且与拉力施加方向成直角的方向移动的方式保持在上述夹持器支承台上，开闭上述夹持器的夹持器开闭机构保持在上述夹持器支承台上，上述夹持器移动机构连结在夹持器支承台和基座部件上，以使上述夹持器支承台相对于上述基座部件向拉力施加方向移动。

本发明是一种金属薄板的装框方法，其特征在于，包括：使矩形金属薄板位于矩形框上的工序；张拉工序，将上述金属板的4边用多个夹持器把持，施加拉力而使金属薄板成为张拉状态；将张拉状态的金属薄板固定在推压状态的框上的工序；在张拉工序中，通过夹持器把持金属薄板的相邻两边间的角部附近，该夹持器以能够向相邻两边的各方向移动的方式张拉角部。

本发明是一种金属薄板的装框装置，将矩形金属薄板以张拉状态固定在矩形框上，其特征在于，具备多个板张拉组件，所述多个板张拉组件设置成，在上述框及其上配置的上述金属薄板的4边的每一边上，各设有多个；各板张拉组件具有把持上述金属薄板的夹持器、和使该夹持器移动以使拉力作用在该夹持器把持的金属薄板上的夹持器移动机构；在金属薄板的相邻两边间的角部附近，设有追加板张拉组件，该追加板张拉组件具有把持金属薄板的夹持器、和使该夹持器向相邻两边的各方向移动的夹持器移动机构。

本发明是一种金属薄板的装框装置，其特征在于，追加板张拉组件还具有第一基座部件、以可向平行于金属薄板且与拉力施加方向成直角的方向移动的方式保持在该第一基座部件上的第二基座部件、和以可与对金属薄板施加拉力的方向平行地移动的方式保持在该第二基座部件上的夹持器支承台；上述夹持器及开闭该夹持器的夹持器开闭机构保持在上述夹持器支承台上，上述夹持器移动机构连结在上述夹持器支承台和第二基座部件上，以使上述夹持器支承台相对于第二基座部件向拉力施加方向移动.

本发明是一种金属薄板的装框装置，其特征在于，追加板张拉组件还具有基座部件、以可与金属薄板的拉力施加方向平行地移动的方式保持在该基座部件上的第一夹持器支承台、和以可向与上述金属薄板平行且与拉力施加方向成直角的方向移动的方式保持在该第一夹持器支承台上的第二夹持器支承台；上述夹持器及开闭该夹持器的夹持器开闭机构保持在上述第二夹持器支承台上，上述夹持器移动机构连结在第一夹持器支承台和基座部件上，以使上述第一夹持器支承台相对于上述基座部件向拉力施加方向移动。

本发明是一种金属薄板的装框装置，其特征在于，追加板张拉组件还具有基座部件、和以可与金属薄板的拉力施加方向平行地移动的方式保持在该基座部件上的夹持器支承台；上述夹持器以可向与由上述夹持器把持的金属薄板平行且与拉力施加方向成直角的方向移动的方式保持在上述夹持器支承台上，开闭上述夹持器的夹持器开闭机构保持在上述夹持器支承台上，上述夹持器移动机构连结在夹持器支承台和基座部件上，以使上述夹持器支承台相对于上述基座部件向拉力施加方向移动。

在上述本发明的金属薄板的装框方法中，在将矩形金属薄板固定到框上时，通过多个夹持器把持该金属薄板的至少相对的两边的每一边，通过施加拉力而使金属薄板成为张拉状态，所以能够将金属薄板的刚性不同的区域用适合于各区域刚性的拉力张拉。由此，能够将金属薄板保持为没有变形及松弛的平坦状态、并且在具备开口部的情况下，能够将该开口部保持在具有期望尺寸精度的位置。因此，能够在将金属薄板保持为没有变形及松弛的状态、并且将开口部等保持为期望的尺寸精度的状态下，利用点焊等固定在框上。并且，由于此时框被向与对金属薄板施加拉力的方向相反的方向推压而产生弹性变形，所以在框中产生与推压力方向相反的复原力。因此，在将金属薄板通过点焊等固定在框上后，将金属薄板及框释放时，由残留在框中的复原力承受残留在金属薄板中的拉力。由此，即使框的刚性较小，也不会发生因残留在金属薄板中的拉力而使框不良地变形、或者金属薄板收缩而使拉力变小的情况，金属薄板被保持为施加了期望的拉力的状态。这样，即使使用刚性较低且构造简单的框，也能够将金属薄板在能够保持为没有变形及松弛的状态、且能将开口部等保持为期望尺寸精度的状态下固定在该框上，并且能够保持该状态。

在实施本发明的方法时，如果将上述夹持器配置在上述金属薄板的4边的每一边上而将上述金属薄板向纵横两方向张拉、且将上述框的4边分别向纵横两方向推压，则可得到能够将金属薄板张拉为更加没有变形及松弛的状态而固定在框上的效果。

通过上述夹持器对金属薄板施加的拉力与对框施加的推压力即使是有一些不同的值，由于框自身具有刚性，所以也不会有什么影响。但是，如果将该拉力与推压力设为相同的大小，则能够通过残留在框中的复原力承受残留在金属薄板中的拉力，能够可靠地防止将框及金属薄板释放后金属薄板及框的变形。因此，可得到下述效果，即，能够将固定在框上的金属薄板保持为更加没有变形及松弛的状态、并且能够将开口部等保持为具有期望的尺寸精度的状态。

在金属薄板上作用拉力的夹持器的配置，只要根据金属薄板的刚性分布适当确定即可，在金属薄板如在有机EL元件制造中使用的多面掩模那样，排列形成有包括多条狭缝且呈矩形的开口部的情况下，优选将多个夹持器与开口部和非开口部对齐地配置.如果作成该结构，则能够分别通过独立的夹持器张拉刚性差别较大的开口部和非开口部，所以能够将金属薄板保持为非常没有变形及松弛的状态.

本发明的装框装置作成下述结构，即，在配置在既定位置上的矩形框及配置于其上的矩形金属薄板的至少相对的两边的每一边上，各设有多个板张拉组件和框推压组件，所以能够将金属薄板的至少相对的两边的每一边用多个夹持器把持而作用拉力，将金属薄板保持为没有变形及松弛的平坦状态，并且，在具备开甲部的情况下能够将该开口部保持在具有期望尺寸精度的位置上。此外，能够设成在框上施加有与施加在金属薄板上的拉力方向相反的推压力的状态，通过在该状态下用点焊等将金属薄板固定在框上，能够使金属薄板在没有变形及松弛、且将开口部等保持为期望的尺寸精度的状态下保持在框上。并且，在将金属薄板及框释放后，也能够将金属薄板保持为没有变形及松弛、且将开口部等保持为具有期望的尺寸精度的状态。

这里，如果将上述板张拉组件和框推压组件配置在金属薄板及框的4边的每一边上，则能够将金属薄板沿纵横两方向张拉而使其成为更加没有变形及松弛的状态，并能够在该状态下固定、保持在框上。

作为设置在上述板张拉组件中的夹持器移动机构、和设置在框推压组件中的框推压部件移动机构，若使用气缸等压力缸装置则容易调节施加的力，所以是优选的。在使用压力缸装置时，尽管也可以对夹持器移动机构及框推压部件移动机构使用分别独立的压力缸装置，但优选采用下述方案，即，对上述夹持器移动机构及框推压部件移动机构使用共用的压力缸装置，将该压力缸装置相对于上述夹持器及框推压部件连结，以使两者向相互离开的方向及接近的方向移动。如果采用这样的方案，则能够通过共用的压力缸装置使拉力及推压力同时作用在夹持器与框推压部件上，能够使构造简化，并且能够使施加的拉力和推压力相等。

