KR101205818B1 - 마스크 프레임 가압변형장치 및 이를 이용한 마스크 조립체 제작시스템 - Google Patents

마스크 프레임 가압변형장치 및 이를 이용한 마스크 조립체 제작시스템 Download PDF

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Abstract

마스크 프레임에 복수의 마스크 각각을 고정시 적용되는 마스크 프레임 가압변형장치 및 이를 이용한 마스크 조립체 제작시스템이 개시되어 있다.
이 개시된 마스크 프레임에 마스크를 고정시, 상기 마스크 프레임이 내측으로 휘도록 가압하는 마스크 프레임 가압변형장치는, 상기 마스크 프레임이 위치되는 베이스를 구비한 본체와; 구동원과; 상기 본체에 설치되며, 상기 구동원에서 제공되는 동력에 의하여 작동하는 작동부와; 상기 작동부에 연동되어 상기 베이스에 설치된 상기 마스크 프레임을 가압하는 가압부를 포함하며, 상기 작동부는, 상기 본체의 적어도 일측판에 회전 가능하게 설치되며, 상기 구동원에서 제공된 동력에 의하여 회전 구동되는 리드스크류와; 상기 리드스크류의 회전에 연동되어, 상기 리드스크류의 축선 방향으로 왕복 이동 가능하게 설치되는 제1작동부와; 상기 제1작동부의 왕복 이동에 연동되어, 상기 제1작동부의 이동방향에 대해 가로방향으로 상기 마스크 프레임을 향하여 왕복이동가능하게 설치되는 제2작동부를 포함한다.

Description

마스크 프레임 가압변형장치 및 이를 이용한 마스크 조립체 제작시스템{APPARATUS FOR PRESSING AND DEFORMING MASK FRAME AND SYSTEM FOR MANUFACTURING MASK ASSEMBLY USING THE SAME}
본 발명은 마스크 프레임에 복수의 마스크 각각을 고정시 적용되는 마스크 프레임 가압변형장치 및 이를 이용한 마스크 조립체 제작시스템에 관한 것이다.
일반적으로, 유기발광다이오드(OLED; Organic Light Emitting Diode; 이하, 'OLED'라 함)는 액정표시소자와는 달리 자체 발광형 표시소자로서, 우수한 콘트라스트와, 넓은 시야각을 가진다. 또한 OLED는 LCD에 비하여 빠른 응답속도를 가진다.
이에 따라 휴대단말장치의 디스플레이 및 차세대 대화면 평판패널 디스플레이로서 주목을 받고 있다.
이 OLED 디스플레이는 유기 화합물에 전류를 흘릴 때 발광하는 현상을 디스플레이에 적용한 것으로, 투명한 절연기판 상에 애노드 전극, 유기발광층 및 캐소드 전극을 성막하는 공정에 의하여 제조된다.
유기발광층은 애노드 전극이 형성된 절연기판 상에 소정의 패턴의 마스크를 가지는 마스크 조립체를 밀착시킨 후 유기발광층을 도포하는 방식으로 형성될 수 있다. 또한 캐소드 전극의 경우는 소정 패턴의 마스크를 가지는 마스크 조립체를 설치한 후 진공증착 방식 등에 의하여 형성될 수 있다.
여기서, 유기발광층, 캐소드 전극과 같은 OLED의 구성요소를 형성하는데 사용되는 마스크 조립체는 사각틀 형상의 마스크 프레임과, 이 마스크 프레임에 용접 등의 방식으로 결합되는 복수의 마스크를 포함한다.
최근 들어 일 회 공정에 의하여 제조되는 OLED 원판의 크기가 커지고, OLED 디스플레이의 대화면화 추세에 따라 마스크 조립체의 크기도 대면적화가 요구되고 있다.
한편, 마스크 조립체의 크기가 증가함에 따라, 마스크 프레임에 마스크 각각을 결합시, 자중(自重)에 의하여 마스크의 처짐이 발생할 수 있다. 이에 따라, 상기한 마스크를 이용하여 증착 공정 수행시, 패터닝 불량을 초래할 수 있다.