优选地，在上述框推压部件上设置载置并支承框的支承面，由此，不需要设置用来支承框的专用装置，能够实现装置的简化。

设置在一个边上的多个板张拉组件及框推压组件的配置，只要设定成使得用来把持并张拉金属薄板的夹持器位于与金属薄板的刚性分布相对应的适当位置即可。在金属薄板如在有机EL元件制造中使用的多面掩模那样排列形成有包括多条狭缝并且呈矩形的开口部的情况下，优选地，将多个板张拉组件及框推压组件与开口部及非开口部对齐地配置。如果作成这样的结构，则能够分别通过独立的夹持器张拉金属薄板的刚性差别较大的开口部和非开口部，所以能够将金属薄板张拉并保持为非常没有变形及松弛的状态。

优选地，多个板张拉组件的借助夹持器移动机构得到的拉力，能够针对各板张拉组件分别进行调节。通过作成这样的结构，能够根据部位来精密地调节对金属薄板施加的拉力，能够将金属薄板张拉成更没有变形及松弛的状态而固定在框上。

根据本发明，在分别通过多个夹持器把持金属薄板的4边、在金属薄板上作用拉力而使金属薄板成为没有变形及松弛的状态时，由于把持金属薄板的角部附近的夹持器能够向与张拉方向成直角的方向移动，所以夹着角部配置的夹持器不会相互干涉，因此，能够将金属薄板的角部也拉伸到既定的位置.能够将金属薄板保持为没有变形及松弛的状态，并且能够使包括角部在内都位于既定的尺寸精度范围内，能够在该状态下固定在框上.这样，在将金属薄板安装到框上而形成的金属薄板中，将金属薄板保持为没有变形及松弛的状态并且将金属薄板内的各部分的位置(例如在具有多个开口部的金属薄板的情况下是各开口部的位置)包括角部在内都保持在既定的尺寸精度内，能够通过利用该金属薄板进行例如蒸镀等而准确地进行微细图案的蒸镀.

附图说明

图1是本发明第1实施方式的金属薄板的装框装置的概略俯视图。

图2(a)～图2(d)是表示利用图1所示装框装置实施的装框动作的顺序的概略剖视图。

图3是表示由图1所示装框装置处理的金属薄板和框的概略立体图。

图4是表示装框后的金属薄板和框的概略立体图。

图5是以打开了夹持器的状态表示在图1的装框装置中使用的板张拉·框推压组件的局部剖面概略侧视图。

图6(a)、图6(b)是以将夹持器闭合的状态且以不同的动作状态表示图5所示板张拉·框推压组件的局部剖面概略侧视图。

图7(a)、图7(b)是以将夹持器闭合的状态且以不同的动作状态表示在另一实施方式中使用的板张拉·框推压组件的局部剖面概略侧视图。

图8(a)、图8(b)是以将夹持器闭合的状态且以不同的动作状态表示在又一实施方式中使用的板张拉·框推压组件的局部剖面概略侧视图。

图9(a)、图9(b)是以将夹持器闭合的状态且以不同的动作状态表示在又一实施方式中使用的板张拉·框推压组件的局部剖面概略侧视图。

图10是本发明又一实施方式的金属薄板的装框装置的概略俯视图。

图11是本发明第2实施方式的金属掩模(金属薄板)的框架安装装置(装框装置)的概略俯视图。

图12是图11所示框架安装装置的概略剖视图。

图13(a)、图13(b)是以不同的动作状态表示图11所示框架安装装置中设置的张紧组件的概略侧视图。

图14(a)、图14(b)是以不同的动作状态表示设置在图11所示框架安装装置中的张紧组件的概略侧视图。

图15是图14(b)的V-V向概略正视图。

图16是说明在图11所示框架安装装置中将金属掩模的角部区域用多个张紧组件张拉的状态的概略俯视图。

图17(a)、图17(b)是以不同的动作状态表示在另一实施方式中使用的张紧组件的局部剖面概略侧视图。

图18(a)、图18(b)是以不同的动作状态表示在又一实施方式中使用的张紧组件的局部剖面概略侧视图。

图19(a)、图19(b)是表示图18所示张紧组件的夹持器及其附近部分的概略正视图及概略侧视图。

图20是金属掩模及框状框架的概略立体图。

图21是将金属掩模安装在框架上而形成的掩模组件的概略立体图。

图22是表示将多面蒸镀掩模的两端分别用1个夹持器把持并张拉的状态的概略俯视图.

图23是表示现有的多面蒸镀掩模的一例的概略立体图。

具体实施方式

第1实施方式

本发明能够应用于需要保持为没有变形及松弛的平坦状态的任意金属薄板，但优选应用于作为特别要求精密度的有机EL元件制造用的蒸镀用多面掩模(具有多个掩模部的掩模)而使用的金属薄板。以下，以作为有机EL元件制造中的蒸镀用多面掩模而使用的金属薄板为例，说明本发明的优选实施方式。

图1是本发明实施方式的金属薄板的装框装置的概略俯视图，图2是表示利用该装框装置实施的装框动作的顺序的概略剖视图，图3是表示由该装框装置处理的金属薄板和框的概略立体图，图4是表示装框后的金属薄板和框的概略立体图，图5是以打开了夹持器的状态表示在该装框装置中使用的板张拉·框推压组件的概略侧视图，图6(a)、图6(b)是以不同的动作状态表示该板张拉·框推压组件的概略侧视图。

在图3中，11是作为蒸镀掩模使用的矩形金属薄板，其中纵横排列地形成有多个具有多条狭缝12a的开口部12。13是用来安装金属薄板11的矩形金属制框，具备开口部14，该开口部14具有包含金属薄板11的形成有多个开口部12的区域的大小。金属薄板11作成在纵横两方向上都比框13大的尺寸，在与框13的外周缘大致对应的位置上，形成有容易通过弯折而切断的易切断线15。另外，易切断线15具有能够承受施加在金属薄板11上的张力的强度。

通过将该金属薄板11借助点焊等固定在框13上，并将其周缘部分利用易切断线15切断、除去，能够形成图4所示的蒸镀掩模装置17。这里使用的金属薄板11的厚度、开口部12的尺寸、形成于开口部12的狭缝的尺寸等没有特别限制，但作为代表性的例子，可以例示出金属薄板11的厚度为30～200μm，开口部12的尺寸为长50～70mm、宽30～50mm，狭缝的宽度为50～100μm，构成狭缝的金属细线的宽度为100～150μm等。

在图1中，整体用附图标记20表示的金属薄板的装框装置，具备在配置于既定位置的矩形框13及配置于其上的矩形金属薄板11的4边的每一边上各排列设置有多个的板张拉·框推压组件21、和保持该板张拉·框推压组件21的支承轨道22。支承轨道22配置成，与配置在既定位置上的金属薄板11的各边平行。各板张拉·框推压组件21可移动地保持在该支承轨道22上，是能够沿着该支承轨道22移动到既定的位置、并且能够固定在该位置上的构造。

各板张拉·框推压组件21如图5、图6所示，包括下述部件等：支承台24，以可移动且能够在期望的位置上固定的形态保持在支承轨道22上；移动台26，经由直动引导件25以可水平地且向与金属薄板11的边11a成直角的方向移动的方式保持在该支承台24上；夹持器27，设置在该移动台26上并把持金属薄板11，具备固定在移动台26上的固定爪27a和可相对于该固定爪27a开闭的可动爪27b；气缸等压力缸装置29，设置成经由肘节28使该夹持器27开闭；气缸等压力缸装置30，设置成使移动台26相对于支承台24往复移动；辅助支承台32，固定在支承台24上；框推压部件34，经由直动引导件33而以可向与移动台26相同的方向移动的方式保持在该辅助支承台32上；气缸等压力缸装置35，设置成使该框推压部件34相对于支承台24及辅助支承台32往复移动；挡板36，设置成对移动台26的前进位置(移动台26向朝向金属薄板11中心的方向移动时的移动极限位置)以及框推压部件34的后退位置(框推压部件34向远离框13的方向移动时的移动极限位置)进行限制.

连结在移动台26上的压力缸装置30如图6(b)所示，在进行动作而使其活塞杆30a伸出时，使移动台26向箭头A方向移动，能够使箭头A方向的拉力作用在由夹持器27把持的金属薄板11上，构成使该夹持器移动而使拉力作用在夹持器把持的金属薄板上的夹持器移动机构。框推压部件34是具备支承框13的支承面34a、并且在向夹持器27施加在金属薄板11上的拉力的方向A的相反方向即箭头B方向移动时能够使箭头B方向的推压力作用在框13上的构造。

这里，在从上方观察金属薄板11及框13的状态下，框推压部件34在框13上作用推压力的区域设定为，能够使框13中与夹持器27张拉金属薄板11的区域重合的区域(对应的区域)产生箭头B方向的弹性变形。优选地设定为，框推压部件34在框13上作用推压力的区域的中心位于与夹持器27张拉金属薄板11的区域的中心重合的位置上。与框推压部件34连结的压力缸装置35在进行动作以使其活塞杆35a伸出时使框推压部件34向箭头B方向移动，能够使与施加给金属薄板11的拉力方向相反的推压力作用在框13上，构成使上述框推压部件移动以使框推压部件在上述框上作用推压力的框推压部件移动机构。

在图1中，金属薄板11的4边11a上分别设置的多个板张拉·框推压组件21配置成，位于与置于既定位置上的金属薄板11的开口部12及非开口部12b对齐的位置上，分别设置的夹持器27的宽度设定成，能够分别良好地张拉金属薄板11的排列有开口部12的区域以及没有开口部的区域。根据该结构，能够分别用独立的夹持器27良好地张拉金属薄板11的沿纵向排列有开口部12的区域及沿横向排列有开口部12的区域、和在没有开口部的位置上沿纵向延伸的区域以及沿横向延伸的区域。

在多个板张拉·框推压组件21上分别设置的施加拉力用的压力缸装置30(参照图5、图6)上，分别经由调节器连接有动作流体供给配管，以便能够独立地调节拉力。此外，在该动作流体供给配管上，设有共用的开闭阀以便能够使所有的压力缸装置同时动作，并且在通向各压力缸装置的动作流体供给配管中还设有速度控制器，以便能够分别调节各压力缸装置的动作时机。在多个板张拉·框推压组件21上分别设置的施加推压力用的压力缸装置35上也连接着动作流体供给配管。在该动作流体供给配管上设有共用的调节器，以便能够同时调节所有压力缸装置35的推压力。另外，也可以在该动作流体供给配管中也设置调节器以便能够分别调节各压力缸装置35的推压力。

上述板张拉·框推压组件21为具有张拉金属薄板11的张拉功能、和推压框13的推压功能的一体构造，但也可以分别独立地设置由固定爪27a、夹持器27及压力缸装置29、30构成的具有板张拉功能的板张拉组件21a、和由框推压部件34及压力缸装置35构成的框推压组件21b。

接着，对使用上述结构的装框装置20将金属薄板向框上安装的动作进行说明，在将各板张拉·框推压组件21的夹持器27打开的状态(参照图5)下，将框13载置到框推压部件34的支承面34a上，将金属薄板11载置在框13上，用多个夹持器27把持其4边.该状态是图1、图2(a)及图6(a)所示的状态.接着，如图6(b)所示，将动作流体供给到施加拉力用的压力缸装置30中而使活塞杆30a伸出，使夹持器27向箭头A方向移动，使拉力作用在金属薄板11上.由此，如图1所示，金属薄板11由多个夹持器27沿纵横两方向张拉.在此状态下，目视检查金属薄板11的表面状态，如果有变形或松弛，则调节向与张拉该区域的夹持器27连结的压力缸装置30供给的动作流体压力，将金属薄板11调节成没有变形或松弛的平坦状态，且调节成开口部12的狭缝12a平行地方向一致的状态.此外，检查形成在金属薄板11上的各开口部12的位置，调节向各压力缸装置30供给的动作流体压力，以使各开口部到达既定尺寸精度内的位置.通过以上动作，能够使金属薄板11成为没有变形或松弛的平坦状态且成为各开口部位于既定的尺寸精度范围内的状态.

接着，如图6(b)所示，将动作流体供给到施加推压力用的压力缸装置35中而使活塞杆35伸出，使框推压部件34向箭头B方向移动，将框13向箭头B方向推压。这里，将框13向箭头B方向推压的推压力设定为与夹持器27作用在金属薄板11上的拉力大致相等。由此，框13向箭头B方向弹性变形，产生其相反方向的复原力。在此状态下，如图2(b)所示，利用激光焊接机40将金属薄板11点焊在框13上。该点焊是使激光焊接机40逐次移动到期望的点焊位置上来进行的。由此，金属薄板11的多个部位借助点焊部42(参照图1)固定在框13上。然后，如图2(c)所示，将夹持器27敞开而解除对金属薄板11的把持，使框推压部件34后退而解除对框13的推压。

当通过夹持器27将金属薄板11向箭头A方向张拉时，在该金属薄板11上产生箭头B方向的拉力(复原力)。因此，如果将夹持器27敞开，则如图2(d)所示，金属薄板11上产生的箭头B方向的拉力直接作用在框13上，将框13向箭头B方向张拉。如果是没有对框13施加任何推压力的情况，则该框13利用自身的刚性来承受金属薄板11的箭头B方向的拉力，但在此情况下框13因被金属薄板11向箭头B方向张拉而发生弹性变形。如果将框13的刚性设定得很大，则该弹性变形小到可以忽略的程度，但在实际应用上为了实现轻量化、成本削减等，而不得不在某种程度上减小框13的刚性，在此情况下，在框13上发生不能忽略的弹性变形，随之金属薄板11收缩，内部产生的拉力降低。由此，有时会在金属薄板11上产生变形或松弛，从而开口部12的狭缝12a的平行度错乱而不能得到期望的狭缝图案，或者各开口部12的位置发生错乱。

对应于此，在本实施方式中，在将金属薄板11固定在框13上时，箭头B方向的推压力作用在框13上而使其弹性变形，所以在框13上产生箭头A方向的复原力。因此，在将金属薄板11固定在框13上后将金属薄板11及框13释放时，利用框13上产生的箭头A方向的复原力及框13的刚性来承受金属薄板11上沿箭头B方向产生的拉力，从而即使框13的刚性较小，框13也不会因被金属薄板11张拉而向箭头A方向进一步变形。因而，金属薄板11不会收缩，而是原样保持施加在金属薄板11上的拉力。这样，即使框13的刚性较小，也能够将金属薄板11保持在没有变形及松弛的状态下，并且保持在各开口部位于既定的尺寸精度范围内的状态下。换言之，能够利用刚性较小的便宜的框13，以没有变形或松弛的状态保持金属薄板11，并且能够保持在各开口部位于既定的尺寸精度范围内的状态下。

这里，框推压部件34施加在框13上的推压力设定为与夹持器27施加在金属薄板11上的拉力相等，这样可以用框13上产生的复原力将金属薄板11的拉力抵消，所以是优选的.但是，即使两者有一些差，由于框13自身具备一定程度的刚性，所以也无妨.由框推压部件34施加在框13上的推压力只要设定为使其与夹持器27施加在金属薄板11上的拉力之差为该拉力的±30％左右以内即可.