본 발명은 상기한 바와 같은 점들을 감안하여 안출된 것으로서, 마스크 프레임을 그 내측으로 휘도록 가압변형시킨 상태로 마스크 프레임에 대해 복수의 마스크 각각을 고정함으로써, 각 마스크의 처짐을 개선할 수 있도록 된 구조의 마스크 프레임 가압변형장치 및 이를 이용한 마스크 조립체 제작시스템을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 마스크 프레임에 마스크를 고정시, 상기 마스크 프레임이 내측으로 휘도록 가압하는 마스크 프레임 가압변형장치에 있어서, 상기 마스크 프레임이 위치되는 베이스를 구비한 본체와; 구동원과; 상기 본체에 설치되며, 상기 구동원에서 제공되는 동력에 의하여 작동하는 작동부와; 상기 작동부에 연동되어 상기 베이스에 설치된 상기 마스크 프레임을 가압하는 가압부를 포함할 수 있다.
상기 작동부는, 상기 본체의 적어도 일측판에 회전 가능하게 설치되며, 상기 구동원에서 제공된 동력에 의하여 회전 구동되는 리드스크류와; 상기 리드스크류의 회전에 연동되어, 상기 리드스크류의 축선 방향으로 왕복 이동 가능하게 설치되는 제1작동부와; 상기 제1작동본체의 왕복 이동에 연동되어, 상기 제1작동부의 이동방향에 대해 가로방향으로 왕복 이동가능하게 설치되는 제2작동부를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 제1작동부는, 제1작동본체와; 상기 제1작동본체와 상기 본체에 마련되어, 상기 제1작동본체의 왕복 이동을 가이드하는 가이드부와; 상기 제1작동본체의 일측에 상기 리드스크류의 축선 방향에 대해 경사지게 형성되어, 동력전달방향을 변환하는 웨지부재를 포함할 수 있다.
또한, 상기 제2작동부는, 상기 본체에 설치되는 브라켓과; 상기 리드스크류의 축선방향에 대해 가로방향으로 축선방향이 위치되도록, 상기 브라켓과 상기 본체 사이에 마련되는 가이드 샤프트와; 상기 가이드 샤프트의 축선방향을 따라 왕복 이송 가능하게 상기 가이드 샤프트에 설치되며, 상기 웨지부재의 가변위치에 연동되어 작동하는 제2작동본체를 포함할 수 있다.
또한, 상기 제2작동부는, 상기 제2작동본체와 상기 본체 사이에 개재되어 상기 제2작동본체를 상기 제1작동본체 방향으로 탄성 바이어스시키는 탄성부재와; 상기 웨지부재에 접촉 회전되도록 상기 제2작동본체에 회전 가능하게 설치되며, 상기 웨지부재와의 사이의 접촉 위치에 따라 상기 제2작동본체의 위치가 가변되도록 하는 캠 팔로우를 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 마스크 프레임 가압변형장치는 상기 제2작동본체와 상기 가압부 사이에 위치되도록 상기 제2작동본체에 설치되며, 상기 제2작동본체의 동력을 상기 가압부에 전달하고 상기 가압부의 가압력을 감지하는 로드셀을 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 마스크 프레임 가압변형장치는 상기 구동원과 상기 작동부 사이에 마련되어, 상기 구동원에서 생성된 동력을 상기 작동부에 전달하는 동력전달부를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 마스크 프레임에 마스크를 고정하는 마스크 조립체 제작시스템은, 상기 마스크 프레임에 상기 마스크를 고정하기에 앞서, 상기 마스크 프레임이 그 내측으로 휘도록 가압변형하는 것으로, 상기한 구조를 가지는 마스크 프레임 가압변형장치와; 상기 가압변형된 마스크 프레임에 고정될 상기 마스크를 클램핑하여 상기 마스크에 장력을 인가하는 클램핑장치와; 상기 마스크 프레임에 대한 상기 마스크의 고정 위치를 모니터링하는 비전장치와; 상기 마스크 프레임에 상기 마스크를 고정하는 고정장치와; 상기 가압변형장치, 상기 클램핑장치, 상기 고정장치 및 상기 비전장치을 제어하는 제어부를 포함할 수 있다.