在将金属薄板11固定在框13上、将夹持器27敞开并使框推压部件34后退而解除对框的推压后，利用易切断线15将金属薄板11的周缘部分除去。这样，如图4所示，制造出在框13上固定有金属薄板11的结构的蒸镀掩模装置17。在得到的蒸镀掩模装置17中，金属薄板11被保持为没有变形或松弛的状态且保持为开口部12的狭缝12a准确地平行而方向一致的状态，并且各开口部12的位置也保持在既定的尺寸精度内。这样，通过使用该蒸镀掩模装置17进行蒸镀，能够准确地进行微细图案的蒸镀。

另外，在上述的动作说明中，在将金属薄板11用多个夹持器27张拉而调节为平坦的状态后，在框13上作用推压力，但在框13上作用推压力的时机并不限于此，也可以在作用夹持器27的拉力时同时作用推压力。进而，在上述实施方式中，独立地设置用来使拉力作用在金属薄板11上的压力缸装置30和在框13上作用推压力的压力缸装置35，但本发明并不限于该结构，也可以使用共用的压力缸装置。以下说明这种情况下的实施方式。

图7是表示在本发明另一实施方式的装框装置中使用的板张拉框推压组件21A的图。在该板张拉·框推压组件21A中，在支承台24A上安装有辅助支承台32A，在该辅助支承台32A上经由直动引导件33可移动地保持框推压部件34A，将该框推压部件34A通过连结杆50连结在压力缸装置30A的活塞杆30a上。压力缸装置30A将其压力缸30b保持在保持夹持器27的移动台26上。根据该结构，通过使压力缸装置30A动作，能够使移动台26和框推压部件34A向相互离开的方向(箭头A方向及箭头B方向)及接近的方向移动，并且能够使此时施加在移动台26和框推压部件34A上的力相同。另外，55是用来将连结杆50向图中右方推压而使框推压部件34A回到后退位置的弹簧。其他构造与图5、图6所示实施方式的板张拉·框推压组件21同样。图7所示的板张拉·框推压组件21A可以代替图1的装框装置20中的板张拉·框推压组件21来使用。

在使用图7所示板张拉·框推压组件21A的装框装置中，也是将框13载置到框推压部件34A之上，将金属薄板11载置于框13上，用夹持器27把持金属薄板11。接着，如图7(b)所示，使压力缸装置30A向其活塞杆30a伸出的方向动作，使移动台26及保持于其上的夹持器27向箭头A方向移动，并且使框推压部件34A向箭头B方向移动。由此，能够通过夹持器27使拉力作用在金属薄板11上，并且使大小等于该拉力的推压力经由框推压部件34A施加在框13上。然后，调节在金属薄板11的4边上分别配置有多个的夹持器27上施加的拉力，使金属薄板11成为没有变形及松弛的状态且成为各开口部位于既定的尺寸精度范围内的状态，之后将该金属薄板11点焊固定在框13上。此时，使框推压部件34A对与夹持器27在金属薄板11上作用拉力的区域重合的框13的区域作用与该拉力大小相等的推压力，而使框13弹性变形，所以在金属薄板11与框13上分别产生大小相等且方向相反的复原力，因此，在将金属薄板11及框13释放时，金属薄板11的复原力(拉力)被框13的复原力抵消，框13不会因被金属薄板11张拉而变形，因而金属薄板11不收缩而是保持施加有既定拉力的状态。这样，能够利用刚性较小的便宜的框13，将金属薄板11保持为没有变形及松弛的状态，且保持为各开口部位于既定的尺寸精度范围内的状态。

在图7所示的板张拉·框推压组件21A中，可以得到以下的优点，即，能够通过共用的压力缸装置30A对金属薄板11施加拉力和对框13施加推压力，能够使装置构造及控制***简化，并且能够使对金属薄板11施加的拉力和对框13施加的推压力相同，能够更可靠地防止将金属薄板11固定在框13上、接着释放后的金属薄板11的收缩，能够将金属薄板11保持为没有变形及松弛的状态，而且能保持为各开口部位于既定的尺寸精度范围内的状态.

图8是表示在本发明又一实施方式的装框装置中使用的板张拉·框推压组件21B的图。在该板张拉·框推压组件21B中，将支承台24B的宽度扩大而在其上表面上设置较长的轨道57，在该轨道57上经由直动引导件25可移动地保持移动台26，并且经由直动引导件33可移动地保持框推压部件34B。并且，将该框推压部件34B通过连结杆50连结在保持于移动台26上的压力缸装置30B的活塞杆30a上。其他构造与图7所示的板张拉·框推压组件21A同样。在图8的板张拉·框推压组件21B中，如图8(b)所示，也能通过使压力缸装置30B动作，而使移动台26及保持于其上的夹持器27向箭头A方向移动并且使框推压部件34B向箭头B方向移动，通过夹持器27对金属薄板11作用拉力，并且能够将与该拉力大小相等的推压力经由框推压部件34B施加在框13上。在该实施方式中，通过将移动台26和框推压部件34B可移动地保持在共用的轨道57上，可得到能够使构造简化的优点。

图9是表示在本发明又一实施方式的装框装置中使用的板张拉·框推压组件21C的图。在该板张拉·框推压组件21C中，在支承台24C之上经由直动引导件可移动地保持着辅助移动台61，在该辅助移动台61上经由直动引导件25可移动地保持移动台26。并且，在辅助移动台61上安装有框推压部件34C，在移动台26上安装有压力缸装置30C的压力缸30b，并且将其活塞杆30a连结在辅助移动台61上。此外，还设有用来使该框推压部件34C回到后退位置的弹簧63。其他构造与图7所示的板张拉·框推压组件21A同样。在图9的板张拉·框推压组件21C中，如图9(b)所示，也能通过使压力缸装置30C动作，而使移动台26及保持于其上的夹持器27向箭头A方向移动并且经由辅助移动台61使框推压部件34C向箭头B方向移动，通过夹持器27对金属薄板11作用拉力，并且能够将与该拉力大小相等的推压力经由框推压部件34C施加在框13上。在该实施方式中，通过将辅助移动台61与移动台26重叠配置，可得到能够减小板张拉·框推压组件21C的宽度的优点。

图10是表示本发明又一实施方式的装框装置20D的概略俯视图。在该实施方式的装框装置20D中，在置于既定位置的金属薄板11的4边上分别配置有多个板张拉·框推压组件21。此外，在金属薄板11的相邻两边11a间的角部11b，配置有追加板张拉·框推压组件21d。其他结构与图1的实施方式同样。在图10所示的实施方式中，也是通过各板张拉·框推压组件21及追加板张拉·框推压组件21d的夹持器27把持、张拉金属薄板11而将其调整为平坦状态，并固定在推压状态的框上。此时，首先通过配置在角部11b的追加板张拉·框推压组件21d的夹持器27向对角线方向张拉金属薄板11，接着通过4边的板张拉框推压组件21的夹持器27沿纵横两方向张拉金属薄板11。这样，首先通过将金属薄板11的4个角部11b向对角线方向张拉，能够将金属薄板11整体拉伸，然后通过张拉各边11a，能够在减小夹着角部11b的位置上配置的夹持器27彼此的干涉的同时，使纵横方向的拉力作用在金属薄板11整面上。由此，可得到下述优点，即，能够将金属薄板11保持为非常没有变形及松弛的状态，并且将开口部12保持在具有期望的尺寸精度的位置上，在该状态下将金属薄板11固定在框13上。

另外，也可以将角部11b的追加板张拉·框推压组件21d替换为仅具有板张拉功能的追加板张拉组件。

以上说明了本发明的优选实施方式，但本发明并不限于这些实施方式，能够在权利要求书所记载的范围内进行各种改变。例如，使夹持器移动以使拉力作用在该夹持器把持的金属薄板上的夹持器移动机构、使上述框推压部件移动以使上述推压部件对上述框作用推压力的框推压部件移动机构，并不限于实施方式所示的压力缸装置，也可以变更为利用马达的装置等。此外，在上述实施方式中，用来分别对板张拉·框推压组件21及追加板张拉·框推压组件21d的夹持器27施加拉力的压力缸装置30中供给的动作流体压力能够分别地调节，从而能够分别地调节各夹持器27对金属薄板11施加的拉力。该结构能够精密地调节对金属薄板11施加的拉力，所以有即使是容易发生变形及松弛的金属薄板11，也能够张拉并保持为很平坦的状态的优点。但是，本发明并不限于该结构，例如，在使用能够较容易地张拉、保持为平坦状态的金属薄板11的情况下，也可以将配置在各边11上的多个夹持器27分成多个组，例如将对应于开口部12的夹持器作为第1组，将对应于非开口部12b的夹持器27作为第二组，来对向连结在一组夹持器上的压力缸装置供给的动作流体压力共同进行调节。

此外，配置在金属薄板11的各边11a上的板张拉·框推压组件21、21A、21B、21C等并不限于配置成使各自的夹持器27位于与开口部12和非开口部分别对齐的位置上，也可以适当地组合开口部和非开口部而变更成把持更大的宽度，还可以进行变更，使用更多的夹持器，以便能够把持更细地分割的区域。无论怎样，只要对应于所使用的金属薄板的特性，确定板张拉·框推压组件的夹持器的使用数量及配置，以便能够以没有变形及松弛的状态张拉、保持该金属薄板即可。进而，在上述实施方式中，在金属薄板11的4边11a上分别配置有多个板张拉·框推压组件，但并不限于此，也可以进行变更，仅在相互面对的两边上配置多个板张拉·框推压组件。但是，在此情况下，希望在与狭缝同向的两端配置多个板张拉·框推压组件，以便能够使张拉开口部12的狭缝平行地方向一致。

第2实施方式

本发明能够应用于将需要保持为没有变形及松弛的平坦状态的任意矩形金属掩模(也称作金属薄板)安装在矩形框状框架(也称作框)上的情况，但优选应用于作为特别要求精密度的有机EL元件制造用的蒸镀用多面掩模而使用的金属掩模。以下，以作为有机EL元件制造中的蒸镀用多面掩模而使用的金属掩模为例，说明本发明的优选实施方式。

图20是表示用后述实施方式的框架安装装置(也称作金属薄板的装框装置)处理的金属掩模及框状框架的概略立体图，图21是表示将金属掩模固定在框架上而形成的掩模组件的概略立体图。

在图20中，101是作为蒸镀掩模而使用的直角四边形金属掩模(也称作金属薄板)，纵横排列地形成有多个掩模部(开口部)102.各掩模部(开口部)102具备允许蒸镀的多条微小的狭缝102a.各掩模部102的狭缝形状、排列是任意的，例如可以举出将细长狭缝状的狭缝平行排列的情况、将槽状狭缝沿纵向排列并且也平行排列的情况等.103是用来安装金属掩模101的刚性较大的框架(框)，具备开口104，该开口104具有包含金属掩模101的形成有多个掩模部102的区域(称作有效区域)的大小.金属掩模101作成在纵横两方向上都比框架103大的尺寸，在与框架103的外周缘大致对应的位置上，形成有能够通过弯折而容易地切断的易切断线105.另外，易切断线105具有可承受施加在金属掩模101上的拉力的强度.金属掩模101的厚度、掩模部102的尺寸、形成于掩模部102的多个微小开口部的尺寸等没有特别的限制，但作为代表性的例子，可以例示出金属掩模101的厚度为30～200μm，掩模部102的尺寸为长50～70mm、宽30～50mm，狭缝102a的宽度为40～100μm，平行排列的开口部间的无孔部分的宽度为80～200μm等.将金属掩模101通过点焊等固定在框架103上，通过将其周缘部分利用易切断线105切断、除去，能够形成图21所示的掩模组件108.

图11是本发明实施方式的金属掩模的框架安装装置的概略俯视图，图12是该框架安装装置的概略剖视图，图13(a)、图13(b)是以不同的动作状态表示设置在该框架安装装置中的张紧组件113的概略侧视图，图14(a)、图14(b)是以不同的动作状态表示在该框架安装装置中设置在保持金属掩模角部附近的位置上张紧组件113A的概略侧视图，图15是从箭头V-V方向观察图14(b)所示的张紧组件113A的概略正视图。

在图11、图12中，整体用附图标记110表示的金属掩模的框架安装装置(也称作金属薄板的装框装置)具备支承台111、和配置在该支承台111上以便能够把持金属掩模101的4边上的各多个部位并施加张力的多个张紧组件113、113A。这里，张紧组件113A配置在把持金属掩模101的角部附近的位置上，张紧组件113配置在其他区域中。

即，金属掩模101呈矩形，在相邻两边101a间的角部101b附近设有张紧组件113A，张紧组件113配置在其他区域中。

此外，张紧组件113也可以称作板张拉组件，张紧组件113A也可以称作追加板张拉组件。

张紧组件113如图13放大表示的那样，具备：基座部件115，以可调节安装位置的形态固定在设于支承台111的支承轨道114上；夹持器支承台117，经由直动引导件116以可向对金属掩模施加拉力的方向移动的方式保持在该基座部件115上；夹持器118，设置在夹持器支承台117上，把持金属掩模101；夹持器开闭机构119，开闭该夹持器118；夹持器移动机构123，使保持夹持器118的夹持器支承台118相对于基座部件115移动，以便对由夹持器118把持的金属掩模101作用张力。