상기한 바와 같이 구성된 본 발명에 따른 마스크 프레임 가압변형장치는 마스크 프레임의 적어도 일측이 내측으로 휘도록 가압 변형할 수 있다.
또한 본 발명에 따른 마스크 프레임 가압변형장치는 가압력을 감지하는 로드셀을 작동부와 가압부 사이에 설치함으로써, 마스크 프레임에 인가되는 압력을 보다 정밀하게 측정할 수 있다. 이에 따라 마스크 프레임의 변형량을 정밀하게 제어할 수 있다.
따라서, 상기한 마스크 프레임 가압변형장치를 적용한 본 발명에 따른 마스크 조립체 제작시스템은 마스크 프레임에 고정되는 마스크의 처짐현상을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 마스크 조립체 제작시스템을 보인 개략적인 블록도.
도 2는 도 1의 마스크 조립체 제작시스템에 의해 제조되는 마스크 조립체를 보인 사시도.
도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ선 단면도.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 가압변형장치의 개략적인 구성을 보인 도면.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 가압변형장치를 보인 사시도.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 가압변형장치를 보인 분리 사시도.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 가압변형장치를 보인 측면도.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 가압변형장치의 마스크 프레임 가압 변형 전 작동상태를 보인 평면도.
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 가압변형장치의 마스크 프레임 가압 변형 후 작동상태를 보인 평면도.
이하, 첨부된 도면들을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 마스크 프레임 가압변형장치 및 이를 적용한 마스크 조립체 제작시스템을 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 마스크 조립체 제작시스템을 보인 개략적인 블록도이고, 도 2는 도 1의 마스크 조립체 제작시스템에 의해 제조되는 마스크 조립체를 보인 사시도이며, 도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ선 단면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 마스크 조립체 제작시스템(1)은 마스크 프레임(51)에 복수의 마스크(55) 각각을 도 2에 도시된 바와 같이 고정하여, 마스크 조립체(50)를 제작하기 위한 시스템으로서, 마스크 프레임 가압변형장치(100), 마스크(55)를 클램핑하는 클램핑장치(10), 비전(vision)장치(20), 고정장치(30) 및 제어부(40)를 포함한다.
마스크 프레임 가압변형장치(100)는 마스크 프레임(51)에 마스크(55)를 고정하기에 앞서, 본 시스템 상에 장착된 마스크 프레임(51)의 적어도 일측이 그 내측으로 휘도록 가압변형 한다. 이 마스크 프레임 가압변형장치(100)에 대한 상세한 설명은 도 4 내지 도 9를 참조하면서 후술하기로 한다.
클램핑장치(10)는 마스크 프레임(51)에 고정 될 마스크를 클램핑 및 이송하는 장치이다. 이 클램핑장치(10)는 마스크(55)의 양단을 클램핑하여, 마스크(55)에 장력을 인가한다. 비전장치(20)는 클램핑장치(10)에 클램핑되어 이송되는 마스크(55)가 마스크 프레임(51)의 소정 고정위치에 고정 될 수 있도록 마스크(55)의 얼라인(align) 상태를 모니터링한다.
고정장치(30)는 클램핑장치(10)에 클램핑 된 상태로 마스크 프레임(51) 상의 소정 고정위치로 이동된 마스크(55)를 마스크 프레임(51)에 용접 등의 방식으로 고정하는 장치이다.
제어부(40)는 마스크 조립체 제작시스템을 전반적으로 제어한다. 즉, 마스크 프레임 가압변형장치(100), 클램핑장치(10), 비전장치(20) 및 고정장치(30)의 작동 및 그 동작 타이밍을 제어한다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 가압변형장치의 개략적인 구성을 보인 도면이다.