夹持器118具备固定在夹持器支承台117上的固定爪118a、和可相对于固定爪118a开闭的可动爪118b。夹持器开闭机构119具备肘节机构120、和经由该肘节机构120开闭夹持器118的可动爪118b的气缸等压力缸机构121。肘节机构120具备：以销120a为中心可旋转地保持在安装于夹持器支承台117的支承板117a上的第一杠杆120b、以销120c为中心可旋转地保持在支承板117a上的第二杠杆120d、和将第一杠杆120b与第二杠杆120d连结的连杆120e等，在第一杠杆120b上连结着压力缸机构121，在第二杠杆120d上可旋转地保持有夹持器118的可动爪118b。进而，在第二杠杆120d的末端上安装有支承可动爪118b的背面的调节螺纹件120f，通过该调节螺纹件120f，能够调节如图13(b)所示那样使夹持器118为闭合位置时可动爪118b的高度位置。另外，虽然省略了图示，但设有弹簧，该弹簧用来即使在如图13(a)所示使第二杠杆120d向上方旋转而将可动爪118b打开的状态下，也将可动爪118b保持在与调节螺纹件120f接触的位置上。根据这些结构，能够通过压力缸机构121使第一杠杆120b往复旋转而将夹持器118开闭，并且在图13(b)所示的闭合位置上，能够通过固定爪118a和可动爪118b牢固地把持金属掩模101。

夹持器移动机构123是使夹持器支承台117相对于基座部件115往复移动的机构，在本实施方式中使用气缸.该夹持器移动机构123如图13(b)所示，通过使夹持器支承台117向箭头A方向移动，能够对由夹持器118把持的金属掩模101施加箭头A方向的拉力.另外，作为夹持器移动机构123在这里使用气缸，但并不限于此，也可以使用油压缸或伺服马达等.

在基座部件115上安装有支承框架103的框架支承件125。该框架支承件125配置成，通过将框架103载置于其上，能够将框架103定位在水平面内的既定位置上，并且在上下方向上也能进行定位，以使框架103的上表面位于大致与受夹持器118把持并被施加了张力的金属掩模101接触的位置。进而，框架支承件125还起到用来限制夹持器支承台117的前进位置的止动器的作用。

配置成把持金属掩模101的角部附近的张紧组件113A如图14、图15所示，具备下述部件等：第一基座部件115A，以可调节安装位置的形态固定在设于支承台111的支承轨道114上；第二基座部件115B，经由直动引导件127保持在该第一基座部件115A上，能向与受夹持器118把持的金属掩模101平行且相对于向金属掩模施加拉力的方向成直角的方向移动；夹持器支承台117，经由直动引导件116以可在对金属掩模施加拉力的方向(与后述夹持器支承台117的移动方向同向)上移动的方式，保持在该第二基座部件115B上；夹持器118，设置在夹持器支承台117上，把持金属掩模101；夹持器开闭机构119，具备将该夹持器118经由肘节机构120开闭的气缸等压力缸机构121；夹持器移动机构123，使保持夹持器118的夹持器支承台117相对于第二基座部件115B移动，以使拉力作用在夹持器118把持的金属掩模101上；框架支承件125，支承框架103。

这里，通过将第二基座部件115B设计成能够在直动引导件127的作用下向相对于夹持器支承台117的移动方向成直角的方向移动，夹持器支承台117及由其保持的夹持器118能够向对金属掩模101施加拉力的方向A及与其成直角的B-B方向移动。另外，在第一基座部件115A与第二基座部件115B之间设有复位弹簧，该复位弹簧在对第二基座部件115B上作用有B-B方向的力时允许第二基座部件115B的移动，但在该力消失时用来使其回到原来的中央位置。框架支承件125保持在第一基座部件115A上。其他构造与图13所示的张紧组件113同样。

在图11、图12中，张紧组件113及113A配置成，能够分别用多个张紧组件113、113A把持金属掩模101的各边，而对其边向直角方向施加张力。进而，配置成把持金属掩模101的各边的多个张紧组件113、113A的夹持器118与金属掩模101的掩模部102和非掩模部102b对齐地配置，因而，能够分别通过独立的夹持器118将金属掩模101中形成有掩模部102的沿纵向延伸的区域及沿横向延伸的区域、和没有掩模部的沿纵向延伸的区域及沿横向延伸的区域张拉而施加张力。

在分别设置在多个张紧组件113、113A上的夹持器移动机构123上，设有分别调节该夹持器移动机构123的驱动力以便能够分别调节对金属掩模101施加的张力的调节机构(未图示)。更具体地讲，在构成夹持器移动机构123的气缸上连接着空气供给配管，在该空气供给配管中，作为调节机构而设有可分别调节向各气缸供给的压力的调节器。另外，经由共用的开闭阀将空气供给到与这些气缸连结的空气供给配管中，以便能够使全部的张紧组件113的夹持器移动机构(气缸)123同时动作，并且，在通向各气缸的空气供给配管中还设有速度控制器，以便能够调节各气缸的动作时机。

接着，对利用上述结构的金属掩模的框架安装装置110进行的掩模安装动作进行说明.如图13(a)、图14(a)所示，在使夹持器支承台117处于前进位置并且将夹持器118打开的状态下，首先将框架103保持在多个张紧组件113、113A的框架支承件125上，接着将金属掩模101载置于其上，用多个张紧组件113的夹持器118把持其4边.此时，利用多个定位销(未图示)将金属掩模101相对于框架103定位.接着，对连结在夹持器支承台117上的夹持器移动机构(气缸)123输送加压空气，使各夹持器118向离开金属掩模101的方向移动，通过多个夹持器对金属掩模101沿纵横两方向施加较小的拉力，使金属掩模101成为稍稍伸展的状态，在该状态下拆下定位销，然后对金属掩模101施加较大的拉力.该状态是图13(b)、图14(b)所示的状态.另外，即使将定位销从金属掩模101拆下，金属掩模101相对于框架103来说的位置也不怎么变动，能保证金属掩模101相对于框架103的期望定位精度.

以上，通过用配置在金属掩模101的4边上的张紧组件113分别保持金属掩模101的4边而施加拉力，如图11所示，金属掩模101由多个夹持器118沿纵横两方向张拉。在此状态下，目视检查金属掩模101的表面状态，如果有变形或松弛，则调节向与张拉该区域的夹持器118连结的夹持器移动机构(气缸)123供给的动作流体压力，将金属掩模101调节为没有变形或松弛的状态，且调节为掩模部102的开口部被平行地张拉而方向一致的状态。此外，检查形成在金属掩模101上的各掩模部102的位置，调节向各夹持器移动机构(气缸)123供给的动作流体压力，以使各掩模部102进入到既定的尺寸位置精度内的位置。在进行该调节动作时，如图16所示，在夹着金属掩模101的角部而配置在其附近的张紧组件113A、113A中，夹持器118、118对金属掩模101施加箭头A方向、B方向的拉力而将其拉伸，因此，由各张紧组件113A的夹持器118把持的部分的金属掩模101，在配置于夹着角部而相邻的边上的张紧组件113A的拉力作用下，被向与夹持器118的张拉方向成直角的方向(B方向或A方向)张拉，该力会作用在夹持器118上。但是，在张紧组件113A中，支承夹持器118的夹持器支承台117(参照图14、图15)能够向相对于对金属掩模施加拉力的方向成直角的方向移动，所以会被金属掩模101牵拉而移动。因此，能够将金属掩模101的角部拉伸到既定的尺寸，能够使有效区域的角部位于期望的点P。这样，能够使金属掩模101成为没有变形及松弛的状态，并且能够成为包括配置在角部的掩模部102的各掩模部102位于既定的尺寸精度范围内的状态。

接着，在此状态下，如图12所示，将金属掩模101利用激光焊接机130点焊在框架103上。该点焊是使激光焊接机130逐次移动到期望的点焊位置而进行的。由此，将金属掩模101的多个部位通过点焊部132(参照图11)固定在框架103上。然后，敞开夹持器118而解除金属掩模101的把持，利用易切断线105将金属掩模101的周缘部分除去。通过以上操作，如图21所示，制造出将金属掩模101固定在框架103上的结构的掩模组件108。在得到的掩模组件108中，将金属掩模101保持为没有变形或松弛的状态且保持为各掩模部102的开口部准确地平行地方向一致的状态，并且各掩模部102的位置也保持在既定的尺寸精度内。这样，通过利用该掩模组件108进行蒸镀，能够准确地进行微细图案的蒸镀。例如，通过在该掩模组件108上安装玻璃基板等被蒸镀基材并设定在蒸镀机中，进行有机EL元件的有机层或阴极的蒸镀，能够位置精度良好地进行微细图案的蒸镀，能够形成高品质的有机层或阴极。

另外，在上述实施方式中，在最接近于各边的角部的位置上配置有1个能够使夹持器118向与对金属掩模施加拉力的方向成直角的方向移动的张紧组件113A，但张紧组件113A的设置个数可以适当增减，根据情况，也可以使所有的张紧组件都为张紧组件113A.此外，在上述实施方式中，张紧组件113A，为了能使夹持器118向与对金属掩模施加拉力的方向成直角的方向移动，而设计成能够使保持夹持器支承台117及夹持器移动机构123的第二基座部件115B向与拉力施加方向成直角的方向移动，但本发明并不限于该结构，只要使至少夹持器118能够向与拉力施加方向成直角的方向移动即可.以下，说明能够在本发明中使用的张紧组件的其他例子.

图17所示的张紧组件113B中，将图13所示张紧组件113的夹持器支承台117分割为上下的第一夹持器支承台117A和第二夹持器支承台117B，在两者之间设置直动引导件134，使第二夹持器支承台117B能够向与由夹持器118把持的金属掩模101平行且与向金属掩模施加拉力的方向A成直角的方向移动，将夹持器118及夹持器开闭机构119保持在第二夹持器支承台117B上，将夹持器移动机构123连结在第一夹持器支承台117A上。另外，还设有用来使第二夹持器支承台117B回到相对于第一夹持器支承台117A来说的中央位置的复位弹簧(未图示)。其他构造与图13所示的张紧组件113同样。在该张紧组件113B中，夹持器118也能够向与向金属掩模施加张力的方向成直角的方向移动，所以通过在把持金属掩模101的角部附近的位置上使用该张紧组件113B，能够不受妨碍地将金属掩模101的角部拉伸到既定尺寸位置。

图18、图19所示的张紧组件113C中，夹持器118A由固定爪118Aa和能经由销136相对于固定爪118Aa旋转的可动爪118Ab构成，将该夹持器118A设计成能经由直动引导件138而相对于夹持器支承台117向与由夹持器118A把持的金属掩模101平行且与向金属掩模施加拉力的方向成直角的方向移动。另外，还设有用来使夹持器118A回到相对于夹持器支承台117来说的中央位置的复位弹簧。进而，在夹持器支承台117上，为了开闭夹持器118A而保持有具备肘节机构120A和压力缸机构121的夹持器开闭机构119A。该肘节机构120A具备以销120a为中心可旋转地保持在安装于夹持器支承台117的支承板117a上的第一杠杆120b、以销120c为中心可旋转地保持在支承板117a上的第二杠杆120d、和将第一杠杆120b与第二杠杆120d连结的连杆120e等，在第一杠杆120b上连结着压力缸机构121，在第二杠杆120d上安装有用来将夹持器118A的可动爪118Ab按压到闭合位置的调节螺纹件120g。该调节螺纹件120g也能够调节如图18(b)所示那样使夹持器118A位于闭合位置时可动爪118Ab的紧固力。此外，为了与第二杠杆120b的往复旋转联动地使可动爪118Ab开闭，还设有螺旋弹簧140以将两者连结。其他构造与图13所示的张紧组件113同样。在该张紧组件113C中，夹持器118C也能够向与对金属掩模施加拉力的方向成直角的方向移动，所以通过在把持金属掩模101的角部101b附近的位置上使用该张紧组件113C，能够不受妨碍地将金属掩模101的角部拉伸到既定尺寸位置。

以上说明了本发明的优选实施方式，但本发明并不限于这些实施方式，可以在权利要求书记载的范围内进行各种变更.例如，在上述实施方式中，能够分别调节向用来对多个夹持器118分别施加拉力的夹持器移动机构(气缸)123供给的动作流体压力，从而能够分别调节各夹持器18对金属掩模101施加的拉力.该结构能够精密地调节对金属掩模101施加的拉力，所以可得到即使是容易发生变形及松弛的金属掩模101也能够张拉并保持为很平坦的状态的优点.但本发明并不限于该结构，例如在使用较容易张拉并保持为平坦状态的金属掩模的情况下，也可以将配置在各边上的多个夹持器分为多个组，例如使对应于掩模部的夹持器为第1组，使对应于非掩模部的夹持器为第二组，对向与一组夹持器连结的压力缸装置供给的动作流体压力共同进行调节.

此外，配置在金属掩模101的各边上的张紧组件113、113A(或113B、113C)并不一定限于配置成使各自的夹持器118位于分别与掩模部102和非掩模部对齐的位置，也可以适当地组合开口部102和非开口部102b而变更成把持更大的宽度，还可以进行变更，使用更多的夹持器，以便能够把持更细地分割的区域。无论怎样，只要对应于所使用的金属掩模的特性，确定张紧组件(的夹持器)的使用数量及配置，以便能够以没有变形及松弛的状态张拉、保持该金属掩模即可。

另外，分别独立地说明了上述第1实施方式及第2实施方式，但也可以根据需要而组合第1实施方式及第2实施方式。

例如，在第1实施方式中，也可以代替图10所示的追加板张拉·框推压组件21d，而使用第2实施方式的图11所示张紧组件113A。

Claims (20)

1.一种金属薄板的装框方法，其特征在于，包括：

使矩形金属薄板位于矩形框上的工序；

张拉工序，将上述金属薄板的至少相对的两边的每一边用多个夹持器把持，施加拉力而使上述金属薄板成为张拉状态；

推压工序，对上述框施加推压力，以便使上述框中与各夹持器对金属薄板作用拉力的区域相对应的区域产生与对上述金属薄板施加的拉力方向相反的弹性变形；

将张拉状态的金属薄板固定在推压状态的框上的工序。

2.如权利要求1所述的金属薄板的装框方法，其特征在于，

在张拉工序中，通过夹持器张拉上述金属薄板的4边的每一边；

在推压工序中，推压上述框的4边的每一边。

3.如权利要求1所述的金属薄板的装框方法，其特征在于，使由上述夹持器对金属薄板施加的拉力、和对上述框中与上述夹持器施加拉力的区域对应的区域施加的推压力相等。

4.如权利要求1所述的金属薄板的装框方法，其特征在于，上述金属薄板包括具有多条狭缝并且并排配置的多个矩形开口部，上述多个夹持器与开口部和非开口部相对应地配置。

5.如权利要求2所述的金属薄板的装框方法，其特征在于，在张拉工序中，通过夹持器把持金属薄板的相邻两边间的角部附近，该夹持器以能够向相邻两边的各方向移动的方式张拉角部。