본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 가압변형장치는 마스크 프레임(51)에 마스크(도 2의 55)를 고정하기에 앞서, 마스크 프레임(51)이 그 내측으로 휘도록 가압한다. 이를 위하여, 마스크 프레임 가압변형장치는 도 4에 도시된 바와 같이 마스크 프레임(51)의 서로 대향되는 양변에 복수개 구비될 수 있다. 도 4는 마스크 프레임(51)이 직사각 형상의 틀 구조로 이루어지고, 마스크 프레임 가압변형장치(100)가 마스크 프레임(51)의 대향되는 양변 각각에 3개씩 배치된 것을 예로 들어 나타낸 것이다. 여기서, 복수의 마스크 프레임 가압변형장치(100) 각각은 독립적으로 구동되어, 상기 마스크 프레임(51)의 속성에 따라 마스크 프레임(51)의 변형량을 조절한다.
도 4는 마스크 프레임 가압변형장치(100)가 마스크 프레임(51)의 양변 각각에 3개씩 배치된 6개 구비된 경우를 예로 들어 나타내었으나, 이에 한정되는 것은 아니며 다양하게 변형가능하다. 예컨대, 마스크 프레임(51)의 어느 한 변에만 적어도 하나의 마스크 프레임 가압변형장치를 장착하는 것도 가능하다.
도 5 및 도 6 각각은 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 가압변형장치를 보인 사시도와 분리사시도이다. 또한, 도 7은 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 가압변형장치를 보인 측면도이다.
도면들을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 가압변형장치(100)는 본체(110)와, 동력을 제공하는 구동원(120)과, 본체(110)에 설치되며 구동원(120)에서 제공되는 동력에 의하여 작동하는 작동부(130) 및 작동부(130)에 의해 마스크 프레임(51)을 가압변형하는 가압부(170)를 포함한다.
본체(110)는 마스크 프레임(51)이 위치되는 베이스(115)를 구비한다. 구동원(120)은 본체(110)에 설치되며, 작동부(130) 및 가압부(170)에 동력을 제공한다. 본 실시예에 있어서, 구동원(120)이 본체(110) 내에 설치된 구성을 예로 들어 나타내었지만, 이에 한정되는 것은 아니며, 본체(110) 외부에 설치되는 구성도 가능하다.
본 실시예에 따른 마스크 프레임 가압변형장치는 동력전달부(125)를 더 포함할 수 있다. 이 동력전달부(125)는 구동원(120)과 작동부(130) 사이에 마련되어, 구동원(120)에서 생성된 동력을 작동부(130)에 전달한다. 도 5를 참조하면, 동력전달부(125)는 구동원(120)의 출력축에 설치되는 제1풀리(126)와, 작동부(130)의 입력축(리드스크류(131))에 설치되는 제2풀리(127) 및 제1풀리(126)와 제2풀리(127) 사이에서 동력을 전달하는 타이밍벨트(129)를 포함할 수 있다. 이 경우 구동원(120)에서 생성된 동력은 순차적으로 제1풀리(126), 타이밍벨트(129) 및 제2풀리(127)를 통하여 리드스크류(131)에 전달되어, 작동부(130) 및 가압부(170)가 동작되도록 한다. 본 실시예에 있어서, 동력전달부(125)의 예로서, 제1 및 제2풀리(126)(127)와, 타이밍벨트(129)를 언급하였지만, 이는 예시적인 것에 불과한 것으로 직접 맞물려 동력을 전달하는 기어구조 등으로 다양하게 변형 가능하다.
작동부(130)는 본체(110)에 설치되며, 구동원(120)에서 제공되는 동력에 의하여 작동하는 것으로, 리드스크류(131)와, 제1 및 제2작동부(140)(150)를 포함한다.
리드스크류(131)는 본체(110)의 적어도 일측판에 회전 가능하게 설치되며, 구동원(120)에서 제공된 동력에 의하여 회전 구동된다.
제1작동부(140)는 리드스크류(131)의 회전에 연동되어, 리드스크류(131)의 축선 방향으로 왕복 이동 가능하게 설치된다. 이 제1작동부(140)는 제1작동본체(141), 본체(110)에 대해 제1작동본체(141)의 왕복 이동을 가이드하는 가이드부(145) 및 웨지부재(143)를 포함한다.
가이드부(145)는 제1작동본체(141)와 본체(110) 각각에 상호 대응되는 형상으로 마련되어, 본체(110)에 대한 제1작동본체(141)의 왕복 이동을 가이드한다. 도 6을 참조하면, 가이드부(145)는 본체(110)에 설치되는 가이드 그루브(146)와, 가이드 그루브(146)에 대향되는 위치의 제1작동본체(141)의 일측에 설치되는 가이드 레일(147)을 포함할 수 있다. 이와 같이, 가이드부(145)를 마련함으로써, 리드스크류(131)의 축선 방향을 따라 왕복이동하는 제1작동부(140)의 흔들림을 규제할 수 있다.
여기서, 가이드부(145)의 예로서, 본체(110)와 제1작동본체(141) 각각에 설치되는 가이드 그루브(146)와, 가이드 레일(147)를 예로 들어 나타내었으나 이는 예시적인 것에 불과한 것으로, 가이드 그루브와 가이드 레일(147)이 위치를 바꾸어 설치되는 것도 가능하다.
웨지부재(143)는 제1작동본체(141)의 일측에 리드스크류(131)의 축선 방향에 대해 경사지게 형성되어, 제2작동부가 제1작동부(140)의 움직임 방향에 대해 가로방향으로 작동하도록 한다.
제2작동부(150)는 제1작동본체(141)의 왕복 이동에 연동되어, 제1작동부(140)의 이동방향에 대해 가로방향으로 왕복 이동가능하게 설치된다. 이를 위하여, 제2작동부(150)는 본체(110)에 설치되는 브라켓(151)과, 브라켓(151)에 설치되는 가이드 샤프트(153)와, 제2작동본체(157)를 포함한다.
가이드 샤프트(153)는 리드스크류(131)의 축선방향에 대해 가로방향으로 축선방향이 위치되도록 브라켓(151)과 본체(110) 사이에 마련되어, 제2작동본체(157)의 이동을 가이드 한다.
제2작동본체(157)는 가이드 샤프트(153)의 축선방향을 따라 왕복 이송 가능하게 가이드 샤프트(153)에 설치되며, 웨지부재(143)의 가변위치에 연동되어 제1작동본체(141)의 이동방향에 대해 가로방향으로 작동한다.
이와 같이, 제1작동본체(141)와 제2작동본체(157) 사이의 이동방향을 절환함으로써, 제1작동본체(141)의 이동량에 비례하여 제2작동본체(157)의 이동량을 조절할 수 있다.
또한, 제2작동부(150)는 탄성부재(155)와, 캠 팔로우(cam follow)(159)를 더 포함할 수 있다. 탄성부재(155)는 제2작동본체(157)와 본체(110) 사이에 개재되어 제2작동본체(157)를 제1작동본체(141) 방향으로 탄성 바이어스시킨다. 이에 따라, 제2작동본체(157)가 가이드 샤프트(153) 상에서 자유롭게 슬라이딩하는 것을 규제할 수 있다.
캠 팔로우(159)는 웨지부재(143)에 접촉 회전되도록 제2작동본체(157)에 회전 가능하게 설치되며, 웨지부재(143)와의 사이의 접촉 위치에 따라 제2작동본체(157)의 위치가 가변되도록 한다. 이와 같이 캠 팔로우(159)를 더 포함함으로써, 웨지부재(143)와 제2작동부(150) 사이의 동력 절환시, 웨지부재(143) 및 제2작동부(150)의 마모 내지 파손을 방지할 수 있다.
가압부(170)는 제2작동부(150)의 움직임에 연동되어 움직임 가능하게 설치되어, 프레임(51)을 직접 가압함으로써, 프레임(51)이 변형되도록 한다.
본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 가압변형장치는 제2작동본체(157)와 가압부(170) 사이에 위치되도록 제2작동본체(157)에 설치되는 로드셀(180)을 더 포함 할 수 있다. 이 로드셀(180)은 제2작동본체(157)의 동력을 가압부(170)에 전달하고, 가압부(170)의 가압력을 감지한다. 이와 같이 제2작동본체(157)와 가압부(170) 사이에 로드셀(180)을 마련함으로써, 가압부(170)에 인가되는 압력에 대한 측정 정밀도를 높일 수 있다.