6.一种金属薄板的装框装置，将矩形金属薄板以张拉状态固定在矩形框上，其特征在于，

具备多个板张拉组件及多个框推压组件，所述多个板张拉组件及多个框推压组件设置成，在上述框及其上配置的上述金属薄板的至少相对的两边的每一边上，各设有多个；

各板张拉组件具有把持上述金属薄板的夹持器、和使该夹持器移动以使拉力作用在该夹持器把持的金属薄板上的夹持器移动机构；

各框推压组件具有框推压部件和框推压部件移动机构，所述框推压部件配置成，对上述框作用推压力，以使上述框中与上述夹持器对金属薄板作用拉力的区域对应的区域产生与上述夹持器的拉力方向相反的弹性变形，所述框推压部件移动机构使上述框推压部件移动以使该框推压部件对上述框作用推压力。

7.如权利要求6所述的金属薄板的装框装置，其特征在于，上述板张拉组件及框推压组件，分别在上述框及配置于其上的上述金属薄板的4边的每一边上各设有多个。

8.如权利要求6所述的金属薄板的装框装置，其特征在于，

上述板张拉组件及上述框推压组件成型为一体；

上述板张拉组件的夹持器移动机构及上述框推压组件的框推压部件移动机构具备共用的压力缸装置，该压力缸装置相对于上述夹持器及框推压部件以使两者向相互离开的方向及接近的方向移动的方式连结。

9.如权利要求6所述的金属薄板的装框装置，其特征在于，上述框推压部件具备载置并支承上述框的支承面。

10.如权利要求6所述的金属薄板的装框装置，其特征在于，上述金属薄板包括具有多条狭缝并且并排配置的多个矩形开口部，上述夹持器与开口部和非开口部相对应地配置.

11.如权利要求6所述的金属薄板的装框装置，其特征在于，上述多个板张拉组件的夹持器移动机构施加的拉力，能够针对各板张拉组件分别进行调节。

12.如权利要求7所述的金属薄板的装框装置，其特征在于，

在金属薄板的相邻两边间的角部附近设有追加板张拉组件；

该追加板张拉组件具有把持金属薄板的夹持器、和使该夹持器向相邻两边的各方向移动的夹持器移动机构。

13.如权利要求12所述的金属薄板的装框装置，其特征在于，

追加板张拉组件还具有第一基座部件、以可向平行于金属薄板且与拉力施加方向成直角的方向移动的方式保持在该第一基座部件上的第二基座部件、和以可与对金属薄板施加拉力的方向平行地移动的方式保持在该第二基座部件上的夹持器支承台；

上述夹持器及开闭该夹持器的夹持器开闭机构保持在上述夹持器支承台上，上述夹持器移动机构连结在上述夹持器支承台和第二基座部件上，以使上述夹持器支承台相对于第二基座部件向拉力施加方向移动。

14.如权利要求12所述的金属薄板的装框装置，其特征在于，

追加板张拉组件还具有基座部件、以可与金属薄板的拉力施加方向平行地移动的方式保持在该基座部件上的第一夹持器支承台、和以可向与上述金属薄板平行且与拉力施加方向成直角的方向移动的方式保持在该第一夹持器支承台上的第二夹持器支承台；

上述夹持器及开闭该夹持器的夹持器开闭机构保持在上述第二夹持器支承台上，上述夹持器移动机构连结在第一夹持器支承台和基座部件上，以使上述第一夹持器支承台相对于上述基座部件向拉力施加方向移动。

15.如权利要求12所述的金属薄板的装框装置，其特征在于，

追加板张拉组件还具有基座部件、和以可与金属薄板的拉力施加方向平行地移动的方式保持在该基座部件上的夹持器支承台；

上述夹持器以可向与由上述夹持器把持的金属薄板平行且与拉力施加方向成直角的方向移动的方式保持在上述夹持器支承台上，开闭上述夹持器的夹持器开闭机构保持在上述夹持器支承台上，上述夹持器移动机构连结在夹持器支承台和基座部件上，以使上述夹持器支承台相对于上述基座部件向拉力施加方向移动。

16.一种金属薄板的装框方法，其特征在于，包括：

使矩形金属薄板位于矩形框上的工序；

张拉工序，将金属薄板的4边用多个夹持器把持，施加拉力而使金属薄板成为张拉状态；

将张拉状态的金属薄板固定在推压状态的框上的工序；

在张拉工序中，通过夹持器把持金属薄板的相邻两边间的角部附近，该夹持器以能够向相邻两边的各方向移动的方式张拉角部。

17.一种金属薄板的装框装置，将矩形金属薄板以张拉状态固定在矩形框上，其特征在于，

具备多个板张拉组件，所述多个板张拉组件设置成，在上述框及其上配置的上述金属薄板的4边的每一边上，各设有多个；

各板张拉组件具有把持上述金属薄板的夹持器、和使该夹持器移动以使拉力作用在该夹持器把持的金属薄板上的夹持器移动机构；

在金属薄板的相邻两边间的角部附近，设有追加板张拉组件；

该追加板张拉组件具有把持金属薄板的夹持器、和使该夹持器向相邻两边的各方向移动的夹持器移动机构。

18.如权利要求17所述的金属薄板的装框装置，其特征在于，

追加板张拉组件还具有第一基座部件、以可向平行于金属薄板且与拉力施加方向成直角的方向移动的方式保持在该第一基座部件上的第二基座部件、和以可与对金属薄板施加拉力的方向平行地移动的方式保持在该第二基座部件上的夹持器支承台；

上述夹持器及开闭该夹持器的夹持器开闭机构保持在上述夹持器支承台上，上述夹持器移动机构连结在上述夹持器支承台和第二基座部件上，以使上述夹持器支承台相对于第二基座部件向拉力施加方向移动。

19.如权利要求17所述的金属薄板的装框装置，其特征在于，

追加板张拉组件还具有基座部件、以可与金属薄板的拉力施加方向平行地移动的方式保持在该基座部件上的第一夹持器支承台、和以可向与上述金属薄板平行且与拉力施加方向成直角的方向移动的方式保持在该第一夹持器支承台上的第二夹持器支承台；

上述夹持器及开闭该夹持器的夹持器开闭机构保持在上述第二夹持器支承台上，上述夹持器移动机构连结在第一夹持器支承台和基座部件上，以使上述第一夹持器支承台相对于上述基座部件向拉力施加方向移动。

20.如权利要求17所述的金属薄板的装框装置，其特征在于，

追加板张拉组件还具有基座部件、和以可与金属薄板的拉力施加方向平行地移动的方式保持在该基座部件上的夹持器支承台；

上述夹持器以可向与由上述夹持器把持的金属薄板平行且与拉力施加方向成直角的方向移动的方式保持在上述夹持器支承台上，开闭上述夹持器的夹持器开闭机构保持在上述夹持器支承台上，上述夹持器移动机构连结在夹持器支承台和基座部件上，以使上述夹持器支承台相对于上述基座部件向拉力施加方向移动。

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