이하, 도 8 및 도 9를 참조하면서, 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 가압변형장치의 동작을 설명하기로 한다.
도 8 및 도 9 각각은 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 가압변형장치의 마스크 프레임 가압 변형 전/후 작동상태를 보인 평면도이다.
도 8에 도시된 바와 같이, 본체(110)의 베이스(115) 상에는 마스크(미도시)가 고정 설치 될 마스크 프레임(51)이 설치되어 있다. 이 경우, 가압부(170)가 마스크 프레임(51)에 대해 이격된 위치에 위치되도록 제1 및 제2작동부(140)(150)가 위치된다.
이 상태에서, 마스크 프레임(51)을 가압 변형하는 동작을 수행한다. 도 8 및 도 9를 참조하면, 구동원(120)에서 제공되는 동력에 의하여 리드스크류(131)를 회전 구동한다. 이에 따라, 제1작동본체(141)가 리드스크류(131)의 축선방향을 따라 제1위치(도 8의 위치)에서 제2위치(도 9의 위치)로 이동한다. 이 때, 제1작동본체(141)는 가이드부(145)에 의해 가이드되면서 이동하며, 캠 팔로우(159)와 접촉하는 웨지부재(143)의 위치가 변동되면서, 캠 팔로우(159)를 가압한다.
캠 팔로우(159)의 이동에 따라, 제1작동본체(141)의 이동방향에 대해 가로방향으로 제2작동본체(157)가 이동된다. 이 때, 제2작동본체(157)는 탄성부재(155)에 의하여 탄성바이어스 된 상태로, 가이드 샤프트(153)에 의해 가이드되면서 이동된다. 이에 따라 로드셀(180) 및 가압부(170)가 마스크 프레임(51) 방향으로 이동하면서, 마스크 프레임(51)이 그 내측으로 변형되도록 한다.
상기한 바와 같이 구성된 본 발명에 따른 마스크 프레임 가압변형장치는 마스크 프레임의 적어도 일측이 내측으로 휘도록 가압 변형할 수 있다. 이에 따라, 마스크 프레임에 대해 마스크를 제작시, 마스크의 처짐 현상을 방지할 수 있다.
또한, 가압력을 감지하는 로드셀을 작동부와 가압부 사이에 설치함으로써, 마스크 프레임에 인가되는 압력을 보다 정밀하게 측정할 수 있다. 이에 따라 마스크 프레임의 변형량을 정밀하게 제어할 수 있다.
상기한 실시예들은 예시적인 것에 불과한 것으로, 당해 기술분야의 통상을 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 하기의 특허청구범위에 기재된 발명의 기술적 사상에 의해 정해져야만 할 것이다.
10: 클램핑장치 20: 비전장치
30: 고정장치 40: 제어부
50: 마스크 조립체 51: 마스크 프레임
55: 마스크 100: 마스크 프레임 가압변형장치
110: 본체 120: 구동원
125: 동력전달부 130: 작동부
131: 리드스크류 140: 제1작동부
141: 제1작동본체 143: 웨지부재
145: 가이드부 146: 가이드 그루브
147: 가이드 레일 150: 제2작동부
151: 브라켓 153: 가이드 샤프트
155: 탄성부재 157: 제2작동본체
159: 캠 팔로우 170: 가압부
180: 로드셀

Claims (10)

  1. 마스크 프레임에 마스크를 고정시, 상기 마스크 프레임이 내측으로 휘도록 가압하는 마스크 프레임 가압변형장치에 있어서,
    상기 마스크 프레임이 위치되는 베이스를 구비한 본체와;
    구동원과;
    상기 본체에 설치되며, 상기 구동원에서 제공되는 동력에 의하여 작동하는 작동부와;
    상기 작동부에 연동되어 상기 베이스에 설치된 상기 마스크 프레임을 가압하는 가압부를 포함하며,
    상기 작동부는, 상기 본체의 적어도 일측판에 회전 가능하게 설치되며, 상기 구동원에서 제공된 동력에 의하여 회전 구동되는 리드스크류와;
    상기 리드스크류의 회전에 연동되어, 상기 리드스크류의 축선 방향으로 왕복 이동 가능하게 설치되는 제1작동부와;
    상기 제1작동부의 왕복 이동에 연동되어, 상기 제1작동부의 이동방향에 대해 가로방향으로 상기 마스크 프레임을 향하여 왕복이동가능하게 설치되는 제2작동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 프레임 가압변형장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1작동부는,
    제1작동본체와;
    상기 제1작동본체와 상기 본체에 마련되어, 상기 제1작동본체의 왕복 이동을 가이드하는 가이드부와;
    상기 제1작동본체의 일측에 상기 리드스크류의 축선 방향에 대해 경사지게 형성되어, 동력전달방향을 변환하는 웨지부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 프레임 가압변형장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제2작동부는,
    상기 본체에 설치되는 브라켓과;
    상기 리드스크류의 축선방향에 대해 가로방향으로 상기 마스크 프레임을 향하여 축선방향이 위치되도록, 상기 브라켓과 상기 본체 사이에 마련되는 가이드 샤프트와;
    상기 가이드 샤프트의 축선방향을 따라 왕복 이송 가능하게 상기 가이드 샤프트에 설치되며, 상기 웨지부재의 가변위치에 연동되어 작동하는 제2작동본체를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 프레임 가압변형장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제2작동부는,
    상기 제2작동본체와 상기 본체 사이에 개재되어 상기 제2작동본체를 상기 제1작동본체 방향으로 탄성 바이어스시키는 탄성부재와;
    상기 웨지부재에 접촉 회전되도록 상기 제2작동본체에 회전 가능하게 설치되며, 상기 웨지부재와의 사이의 접촉 위치에 따라 상기 제2작동본체의 위치가 가변되도록 하는 캠 팔로우를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 프레임 가압변형장치.
  6. 제4항 또는 제5항에 있어서,
    상기 제2작동본체와 상기 가압부 사이에 위치되도록 상기 제2작동본체에 설치되며, 상기 제2작동본체의 동력을 상기 가압부에 전달하고 상기 가압부의 가압력을 감지하는 로드셀을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 프레임 가압변형장치.
  7. 제1항 또는 제3항에 있어서,
    상기 작동부에 설치되며, 상기 작동부의 동력을 상기 가압부에 전달하고 상기 가압부의 가압력을 감지하는 로드셀을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 프레임 가압변형장치.
  8. 제1항 및 제3항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 구동원과 상기 작동부 사이에 마련되어, 상기 구동원에서 생성된 동력을 상기 작동부에 전달하는 동력전달부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 프레임 가압변형장치.
  9. 마스크 프레임에 마스크를 고정하는 마스크 조립체 제작시스템에 있어서,
    상기 마스크 프레임에 상기 마스크를 고정하기에 앞서, 상기 마스크 프레임이 그 내측으로 휘도록 가압변형하는 제1항 및 제3항 내지 제5항 중 어느 한 항에 따른 마스크 프레임 가압변형장치와;
    상기 가압변형된 마스크 프레임에 고정 될 상기 마스크를 클램핑하여 상기 마스크에 장력을 인가하는 클램핑장치와;
    상기 마스크 프레임에 대한 상기 마스크의 고정 위치를 모니터링하는 비전장치와;
    상기 마스크 프레임에 상기 마스크를 고정하는 고정장치와;
    상기 가압변형장치, 상기 클램핑장치, 상기 고정장치 및 상기 비전장치을 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체 제작시스템.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 마스크 프레임 가압변형장치는,
    상기 작동부와 상기 가압부 사이에 위치되도록 상기 작동부에 설치되며, 상기 작동부의 동력을 상기 가압부에 전달하고 상기 가압부의 가압력을 감지하는 로드셀을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체 제작시스템.
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